JP7033093B2 - 偏光測定装置、偏光測定方法及び光配向方法 - Google Patents
偏光測定装置、偏光測定方法及び光配向方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7033093B2 JP7033093B2 JP2019017317A JP2019017317A JP7033093B2 JP 7033093 B2 JP7033093 B2 JP 7033093B2 JP 2019017317 A JP2019017317 A JP 2019017317A JP 2019017317 A JP2019017317 A JP 2019017317A JP 7033093 B2 JP7033093 B2 JP 7033093B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polarization
- angle
- image sensor
- polarizing element
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000010287 polarization Effects 0.000 title claims description 154
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 30
- 230000008033 biological extinction Effects 0.000 claims description 27
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 21
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims description 14
- 230000000670 limiting effect Effects 0.000 claims description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000001186 cumulative effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 13
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 8
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 2
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 2
- 241000276420 Lophius piscatorius Species 0.000 description 1
- 241000220225 Malus Species 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J4/00—Measuring polarisation of light
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J4/00—Measuring polarisation of light
- G01J4/04—Polarimeters using electric detection means
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/28—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for polarising
- G02B27/283—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for polarising used for beam splitting or combining
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/30—Polarising elements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/42—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
- G01J1/44—Electric circuits
- G01J2001/4446—Type of detector
- G01J2001/448—Array [CCD]
Description
前記第二偏光子を駆動して、所定の速度で段階的に一定の角度で前記第二偏光子の法線を回動軸として回転させるステップと、
画像センサーによって前記第二偏光子が一角度回転する度に前記第二偏光子を経た前記偏光の結像情報を得るステップと、
分析モジュールが前記結像情報及び前記第二偏光子の回転角度に基づいて前記第一偏光子の異なる入射角での偏光特性を計算するステップと、を含む前述した何れか一項に記載の偏光測定装置を用いた偏光測定方法を提供するものである。
コリメートレンズによって前記絞りを経た前記光線に対してコリメートするステップと、をさらに含む。
前記画像センサーで各画素点が前記光源に対する位相情報によって各画素点に対応する光線の入射角を確定するステップと、
前記画像センサー上の各画素点が前記第二偏光子の異なる回転角で収集した光強度情報を抽出して画像グレースケール値を抽出し、マリュス法則によって三角関数のフィッティングを行ってフィッティング曲線を得るステップと、
前記フィッティング曲線によって各画素点に対応する偏光の偏光特性を取得し、さらに前記第一偏光子の異なる入射角での偏光特性を得るステップと、を含む。
前記画像グレースケール値の最大値と前記画像グレースケール値の最小値の比によって各画素点に対応する偏光の消光比を確定し、さらに前記第一偏光子の各画素点に対応する異なる入射角での光線の消光比を得るステップと、
前記画像グレースケール値の最大値に対応する前記第二偏光子の回転角度に基づいて各画素点に対応する偏光の偏光角を確定し、さらに前記第一偏光子が各画素点に対応する異なる入射角での光線の偏光角を得るステップと、を含む。
図4に示すように、本発明の実施例は偏光測定装置を提案するものである。前記偏光測定装置は、光源12、偏光子22、検光子52、画像センサー7、回転モジュール及び分析モジュール(図示しない)を含み、光源21から発する複数の異なる入射角を有する光は偏光子22を経て偏光され、検光子52を経た後、画像センサー7に入射され、前記回転モジュールは検光子52を駆動して検光子52の法線方向を回動軸として回転し、画像センサー7は偏光を検出した後の複数の異なる入射角の光線に対応する複数の偏光の結像情報をリアルタイムで取得し、前記分析モジュールは得られた結像情報及び検光子52の回転角度を受信して前記偏光子22の異なる入射角での偏光特性を計算して確定する。
図8に示すように、この測定方法は、
S1、偏光子22を用いて、光源12から発する複数の入射角の異なる自然光を偏光して、偏光を得るステップと、
S2、検光子52を通じて前記偏光に対して偏光を検出するステップと、
S3、検光子52を駆動して所定の速度で段階的に所定の角度で検光子52の法線方向を回動軸として回転させ、画像センサー7によって検光子52が一角度回転度の偏光検出後の偏光の結像情報をリアルタイムで取得するステップと、
S4、分析モジュールを用いて前記結像情報及び前記検光子52の回転角度に基づいて偏光子22の異なる入射角での偏光特性を計算するステップと、
を含む。
(1)開口絞り32によって前記偏光に対して角度を制限するステップと、
(2)コリメートレンズ42を通じて前記開口絞り32によって角度が制限された前記偏光をコリメートするステップと、をさらに含む。
により知ることができるように、画像センサー7で得られる画像グレースケール値Hと検光子52の回転角度α’は同様に三角関数の関係
を呈する。式において、Iは透過光の光強度を表し、I0は透過光の最大光強度を表し、
は偏光子22の偏光方向と検光子52の偏光方向との間の夾角であり、Hは収集した画像のグレースケール値を表し、H0は画像グレースケール値の最大値を表し、α’は検光子の回転角度であり、定数Cは検光子52の初期偏光方向と偏光子22の偏光方向との間の夾角である。
を呈するので、テストの過程で、検光子52は少なくとも半周回転(即ち180°回転)して、データーサンプリングの完全性を保証する必要がある。つまり少なくとも1サイクル以内のデータを収集して得られる。選択的に、検光子52は1回に10度回転し、毎回回転した後、5秒間停止して、画像センサー7が結像情報を収集するようにし、さらに回転し続けて合計18~36回回転する。
分析モジュールを用いて前記結像情報に基づいて偏光子22の異なる入射角での偏光特性を計算するステップS4は、
S41、画像センサー7上で各画素点711と光源12の相対位置によって現在の画素点上の自然光の入射角(θ、ψ)を確定し、画像センサー7の入射角の雲図(nephogram:ネフログラム)を得るステップと、
S42、画像センサー7上の各画素点711が検光子52の異なる回転角α’で収集した光強度情報及び得られた対応する画像グレースケール値Hを抽出し、マリュス法則によって三角関数フィッティングを行ってフィッティング曲線を得るステップ;
S43、フィッティングにより得られたフィッティング曲線によって各画素点に対応する偏光の偏光特性を算出して画像センサー7に対応する偏光特性の雲図(nephogram:ネフログラム)が得られ、入射角の雲図(nephogram:ネフログラム)と偏光特性の雲図(nephogram:ネフログラム)を結合して偏光子22の異なる入射角(θ、ψ)での偏光特性が得られるステップと、を含む。
S431、画像グレースケール値Hの最大値H0と画像グレースケール値Hの最小値H1との比によって各画素点に対応する偏光の消光比を確定し、さらに偏光子22の各画素点に対応する異なる入射角での入射角の消光比を得るステップと、
S432、画像グレースケール値Hの最大値H0に対応する検光子52の回転角α’によって各画素点に対応する偏光の偏光角を確定し、さらに、偏光子22の各画素点に対応する異なる入射角での入射光の偏光角を得るステップと、を含む。
Claims (15)
- 第一偏光子の偏光特性を測定するために使用され、
光源、第二偏光子、回転モジュール、画像センサー及び分析モジュールを含み、
前記光源から複数の異なる入射角を有する光線を発し、
前記複数の異なる入射角を有する光線は同時に前記第一偏光子に入射し、前記第一偏光子を経て偏光され、前記第二偏光子を経た後、前記画像センサーによって検出され、
前記回転モジュールは前記第二偏光子を駆動して前記第二偏光子の法線方向を回動軸として段階的に所定の角度で回転させ、
前記画像センサーは前記第二偏光子が一角度回転する度に前記第二偏光子を経て生成される前記複数の異なる入射角を有する光線に対応する複数の偏光の結像情報を取得し、
前記分析モジュールは前記結像情報及び前記第二偏光子の回転角度に基づいて前記第一偏光子の異なる入射角での偏光特性を計算するものであり、
前記画像センサーは複数の画素点で形成された画素アレイを含み、各前記画素点は相応する入射角と対応する偏光の結像情報の収集に用いられ、
前記複数の画素点は、複数の異なる入射角に対応する偏光の結像情報を同時に収集することに用いられ、
絞り及びコリメートレンズをさらに含み、前記光源から発する光線は順次前記第一偏光子を経て偏光され、前記絞りを経ることで前記第一偏光子を経た光線の出射角の角度が制限され、前記コリメートレンズを経てコリメートされた後、前記第二偏光子に入射される、
ことを特徴とする偏光測定装置。 - 前記光源、前記第一偏光子、前記第二偏光子及び前記画像センサーの中心軸は互いに位置が合わせられる、
ことを特徴とする請求項1に記載の偏光測定装置。 - 前記光線は自然光である、
ことを特徴とする請求項1に記載の偏光測定装置。 - 前記回転モジュールは回転モータ及び装着ボックスを含み、前記第二偏光子は前記装着ボックスに装着され、前記回転モータは前記装着ボックスを駆動して回転させる、
ことを特徴とする請求項1に記載の偏光測定装置。 - 前記画像センサーはCCD画像センサーである、
ことを特徴とする請求項1に記載の偏光測定装置。 - 前記画像センサーによって収集された結像情報は各前記画素点で収集した偏光の光強度情報及び各前記画素点が前記光源に対する位相情報を含む、
ことを特徴とする請求項1に記載の偏光測定装置。 - 前記偏光測定装置はフレームをさらに含み、前記第一偏光子、前記絞り、前記コリメートレンズ、前記第二偏光子、前記装着ボックス及び前記回転モータは何れも前記フレーム上に設置される、
ことを特徴とする請求項4に記載の偏光測定装置。 - 前記第一偏光子及び第二偏光子は何れも透過型偏光子である、
ことを特徴とする請求項1に記載の偏光測定装置。 - 光源から発する複数の異なる入射角を有する光線が同時に前記第一偏光子に入射し、前記第一偏光子及び第二偏光子を経て前記複数の異なる入射角を有する光線に対応する複数の偏光を得るステップと、
前記第二偏光子を駆動して、所定の速度で段階的に一定の角度で前記第二偏光子の法線を回動軸として回転させるステップと、
画像センサーによって前記第二偏光子が一角度回転する度に前記第二偏光子を経た前記偏光の結像情報を得るステップと、
分析モジュールが前記結像情報及び前記第二偏光子の回転角度に基づいて前記第一偏光子の異なる入射角での偏光特性を計算するステップと、を含む、
ことを特徴とする請求項1~8の何れか一項に記載の偏光測定装置を用いた偏光測定方法。 - 前記絞りを通じて前記第一偏光子を経た前記光線の出射角の角度を制限するステップと、
コリメートレンズによって前記絞りを経た前記光線に対してコリメートするステップと、をさらに含む、
ことを特徴とする請求項9に記載の偏光測定方法。 - 前記画像センサーによって収集された結像情報が前記画像センサーにおける各画素点で収集した対応する入射角を有する光線に関する光強度情報、及び前記画像センサーで各画素点が前記光源に対する位相情報を含む、
ことを特徴とする請求項9に記載の偏光測定方法。 - 前記第二偏光子の累積回転角が少なくとも180度である、
ことを特徴とする請求項9に記載の偏光測定方法。 - 前記分析モジュールは前記結像情報及び前記第二偏光子の回転角度に基づいて前記第一偏光子の異なる入射角での偏光特性を計算するステップは、
前記画像センサーで各画素点が前記光源に対する位相情報によって各画素点に対応する光線の入射角を確定するステップと、
前記画像センサー上の各画素点が前記第二偏光子の異なる回転角で収集した光強度情報を抽出して画像グレースケール値を抽出し、マリュス法則によって三角関数のフィッティングを行ってフィッティング曲線を得るステップと、
前記フィッティング曲線によって各画素点に対応する偏光の偏光特性を取得し、さらに前記第一偏光子の異なる入射角での偏光特性を得るステップと、を含む、
ことを特徴とする請求項11に記載の偏光測定方法。 - 前記フィッティング曲線によって各画素点に対応する偏光の偏光特性を得るステップは、
前記画像グレースケール値の最大値と前記画像グレースケール値の最小値の比によって各画素点に対応する偏光の消光比を確定し、さらに前記第一偏光子の各画素点に対応する異なる入射角での光線の消光比を得るステップと、
前記画像グレースケール値の最大値に対応する前記第二偏光子の回転角度に基づいて各画素点に対応する偏光の偏光角を確定し、さらに前記第一偏光子が各画素点に対応する異なる入射角での光線の偏光角を得るステップと、を含む、
ことを特徴とする請求項13に記載の偏光測定方法。 - 請求項9~14の何れか一項に記載の偏光測定方法によって光配向のための偏光板の偏光特性を測定する、
ことを特徴とする偏光板の偏光特性の測定方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201810135372.3 | 2018-02-09 | ||
CN201810135372.3A CN110132420B (zh) | 2018-02-09 | 2018-02-09 | 偏振测量装置、偏振测量方法及光配向方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019144237A JP2019144237A (ja) | 2019-08-29 |
JP7033093B2 true JP7033093B2 (ja) | 2022-03-09 |
Family
ID=67567970
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019017317A Active JP7033093B2 (ja) | 2018-02-09 | 2019-02-01 | 偏光測定装置、偏光測定方法及び光配向方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7033093B2 (ja) |
KR (1) | KR102132762B1 (ja) |
CN (1) | CN110132420B (ja) |
TW (1) | TWI681180B (ja) |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112577716B (zh) * | 2019-09-30 | 2022-06-28 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 一种偏振测量装置与方法 |
CN110687586B (zh) * | 2019-11-05 | 2021-02-09 | 中国计量科学研究院 | 一种基于czt探测器的偏振度测量方法及装置 |
TWI731658B (zh) * | 2020-04-23 | 2021-06-21 | 友達光電股份有限公司 | 金屬線柵偏光片之影像式判定裝置 |
CN111562091A (zh) * | 2020-06-23 | 2020-08-21 | 昆山鸿仕达智能科技有限公司 | 一种偏光轴方位角度测定方法及测定装置 |
CN111964605A (zh) * | 2020-07-22 | 2020-11-20 | 深圳市联赢激光股份有限公司 | 一种工件三维面型检测系统以及方法 |
CN112184668B (zh) * | 2020-09-29 | 2022-11-08 | 河海大学 | 一种PVC-gel材料偏转角度测量方法 |
CN112379391B (zh) * | 2020-09-30 | 2022-11-08 | 西安电子科技大学 | 一种水下偏振成像方法及其装置 |
CN113933024B (zh) * | 2021-08-31 | 2023-05-02 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 一种光学遥感器中检偏器绝对偏振方位角的测量方法 |
CN114047190A (zh) * | 2021-11-08 | 2022-02-15 | 上海御微半导体技术有限公司 | 一种表面缺陷的检测装置及检测方法 |
CN114324185A (zh) * | 2022-01-04 | 2022-04-12 | 浙江大学 | 一种基于Stokes矢量的水下偏振探测装置 |
CN114500771B (zh) * | 2022-01-25 | 2024-01-30 | 北京经纬恒润科技股份有限公司 | 车载成像系统 |
CN115201117A (zh) * | 2022-07-11 | 2022-10-18 | 北京环境特性研究所 | 一种超高温材料红外偏振特性测量装置及方法 |
CN115060292B (zh) * | 2022-08-05 | 2022-11-11 | 中国人民解放军国防科技大学 | 一种基于正弦拟合的仿生导航视觉传感器消光比测评方法 |
CN115508058B (zh) * | 2022-11-22 | 2023-03-31 | 杭州微纳智感光电科技有限公司 | 一种显示屏用偏光膜片光轴角度的检测装置及方法 |
CN117498136B (zh) * | 2024-01-02 | 2024-03-15 | 北京镭宝光电技术有限公司 | 光参量振荡器 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003506697A (ja) | 1999-08-06 | 2003-02-18 | サーモ バイオスター インコーポレイテッド | 薄膜による光の減衰に基づく分析結合アッセイ用装置 |
JP2003185569A (ja) | 2001-12-14 | 2003-07-03 | Mitsubishi Chemicals Corp | 表面プラズモン共鳴を利用した試料の分析装置及び表面プラズモン共鳴分析用センサチップ |
JP2006098087A (ja) | 2004-09-28 | 2006-04-13 | Hitachi Displays Ltd | 光学異方軸測定装置および液晶パネルの製造方法 |
WO2009139133A1 (ja) | 2008-05-10 | 2009-11-19 | 株式会社フォトニックラティス | 光学歪み計測装置 |
JP2012104586A (ja) | 2010-11-09 | 2012-05-31 | Elpida Memory Inc | 半導体計測装置 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0752153B2 (ja) * | 1987-11-09 | 1995-06-05 | 株式会社日立製作所 | 偏光解析法 |
US5257092A (en) * | 1990-06-27 | 1993-10-26 | Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Apparatus for measuring polarization and birefringence |
EP0566657B1 (en) * | 1991-01-11 | 1998-08-05 | Rudolph Research Corporation | Simultaneous multiple angle/multiple wavelength ellipsometer and method |
JPH06221993A (ja) * | 1993-01-27 | 1994-08-12 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 偏光子の消光比測定方法及び測定装置 |
JPH0694515A (ja) * | 1992-09-11 | 1994-04-05 | Olympus Optical Co Ltd | 光発散特性測定装置 |
CN2798070Y (zh) * | 2005-06-22 | 2006-07-19 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 偏振分光薄膜消光比的精确测量装置 |
CN101915661A (zh) * | 2010-09-03 | 2010-12-15 | 无锡市奥达光电子有限责任公司 | 一种偏振特性元器件的光轴角度检测方法和装置 |
CN201795784U (zh) * | 2010-09-03 | 2011-04-13 | 无锡市奥达光电子有限责任公司 | 一种偏振特性元器件的光轴角度检测装置 |
CN102466560A (zh) * | 2010-11-11 | 2012-05-23 | 北京国科世纪激光技术有限公司 | 一种光学参数测量装置 |
CN102073324B (zh) * | 2010-12-29 | 2013-05-15 | 哈尔滨工业大学 | 一种基于线性偏振光的偏振实时跟踪方法 |
TWI585387B (zh) * | 2012-07-18 | 2017-06-01 | 岩崎電氣股份有限公司 | 偏光測定方法,偏光測定裝置,偏光測定系統及光配向照射裝置 |
US9464938B2 (en) * | 2014-02-06 | 2016-10-11 | The Boeing Company | Systems and methods for measuring polarization of light in images |
JP5920402B2 (ja) * | 2014-05-27 | 2016-05-18 | ウシオ電機株式会社 | 偏光測定装置、偏光測定方法及び偏光光照射装置 |
CN105758625B (zh) * | 2016-04-15 | 2018-10-19 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 一种测量遥感仪器的线偏振灵敏度的装置及方法 |
CN106124415A (zh) * | 2016-06-03 | 2016-11-16 | 中国科学技术大学 | 基于像素偏光相机的旋光度实时测量方法及测量装置 |
-
2018
- 2018-02-09 CN CN201810135372.3A patent/CN110132420B/zh active Active
-
2019
- 2019-01-23 TW TW108102598A patent/TWI681180B/zh active
- 2019-02-01 JP JP2019017317A patent/JP7033093B2/ja active Active
- 2019-02-08 KR KR1020190015074A patent/KR102132762B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003506697A (ja) | 1999-08-06 | 2003-02-18 | サーモ バイオスター インコーポレイテッド | 薄膜による光の減衰に基づく分析結合アッセイ用装置 |
JP2003185569A (ja) | 2001-12-14 | 2003-07-03 | Mitsubishi Chemicals Corp | 表面プラズモン共鳴を利用した試料の分析装置及び表面プラズモン共鳴分析用センサチップ |
JP2006098087A (ja) | 2004-09-28 | 2006-04-13 | Hitachi Displays Ltd | 光学異方軸測定装置および液晶パネルの製造方法 |
WO2009139133A1 (ja) | 2008-05-10 | 2009-11-19 | 株式会社フォトニックラティス | 光学歪み計測装置 |
JP2012104586A (ja) | 2010-11-09 | 2012-05-31 | Elpida Memory Inc | 半導体計測装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR102132762B1 (ko) | 2020-07-10 |
JP2019144237A (ja) | 2019-08-29 |
TWI681180B (zh) | 2020-01-01 |
CN110132420B (zh) | 2020-11-27 |
TW201934983A (zh) | 2019-09-01 |
CN110132420A (zh) | 2019-08-16 |
KR20190096831A (ko) | 2019-08-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7033093B2 (ja) | 偏光測定装置、偏光測定方法及び光配向方法 | |
CN101464256B (zh) | 偏振光谱仪的偏振精度定标系统 | |
KR20090049226A (ko) | 단일 편광자 초점 타원계측기 | |
US9372163B2 (en) | Method of conducting an X-ray diffraction-based crystallography analysis | |
CN108007574B (zh) | 分辨率可调型快照式图像光谱线偏振探测装置及方法 | |
CN106662485A (zh) | 测量偏振 | |
CN109490340B (zh) | 一种联用技术测试数据处理方法 | |
CN111369484B (zh) | 钢轨廓形检测方法及装置 | |
TWI643034B (zh) | Scanning mirror amplitude measuring device and measuring method | |
CN114136894B (zh) | 一种基于涡旋波片的偏振检测系统的误差校准方法及装置 | |
CN105258801B (zh) | 一种通过球形碱金属气室后偏振光偏振特性检测系统 | |
US7274449B1 (en) | System for determining stokes parameters | |
CN106841013B (zh) | 一种基于量子关联成像技术辨别微观生物体的方法 | |
CN104897580A (zh) | 一种非直观成像检测大气成分的光学系统和方法 | |
CN112577716B (zh) | 一种偏振测量装置与方法 | |
KR102089583B1 (ko) | 액정 엑스선 검출기의 엑스선 영상 결정 방법 | |
RU2293971C2 (ru) | Устройство для радиографии и томографии | |
JP3436704B2 (ja) | 複屈折測定方法及びその装置 | |
CN219122723U (zh) | 一种偏振光图像采集系统 | |
CN207457053U (zh) | 一种用于测量样品的衍射结构的装置 | |
KR102025777B1 (ko) | 액정 엑스선 검출기의 엑스선 영상 결정 방법 | |
JPH11231005A (ja) | 表面電荷計測装置 | |
CN116527869A (zh) | 一种分焦平面偏振图像传感器的信噪比测量方法及测量装置 | |
SU486258A1 (ru) | Устройство дл измерени степени пол ризации электомагнитного излучени | |
CN114964729A (zh) | 一种偏振三维相机偏振精度测量装置及实现方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190201 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20191127 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20191204 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20200302 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200312 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200805 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20201028 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210401 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20210629 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210715 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220105 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220107 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220210 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220225 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7033093 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |