JP6989658B2 - 複数の荷電粒子ビームの装置 - Google Patents
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Description
[0001] この出願は、「複数の荷電粒子ビームの装置(Apparatus of Plural Charged-Particle Beams)」と称する2016年1月27日に出願されたRenらが権利を有する米国仮特許出願第62/287,626号の優先権の利益を主張し、その全開示は、参照により本明細書に組み込まれる。
[0002] この出願は、「複数の荷電粒子ビームの装置」と称する2016年3月9日に出願されたRenらが権利を有する米国特許出願第15/065,342号に関し、その全開示は、参照により本明細書に組み込まれる。
[0062] ここでは、本発明のいくつかの実施形態の例が示されている添付の図面を参照して、本発明の様々な実施形態の例をより完全に説明する。本発明の保護の範囲を制限することなく、実施形態の説明および図面はすべて例示的に電子ビームに関連する。しかし、実施形態は、本発明を特定の荷電粒子に限定するためには使用されない。
Claims (21)
- 供給源変換ユニットであって、
複数のビームレットを通過させるように構成された複数のビーム制限開口を有するビームレット制限デバイスと、
一次光軸に沿って移動可能であり、複数の電子光学要素を含む画像形成デバイスであって、前記複数の電子光学要素の少なくとも一部が、前記複数のビームレットの少なくとも一部を前記一次光軸に向けて偏向するように構成される、画像形成デバイスと
を含む、供給源変換ユニット。 - 前記複数のビームレットの前記少なくとも一部の前記一次光軸に向けた前記偏向が、電子源の複数の虚像を形成する、請求項1に記載の供給源変換ユニット。
- 前記複数の電子光学要素の前記少なくとも一部が、複数のプローブスポットの軸外収差を低減する偏向角度で前記複数のビームレットの少なくとも一部を偏向するように構成される、請求項1または2に記載の供給源変換ユニット。
- 前記複数のプローブスポットが、前記一次光軸に沿って前記画像形成デバイスを移動することによって一緒に変動するピッチを有する、請求項3に記載の供給源変換ユニット。
- 前記複数のプローブスポットが、磁気レンズと静電レンズの集束力の比率を変動させることによって選択可能な配向を有する、請求項3および4のいずれか1項に記載の供給源変換ユニット。
- 前記偏向角度が、前記複数のビームレットの前記少なくとも一部がサンプルの表面に垂直にまたは実質的に垂直に着地することを可能にする、請求項3に記載の供給源変換ユニット。
- 前記偏向角度が、前記複数のビームレットの前記少なくとも一部が同じまたは実質的に同じ着地角度でサンプルの表面に斜めに着地することを可能にする、請求項3に記載の供給源変換ユニット。
- マルチビーム装置であって、
一次光軸に沿って荷電粒子ビームを生成するように構成された電子源と、
供給源変換ユニットであって、
前記荷電粒子ビームの複数のビームレットを通過させるように構成された複数のビーム制限開口を有するビームレット制限デバイスと、
前記一次光軸に沿って移動可能であり、複数の電子光学要素を含む画像形成デバイスであって、前記複数の電子光学要素の少なくとも一部が、前記複数のビームレットの少なくとも一部を前記一次光軸に向けて偏向するように構成される、画像形成デバイスと
を含む供給源変換ユニットと、
前記複数のビームレットをサンプルの表面に集束させ、複数のプローブスポットを形成するように構成された対物レンズと
を含む、マルチビーム装置。 - 前記複数のビームレットの前記少なくとも一部の前記一次光軸に向けた前記偏向が、前記電子源の複数の虚像を形成する、請求項8に記載のマルチビーム装置。
- 前記対物レンズが、磁気レンズおよび静電レンズを含む、請求項8および9のいずれか1項に記載のマルチビーム装置。
- 前記磁気レンズと前記静電レンズが、前記磁気レンズと前記静電レンズの集束力の比率を変動させることによって前記複数のプローブスポットの配向の選択を可能にするように構成される、請求項10に記載のマルチビーム装置。
- 前記複数のプローブスポットが、前記一次光軸に沿って前記画像形成デバイスを移動することによって一緒に変動するピッチを有する、請求項8〜11のいずれか1項に記載のマルチビーム装置。
- 前記複数の電子光学要素の前記少なくとも一部が、前記複数のプローブスポットの軸外収差を低減する偏向角度で前記複数のビームレットの少なくとも一部を偏向するように構成される、請求項8〜12のいずれか1項に記載のマルチビーム装置。
- 前記偏向角度が、前記複数のビームレットの前記少なくとも一部がサンプルの表面に垂直にまたは実質的に垂直に着地することを可能にする、請求項13に記載のマルチビーム装置。
- 前記偏向角度が、前記複数のビームレットの前記少なくとも一部が同じまたは実質的に同じ着地角度でサンプルの表面に斜めに着地することを可能にする、請求項13に記載のマルチビーム装置。
- 前記対物レンズの前焦点面の上側に位置決めされた偏向走査ユニットをさらに含む、請求項8に記載のマルチビーム装置。
- 前記偏向走査ユニットが、同じまたは実質的に同じ着地角度で前記表面に斜めに着地するように前記複数のビームレットを傾斜するように構成される、請求項16に記載のマルチビーム装置。
- 前記供給源変換ユニットと前記対物レンズの前焦点面との間に位置決めされたビームレット傾斜偏向器をさらに含む、請求項8に記載のマルチビーム装置。
- 前記ビームレット傾斜偏向器が、同じまたは実質的に同じ着地角度で前記表面に斜めに着地するように前記複数のビームレットを傾斜するように構成される、請求項18に記載のマルチビーム装置。
- サンプルの表面を観察するためのマルチビーム装置を構成するための方法であって、
画像形成デバイスを使用して電子源の複数の虚像を形成することであって、前記虚像が、複数のプローブスポットを前記表面上に形成するために使用されることと、
一次光軸に沿って前記画像形成デバイスを移動して、前記複数のプローブスポットのピッチを変動させることと
を含む、方法。 - 対物レンズを使用して前記複数の虚像を前記表面に結像して、前記複数のプローブスポットを前記サンプル上に形成することをさらに含む、請求項20に記載の方法。
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