JP6973913B2 - 計測器及び加工装置 - Google Patents
計測器及び加工装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6973913B2 JP6973913B2 JP2017132103A JP2017132103A JP6973913B2 JP 6973913 B2 JP6973913 B2 JP 6973913B2 JP 2017132103 A JP2017132103 A JP 2017132103A JP 2017132103 A JP2017132103 A JP 2017132103A JP 6973913 B2 JP6973913 B2 JP 6973913B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ultrasonic
- liquid
- propagation
- calculation unit
- conductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/66—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by measuring frequency, phase shift or propagation time of electromagnetic or other waves, e.g. using ultrasonic flowmeters
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
- B24D3/00—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents
- B24D3/001—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents the constituent being used as supporting member
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B1/00—Processes of grinding or polishing; Use of auxiliary equipment in connection with such processes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/66—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by measuring frequency, phase shift or propagation time of electromagnetic or other waves, e.g. using ultrasonic flowmeters
- G01F1/667—Arrangements of transducers for ultrasonic flowmeters; Circuits for operating ultrasonic flowmeters
- G01F1/668—Compensating or correcting for variations in velocity of sound
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F15/00—Details of, or accessories for, apparatus of groups G01F1/00 - G01F13/00 insofar as such details or appliances are not adapted to particular types of such apparatus
- G01F15/02—Compensating or correcting for variations in pressure, density or temperature
- G01F15/022—Compensating or correcting for variations in pressure, density or temperature using electrical means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
- G01N2291/02—Indexing codes associated with the analysed material
- G01N2291/028—Material parameters
- G01N2291/02836—Flow rate, liquid level
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
Description
4 装置基台
4a 開口
6 チャックテーブル
6a 保持面
8 X軸移動テーブル
10 搬入出領域
12 加工領域
14 研磨ユニット
16 支持部
18 Z軸ガイドレール
20 Z軸移動プレート
22 Z軸ボールねじ
24 Z軸パルスモータ
26 スピンドルハウジング
28 スピンドル
30 研磨ホイール
32 研磨パッド
34 噴出口
36 送液路
38 管路
38a 上流側
38b 下流側
40 供給源
42 計測器
44 切り替え部
46 超音波振動子
48 超音波伝導体
50 カバー部材
52 制御部
54 切り替え部
56 電源
58 増幅器
60 算出部
62 超音波伝播時間算出部
64 第1の超音波伝播速度算出部
66 第2の超音波伝播速度算出部
68 第1の関係登録部
70 第2の関係登録部
72 温度算出部
74 流速算出部
76 流量算出部
78 濃度算出部
80,80a,80b 超音波伝導体を経て伝播する超音波の波形
82,82a,82b 液体中を伝播する超音波の波形
84,84a,84b 第1の伝播時間
86,86a,86b 第2の伝播時間
88,88a,88b 第3の伝播時間
90b 第4の伝播時間
1 被加工物
3 保護テープ
Claims (6)
- 液体が流れる管路に配設される計測器であって、
該管路の上流側と、下流側と、にそれぞれ配設された2つの超音波振動子と、該2つの超音波振動子の間に配設され該液体に接する超音波伝導体と、該2つの超音波振動子に電気的に接続された制御部と、を有し、
該制御部は、
該超音波伝導体中の超音波の伝播速度と、該超音波伝導体の温度と、の関係が登録された第1の関係登録部と、
該液体の温度と、該液体中の超音波の伝播速度と、該液体に溶解又は混合された物質の濃度と、の関係が登録された第2の関係登録部と、
超音波伝播時間算出部と、第1の超音波伝播速度算出部と、第2の超音波伝播速度算出部と、温度算出部と、濃度算出部と、を有し、
該超音波伝播時間算出部は、
該2つの超音波振動子の一方で発生した該超音波を該2つの超音波振動子の他方で観測することで得られた第1の波形情報から、該超音波伝導体を経て伝播する該超音波の伝播時間を第1の伝播時間として算出するとともに該管路を流れる該液体中を伝播する該超音波の伝播時間を第2の伝播時間として算出し、
該2つの超音波振動子の該他方で発生し該管路を流れる該液体中を経て伝播する該超音波を該2つの超音波振動子の該一方で観測することで得られた第2の波形情報から、該液体中を伝播する該超音波の伝播時間を第3の伝播時間として算出し、
該第1の超音波伝播速度算出部は、該第1の伝播時間と、該超音波の伝播経路の長さと、を用いて該超音波伝導体中の超音波の伝播速度を算出し、
該第2の超音波伝播速度算出部は、該第2の伝播時間と、該第3の伝播時間と、該2つの超音波振動子間の距離と、から該液体中の超音波の伝播速度を算出し、
該温度算出部は、算出された該超音波伝導体中の超音波の伝播速度と、該第1の関係登録部に登録された該関係と、から該超音波伝導体の温度を算出することで該超音波伝導体に接する該液体の温度を導出し、
該濃度算出部は、該温度算出部で算出された該液体の温度と、該第2の超音波伝播速度算出部で算出された該液体中の超音波の伝播速度と、該第2の関係登録部に登録された該関係と、から該液体の該物質の濃度を算出し、
該超音波伝導体中の超音波の伝播速度は、該液体中の超音波の伝播速度よりも速い
ことを特徴とする計測器。 - 該超音波伝導体は、金属でなる部材であることを特徴とする請求項1に記載の計測器。
- 該制御部は、流速算出部と、流量算出部と、をさらに有し、
該流速算出部は、該第2の伝播時間と、該第3の伝播時間と、2つの超音波振動子間の距離と、を用いて該管路中の該液体の流速を算出し、
該流量算出部は、該流速算出部で算出された該管路中の該液体の流速と、該管路の断面積と、から該液体の流量を算出することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の計測器。 - 該超音波伝導体は、該2つの超音波振動子の間の該管路の内壁を構成する環状部材であり、
該環状部材は、該管路の設置された外部の雰囲気からの熱の伝わりが抑制されるカバー部材で覆われていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一に記載の計測器。 - 該超音波伝導体は、該2つの超音波振動子の間で該管路中に延在する長尺部材であり、
該超音波伝導体は、表面が該液体と接触するように設置されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一に記載の計測器。 - 請求項1乃至5のいずれか一に記載の計測器と、チャックテーブルと、加工工具と、を備え、
該チャックテーブルで保持した被加工物に該液体を供給しつつ加工工具で該被加工物を加工する加工装置であって、
該計測器によって該液体の流量及び濃度が測定されることを特徴とする加工装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017132103A JP6973913B2 (ja) | 2017-07-05 | 2017-07-05 | 計測器及び加工装置 |
US16/025,024 US10809105B2 (en) | 2017-07-05 | 2018-07-02 | Measuring instrument and processing apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017132103A JP6973913B2 (ja) | 2017-07-05 | 2017-07-05 | 計測器及び加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019015571A JP2019015571A (ja) | 2019-01-31 |
JP6973913B2 true JP6973913B2 (ja) | 2021-12-01 |
Family
ID=64903097
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017132103A Active JP6973913B2 (ja) | 2017-07-05 | 2017-07-05 | 計測器及び加工装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10809105B2 (ja) |
JP (1) | JP6973913B2 (ja) |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4810100A (en) * | 1982-07-19 | 1989-03-07 | Honeywell Inc. | Ultrasonic energy transfer sensing system |
JPH07318436A (ja) * | 1994-05-25 | 1995-12-08 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 高温物体の温度分布測定方法およびその超音波センサー |
US20020062681A1 (en) * | 2000-11-30 | 2002-05-30 | Livingston Richard A. | Oxygen sensor and flow meter device |
PT1286159E (pt) * | 2001-01-22 | 2013-10-08 | Teijin Ltd | Equipamento e método para medir a concentração e caudal de gás por ultra-sons |
JP3935357B2 (ja) * | 2001-02-05 | 2007-06-20 | サーパス工業株式会社 | 超音波流量計 |
SE0100379D0 (sv) * | 2001-02-07 | 2001-02-07 | Siemens Elema Ab | Arrangement for and method of acoustic determination of fluid temperature |
JP2003257905A (ja) | 2002-03-01 | 2003-09-12 | Disco Abrasive Syst Ltd | 被研磨物の研磨方法 |
JP4111236B2 (ja) * | 2004-03-31 | 2008-07-02 | 株式会社村田製作所 | 超音波トランスデューサの駆動方法 |
JP4851936B2 (ja) * | 2004-10-13 | 2012-01-11 | 日本フローセル製造株式会社 | 超音波流量計 |
JP2010194672A (ja) | 2009-02-25 | 2010-09-09 | Disco Abrasive Syst Ltd | 被加工物の研削方法 |
JP2011007763A (ja) | 2009-06-29 | 2011-01-13 | Kazumasa Onishi | 超音波流量計 |
EP2343548B1 (en) * | 2010-01-08 | 2017-12-27 | Hochschule für angewandte Wissenschaften Fachhochschule Coburg | Method and device for acoustically determining characteristics of a medium in a container |
JP5372831B2 (ja) * | 2010-04-16 | 2013-12-18 | 株式会社アツデン | 超音波式濃度計 |
JP2012127663A (ja) * | 2010-12-13 | 2012-07-05 | Panasonic Corp | 流量計測装置 |
JP5371066B2 (ja) * | 2011-11-04 | 2013-12-18 | 正道 岩佐 | 超音波センサ及びこれを用いた超音波流量計 |
JP2015064209A (ja) * | 2013-09-24 | 2015-04-09 | Smc株式会社 | 超音波流量計 |
JP2015206593A (ja) | 2014-04-17 | 2015-11-19 | 株式会社ディスコ | 超音波流量計 |
EP3182072A1 (en) * | 2015-12-15 | 2017-06-21 | Horiba, Ltd. | Flow rate measurement device, fuel efficiency measurement device, program for flow rate measurement device and flow rate measurement method |
-
2017
- 2017-07-05 JP JP2017132103A patent/JP6973913B2/ja active Active
-
2018
- 2018-07-02 US US16/025,024 patent/US10809105B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US10809105B2 (en) | 2020-10-20 |
JP2019015571A (ja) | 2019-01-31 |
US20190011298A1 (en) | 2019-01-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
WO2018049790A1 (zh) | 多角度二维超声波振动辅助纳米流体微量润滑磨削装置 | |
CN202974353U (zh) | 用于在超声波流量表中提供均匀的流体温度的系统和装置 | |
TW577978B (en) | Doppler-type ultrasonic flowmeter | |
US20050288873A1 (en) | Ultrasonic liquid flow controller | |
JP6388545B2 (ja) | 被加工物の研削方法 | |
CN107520976B (zh) | 切削方法和切削装置 | |
CN206450271U (zh) | 超声波检测仪、气泡检测和去除装置以及气泡去除装置 | |
JP6113015B2 (ja) | 割れ厚さ検出装置 | |
CN104139323A (zh) | 航空大型薄壁零件在线测厚系统及其测厚方法 | |
JP6973913B2 (ja) | 計測器及び加工装置 | |
CN101325178B (zh) | 切削装置 | |
CN105403730A (zh) | 基于亥姆霍兹不稳定性的流体瞬时流速测量装置及方法 | |
CN111220818B (zh) | 一种标定多普勒海流计测速精度的装置 | |
CN205982180U (zh) | 一种电磁超声自动探伤装置 | |
JP2010131747A (ja) | 工具洗浄方法および装置 | |
JP6961306B2 (ja) | 検査器、液体供給装置、及び保護膜被覆装置 | |
JPS61235712A (ja) | 管の内径等の測定方法 | |
JP2019066410A (ja) | 計測器及び加工装置 | |
Ayob et al. | Design Consideration for Front-End System in Ultrasonic Tomography | |
Shamu et al. | Characterization of acoustic beam propagation through high-grade stainless steel pipes for improved pulsed ultrasound velocimetry measurements in complex industrial fluids | |
FR2287679A1 (fr) | Dispositif de mesure continue de l'epaisseur d'une piece en cours d'usinage | |
JP4190682B2 (ja) | 超音波加工装置 | |
JP2022000615A (ja) | 超音波厚さ測定器、及び研削装置 | |
CN217006168U (zh) | 一种焊接接头残余应力测量装置 | |
RU2726289C1 (ru) | Ультразвуковой расходомер |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200515 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210331 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210406 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210604 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20211102 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20211102 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6973913 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |