JP6972659B2 - ランプユニット - Google Patents
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Description
近年では、例えばプロセスの処理時間短縮などの観点から、光照射装置に対して高照度化の要請があり、光源として用いられるエキシマランプにおいて、高い照度の光を放出することが求められている。
このような理由から、エキシマランプの温度上昇を抑制するため、エキシマランプを冷却する構造を有するランプユニットが知られている。例えば特許文献1には、複数のエキシマランプが、冷却水流通路が形成されたアルミニウム製の冷却ブロックによって保持された構造とされ、冷却水を冷却水流通路内に流通させることにより冷却ブロックを介してエキシマランプを冷却することが記載されている。また、例えば特許文献2には、外側管および内側管を有する二重管構造の放電容器における内側管内に冷却水を流通させることによりエキシマランプを冷却することが記載されている。
また、照射エリアの大面積化を図るために、例えば多数のエキシマランプが水平に並べられた構造とされる場合には、冷却機構の構造自体が煩雑化するという問題がある。
前記エキシマランプの内側管の内部空間によって絶縁性の液体冷媒が流通される冷媒流路が形成されていると共に、前記金属ビームに冷媒流通路が設けられており、液体冷媒を前記エキシマランプの内側管内に流通させると共に前記金属ビームにおける冷媒流通路に流通させる冷却機構を有し、
前記金属ビームにおける冷媒流通路が前記エキシマランプの内側管の内部空間と連通しており、前記冷媒流路及び前記冷媒流通路の一方が冷媒供給部に接続されると共に他方が冷媒排出部に接続されることを特徴とする。
前記金属ビームには、互いに平行に延びる二つのランプ収容凹所が形成されており、各ランプ収容凹所内に保持されたエキシマランプの内側管の各一端は、1つの共通口と2つの分岐口を有する一端側マニホールドの2つの分岐口に接続されていると共に、当該エキシマランプの内側管の各他端は、1つの共通口と2つの分岐口を有する他端側マニホールドの2つの分岐口に接続されており、
前記一端側マニホールドの共通口および前記他端側マニホールドの共通口の一方および他方には、それぞれ冷媒供給部および冷媒排出部の一方および他方が接続されており、かつ、冷媒供給部および冷媒排出部の一方とこれと接続されている一端側マニホールドの共通口または他端側マニホールドの共通口との間に、前記金属ビームに設けられた、前記冷媒流通路を形成する冷媒流通管が接続された構成とされていることが好ましい。
請求項4に記載のランプユニットによれば、上記効果を一層確実に得ることができる。
図1は、本発明のランプユニットの一例における構成を概略的に示す側面図である。図2は、図1に示すランプユニットの、長さ方向に垂直な断面を概略的に示す断面図である。図3は、ランプユニットの一端部の構造を概略的に示す斜視図である。図4は、ランプユニットの他端部の構造を概略的に示す斜視図である。
このランプユニット20は、二重管状のエキシマランプ21と、エキシマランプ21を保持する金属ビーム30とを備えている。
この例におけるランプユニット20は、2本のエキシマランプ21,21が、ランプ中心軸が水平面に沿った同一平面内に位置されて互いに幅方向に並んだ状態で、金属ビーム30によって保持されて構成されている。
外側管26および内側管27を構成する材料としては、例えば石英ガラス等の誘電体材料を用いることができる。
金属ビーム30の一面(図2における下面)には、ランプ装着部が形成されている。ランプ装着部は、エキシマランプ21の外側管の外径に適合する径を有する断面半円形のランプ収容凹所(溝)31により構成されている。この例においては、2つのランプ収容凹所31が、互いに幅方向に並んだ位置において、互いに平行に長さ方向に延びるよう形成されており、これにより、ランプ装着部が形成されている。
金属ビーム30は、後述するようにエキシマランプ21を冷却する冷却機構として機能するものでもあるため、機械的強度が高く、熱伝導性の高い金属により構成される。金属ビーム30を構成する材料としては、例えばアルミニウム、銅、ステンレス鋼などを用いることができる。
金属板23を構成する材料としては、例えばステンレス鋼を用いることができる。また金属板23の厚みは、例えば0.1〜0.5mmであることが好ましい。
絶縁性の液体冷媒Wとしては、例えば、純水、フロリナート(登録商標)などのフッ素系不活性液体などを用いることができる。
金属ビーム30における冷媒流通路R2は、エキシマランプ21の内側管27の内部空間による冷媒流路R1と連通していることが好ましい。冷媒流路R1と冷媒流通路R2とが互いに連通していることにより、エキシマランプ21の温度分布を均斉化することができるとともに、冷却機構における配管構造を簡略化することができる。
図4に示すように、2本のエキシマランプ21の内側管27の各他端には、継手46が取付けられており、各継手46には例えば絶縁体により構成された冷媒流通管47が接続されている。各エキシマランプ21に係る冷媒流通管47は、それぞれ、1つの共通口と2つの分岐口を有する他端側マニホールド45における2つの分岐口に接続されている。
また、エキシマランプ21における内側管27の内部空間によって形成された冷媒流路R1と冷媒流通管32によって形成された冷媒流通路R2とが連通されていることにより、エキシマランプ21の温度分布を均斉化することができるとともに、冷却機構における配管構造を簡略化することができる。
また、冷媒供給部からの液体冷媒Wが一端側マニホールド40によって各エキシマランプ21の内側管27内に分配されると共に、内側管27内を流通した液体冷媒Wが他端側マニホールド45によって合流されて冷媒流通管32に導入されるため、冷却機構における配管構造が煩雑化することを回避することができる。
例えば、ランプユニットにおいてエキシマランプを冷却するための液体冷媒は、エキシマランプの冷媒流路および金属ビームにおける冷媒流通路の各々に独立して供給される構成とされていてもよい。
また、ランプユニットを構成するエキシマランプの数は1本であってもよい。
さらにまた、エキシマランプは、内側管の内部空間に液体冷媒が流通される構成とされていれば、上記構成のものに限定されない。
21 エキシマランプ
22 内側電極
23 金属板
24 引き出し電極
25 放電容器
26 外側管
27 内側管
28 リード
29a 給電線
30 金属ビーム
31 ランプ収容凹所(溝)
32 冷媒流通管
35 ランプホルダー
40 一端側マニホールド
41 継手
42 冷媒流通管
43 冷媒流通管
45 他端側マニホールド
46 継手
47 冷媒流通管
R1 冷媒流路
R2 冷媒流通路
S1 放電空間
W 液体冷媒
Claims (3)
- 一面に断面半円形のランプ収容凹所が形成されたブロック状の金属ビームと、当該金属ビームにおけるランプ収容凹所の内面に押圧された状態に保持された、互いに同軸上に配置された外側管および内側管を有する二重管構造の放電容器を備えたエキシマランプとを備えており、
前記エキシマランプの内側管の内部空間によって絶縁性の液体冷媒が流通される冷媒流路が形成されていると共に、前記金属ビームに冷媒流通路が設けられており、液体冷媒を前記エキシマランプの内側管内に流通させると共に前記金属ビームにおける冷媒流通路に流通させる冷却機構を有し、
前記金属ビームにおける冷媒流通路が前記エキシマランプの内側管の内部空間と連通しており、前記冷媒流路及び前記冷媒流通路の一方が冷媒供給部に接続されると共に他方が冷媒排出部に接続されることを特徴とするランプユニット。 - 前記エキシマランプにおける放電容器は、内側管の両端が外側管の両端より軸方向外方に突出する状態で配置され、当該外側管の両端が当該内側管の外周面に気密に封着されて構成されており、
前記金属ビームには、互いに平行に延びる二つのランプ収容凹所が形成されており、各ランプ収容凹所内に保持されたエキシマランプの内側管の各一端は、1つの共通口と2つの分岐口を有する一端側マニホールドの2つの分岐口に接続されていると共に、当該エキシマランプの内側管の各他端は、1つの共通口と2つの分岐口を有する他端側マニホールドの2つの分岐口に接続されており、
前記一端側マニホールドの共通口および前記他端側マニホールドの共通口の一方および他方には、それぞれ冷媒供給部および冷媒排出部の一方および他方が接続されており、かつ、冷媒供給部および冷媒排出部の一方とこれと接続されている一端側マニホールドの共通口または他端側マニホールドの共通口との間に、前記金属ビームに設けられた、前記冷媒流通路を形成する冷媒流通管が接続されていることを特徴とする請求項1に記載のランプユニット。 - 前記一端側マニホールドの共通口に冷媒供給部が接続されており、前記他端側マニホールドの共通口に前記金属ビームにおける冷媒流通管の一端が接続されると共に、当該冷媒流通管の他端に冷媒排出部が接続されることを特徴とする請求項2に記載のランプユニット。
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JP2017103448A JP6972659B2 (ja) | 2017-05-25 | 2017-05-25 | ランプユニット |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2017103448A JP6972659B2 (ja) | 2017-05-25 | 2017-05-25 | ランプユニット |
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JP2018200744A JP2018200744A (ja) | 2018-12-20 |
JP6972659B2 true JP6972659B2 (ja) | 2021-11-24 |
Family
ID=64668278
Family Applications (1)
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JP2017103448A Active JP6972659B2 (ja) | 2017-05-25 | 2017-05-25 | ランプユニット |
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WO2021025063A1 (ja) * | 2019-08-05 | 2021-02-11 | ウシオ電機株式会社 | 紫外線照射装置 |
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2017
- 2017-05-25 JP JP2017103448A patent/JP6972659B2/ja active Active
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