JP6963471B2 - 回転機械 - Google Patents

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Description

本発明は、回転機械に関する。
遠心圧縮機等の回転機械は、軸線回りに回転するインペラと、インペラを径方向の外側から覆い、インペラとともに作動流体の流路を形成するケーシングと、を主に備えている。作動流体の流路は、ディフューザ流路と、リターンベンド部と、戻り流路と、を有している。ディフューザ流路は、インペラから径方向の外側に延び、インペラの出口から吐出された作動流体を径方向の外側に導く。リターンベンド部は、ディフューザ流路の径方向の外側に連続して設けられる。リターンベンド部は、作動流体の流れ方向を、径方向の外側から内側に向かって反転させる。戻り流路は、リターンベンド部の下流側に設けられる。戻り流路は、後段側のインペラの入口に作動流体を導く。
例えば特許文献1には、遠心圧縮機において、複数のダイアフラムが、外部ケーシングの内部で回転軸の軸線方向に並んで配置された構成が記載されている。特許文献1に記載の構成では、軸線方向に隣接するダイアフラムと、ダイアフラムの外側に配置された外部ケーシングとによって、リターンベンド部が形成されている。したがって、軸線方向の一方の側と他方の側とに並んで設けられるダイアフラムは、リターンベンド部の湾曲している湾曲の一部を形成している。このような構成では、遠心圧縮機の小型化を図る場合、ダイアフラム及び外部ケーシングも小型化される。その結果、リターンベンド部の湾曲面の大部分が外部ケーシングではなく、ダイアフラムに形成される。
これにより、ダイアフラムにおいて、外周面と湾曲面との間に形成される先端部が鋭角になって、径方向の厚みが薄い領域が形成される場合がある。これに対して、外周面と湾曲面との間に形成される先端部が鋭角になり過ぎて強度が低下してしまわないように、先端部に丸みを持たせて厚みを確保する場合がある。
米国特許出願公開第2017/0030373号明細書
しかしながら、このように先端部に丸みを持たせると、湾曲面から飛び出すように段差が形成されてしまう。この段差により、リターンベンド部を流れる作動流体の流れが乱れ、作動流体の流れに損失が生じる。特に、リターンベンド部の下流側に段差が生じると、作動流体の流れが大きく乱され、作動流体の流れの損失が大きくなる。そのため、ダイアフラムの強度を確保しつつ、リターンベンド部における作動流体の流れに生じる損失を抑えることが望まれている。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、ダイアフラムの強度を確保しつつ、リターンベンド部における作動流体の流れに生じる損失を抑えることが可能な回転機械を提供することを目的とする。
本発明は、上記課題を解決するため、以下の手段を採用する。
本発明の第一態様に係る回転機械は、軸線回りに回転し、前記軸線の延びる軸線方向の第一の側から流入した作動流体を、前記軸線を中心とする径方向の外側に流出させるインペラと、前記インペラを囲うよう設けられて、前記インペラから前記径方向の外側に向かって流出した前記作動流体の流れ方向を前記径方向の内側に反転させて案内するリターンベンド部を有する流路を形成するケーシング部と、を備え、前記ケーシング部は、前記軸線方向に延びる筒状をなして複数設けられ、前記リターンベンド部の湾曲する面を形成する湾曲流路形成面を有するダイアフラムと、複数の前記ダイアフラムを前記径方向の外側から覆うように前記軸線方向に延びる筒状をなし、内周面から前記径方向の外側に向かって窪む凹部を有する外部ケーシングと、をし、前記外部ケーシングは、前記湾曲流路形成面よりも前記径方向の外側で前記リターンベンド部の一部を形成する外側流路形成面を有し、前記ダイアフラムは、外周面から前記径方向の外側に突出して前記凹部に係合する凸部を有し、前記凸部の前記軸線方向を向く面は、前記湾曲流路形成面から延び、前記外部ケーシングは、前記凹部を第一凹部とし、前記第一凹部から離れた位置に内周面から前記径方向の外側に向かって窪む第二凹部をさらに有し、前記ダイアフラムは、前記凸部を第一凸部とし、外周面から前記径方向の外側に突出して前記第二凹部に係合する第二凸部をさらに有し、前記第二凹部と前記第二凸部との前記軸線方向における寸法公差は、前記凹部と前記凸部との前記軸線方向における寸法公差よりも小さい。
このような構成とすることで、軸線方向を向く面が湾曲流路形成面から延びるように凸部が形成されている。そのため、凸部の厚みだけ、湾曲流路形成面の先端の径方向の厚みが大きくなる。この凸部は凹部に係合されるので、凸部が形成された湾曲流路形成面の先端がリターンベンド部内に径方向の内側向かって突出するのを抑えることができる。したがって、リターンベンド部を流れる作動流体が、ダイアフラムの端部に衝突して損失が生じるのを抑えることができる。
また、第一凹部及び第一凸部によってではなく、軸線方向における寸法公差が小さい第二凹部及び第二凸部によって、外部ケーシングに対するダイアフラムの軸線方向の位置を位置決めすることができる。したがって、負荷がかかって第一凸部が変形してリターンベンド部の形状が歪んでしまうことを防ぐことができる。
また、本発明の第二態様に係る回転機械では、第一態様において、前記湾曲流路形成面は、前記径方向の内側から前記径方向の外側の端部である湾曲面端部に近づくしたがって、前記軸線方向に向かうように湾曲し、前記凸部の前記軸線方向を向く面は、前記湾曲面端部から延びていてもよい。
このような構成とすることで、リターンベンド部の下流側の領域を形成する外側流路形成面と湾曲流路形成面との境界に凸部が形成される。そのため、作動流体が径方向の外側に集まりやすいリターンベンド部の下流側の領域で流れが乱されて損失が生じるのを抑えることができる。したがって、リターンベンド部における作動流体の流れに生じる損失を有効に抑えることが可能となる。
また、本発明の第態様に係る回転機械では、第一または第二態様において、前記第二凸部は、前記ダイアフラムの前記軸線方向の中間部に配置されていてもよい。
このような構成とすることで、ダイアフラムの軸線方向の位置決めを、軸線方向の中間部で行うことができる。したがって、熱伸び等によりダイアフラムに軸線方向の変形(変位)が生じた場合に、軸線方向の両側の端部における軸線方向の変位が、ほぼ均等となる。
また、本発明の第態様に係る回転機械では、第一から第態様のいずれか一つにおいて、前記外側流路形成面は、前記外部ケーシングの内周面と一体をなして連続する面であってもよい。
本発明によれば、ダイアフラムの強度を確保しつつ、リターンベンド部における作動流体の流れに生じる損失を抑えることが可能となる。
本発明の実施形態に係る遠心圧縮機の構成を示す断面図である。 上記遠心圧縮機の要部を示す拡大断面図である。
以下、添付図面を参照して、本発明による回転機械、及びダイアフラムを実施するための形態を説明する。しかし、本発明はこれらの実施形態のみに限定されるものではない。
図1は、本発明の実施形態に係る遠心圧縮機の構成を示す断面図である。図2は、上記遠心圧縮機の要部を示す拡大断面図である。
図1に示すように、本実施形態の回転機械である遠心圧縮機(回転機械)10は、主として、ケーシング部20と、ケーシング部20内で軸線O回りに回転自在に支持された回転軸30と、回転軸30に取り付けられて遠心力を利用してプロセスガス(作動流体)Gを圧縮するインペラ40と、を備えている。
ケーシング部20は、インペラ40を囲うよう設けられている。このケーシング部20には、縮径及び拡径を繰り返す内部空間24が設けられている。この内部空間24にインペラ40が収容される。ケーシング部20には、インペラ40を流通するプロセスガスGを上流側から下流側に流通させるケーシング側流路(流路)50が内部のインペラ40同士の間となる位置に形成されている。
ケーシング部20の一端部20aには、プロセスガスGを外部からケーシング側流路50に流入させる吸込口25が設けられている。また、ケーシング部20の他端部20bには、ケーシング側流路50に連続して、プロセスガスGを外部に流出させる排出口26が設けられている。
ケーシング部20の一端部20a側と他端部20b側には、それぞれ回転軸30の両端部を支持する支持孔27A及び27Bが形成されている。回転軸30は、ジャーナル軸受28Aを介して支持孔27Aで軸線O回りに回転自在に支持されている。回転軸30は、ジャーナル軸受28Bを介して支持孔27Bで軸線O回りに回転自在に支持されている。また、ケーシング部20の一端部20aには、さらにスラスト軸受29が設けられている。回転軸30の軸線O方向の一端が、スラスト軸受29を介して軸線Oの延びる軸線O方向に回転自在に支持されている。
インペラ40は、軸線O回りに回転可能に回転軸30に支持されている。インペラ40は、軸線O方向の第一の側(ケーシング部20の一端部20a側、軸線O方向の上流側)から流入したプロセスガスGを、軸線Oを中心とする径方向の外側に流出させる。複数のインペラ40は、ケーシング部20における各々のダイアフラム60の内部に、回転軸30の軸線O方向に間隔を空けて収容されている。なお、図1において、インペラ40が6つ設けられている場合の一例を示しているが、インペラ40は、少なくとも1つ以上設けられていればよい。インペラ40は、例えば、ディスク部41とブレード部42とカバー部43とを備えた、いわゆるクローズドインペラである。
本実施形態のケーシング部20は、車室を形成する外部ケーシング21と、外部ケーシング21内に設けられた複数のダイアフラム60と、を備える。
外部ケーシング21は、遠心圧縮機10の外装を形成している。外部ケーシング21は、回転軸30の軸線O方向に延びる筒状をなしている。外部ケーシング21は、軸線Oを中心とした外部ケーシング内周面21gを有する。外部ケーシング21は、内周面から径方向の外側に向かって窪む凹部を有する。外部ケーシング21は、複数のダイアフラム60を内側に収容している。
複数のダイアフラム60は、外部ケーシング21内で、回転軸30の軸線O方向に配列されている。ダイアフラム60は、軸線方向に積層されるように複数並んでいる。ダイアフラム60は、軸線O方向に延びる筒状をなしている。ダイアフラム60は、相互に接続されることで、ケーシング側流路50の一部を画成している。
本実施形態のケーシング側流路50は、ディフューザ部51と、リターンベンド部52と、戻り流路53と、を含んでいる。
ディフューザ部51は、インペラ40の外周部(径方向の外側)から径方向の外側に向けて延びている。ディフューザ部51は、径方向断面視で直線状をなす径方向に延びる流路である。
リターンベンド部52は、ディフューザ部51の外周部(径方向の外側)に連続するように延びている。リターンベンド部52は、ディフューザ部51の外周部からケーシング部20の他端部20b側に断面視U字状に回り込むように湾曲し、径方向の内側に向けて延びている。リターンベンド部52は、インペラ40から径方向の外側に向かって流出したプロセスガスGの流れ方向を径方向の内側に反転させて案内する。
戻り流路53は、リターンベンド部52から径方向の内側に向けて延びる。戻り流路53は、リターンベンド部52を流通したプロセスガスGをインペラ40に流入させる。戻り流路53は、径方向の内側に向かって径方向断面視で直線状に延び、径方向の内側でプロセスガスGの流通方向を軸線O方向の第二の側(ケーシング部20の他端部20b側、軸線O方向の下流側)に変化させている。
このような遠心圧縮機10においては、プロセスガスGは、吸込口25からケーシング側流路50に導入される。プロセスガスGは、回転軸30とともに軸線O回りに回転するインペラ40のそれぞれにおいて圧縮され、径方向の内側から径方向の外側に吐出される。
各段のインペラ40から流出したプロセスガスGは、ケーシング側流路50のディフューザ部51を通して径方向の外側に流れ、リターンベンド部52において流れ方向を折り返し、戻り流路53を通して後段側のインペラ40に送り込まれる。このようにして、ケーシング部20の一端部20a側から他端部20b側に向けて多段に設けられたインペラ40とケーシング側流路50を経ることで、プロセスガスGが多段に圧縮され、排出口26から送り出される。
図2に示すように、上記のような遠心圧縮機10において、各ダイアフラム60は、軸線Oを中心とするダイアフラム外周面61を有する。ダイアフラム外周面61は、外部ケーシング21の外部ケーシング内周面21gに対向している。本実施形態のダイアフラム外周面61は、外部ケーシング内周面21gと平行な面である。ダイアフラム60は、リターンベンド部52の湾曲する面を形成する湾曲流路形成面52fを有する。湾曲流路形成面52fは、径方向の内側から径方向の外側の端部に近づくしたがって、軸線O方向に向かうように湾曲している。
ダイアフラム60は、ケーシング部20の一端部20a側を向く軸線O方向の上流側(図2において紙面左側)の端部である上流側端部60aに上流側流路形成面62を有する。上流側流路形成面62は、遠心圧縮機10内でプロセスガスGが流れるケーシング側流路50の一部を形成する。上流側流路形成面62は、リターンベンド部52及び戻り流路53の一部を画成している。上流側流路形成面62は、径方向の外側に、リターンベンド部52の湾曲流路形成面52fの一部を形成する上流側湾曲面62aを有する。上流側湾曲面62aは、リターンベンド部52の下流側を形成している。上流側湾曲面62aは、径方向の内側から径方向の外側の端部に近づくしたがって、軸線O方向の上流側に向かうように湾曲している。上流側湾曲面62aは、段差のない平滑な湾曲面である。ダイアフラム60の上流側端部60aにおける上流側湾曲面62aの径方向の外側の端部である先端(湾曲面端部)62sは、径方向の位置が外部ケーシング21の外部ケーシング内周面21gと同じ位置にある。
また、ダイアフラム60は、ケーシング部20の他端部20b側を向く軸線O方向の下流側(図2において紙面右側))の端部である下流側端部60bに下流側流路形成面63を有する。下流側流路形成面63は、遠心圧縮機10内でプロセスガスGが流れるケーシング側流路50の一部を形成する。下流側流路形成面63は、ディフューザ部51及びリターンベンド部52の一部を画成している。下流側流路形成面63は、径方向の外側に、リターンベンド部52の湾曲流路形成面52fの一部を形成する下流側湾曲面63aを有する。下流側湾曲面63aは、リターンベンド部52の上流側を形成している。下流側湾曲面63aは、径方向の内側から径方向の外側の端部に近づくしたがって、軸線O方向の下流側に向かうように湾曲している。ダイアフラム60の下流側端部60bにおける下流側湾曲面63aの先端部63tは、丸みを帯びるようにR形状とされている。したがって、下流側湾曲面63aにおける平滑な湾曲面の径方向の外側の端部(湾曲面端部)は、ダイアフラム外周面61に対し、径方向の内側に位置している。これにより、下流側湾曲面63aの先端部63tにおいて、ダイアフラム60は、径方向に所定の厚みtを有している。
外部ケーシング21は、湾曲流路形成面52fよりも径方向の外側でリターンベンド部52の一部を形成する外側流路形成面52gを有する。外側流路形成面52gは、外部ケーシング内周面21gと一体をなして連続する平滑な面である。外側流路形成面52gは、径方向断面視において、外部ケーシング内周面21gと連続する直線状をなしている。外部ケーシング21は、外部ケーシング内周面21gから窪む第一凹部(凹部)22と、第二凹部23とを有する。
第一凹部22は、外部ケーシング内周面21gから径方向の外側に向かって窪んでいる。本実施形態の第一凹部22は、外側流路形成面52gの軸線O方向の下流側の端部から垂直に凹んでいる。
第二凹部23は、第一凹部22から離れた位置で外部ケーシング内周面21gから径方向の外側に向かって窪んでいる。本実施形態の第二凹部23は、第一凹部22よりも軸線O方向の下流側で外部ケーシング内周面21gから垂直に凹んでいる。
ダイアフラム60は、ダイアフラム外周面61から突出する第一凸部(凸部)65と、第二凸部66と、を有する。
第一凸部65は、ダイアフラム60の上流側端部60aにおいて、ダイアフラム外周面61から径方向の外側に向かって突出する。第一凸部65は、第一凹部22に係合する。第一凸部65は、径方向断面視において、断面が矩形状をなすようにダイアフラム外周面61から突出している。第一凸部65の軸線O方向の上流側を向く上流面65aは、湾曲流路形成面52fから延びている。本実施形態の上流面65aは、軸線Oに対して垂直な面である。上流面65aは、上流側湾曲面62aの径方向の外側の端部である先端62sから径方向の外側に向かって延びている。
第二凸部66は、ダイアフラム外周面61において、第一凸部65から軸線O方向の下流側に離れた位置に形成されている。第二凸部66は、ダイアフラム60の軸線O方向の中間部に配置されている、第二凸部66は、径方向の外側に突出する。第二凸部66は、第二凹部23と径方向で対向する位置に形成されている。第二凸部66は、第二凹部23に係合する。第二凸部66は、径方向断面視において、断面が矩形状をなすようにダイアフラム外周面61から突出している。
第二凹部23と第二凸部66との軸線O方向における寸法公差は、第一凹部22と第一凸部65との軸線O方向における寸法公差よりも小さくされている。例えば、第二凹部23と第二凸部66とは、軸線O方向において、互いに嵌め合いとなる寸法公差に設定されている。第二凹部23と第二凸部66とが係合することで、ダイアフラム60は、外部ケーシング21に対して軸線O方向に位置決めされる。これに対し、第一凹部22と第一凸部65とは、軸線O方向において、例えば0.5mm程度の隙間Sを有するような寸法公差に設定されている。第一凹部22と第一凸部65とは、遠心圧縮機10の作動時に、熱伸び等によってダイアフラム60に生じる軸線O方向の変形(変位)を吸収する。
このようにして、各リターンベンド部52に対して、軸線O方向の上流側と、軸線O方向の下流側とには、それぞれ異なるダイアフラム60が位置する。ここで、一つのリターンベンド部52に対して軸線O方向の上流側に位置するダイアフラム60を第一ダイアフラム60Aとする。また、一つのリターンベンド部52に対して軸線O方向の下流側に位置するダイアフラム60を第二ダイアフラム60Bとする。
第一ダイアフラム60Aの下流側端部60bと、第二ダイアフラム60Bの上流側端部60aとは、軸線O方向に間隔をあけて配置されている。第一ダイアフラム60Aの下流側端部60bと、第二ダイアフラム60Bの上流側端部60aとの間には、外部ケーシング21の外部ケーシング内周面21gの一部が露出している。露出した外部ケーシング内周面21gの一部が、リターンベンド部52の流路の一部を形成する外側流路形成面52gである。
このような構成において、リターンベンド部52に対して他端部20b側に位置する第二ダイアフラム60Bは、上流側端部60aに、第一凸部65が形成されることによって径方向の厚みが大きくなる。第一凸部65は、外部ケーシング21の第一凹部22に係合されるので、第二ダイアフラム60Bの上流側端部60aは、外部ケーシング21の外部ケーシング内周面21gから径方向の内側への突出が抑えられる。具体的には、第二ダイアフラム60Bの上流側端部60aにおいて、上流側湾曲面62aの先端62sは、外部ケーシング21の外部ケーシング内周面21gから径方向の内側に突出しない。したがって、リターンベンド部52を流れるプロセスガスGは、第二ダイアフラム60Bの上流側端部60aで流れが乱されることなく、スムーズに流れる。
上述したような遠心圧縮機10及びダイアフラム60によれば、上流面65aが上流側湾曲面62aの先端62sから垂直に延びるように第一凸部65が形成されている。そのため、第一凸部65の厚みだけ、先端62sの径方向の厚みが大きくなる。第一凸部65は外部ケーシング21の第一凹部22に係合されるので、上流側端部60aの先端62sが、リターンベンド部52内へ径方向の内側に向かって突出するのを抑えることができる。したがって、リターンベンド部52を流れるプロセスガスGが、外側流路形成面52gと上流側湾曲面62aとの境界で衝突して流れが乱されて損失が生じるのを抑えることができる。その結果、ダイアフラム60の強度を確保しつつ、リターンベンド部52におけるプロセスガスGの流れに生じる損失を抑えることが可能となる。
また、リターンベンド部52は、外側流路形成面52gが上流側湾曲面62aと下流側湾曲面63aとで軸線O方向の両側から挟まれることで形成されている。このような構成において、第二ダイアフラム60Bの上流側端部60aに第一凸部65を形成されることで、リターンベンド部52の下流側の領域を形成する外側流路形成面52gと上流側湾曲面62aとの境界に第一凸部65が形成される。そのため、プロセスガスGが径方向の外側に集まりやすいリターンベンド部52の下流側の領域で流れが乱されて損失が生じるのを抑えることができる。したがって、リターンベンド部52におけるプロセスガスGの流れに生じる損失を有効に抑えることが可能となる。
また、上流側端部60aにおける上流側湾曲面62aの先端62sは、径方向において外部ケーシング21の外部ケーシング内周面21gと同じ位置にある。このような構成とすることで、リターンベンド部52を形成する面が径方向の内側に突出することなく形成される。したがって、リターンベンド部52を流れるプロセスガスGに生じる損失をより有効に抑えることが可能となる。
また、軸線方向における寸法公差が小さい第二凹部23と第二凸部66とが係合することで、第一凹部22及び第一凸部65によってではなく、第二凹部23及び第二凸部66によって、外部ケーシング21に対するダイアフラム60の軸線O方向の位置を位置決めすることができる。したがって、負荷がかかって第一凸部が変形してリターンベンド部52の形状が歪んでしまうことを防ぐことができる。したがって、リターンベンド部52を流れるプロセスガスGに生じる損失をより一層有効に抑えることが可能となる。
さらに、第二凹部23及び第二凸部66によって、ダイアフラム60を、軸線O方向の中間部において軸線O方向に位置決めすることができる。したがって、熱伸び等によりダイアフラム60に軸線O方向の変形が生じた場合に、ダイアフラム60の軸線O方向両側の端部における軸線O方向の変位を、ほぼ均等にすることができる。そのため、外部ケーシング21に対するダイアフラム60の軸線O方向の位置決めを高い精度ですることができる。
また、第一凸部65と第一凹部22との間には、軸線O方向に隙間Sが形成される。これにより、ダイアフラム60に軸線O方向の熱伸びが生じた場合に、第一凸部65と第一凹部22とが互いに干渉するのを抑えることができる。
以上、本発明の実施形態について図面を参照して詳述したが、上記実施形態における各構成及びそれらの組み合わせ等は一例であり、本発明の趣旨から逸脱しない範囲内で、構成の付加、省略、置換、及びその他の変更が可能である。また、本発明は実施形態によって限定されることはなく、特許請求の範囲によってのみ限定される。
例えば、本実施形態では、第一凸部65を、リターンベンド部52の下流側を経営する上流側湾曲面62aの先端62sと連続するように設けたが、このような構成に限定されるものではない。例えば、下流側湾曲面63aの先端部63tと連続するように第一凸部65を設けてもよい。この際、下流側湾曲面63aの先端部63tは、R形状を有さずに、径方向において外部ケーシング21の外部ケーシング内周面21gと同じ位置に配置される。
また、第一凸部65は、上流側湾曲面62aの先端62sと連続するようにダイアフラム60に対して一つのみ設けられる構造に限定されるものではない。例えば、上流側湾曲面62aの先端62sと連続する第一凸部65に加えて、下流側湾曲面63aの先端部63tと連続するように設けられた凸部を有していてもよい。
さらに、上記実施形態では、ケーシング部20内に、複数のダイアフラム60から構成されるダイアフラム群を1群のみ備えるようにしたが、ダイアフラム群を複数群備えるようにしてもよい。したがって、回転機械は、軸線O方向の両側からプロセスガスGを吸込むタイプの多段遠心圧縮機であってもよい。
10 遠心圧縮機(回転機械)
20 ケーシング部
20a 一端部
20b 他端部
21 外部ケーシング
21g 外部ケーシング内周面
22 第一凹部(凹部)
23 第二凹部
24 内部空間
25 吸込口
26 排出口
27A 支持孔
27B 支持孔
28A ジャーナル軸受
28B ジャーナル軸受
29 スラスト軸受
30 回転軸
40 インペラ
41 ディスク部
42 ブレード部
43 カバー部
50 ケーシング側流路(流路)
51 ディフューザ部
52 リターンベンド部
52f 湾曲流路形成面
52g 外側流路形成面
53 戻り流路
60 ダイアフラム
60A 第一ダイアフラム
60B 第二ダイアフラム
60a 上流側端部
60b 下流側端部
61 ダイアフラム外周面
62 上流側流路形成面
62a 上流側湾曲面
62s 先端
63 下流側流路形成面
63a 下流側湾曲面
63t 先端部
65 第一凸部(凸部)
65a 上流面
66 第二凸部
G プロセスガス(作動流体)
O 軸線
S 隙間
t 厚み

Claims (4)

  1. 軸線回りに回転し、前記軸線の延びる軸線方向の第一の側から流入した作動流体を、前記軸線を中心とする径方向の外側に流出させるインペラと、
    前記インペラを囲うよう設けられて、前記インペラから前記径方向の外側に向かって流出した前記作動流体の流れ方向を前記径方向の内側に反転させて案内するリターンベンド部を有する流路を形成するケーシング部と、を備え、
    前記ケーシング部は、
    前記軸線方向に延びる筒状をなして複数設けられ、前記リターンベンド部の湾曲する面を形成する湾曲流路形成面を有するダイアフラムと、
    複数の前記ダイアフラムを前記径方向の外側から覆うように前記軸線方向に延びる筒状をなし、内周面から前記径方向の外側に向かって窪む凹部を有する外部ケーシングと、をし、
    前記外部ケーシングは、前記湾曲流路形成面よりも前記径方向の外側で前記リターンベンド部の一部を形成する外側流路形成面を有し、
    前記ダイアフラムは、外周面から前記径方向の外側に突出して前記凹部に係合する凸部を有し、
    前記凸部の前記軸線方向を向く面は、前記湾曲流路形成面から延び
    前記外部ケーシングは、前記凹部を第一凹部とし、前記第一凹部から離れた位置に内周面から前記径方向の外側に向かって窪む第二凹部をさらに有し、
    前記ダイアフラムは、前記凸部を第一凸部とし、外周面から前記径方向の外側に突出して前記第二凹部に係合する第二凸部をさらに有し、
    前記第二凹部と前記第二凸部との前記軸線方向における寸法公差は、前記凹部と前記凸部との前記軸線方向における寸法公差よりも小さい回転機械。
  2. 前記湾曲流路形成面は、前記径方向の内側から前記径方向の外側の端部である湾曲面端部に近づくしたがって、前記軸線方向に向かうように湾曲し、
    前記凸部の前記軸線方向を向く面は、前記湾曲面端部から延びている請求項1に記載の回転機械。
  3. 前記第二凸部は、前記ダイアフラムの前記軸線方向の中間部に配置されている請求項1または請求項2に記載の回転機械。
  4. 前記外側流路形成面は、前記外部ケーシングの内周面と一体をなして連続する面である請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の回転機械。
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