JP7050460B2 - 表示装置 - Google Patents

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Description

本発明の一態様は、表示装置に関する。
なお、本発明の一態様は、上記の技術分野に限定されない。本明細書等で開示する本発明の一態様の技術分野としては、半導体装置、表示装置、発光装置、蓄電装置、記憶装置、電子機器、照明装置、入力装置、入出力装置、それらの駆動方法、又はそれらの製造方法、を一例として挙げることができる。
なお、本明細書等において、半導体装置とは、半導体特性を利用することで機能しうる装置全般を指す。トランジスタ、半導体回路、演算装置、記憶装置等は半導体装置の一態様である。また、撮像装置、電気光学装置、発電装置(薄膜太陽電池、有機薄膜太陽電池等を含む)、及び電子機器は半導体装置を有している場合がある。
電子機器の省電力化が求められている。特に、スマートフォンやタブレット端末などの携帯型の電子機器はバッテリを電源として用いるために、消費電力が高いと一度の充電で使用可能な期間が短くなってしまう。
また、電子機器に搭載される表示装置の一つに、液晶表示装置が知られている。透過型の液晶表示装置は、液晶の光学変調作用を利用してバックライトからの光の透過量を制御することでコントラストを表現し、画像表示を行うものである。
例えば、画素電極の各々に接続するスイッチング素子として、金属酸化物をチャネル形成領域とするトランジスタを用いるアクティブマトリクス型液晶表示装置が知られている(特許文献1及び特許文献2)。
特開2007-123861号公報 特開2007-96055号公報
液晶表示装置(液晶パネル)の消費電力を低減する1つの方法として、バックライトからの光を効率的に取り出すことが挙げられる。
本発明の一態様は、消費電力を低減可能な表示装置を提供することを課題の一とする。または、表示装置の開口率を高めることを課題の一とする。または、高い開口率と、高い信頼性を兼ね備えた表示装置を提供することを課題の一とする。または、新規な表示装置を提供することを課題の一とする。
なお、これらの課題の記載は、他の課題の存在を妨げるものではない。なお、本発明の一態様は、これらの課題の全てを解決する必要はないものとする。なお、これら以外の課題は、明細書、図面、請求項などの記載から抽出することが可能である。
本発明の一態様は第1の着色層と、第2の着色層と、第1のトランジスタと、第2のトランジスタと、第1の表示素子と、第2の表示素子と、を有する表示装置である。第1の表示素子は、第1のトランジスタと電気的に接続され、且つ、第1の着色層と重畳する。第2の表示素子は、第2のトランジスタと電気的に接続され、且つ、第2の着色層と重畳する。第1のトランジスタは、第1の半導体層を有し、第2のトランジスタは、第2の半導体層を有する。第1の半導体層と、第2の半導体層とは、それぞれ第1の着色層と重畳する部分を有する。
また、本発明の他の一態様は、第1の着色層と、第2の着色層と、第3の着色層と、第1のトランジスタと、第2のトランジスタと、第3のトランジスタと、第1の表示素子と、第2の表示素子と、第3の表示素子と、を有する表示装置である。第1の表示素子は、第1のトランジスタと電気的に接続され、且つ、第1の着色層と重畳する。第2の表示素子は、第2のトランジスタと電気的に接続され、且つ、第2の着色層と重畳する。第3の表示素子は、第3のトランジスタと電気的に接続され、且つ、第3の着色層と重畳する。第1のトランジスタは、第1の半導体層を有し、第2のトランジスタは、第2の半導体層を有し、第3のトランジスタは、第3の半導体層を有する。第1の半導体層、第2の半導体層、及び第3の半導体層は、それぞれ第1の着色層と重畳する部分を有する。
また、上記において、第1の着色層は、第2の着色層よりも長波長の光を透過することが好ましい。または、第1の着色層は、赤色の光を透過することが好ましい。
また、上記において、白色光を呈する光源を有することが好ましい。このとき、第1の着色層は、光源と第1の半導体層の間、及び、光源と第2の半導体層の間に位置することが好ましい。
また、上記において、第1のトランジスタは、第1のゲート電極、並びに第1の半導体層と接続する第1の電極及び第2の電極を有し、第2のトランジスタは、第2のゲート電極、並びに第2の半導体層と接続する第3の電極及び第4の電極を有する構成とすることが好ましい。このとき、第1の電極、第2の電極、第3の電極、及び第4の電極は、それぞれ可視光を透過し、且つ、第1の着色層と重畳する部分を有することが好ましい。また、このとき、第1のゲート電極及び第2のゲート電極も、それぞれ可視光を透過し、且つ第1の着色層と重畳する部分を有することが好ましい。または、第1のゲート電極及び第2のゲート電極が、それぞれ可視光を遮光する機能を有していてもよい。
また、上記において、第1の配線及び第2の配線を有することが好ましい。このとき、第1の電極は第1の配線と電気的に接続し、第2の電極は第1の表示素子と電気的に接続し、第3の電極は第2の配線と電気的に接続し、第4の電極は第2の表示素子と電気的に接続する構成とすることが好ましい。このとき、第4の電極は、第2の配線と交差する部分を有する構成とすることが好ましい。または、第4の電極は、第1の配線と交差する部分、及び第2の配線と交差する部分を有することが好ましい。または、第4の電極は、第1の配線及び第2の配線のいずれとも交差しないことが好ましい。
また、上記において、第1の配線及び第2の配線を有することが好ましい。このとき、第1のトランジスタは、第1のゲート電極を有し、第2のトランジスタは、第2のゲート電極を有する構成とする。このとき、第1の半導体層は、第1のゲート電極と重畳する部分と、第1の配線と接続する部分と、を有し、第2の半導体層は、第2のゲート電極と重畳する部分と、第2の配線と接続する部分を有する構成とする。このとき、第2の半導体層が、第2の配線と交差する部分と、を有する構成とすることが好ましい。または、第2の半導体層が、第2の配線と交差する部分、及び第1の配線と交差する部分を有することが好ましい。または、第2の半導体層は、第1の配線及び第2の配線のいずれとも交差しないことが好ましい。
また、上記において、第1の半導体層、及び第2の半導体層は、それぞれ金属酸化物を含むことが好ましい。
また、上記において、第1の表示素子は、第5の電極と、第6の電極と、液晶と、を有することが好ましい。このとき、第5の電極は、第1のトランジスタと電気的に接続され、第5の電極及び第6の電極は、それぞれ可視光を透過することが好ましい。
本発明の一態様によれば、消費電力を低減可能な表示装置を提供できる。または、表示装置の開口率を高めることができる。または、高い開口率と、高い信頼性を兼ね備えた表示装置を提供できる。または、新規な表示装置を提供できる。
なお、これらの効果の記載は、他の効果の存在を妨げるものではない。なお、本発明の一態様は、必ずしも、これらの効果の全てを有する必要はない。なお、これら以外の効果は、明細書、図面、請求項などの記載から抽出することが可能である。
表示装置の構成例。 表示装置の構成例。 表示装置の構成例。 表示装置の構成例。 表示装置の構成例。 表示装置の構成例。 表示装置の構成例。 表示装置の構成例。 表示装置の構成例。 表示装置の構成例。 表示装置の構成例。 表示装置の構成例。 表示装置の構成例。 表示装置の構成例。 表示装置の構成例。 表示装置の構成例。 入力装置の構成例。 入力装置の構成例。 タッチパネルの構成例。 回路図及びタイミングチャート。 表示モジュールの構成例。 電子機器の構成例。 電子機器の構成例。
実施の形態について、図面を用いて詳細に説明する。但し、本発明は以下の説明に限定されず、本発明の趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及び詳細を様々に変更し得ることは当業者であれば容易に理解される。従って、本発明は以下に示す実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。
なお、以下に説明する発明の構成において、同一部分又は同様な機能を有する部分には同一の符号を異なる図面間で共通して用い、その繰り返しの説明は省略する。また、同様の機能を指す場合には、ハッチパターンを同じくし、特に符号を付さない場合がある。
なお、本明細書で説明する各図において、各構成の大きさ、層の厚さ、または領域は、明瞭化のために誇張されている場合がある。よって、必ずしもそのスケールに限定されない。
なお、本明細書等における「第1」、「第2」等の序数詞は、構成要素の混同を避けるために付すものであり、数的に限定するものではない。
トランジスタは半導体素子の一種であり、電流や電圧の増幅や、導通または非導通を制御するスイッチング動作などを実現することができる。本明細書におけるトランジスタは、IGFET(Insulated Gate Field Effect Transistor)や薄膜トランジスタ(TFT:Thin Film Transistor)を含む。
本明細書等において、表示装置の一態様である表示パネルは表示面に画像等を表示(出力)する機能を有するものである。したがって表示パネルは出力装置の一態様である。
また、本明細書等では、表示パネルの基板に、例えばFPC(Flexible Printed Circuit)もしくはTCP(Tape Carrier Package)などのコネクターが取り付けられたもの、または基板にCOG(Chip On Glass)方式等によりICが実装されたものを、表示パネルモジュール、表示モジュール、または単に表示パネルなどと呼ぶ場合がある。
また、本明細書等において、タッチセンサは指やスタイラスなどの被検知体が触れる、押圧する、または近づくことなどを検出する機能を有するものである。またその位置情報を検知する機能を有していてもよい。したがってタッチセンサは入力装置の一態様である。例えばタッチセンサは1以上のセンサ素子を有する構成とすることができる。
また、本明細書等では、タッチセンサを有する基板を、タッチセンサパネル、または単にタッチセンサなどと呼ぶ場合がある。また、本明細書等では、タッチセンサパネルの基板に、例えばFPCもしくはTCPなどのコネクターが取り付けられたもの、または基板にCOG方式等によりICが実装されたものを、タッチセンサパネルモジュール、タッチセンサモジュール、センサモジュール、または単にタッチセンサなどと呼ぶ場合がある。
なお、本明細書等において、表示装置の一態様であるタッチパネルは表示面に画像等を表示(出力)する機能と、表示面に指やスタイラスなどの被検知体が触れる、押圧する、または近づくことなどを検出するタッチセンサとしての機能と、を有する。したがってタッチパネルは入出力装置の一態様である。
タッチパネルは、例えばタッチセンサ付き表示パネル(または表示装置)、タッチセンサ機能つき表示パネル(または表示装置)とも呼ぶことができる。
タッチパネルは、表示パネルとタッチセンサパネルとを有する構成とすることもできる。または、表示パネルの内部または表面にタッチセンサとしての機能を有する構成とすることもできる。
また、本明細書等では、タッチパネルの基板に、例えばFPCもしくはTCPなどのコネクターが取り付けられたもの、または基板にCOG方式等によりICが実装されたものを、タッチパネルモジュール、表示モジュール、または単にタッチパネルなどと呼ぶ場合がある。
(実施の形態1)
本実施の形態では、本発明の一態様の表示装置について説明する。
本発明の一態様は、複数の透過型の液晶素子と、当該液晶素子と電気的に接続するトランジスタと、を備える、表示装置である。
液晶素子は、一対の電極と、液晶とを有する。一対の電極は、いずれも可視光を透過する。一対の電極の一方は、画素電極として機能し、トランジスタと電気的に接続される。一対の電極の他方は、共通電極として機能し、他の画素と共通の電位が供給される。
表示装置の表示領域には、複数の画素がマトリクス状に配列した構成を有する。画素は、2以上の副画素を有する。一つの副画素は、1つの画素電極と、選択トランジスタとして機能するトランジスタと、着色層と、を有する。
例えば、1つの画素は、第1の副画素と、第2の副画素とを有する。第1の副画素は、第1の着色層と第1のトランジスタを有し、第2の副画素は、第2の着色層と第2のトランジスタを有する。このとき、第1のトランジスタと、第2のトランジスタとは、それぞれ第1の着色層と重畳するように配置される。より具体的には、少なくとも第1のトランジスタ及び第2のトランジスタがそれぞれ有する半導体層の、チャネルが形成されうる部分が、第1の着色層と重畳するように配置される。
これにより、第1のトランジスタ及び第2のトランジスタに照射される光は、いずれも第1の着色層を透過した光となる。したがって、第1のトランジスタと第2のトランジスタとは、それぞれ光を照射されることによって受ける影響の度合いを同等にすることができる。したがって、隣接する副画素間で、コントラストのばらつきが生じることを防ぐことができる。
さらに、第1の着色層は、第2の着色層と比較して、短波長側の光を吸収しやすい着色層であることが好ましい。特に、第1の着色層は、第2の着色層よりも長波長の光を透過し、それ以外の可視光を吸収する着色層であることが好ましい。これにより、第1のトランジスタ及び第2のトランジスタに第1の着色層を介して照射される光は、入射光に比べて、短波長の光が吸収された光となるため、これらトランジスタが受ける光の影響を低減することができる。または、第1の着色層を透過した光を、各トランジスタへ影響を及ぼさない光とすることができる。これにより、極めて信頼性の高い表示装置を実現できる。
ここで、バックライトを設ける場合には、第1のトランジスタ及び第2のトランジスタと、バックライトとの間に、第1の着色層が配置されるように、バックライトを設けることが好ましい。これにより、バックライトから第1のトランジスタ及び第2のトランジスタに照射される光の影響を抑制することができる。
また、各トランジスタを挟んで、バックライトとは反対側(表示面側)に第1の着色層が設けられていてもよい。このとき、表示面側から表示装置に入射される外光がトランジスタに及ぼす影響を抑制することができる。
第1のトランジスタ及び第2のトランジスタのチャネルが形成される半導体層には、半導体特性を示す金属酸化物(酸化物半導体(OS:Oxide Semiconductor)ともいう)を適用することが好ましい。さらに、半導体層は、チャネル形成領域を挟む一対の低抵抗領域を有することが好ましい。当該低抵抗領域は、チャネル形成領域よりも導電性が高い部分であり、酸化物導電体(OC:Oxide Conductor)とも言うことができる。これにより、半導体層が配置された領域を、可視光を透過する領域(透過領域ともいう)として用いることができるため、表示装置の開口率を高めることができる。
さらに、第1のトランジスタ及び第2のトランジスタを構成する電極や配線等に、可視光を透過する材料を用いることが好ましい。特に、金属酸化物を用いることが好ましい。例えば、第1のトランジスタ及び第2のトランジスタのゲート電極、ソース電極及びドレイン電極のそれぞれに、透光性を有する導電性材料を用いることができる。これにより、表示装置の開口率をより高めることができる。
また、半導体層の低抵抗領域、ソース電極、及びドレイン電極はそれぞれ透光性を有するため、これらのコンタクト部もまた、透過領域として用いることができ、開口率をさらに高めることができる。
上述するように、半導体層のチャネル形成領域は、第1の着色層と重ねて配置されるため、ゲート電極が透光性を有し、当該チャネル形成領域に第1の着色層を介して光が照射される場合であっても、各トランジスタへの影響を抑制できる。
例えば第1の副画素は、画素電極が、透光性を有する半導体層、ゲート電極、ソース電極、ドレイン電極等と重畳する部分を有する構成とすることができる。
また、各副画素は保持容量として機能する容量素子を有していてもよい。このとき、容量素子を構成する一対の電極、及びこれと電気的に接続する配線等に、透光性を有する導電性材料を用いることが好ましい。各容量素子は、光の影響を受けにくいため、各副画素が有する着色層と重ねて配置すればよい。
ここで、ソース電極及びドレイン電極には透光性の材料を用い、ゲート電極には遮光性の材料を用いる構成としてもよい。このとき、遮光性のゲート電極を表示面側に配し、第1の着色層を各トランジスタよりもバックライト側に配置することが好ましい。これにより、バックライトからの光の影響は、第1の着色層により抑制でき、表示面側から入射される外光の影響は遮光性のゲート電極で抑制することができる。
また、各副画素に電気的に信号や電位を供給するための配線(バスラインともいう)は、透光性を有する材料を用いてもよいが、金属などの遮光性を有する材料を用いると配線抵抗を低減できるため好ましい。バスラインとしては、例えばゲート信号が供給される配線(ゲート線ともいう)、ソース信号が供給される配線(ソース線、または信号線ともいう)、共通電位や電源電位などが供給される配線(電源線ともいう)などが挙げられる。このとき、バスライン以外の部分を全て透過領域とすることができ、極めて高い開口率を実現できる。
なお、画素は異なる色の3つ以上の副画素を有していてもよい。このとき、最も短波長の光を透過する着色層と重なる領域にトランジスタを配置せず、その他の着色層と重畳してトランジスタを配置する構成とすることができる。特に、最も長波長側の光を透過する着色層と重畳して、それぞれの副画素のトランジスタを配置する構成とすることが好ましい。
例えば、画素が赤色、緑色、青色の3つの光に対応する副画素を有する場合、各副画素が有するトランジスタは、それぞれ青色以外の着色層、すなわち赤色または緑色の着色層に重ねて配置することができる。特に、赤色の着色層に重ねて、3つのトランジスタを配置することが好ましい。
以下では、より具体的な例について、図面を参照して説明する。
[構成例1]
図1(A)に、表示装置10の斜視概略図を示す。表示装置10は、基板11と基板12とが貼り合わされた構成を有する。図1(A)では、基板12を破線で示している。また図1(A)は、表示面側とは反対側から見たときの斜視概略図に相当する。すなわち、表示装置10は、基板11側が表示面側となる。
表示装置10は、表示部13、回路14、配線15等を有する。基板11には、例えば表示部13に含まれ、画素電極として機能する導電層21、回路14、及び配線15が設けられている。また図1(A)では基板11にIC17とFPC16が実装されている例を示している。そのため、図1(A)に示す構成は、表示モジュールとも呼ぶことができる。
回路14は、例えば走査線駆動回路として機能する回路を用いることができる。
配線15は、表示部13や回路14に信号や電力を供給する機能を有する。当該信号や電力は、外部からFPC16を介して配線15に供給される。またはIC17から配線15に供給される。
図1(A)では、COG(Chip On Glass)方式等により、基板11にIC17が設けられている例を示している。IC17は、例えば信号線駆動回路などとしての機能を有するICを適用できる。なおIC17を設けない構成としてもよい。また、IC17は、COF(Chip On Film)方式等によりFPC16に実装されていてもよい。
図1(A)には、表示部13の一部の拡大図を示している。表示部13には、複数の表示素子が有する導電層21がマトリクス状に配置されている。導電層21は、例えば画素電極として機能する。
〔断面構成例〕
図1(B)に、図1(A)中の切断線A1-A2に対応する断面の一例を示す。図1(B)には、隣接する3つの画素(副画素)を含む領域の断面を示している。またここでは、表示素子として透過型の液晶素子20を適用した場合の例を示している。図1(B)において、基板11側が表示面側となる。
表示装置10は、基板11と基板12との間に、液晶22が挟持された構成を有している。液晶素子20は、基板11側に設けられた導電層21と、基板12側に設けられた導電層23と、これらに挟持された液晶22と、を有する。また、液晶22と導電層21との間に配向膜24aが設けられ、液晶22と導電層23との間に配向膜24bが設けられている。
導電層21は、画素電極として機能する。また導電層23は共通電極などとして機能する。また導電層21と導電層23は、いずれも可視光を透過する機能を有する。したがって、液晶素子20は、透過型の液晶素子である。
図1(B)には、3つの液晶素子20を明示している。液晶素子20は、それぞれ着色層41R、着色層41G、または着色層41Bと重畳する。また、2つの着色層の間には遮光層42が設けられている。各着色層及び遮光層42を覆って絶縁層26が設けられ、絶縁層26を覆って導電層23が設けられている。また遮光層42は、トランジスタ30R等と、導電層21とのコンタクト部にも重ねて配置されていることが好ましい。
例えば、着色層41Rは赤色の光を透過し、それ以外の波長の可視光を吸収する。また着色層41Gは緑色の光を透過し、それ以外の波長の可視光を吸収する。また着色層41Bは、青色の光を透過し、それ以外の波長の光を吸収する。着色層41R、着色層41G、または着色層41Bを透過した、光25R、光25G、及び光25Bは、それぞれ可視光領域に2以上のピークを有していてもよいが、可視光領域に単一ピークを有する光であることが好ましい。ここで、着色層41Rは、3つの着色層の中で、最も長波長の光を透過し、それ以外の波長の光を吸収しうる層である。
なお、着色層41R、着色層41G、及び着色層41Bのそれぞれが透過する光の色はこれに限られない。
図1(B)には、着色層41Rが設けられている領域を表示領域13R、着色層41Gが設けられている領域を表示領域13G、着色層41Bが設けられている領域を表示領域13Bとして示している。また異なる色の表示領域の間には、遮光層42が設けられる遮光領域を有することが好ましい。
基板11よりも外側には偏光板39aが配置され、基板12よりも外側には偏光板39bが配置されている。さらに、偏光板39bよりも外側に、バックライトユニット90が設けられている。図1(B)に示す表示装置10は、基板11側が表示面側となる。
基板11上には、トランジスタ30R、トランジスタ30G、及びトランジスタ30Bがそれぞれ設けられている。各トランジスタは、例えばそれぞれ副画素の選択トランジスタとして機能する。トランジスタ30Rは、着色層41Rと重なる導電層21と電気的に接続する。トランジスタ30Gは、着色層41Gと重なる導電層21と電気的に接続する。トランジスタ30Bは、着色層41Bと重なる導電層21と電気的に接続する。
図1(C)に、トランジスタ30R、トランジスタ30G、及びトランジスタ30Bに適用することのできるトランジスタ30の拡大図を示す。図1(C)に示すトランジスタ30は、いわゆるボトムゲート・チャネルエッチ構造のトランジスタである。トランジスタ30は、ゲート電極として機能する導電層31と、ゲート絶縁層として機能する絶縁層34と、半導体層32と、ソース電極及びドレイン電極として機能する一対の導電層33と、を有する。半導体層32の、導電層31と重畳する部分は、チャネル形成領域として機能する。半導体層32と導電層33とは、接して設けられる。
また、画素電極として機能する導電層21は、絶縁層81上に設けられ、絶縁層81に設けられた開口を介して、導電層33と電気的に接続されている。絶縁層81は、平坦化層として機能することが好ましい。
ここで、導電層31、半導体層32、導電層33、絶縁層34は、それぞれ可視光に対して透光性を有することが好ましい。これにより、図1(B)、(C)に示すように、トランジスタ30を光25Rが透過することができる。トランジスタ30、液晶素子20、及び着色層41Rを重ねて配置することで、トランジスタ30が設けられている領域は透過領域40tとして機能し、表示領域の一部として用いることができる。これにより、開口率(すなわち、表示領域内における単位面積当たりの透過領域の面積の割合)の高い表示装置を実現できる。
図1(B)に示すように、画素を構成する複数のトランジスタを、1つの着色層41Rと重ねて配置することにより、各トランジスタには同じ波長、且つ同じ強度の光25Rが照射されることとなる。そのため、各トランジスタが、光25Rの照射によって電気特性などに影響を受ける場合、その影響の度合いを同等なものとすることができる。そのため各副画素のコントラストに差が生じることを防ぐことができる。
また、着色層41Rを透過した光25Rは、他の光に比べて最も波長が長い(すなわちエネルギーの低い)光であり、赤色よりも短波長の光を含まないため、半導体層32等に最も吸収されにくい光といえる。そのため、各トランジスタの半導体層32に光25Rが透過する構成としても、信頼性の高い表示装置を実現することができる。
なお、図2に示すトランジスタ30aのように、ゲート電極として機能する導電層に、可視光を遮光する導電層31aを適用してもよい。このように、半導体層32の表示面側を遮光することで、表示面側から入射される外光などが半導体層32に達することを防ぐことができ、より信頼性の高い表示装置を実現できる。一方、このとき、導電層31aが設けられる部分は、遮光領域40sとして機能するため、図1(C)で示す構成の方が開口率を高めることができる。
以上が構成例1についての説明である。
[構成例2]
以下では、表示装置のより具体的な例について説明する。
〔画素構成例2-1〕
図3(A)に、1つの画素40を表示面側とは反対側(すなわち、バックライトユニット90側)から見たときの上面概略図を示している。画素40は、副画素40G、副画素40R、及び副画素40Bを有する。画素40には、ゲート線として機能する配線51と、それぞれソース線として機能する配線52G、配線52R、及び配線52Bと、電源線として機能する配線53が接続されている。
副画素40G、副画素40R、及び副画素40Bには、それぞれ着色層41G、着色層41R、または着色層41Bが設けられている。ここでは、各着色層を破線で示している。また、図3(A)では、一部の構成要素(例えば導電層21等)を省略して示している。
副画素40Rにおいて、着色層41Rと重なる領域に、トランジスタ30G、トランジスタ30R、トランジスタ30B、及び容量素子60Rが設けられている。各トランジスタ及び容量素子60Rを構成する導電層や半導体層は、可視光を透過する材料が適用されていることが好ましい。
図3(A)では、画素40が有するトランジスタ30G、トランジスタ30R、及びトランジスタ30Bとして、ボトムゲート構造のトランジスタを適用した場合の例を示している。
副画素40G及び副画素40Bには、それぞれ容量素子60Gまたは容量素子60Bが設けられている。各容量素子は、着色層41Gまたは着色層41Bと重なる領域に設けられている。各容量素子は、副画素40Rに設けられる容量素子60Rと同様に、可視光を透過することが好ましい。なお、これら容量素子60Gまたは容量素子60Bの少なくとも一方が、副画素40Rの着色層41Rと重なる領域に設けられていてもよい。また容量素子60Rが、着色層41G及び着色層41Bの少なくとも一方と重なる領域に設けられていてもよい。
画素40では、配線51、配線52R、配線52G、配線52B、及び配線53には可視光を遮光する材料を用い、それ以外の層には、可視光を透過する材料を用いることができる。図4には、画素40を、可視光を遮光する遮光領域40sと、可視光を透過する透過領域40tとに分けて明示した例を示している。このように、バスラインが設けられる領域以外のほとんどの領域を、透過領域40tとすることができるため、従来の表示装置と比較して開口率を大きく向上させることができる。
図3(B)には、図3(A)に対応する画素40の回路図を示している。図3(B)では上記の構成に加え、液晶素子20R、液晶素子20G、及び液晶素子20Bを明示している。
トランジスタ30Rは、ゲートが配線51と電気的に接続され、ソースまたはドレインの一方が配線52Rと電気的に接続され、他方が容量素子60Rの一方の電極、及び液晶素子20Rの一方の電極(画素電極)と電気的に接続されている。
トランジスタ30Gは、ゲートが配線51と電気的に接続され、ソースまたはドレインの一方が配線52Rと交差し、配線52Gと電気的に接続され、他方が配線52R及び配線52Gと交差し、容量素子60Gの一方の電極及び液晶素子20Gの画素電極と電気的に接続されている。
トランジスタ30Bは、ゲートが配線51と電気的に接続され、ソースまたはドレインの一方が配線52Bと電気的に接続され、他方が容量素子60Bの一方の電極及び液晶素子20Bの画素電極と電気的に接続されている。
また容量素子60R、容量素子60G、及び容量素子60Bのそれぞれの他方の電極は、配線53と電気的に接続されている。
〔断面構成例2-1〕
図5に、図3(A)で示した切断線B1-B2及び切断線C1-C2に沿った断面を示す。切断線B1-B2は、配線52R、トランジスタ30R、容量素子60R、及び配線53等を通る線であり、切断線C1-C2は、トランジスタ30G、交差部55、容量素子60G、及び配線53等を通る線である。
なお、以下では、上記構成例1及び図1(B)で説明した部分については、説明を省略する。また、以下では、特に説明の無い限り、同一の膜を加工して得られる層について同じ符号を用いて説明することとする。
トランジスタ30R及びトランジスタ30Gは、それぞれボトムゲート構造のトランジスタである。また、容量素子60R等は、導電層31と、導電層33と、これらの間に位置する絶縁層34の一部と、により構成されている。
各トランジスタのソース電極やドレイン電極を構成する導電層33と、配線52R等を構成する導電層とは、絶縁層を介さずに形成されている。したがって、例えばトランジスタ30Rのソースまたはドレインの一方の上面及び側面に接して、配線52Rが設けられることにより、これらが電気的に接続されている。
また、各トランジスタのゲート電極を構成する導電層31と、配線51(図示しない)及び配線53等を構成する導電層とは、絶縁層を介さずに形成されている。例えば、容量素子60Rを構成する導電層31の上面及び側面に接して、配線53が設けられることにより、これらが電気的に接続されている。
また図5では、トランジスタ30R等を覆って、絶縁層82が設けられ、絶縁層82上に、平坦化膜として機能する絶縁層81が設けられている。絶縁層82は、トランジスタ30R等へ不純物等が拡散することを抑制する保護膜としての機能を有することが好ましい。例えば、絶縁層82に無機絶縁材料を用い、絶縁層81に有機絶縁材料を用いることができる。
導電層21は、容量素子60Rと重なる領域で、絶縁層81及び絶縁層82に設けられた開口を介して、導電層33と電気的に接続されている。導電層21と導電層33との接続部と、容量素子60Rとを重ねることにより、画素の面積を縮小することが可能で、より高精細な表示装置を実現できる。
導電層21と導電層33との接続部と重なる部分では、液晶素子20のセルギャップが他の部分よりも大きくなる場合がある。また、接続部では、導電層21の上面に凹凸形状が形成されやすいため、液晶22の初期配向が他の部分と異なってしまい、光漏れの原因となる場合がある。光漏れは、コントラストの低下につながるため、図5に示すように、当該接続部と重なる領域に、遮光層42を配置することが好ましい。なお、接続部において、液晶の駆動が十分に行える場合などでは、この部分に遮光層42を設けずに表示領域の一部として利用すると、開口率が高まるため好ましい。
ここで、配線52Gや配線52Rを構成する導電層と、導電層33とはこれらの間に絶縁層を有していないため、これらを交差させると電気的にショートしてしまう。そのため、交差部55において、配線52G及び配線52Rを挟む2つの導電層33は、それぞれ絶縁層34に設けられた開口を介して導電層31と電気的に接続されている。導電層31と配線52G及び配線52Rとは、絶縁層34を介して互いに重なる部分を有する。すなわち、交差部55は、ブリッジ構造を有すると言うこともできる。
交差部55において、配線52G及び配線52Rの電気的なノイズが、これと重畳する導電層31に伝達し、液晶素子20Gの表示に影響を及ぼす場合がある。しかしながら、画素40は、副画素40Gにトランジスタ30Gが配置されない構成を有するため、容量素子60Gの面積を、容量素子60Rよりも大きくすることが可能となる。その結果、ノイズの影響を受けにくい構成とすることができる。さらに、容量素子60Gは可視光を透過するため、この面積を大きくしても、高い開口率を保持することができる。また、ノイズの影響をより低減する方法として、配線52Gまたは配線52Rと、導電層31との交差部の面積を出来るだけ小さくし、これらの間の容量を低減することが好ましい。
以上が断面構成例2-1についての説明である。
〔画素構成例2-2〕
図6に、図3(A)とは異なる上面概略図を示す。なお、回路図については図3(B)を援用できる。
図6に示す構成は、トランジスタ30R、トランジスタ30G、トランジスタ30Bのそれぞれに、トップゲート構造のトランジスタを適用した場合の例である。
〔断面構成例2-2〕
図7に、図6中の切断線B3-B4及び切断線C3-C4に対応する断面概略図を示す。
例えばトランジスタ30Rは、半導体層32上に、ゲート絶縁層として機能する絶縁層34と、ゲート電極として機能する導電層31とが積層して設けられている。さらにこれらを覆って絶縁層82が設けられ、絶縁層82上に、ソース電極及びドレイン電極として機能する導電層33が設けられている。半導体層32は、導電層31と重ならない領域に、低抵抗領域32aを有する。導電層33は、絶縁層82に設けられた開口を介して低抵抗領域32aと電気的に接続されている。
交差部55において、配線52G及び配線52Rを挟む一対の導電層33は、配線52G及び配線52Rと絶縁層82を介して交差する導電層31と電気的に接続されている。
半導体層32の、導電層31と重なる領域は、チャネル形成領域として機能する。一対の低抵抗領域32aは、当該チャネル形成領域を挟んで形成される。低抵抗領域32aは、当該チャネル形成領域よりもキャリア濃度が高い領域、または不純物濃度が高い領域とすることができる。半導体層32に、酸化物半導体(OS)を用いた場合、低抵抗領域32aを、酸化物導電体(OC)と呼ぶことができる。
〔画素構成例2-3〕
図8に、図6とは一部の構成が異なる上面概略図を示す。なお、回路図については図3(B)を援用できる。
図8に示す構成は、図6に示す構成と比較して、低抵抗領域32aの一部を、副画素内の配線として用いている点で、主に相違している。
〔断面構成例2-3〕
図9に、図8中の切断線B5-B6及び切断線C5-C6に対応する断面概略図を示す。
例えば、トランジスタ30Rに注目すると、低抵抗領域32aの一部と、配線52Rとが、導電層33を介さずに電気的に接続されている。
また、トランジスタ30Gに着目すると、低抵抗領域32aの一部が配線52Rおよび配線52Gと交差し、容量素子60Gの一方の電極を構成する導電層33と電気的に接続されている。
このように、半導体層32の低抵抗領域32aの一部を、画素内の配線として用いることにより、例えば図6及び図7に示す構成と比較して、コンタクト部の数を減らすことができる。そのため、より高精細な表示装置を実現できる。
〔変形例〕
上記では、液晶素子として、液晶を挟む一対の電極が上下に配置された、縦電界方式の液晶素子の例を示しているが、液晶素子の構成はこれに限られず、様々な方式の液晶素子を適用することができる。
図10(A)には、FFS(Fringe Field Switching)モードが適用された液晶素子を有する表示装置の断面概略図を示す。
液晶素子20R等は、画素電極として機能する導電層21と、導電層21と絶縁層83を介して重なる導電層23と、を有する。導電層21は、スリット状または櫛歯状の上面形状を有している。
また、この構成では、導電層21と導電層23とが重なる部分に容量が形成され、これを保持容量として用いることができる。そのため、容量素子60R等を設けない構成とすることで、画素40の占有面積を縮小できるため、高精細な表示装置を実現できる。
図10(A)では、画素電極として機能する導電層21が液晶22側に位置する構成としたが、図10(B)に示すように、共通電極として機能する導電層23が、液晶22側に位置する構成としてもよい。
なお、トランジスタ30R、トランジスタ30G、交差部55などの構成はこれに限られず、上記で例示した構成と適宜入れ替えることができる。
[構成例3]
上記では、着色層等を基板12側に配置した例を示したが、これを基板11側に配置することで、基板12側の構成を簡略化することができる。また、基板11と基板12の貼り合せの際に高い位置精度が要求されることが無くなるため、生産性を高めることができる。
〔断面構成例3-1〕
図11に、以下で例示する断面概略図を示す。図11に示す構成は、図5に示した構成と比較して、着色層41R及び着色層41G等を基板11側に設けた点で、主に相違している。
図11において、着色層41R及び着色層41Gは、絶縁層82と絶縁層81との間に位置している。着色層41Rは、トランジスタ30G、トランジスタ30R、トランジスタ30B(図示しない)、容量素子60R等を覆って設けられている。また、着色層41Gは、容量素子60Gを覆って設けられている。
基板12の基板11側には、導電層23と、配向膜24bが設けられている。これらは共に表示領域全域に亘って設けることができ、微細な加工を必要としないため、着色層41R等を形成する場合に比べて、構成を簡略化できる。
ここで、上述したように、画素電極として機能する導電層21と、他の導電層とのコンタクト部は、光漏れの要因となりうるため、遮光層で覆う構成とすることが好ましい。しかしながら、図5等に示すように基板12側に遮光層を設けると、基板11と基板12との貼り合せの際に、高い位置精度が要求されることとなるため、着色層を基板11側に配置した効果が薄れてしまう。そのため、遮光層は基板11側に配置することが好ましい。
図11では、当該コンタクト部と重なる位置に、遮光性を有する遮光層57が配置されている。遮光層57は、例えば配線53や配線51等と同一の導電膜を加工して形成することができるため、工程を増やすことなく形成することができる。
遮光層57が導電性を有する場合、遮光層57は島状に形成され、他の配線や電極とは、電気的に絶縁されている構成とすることができる。すなわち、遮光層57は電気的にフローティングの状態とすることができる。または、例えば遮光層57を容量素子60Rの一方の電極として機能させてもよい。または、コンタクト部を配線51の一部と重畳させることで、配線51の一部が遮光層57を兼ねる構成としてもよい。
図12では、図11で示した遮光層57に代えて、遮光層58を有する例を示している。
遮光層58は、導電層21のコンタクト部の上部に設けられている。遮光層58は、可視光を遮光、または可視光の少なくとも一部を吸収する機能を有する。
遮光層58は、基板11と基板12の間の距離を保持するためのギャップスペーサとして機能させることもできる。そのため、表示面を押す、または表示装置を曲げるなどの外力が加わった際や、表示装置を振動させたときなどに、液晶素子20R等のセルギャップが変化しにくいため、セルギャップが変化することによる干渉や色の変化などが生じにくい。
また遮光層58は、導電層21と導電層23とが電気的にショートすることを防ぐため、少なくともその上面が絶縁性を有していることが好ましい。
例えば、遮光層58には、顔料、染料、またはカーボンブラックなどを含む樹脂を用いることができる。また、当該樹脂が導電性を有している場合には、当該樹脂を形成した後に、絶縁膜で被覆した2層構造を有していてもよい。また配向膜24aの絶縁性が十分に高く、且つ遮光層58を十分に被覆する場合には、遮光層58の上面が導電性を有していてもよい。
なお、遮光層58を基板12側に設けることもできるが、その場合、基板11と基板12を貼り合わせる際に高い位置精度が要求されることとなる。そのため、図12に示すように、遮光層58は基板11側に設けることが好ましい。
[構成例4]
図3(A)、(B)では、画素40に1つのゲート線と、3つのソース線が接続される構成を示したが、これに限られない。以下では、画素40に3つのゲート線が接続される構成の例を示す。
〔画素構成例4〕
図13(A)に示す画素40は、それぞれゲート線として機能する配線51G、配線51R、及び配線51Bと、ソース線として機能する配線52と、電源線として機能する配線53が接続されている。
また図13(A)では、図3(A)と同様に、各トランジスタにボトムゲート構造のトランジスタを適用した場合の例を示している。
トランジスタ30R、トランジスタ30G及びトランジスタ30B、並びに容量素子60Rは、着色層41Rと重ねて配置されている。また容量素子60G、容量素子60Bはそれぞれ、着色層41G、着色層41Bと重ねて配置されている。
図13(B)に、図13(A)と対応する画素40の回路図を示している。
トランジスタ30Rは、ゲートが配線51Rと電気的に接続され、ソースまたはドレインの一方が配線52と電気的に接続され、他方が容量素子60Rの一方の電極、及び液晶素子20Rの一方の電極(画素電極)と電気的に接続されている。
トランジスタ30Gは、ゲートが配線51Rと交差し、配線51Gと電気的に接続され、ソースまたはドレインの一方が配線52と電気的に接続され、他方が配線51R及び配線51Gと交差し、容量素子60Gの一方の電極及び液晶素子20Gの画素電極と電気的に接続されている。
トランジスタ30Bは、ゲートが配線51Bと電気的に接続され、ソースまたはドレインの一方が配線52と電気的に接続され、他方が容量素子60Bの一方の電極及び液晶素子20Bの画素電極と電気的に接続されている。
また容量素子60R、容量素子60G、及び容量素子60Bのそれぞれの他方の電極は、配線53と電気的に接続されている。
[構成例5]
上記では、トランジスタ30Gのソースまたはドレインの一方、若しくはゲートが、配線と交差する交差部を有する例を示した。この交差部では、配線からの電気的なノイズが、表示に影響を及ぼす可能性があるため、交差部を設けない構成とすると、より好ましい。
〔画素構成例5-1〕
図14(A)に示す構成は、図3(A)に示す構成と比較して、トランジスタ30Gとトランジスタ30Bの間に、配線52Rが設けられている点、交差部55を有さない点などで主に相違している。
図14(A)では、配線52Rと配線52Bの間にトランジスタ30Rとトランジスタ30Bを配置し、配線52Rと配線52Gの間に、トランジスタ30Gが配置されている。また配線52Rは、着色層41Rと重なる部分を有する。
図14(A)において、配線52Rは、着色層41Rが設けられる領域を縦方向に横断するように配置されている。配線52Rが遮光性を有する場合、副画素40Rの表示領域には、縦方向に延在する非表示領域(遮光領域)を有することとなる。そのため、着色層41Rの横方向の幅を、配線52Rの幅を考慮して大きくすることが好ましい。
このような構成とすることで、交差部を設ける必要がないことに加え、図3(A)等と比較して、配線52G、配線52R、及び配線52Bを離して配置することができる。そのため、配線間の寄生容量が低減できるため、よりフレーム周波数の高い表示に適した構成といえる。
図14(B)に、図14(A)に対応する画素40の回路図を示している。
トランジスタ30Rは、ゲートが配線51と電気的に接続され、ソースまたはドレインの一方が配線52Rと電気的に接続され、他方が容量素子60Rの一方の電極、及び液晶素子20Rの一方の電極(画素電極)と電気的に接続されている。
トランジスタ30Gは、ゲートが配線51と電気的に接続され、ソースまたはドレインの一方が配線52Gと電気的に接続され、他方が容量素子60Gの一方の電極及び液晶素子20Gの画素電極と電気的に接続されている。
トランジスタ30Bは、ゲートが配線51と電気的に接続され、ソースまたはドレインの一方が配線52Bと電気的に接続され、他方が容量素子60Bの一方の電極及び液晶素子20Bの画素電極と電気的に接続されている。
〔画素構成例5-2〕
図15(A)に、以下で説明する構成の回路図を示す。図15(A)には、6つの副画素を含む画素ユニット40Uを示している。画素ユニット40Uをマトリクス状に配置することで、表示領域を構成することができる。
図15(A)に示す画素ユニット40Uは、左から一方の配線52Rと一方の配線52Gの間に副画素40R及び副画素40Gが配置され、配線52Gに隣接して配線52Bが設けられ、当該配線52Bと配線52Rの間に副画素40Bと副画素40Rが配置され、配線52Rに隣接して配線52Gが設けられ、当該配線52Gと配線52Bの間に副画素40Gと副画素40Bが配置されている。
隣接する2つの副画素には、少なくとも各副画素につき1つのトランジスタが配置される。この2つのトランジスタは、2つの副画素が有する2つの着色層のうち、いずれか一方と重畳するように配置される。このとき、2つの着色層のうち、より短波長の光を吸収する着色層に重ねて、トランジスタを配置することが好ましい。
例えば、着色層41Rが赤色を、着色層41Gが緑色を、着色層41Bが青色を、それぞれ透過する着色層である場合を考える。副画素40Rと副画素40Gの組み合わせの場合、及び副画素40Rと副画素40Bの組み合わせの場合には、いずれも赤色の着色層41Rと重ねて2つのトランジスタを配置する。一方、副画素40Gと副画素40Bの組み合わせの場合には、緑色の着色層41Gと重ねて2つのトランジスタを配置する。
例えば図15(A)に示した回路図の場合、各着色層41R、着色層41G、及び着色層41Bの配列は、図15(B)に示すようになる。
〔画素構成例5-3〕
図16(A)に示す画素40は、副画素40Wを加えた4つの副画素を有する。画素40には、2つのゲート線(配線51a、配線51b)、2つのソース線(配線52a、配線52b)、1つの電源線(配線53)が接続されている。画素40は、配線51a、配線51b、配線52a及び配線52bに囲まれた領域に、4つの副画素を縦方向に2つ、横方向に2つ配置した構成を有する。
副画素40Wは、例えば白色の光を発する副画素である。したがって、副画素40Wには着色層を設けない構成とすることができる。
画素40は、少なくとも4つのトランジスタを有する。4つのトランジスタは、各副画素の選択トランジスタとして機能する。この4つのトランジスタは、着色層41Rと重なる位置に配置される。
例えば図16(A)に示した回路図の場合、着色層の配列は、図16(B)に示すようになる。副画素40Wの領域には、着色層が設けられていない。
以上が、表示装置の各構成例についての説明である。
[各構成要素について]
以下では、上記に示す各構成要素について説明する。
〔基板〕
表示パネルが有する基板には、平坦面を有する材料を用いることができる。表示素子からの光を取り出す基板には、該光を透過する材料を用いる。例えば、ガラス、石英、セラミック、サファイヤ、有機樹脂などの材料を用いることができる。
厚さの薄い基板を用いることで、表示パネルの軽量化、薄型化を図ることができる。さらに、可撓性を有する程度の厚さの基板を用いることで、可撓性を有する表示パネルを実現できる。または、可撓性を有する程度に薄いガラスなどを基板に用いることもできる。または、ガラスと樹脂材料とが接着層により貼り合わされた複合材料を用いてもよい。
〔トランジスタ〕
トランジスタは、ゲート電極として機能する導電層と、半導体層と、ソース電極として機能する導電層と、ドレイン電極として機能する導電層と、ゲート絶縁層として機能する絶縁層と、を有する。
なお、本発明の一態様の表示装置が有するトランジスタの構造は特に限定されない。例えば、プレーナ型のトランジスタとしてもよいし、スタガ型のトランジスタとしてもよいし、逆スタガ型のトランジスタとしてもよい。また、トップゲート型またはボトムゲート型のいずれのトランジスタ構造としてもよい。または、チャネルの上下にゲート電極が設けられていてもよい。
トランジスタに用いる半導体材料の結晶性についても特に限定されず、非晶質半導体、結晶性を有する半導体(微結晶半導体、多結晶半導体、単結晶半導体、または一部に結晶領域を有する半導体)のいずれを用いてもよい。結晶性を有する半導体を用いると、トランジスタ特性の劣化を抑制できるため好ましい。
また、トランジスタに用いる半導体材料としては、エネルギーギャップが2eV以上、好ましくは2.5eV以上、より好ましくは3eV以上である金属酸化物を用いることができる。代表的には、インジウムを含む金属酸化物などであり、例えば、後述するCAC-OSなどを用いることができる。
シリコンよりもバンドギャップが広く、且つキャリア密度の小さい金属酸化物を用いたトランジスタは、その低いオフ電流により、トランジスタと直列に接続された容量素子に蓄積した電荷を長期間に亘って保持することが可能である。
半導体層は、例えばインジウム、亜鉛およびM(アルミニウム、チタン、ガリウム、ゲルマニウム、イットリウム、ジルコニウム、ランタン、セリウム、スズ、ネオジムまたはハフニウム等の金属)を含むIn-M-Zn系酸化物で表記される膜とすることができる。
半導体層を構成する金属酸化物がIn-M-Zn系酸化物の場合、In-M-Zn酸化物を成膜するために用いるスパッタリングターゲットの金属元素の原子数比は、In≧M、Zn≧Mを満たすことが好ましい。このようなスパッタリングターゲットの金属元素の原子数比として、In:M:Zn=1:1:1、In:M:Zn=1:1:1.2、In:M:Zn=3:1:2、In:M:Zn=4:2:3、In:M:Zn=4:2:4.1、In:M:Zn=5:1:6、In:M:Zn=5:1:7、In:M:Zn=5:1:8等が好ましい。なお、成膜される半導体層の原子数比はそれぞれ、上記のスパッタリングターゲットに含まれる金属元素の原子数比のプラスマイナス40%の変動を含む。
本実施の形態で例示したボトムゲート構造のトランジスタは、作製工程を削減できるため好ましい。またこのとき金属酸化物を用いることで、多結晶シリコンよりも低温で形成できる、半導体層よりも下層の配線や電極の材料、基板の材料として、耐熱性の低い材料を用いることが可能なため、材料の選択の幅を広げることができる。例えば、極めて大面積のガラス基板などを好適に用いることができる。
半導体層としては、キャリア密度の低い金属酸化物膜を用いる。例えば、半導体層は、キャリア密度が1×1017/cm以下、好ましくは1×1015/cm以下、さらに好ましくは1×1013/cm以下、より好ましくは1×1011/cm以下、さらに好ましくは1×1010/cm未満であり、1×10-9/cm以上のキャリア密度の金属酸化物を用いることができる。そのような金属酸化物を、高純度真性または実質的に高純度真性な金属酸化物と呼ぶ。これにより不純物濃度が低く、欠陥準位密度が低いため、安定な特性を有する金属酸化物であるといえる。
なお、これらに限られず、必要とするトランジスタの半導体特性および電気特性(電界効果移動度、しきい値電圧等)に応じて適切な組成のものを用いればよい。また、必要とするトランジスタの半導体特性を得るために、半導体層のキャリア密度や不純物濃度、欠陥密度、金属元素と酸素の原子数比、原子間距離、密度等を適切なものとすることが好ましい。
半導体層を構成する金属酸化物において、第14族元素の一つであるシリコンや炭素が含まれると、半導体層において酸素欠損が増加し、n型化してしまう。このため、半導体層におけるシリコンや炭素の濃度(二次イオン質量分析法により得られる濃度)を、2×1018atoms/cm以下、好ましくは2×1017atoms/cm以下とする。
また、アルカリ金属およびアルカリ土類金属は、金属酸化物と結合するとキャリアを生成する場合があり、トランジスタのオフ電流が増大してしまうことがある。このため半導体層における二次イオン質量分析法により得られるアルカリ金属またはアルカリ土類金属の濃度を、1×1018atoms/cm以下、好ましくは2×1016atoms/cm以下にする。
また、半導体層を構成する金属酸化物に窒素が含まれていると、キャリアである電子が生じ、キャリア密度が増加し、n型化しやすい。この結果、窒素が含まれている金属酸化物を用いたトランジスタはノーマリーオン特性となりやすい。このため半導体層における二次イオン質量分析法により得られる窒素濃度は、5×1018atoms/cm以下にすることが好ましい。
酸化物半導体は、単結晶酸化物半導体と、非単結晶酸化物半導体と、に分けられる。非単結晶酸化物半導体としては、CAAC-OS(c-axis-aligned crystalline oxide semiconductor)、多結晶酸化物半導体、nc-OS(nanocrystalline oxide semiconductor)、擬似非晶質酸化物半導体(a-like OS:amorphous-like oxide semiconductor)、及び非晶質酸化物半導体などがある。
また、本発明の一態様で開示されるトランジスタの半導体層には、CAC-OS(Cloud-Aligned Composite oxide semiconductor)を用いてもよい。
なお、本発明の一態様で開示されるトランジスタの半導体層は、上述した非単結晶酸化物半導体またはCAC-OSを好適に用いることができる。また、非単結晶酸化物半導体としては、nc-OSまたはCAAC-OSを好適に用いることができる。
なお、本発明の一態様では、トランジスタの半導体層として、CAC-OSを用いると好ましい。CAC-OSを用いることで、トランジスタに高い電気特性または高い信頼性を付与することができる。
なお、半導体層がCAAC-OSの領域、多結晶酸化物半導体の領域、nc-OSの領域、擬似非晶質酸化物半導体の領域、及び非晶質酸化物半導体の領域のうち、二種以上を有する混合膜であってもよい。混合膜は、例えば上述した領域のうち、いずれか二種以上の領域を含む単層構造、または積層構造を有する場合がある。
<CAC-OSの構成>
以下では、本発明の一態様で開示されるトランジスタに用いることができるCAC(Cloud-Aligned Composite)-OSの構成について説明する。
CAC-OSとは、例えば、金属酸化物を構成する元素が、0.5nm以上10nm以下、好ましくは、1nm以上2nm以下、またはその近傍のサイズで偏在した材料の一構成である。なお、以下では、金属酸化物において、一つあるいはそれ以上の金属元素が偏在し、該金属元素を有する領域が、0.5nm以上10nm以下、好ましくは、1nm以上2nm以下、またはその近傍のサイズで混合した状態をモザイク状、またはパッチ状ともいう。
なお、金属酸化物は、少なくともインジウムを含むことが好ましい。特にインジウムおよび亜鉛を含むことが好ましい。また、それらに加えて、アルミニウム、ガリウム、イットリウム、銅、バナジウム、ベリリウム、ホウ素、シリコン、チタン、鉄、ニッケル、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタル、タングステン、またはマグネシウムなどから選ばれた一種、または複数種が含まれていてもよい。
例えば、In-Ga-Zn酸化物におけるCAC-OS(CAC-OSの中でもIn-Ga-Zn酸化物を、特にCAC-IGZOと呼称してもよい。)とは、インジウム酸化物(以下、InOX1(X1は0よりも大きい実数)とする。)、またはインジウム亜鉛酸化物(以下、InX2ZnY2Z2(X2、Y2、およびZ2は0よりも大きい実数)とする。)と、ガリウム酸化物(以下、GaOX3(X3は0よりも大きい実数)とする。)、またはガリウム亜鉛酸化物(以下、GaX4ZnY4Z4(X4、Y4、およびZ4は0よりも大きい実数)とする。)などと、に材料が分離することでモザイク状となり、モザイク状のInOX1、またはInX2ZnY2Z2が、膜中に均一に分布した構成(以下、クラウド状ともいう。)である。
つまり、CAC-OSは、GaOX3が主成分である領域と、InX2ZnY2Z2、またはInOX1が主成分である領域とが、混合している構成を有する複合金属酸化物である。なお、本明細書において、例えば、第1の領域の元素Mに対するInの原子数比が、第2の領域の元素Mに対するInの原子数比よりも大きいことを、第1の領域は、第2の領域と比較して、Inの濃度が高いとする。
なお、IGZOは通称であり、In、Ga、Zn、およびOによる1つの化合物をいう場合がある。代表例として、InGaO(ZnO)m1(m1は自然数)、またはIn(1+x0)Ga(1-x0)(ZnO)m0(-1≦x0≦1、m0は任意数)で表される結晶性の化合物が挙げられる。
上記結晶性の化合物は、単結晶構造、多結晶構造、またはCAAC構造を有する。なお、CAAC構造とは、複数のIGZOのナノ結晶がc軸配向を有し、かつa-b面においては配向せずに連結した結晶構造である。
一方、CAC-OSは、金属酸化物の材料構成に関する。CAC-OSとは、In、Ga、Zn、およびOを含む材料構成において、一部にGaを主成分とするナノ粒子状に観察される領域と、一部にInを主成分とするナノ粒子状に観察される領域とが、それぞれモザイク状にランダムに分散している構成をいう。従って、CAC-OSにおいて、結晶構造は副次的な要素である。
なお、CAC-OSは、組成の異なる二種類以上の膜の積層構造は含まないものとする。例えば、Inを主成分とする膜と、Gaを主成分とする膜との2層からなる構造は、含まない。
なお、GaOX3が主成分である領域と、InX2ZnY2Z2、またはInOX1が主成分である領域とは、明確な境界が観察できない場合がある。
なお、ガリウムの代わりに、アルミニウム、イットリウム、銅、バナジウム、ベリリウム、ホウ素、シリコン、チタン、鉄、ニッケル、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタル、タングステン、またはマグネシウムなどから選ばれた一種、または複数種が含まれている場合、CAC-OSは、一部に該金属元素を主成分とするナノ粒子状に観察される領域と、一部にInを主成分とするナノ粒子状に観察される領域とが、それぞれモザイク状にランダムに分散している構成をいう。
CAC-OSは、例えば基板を意図的に加熱しない条件で、スパッタリング法により形成することができる。また、CAC-OSをスパッタリング法で形成する場合、成膜ガスとして、不活性ガス(代表的にはアルゴン)、酸素ガス、及び窒素ガスの中から選ばれたいずれか一つまたは複数を用いればよい。また、成膜時の成膜ガスの総流量に対する酸素ガスの流量比は低いほど好ましく、例えば酸素ガスの流量比を0%以上30%未満、好ましくは0%以上10%以下とすることが好ましい。
CAC-OSは、X線回折(XRD:X-ray diffraction)測定法のひとつであるOut-of-plane法によるθ/2θスキャンを用いて測定したときに、明確なピークが観察されないという特徴を有する。すなわち、X線回折から、測定領域のa-b面方向、およびc軸方向の配向は見られないことが分かる。
またCAC-OSは、プローブ径が1nmの電子線(ナノビーム電子線ともいう。)を照射することで得られる電子線回折パターンにおいて、リング状に輝度の高い領域と、該リング領域に複数の輝点が観測される。従って、電子線回折パターンから、CAC-OSの結晶構造が、平面方向、および断面方向において、配向性を有さないnc(nano-crystal)構造を有することがわかる。
また例えば、In-Ga-Zn酸化物におけるCAC-OSでは、エネルギー分散型X線分光法(EDX:Energy Dispersive X-ray spectroscopy)を用いて取得したEDXマッピングにより、GaOX3が主成分である領域と、InX2ZnY2Z2、またはInOX1が主成分である領域とが、偏在し、混合している構造を有することが確認できる。
CAC-OSは、金属元素が均一に分布したIGZO化合物とは異なる構造であり、IGZO化合物と異なる性質を有する。つまり、CAC-OSは、GaOX3などが主成分である領域と、InX2ZnY2Z2、またはInOX1が主成分である領域と、に互いに相分離し、各元素を主成分とする領域がモザイク状である構造を有する。
ここで、InX2ZnY2Z2、またはInOX1が主成分である領域は、GaOX3などが主成分である領域と比較して、導電性が高い領域である。つまり、InX2ZnY2Z2、またはInOX1が主成分である領域を、キャリアが流れることにより、金属酸化物としての導電性が発現する。従って、InX2ZnY2Z2、またはInOX1が主成分である領域が、金属酸化物中にクラウド状に分布することで、高い電界効果移動度(μ)が実現できる。
一方、GaOX3などが主成分である領域は、InX2ZnY2Z2、またはInOX1が主成分である領域と比較して、絶縁性が高い領域である。つまり、GaOX3などが主成分である領域が、金属酸化物中に分布することで、リーク電流を抑制し、良好なスイッチング動作を実現できる。
従って、CAC-OSを半導体素子に用いた場合、GaOX3などに起因する絶縁性と、InX2ZnY2Z2、またはInOX1に起因する導電性とが、相補的に作用することにより、高いオン電流(Ion)、および高い電界効果移動度(μ)を実現することができる。
また、CAC-OSを用いた半導体素子は、信頼性が高い。従って、CAC-OSは、ディスプレイをはじめとするさまざまな半導体装置に最適である。
また、半導体層にCAC-OSを有するトランジスタは電界効果移動度が高く、且つ駆動能力が高いので、該トランジスタを、駆動回路、代表的にはゲート信号を生成する走査線駆動回路に用いることで、額縁幅の狭い(狭額縁ともいう)表示装置を提供することができる。また、該トランジスタを、表示装置が有する信号線からの信号の供給を行う信号線駆動回路(とくに、信号線駆動回路が有するシフトレジスタの出力端子に接続されるデマルチプレクサ)に用いることで、表示装置に接続される配線数が少ない表示装置を提供することができる。
また、半導体層にCAC-OSを有するトランジスタは低温ポリシリコンを用いたトランジスタのように、レーザ結晶化工程が不要である。これのため、大面積基板を用いた表示装置であっても、製造コストを低減することが可能である。さらに、ウルトラハイビジョン(「4K解像度」、「4K2K」、「4K」)、スーパーハイビジョン(「8K解像度」、「8K4K」、「8K」)のような高解像度であり、且つ大型の表示装置において、半導体層にCAC-OSを有するトランジスタを駆動回路及び表示部に用いることで、短時間での書き込みが可能であり、表示不良を低減することが可能であり好ましい。
または、トランジスタのチャネルが形成される半導体にシリコンを用いてもよい。シリコンとしてアモルファスシリコンを用いてもよいが、特に結晶性を有するシリコンを用いることが好ましい。例えば、微結晶シリコン、多結晶シリコン、単結晶シリコンなどを用いることが好ましい。特に、多結晶シリコンは、単結晶シリコンに比べて低温で形成でき、且つアモルファスシリコンに比べて高い電界効果移動度と高い信頼性を備える。
本実施の形態で例示したボトムゲート構造のトランジスタは、作製工程を削減できるため好ましい。またこのときアモルファスシリコンを用いることで、多結晶シリコンよりも低温で形成できるため、半導体層よりも下層の配線や電極の材料、基板の材料として、耐熱性の低い材料を用いることが可能なため、材料の選択の幅を広げることができる。例えば、極めて大面積のガラス基板などを好適に用いることができる。一方、トップゲート型のトランジスタは、自己整合的に不純物領域を形成しやすいため、特性のばらつきなどを低減することができるため好ましい。このとき特に、多結晶シリコンや単結晶シリコンなどを用いる場合に適している。
〔導電層〕
遮光性のトランジスタのゲート、ソースおよびドレインのほか、表示装置を構成する各種配線および電極などの導電層に用いることのできる材料としては、アルミニウム、チタン、クロム、ニッケル、銅、イットリウム、ジルコニウム、モリブデン、銀、タンタル、またはタングステンなどの金属、またはこれを主成分とする合金などが挙げられる。またこれらの材料を含む膜を単層で、または積層構造として用いることができる。例えば、シリコンを含むアルミニウム膜の単層構造、チタン膜上にアルミニウム膜を積層する二層構造、タングステン膜上にアルミニウム膜を積層する二層構造、銅-マグネシウム-アルミニウム合金膜上に銅膜を積層する二層構造、チタン膜上に銅膜を積層する二層構造、タングステン膜上に銅膜を積層する二層構造、チタン膜または窒化チタン膜と、その上に重ねてアルミニウム膜または銅膜を積層し、さらにその上にチタン膜または窒化チタン膜を形成する三層構造、モリブデン膜または窒化モリブデン膜と、その上に重ねてアルミニウム膜または銅膜を積層し、さらにその上にモリブデン膜または窒化モリブデン膜を形成する三層構造等がある。なお、酸化インジウム、酸化錫または酸化亜鉛等の酸化物を用いてもよい。また、マンガンを含む銅を用いると、エッチングによる形状の制御性が高まるため好ましい。
また、透光性のトランジスタのゲート、ソースおよびドレインのほか、表示装置を構成する各種配線及び電極などの導電層に用いることのできる、透光性を有する導電性材料としては、酸化インジウム、インジウム錫酸化物、インジウム亜鉛酸化物、酸化亜鉛、ガリウムを添加した酸化亜鉛などの導電性酸化物またはグラフェンを用いることができる。または、金、銀、白金、マグネシウム、ニッケル、タングステン、クロム、モリブデン、鉄、コバルト、銅、パラジウム、またはチタンなどの金属材料や、該金属材料を含む合金材料を用いることができる。または、該金属材料の窒化物(例えば、窒化チタン)などを用いてもよい。なお、金属材料、合金材料(またはそれらの窒化物)を用いる場合には、透光性を有する程度に薄くすればよい。また、上記材料の積層膜を導電層として用いることができる。例えば、銀とマグネシウムの合金とインジウムスズ酸化物の積層膜などを用いると、導電性を高めることができるため好ましい。これらは、表示装置を構成する各種配線および電極などの導電層や、表示素子が有する導電層(画素電極や共通電極として機能する導電層)にも用いることができる。
また、透光性を有する導電性材料として、不純物元素を含有させるなどして低抵抗化された酸化物半導体(酸化物導電体(OC:Oxide Conductor))を用いることが好ましい。
〔絶縁層〕
各絶縁層に用いることのできる絶縁材料としては、例えば、アクリル、エポキシなどの樹脂、シロキサン結合を有する樹脂の他、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化シリコン、酸化アルミニウムなどの無機絶縁材料を用いることもできる。
透水性の低い絶縁膜としては、窒化シリコン膜、窒化酸化シリコン膜等の窒素と珪素を含む膜や、窒化アルミニウム膜等の窒素とアルミニウムを含む膜等が挙げられる。また、酸化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜、酸化アルミニウム膜等を用いてもよい。
〔液晶素子〕
液晶素子としては、例えば垂直配向(VA:Vertical Alignment)モードが適用された液晶素子を用いることができる。垂直配向モードとしては、MVA(Multi-Domain Vertical Alignment)モード、PVA(Patterned Vertical Alignment)モード、ASV(Advanced Super View)モードなどを用いることができる。
また、液晶素子には、様々なモードが適用された液晶素子を用いることができる。例えばVAモードのほかに、TN(Twisted Nematic)モード、IPS(In-Plane-Switching)モード、FFS(Fringe Field Switching)モード、ASM(Axially Symmetric aligned Micro-cell)モード、OCB(Optically Compensated Birefringence)モード、FLC(Ferroelectric Liquid Crystal)モード、AFLC(AntiFerroelectric Liquid Crystal)モード、ECB(Electrically Controlled Birefringence)モード、ゲストホストモード等が適用された液晶素子を用いることができる。
なお、液晶素子は、液晶の光学的変調作用によって光の透過または非透過を制御する素子である。なお、液晶の光学的変調作用は、液晶にかかる電界(横方向の電界、縦方向の電界または斜め方向の電界を含む)によって制御される。なお、液晶素子に用いる液晶としては、サーモトロピック液晶、低分子液晶、高分子液晶、高分子分散型液晶(PDLC:Polymer Dispersed Liquid Crystal)、高分子ネットワーク型液晶(PNLC:Polymer Network Liquid Crystal)、強誘電性液晶、反強誘電性液晶等を用いることができる。これらの液晶材料は、条件により、コレステリック相、スメクチック相、キュービック相、カイラルネマチック相、等方相等を示す。
また、液晶材料としては、ポジ型の液晶、またはネガ型の液晶のいずれを用いてもよく、適用するモードや設計に応じて最適な液晶材料を用いればよい。
また、液晶の配向を制御するため、配向膜を設けることができる。なお、横電界方式を採用する場合、配向膜を用いないブルー相を示す液晶を用いてもよい。ブルー相は液晶相の一つであり、コレステリック液晶を昇温していくと、コレステリック相から等方相へ転移する直前に発現する相である。ブルー相は狭い温度範囲でしか発現しないため、温度範囲を改善するために数重量%以上のカイラル剤を混合させた液晶組成物を液晶層に用いる。ブルー相を示す液晶とカイラル剤とを含む液晶組成物は、応答速度が短く、光学的等方性である。また、ブルー相を示す液晶とカイラル剤とを含む液晶組成物は、配向処理が不要であり、視野角依存性が小さい。また配向膜を設けなくてもよいのでラビング処理も不要となるため、ラビング処理によって引き起こされる静電破壊を防止することができ、作製工程中の液晶表示装置の不良や破損を軽減することができる。
また、液晶素子として、透過型の液晶素子、反射型の液晶素子、または半透過型の液晶素子などがある。
本発明の一態様では、特に透過型の液晶素子を好適に用いることができる。
透過型または半透過型の液晶素子を用いる場合、一対の基板を挟むように、2つの偏光板を設ける。また偏光板よりも外側に、バックライトを設ける。バックライトとしては、直下型のバックライトであってもよいし、エッジライト型のバックライトであってもよい。LED(Light Emitting Diode)を備える直下型のバックライトを用いると、ローカルディミングが容易となり、コントラストを高めることができるため好ましい。また、エッジライト型のバックライトを用いると、バックライトを含めたモジュールの厚さを低減できるため好ましい。
なお、エッジライト型のバックライトをオフ状態とすることで、シースルー表示を行うことができる。
〔着色層〕
着色層に用いることのできる材料としては、金属材料、樹脂材料、顔料または染料が含まれた樹脂材料などが挙げられる。
〔遮光層〕
遮光層として用いることのできる材料としては、カーボンブラック、チタンブラック、金属、金属酸化物、複数の金属酸化物の固溶体を含む複合酸化物等が挙げられる。遮光層は、樹脂材料を含む膜であってもよいし、金属などの無機材料の薄膜であってもよい。また、遮光層に、着色層の材料を含む膜の積層膜を用いることもできる。例えば、ある色の光を透過する着色層に用いる材料を含む膜と、他の色の光を透過する着色層に用いる材料を含む膜との積層構造を用いることができる。着色層と遮光層の材料を共通化することで、装置を共通化できるほか工程を簡略化できるため好ましい。
以上が構成要素についての説明である。
本実施の形態は、少なくともその一部を本明細書中に記載する他の実施の形態と適宜組み合わせて実施することができる。
(実施の形態2)
本実施の形態では、本発明の一態様の表示装置に適用可能な入力装置(タッチセンサ)、及び本発明の一態様の表示装置の例である入出力装置(タッチパネル)等の構成例について説明する。
[タッチセンサの構成例]
以下では、入力装置(タッチセンサ)の構成例について、図面を参照して説明する。
図17(A)に、入力装置550の上面概略図を示す。入力装置550は、基板560上に複数の導電層551、複数の導電層552、複数の配線555、複数の配線556を有する。また基板560には、複数の導電層551及び複数の導電層552の各々と電気的に接続するFPC557が設けられている。また、図17(A)では、FPC557にIC558が設けられている例を示している。
図17(B)に、図17(A)中の一点鎖線で囲った領域の拡大図を示す。導電層551は、複数の菱形の電極パターンが、横方向に連なった形状を有している。一列に並んだ菱形の電極パターンは、それぞれ電気的に接続されている。また導電層552も同様に、複数の菱形の電極パターンが、縦方向に連なった形状を有し、一列に並んだ菱形の電極パターンはそれぞれ電気的に接続されている。また、導電層551と、導電層552とはこれらの一部が重畳し、互いに交差している。この交差部分では導電層551と導電層552とが電気的に短絡(ショート)しないように、絶縁体が挟持されている。
また図17(C)に示すように、菱形の形状を有する複数の導電層552が、導電層553によって接続された構成としてもよい。島状の導電層552は、縦方向に並べて配置され、導電層553により隣接する2つの導電層552が電気的に接続されている。このような構成とすることで、導電層551と、導電層552を同一の導電膜を加工することで同時に形成することができる。そのためこれらの膜厚のばらつきを抑制することができ、それぞれの電極の抵抗値や光透過率が場所によってばらつくことを抑制できる。なお、ここでは導電層552が導電層553を有する構成としたが、導電層551がこのような構成であってもよい。
また、図17(D)に示すように、図17(B)で示した導電層551及び導電層552の菱形の電極パターンの内側をくりぬいて、輪郭部のみを残したような形状としてもよい。このとき、導電層551及び導電層552の幅が、使用者から視認されない程度に細い場合には、後述するように導電層551及び導電層552に金属や合金などの遮光性の材料を用いてもよい。また、図17(D)に示す導電層551または導電層552が、上記導電層553を有する構成としてもよい。
1つの導電層551は、1つの配線555と電気的に接続している。また1つの導電層552は、1つの配線556と電気的に接続している。ここで、導電層551と導電層552のいずれか一方が、行配線に相当し、いずれか他方が列配線に相当する。
IC558は、タッチセンサを駆動する機能を有する。IC558から出力された信号は配線555または配線556を介して、導電層551または導電層552のいずれかに供給される。また導電層551または導電層552のいずれかに流れる電流(または電位)が、配線555または配線556を介してIC558に入力される。
ここで、入力装置550を表示パネルの表示面に重ねて、タッチパネルを構成する場合には、導電層551及び導電層552に透光性を有する導電性材料を用いることが好ましい。また、導電層551及び導電層552に透光性の導電性材料を用い、表示パネルからの光を導電層551または導電層552を介して取り出す場合には、導電層551と導電層552との間に、同一の導電性材料を含む導電膜をダミーパターンとして配置することが好ましい。このように、導電層551と導電層552との間の隙間の一部をダミーパターンにより埋めることにより、光透過率のばらつきを低減できる。その結果、入力装置550を透過する光の輝度ムラを低減することができる。
透光性を有する導電性材料としては、酸化インジウム、インジウム錫酸化物、インジウム亜鉛酸化物、酸化亜鉛、ガリウムを添加した酸化亜鉛などの導電性酸化物を用いることができる。なお、グラフェンを含む膜を用いることもできる。グラフェンを含む膜は、例えば酸化グラフェンを含む膜を還元して形成することができる。還元する方法としては、熱を加える方法等を挙げることができる。
または、透光性を有する程度に薄い金属または合金を用いることができる。例えば、金、銀、白金、マグネシウム、ニッケル、タングステン、クロム、モリブデン、鉄、コバルト、銅、パラジウム、またはチタンなどの金属や、該金属を含む合金を用いることができる。または、該金属または合金の窒化物(例えば、窒化チタン)などを用いてもよい。また、上述した材料を含む導電膜のうち、2以上を積層した積層膜を用いてもよい。
また、導電層551及び導電層552には、使用者から視認されない程度に細く加工された導電膜を用いてもよい。例えば、このような導電膜を格子状(メッシュ状)に加工することで、高い導電性と表示装置の高い視認性を得ることができる。このとき、導電膜は30nm以上100μm以下、好ましくは50nm以上50μm以下、より好ましくは50nm以上20μm以下の幅である部分を有することが好ましい。特に、10μm以下のパターン幅を有する導電膜は、使用者が視認することが極めて困難となるため好ましい。
一例として、図18(A)乃至(D)に、導電層551または導電層552の一部を拡大した概略図を示している。図18(A)は、格子状の導電膜546を用いた場合の例を示している。このとき、導電膜546を、表示装置が有する表示素子と重ならないように配置することで、表示装置からの光を遮光することがないため好ましい。その場合、格子の向きを表示素子の配列と同じ向きとし、また格子の周期を表示素子の配列の周期の整数倍とすることが好ましい。
また、図18(B)には、三角形の開口が形成されるように加工された格子状の導電膜547の例を示している。このような構成とすることで、図18(A)に示した場合に比べて抵抗をより低くすることが可能となる。
また、図18(C)に示すように、周期性を有さないパターン形状を有する導電膜548としてもよい。このような構成とすることで、表示装置の表示部と重ねたときにモアレが生じることを抑制できる。
また、導電層551及び導電層552に、導電性のナノワイヤを用いてもよい。図18(D)には、ナノワイヤ549を用いた場合の例を示している。隣接するナノワイヤ549同士が接触するように、適当な密度で分散することにより、2次元的なネットワークが形成され、極めて透光性の高い導電膜として機能させることができる。例えば直径の平均値が1nm以上100nm以下、好ましくは5nm以上50nm以下、より好ましくは5nm以上25nm以下のナノワイヤを用いることができる。ナノワイヤ549としては、Agナノワイヤや、Cuナノワイヤ、Alナノワイヤ等の金属ナノワイヤ、または、カーボンナノチューブなどを用いることができる。例えばAgナノワイヤの場合、光透過率は89%以上、シート抵抗値は40Ω/□以上100Ω/□以下を実現することができる。
以上がタッチセンサの構成例についての説明である。
[タッチパネルの構成例]
本発明の一態様のタッチパネルが有する検知素子(センサ素子ともいう)に限定は無い。指やスタイラスなどの被検知体の近接又は接触を検知することのできる様々なセンサを、検知素子として適用することができる。
例えばセンサの方式としては、静電容量方式、抵抗膜方式、表面弾性波方式、赤外線方式、光学方式、感圧方式など様々な方式を用いることができる。
本実施の形態では、静電容量方式の検知素子を有するタッチパネルを例に挙げて説明する。
静電容量方式としては、表面型静電容量方式、投影型静電容量方式等がある。また、投影型静電容量方式としては、自己容量方式、相互容量方式等がある。相互容量方式を用いると、同時多点検出が可能となるため好ましい。
本発明の一態様のタッチパネルは、別々に作製された表示装置と検知素子とを貼り合わせる構成、表示素子を支持する基板及び対向基板の一方又は双方に検知素子を構成する電極等を設ける構成等、様々な構成を適用することができる。
〔構成例〕
図19(A)は、タッチパネル420Aの斜視概略図である。図19(B)は、図19(A)を展開した斜視概略図である。なお明瞭化のため、代表的な構成要素のみを示している。図19(B)では、一部の構成要素(基板430、基板472等)を破線で輪郭のみ明示している。
タッチパネル420Aは、入力装置410と、表示装置470とを有し、これらが重ねて設けられている。したがってタッチパネル420Aはアウトセル型のタッチパネルと呼ぶことができる。
表示装置470としては、実施の形態1に示す表示装置を用いることができる。したがって、タッチパネル420Aは、開口率が極めて高く、低消費電力なタッチパネルである。
入力装置410は、基板430、電極431、電極432、複数の配線441、及び複数の配線442を有する。FPC450は、複数の配線441及び複数の配線442の各々と電気的に接続する。FPC450にはIC451が設けられている。
表示装置470は、対向して設けられた基板471と基板472とを有する。表示装置470は、表示部481及び駆動回路部482を有する。基板471上には、配線407等が設けられている。FPC473は、配線407と電気的に接続される。FPC473にはIC474が設けられている。
図19(A)に示すタッチパネル420は、FPC473、IC474、FPC450、及びIC451等が実装されているため、タッチパネルモジュールとも呼ぶことができる。
本実施の形態は、少なくともその一部を本明細書中に記載する他の実施の形態と適宜組み合わせて実施することができる。
(実施の形態3)
液晶素子を駆動する画素回路には、酸化物半導体が適用され、オフ電流が極めて低いトランジスタを適用することが好ましい。または、当該画素回路に記憶素子を適用してもよい。これにより、液晶素子を用いて静止画を表示する際に画素への書き込み動作を停止しても、階調を維持させることが可能となる。すなわち、フレームレートを極めて小さくしても表示を保つことができる。これにより、極めて低消費電力な表示を行うことができる。
以下では、液晶素子で行うことができる動作モードについて、図20を用いて説明を行う。
なお、以下では、通常のフレーム周波数(代表的には30Hz以上240Hz以下、または60Hz以上240Hz以下)で動作する通常動作モード(Normal mode)と、低速のフレーム周波数で動作するアイドリング・ストップ(IDS)駆動モードと、を例示して説明する。
なお、アイドリング・ストップ(IDS)駆動モードとは、画像データの書き込み処理を実行した後、画像データの書き換えを停止する駆動方法のことをいう。一旦画像データの書き込みをして、その後、次の画像データの書き込みまでの間隔を延ばすことで、その間の画像データの書き込みに要する分の消費電力を削減することができる。アイドリング・ストップ(IDS)駆動モードは、例えば、通常動作モードの1/100乃至1/10程度のフレーム周波数とすることができる。
図20(A)(B)(C)は、通常駆動モードとアイドリング・ストップ(IDS)駆動モードを説明する回路図及びタイミングチャートである。なお、図20(A)では、液晶素子601(ここでは透過型の液晶素子)と、液晶素子601に電気的に接続される画素回路606と、を明示している。また、図20(A)に示す画素回路606では、信号線SLと、ゲート線GLと、信号線SL及びゲート線GLに接続されたトランジスタM1と、トランジスタM1に接続される容量素子CsLCとを図示している。
トランジスタM1としては、半導体層に金属酸化物を有するトランジスタを用いることが好ましい。金属酸化物を有するトランジスタが増幅作用、整流作用、及びスイッチング作用の少なくとも1つを有する場合、当該金属酸化物を、金属酸化物半導体(metal oxide semiconductor)または酸化物半導体(oxide semiconductor)、略してOSと呼ぶことができる。以下、トランジスタの代表例として、酸化物半導体を有するトランジスタ(OSトランジスタ)を用いて説明する。OSトランジスタは、非導通状態時のリーク電流(オフ電流)が極めて低いため、OSトランジスタを非導通状態とすることで液晶素子の画素電極に電荷の保持をすることができる。
なお、図20(A)に示す回路図において、液晶素子LCはデータDのリークパスとなる。したがって、適切にアイドリング・ストップ駆動を行うには、液晶素子LCの抵抗率を1.0×1014Ω・cm以上とすることが好ましい。
なお、上記OSトランジスタのチャネル領域には、例えば、In-Ga-Zn酸化物、In-Zn酸化物などを好適に用いることができる。また、上記In-Ga-Zn酸化物としては、代表的には、In:Ga:Zn=1:1:1[原子数比]近傍、またはIn:Ga:Zn=4:2:3[原子数比]近傍の組成を用いることができる。
また、図20(B)は、通常駆動モードでの信号線SLおよびゲート線GLにそれぞれ与える信号の波形を示すタイミングチャートである。通常駆動モードでは通常のフレーム周波数(例えば60Hz)で動作する。図20(B)に期間TからTまでを表す。各フレーム期間でゲート線GLに走査信号を与え、信号線SLからデータDを書き込む動作を行う。この動作は、期間TからTまでで同じデータDを書き込む場合、または異なるデータを書き込む場合でも同じである。
一方、図20(C)は、アイドリング・ストップ(IDS)駆動モードでの信号線SLおよびゲート線GLに、それぞれ与える信号の波形を示すタイミングチャートである。アイドリング・ストップ(IDS)駆動では低速のフレーム周波数(例えば1Hz以下)で動作する。1フレーム期間を期間Tで表し、その中でデータの書き込み期間を期間T、データの保持期間を期間TRETで表す。アイドリング・ストップ(IDS)駆動モードは、期間Tでゲート線GLに走査信号を与え、信号線SLのデータDを書き込み、期間TRETでゲート線GLをローレベルの電圧に固定し、トランジスタM1を非導通状態として一旦書き込んだデータDを保持させる動作を行う。なお、低速のフレーム周波数としては、例えば、0.1Hz以上60Hz未満、または0.1Hz以上30Hz未満とすればよい。
本実施の形態は、少なくともその一部を本明細書中に記載する他の実施の形態と適宜組み合わせて実施することができる。
(実施の形態4)
本実施の形態では、本発明の一態様を用いて作製することができる表示モジュールについて説明する。
図21(A)に示す表示モジュール6000は、上部カバー6001と下部カバー6002との間に、FPC6005に接続された表示パネル6006、フレーム6009、プリント基板6010、及びバッテリ6011を有する。
例えば、本発明の一態様を用いて作製された表示装置を、表示パネル6006に用いることができる。表示パネル6006は、偏光板及びバックライトを有する構成とすることができる。極めて消費電力の低い表示モジュールを実現することができる。
上部カバー6001及び下部カバー6002は、表示パネル6006のサイズに合わせて、形状や寸法を適宜変更することができる。
また、表示パネル6006に重ねてタッチパネルを設けてもよい。タッチパネルとしては、抵抗膜方式または静電容量方式のタッチパネルを表示パネル6006に重畳して用いることができる。また、タッチパネルを設けず、表示パネル6006に、タッチパネル機能を持たせるようにすることも可能である。
フレーム6009は、表示パネル6006の保護機能の他、プリント基板6010の動作により発生する電磁波を遮断するための電磁シールドとしての機能を有する。またフレーム6009は、放熱板としての機能を有していてもよい。
プリント基板6010は、電源回路、ビデオ信号及びクロック信号を出力するための信号処理回路を有する。電源回路に電力を供給する電源としては、外部の商用電源であってもよいし、別途設けたバッテリ6011による電源であってもよい。バッテリ6011は、商用電源を用いる場合には、省略可能である。
図21(B)は、光学式のタッチセンサを備える表示モジュール6000の断面概略図である。
表示モジュール6000は、プリント基板6010に設けられた発光部6015及び受光部6016を有する。また、上部カバー6001と下部カバー6002により囲まれた領域に一対の導光部(導光部6017a、導光部6017b)を有する。
上部カバー6001と下部カバー6002は、例えばプラスチック等を用いることができる。また、上部カバー6001と下部カバー6002とは、それぞれ薄く(例えば0.5mm以上5mm以下)することが可能である。そのため、表示モジュール6000を極めて軽量にすることが可能となる。また少ない材料で上部カバー6001と下部カバー6002を作製できるため、作製コストを低減できる。
表示パネル6006は、フレーム6009を間に介してプリント基板6010やバッテリ6011と重ねて設けられている。表示パネル6006とフレーム6009は、導光部6017a、導光部6017bに固定されている。
発光部6015から発せられた光6018は、導光部6017aにより表示パネル6006の上部を経由し、導光部6017bを通って受光部6016に達する。例えば指やスタイラスなどの被検知体により、光6018が遮られることにより、タッチ操作を検出することができる。
発光部6015は、例えば表示パネル6006の隣接する2辺に沿って複数設けられる。受光部6016は、発光部6015と対向する位置に複数設けられる。これにより、タッチ操作がなされた位置の情報を取得することができる。
発光部6015は、例えばLED素子などの光源を用いることができる。特に、発光部6015として、使用者に視認されず、且つ使用者にとって無害である赤外線を発する光源を用いることが好ましい。
受光部6016は、発光部6015が発する光を受光し、電気信号に変換する光電素子を用いることができる。好適には、赤外線を受光可能なフォトダイオードを用いることができる。
導光部6017a、導光部6017bとしては、少なくとも光6018を透過する部材を用いることができる。導光部6017a及び導光部6017bを用いることで、発光部6015と受光部6016とを表示パネル6006の下側に配置することができ、外光が受光部6016に到達してタッチセンサが誤動作することを抑制できる。特に、可視光を吸収し、赤外線を透過する樹脂を用いることが好ましい。これにより、タッチセンサの誤動作をより効果的に抑制できる。
本実施の形態は、少なくともその一部を本明細書中に記載する他の実施の形態と適宜組み合わせて実施することができる。
(実施の形態5)
本実施の形態では、本発明の一態様の表示装置を適用可能な電子機器について説明する。
本発明の一態様の表示装置は、明るい表示を行うことができ、外光の強さに依らず高い視認性を実現できる。また、本発明の一態様の表示装置は、低い消費電力を実現することができる。そのため、携帯型の電子機器、装着型の電子機器(ウェアラブル機器)、及び電子書籍端末、テレビジョン装置、デジタルサイネージ、などに好適に用いることができる。
図22(A)、(B)に、携帯情報端末800の一例を示す。携帯情報端末800は、筐体801、筐体802、表示部803、表示部804、及びヒンジ部805等を有する。
筐体801と筐体802は、ヒンジ部805で連結されている。携帯情報端末800は、図22(A)に示すように折り畳んだ状態から、図22(B)に示すように筐体801と筐体802を開くことができる。
例えば表示部803及び表示部804に、文書情報を表示することが可能であり、電子書籍端末としても用いることができる。また、表示部803及び表示部804に静止画像や動画像を表示することもできる。
このように、携帯情報端末800は、持ち運ぶ際には折り畳んだ状態にできるため、汎用性に優れる。
なお、筐体801及び筐体802には、電源ボタン、操作ボタン、外部接続ポート、スピーカ、マイク等を有していてもよい。
図22(C)に携帯情報端末の一例を示す。図22(C)に示す携帯情報端末810は、筐体811、表示部812、操作ボタン813、外部接続ポート814、スピーカ815、マイク816、カメラ817等を有する。
表示部812に、本発明の一態様の表示装置を備える。
携帯情報端末810は、表示部812にタッチセンサを備える。電話を掛ける、或いは文字を入力するなどのあらゆる操作は、指やスタイラスなどで表示部812に触れることで行うことができる。
また、操作ボタン813の操作により、電源のON、OFF動作や、表示部812に表示される画像の種類を切り替えることができる。例えば、メール作成画面から、メインメニュー画面に切り替えることができる。
また、携帯情報端末810の内部に、ジャイロセンサまたは加速度センサ等の検出装置を設けることで、携帯情報端末810の向き(縦か横か)を判断して、表示部812の画面表示の向きを自動的に切り替えるようにすることができる。また、画面表示の向きの切り替えは、表示部812を触れること、操作ボタン813の操作、またはマイク816を用いた音声入力等により行うこともできる。
携帯情報端末810は、例えば、電話機、手帳または情報閲覧装置等から選ばれた一つまたは複数の機能を有する。具体的には、スマートフォンとして用いることができる。携帯情報端末810は、例えば、移動電話、電子メール、文章閲覧及び作成、音楽再生、動画再生、インターネット通信、ゲームなどの種々のアプリケーションを実行することができる。
図22(D)に、カメラの一例を示す。カメラ820は、筐体821、表示部822、操作ボタン823、シャッターボタン824等を有する。またカメラ820には、着脱可能なレンズ826が取り付けられている。
表示部822に、本発明の一態様の表示装置を備える。
ここではカメラ820として、レンズ826を筐体821から取り外して交換することが可能な構成としたが、レンズ826と筐体が一体となっていてもよい。
カメラ820は、シャッターボタン824を押すことにより、静止画、または動画を撮像することができる。また、表示部822はタッチパネルとしての機能を有し、表示部822をタッチすることにより撮像することも可能である。
なお、カメラ820は、ストロボ装置や、ビューファインダーなどを別途装着することができる。または、これらが筐体821に組み込まれていてもよい。
図23(A)に、テレビジョン装置830を示す。テレビジョン装置830は、表示部831、筐体832、スピーカ833等を有する。さらに、LEDランプ、操作キー(電源スイッチ、または操作スイッチを含む)、接続端子、各種センサ、マイクロフォン等を有することができる。
またテレビジョン装置830は、リモコン操作機834により、操作することができる。
テレビジョン装置830が受信できる放送電波としては、地上波、または衛星から送信される電波などが挙げられる。また放送電波として、アナログ放送、デジタル放送などがあり、また映像及び音声、または音声のみの放送などがある。例えばUHF帯(約300MHz~3GHz)またはVHF帯(30MHz~300MHz)のうちの特定の周波数帯域で送信される放送電波を受信することができる。
テレビジョン装置830は、例えば、複数の周波数帯域で受信した複数のデータを用いることで、転送レートを高くすることができ、より多くの情報を得ることができる。これによりフルハイビジョンを超える解像度を有する映像を、表示部831に表示させることができる。例えば、4K2K、8K4K、16K8K、またはそれ以上の解像度を有する映像を表示させることができる。
また、テレビジョン装置830は、インターネットやLAN(Local Area Network)、Wi-Fi(登録商標)などのコンピュータネットワークを介したデータ伝送技術により送信された放送のデータを用いて、表示部831に表示する画像を生成する構成としてもよい。このとき、テレビジョン装置830にチューナを有さなくてもよい。
図23(B)は円柱状の柱842に取り付けられたデジタルサイネージ840を示している。デジタルサイネージ840は、表示部841を有する。
表示部841が広いほど、一度に提供できる情報量を増やすことができる。また、表示部841が広いほど、人の目につきやすく、例えば、広告の宣伝効果を高めることができる。
表示部841にタッチパネルを適用することで、表示部841に画像または動画を表示するだけでなく、使用者が直感的に操作することができ、好ましい。また、路線情報もしくは交通情報などの情報を提供するための用途に用いる場合には、直感的な操作によりユーザビリティを高めることができる。
図23(C)はノート型のパーソナルコンピュータ850を示している。パーソナルコンピュータ850は、表示部851、筐体852、タッチパッド853、接続ポート854等を有する。
タッチパッド853は、ポインティングデバイスや、ペンタブレット等の入力手段として機能し、指やスタイラス等で操作することができる。
また、タッチパッド853には表示素子が組み込まれている。図23(C)に示すように、タッチパッド853の表面に入力キー855を表示することで、タッチパッド853をキーボードとして使用することができる。このとき、入力キー855に触れた際に、振動により触感を実現するため、振動モジュールがタッチパッド853に組み込まれていてもよい。
本実施の形態は、少なくともその一部を本明細書中に記載する他の実施の形態と適宜組み合わせて実施することができる。
10 表示装置
11 基板
12 基板
13 表示部
13B 表示領域
13G 表示領域
13R 表示領域
14 回路
15 配線
16 FPC
17 IC
20 液晶素子
20B 液晶素子
20G 液晶素子
20R 液晶素子
21 導電層
22 液晶
23 導電層
24a 配向膜
24b 配向膜
25B 光
25G 光
25R 光
26 絶縁層
30 トランジスタ
30a トランジスタ
30B トランジスタ
30G トランジスタ
30R トランジスタ
31 導電層
31a 導電層
32 半導体層
32a 低抵抗領域
33 導電層
34 絶縁層
39a 偏光板
39b 偏光板
40 画素
40B 副画素
40G 副画素
40R 副画素
40W 副画素
40s 遮光領域
40t 透過領域
40U 画素ユニット
41B 着色層
41G 着色層
41R 着色層
42 遮光層
51 配線
51a 配線
51b 配線
51B 配線
51G 配線
51R 配線
52 配線
52a 配線
52b 配線
52B 配線
52G 配線
52R 配線
53 配線
55 交差部
57 遮光層
58 遮光層
60B 容量素子
60G 容量素子
60R 容量素子
81 絶縁層
82 絶縁層
83 絶縁層
90 バックライトユニット
407 配線
410 入力装置
420 タッチパネル
420A タッチパネル
430 基板
431 電極
432 電極
441 配線
442 配線
450 FPC
451 IC
470 表示装置
471 基板
472 基板
473 FPC
474 IC
481 表示部
482 駆動回路部
546 導電膜
547 導電膜
548 導電膜
549 ナノワイヤ
550 入力装置
551 導電層
552 導電層
553 導電層
555 配線
556 配線
557 FPC
558 IC
560 基板
601 液晶素子
606 画素回路
800 携帯情報端末
801 筐体
802 筐体
803 表示部
804 表示部
805 ヒンジ部
810 携帯情報端末
811 筐体
812 表示部
813 操作ボタン
814 外部接続ポート
815 スピーカ
816 マイク
817 カメラ
820 カメラ
821 筐体
822 表示部
823 操作ボタン
824 シャッターボタン
826 レンズ
830 テレビジョン装置
831 表示部
832 筐体
833 スピーカ
834 リモコン操作機
840 デジタルサイネージ
841 表示部
842 柱
850 パーソナルコンピュータ
851 表示部
852 筐体
853 タッチパッド
854 接続ポート
855 入力キー
6000 表示モジュール
6001 上部カバー
6002 下部カバー
6005 FPC
6006 表示パネル
6009 フレーム
6010 プリント基板
6011 バッテリ
6015 発光部
6016 受光部
6017a 導光部
6017b 導光部
6018 光

Claims (7)

  1. 第1の着色層と、第2の着色層と、第1のトランジスタと、第2のトランジスタと、第1の表示素子と、第2の表示素子と、を有し、
    前記第1の表示素子は、前記第1のトランジスタと電気的に接続され、且つ、前記第1の着色層と重畳し、
    前記第2の表示素子は、前記第2のトランジスタと電気的に接続され、且つ、前記第2の着色層と重畳し、
    前記第1のトランジスタは、第1の半導体層を有し、
    前記第2のトランジスタは、第2の半導体層を有し、
    前記第1の半導体層と、前記第2の半導体層とは、それぞれ前記第1の着色層と重畳する部分を有し、
    記第1のトランジスタは、第1のゲート電極、並びに前記第1の半導体層と接続する第1の電極及び第2の電極を有し、
    前記第2のトランジスタは、第2のゲート電極、並びに前記第2の半導体層と接続する第3の電極及び第4の電極を有し
    1の配線及び第2の配線を有し、
    前記第1の電極は、前記第1の配線と電気的に接続し、
    前記第2の電極は、前記第1の表示素子と電気的に接続し、
    前記第3の電極は、前記第2の配線と電気的に接続し、
    前記第4の電極は、前記第2の表示素子と電気的に接続し、
    前記第4の電極は、前記第2の配線と交差する部分を有する、表示装置。
  2. 第1の着色層と、第2の着色層と、第1のトランジスタと、第2のトランジスタと、第1の表示素子と、第2の表示素子と、を有し、
    前記第1の表示素子は、前記第1のトランジスタと電気的に接続され、且つ、前記第1の着色層と重畳し、
    前記第2の表示素子は、前記第2のトランジスタと電気的に接続され、且つ、前記第2の着色層と重畳し、
    前記第1のトランジスタは、第1の半導体層を有し、
    前記第2のトランジスタは、第2の半導体層を有し、
    前記第1の半導体層と、前記第2の半導体層とは、それぞれ前記第1の着色層と重畳する部分を有し、
    記第1のトランジスタは、第1のゲート電極、並びに前記第1の半導体層と接続する第1の電極及び第2の電極を有し、
    前記第2のトランジスタは、第2のゲート電極、並びに前記第2の半導体層と接続する第3の電極及び第4の電極を有し
    1の配線及び第2の配線を有し、
    前記第1の電極は、前記第1の配線と電気的に接続し、
    前記第2の電極は、前記第1の表示素子と電気的に接続し、
    前記第3の電極は、前記第2の配線と電気的に接続し、
    前記第4の電極は、前記第2の表示素子と電気的に接続し、
    前記第4の電極は、前記第1の配線と交差する部分、及び前記第2の配線と交差する部分を有する、表示装置。
  3. 第1の着色層と、第2の着色層と、第1のトランジスタと、第2のトランジスタと、第1の表示素子と、第2の表示素子と、を有し、
    前記第1の表示素子は、前記第1のトランジスタと電気的に接続され、且つ、前記第1の着色層と重畳し、
    前記第2の表示素子は、前記第2のトランジスタと電気的に接続され、且つ、前記第2の着色層と重畳し、
    前記第1のトランジスタは、第1の半導体層を有し、
    前記第2のトランジスタは、第2の半導体層を有し、
    前記第1の半導体層と、前記第2の半導体層とは、それぞれ前記第1の着色層と重畳する部分を有し、
    1の配線及び第2の配線を有し、
    前記第1のトランジスタは、第1のゲート電極を有し、
    前記第2のトランジスタは、第2のゲート電極を有し、
    前記第1の半導体層は、前記第1のゲート電極と重畳する部分と、前記第1の配線と電気的に接続する部分と、を有し、
    前記第2の半導体層は、前記第2のゲート電極と重畳する部分と、前記第2の配線と電気的に接続する部分と、前記第2の配線と交差する部分と、を有する、表示装置。
  4. 第1の着色層と、第2の着色層と、第1のトランジスタと、第2のトランジスタと、第1の表示素子と、第2の表示素子と、を有し、
    前記第1の表示素子は、前記第1のトランジスタと電気的に接続され、且つ、前記第1の着色層と重畳し、
    前記第2の表示素子は、前記第2のトランジスタと電気的に接続され、且つ、前記第2の着色層と重畳し、
    前記第1のトランジスタは、第1の半導体層を有し、
    前記第2のトランジスタは、第2の半導体層を有し、
    前記第1の半導体層と、前記第2の半導体層とは、それぞれ前記第1の着色層と重畳する部分を有し、
    1の配線及び第2の配線を有し、
    前記第1のトランジスタは、第1のゲート電極を有し、
    前記第2のトランジスタは、第2のゲート電極を有し、
    前記第1の半導体層は、前記第1のゲート電極と重畳する部分と、前記第1の配線と電気的に接続する部分と、を有し、
    前記第2の半導体層は、前記第2のゲート電極と重畳する部分と、前記第2の配線と電気的に接続する部分と、前記第2の配線と交差する部分と、前記第1の配線と交差する部分と、を有する、表示装置。
  5. 請求項1乃至請求項4のいずれか一において、
    前記第1の着色層は、前記第2の着色層よりも長波長の光を透過する、表示装置。
  6. 請求項1乃至請求項5のいずれか一において、
    前記第1の着色層は、赤色の光を透過する、表示装置。
  7. 請求項1乃至請求項6のいずれか一において、
    白色光を呈する光源を有し、
    前記第1の着色層は、前記光源と前記第1の半導体層の間、及び、前記光源と前記第2の半導体層の間に位置する、表示装置。
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Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20240023213A (ko) 2017-06-12 2024-02-20 매직 립, 인코포레이티드 깊이 평면들을 변경하기 위한 다중-엘리먼트 적응형 렌즈를 갖는 증강 현실 디스플레이
CN110596974B (zh) 2018-06-12 2022-04-15 夏普株式会社 显示面板和显示装置
CN110875363A (zh) * 2018-09-04 2020-03-10 京东方科技集团股份有限公司 阵列基板及其制备方法、以及显示面板
WO2020049397A1 (ja) * 2018-09-07 2020-03-12 株式会社半導体エネルギー研究所 表示装置、表示モジュール、及び電子機器
US11139562B2 (en) * 2018-09-14 2021-10-05 Innolux Corporation Antenna device
CN110911382B (zh) * 2018-09-14 2021-06-25 群创光电股份有限公司 天线装置
CN111221188B (zh) * 2020-01-20 2022-03-08 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 一种显示面板
JP2022532931A (ja) 2019-05-24 2022-07-20 マジック リープ, インコーポレイテッド 可変焦点アセンブリ
US20200412980A1 (en) * 2019-06-28 2020-12-31 Apple Inc. Stacked Electromagnetic Radiation Sensors for Visible Image Sensing and Infrared Depth Sensing, or for Visible Image Sensing and Infrared Image Sensing
KR20210085129A (ko) 2019-12-30 2021-07-08 엘지디스플레이 주식회사 투명 표시 장치
CN111176010B (zh) * 2020-01-13 2022-11-25 上海天马微电子有限公司 显示装置及其生成方法、电子设备
CN111552111B (zh) * 2020-05-13 2021-07-27 苏州华星光电技术有限公司 显示面板及显示装置
EP4193215A1 (en) 2020-08-07 2023-06-14 Magic Leap, Inc. Tunable cylindrical lenses and head-mounted display including the same
EP4308996A1 (en) * 2021-03-15 2024-01-24 Magic Leap, Inc. Optical devices and head-mounted displays employing tunable cylindrical lenses

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001290439A (ja) 2000-02-01 2001-10-19 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 半導体装置およびその作製方法
JP2014074917A (ja) 2013-11-20 2014-04-24 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 発光装置
JP6331975B2 (ja) 2014-10-31 2018-05-30 株式会社デンソー 停車時車両制御装置

Family Cites Families (46)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2806741B2 (ja) * 1993-05-24 1998-09-30 日本電気株式会社 カラー液晶ディスプレイ
JP3698749B2 (ja) 1995-01-11 2005-09-21 株式会社半導体エネルギー研究所 液晶セルの作製方法およびその作製装置、液晶セルの生産システム
JP2001175198A (ja) 1999-12-14 2001-06-29 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 半導体装置およびその作製方法
US6825488B2 (en) 2000-01-26 2004-11-30 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device and manufacturing method thereof
TW494447B (en) 2000-02-01 2002-07-11 Semiconductor Energy Lab Semiconductor device and manufacturing method thereof
US7023021B2 (en) 2000-02-22 2006-04-04 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device and method of manufacturing the same
US7804552B2 (en) 2000-05-12 2010-09-28 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Electro-optical device with light shielding portion comprising laminated colored layers, electrical equipment having the same, portable telephone having the same
JP4237442B2 (ja) 2002-03-01 2009-03-11 株式会社半導体エネルギー研究所 半透過型液晶表示装置
TWI363574B (en) 2003-04-07 2012-05-01 Semiconductor Energy Lab Electronic apparatus
JP2006245031A (ja) * 2005-02-28 2006-09-14 Casio Comput Co Ltd 薄膜トランジスタパネル
US20070002199A1 (en) 2005-06-30 2007-01-04 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Liquid crystal display device and method for manufacturing the same
KR100729043B1 (ko) * 2005-09-14 2007-06-14 삼성에스디아이 주식회사 투명 박막 트랜지스터 및 그의 제조방법
JP5078246B2 (ja) 2005-09-29 2012-11-21 株式会社半導体エネルギー研究所 半導体装置、及び半導体装置の作製方法
EP3614442A3 (en) 2005-09-29 2020-03-25 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device having oxide semiconductor layer and manufactoring method thereof
JP5064747B2 (ja) 2005-09-29 2012-10-31 株式会社半導体エネルギー研究所 半導体装置、電気泳動表示装置、表示モジュール、電子機器、及び半導体装置の作製方法
EP2270583B1 (en) 2005-12-05 2017-05-10 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Transflective Liquid Crystal Display with a Horizontal Electric Field Configuration
JP5148912B2 (ja) 2006-04-06 2013-02-20 株式会社半導体エネルギー研究所 液晶表示装置及び半導体装置、並びに電子機器
JP5216204B2 (ja) * 2006-10-31 2013-06-19 株式会社半導体エネルギー研究所 液晶表示装置及びその作製方法
TWI437282B (zh) 2007-01-29 2014-05-11 Semiconductor Energy Lab 彩色濾波器及其製造方法、及具有該彩色濾波器的電子用品
CN101325201B (zh) * 2007-06-13 2011-04-13 北京京东方光电科技有限公司 一种透明薄膜晶体管的阵列基板结构及其制造方法
US8941617B2 (en) 2008-11-07 2015-01-27 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Image input-output device with color layer between photodetector and display elements to improve the accuracy of reading images in color
TWI749283B (zh) 2008-11-28 2021-12-11 日商半導體能源研究所股份有限公司 液晶顯示裝置
US20100224880A1 (en) * 2009-03-05 2010-09-09 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device
JP5553707B2 (ja) 2009-08-21 2014-07-16 株式会社半導体エネルギー研究所 光検出装置
US8115883B2 (en) * 2009-08-27 2012-02-14 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Display device and method for manufacturing the same
US9697788B2 (en) 2010-04-28 2017-07-04 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Liquid crystal display device
US9349325B2 (en) 2010-04-28 2016-05-24 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Liquid crystal display device and electronic device
CN102117767A (zh) * 2010-12-29 2011-07-06 上海大学 基于溶胶式全透明tft有源矩阵制造方法
US8884509B2 (en) 2011-03-02 2014-11-11 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Optical device, display device, and lighting device
US8913093B2 (en) 2011-09-30 2014-12-16 Lg Display Co., Ltd. Liquid crystal display device
WO2013069548A1 (en) 2011-11-11 2013-05-16 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Signal line driver circuit and liquid crystal display device
KR102114212B1 (ko) 2012-08-10 2020-05-22 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 표시 장치
US9417475B2 (en) 2013-02-22 2016-08-16 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Display device
WO2014157126A1 (en) 2013-03-27 2014-10-02 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Display device and electronic device
TWI642170B (zh) 2013-10-18 2018-11-21 半導體能源研究所股份有限公司 顯示裝置及電子裝置
TWI559048B (zh) * 2013-12-27 2016-11-21 友達光電股份有限公司 主動元件基板與應用其之顯示面板
JP6613044B2 (ja) 2014-04-22 2019-11-27 株式会社半導体エネルギー研究所 表示装置、表示モジュール、及び電子機器
US10423028B2 (en) * 2014-04-22 2019-09-24 E Ink Holdings Inc. Display apparatus
CN106463080B (zh) 2014-06-13 2019-08-20 株式会社半导体能源研究所 显示装置
JP2016038581A (ja) 2014-08-08 2016-03-22 株式会社半導体エネルギー研究所 表示パネル、表示装置および表示装置の駆動方法
US20160042696A1 (en) 2014-08-08 2016-02-11 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Display panel, data processing device, program
US9710013B2 (en) 2014-08-08 2017-07-18 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Display panel, data processing device, program
KR102231084B1 (ko) * 2014-12-17 2021-03-24 엘지디스플레이 주식회사 프린지 필드 방식 액정표시장치
JP6765199B2 (ja) 2015-03-17 2020-10-07 株式会社半導体エネルギー研究所 タッチパネル
KR20160114510A (ko) 2015-03-24 2016-10-05 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 터치 패널
WO2017064593A1 (en) 2015-10-12 2017-04-20 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Display device and manufacturing method thereof

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001290439A (ja) 2000-02-01 2001-10-19 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 半導体装置およびその作製方法
JP2014074917A (ja) 2013-11-20 2014-04-24 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 発光装置
JP6331975B2 (ja) 2014-10-31 2018-05-30 株式会社デンソー 停車時車両制御装置

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