JP6990582B2 - レーザシステム内の利得エレメントを隔離するためのシステム及び方法 - Google Patents
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Description
T=D/V+dT
ここで、Dはビーム径であり、上記のようにVは音波がAOM90を通って伝搬する速度であり(AOMの場合は一定)、dTは光パルス持続時間である(同じくAOMの場合は一定)。ビーム径が4ミリメートルである場合、音響パケットの速度は毎秒5500メートルであり、光パルス持続時間は200ナノ秒であり、その結果得られる最小音響パケットサイズは927ナノ秒である。
TDELAY>TRISE+TP/2
ここで、TDELAYは遅延素子110によって提供される遅延であり、TRISEは音波がAOM内のビームアパーチャを閉塞するのに必要な時間であり、TPは光パルス持続時間である。遅延は、少なくとも、AOMが種々の時間に開放できるようにするための計算された時間であり、それぞれのゲートが開放する時間同士の時間差は、反射光が隔離ステージに届いた時に組み合わせた2つのAOMが完全に又は実質的に閉鎖されることを保証するのに十分な長さである。本発明に基づいて当業者にとって明らかになるように、時間遅延の上限は、遅延素子110の長さ、ボリューム、及び損失を含むがこれらに限定されない遅延素子110の特性によって拘束される。
TDELAY>(TRISE+TP)/2
Claims (14)
- 光路上でパルスレーザ光を生成するためのレーザシードモジュールと、
前記光路に沿って位置決めされた第1の利得エレメントと、
前記第1の利得エレメントの後に前記光路に沿って位置決めされた第2の利得エレメントと、
前記第1の利得エレメントと前記第2の利得エレメントとの間に前記光路に沿って位置決めされ、前記第2の利得エレメントを通って前記光路に沿って反射して戻る光をそらすように構成された隔離ステージであって、前記隔離ステージが、
第1の期間について光が前記光路に沿って誘導される第1の状態と光が前記光路に沿って誘導されない第2の状態との間を遷移するように構成された第1の音響光学変調器(AOM)と、
第2の期間について光が前記光路に沿って誘導される第1の状態と光が前記光路に沿って誘導されない第2の状態との間を遷移するように構成された第2のAOMであって、前記第2のAOMの遷移が前記第1のAOMの遷移後のある時間に発生する第2のAOMと、
前記第1のAOMと前記第2のAOMとの間に位置決めされ、前記AOMの前記第1の期間及び前記第2の期間に基づいて決定された時間の間、前記第1のAOMと前記第2のAOMとの間の光の送出を遅延させるように構成された遅延素子であって、前記第2のAOMを通過し、前記光路に沿って反射して戻る光が前記第1のAOMを通過して前記レーザシードモジュールに戻らないようになっており、光学コンポーネントを含むビーム折り返し光学配置を有する遅延素子と、
を含む、隔離ステージと、
を含む、システム。 - 前記第1の期間及び前記第2の期間が更にレーザビームの幅に基づくものである、請求項1に記載のシステム。
- 前記遅延が更にビーム結像の発生に基づくものである、請求項1に記載のシステム。
- ビーム結像が発生した場合、前記レーザビームの第1の部分が前記第2のAOMによってそらされ、前記レーザビームの残りの部分が前記第1のAOMによってそらされるように前記遅延が更に決定される、請求項3に記載のシステム。
- 前記第2の利得エレメントを越えて位置決めされた1つ以上の他のエレメントを更に含む、請求項1に記載のシステム。
- 前記1つ以上の他のエレメントが極端紫外(EUV)プラズマチャンバを含む、請求項5に記載のシステム。
- 前記1つ以上の他のエレメントが電力増幅器を含む、請求項5に記載のシステム。
- 前記第1の利得エレメント及び前記第2の利得エレメントが前置増幅器を含む、請求項1に記載のシステム。
- 前記第2の利得エレメントを越えて前記光路に沿って位置決めされた第2の隔離ステージを更に含む、請求項1に記載のシステム。
- 前記第1の利得エレメントと前記シードレーザとの間に前記光路に沿って位置決めされた第2の隔離ステージを更に含む、請求項1に記載のシステム。
- 前記隔離ステージが、反射光をそらすことにより前記第1の利得エレメント内の自動レーザ発振を防止するように更に構成される、請求項1に記載のシステム。
- 前記第1のAOM及び前記第2のAOMがクロスファイア状態である、請求項1に記載のシステム。
- 前記遅延が前記レーザビームの前記幅に基づいて更に決定される、請求項12に記載のシステム。
- 光路上でレーザ光を生成することと、
前記レーザ光から発生したレーザパルスを前記光路に沿って位置決めされた第1の利得エレメントを通って通過させることと、
前記第1の利得エレメントの後に前記光路に沿って位置決めされ、隔離ステージを越えて位置する任意のエレメントから前記光路に沿って反射して戻る光をそらすように構成された隔離ステージを通って前記レーザパルスを通過させることであって、当該隔離ステージが、
第1の期間について光が前記光路に沿って誘導される第1の状態と光が前記光路に沿って誘導されない第2の状態との間を遷移するように構成された第1の音響光学変調器(AOM)と、
第2の期間について光が前記光路に沿って誘導される第1の状態と光が前記光路に沿って誘導されない第2の状態との間を遷移するように構成された第2のAOMであって、前記第2のAOMの遷移が前記第1のAOMの遷移後のある時間に発生する第2のAOMと、
前記第1のAOMと前記第2のAOMとの間に位置決めされ、前記AOMの前記第1の期間及び前記第2の期間に基づいて決定された時間の間、前記第1のAOMと前記第2のAOMとの間の光の送出を遅延させるように構成された遅延素子であって、前記第2のAOMを通過し、前記光路に沿って反射して戻る光が前記第1のAOMを通過して前記レーザシードモジュールに戻らないようになっており、光学コンポーネントを含むビーム折り返し光学配置を有する遅延素子と、
を含むことと、
前記隔離ステージの後に前記光路に沿って位置決めされた第2の利得エレメントを通って前記レーザパルスを通過させることと、
を含む、方法。
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