JP6986785B2 - 形状記憶合金薄膜アクチュエータアレイによるオートフォーカス駆動機構 - Google Patents
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Description
また、形状記憶合金薄膜アクチュエータをアレイにして使ったデバイスとしては、歩行ロボットや搬送機あるいはグリッパが非特許文献2で報告されている。
[1] 固定端側が基板に固定され、先端側が基板から解放されて反り上がった複数の形状記憶合金薄膜が前記基板上で面状に並べられてアクチュエータアレイを構成しているアクチュエータアレイ基板と、
移動対象物を支持するプレートと、
前記複数の形状記憶合金薄膜が、オーステナイト相で前記基板のなす平面に対して反り上がった形状となり、マルテンサイト相で前記基板のなす平面に対して大略平坦となるようなバイアス力を与えるバイアスばねを備え、
前記アクチュエータアレイ基板、前記プレート、および前記バイアスばねが積層された構造を保持する筐体を備え、
室温時に前記対象物を支持するプレートの移動が前記アクチュエータアレイ基板の基板によって停止することによって、形状記憶合金薄膜の変態ひずみを越えた余分な塑性変形を防ぐことを特徴とするオートフォーカス駆動機構。
[2] 前記対象物を支持するプレートの移動が前記形状記憶合金薄膜のマルテンサイト変態終了温度よりも高い温度で前記アクチュエータアレイ基板の基板によって停止することを特徴とする[1]に記載のオートフォーカス駆動機構。
前記形状記憶合金薄膜の熱膨張係数よりも小さな熱膨張係数を有する下層の薄膜は、SiO 2 薄膜であることを特徴とする[1]又は[2]に記載のオートフォーカス駆動機構。
[4] 前記移動対象物を支持するプレートの上面にスペーサーが突設されており、当該スペーサーの上端部が前記バイアスばねの下面に接するように構成されたことを特徴とする[1]乃至[3]のいずれか一項に記載のオートフォーカス駆動機構。
[5] 前記バイアスばねが、前記アクチュエータアレイ基板と同様の構成を有する第2のアクチュエータアレイ基板であることを特徴とする[1]乃至[3]のいずれか一項に記載のオートフォーカス駆動機構。
[6] 前記基板は、Siウエハ基板であることを特徴とする[1]乃至[5]のいずれか一項に記載のオートフォーカス駆動機構。
[7] 前記形状記憶合金薄膜は、組成元素を、50原子%以上で55原子%以下のTi、10原子%を超えて20原子%以下のCu、残部をNiおよび不可避的不純物とする、Ti−Ni−Cu合金薄膜であることを特徴とする[1]乃至[6]のいずれか一項に記載のオートフォーカス駆動機構。
[8] 前記形状記憶合金薄膜は、組成元素を、45原子%以上で50原子%未満のTi、原子%で10+1.6×(50−Tiの原子%)を超えて20+1.6×(50−Tiの原子%)以下のCu、残部をNiおよび不可避的不純物とする、Ti−Ni−Cu合金薄膜であることを特徴とする[1]乃至[6]のいずれか一項に記載のオートフォーカス駆動機構。
[9] 前記形状記憶合金薄膜は、組成元素を、50原子%以上で55原子%以下のTi、5原子%以上で10原子%以下のCu、残部をNiおよび不可避的不純物とする、Ti−Ni−Cu合金薄膜であることを特徴とする[1]乃至[6]のいずれか一項に記載のオートフォーカス駆動機構。
[11] 前記移動対象物はレンズであり、前記基板は光路確保のための開口窓を有し、前記アクチュエータアレイ基板における複数の形状記憶合金薄膜の配置は、前記開口窓を囲うように、前記基板に大略均一な密度で配置されていることを特徴とする[1]乃至[9]のいずれか一項に記載のオートフォーカス駆動機構。
[13] オートフォーカス制御回路からの駆動電流を前記複数の形状記憶合金薄膜に通電することにより、前記複数の形状記憶合金薄膜の電気抵抗を制御して、オートフォーカスを行う機能を具備するように構成したことを特徴とする[12]に記載のカメラモジュール。
[14] 前記形状記憶合金薄膜は、固定端側の一端から先端側を経由して前記固定端側の他端に通電するように構成されたことを特徴とする[13]に記載のカメラモジュール。
[15] 前記加熱手段は、前記形状記憶合金薄膜の周囲に形成された電熱導体であることを特徴とする[12]に記載のカメラモジュール。
[16] 駆動電流を前記複数の形状記憶合金薄膜の個々の形状記憶合金薄膜に独立して通電することにより、手振れ補正機能を具備するように構成したことを特徴とする[12]乃至[15]のいずれか一項に記載のカメラモジュール。
[17] [12]乃至[16]のいずれか一項に記載のカメラモジュールを搭載したことを特徴とするカメラ付き携帯電話。
また上記の構成を有する発明[1]によれば、別途、形状記憶合金薄膜の余分な塑性変形を防ぐためのストッパを設ける必要がなく、オートフォーカス駆動機構の構造を簡単にできる。
上記の構成を有する発明[5]によれば、アクチュエータアレイ基板を構成する形状記憶合金薄膜に通電する電流を制御してバイアスばねのばね定数を室温で低ヤング率、高温で高ヤング率に設定することにより、ばね定数一定のバイアスばねを使った場合に比べてオートフォーカス駆動機構のストロークを増加させることができる。
図1(a)、(b)には基板1上に形成されたカンチレバー型形状記憶合金薄膜アクチュエータ2(ここでは形状記憶合金薄膜3とそれよりも熱膨張係数の小さい薄膜4の2層で構成されている)の側面の断面図と平面図を示す。形状記憶合金薄膜アクチュエータ2の形状は通電加熱を行うために図1(b)に示すように概ねU字型をしている。ただし、ヒーターなどによる外部加熱を行う場合はこの形状に拘る必要はない。なお、以下では、形状記憶合金薄膜アクチュエータ2を構成する薄膜のうち、基板1に近い側にある薄膜4を便宜的に「下層」とも称する。
形状記憶合金薄膜アクチュエータ2は、図1(a)に示すように、固定端側(図1(a)における左側)が基板1に固定され、先端側(図1(a)における右側)が基板1から解放されている。また、図1(a)では、形状記憶合金薄膜アクチュエータ2が基板1のなす平面(図1(a)の紙面左右方向の面)に対して反り上がった形状である状態を示している。
このような組成の合金薄膜によれば、Ti−Ni合金よりも変態温度が高くて温度ヒステリシスが小さく、発生力が大きくて応答性に優れた形状記憶合金薄膜を使ったアクチュエータアレイを作製することができる。
このような組成の合金薄膜によれば、Ti−Ni−Cu合金ワイヤよりも格段に発生力が大きく、特性の組成依存性が小さくて組成制御が難しいスパッタリングにおいても安定した特性(大きい力、高い応答性、高い変態温度)を示す形状記憶合金薄膜を使ったアクチュエータアレイを安価で大量に製造することができる。
次に、図4(c)で、下地のSiO2膜15aをバッファードフッ酸によってエッチングする。
なお、図4に示す半導体プロセスは形状記憶合金薄膜アクチュエータ2のアレイの作製法の一例であり、図1(a)、(b)に示すような形状記憶合金薄膜アクチュエータの構成や、図1(c)、(d)に示すようなアクチュエータアレイ基板の構造を実現できれば、図4の工程に沿う必要はなく、Siを使った半導体プロセスに拘る必要もない。例えば、アクチュエータアレイ基板の基板として金属や樹脂あるいはガラスの基板を用いることによって、オートフォーカス駆動機構の製造コストを低減することができる。
2、2a、2b、2c カンチレバー型形状記憶合金薄膜アクチュエータ
3 形状記憶合金薄膜(上層)
4 薄膜(下層)
5 レンズ用開口窓
6 アライメント用の支柱穴
7、7a、7b、7c アクチュエータアレイ基板
8 レンズ(移動対象物)
9 移動対象物を支持するプレート
10 ばね板
11a、11b アライメント用の支柱
12 ケース(筐体)
13 ばね板固定枠
14 ばね板可動部
15a、15b SiO2膜
16 Siウエハ基板
17 SiO2膜
18 Ti−Ni−Cu形状記憶合金薄膜
19 ケース(筐体)上蓋
20 ケース(筐体)底面
21 スペーサー
Claims (17)
- 固定端側が基板に固定され、先端側が基板から解放されて反り上がった複数の形状記憶合金薄膜が前記基板上で面状に並べられてアクチュエータアレイを構成しているアクチュエータアレイ基板と、
移動対象物を支持するプレートと、
前記複数の形状記憶合金薄膜が、オーステナイト相で前記基板のなす平面に対して反り上がった形状となり、マルテンサイト相で前記基板のなす平面に対して大略平坦となるようなバイアス力を与えるバイアスばねを備え、
前記アクチュエータアレイ基板、前記プレート、および前記バイアスばねが積層された構造を保持する筐体を備え、
室温時に前記対象物を支持するプレートの移動が前記アクチュエータアレイ基板の基板によって停止することによって、形状記憶合金薄膜の変態ひずみを越えた余分な塑性変形を防ぐことを特徴とするオートフォーカス駆動機構。 - 前記対象物を支持するプレートの移動が前記形状記憶合金薄膜のマルテンサイト変態終了温度よりも高い温度で前記アクチュエータアレイ基板の基板によって停止することを特徴とする請求項1に記載のオートフォーカス駆動機構。
- 前記形状記憶合金薄膜が当該形状記憶合金薄膜の熱膨張係数よりも小さな熱膨張係数を有する下層の薄膜と積層され、熱処理後の熱ひずみによって、当該形状記憶合金薄膜がオーステナイト相で前記基板に対して反り上がった形状とされると共に、
前記形状記憶合金薄膜の熱膨張係数よりも小さな熱膨張係数を有する下層の薄膜は、SiO 2 薄膜であることを特徴とする請求項1又は2に記載のオートフォーカス駆動機構。 - 前記移動対象物を支持するプレートの上面にスペーサーが突設されており、当該スペーサーの上端部が前記バイアスばねの下面に接するように構成されたことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載のオートフォーカス駆動機構。
- 前記バイアスばねが、前記アクチュエータアレイ基板と同様の構成を有する第2のアクチュエータアレイ基板であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載のオートフォーカス駆動機構。
- 前記基板は、Siウエハ基板であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載のオートフォーカス駆動機構。
- 前記形状記憶合金薄膜は、組成元素を、
50原子%以上で55原子%以下のTi、
10原子%を超えて20原子%以下のCu、
残部をNiおよび不可避的不純物とする、
Ti−Ni−Cu合金薄膜であることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載のオートフォーカス駆動機構。 - 前記形状記憶合金薄膜は、組成元素を、
45原子%以上で50原子%未満のTi、
原子%で10+1.6×(50−Tiの原子%)を超えて20+1.6×(50−Tiの原子%)以下のCu、
残部をNiおよび不可避的不純物とする、
Ti−Ni−Cu合金薄膜であることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載のオートフォーカス駆動機構。 - 前記形状記憶合金薄膜は、組成元素を、
50原子%以上で55原子%以下のTi、
5原子%以上で10原子%以下のCu、
残部をNiおよび不可避的不純物とする、
Ti−Ni−Cu合金薄膜であることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載のオートフォーカス駆動機構。 - 前記移動対象物は、レンズ又は撮像素子であることを特徴とする請求項1〜9のいずれか一項に記載のオートフォーカス駆動機構。
- 前記移動対象物はレンズであり、前記基板は光路確保のための開口窓を有し、
前記アクチュエータアレイ基板における複数の形状記憶合金薄膜の配置は、前記開口窓を囲うように、前記基板に大略均一な密度で配置されていることを特徴とする請求項1〜9のいずれか一項に記載のオートフォーカス駆動機構。 - 請求項1〜11のいずれか一項に記載のオートフォーカス駆動機構を有し、前記形状記憶合金薄膜を加熱する加熱手段によって、当該形状記憶合金薄膜のオーステナイト相とマルテンサイト相の組織割合が調整されてオートフォーカスを行う機能を具備するように構成したことを特徴とするカメラモジュール。
- オートフォーカス制御回路からの駆動電流を前記複数の形状記憶合金薄膜に通電することにより、前記複数の形状記憶合金薄膜の電気抵抗を制御して、オートフォーカスを行う機能を具備するように構成したことを特徴とする請求項12に記載のカメラモジュール。
- 前記形状記憶合金薄膜は、固定端側の一端から先端側を経由して前記固定端側の他端に通電するように構成されたことを特徴とする請求項13に記載のカメラモジュール。
- 前記加熱手段は、前記形状記憶合金薄膜の周囲に形成された電熱導体であることを特徴とする請求項12に記載のカメラモジュール。
- 駆動電流を前記複数の形状記憶合金薄膜の個々の形状記憶合金薄膜に独立して通電することにより、手振れ補正機能を具備するように構成したことを特徴とする請求項12〜15のいずれか一項に記載のカメラモジュール。
- 請求項12〜16のいずれか一項に記載のカメラモジュールを搭載したことを特徴とするカメラ付き携帯電話。
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