JP7045673B2 - 圧電エネルギーハーベスティング曲げ構造及びその製造方法 - Google Patents
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Description
本出願は、2017年7月5日に出願された米国仮出願第62 / 528,886号および2017年7月13日に出願された米国仮出願第62 / 532,195号の利益を主張するものである。
本発明は、周囲の機械的振動または動きを利用して電気エネルギーを生成するための圧電カンチレバー構造に関する。この圧電カンチレバーは、センサー、電子回路または電子システムなどの電気システムに電力を供給するために、エネルギーハーベスティング作用を最適化するための電子動力管理回路に関連して使用できる。
本発明の目的は、固定界面で発生する機械的制約およびストレスを制御するために、圧電バイモルフカンチレバービームの新しいデザインおよび関連する製造方法を提供し、それにより動作中の圧電バイモルフカンチレバービームのロバスト性および耐久性を高めることである。構成している複数の層が、同じ厚さを有し、かつ、中立軸またはファイバを対称軸として対称に配置されている圧電バイモルフカンチレバービームの共通構造から、本発明の圧電バイモルフカンチレバービームは、圧電バイモルフカンチレバービームの主面を覆うように設けられたビーム補強部又はビーム補強材を備え、ビーム補強部又はビーム補強材は固定界面から前記ビームの反対側の端に向かってその引張強度が変化する。
ここで複数の図面と複数の説明図に関して、本発明は、周囲環境の振動から電気エネルギーを直接収集するための圧電バイモルフカンチレバービーム(pBCB)を製造するシステムおよび方法に関する。本発明はバイモルフカンチレバービームに限定されないが、この特定の実施形態は、明確にするために本出願の説明に使用される。本発明において、pBCBは、主に数十Hzの範囲の低周波振動に向けられデザインされており、好ましくは、医療用途のセンサーインプラントまたは産業用途のセンサーノードに統合される小さな寸法および体積を示すようにデザインされている。しかし、本発明はこれらの特定のデザイン上の選択に限定されない。
[1] ベナシュッティD(Benasciutti, D.), モロL(Moro, L. ), ゼレニカS(Zelenika S.), 最適化された形状の圧電バイモルフによる振動エネルギースカベンジング, マイクロシストテクノロ(Microsyst Technol), 2010, pp. 657-668.
[2] デフォアスューM(Defosseux, M.), アランM(Allain, M.), バスロアS(Basrour, S.), 圧電振動エネルギーハーベスティングのための異なるビーム形状の比較, プロシーディングオブパワーMEMS2010, 11月30日―12月3日, ルーバン, ベルギー, pp. 339-342.
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Claims (14)
- 振動から電気エネルギーを収集するための圧電バイモルフカンチレバービームシステムであって、
前記システムは、第1主面、第1主面の反対側の第2主面、アンカーに接続された近位端、および前記近位端の反対側の遠位端を含むシムと、前記シムの第1主面上に積層された第1圧電層と、前記シムの第2主面上に積層された第2圧電層と、前記アンカーに隣接する前記シムの第1主面上に設けられ、かつ、第1圧電層を少なくとも部分的に覆う第1ビーム補強材とを備え、
第1圧電層の材料は、圧電材料であり、
第2圧電層の材料は、前記圧電材料であり、
第1ビーム補強材の材料は、前記圧電材料以外の材料であり、
第1ビーム補強材は、前記アンカーから前記シムの遠位端に向かって減少するように変化する厚さを有する圧電バイモルフカンチレバービームシステム。 - 前記アンカーに隣接する前記シムの第2主面上に設けられ、かつ、第2圧電層を少なくとも部分的に覆う第2ビーム補強材をさらに備え、
第2ビーム補強材の材料は、前記圧電材料以外の材料であり、
第2ビーム補強材は、前記アンカーから前記シムの遠位端に向かって減少するように変化する厚さを有する請求項1に記載のシステム。 - 第1ビーム補強材、第2ビーム補強材、または第1ビーム補強材と第2ビーム補強材の両方は、平面状の外面を有する請求項2に記載のシステム。
- 第1ビーム補強材、第2ビーム補強材、または第1ビーム補強材と第2ビーム補強材の両方は、湾曲した外面を有する請求項2に記載のシステム。
- 第1ビーム補強材、第2ビーム補強材、または第1ビーム補強材と第2ビーム補強材の両方は、前記圧電層上に積み重ねられた複数の層を備え、前記複数の層のそれぞれは、前記シムから離れるにつれ延びている長さが短くなる請求項2に記載のシステム。
- 前記複数の層のうちの1つ以上は、前記複数の層のうちの別の層の材料とは異なる組成を有する材料から構成される請求項5に記載のシステム。
- 第1ビーム補強材、第2ビーム補強材、または第1ビーム補強材と第2ビーム補強材の両方は、前記シムに沿った位置に基づいてサイズが変化する複数の穴を画定する請求項2に記載のシステム。
- 前記複数の穴は、前記アンカーから前記シムの前記遠位端に向かってサイズが大きくなる請求項7に記載のシステム。
- 前記複数の穴は、残りの前記ビーム補強材の材料とは異なる材料で満たされている請求項7に記載のシステム。
- 前記複数の穴は、前記シムの長さにわたって延びる中心線に関して対称である請求項7に記載のシステム。
- 前記複数の層のうちの1つ以上が、前記シムに沿ったその位置に基づいてサイズが変化する複数の穴を画定する請求項5に記載のシステム。
- 第1ビーム補強材は、前記アンカーに組み込まれ、
第2ビーム補強材は、前記アンカーに組み込まれ、
第1ビーム補強材及び第2ビーム補強材は、前記アンカーと同時に形成されている請求項2に記載のシステム。 - 第1ビーム補強材、第2ビーム補強材、または前記第1ビーム補強材と第2ビーム補強材の両方は、平面状の外面を有する請求項12に記載のシステム。
- 第1ビーム補強材、第2ビーム補強材、または第1ビーム補強材と第2ビーム補強材の両方は、湾曲した外面を有する請求項12に記載のシステム。
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