JP7005174B2 - パワー半導体モジュール及びその製造方法 - Google Patents
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Description
特許文献1に記載されたパワー半導体モジュールでは、カソード電極がサイリスタチップの上面に形成され、サイリスタチップの上面のうちのカソード電極が形成されていない部分に、ゲート電極が形成されている。更に、アノード電極がサイリスタチップの下面に形成されている。
また、特許文献1に記載されたパワー半導体モジュールでは、カソード電極に電気的に接続された第1端子(外部導出端子)と、アノード電極に電気的に接続された第2端子(外部導出端子)とが設けられている。これらの外部導出端子は、一部を絶縁樹脂ケースに埋入するようにして保持される。絶縁樹脂ケースは枠状に形成され、その下端開口にサイリスタチップが搭載された実装基板が固定されている。
更に、特許文献1に記載されたパワー半導体モジュールでは、ゲート電極に駆動信号を供給するためのゲート信号入力端子が板金材料によって形成されている。また、ゲート電極とゲート信号入力端子とを電気的に接続するためのゲート信号中継部材が設けられており、かかるゲート信号中継部材は、上下方向に延在した略柱状に形成されている。
ゲート信号中継部材の上面に、ゲート信号入力端子の先端側部分が配置され、ゲート信号中継部材が、ゲート電極と、ゲート信号入力端子とによって上下に挟まれた配置とされている。
そして、特許文献1に記載されたパワー半導体モジュールでは、ゲート電極と、ゲート信号中継部材の下側部分の下面とが、半田によって接合されている。更に、ゲート信号入力端子の先端側部分と、ゲート信号中継部材の上側部分の上端部とが、半田によって接合されている。
これにより、特許文献1に記載されたパワー半導体モジュールでは、ゲート信号入力端子及びゲート信号中継部材を介してゲート電極に供給されるゲート信号によって、サイリスタチップを介して第1端子と第2端子との間を流れる大電流を制御することができる。
そのため、特許文献1に記載の発明にあっては、先に高融点半田のリフローによりゲート信号中継部材の下面と、チップ上面のゲート電極とを接続し、後に低融点半田のリフローによりゲート信号中継部材の上端と、ゲート信号入力端子とを接続するという、二回のリフロー工程が必要であったため、以下のような課題が生じていた。
まず、二回のリフロー工程によりゲート信号中継部材の上下端の接続を行うことは製造効率の観点から好ましくない。
また、ゲート信号中継部材の下端が先に固定されてしまうため、ゲート信号中継部材の上端と、ゲート信号入力端子との水平方向の位置ずれ許容範囲の一部が使われたり、同許容範囲を超えて固定されたりするおそれがある。
更に、ゲート信号中継部材が、チップ上面のゲート電極と、ゲート信号入力端子とによって上下に挟まれた配置とされているので、ゲート信号入力端子を先にケースに保持しようとすると、ゲート信号中継部材の長さと、チップ上面のゲート電極とゲート信号入力端子と間の間隔との許容度も比較的厳しく求められる。
樹脂部と端子部とを有し、前記パワー半導体チップを保持する端子付ケースと、
パワー半導体チップの上面に設けられた電極と前記端子部とを接続する柱状の中継部材と、を備えるパワー半導体モジュールにおいて、
前記端子付ケースは、前記中継部材をその長手方向に挿通させる挿通部を有し、
前記挿通部の中心軸方向に見て前記挿通部は前記電極内に配置され、
前記端子部の前記中継部材に対する接続面は、前記挿通部の内縁の少なくとも一部とされ、
前記中継部材は前記長手方向に延出し、前記挿通部に挿通されて、前記挿通部から延出する一端が前記電極と半田を介して接続され、側面が前記接続面と半田を介して接続され、前記挿通部の内縁の一部が、前記樹脂部に設けられた孔部の内縁により構成されていることを特徴とする。
前記保持状態において前記第1半田及び第2半田を同時にリフローして、前記第1半田により前記中継部材の一端と前記電極とを接続するとともに、前記第2半田により前記中継部材の側面と前記端子部の前記接続面とを接続するリフロー工程とを備えることを特徴とする。
本発明のパワー半導体モジュールの製造方法によれば、上記組立工程において端子付ケースの挿通部に中継部材を挿通するだけで、端子部の接続面に近接した位置に中継部材を挿通することができ、パワー半導体チップの電極に向けて中継部材を挿通することができ、この中継部材の配置を保持できる。したがって、組立て容易であり製造効率が向上するとともに組立て精度が向上する。一回のリフロー工程で中継部材の半田接合を完了するから、半田選択の自由度が高まるとともに、更に製造効率が向上し、溶融半田の表面張力によるセルフアライメントにより組立て精度、電気的接続の信頼性が向上する。挿通部の内縁の規制により中継部材が電極及び端子部に対して位置決めされるとともに、中継部材の側面と端子部とが接続するから、中継部材の長さ、電極と端子部と間の間隔の許容度が大幅に拡大し、電気的接続の信頼性が向上する。
図1に実施形態1のパワー半導体モジュール1Aのゲート接続構造が示される。
パワー半導体モジュール1Aは、実装基板10と、端子付ケース20と、ゲート信号中継部材としてのゲートピン2とを備える。
実装基板10は、金属製のベース板上に、導体パターンを有した絶縁基板を積層し、その導体パターンに下面をダイボンディングされたパワー半導体チップ11を備える。パワー半導体チップ11としてはサイリスタチップ11を例とする。サイリスタチップ11のアノード電極は、チップ下面に形成されていて絶縁基板上の導体パターンに接続し、カソード電極は、チップ上面に形成され、電極板30が接続されている。(電極板30からは、金属板31等によって並列ダイードのアノード電極等に配線接続される。)アノード-カソード間に大電流が流れるので、こられは比較的大面積で形成されている。これに対しゲート電極11Gは、サイリスタチップ11をスイッチングさせるゲート信号を入力する信号入力電極であり、比較的小面積で形成されている。本例では、ゲート電極11Gはチップ中央に小さく形成され、ゲート電極11Gの周囲にカソード電極が大きく形成され、電極板30に穿設された孔部30aによりゲート電極11Gが露出する。孔部30aの内側においてゲートピン2の下端がゲート電極11Gと半田S1を介して接合される。ゲートピン2は、金属材料により構成された柱状部材で、本実施形態では断面円形に形成されている。
端子付ケース20の下端開口に実装基板10が固定されている。
実装基板10を下として上下方向軸をZ軸とし、Z軸に直交し互いに直交する2軸をXY軸として図中に示す。
端子付ケース20内でゲート電極11Gと、ゲート信号入力端子22とが、上下方向Zに長く延在する信号中継部材であるゲートピン2により接続されている。
ゲートピン2の下端とゲート電極11Gとが第1半田S1を介して接続され、ゲートピン2の側面2aと、ゲート信号入力端子22の一端部22aの先端面22bが接続面22bとして第2半田S2を介して接続されている。
挿通部23は、ゲートピン2をその長手方向に挿通させる空間部を指し、周囲にゲートピン2の側面2aに接触して規制する内縁23aが配置されて所定の形成範囲23bに画成される。挿通部23の内縁23aを構成する部材は、端子付ケース20の構成材であり、挿通部23の内縁23aの少なくとも一部はゲート信号入力端子22よって構成される。
挿通部23の中心軸A上にゲート電極11Gが配置されている。
これに拘わらず図3に示すように、Z軸方向に見て樹脂部21の孔部21aの内側にゲート信号入力端子22の接続面22bを配置してもよい。この場合も、接続面22bがゲートピン2の側面2aに接触して規制する挿通部23の内縁23aの一部となるからである。残りの必要な挿通部23の内縁23aは、樹脂部21に設けられた孔部21aの内縁により構成される。
したがって、ゲートピン2を挿通部23に上から挿入すれば、ゲートピン2の自重落下によりゲートピン2の下面がゲート電極11Gに着くため、ゲートピン2とゲート電極11Gとの接続が確実に行えるとともに、ゲート電極11Gを押圧し過ぎることによりチップ11に機械的ストレスを与えることがない。
このように、ゲートピン2の側面2aに接触して規制する内縁23aのすべてを、Z軸方向に連続した面として形成する必要はない。その場合でも、接続面22bは、中心軸Aに略平行に配置されることが好ましい。ゲートピン2の側面2aとの接続性を良好にするためである。
また以上の実施形態では、樹脂部21に孔部21aを形成したが、ゲートピン2が側方(X、Y方向)に抜け出せない程度の切欠きを形成しても実施できることはもちろんである。
図5に実施形態2のパワー半導体モジュール1Bのゲート接続構造が示される。本実施形態のパワー半導体モジュール1Bは、上記実施形態1のパワー半導体モジュール1Aの変形形態であり以下の点が異なる。
ゲート信号入力端子22のゲートピン2の側面2aと接続する一端部22aが、Z軸方向に長く延設され、ゲートピン2の側面2aに接続している一端部22aの側面22cの面積が、一端部22aの先端面22dの面積より大きい。すなわち、ゲートピン2の側面2aとの接続面は、ゲート信号入力端子22の側面22cとされ、側面22cは一端部22aの先端面22dの面積より大きい。
ゲート信号入力端子22は横断面積一様の棒状であり、曲部22fで略90度に曲げて一端部22aをZ軸方向に長く延設することで、接続面(22c)を広くすることができる。ゲート信号入力端子22は、ゲートピン2と接続する一端部22aから曲部22fを介してゲートピン2から離れる方向に延設され、XY座標の所望の位置に引き回される。
かかる構造により、ゲートピン2とゲート信号入力端子22との接続面積を大きく確保することができる。
図6に実施形態3のパワー半導体モジュール1Cのゲート接続構造が示される。本実施形態のパワー半導体モジュール1Cは、上記実施形態1のパワー半導体モジュール1Aの変形形態であり以下の点が異なる。
ゲート信号入力端子22に孔部22eが設けられる。孔部22eの中心軸Aが挿通部23の中心軸Aに配置される。孔部22eの内周面が接続面とされている。
すなわち、挿通部23の内縁が、ゲート信号入力端子22に設けられた孔部22eの内縁により構成されている構造である。挿通部23において、ゲートピン2の側面2aに接触して規制する内縁が孔部22eの内周縁により構成されているので、ゲートピン2がZ軸に垂直ないずれの方向に偏っても、ゲート信号入力端子22に接触するので、ゲートピン2とゲート信号入力端子22との接続が確実に行える。
また本実施形態では、ゲートピン2はZ軸回りの全周に亘り第2半田S2を介して孔部22eの内周縁全部に接合している。したがって、ゲートピン2とゲート信号入力端子22との接続面積を大きく確保することができる。
次に製造方法に沿って説明する。上記実施形態1から実施形態3のパワー半導体モジュール1A,1B,1Cについて共通の製造過程である。但し、挿通部23に関しては、上述したそれぞれの構造を構成する。
まず、上述した端子付ケース20を構成するケース製造工程を実施する。ケース製造工程には、端子製造工程と、端子をインサートした樹脂モールド工程とが含まれる。端子製造工程にあっては、ゲート信号入力端子22を含む必要な端子をプレス成形等によって形成し、必要なメッキ処理等を施す。
次に樹脂モールド工程として、製造した端子を、金型に配置し、型閉めし、樹脂を注入して硬化させ、型開きして取り出す。
以上により上述した挿通部23を備えた端子付ケース20を構成する。
端子付ケース20の下端開口にパワー半導体チップ11が搭載された実装基板10を固定する。これにより、ゲート電極11Gの上方に挿通部23が配置されるように、予め端子付ケース20及び実装基板10を設計して製造し、組み立てる。
次工程(リフロー工程)のゲートピン2の半田接続に必要な箇所に半田(例えば、鉛フリー半田)を配置する。ここでは、ゲート電極11Gと、ゲート信号入力端子22の接続面(実施形態1では先端面22b、実施形態2では側面22c、実施形態3では孔部22eの内面)に半田を塗布する。
挿通部23にゲートピン2を上から挿入する。この時、挿通部23の案内によって、ゲートピン2の下端をゲート電極11Gに第1半田S1を介して当接して配置するとともに、ゲートピン2の側面2aをゲート信号入力端子22の接続面に第2半田S2を介して当接又は近接して配置した保持状態とする。
上記(2)の保持状態において第1半田S1及び第2半田S2を同時にリフローして同第1半田S1により、ゲートピン2の下端とゲート電極11Gとを接続するとともに、第2半田S2により、ゲートピン2の側面2aとゲート信号入力端子22の接続面とを接続する。
この時、半田S1,S2が同時に溶融するから、溶融半田の表面張力によりゲートピン2がXYZの各方向にセルフアライメントされる。遊び23cを有することにより、セルフアライメント作用中においてゲートピン2はZ軸方向にも容易に移動できる。
それととともに、ゲートピン2の側面2aと端子22とが接続するから、ゲートピン2の長さ、電極11Gと端子22と間の間隔の許容度が大幅に拡大し、電気的接続の信頼性が向上する。すなわち、ゲートピン2の長さを、電極11Gと端子22と間のZ軸方向間隔より十分に長くしておくことにより、製造誤差を許容し、ゲートピン2と端子22とが所望の接続面積以上で確実に接続される。
また、一回のリフロー工程によるため、半田S1,S2として鉛フリー半田を使用可能である(鉛フリー半田は融点選択性が少ないため)。
例えば、上記実施形態では、パワー半導体チップをサイリスタチップとしたが、IGBT、MOSFETなどの他の種類の半導体デバイスに本発明を適用してもよい。
また、上記実施形態では、パワー半導体チップ上のゲート電極への接続に適用したが、他の電極への接続に本発明を適用してもよい。
また、上記実施形態では、中継部材を断面円形のものとしたが、断面矩形など他の断面形状の中継部材を適用してもよい。挿通部の形状は、中継部材の断面形状に合わせて形成することが好ましい。
また、上記実施形態では、ゲート電極と、ゲート信号入力端子に半田を塗布したが、中継部材の半田接続に必要な箇所に半田を配置できればよい。
2 ゲートピン(中継部材)
2a 側面
10 実装基板
11 パワー半導体チップ
11G ゲート電極
20 端子付ケース
21 樹脂部
21a 孔部
22 ゲート信号入力端子(端子部)
22a 一端部
22e 孔部
23 挿通部
23a 規制する内縁
23b 挿通部の形成範囲
S1,S2 半田
Claims (7)
- パワー半導体チップと、
樹脂部と端子部とを有し、前記パワー半導体チップを保持する端子付ケースと、
パワー半導体チップの上面に設けられた電極と前記端子部とを接続する柱状の中継部材と、を備えるパワー半導体モジュールにおいて、
前記端子付ケースは、前記中継部材をその長手方向に挿通させる挿通部を有し、
前記挿通部の中心軸方向に見て前記挿通部は前記電極内に配置され、
前記端子部の前記中継部材に対する接続面は、前記挿通部の内縁の少なくとも一部とされ、
前記中継部材は前記長手方向に延出し、前記挿通部に挿通されて、前記挿通部から延出する一端が前記電極と半田を介して接続され、側面が前記接続面と半田を介して接続され、前記挿通部の内縁の一部が、前記樹脂部に設けられた孔部の内縁により構成されていることを特徴とするパワー半導体モジュール。 - 前記中継部材は前記挿通部より前記電極側に位置する第1端部から第2端部まで一様な太さであり、かつ、前記挿通部から自重落下可能な太さであることを特徴とする請求項1に記載のパワー半導体モジュール。
- 前記端子部の前記中継部材と接続する一端部が、前記挿通部の中心軸方向に長く延設され、前記中継部材に接続している当該一端部の側面の面積が、当該一端部の先端面の面積より大きいことを特徴とする請求項1または請求項2に記載のパワー半導体モジュール。
- 前記端子部は、前記中継部材と接続する一端部から曲部を介して前記中継部材から離れる方向に延設されていることを特徴とする請求項3に記載のパワー半導体モジュール。
- 前記挿通部の前記電極から遠い側の開口の大きさは、前記挿通部の前記電極に近い側の開口の大きさより大きく形成されていることを特徴とする請求項1から請求項4のうちいずれか一つに記載のパワー半導体モジュール。
- 請求項1から請求項5のうちいずれか一つに記載のパワー半導体モジュールの製造方法において、
前記端子付ケースに前記パワー半導体チップを保持し、前記挿通部に前記中継部材を前記電極から遠い側から挿入して、前記挿通部の案内により、前記中継部材の前記挿通部から延出する一端を前記電極に第1半田を介して当接又は近接して配置するとともに、前記中継部材の側面を前記端子部の前記接続面に第2半田を介して当接又は近接して配置した保持状態とする組立工程と、
前記保持状態において前記第1半田及び第2半田を同時にリフローして、前記第1半田により前記中継部材の一端と前記電極とを接続するとともに、前記第2半田により前記中継部材の側面と前記端子部の前記接続面とを接続するリフロー工程とを備えることを特徴とするパワー半導体モジュールの製造方法。 - 前記組立工程において、前記中継部材の下端を前記電極に前記第1半田を介して当接して下支えさせることを特徴とする請求項6に記載のパワー半導体モジュールの製造方法。
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015012270A (ja) | 2013-07-02 | 2015-01-19 | 住友電気工業株式会社 | 半導体モジュール |
JP2015035437A (ja) | 2013-08-07 | 2015-02-19 | 本田技研工業株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2015053241A (ja) | 2013-09-09 | 2015-03-19 | 新電元工業株式会社 | 半導体装置の端子案内部材、半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JP2015035437A (ja) | 2013-08-07 | 2015-02-19 | 本田技研工業株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2015053241A (ja) | 2013-09-09 | 2015-03-19 | 新電元工業株式会社 | 半導体装置の端子案内部材、半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11498766B2 (en) | 2020-10-10 | 2022-11-15 | Hai Robotics Co., Ltd. | Warehousing system, material transporting method, control terminal, robot, and storage medium |
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A621 | Written request for application examination |
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