JP7019328B2 - 液体吐出ヘッド - Google Patents

Description

本発明は液体吐出ヘッドに関する。

画像記録などのために駆動信号に応じてインク等の液体を吐出する液体吐出ヘッドは、液体吐出のためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子を備えている。例えば、複数のエネルギー発生素子（一例では発熱抵抗体）のそれぞれに、記録データに応じて電圧パルスを印加し、発生した熱エネルギーを利用して液体インクを吐出させる液体吐出ヘッド（インクジェット記録ヘッド）がある。このような液体吐出ヘッドは、高精細且つ高速の画像形成が可能であるため広く用いられている。特に、被記録媒体の幅に対応する長さを有し、概ねその全長にわたって複数のエネルギー発生素子を高密度に配列したフルライン型（ページワイド型）の液体吐出ヘッドを備えた液体吐出装置は、さらなる高速記録が可能であり近年急速に普及している。このような長尺の液体吐出ヘッドは、製造上の歩留まりを考慮して、複数のチップ（記録素子基板）が記録媒体の幅方向に沿って配列されることによって構成されたものが多く、各チップは小型である。複数のチップが搭載される支持部材には、各チップへ液体を供給するための複数の液体供給穴（連通口）が、チップの配列方向に沿って精度よくかつ非常に狭い間隔で形成される必要がある。そのため、液体タンクなどの液体保持部材か複数の液体供給穴へ液体を供給するため複数の流路は、比較的大きな間隔をおいて配置された部分から比較的小さい間隔をおいて配置された部分へ移行する構成である。特許文献１には、支持部材から各チップへ至るまでに流路の幅および間隔が段階的に狭くなっているフルライン型の液体吐出ヘッドが開示されている。

特許4495762号公報

特許文献１の各チップへ液体を供給する流路は、チップの配列方向に対して略垂直に形成されており、隣り合う流路間の最短距離はチップの配列方向の位置で決まる。
異なる種類（例えば異なる色）の液体が各チップへ供給される構成においては、異なる種類の液体同士が混ざり合うことが無いように、チップや基板等の接合部は流路ごとにシールされる必要がある。しかし特許文献１のように狭い領域に多数の流路が形成された構成においては、流路同士の間のシール領域が狭いため、流路ごとの信頼性の高いシールは困難である。

本発明の目的は、記録素子基板へ液体を供給する流路の数が多くても、隣接する流路間のシールの信頼性が高く、高品位な液体吐出を行えるページワイド型の液体吐出ヘッドを提供することにある。

本発明の液体吐出ヘッドは、被記録媒体に対して液体を吐出する複数の吐出口が配列されてなる吐出口列と、液体を吐出するためのエネルギーを発生する記録素子を内部に備える圧力室と、圧力室に液体を供給する液体供給路と、圧力室から液体を回収する液体回収路とを有する複数の記録素子基板と、複数の記録素子基板が配列される流路部材と、を備え、被記録媒体の搬送方向と直交する方向の被記録媒体の幅に対応した長さを有するページワイド型の液体吐出ヘッドであって、流路部材は、液体吐出ヘッドの長手方向に沿って互いに並置して設けられ、複数の記録素子基板に液体を供給するための複数の共通供給流路と、液体供給路と共通供給流路とを接続する複数の個別供給流路と、長手方向に沿って互いに並置して設けられ記録素子基板の液体回収路から液体を回収するための複数の共通回収流路と、液体回収路と共通回収流路とを接続する個別回収流路とを備え、共通供給流路と、個別供給流路と、液体供給路と、圧力室と、液体回収路と、個別回収流路と、共通回収流路とをこの順に液体が流れる液体循環路が形成されており、吐出口列形成面から見て、複数の個別供給流路は、液体吐出ヘッドの長手方向に直交する方向に対して傾斜する部分を備える。

本発明の液体吐出ヘッドによると、記録素子基板へ液体を供給する流路の数が多くても、隣接する流路間のシールの信頼性が高く、高品位な液体吐出を行える。

本発明の第１の実施形態の液体吐出装置の概略構成を示す斜視図である。 図１に示す液体吐出装置の循環流路を示す図である。 本発明の第１の実施形態の液体吐出ヘッドの斜視図である。 図３に示す液体吐出ヘッドの分解斜視図である。 図３に示す液体吐出ヘッドの各流路部材の平面図及び底面図である。 図５に示す流路部材の透視図である。 図３に示す液体吐出ヘッドの断面図である。 図３に示す液体吐出ヘッドの吐出モジュールの斜視図及び分解斜視図である。 図３に示す液体吐出ヘッドの記録素子基板の平面図、拡大平面図、及び背面図である。 図３に示す液体吐出ヘッドの一部切欠斜視図である。 図３に示す液体吐出ヘッドの隣り合う２つの記録素子基板を示す要部拡大平面図である。 本発明の効果を従来の構成と対比して説明する説明図である。 本発明の支持部材の連通口と、記録素子基板の液体供給路及び液体回収路の位置関係の一例を示す平面図である。 本発明の第１の実施形態の変形例の液体吐出ヘッドの流路部材の透視図である。 本発明の第１の実施形態の変形例の支持部材の連通口と、記録素子基板の液体供給路及び液体回収路の位置関係を示す平面図である。 本発明の第２の実施形態の液体吐出ヘッドの流路部材の透視図である。 本発明の第３の実施形態の液体吐出ヘッドの各流路部材の平面図及び底面図である。 本発明の第３の実施形態の液体吐出ヘッドの断面図である。 本発明の第４の実施形態の液体吐出ヘッドの流路部材の透視図である。 本発明の第４の実施形態の支持部材の連通口と、記録素子基板の液体供給路及び液体回収路の位置関係を示す平面図である。

以下、図面を用いて本発明の実施形態について説明する。ただし、以下の記載は本発明の範囲を限定するものではない。一例として、以下の実施形態では発熱素子により気泡を発生させて液体を吐出するサーマル方式が採用されているが、ピエゾ方式及びその他の各種液体吐出方式が採用された液体吐出ヘッドにも本発明を適用することができる。
なお、インク等の液体を吐出する本発明の液体吐出ヘッドは、プリンタ、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリンタ部を有するワードプロセッサなどの装置、さらには各種処理装置と複合的に組み合わせた産業記録装置に適用可能である。例えば、バイオチップ作製、電子回路印刷、半導体基板作製、３Ｄプリンタなどの用途としても用いることができる。
以下の実施形態の液体吐出装置は、インク等の液体をタンクと液体吐出ヘッドの間で循環させる形態のインクジェット記録装置（記録装置）であるが、その他の形態であっても良い。例えば、インクを循環せずに、液体吐出ヘッドの上流側と下流側に２つのタンクを設け、一方のタンクから他方のタンクへインクを流すことで、圧力室内のインクを流動させる形態であっても良い。

［第１の実施形態］
（インクジェット記録装置の説明）
本発明の、液体吐出装置、特にインクを吐出して記録を行うインクジェット記録装置１０００（以下、記録装置とも称する）の概略構成を図１に示す。記録装置１０００は、被記録媒体２を搬送する搬送部１と、被記録媒体の搬送方向と略直交して配置されるライン型（ページワイド型）の液体吐出ヘッド３とを備えている。この記録装置１０００は、複数の被記録媒体２を連続的もしくは間欠的に搬送しながら１パスで連続記録を行うライン型記録装置である。被記録媒体２はカット紙に限らず、連続したロール紙であってもよい。また、液体吐出ヘッド３から直接、紙等の媒体に吐出を行わず、まず中間転写体に液体を吐出して転写体上に像を形成した後に、その像を紙等の媒体上に転写を行う中間転写型の装置においても適用可能である。液体吐出ヘッド３はＣＭＹＫ（シアン、マゼンタ、イエロー、ブラック）インクによるフルカラー印刷が可能であり、後述するように液体を液体吐出ヘッドへ供給する供給路である液体供給手段、メインタンク、及びバッファタンク（図２）が流体的に接続される。また、液体吐出ヘッド３には、液体吐出ヘッド３へ電力及び吐出制御信号を伝送する電気制御部が電気的に接続される。吐出ヘッド３内における液体経路及び電気信号経路については後述する。

（第１の循環経路の説明）
図２は、本実施形態の記録装置に適用される循環経路の一形態である第１の循環経路を示す模式図である。液体吐出ヘッド３を、第１循環ポンプ（高圧側）１００１、第１循環ポンプ（低圧側）１００２、及びバッファタンク１００３等に流体的に接続した状態が示されている。なお図２では、説明を簡略化するためにＣＭＹＫインクのうちの１色のインクが流動する経路のみを示しているが、実際には４色分の循環経路が、液体吐出ヘッド３及び記録装置本体に設けられる。メインタンク１００６と接続される、サブタンクとしてのバッファタンク１００３は、タンク内部と外部とを連通する大気連通口（不図示）を有し、インク中の気泡を外部に排出することが可能である。バッファタンク１００３は、補充ポンプ１００５とも接続されている。補充ポンプ１００５は、インク吐出による記録や吸引回復等、液体吐出ヘッドの吐出口からインクを吐出（排出）することによって液体吐出ヘッド３で液体が消費された際に、消費された分のインクをメインタンク１００６からバッファタンク１００３へ移送する。

２つの第１循環ポンプ１００１，１００２は、液体吐出ヘッド３の液体接続部１１１から液体を吸引してバッファタンク１００３へ流す役割を有する。第１循環ポンプとしては定量的な送液能力を有する容積型ポンプが好ましい。具体的にはチューブポンプ、ギアポンプ、ダイヤフラムポンプ、シリンジポンプ等が挙げられるが、例えば一般的な定流量弁やリリーフ弁をポンプ出口に配して一定流量を確保する形態であってもよい。液体吐出ヘッド３の駆動時には第１循環ポンプ（高圧側）１００１及び第１循環ポンプ（低圧側）１００２によって、それぞれ共通供給流路２１１と共通回収流路２１２の内部をある一定量のインクが流れる。この流量としては、液体吐出ヘッド３内の各記録素子基板１０間の温度差が記録画質に影響しない程度の大きさに設定することが好ましい。もっとも、あまりに大きな流量を設定すると、液体吐出ユニット３００内の流路の圧力損失の影響により、各記録素子基板１０で負圧差が大きくなり過ぎて画像の濃度ムラが生じてしまう。そのため、各記録素子基板１０間の温度差と負圧差を考慮しながら流量を設定することが好ましい。

負圧制御ユニット２３０は、第２循環ポンプ１００４と液体吐出ユニット３００との間の経路中に設けられている。これは、記録を行うデューティ（Ｄｕｔｙ）の差によって循環系の流量が変動した場合でも、負圧制御ユニット２３０よりも下流側（即ち液体吐出ユニット３００側）の圧力を予め設定した一定圧力に維持するように動作する機能を有する。負圧制御ユニット２３０を構成する２つの圧力調整機構としては、それ自身よりも下流の圧力を、所望の設定圧を中心として一定の範囲以下の変動に制御できるものであれば、どのような機構を用いても良い。一例としては所謂「減圧レギュレーター」と同様の機構を採用することができる。減圧レギュレーターを用いた場合には、図２に示したように、第２循環ポンプ１００４によって、液体供給ユニット２００を介して負圧制御ユニット２３０の上流側を加圧するようにすることが好ましい。このようにすると、バッファタンク１００３の液体吐出ヘッド３に対する水頭圧の影響を抑制できるので、記録装置１０００におけるバッファタンク１００３のレイアウトの自由度を広げることができる。第２循環ポンプ１００４としては、液体吐出ヘッド３の駆動時に使用するインク循環流量の範囲において、一定圧以上の揚程圧を有するものであればよく、ターボ型ポンプや容積型ポンプなどを使用できる。具体的には、ダイヤフラムポンプ等が採用可能である。また第２循環ポンプ１００４の代わりに、例えば負圧制御ユニット２３０に対してある一定の水頭差をもって配置された水頭タンクも採用可能である。

図２に示したように負圧制御ユニット２３０は、それぞれに対して互いに異なる制御圧が設定された２つの圧力調整機構を備えている。２つの負圧調整機構の内、相対的な高圧設定側（図２にＨと記載）、相対的な低圧設定側（図２にＬと記載）は、それぞれ、液体供給ユニット２２０内を経由して、液体吐出ユニット３００内の共通供給流路２１１、共通回収流路２１２に接続されている。液体吐出ユニット３００には、共通供給流路２１１、共通回収流路２１２、及び各記録素子基板と連通する個別供給流路２１３及び個別回収流路２１４が設けられている。個別流路２１３，２１４は共通供給流路２１１及び共通回収流路２１２と連通しているので、液体の一部が、共通供給流路２１１から記録素子基板１０の内部流路を通過して共通回収流路２１２へ至る流れ（図２の矢印）が発生する。共通供給流路２１１には圧力調整機構Ｈが、共通回収流路２１２には圧力調整機構Ｌがそれぞれ接続されているため、２つの共通流路の間に差圧が生じているからである。複数の共通供給流路２１１は液体吐出ヘッドの長手方向に沿って互いに並置して設けられている。

このようにして、液体吐出ユニット３００では、共通供給流路２１１及び共通回収流路２１２内をそれぞれ通過するように液体を流しつつ、一部の液体が各記録素子基板１０内を通過するような流れが発生する。このため、各記録素子基板１０で発生する熱を共通供給流路２１１及び共通回収流路２１２の流れで記録素子基板１０の外部へ排出することが出来る。またこのような構成により、液体吐出ヘッド３による記録を行っている際に、吐出を行っていない吐出口や圧力室においてもインクの流れを生じさせることが出来るので、その部位におけるインクの増粘を抑制できる。また増粘したインクやインク中の異物を共通回収流路２１２へと排出することができる。このため、本実施形態の液体吐出ヘッド３は、高速で高画質な記録が可能となる。

（液体吐出ヘッド構成の説明）
第１の実施形態に係る液体吐出ヘッド３の構成について説明する。図３（ａ）及び図３（ｂ）は本実施形態に係る液体吐出ヘッド３の斜視図である。液体吐出ヘッド３は、１つでＣ／Ｍ／Ｙ／Ｋの４色のインクを吐出可能な記録素子基板１０を直線状に１５個配列（インラインに配置）したライン型の液体吐出ヘッドである。図３（ａ）に示すように、液体吐出ヘッド３は、各記録素子基板１０と、フレキシブル配線基板４０及び電気配線基板９０を介して電気的に接続された信号入力端子９１と電力供給端子９２とを備えている。信号入力端子９１及び電力供給端子９２は記録装置１０００の制御部と電気的に接続され、それぞれ、吐出駆動信号及び吐出に必要な電力を記録素子基板１０に供給する。電気配線基板９０内の電気回路によって配線を集約することで、信号出力端子９１及び電力供給端子９２の数を記録素子基板１０の数に比べて少なくできる。これにより、記録装置１０００に対して液体吐出ヘッド３を組み付ける時又は液体吐出ヘッドの交換時に取り外しが必要な電気接続部の数が少なくて済む。図３（ｂ）に示すように、液体吐出ヘッド３の両端部に設けられた液体接続部１１１は、記録装置１０００の液体供給系と接続される。これによりＣＭＹＫ４色のインクが記録装置１０００の供給系から液体吐出ヘッド３に供給され、また液体吐出ヘッド３内を通ったインクが記録装置１０００の供給系へ回収されるようになっている。このように各色のインクは、記録装置１０００の経路と液体吐出ヘッド３の経路を介して循環可能である。

図４に液体吐出ヘッド３を構成する各部品またはユニットの分解斜視図を示す。液体吐出ユニット３００、液体供給ユニット２２０、及び電気配線基板９０が筺体８０に取り付けられている。液体供給ユニット２２０には液体接続部１１１（図２）が設けられるとともに、液体供給ユニット２２０の内部には、供給されるインク中の異物を取り除くため、液体接続部１１１の各開口と連通する各色別のフィルタ２２１（図２）が設けられている。２つの液体供給ユニット２２０は、それぞれに２色分ずつのフィルタ２２１が設けられている。フィルタ２２１を通過した液体はそれぞれの色に対応して供給ユニット２２０上に配置された負圧制御ユニット２３０へ供給される。負圧制御ユニット２３０は各色別の圧力調整弁からなるユニットであり、それぞれの内部に設けられた弁やバネ部材などの働きによって以下の作用を生じる。液体の流量の変動に伴って生じる記録装置１０００の供給系内（液体吐出ヘッド３の上流側の供給系）の圧力損失の変化を大幅に減衰させて、圧力制御ユニットよりも下流側（液体吐出ユニット３００側）の負圧変化をある一定の範囲内に安定させることができる。各色の負圧制御ユニット２３０内には、図２に記載したように、各色毎に２つの圧力調整弁が内蔵されている。２つの圧力調整弁はそれぞれ異なる制御圧力に設定され、高圧側が液体吐出ユニット３００内の共通供給流路２１１と、低圧側が共通回収流路２１２と、液体供給ユニット２２０を介してそれぞれ連通している。

筐体８０は、液体吐出ユニット支持部８１及び電気配線基板支持部８２とから構成され、液体吐出ユニット３００及び電気配線基板９０を支持するとともに、液体吐出ヘッド３の剛性を確保している。電気配線基板支持部８２は電気配線基板９０を支持する為のものであって、液体吐出ユニット支持部８１にネジ止めによって固定されている。液体吐出ユニット支持部８１は液体吐出ユニット３００の反りや変形を矯正して、複数の記録素子基板１０の相対位置精度を確保する役割を有し、それにより記録物におけるスジやムラを抑制する。そのため液体吐出ユニット支持部８１は、十分な剛性を有することが好ましく、材質としてはステンレス（ＳＵＳ）やアルミニウムなどの金属材料、もしくはアルミナなどのセラミックが好適である。液体吐出ユニット支持部８１には、ジョイントゴム１００が挿入される開口８３、８４が設けられている。液体供給ユニット２２０から供給される液体はジョイントゴムを介して、液体吐出ユニット３００を構成する第３流路部材７０へと導かれる。

液体吐出ユニット３００は、複数の吐出モジュール２００、流路部材２１０からなり、液体吐出ユニット３００の被記録媒体側の面にはカバー部材１３０が取り付けられる。ここで、カバー部材１３０は図４に示したように、長尺の開口１３１が設けられた額縁状の表面を持つ部材であり、開口１３１からは、吐出モジュール２００に含まれる記録素子基板１０及び封止材部１１０（図８）が露出している。開口１３１の周囲の枠部は、記録待機時に液体吐出ヘッド３をキャップするキャップ部材の当接面としての機能を有する。このため、開口１３１の周囲に沿って接着剤、封止材、充填材等を塗布し、液体吐出ユニット３００の吐出口面上の凹凸や隙間を埋めることで、キャップ時に閉空間が形成されるようにすることが好ましい。

次に液体吐出ユニット３００に含まれる流路部材２１０の構成について説明する。図４に示したように、流路部材２１０は、第１流路部材５０、第２流路部材６０、第３流路部材７０を積層したものである。そしてこの流路部材２１０は、液体供給ユニット２２０から供給された液体を各吐出モジュール２００へと分配し、また吐出モジュール２００から環流する液体を液体供給ユニット２２０へと戻すための流路部材である。流路部材２１０は液体吐出ユニット支持部８１にネジ止めで固定されており、それにより流路部材２１０の反りや変形が抑制されている。

図５（ａ）～５（ｆ）は第１～第３流路部材の各流路部材の表面と裏面を示した図である。図５（ａ）は、第１流路部材５０の、吐出モジュール２００が搭載される側の面を示し、図５（ｆ）は、第３流路部材７０の、液体吐出ユニット支持部８１と当接する側の面を示す。第１流路部材５０と第２流路部材６０とは、夫々の流路部材の当接面である図５（ｂ）と図５（ｃ）が対向するように接合し、第２流路部材と第３流路部材とは、夫々の流路部材の当接面である図５（ｄ）と図５（ｅ）が対向するように接合している。第２流路部材６０と第３流路部材７０を接合することにより、夫々の流路部材に形成される共通流路溝６２と７１とによって、流路部材の長手方向に延在する８本の共通流路が形成される。これにより色毎に共通供給流路２１１と共通回収流路２１２のセットが流路部材２１０内に形成される（図６）。第３流路部材７０の連通口７２はジョイントゴム１００の各穴と連通しており、液体供給ユニット２２０と流体的に流通している。第２流路部材６０の共通流路溝６２の底面には連通口６１が複数形成されており、第１流路部材５０の個別流路溝５２の一端部と連通している。第１流路部材５０の個別流路溝５２の他端部には連通口５１が形成されており、連通口５１を介して、複数の吐出モジュール２００と流体的に連通している。この個別流路溝５２により流路部材の中央側へ流路を集約することが可能となる。個別流路２１３、２１４は、板状部材である流路部材５０の記録素子基板側の面に開口する孔（連通口５１）と、孔５１と連通し流路部材５０の記録素子基板側と反対側の面に形成された溝５２とによって形成されている。

第１～第３流路部材は、液体に対して耐腐食性を有するとともに、線膨張率の低い材質からなることが好ましい。材質としては例えば、アルミナや、ＬＣＰ（液晶ポリマー）、ＰＰＳ（ポリフェニルサルファイド）やＰＳＦ（ポリサルフォン）を母材としてシリカ微粒子やファイバーなどの無機フィラーを添加した複合材料（樹脂材料）を好適に用いることができる。流路部材２１０の形成方法としては、３つの流路部材を積層させて互いに接着しても良いし、材質として樹脂複合樹脂材料を選択した場合には、溶着によって接合しても良い。

次に図６を用いて流路部材２１０内の各流路の接続関係について説明する。図６は、第１～第３流路部材を接合して形成される流路部材２１０内の流路を、第１流路部材５０の、吐出モジュール２００が搭載される面側から一部を拡大して見た透視図である。流路部材２１０には、色毎に液体吐出ヘッド３の長手方向に伸びる共通供給流路２１１（２１１ａ、２１１ｂ、２１１ｃ、２１１ｄ）、及び共通回収流路２１２（２１２ａ、２１２ｂ、２１２ｃ、２１２ｄ）が設けられている。各色の共通供給流路２１１には、個別流路溝５２によって形成される複数の個別供給流路２１３（２１３ａ、２１３ｂ、２１３ｃ、２１３ｄ）が連通口６１を介して接続されている。また、各色の共通回収流路２１２には、個別流路溝５２によって形成される複数の個別回収流路２１４（２１４ａ、２１４ｂ、２１４ｃ、２１４ｄ）が連通口６１を介して接続されている。このような流路構成により、各共通供給流路２１１から個別供給流路２１３を介して、流路部材の中央部に位置する記録素子基板１０にインクを集約することが出来る。また記録素子基板１０から個別回収流路２１４を介して、各共通回収流路２１２にインクを回収することが出来る。

図７は、図６のＥ－Ｅ線における断面を示した図である。図７に示すように、それぞれの個別回収流路（２１４ａ、２１４ｃ）は連通口５１を介して、吐出モジュール２００と連通している。図７では個別回収流路（２１４ａ、２１４ｃ）のみ図示しているが、別の断面においては、図６に示すように個別供給流路２１３と吐出モジュール２００とが連通している。各吐出モジュール２００に含まれる支持部材３０及び記録素子基板１０には、第１流路部材５０からのインクを記録素子基板１０に設けられる記録素子１５（図９）に供給するための流路が形成されている。また、記録素子１５に供給した液体の一部または全部を第１流路部材５０に回収（環流）するための流路も形成されている。ここで、各色の共通供給流路２１１は、対応する色の負圧制御ユニット２３０（高圧側）と、液体供給ユニット２２０を介して接続されており、また共通回収流路２１２は、負圧制御ユニット２３０（低圧側）と、液体供給ユニット２２０を介して接続されている。この負圧制御ユニット２３０により、共通供給流路２１１と共通回収流路２１２の間に差圧（圧力差）を生じさせるようになっている。このため、図６及び７に示したように各流路を接続した本実施形態の液体吐出ヘッド内では、各色で、共通供給流路２１１、個別供給流路２１３、記録素子基板１０、個別回収流路２１４、共通回収流路２１２へと順に流れる流れが発生する。

（吐出モジュールの説明）
図８（ａ）に１つの吐出モジュール２００の斜視図を、図８（ｂ）にその分解図を示す。吐出モジュール２００の製造方法としては、まず記録素子基板１０及びフレキシブル配線基板４０を、予め液体連通口３１が設けられた支持部材３０上に接着する。その後、記録素子基板１０上の端子１６と、フレキシブル配線基板４０上の端子４１とをワイヤーボンディングによって電気接続し、その後にワイヤーボンディング部（電気接続部）を封止材１１０で覆って封止する。フレキシブル配線基板４０の記録素子基板１０と反対側の端子４２は、電気配線基板９０の接続端子９３（図４参照）と電気接続される。支持部材３０は、記録素子基板１０を支持する支持体であるとともに、記録素子基板１０と流路部材２１０とを流体的に連通させる流路部材である。支持部材の流路は、液体供給路１８と個別供給流路２１３とを連結し、液体回収路１９と個別回収流路２１４とを連結する。支持部材３０は、平面度が高く、また十分に高い信頼性をもって記録素子基板と接合できるものが好ましい。材質としては例えばアルミナや樹脂材料が好ましい。

（記録素子基板の構造の説明）
本実施形態における記録素子基板１０の構成について説明する。図９（ａ）は液体吐出ヘッドの記録素子基板１０の吐出口１３が形成される側の面の平面図を示し、図９（ｂ）は図９（ａ）のＡで示した部分の拡大図を示し、図９（ｃ）は図９（ａ）の底面図を示す。図９（ａ）に示すように、記録素子基板１０の吐出口形成部材１２に、各インク色に対応する４列の吐出口列が形成されている。なお、以後、複数の吐出口１３が配列された吐出口列が延びる方向を「吐出口列方向」と呼ぶ。

図９（ｂ）に示すように、各吐出口１３に対応した位置には、液体を熱エネルギーにより発泡させるための発熱素子である記録素子１５が配置されている。隔壁２２により、記録素子１５を内部に備える圧力室２３が区画されている。記録素子１５は、記録素子基板１０に設けられる電気配線（不図示）によって、図９（ａ）の端子１６と電気的に接続されている。そして、記録素子は、記録装置１０００の制御回路から、電気配線基板９０（図４）及びフレキシブル配線基板４０（図８）を介して入力されるパルス信号に基づいて発熱して液体を沸騰させる。この沸騰による発泡の力で液体を吐出口１３から吐出する。図９（ｂ）に示すように、各吐出口列に沿って、一方の側には液体供給路１８が、他方の側には液体回収路１９がそれぞれ延在している。液体供給路１８及び液体回収路１９は記録素子基板１０に設けられた吐出口列方向に延びた流路であり、それぞれ供給口１７ａ、回収口１７ｂを介して吐出口１３と連通している。

図９（ｃ）及び図１０に示すように、記録素子基板１０の、吐出口１３が形成された面の裏面にはシート状の蓋部材２０が積層されており、蓋部材２０には、後述する液体供給路１８及び液体回収路１９に連通する開口２１が複数設けられている。本実施形態においては、１本の液体供給路１８に対して３個の開口２１、１本の液体回収路１９に対して２個の開口２１が、蓋部材２０にそれぞれ設けられている。図９（ｂ）に示すように蓋部材２０の夫々の開口２１は、図５（ａ）に示した複数の連通口５１と連通している。図１０に示すように蓋部材２０は、記録素子基板１０の基板１１に形成される液体供給路１８及び液体回収路１９の壁の一部を形成する蓋としての機能を有する。蓋部材２０は、液体に対して十分な耐食性を有している物が好ましく、また、混色防止の観点から、開口２１の開口形状及び開口位置には高い精度が求められる。このため蓋部材２０の材質として感光性樹脂材料やシリコンを用い、フォトリソプロセスによって開口２１を設けることが好ましい。このように蓋部材は開口２１により流路のピッチを変換するものであり、圧力損失を考慮すると厚みは薄いことが望ましく、フィルム状の部材で構成されることが望ましい。

次に、記録素子基板１０内での液体の流れについて説明する。図１０は図９（ａ）のＢ－Ｂ線における記録素子基板１０及び蓋部材２０の断面を示す斜視図である。記録素子基板１０は、Ｓｉにより形成される基板１１と、感光性の樹脂により形成される吐出口形成部材１２とが積層され、基板１１の裏面に蓋部材２０が接合された構成である。基板１１の一方の面側には記録素子１５が形成されており（図９）、その裏面側には、吐出口列に沿って延在する液体供給路１８及び液体回収路１９を構成する溝が形成されている。基板１１と蓋部材２０によって形成される液体供給路１８及び液体回収路１９はそれぞれ、流路部材２１０内の共通供給流路２１１と共通回収流路２１２と接続されており、液体供給路１８と液体回収路１９との間には差圧が生じている。液体吐出ヘッド３の複数の吐出口１３から液体を吐出する際に、吐出動作を行っていない吐出口においては、前述の差圧によって、基板１１内に設けられた液体供給路１８内の液体が、供給口１７ａ、圧力室２３、回収口１７ｂを経由して液体回収路１９へ流れる。この流れは図１０に矢印Ｃで示されている。この流れによって、記録を休止している吐出口１３や圧力室２３において、吐出口１３からの蒸発によって生じる増粘インクや泡や異物などを液体回収路１９へ回収することができる。また吐出口１３や圧力室２２のインクの増粘を抑制することが出来る。液体回収路１９へ回収された液体は、蓋部材２０の開口２１及び支持部材３０の液体連通口３１（図８（ｂ）参照）を通じて、流路部材２１０内の連通口５１、個別回収流路２１４、共通回収流路２１２の順に回収される。そして、液体は最終的には記録装置１０００の供給経路へ回収される。

つまり記録装置本体から液体吐出ヘッド３へ供給される液体は下記の順に流動し、供給及び回収される。液体は、まず液体供給ユニット２２０の液体接続部１１１から液体吐出ヘッド３の内部に流入する。そして、ジョイントゴム１００、第３流路部材に設けられた連通口７２及び共通流路溝７１、第２流路部材に設けられた共通流路溝６２及び連通口６１、第１流路部材に設けられた個別流路溝５２及び連通口５１の順に供給される。その後、支持部材３０に設けられた液体連通口３１、蓋部材に設けられた開口２１、基板１１に設けられた液体供給路１８及び供給口１７ａを順に介して圧力室２３に供給される。圧力室２３に供給された液体のうち、吐出口１３から吐出されなかった液体は、基板１１に設けられた回収口１７ｂ及び液体回収路１９、蓋部材に設けられた開口２１、支持部材３０に設けられた液体連通口３１を順に流れる。その後、液体は、第１流路部材に設けられた連通口５１及び個別流路溝５２、第２流路部材に設けられた連通口６１及び共通流路溝６２、第３流路部材７０に設けられた共通流路溝７１及び連通口７２、ジョイントゴム１００を順に流れる。そして、液体供給ユニットに設けられた液体接続部１１１から液体吐出ヘッド３の外部へ液体が流動する。図２に示す第１の循環経路の形態においては、液体接続部１１１から流入した液体は負圧制御ユニット２３０を経由した後にジョイントゴム１００に供給される。

また図２に示すように、液体吐出ユニット３００の共通供給流路２１１の一端から流入した全ての液体が個別供給流路２１３ａを経由して圧力室２３に供給されるわけではない。個別供給流路２１３ａに流入することなく、共通供給流路２１１の他端から液体供給ユニット２２０に流動する液体もある。このように、記録素子基板１０を経由することなく流動する経路を備えることで、本実施形態のような微細で流路抵抗の大きい流路を備える記録素子基板１０を有する場合であっても、液体の循環流の逆流を抑制することができる。このようにして、本実施形態の液体吐出ヘッドでは、圧力室や吐出口近傍の液体の増粘を抑制できるので、吐出の方向ずれや不吐出を抑制でき、結果として高画質な記録を行うことができる。

（記録素子基板間の位置関係の説明）
図１１は、隣り合う２つの吐出モジュールにおける、記録素子基板の隣接部を部分的に拡大して示す平面図である。図９に示すように、本実施形態では略平行四辺形の記録素子基板を用いている。図１１に示すように、各記録素子基板１０における吐出口１３が配列された各吐出口列１４ａ～１４ｄは、被記録媒体の搬送方向（移動方向）に対し一定角度傾くように配置されている。それによって記録素子基板１０同士の隣接部における吐出口列は、少なくとも１つの吐出口が被記録媒体の搬送方向にオーバーラップするようになっている。図１１では、Ｄ線上の２つの吐出口が互いにオーバーラップ関係にある。このような配置によって、仮に記録素子基板１０の位置が所定位置から多少ずれた場合でも、オーバーラップする吐出口の駆動制御によって、記録画像の黒スジや白抜けを目立たなくするようにすることができる。複数の記録素子基板１０を、千鳥配置ではなく直線状（インライン）に配置した場合も、図１１の構成により、液体吐出ヘッド１０の被記録媒体の搬送方向の長さの増大を抑えつつ、記録素子基板１０同士のつなぎ部における黒スジや白抜けを抑えることが出来る。なお、本実施形態では記録素子基板の主平面は平行四辺形であるが、本発明はこれに限るものではなく、例えば長方形、台形、その他形状の記録素子基板を用いた場合でも、本発明の構成を好ましく適用することができる。

前述したように、本実施形態では、記録素子基板１０の各液体用の開口２１に対応して第１流路部材５０の連通口５１が千鳥状に配列されている。そして、各開口２１と各連通口５１とは個別流路２１３、２１４によって接続されている。これらの個別流路２１３、２１４は、被記録媒体の搬送方向に対して斜めに交差する方向に延びている。詳しくは、記録素子基板１０の吐出口列形成面１０ａから見て、個別流路２１３、２１４は、液体供給路１８と接続される部分から、被記録媒体の搬送方向（移動方向）に対して傾斜する方向に延びている。それにより、個別流路２１３、２１４が被記録媒体の搬送方向に対して平行に延びている場合と比較して、個別流路２１３、２１４同士の間のシール領域の幅を広く確保することが可能である。その結果、個々の流路を独立して形成でき、隣接する流路を流れる液体が流れ込むことがなく、異なる種類（異なる色）の液体の混じり合いを抑制した流路を形成することが可能である。個別流路間のシール領域の幅について、従来の構成と本実施形態との比較を図１２に示す。図１２（ａ）は、個別流路２１３、２１４が被記録媒体の搬送方向に対してほぼ平行に延びている従来の構成を示す平面図であり、図１２（ｃ）はそのＨ－Ｈ線断面図である。便宜上、本発明の説明と同じ符号を付与している。この構成の場合、隣接する個別流路同士の間の間隔、すなわち第１流路部材５０の接着しろはａである。一方、１２（ｂ）は、個別流路２１３、２１４が被記録媒体の搬送方向に対して角度θ(0°＜θ＜90°)だけ傾斜して延びている本実施形態の構成を示す平面図であり、図６のＦ部を拡大した図である。図１２（ｄ）は図１２（ｂ）のＧ－Ｇ線断面図である。この構成の場合、隣接する個別流路同士の間の間隔、すなわち第１流路部材の接着しろはｂである。図１２（ａ）～１２（ｄ）から明らかなように、本実施形態の接着しろｂが、従来の構成の接着しろａよりも大きく確保できるため、各流路の封止の信頼性が高く、液体の混合（混色）やリークなどの不具合の可能性を低減できる。

個別流路２１３、２１４が被記録媒体の搬送方向に対して斜めに交差する方向に延びている本実施形態のもう１つの効果を以下に説明する。図１３は、本実施形態の支持部材３０の液体連通口３１と、記録素子基板１０の液体供給路１８及び液体回収路１９の位置関係を示す図である。液体連通口３１は第１流路部材５０の連通口５１と連通する位置に形成されている。液体連通口３１から供給された液体は、記録素子基板１０の蓋部材２０に形成された開口２１を通じて液体供給路１８へ供給され、吐出されなかった一部の液体は液体回収路１９へ流れる。さらに、液体回収路１９へ流れた液体は、開口２１、液体連通口３１、連通口５１を介して個別回収流路へ至る。ここで、液体供給路１８は、開口２１を液体流入用の入口として液体が流入し、流入した液体は吐出口列方向に流れつつ各吐出口に供給される。この時、液体は流れながら記録素子基板１０から熱を吸収するため、液体の温度は徐々に上昇する。その結果、吐出口列方向に沿って液体の温度分布が生じ、液体の温度特性に従って吐出量のムラを引き起こすおそれがある。そこで、温度分布等を考慮した上で、開口２１を配置する位置を決定することが好ましい。例えば、記録素子基板１０同士のつなぎ部の濃度ムラを低減するために、液体供給路１８の開口２１を記録素子基板１０の端部に配置することで、端部まで液体の流れる距離を短くし、液体の温度上昇を低減することが有効である。本実施形態のように個別流路が斜めに配置されていると、液体供給路や液体回収路が狭いピッチで隣接して設けられている場合にも、開口２１を記録素子基板１０の端部に集中的に配置しつつ、個別流路同士の間の接着しろを確保できる。それにより、隣り合う記録素子基板同士の間のつなぎ部のムラを低減することが出来る。

なお、本実施形態では、液体供給路１８に開口２１が３つ設けられ、液体回収路１９に開口２１が２つ設けられている例を示したが、これに限るものではない。例えば、図１４～１５に示すように、各液体供給路１８に開口２１が２つ設けられ、各液体回収路１９に開口２１が２つ設けられた構成であってもよい。図１５には示されていないが、連通口５１が開口２１と重なるように投影される位置に設けられて、開口２１と連通口５１は連通している。このとき、各液体の個別供給流路２１３は、同じ液体が流れる個別回収流路２１４よりも外側に位置していると、ムラを抑制する効果が大きいため好ましい。

［第２の実施形態］
本発明の第２の実施形態について以下に述べる。
図１６は第２の実施形態における、第１～第３流路部材を接合して形成される流路部材２１０内の流路の一部を、第１の流路部材５０の吐出モジュール２００が搭載される面側から見た拡大透視図である。第１の流路部材５０に形成された個別流路２１３、２１４は、連通口５１側は被記録媒体の搬送方向に対し斜めに形成されているが、連通口６１側は被記録媒体の搬送方向に対し平行に形成されている。隣接する個別流路２１３、２１４の距離が、連通口５１側に比べ連通口６１どうしの距離が十分に確保できている場合には、各個別流路の連通口６１側を被記録媒体の搬送方向に対して斜めに形成しなくともよく、図１６に示すように平行に形成してもよい。連通口６１を配置する位置によって第１の実施形態の構成と第２の実施形態２の構成を好適に選択できる。
このように、本発明では、個別流路２１３、２１４は、吐出口列形成面から見て、液体供給路１８または液体回収路１９と接続される部分から、少なくとも記録素子基板１０と重なる範囲において、被記録媒体の移動方向に対して傾斜する方向に延びている。ただし、個別流路２１３、２１４は、吐出口列形成面１０ａから見て、記録素子基板１０と重ならない位置においては、被記録媒体の移動方向に対して平行に延びていてもよい。

［第３の実施形態］
本発明の第３の実施形態について以下に述べる。
図１７は本実施形態における第１～第３流路部材の表面と裏面を示す図である。図１７（ａ）は第１流路部材の表面、図１７（ｂ）は第１流路部材の裏面を示している。図１７（ｃ）は第２流路部材の表面、図１７（ｄ）は第２流路部材の裏面を示している。図１７（ｅ）は第３流路部材の表面、図１７（ｆ）は第３流路部材の裏面を示している。本実施形態では、第２の流路部材６０に設けられている流路が、図１７（ｄ）に示す裏面側から図１７（ｃ）に示す表面側に向かってテーパ状に形成されている。断面図である図１８に、第２の流路部材６０のテーパ状の流路が示されている。このように第２流路部材６０の流路がテーパ状に形成されているため、第３流路部材７０側の流路のピッチに対して第１流路部材５０側の流路のピッチを狭く形成でき、第１流路部材の個別流路の長さを短くできる。個別流路溝５２の長さが短いということは、この個別流路において液体の混合（混色）やリークなどの不具合の可能性を低減できることを意味する。言い換えると、個別流路同士の間の封止領域は、流路の幅方向の寸法が大きいほど、かつ流路の長手方向の寸法が小さいほど、封止の信頼性が高く、封止不良が起こる確率が低減する。本実施形態では、単一の部材である第２流路部材にテーパ状の共通流路溝６２が設けられ、表面に連通口６１が形成されている。しかし、共通流路溝６２のみを形成した板状の部材と、連通口６１との形状を形成した部材とを接合することで、多層構造の第２流路部材を形成してもよい。

［第４の実施形態］
本発明の第４の実施形態について図１９～２０を用いて以下に述べる。
図１９は本実施形態における第１～第３流路部材を接合して形成された流路部材２１０内の流路の一部を、吐出モジュールが搭載される面側から見た拡大透視図である。図２０は、支持部材３０の液体連通口３１と記録素子基板１０の液体供給路１８及び液体回収路１９との位置関係を示す図である。図２０には示されていないが、連通口５１が、開口２１と重なるように投影される位置に設けられて、開口２１と連通口５１は連通している。本実施形態では、記録素子基板１０の１組の液体供給路１８および液体回収路１９に対して、それらに連通する個別流路(２１３もしくは２１４)が１つだけ形成されている。１組の共通供給流路２１１および共通回収流路２１２に接続されている個別供給流路２１３の数は、当該組の共通供給流路２１１および共通回収流路２１２に接続されている個別回収流路２１４の数以上であることが好ましい。
液体吐出ヘッドの長手方向における記録素子基板１０の長さがさほど長くなく、開口２１からの液体供給路１８の長さが短い場合には、液体の温度上昇による記録素子基板同士のつなぎ部の濃度ムラがあまり問題にならない。そのような場合には、前述したように記録素子基板１０の１つの液体供給路１８および１つの液体回収路１９に対して、それらに連通する個別流路(２１３もしくは２１４)が１つだけ形成してもよい。ただし、本実施形態においても、個別流路２１３、２１４を被記録媒体の搬送方向に対して傾斜した方向に延びるように形成することにより、個別流路２１３、２１４の間のシールを確実に行うことができる。

前述した実施形態では、共通供給流路２１１と、個別供給流路２１３と、液体供給路１８と、液体回収路１９と、個別回収流路２１４と、共通回収流路２１２とを含む液体循環路が形成されている。そして、吐出口列形成面１０ａから見て、個別流路２１３、２１４は、液体供給路１８または液体回収路１９と接続される部分から、被記録媒体の移動方向に対して傾斜する方向に延びている。個別供給流路２１３、２１４が、液体供給路１８または液体回収路１９と接続される部分から、被記録媒体の移動方向に対して傾斜する方向に延びている部分は、互いに平行である。ただし、この構成に限定されるわけではない。液体循環路が形成されていない場合には、複数の個別供給流路２１３が、液体供給路１８と接続される部分から、被記録媒体の移動方向に対して傾斜する方向に延びている。そして、複数の個別供給流路２１３の、被記録媒体の移動方向に対して傾斜する方向に延びている部分は、互いに平行である。

記録素子基板１０は、被記録媒体の移動方向に対して交差する方向（例えば直交する方向）に延びる細長い平面形状を有していてもよい。記録素子基板１０の長手方向が被記録媒体の移動方向に対して交差する角度と、個別流路２１３、２１４が、液体供給路１８または液体回収路１９と接続される部分から、被記録媒体の移動方向に対して傾斜する角度が一致していることが好ましい。

１０ 記録素子基板
１４ 吐出口列
１８ 液体供給路
１９ 液体回収路
２ 被記録媒体
２１１ 共通供給流路
２１２ 共通回収流路
２１３ 個別供給流路
２１４ 個別回収流路
５０ 第１流路部材
５１連通口
５２個別流路溝

Claims (18)

1. 被記録媒体に対して液体を吐出する複数の吐出口が配列されてなる吐出口列と、液体を吐出するためのエネルギーを発生する記録素子を内部に備える圧力室と、前記圧力室に液体を供給する液体供給路と、前記圧力室から液体を回収する液体回収路とを有する複数の記録素子基板と、
   複数の前記記録素子基板が配列される流路部材と、
   を備え、前記被記録媒体の搬送方向と直交する方向の前記被記録媒体の幅に対応した長さを有するページワイド型の液体吐出ヘッドであって、
   前記流路部材は、液体吐出ヘッドの長手方向に沿って互いに並置して設けられ前記複数の記録素子基板に液体を供給するための複数の共通供給流路と、前記液体供給路と前記共通供給流路とを接続する複数の個別供給流路と、前記長手方向に沿って互いに並置して設けられ前記記録素子基板の前記液体回収路から液体を回収するための複数の共通回収流路と、前記液体回収路と前記共通回収流路とを接続する個別回収流路とを備え、
   前記共通供給流路と、前記個別供給流路と、前記液体供給路と、前記圧力室と、前記液体回収路と、前記個別回収流路と、前記共通回収流路とをこの順に液体が流れる液体循環路が形成されており、
   吐出口列形成面から見て、前記複数の個別供給流路は、前記液体吐出ヘッドの長手方向に直交する方向に対して傾斜する部分を備える、液体吐出ヘッド。
2. 前記流路部材と前記記録素子基板の間に支持部材が設けられ、該支持部材は、前記液体供給路と前記個別供給流路とを連結する流路を有し、
   前記吐出口列形成面から見て、前記個別供給流路は、前記支持部材の前記流路に連結される連通口から、前記直交する方向に対して傾斜する方向に延びている、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 複数の前記個別供給流路が、前記吐出口列形成面から見て、前記液体供給路と接続される部分から、前記直交する方向に対して傾斜する方向に、かつ互いに沿って延びている、請求項１または２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記個別供給流路は、前記吐出口列形成面から見て、前記液体供給路と接続される部分から、少なくとも前記記録素子基板と重なる範囲において、前記直交する方向に対して傾斜する方向に延びている、請求項１から３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記個別供給流路は、前記吐出口列形成面から見て、前記記録素子基板と重ならない位置において、前記直交する方向に対して沿って延びる部分を有する、請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記記録素子基板は複数の前記液体供給路を有し、各々の前記液体供給路は液体流入用の開口を有し、複数の前記開口が千鳥状に配置されている、請求項１から５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
7. １組の前記共通供給流路および前記共通回収流路に接続されている前記個別供給流路の数は、当該組の前記共通供給流路および前記共通回収流路に接続されている前記個別回収流路の数以上である、請求項１から６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
8. 前記吐出口列形成面から見て、前記個別回収流路は、前記液体回収路と接続される部分から、前記直交する方向に対して傾斜する部分を有する、請求項１から７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
9. 前記吐出口列形成面から見て、前記個別供給流路が、前記液体供給路と接続される部分から、前記直交する方向に対して傾斜する方向に延びている部分と、前記個別回収流路が、前記液体回収路と接続される部分から、前記直交する方向に対して傾斜する方向に延びている部分は、互いに沿って延在している、請求項８に記載の液体吐出ヘッド。
10. 前記記録素子基板は、前記直交する方向に対して交差する方向に延びる細長い平面形状を有し、前記記録素子基板の長手方向が前記直交する方向に対して交差する角度と、前記個別供給流路が、前記液体供給路と接続される部分から、前記直交する方向に対して傾斜する角度が一致している、請求項１から９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
11. 前記流路部材は複数の板状部材が積層されている、請求項１から１０のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
12. 前記個別供給流路は、板状部材の前記記録素子基板側の面に開口する孔と、前記孔と連通し前記板状部材の前記記録素子基板側と反対側の面に形成された溝とによって形成されている、請求項１から１１のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
13. 前記複数の記録素子基板は、液体吐出ヘッドの長手方向に沿って直線状に配置されている、請求項１から１２のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
14. 前記圧力室の内部の液体は、前記液体供給路と前記液体回収路との圧力差により当該圧力室の外部との間で循環される、請求項１から１３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
15. 被記録媒体に対して液体を吐出する複数の吐出口と、液体を吐出するためのエネルギーを発生する記録素子を内部に備える圧力室と、を備える複数の記録素子基板と、
    複数の前記記録素子基板が配列される流路部材と、
    を備え、前記被記録媒体の搬送方向と直交する方向の前記被記録媒体の幅に対応した長さを有するページワイド型の液体吐出ヘッドであって、
    前記流路部材は、液体吐出ヘッドの長手方向に沿って互いに並置して設けられ、前記複数の記録素子基板と連通する第１および第２の共通流路と、前記第１および第２の共通流路と前記記録素子基板とを連通する第１および第２の個別供給流路と、を備え、
    吐出口が設けられる面から見て、前記第１および第２の個別供給流路は、前記液体吐出ヘッドの長手方向に直交する方向に対して傾斜し、互いに沿って延在する部分を備える、液体吐出ヘッド。
16. 前記第１および第２の共通流路の少なくとも一方は、前記記録素子基板から液体を回収するための共通流路である、請求項１５に記載の液体吐出ヘッド。
17. 前記複数の記録素子基板は、液体吐出ヘッドの長手方向に沿って直線状に配置されている、請求項１５または１６に記載の液体吐出ヘッド。
18. 前記記録素子基板には、前記圧力室に液体を供給する液体供給路と、前記圧力室から液体を回収する液体回収路とが設けられており、前記圧力室の内部の液体は、前記液体供給路と前記液体回収路との圧力差により当該圧力室の外部との間で循環される、請求項１５から１７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。

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