JP6956316B2 - Evaluation method for component mounting system and transport pallets - Google Patents

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Description

本発明は、搬送用パレットに保持された軟弱基板に部品を搭載する部品搭載システムおよび搬送用パレットの評価方法に関する。 The present invention relates to a component mounting system for mounting components on a soft substrate held on a transport pallet and an evaluation method for a transport pallet.

実装基板の製造過程において基板に部品を搭載するために用いられる部品搭載装置では、部品を保持した吸着ノズルなどの部品保持部を基板に対して昇降させる部品搭載動作が部品装着位置毎に反復実行される。部品搭載動作の対象となる基板が、樹脂の薄膜を用いたフレキシブル基板などの軟弱基板である場合には、部品搭載動作において基板は専用の搬送用パレットによって保持された状態で取り扱われる(例えば特許文献1参照)。特許文献1に示す先行技術では、耐熱性を有し表面に粘着層が形成された可撓性キャリアシートを搬送用パレットとして用い、作業対象となるフレキシブル配線基板を表面の粘着層に保持させるようにしている。 In the component mounting device used to mount components on the board in the manufacturing process of the mounting board, the component mounting operation of raising and lowering the component holding part such as the suction nozzle holding the component with respect to the board is repeatedly executed at each component mounting position. Will be done. When the substrate to be the target of the component mounting operation is a soft substrate such as a flexible substrate using a thin film of resin, the substrate is handled in a state of being held by a dedicated transport pallet in the component mounting operation (for example, patent). Reference 1). In the prior art shown in Patent Document 1, a flexible carrier sheet having heat resistance and having an adhesive layer formed on the surface is used as a transport pallet so that the flexible wiring board to be worked on is held by the adhesive layer on the surface. I have to.

特開2008−78522号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2008-78522

しかしながら、上述の特許文献例を含め従来技術においては、搬送用パレットの劣化に起因して、以下のような問題が生じている。すなわち搬送用パレットは、搬送時のハンドリングによる外力や搭載された部品を半田接合するためのリフロー時の加熱などが繰り返し作用することにより変形を生じ、基板を保持する保持面の平坦度が損なわれた状態となる。このような劣化した状態の搬送用パレットを使用すると、保持された作業対象の基板は変形した保持面に倣うため基板の部品装着高さにばらつきを生じ、安定した部品搭載動作を行うことができない。 However, in the prior art including the above-mentioned patent document example, the following problems occur due to the deterioration of the transport pallet. That is, the transport pallet is deformed due to repeated actions such as external force due to handling during transport and heating during reflow for soldering the mounted parts, and the flatness of the holding surface for holding the substrate is impaired. It will be in a state of being. When the transport pallet in such a deteriorated state is used, the board to be held is imitated by the deformed holding surface, so that the component mounting height of the board varies, and stable component mounting operation cannot be performed. ..

このような不具合を防止するため、従来技術においては搬送用パレットの状態検査を専用の検査装置を用いて個別に行う必要があった。このため、搬送用パレットの状態検査に手間と時間を要して作業負担が増大するとともに、使用に不適な劣化した搬送パレットを迅速に抽出することができず、部品搭載作業の品質を低下させる一因となっていた。 In order to prevent such a problem, in the prior art, it was necessary to individually inspect the state of the transport pallet using a dedicated inspection device. For this reason, it takes time and effort to inspect the condition of the transport pallet, which increases the work load, and it is not possible to quickly extract the deteriorated transport pallet that is unsuitable for use, which deteriorates the quality of the component mounting work. It was one of the causes.

そこで本発明は、搬送用パレットの状態検査を個別に行うことなく搬送パレットの状態を評価することができる部品搭載システムおよび搬送用パレットの評価方法を提供することを目的とする。 Therefore, an object of the present invention is to provide a component mounting system capable of evaluating the state of a transport pallet without individually inspecting the state of the transport pallet, and an evaluation method of the transport pallet.

本発明の部品搭載システムは、搬送用パレットに保持された軟弱基板の複数の装着位置に部品を搭載する部品搭載システムであって、負圧によって部品を保持するための吸引孔を有する部品保持部と、前記部品保持部を昇降させるサーボモータと、予め設定された動作パターンに基づいて前記サーボモータを制御することにより、前記部品保持部に保持された部品を前記軟弱基板に搭載するための昇降動作を前記部品保持部に行わせる制御部と、を備え、さらに、前記制御部は、前記部品保持部を前記軟弱基板に向かって下降させる際に前記サーボモータの推力を制限する推力制限部と、前記サーボモータからの位置信号に基づいて前記部品保持部の高さ方向の位置を検出する位置検出部と、前記部品が前記装着位置に着地してから前記部品保持部が上昇を開始する直前までの所定のタイミングで前記位置検出部が検出した前記部品保持部の高さ方向の位置と前記部品保持部によって装着された部品の寸法とに基づいて、前記装着位置の装着高さを算出する装着位置高さ計測部と、前記装着位置高さ計測部で計測した複数の装着高さに基づいて、前記搬送用パレットの変形状態を判断する搬送用パレット評価部と、を備えた。 The component mounting system of the present invention is a component mounting system for mounting components at a plurality of mounting positions of a soft substrate held on a transport pallet, and is a component holding unit having suction holes for holding the components by negative pressure. By controlling the servomotor that raises and lowers the component holding portion and the servomotor based on a preset operation pattern, the parts held by the component holding portion can be raised and lowered to be mounted on the soft substrate. The control unit includes a control unit that causes the component holding unit to perform an operation, and further, the control unit includes a thrust limiting unit that limits the thrust of the servomotor when the component holding unit is lowered toward the soft substrate. A position detection unit that detects the position of the component holding unit in the height direction based on a position signal from the servomotor, and immediately before the component holding unit starts to rise after the component lands at the mounting position. The mounting height of the mounting position is calculated based on the position in the height direction of the component holding unit detected by the position detecting unit and the dimensions of the component mounted by the component holding unit. It is provided with a mounting position height measuring unit and a transport pallet evaluation unit that determines a deformed state of the transport pallet based on a plurality of mounting heights measured by the mounting position height measuring unit.

本発明の搬送用パレットの評価方法は、部品が実装される軟弱基板を保持して部品搭載装置に搬送する搬送用パレットの変形状態を判断する搬送用パレットの評価方法であって、前記軟弱基板を保持した搬送用パレットを部品搭載装置に搬送し、前記部品搭載装置の部品保持部で前記軟弱基板の複数の装着位置に複数の部品を搭載し、前記複数の装着位置に複数の部品を搭載する際の前記部品保持部の高さ方向の位置を検出し、少なくとも前記部品保持部の高さ方向の位置と装着した部品の寸法とに基づいて、装着位置高さ計測部により前記複数の装着位置の装着高さを求め、前記装着位置高さ計測部により求めた複数の装着高さに基づいて、前記搬送用パレットの変形状態を判断する。 The method for evaluating a transport pallet of the present invention is a method for evaluating a transport pallet that holds a soft substrate on which components are mounted and determines the deformed state of the transport pallet that is transported to the component mounting device. The transport pallet holding the above is transported to the component mounting device, a plurality of components are mounted at a plurality of mounting positions of the soft substrate at the component holding portion of the component mounting device, and a plurality of components are mounted at the plurality of mounting positions. The position of the component holding portion in the height direction is detected, and the plurality of mounting positions are mounted by the mounting position height measuring unit based on at least the position of the component holding portion in the height direction and the dimensions of the mounted component. The mounting height of the position is obtained, and the deformed state of the transport pallet is determined based on the plurality of mounting heights obtained by the mounting position height measuring unit.

本発明によれば、搬送用パレットの状態検査を個別に行うことなく搬送パレットの状態を評価することができる。 According to the present invention, the state of the transport pallet can be evaluated without individually inspecting the state of the transport pallet.

本発明の一実施の形態の部品搭載システムの全体構成を示す斜視図A perspective view showing an overall configuration of a component mounting system according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態の部品搭載システムにおいて作業対象となる軟弱基板および軟弱基板がガセットされる搬送用パレットの構成説明図Structural explanatory view of a soft substrate to be worked on in the component mounting system according to the embodiment of the present invention and a transport pallet in which the soft substrate is gusseted. 本発明の一実施の形態の部品搭載装置が備えた搭載ヘッドの構成説明図Configuration explanatory view of the mounting head provided in the component mounting device according to the embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態の部品搭載装置が備えた搭載ヘッドの側断面図Side sectional view of a mounting head provided in the component mounting device according to the embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態の部品搭載装置が備えた搭載ヘッドの正断面図A front sectional view of a mounting head provided in the component mounting device according to the embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態の部品搭載装置が備えた搭載ヘッドにおけるノズルユニットの構成説明図Schematic diagram of the configuration of the nozzle unit in the mounting head provided in the component mounting device according to the embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態の部品搭載装置が備えた搭載ヘッドにおける部品保持部の構成説明図Schematic diagram of the configuration of the component holding portion in the mounting head provided in the component mounting device according to the embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態の部品搭載装置が備えた搭載ヘッドにおける部品保持部のホルダへの装着動作の動作説明図An operation explanatory view of the mounting operation of the component holding portion on the holder of the mounting head provided in the component mounting device according to the embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態の部品搭載システムの制御系の構成を示すブロック図A block diagram showing a configuration of a control system of a component mounting system according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態の部品搭載装置における荷重検出部の配置状態の説明図Explanatory drawing of arrangement state of load detection part in component mounting apparatus of one Embodiment of this invention 本発明の一実施の形態の部品搭載装置のノズルユニットに作用する力の関係を示す説明図Explanatory drawing which shows the relationship of the force acting on the nozzle unit of the component mounting apparatus of one Embodiment of this invention. 本発明の一実施の形態の部品搭載装置におけるサーボモータの推力と部品保持部による荷重との相関を示す推力−荷重相関データの説明図Explanatory drawing of thrust-load correlation data showing the correlation between the thrust of the servomotor and the load by the component holding portion in the component mounting device according to the embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態の部品搭載装置による部品の装着動作における昇降動作制御用の高さパラメータの説明図Explanatory drawing of height parameter for elevating motion control in component mounting operation by component mounting device of one Embodiment of this invention 本発明の一実施の形態の部品搭載装置による部品の装着動作の説明図Explanatory drawing of component mounting operation by component mounting device of one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態の部品搭載装置による部品装着作業を示すフロー図A flow chart showing a component mounting operation by the component mounting device according to the embodiment of the present invention.

次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。まず図1を参照して、部品搭載システム1の構成および機能を説明する。部品搭載システム1は、図2に示す搬送用パレット3に保持されたフレキシブル基板などの軟弱基板4(以下、単に「基板4」と略記する。)の複数の装着位置に部品を搭載する機能を有する。図1に示すように、部品搭載システム1は、部品を基板4に搭載する部品搭載装置1Mおよび上位システムである管理部1Sより構成される。本実施の形態における管理部1Sは、搬送用パレット3の変形状態の評価など搬送用パレット3の保守に関する管理を行う機能を備えている。 Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. First, the configuration and functions of the component mounting system 1 will be described with reference to FIG. The component mounting system 1 has a function of mounting components at a plurality of mounting positions of a soft substrate 4 (hereinafter, simply abbreviated as “board 4”) such as a flexible substrate held on the transport pallet 3 shown in FIG. Have. As shown in FIG. 1, the component mounting system 1 is composed of a component mounting device 1M for mounting components on a substrate 4 and a management unit 1S which is a higher-level system. The management unit 1S in the present embodiment has a function of managing the maintenance of the transport pallet 3, such as evaluation of the deformed state of the transport pallet 3.

部品搭載装置1Mの構成を説明する。図1において、基台1aの上面には、X方向(基板搬送方向)に基板搬送部2が配設されている。基板搬送部2は、上流側装置(図示省略)から部品装着作業の対象となる複数の基板4を保持した搬送用パレット3を受け取って、部品搭載装置1Mにおける装着作業位置まで搬送して位置決め保持する。 The configuration of the component mounting device 1M will be described. In FIG. 1, a substrate transport portion 2 is arranged on the upper surface of the base 1a in the X direction (board transport direction). The board transfer unit 2 receives a transfer pallet 3 holding a plurality of boards 4 to be subjected to component mounting work from the upstream side device (not shown), transports the pallet 3 to the mounting work position in the component mounting device 1M, and holds the position. do.

図2を参照して、搬送用パレット3および基板4ならびに本実施の形態の部品搭載システム1における搬送用パレット3の管理について説明する。搬送用パレット3は耐熱性を有する金属板の表面に、基板4を保持するための粘着層を形成した構成となっている。図2(a)に示すように、搬送用パレット3には識別用の二次元コード3aが形成されている。二次元コード3aは基板認識カメラ16(図3参照)によって撮像され、この撮像結果は二次元コード認識部65(図9参照)によって認識される。これにより、搬送用パレット3に付与された識別情報が取得され、搬送用パレット3を個別に識別することができる。 With reference to FIG. 2, the management of the transport pallet 3 and the substrate 4 and the transport pallet 3 in the component mounting system 1 of the present embodiment will be described. The transport pallet 3 has a structure in which an adhesive layer for holding the substrate 4 is formed on the surface of a heat-resistant metal plate. As shown in FIG. 2A, a two-dimensional code 3a for identification is formed on the transport pallet 3. The two-dimensional code 3a is imaged by the substrate recognition camera 16 (see FIG. 3), and the image pickup result is recognized by the two-dimensional code recognition unit 65 (see FIG. 9). As a result, the identification information given to the transport pallets 3 is acquired, and the transport pallets 3 can be individually identified.

搬送用パレット3には複数(ここでは4枚)の基板4がセットされている。フレキシブル基板、フィルム状基板、薄型基板などの軟弱基板である基板4は、剛性が低く撓みやすい特性を有している。このため取り扱いにおいては、基板4を搬送用パレット3にセットすることにより部品装着時における適正な形状を保持するようになっている。それぞれの基板4には、部品が装着される複数の装着位置4bが設定されている。基板4の対角位置には、部品搭載時の位置認識のための認識マーク4aが形成されている。これらの基板4は基板4(1)〜4(4)のように付番されており、個別に特定が可能となっている。 A plurality of (here, four) substrates 4 are set on the transport pallet 3. The substrate 4, which is a soft substrate such as a flexible substrate, a film-like substrate, and a thin substrate, has a characteristic of low rigidity and easy bending. Therefore, in handling, by setting the substrate 4 on the transport pallet 3, the proper shape at the time of mounting the parts is maintained. A plurality of mounting positions 4b on which components are mounted are set on each substrate 4. Recognition marks 4a for position recognition at the time of mounting components are formed at diagonal positions of the substrate 4. These substrates 4 are numbered as substrates 4 (1) to 4 (4), and can be individually specified.

図2(b)は、基板4が取り外された状態の搬送用パレット3の上面を示している。搬送用パレット3の上面において、基板セット位置3b(1)〜3b(4)は、基板4(1)〜4(4)がセットされる輪郭位置を示す。それぞれの基板セット位置3b(1)〜3b(4)内には、各基板4における複数の装着位置4bに対応して、当該位置における搬送用パレット3の上面高さを示す複数の高さ指標位置3c(1)〜3c(4)が示されている。 FIG. 2B shows the upper surface of the transport pallet 3 with the substrate 4 removed. On the upper surface of the transport pallet 3, the substrate set positions 3b (1) to 3b (4) indicate the contour positions where the substrates 4 (1) to 4 (4) are set. Within each of the board set positions 3b (1) to 3b (4), there are a plurality of height indexes indicating the height of the upper surface of the transport pallet 3 at the positions corresponding to the plurality of mounting positions 4b on each board 4. Positions 3c (1) to 3c (4) are shown.

搬送用パレット3を継続して使用する過程では、リフロー時の加熱などにより変形を生じて平面度が悪化する劣化が進行する。このような劣化が進行すると、搬送用パレット3はセットされた基板4を部品装着動作のための適正な状態に保持することができず、使用に耐えない状態となって交換を要する。従来技術では、このような劣化が進行した搬送用パレット3を抽出するために搬送用パレット3の状態検査を専用の検査装置を用いて個別に行う必要があった。 In the process of continuously using the transport pallet 3, the flatness is deteriorated due to deformation due to heating during reflow or the like. If such deterioration progresses, the transport pallet 3 cannot hold the set substrate 4 in an appropriate state for component mounting operation, and becomes unusable and needs to be replaced. In the prior art, in order to extract the transport pallet 3 in which such deterioration has progressed, it is necessary to individually inspect the state of the transport pallet 3 using a dedicated inspection device.

これに対し、本実施の形態においては、搬送用パレット3にセットされた複数の基板4への部品装着動作時に、それぞれの基板4における複数の装着位置4bの高さを示す装着高さを計測し、計測により取得された高さ情報に基づいて、搬送用パレット3の劣化による変形状態を評価するようにしている。ここでは装着位置4bの高さである装着高さより、搬送用パレット3の上面において当該装着位置4bに対応する高さ指標位置3cにおける上面高さを求める。 On the other hand, in the present embodiment, when the components are mounted on the plurality of boards 4 set on the transport pallet 3, the mounting height indicating the heights of the plurality of mounting positions 4b on each board 4 is measured. Then, based on the height information acquired by the measurement, the deformed state due to the deterioration of the transport pallet 3 is evaluated. Here, the height of the upper surface of the transport pallet 3 at the height index position 3c corresponding to the mounting position 4b is obtained from the mounting height, which is the height of the mounting position 4b.

そして1つの搬送用パレット3について求められた高さ指標位置3cにおける上面高さの状態を、予め設定された評価基準と対照することにより、当該搬送用パレット3が使用に耐える状態であるか否かを判定する。評価基準では、上面高さにおいて許容されるばらつき量の上限や使用不可とされる局部的な変形状態などが定義される。 Then, by comparing the state of the top surface height at the height index position 3c obtained for one transport pallet 3 with a preset evaluation standard, whether or not the transport pallet 3 is in a state that can withstand use. Is determined. The evaluation criteria define the upper limit of the amount of variation allowed in the height of the upper surface and the locally deformed state that cannot be used.

すなわち本実施の形態では、複数の基板4がセットされる搬送用パレット3において、複数の基板4のそれぞれについて計測された複数の高さ情報、すなわち基板4(1)〜4(4)のそれぞれにおける高さ指標位置3c(1)〜3c(4)の高さを示すパレット上面高さ情報を、基板4(1)〜4(4)を対象とする部品装着動作における計測結果に基づいて算出し、この算出結果に基づいて搬送用パレット3の変形状態を評価するようにしている。 That is, in the present embodiment, in the transport pallet 3 in which the plurality of substrates 4 are set, the plurality of height information measured for each of the plurality of substrates 4, that is, each of the substrates 4 (1) to 4 (4). The height information of the upper surface of the pallet indicating the height of the height index positions 3c (1) to 3c (4) in the above is calculated based on the measurement result in the component mounting operation for the substrates 4 (1) to 4 (4). Then, the deformed state of the transport pallet 3 is evaluated based on the calculation result.

この変形状態の評価では、搬送用パレット3に形成された二次元コード3aを認識して取得した識別情報と、複数の基板4(1)〜4(4)のそれぞれにおける複数の装着位置4bの装着高さとを関連付けして一群の装着高さ情報としている。そしてこれらの一群の装着高さ情報は、当該搬送用パレット3を評価するための情報として装着高さ情報記憶部64(図9参照)に記憶される。 In the evaluation of this deformed state, the identification information obtained by recognizing the two-dimensional code 3a formed on the transport pallet 3 and the plurality of mounting positions 4b on each of the plurality of substrates 4 (1) to 4 (4) It is associated with the mounting height to provide a group of mounting height information. Then, the mounting height information of these groups is stored in the mounting height information storage unit 64 (see FIG. 9) as information for evaluating the transport pallet 3.

基板搬送部2の両側方には部品供給部5が配置されており、部品供給部5にはそれぞれ複数のテープフィーダ6が並設されている。テープフィーダ6は、部品P(図13、図14参照)を収納したキャリアテープを、以下に説明する搭載ヘッド11による部品取り出し位置まで搬送する機能を有している。 Parts supply units 5 are arranged on both sides of the board transport unit 2, and a plurality of tape feeders 6 are arranged side by side in each of the component supply units 5. The tape feeder 6 has a function of transporting the carrier tape containing the component P (see FIGS. 13 and 14) to the component take-out position by the mounting head 11 described below.

部品搭載装置1MにおいてX方向の両端部に配設された1対のフレーム部材7の上面には、それぞれリニアモータによって駆動されるY軸移動テーブル8がY方向に配設されている。Y軸移動テーブル8の間には同様にリニアモータによって駆動されるX軸移動テーブル9がY方向に移動自在に架設されている。X軸移動テーブル9には、搭載ヘッド11がX方向への移動が自在に装着されている。Y軸移動テーブル8およびX軸移動テーブル9は、XYテーブル10を構成し、XYテーブル10を駆動することにより、搭載ヘッド11はXY方向に移動する。これにより、搭載ヘッド11は、テープフィーダ6から部品保持部31(図3参照)によって部品Pを取り出して搬送用パレット3に保持された基板4に装着する。 Y-axis moving tables 8 driven by linear motors are arranged in the Y direction on the upper surfaces of the pair of frame members 7 arranged at both ends in the X direction in the component mounting device 1M. Similarly, an X-axis moving table 9 driven by a linear motor is erected between the Y-axis moving tables 8 so as to be movable in the Y direction. The mounting head 11 is freely mounted on the X-axis moving table 9 so as to move in the X direction. The Y-axis moving table 8 and the X-axis moving table 9 constitute an XY table 10, and by driving the XY table 10, the mounting head 11 moves in the XY direction. As a result, the mounting head 11 takes out the component P from the tape feeder 6 by the component holding unit 31 (see FIG. 3) and mounts the component P on the substrate 4 held on the transport pallet 3.

基板搬送部2と部品供給部5との間において搭載ヘッド11の移動経路には、部品認識カメラ12が撮像方向を上方に向けて配置されている。部品認識カメラ12は、搭載ヘッド11によって保持された状態の部品Pを下方から撮像する。この撮像結果を認識処理することにより、搭載ヘッド11によって保持された部品Pの識別や位置検出が行われる。搭載ヘッド11には搭載ヘッド制御部13が内蔵されており、基台1aには本体制御部14が内蔵されている。 A component recognition camera 12 is arranged in the movement path of the mounting head 11 between the substrate transport section 2 and the component supply section 5 with the imaging direction facing upward. The component recognition camera 12 takes an image of the component P held by the mounting head 11 from below. By recognizing the imaging result, the component P held by the mounting head 11 is identified and the position is detected. The mounting head 11 has a built-in mounting head control unit 13, and the base 1a has a built-in main body control unit 14.

搭載ヘッド制御部13は、搭載ヘッド11において部品Pを保持する部品保持部31(図4参照)の昇降動作を制御する機能を有している。また本体制御部14は、装置本体部を制御するとともに搭載ヘッド制御部13に対して作業指令を発出する機能を有している。搭載ヘッド制御部13および本体制御部14は、部品搭載装置1Mの各部を制御する制御部15を構成している。 The mounting head control unit 13 has a function of controlling the ascending / descending operation of the component holding unit 31 (see FIG. 4) that holds the component P in the mounting head 11. Further, the main body control unit 14 has a function of controlling the main body unit of the apparatus and issuing a work command to the mounting head control unit 13. The mounting head control unit 13 and the main body control unit 14 constitute a control unit 15 that controls each unit of the component mounting device 1M.

本実施の形態においては、搭載ヘッド11は搭載ヘッド移動機構であるXYテーブル10のX軸移動テーブル9に着脱可能となっている。図3(a)は、搭載ヘッド11がX軸移動テーブル9に装着された状態におけるX軸移動テーブル9の断面を示している。下端部に部品を保持する部品保持部31を備えた構成の搭載ヘッド11の背面には、背面部材23が設けられている。図3(b)に示すように、背面部材23はX軸移動テーブル9に設けられた移動ベース22に着脱自在(矢印a)となっている。 In the present embodiment, the mounting head 11 is removable from the X-axis moving table 9 of the XY table 10 which is the mounting head moving mechanism. FIG. 3A shows a cross section of the X-axis moving table 9 in a state where the mounting head 11 is mounted on the X-axis moving table 9. A back member 23 is provided on the back surface of the mounting head 11 having a component holding portion 31 for holding the component at the lower end portion. As shown in FIG. 3B, the back member 23 is detachable (arrow a) from the moving base 22 provided on the X-axis moving table 9.

移動ベース22は、一対のスライドガイド21を介してX軸移動テーブル9にX方向の移動が自在に結合されている。移動ベース22は、リニアモータ20によってX軸移動テーブル9に対してX方向に駆動される。リニアモータ20は、移動ベース22に結合された移動子20bをX軸移動テーブル9にX方向に配列された固定子20aに対向させた構成となっている。移動ベース22の下端部には、基板認識カメラ16が撮像方向を下向きにして配置されている。基板認識カメラ16は搭載ヘッド11と一体的に移動して、下方に位置する搬送用パレット3および搬送用パレット3保持された基板4を撮像する。これにより、搬送用パレット3に形成された識別マークとしての二次元コード3aの認識や、基板4の位置検出のための認識マーク4aの認識が行われる。 The movement base 22 is freely coupled to the X-axis movement table 9 via a pair of slide guides 21 in the X direction. The moving base 22 is driven in the X direction with respect to the X-axis moving table 9 by the linear motor 20. The linear motor 20 has a configuration in which the mover 20b coupled to the movement base 22 faces the stator 20a arranged in the X direction on the X-axis movement table 9. A substrate recognition camera 16 is arranged at the lower end of the moving base 22 with the imaging direction facing downward. The substrate recognition camera 16 moves integrally with the mounting head 11 to take an image of the transport pallet 3 located below and the substrate 4 held by the transport pallet 3. As a result, the two-dimensional code 3a as the identification mark formed on the transport pallet 3 and the recognition mark 4a for detecting the position of the substrate 4 are recognized.

移動ベース22の上端部には、水平な結合部材24を介してコネクタ保持部25が結合されている。搭載ヘッド11の上部とコネクタ保持部25とは、配管コネクタ26および配線コネクタ27を介して接続されている。配管コネクタ26は、搭載ヘッド11に装置本体部より空圧や真空圧を供給する機能を有している。配線コネクタ27は、装置本体部より搭載ヘッド11に対して給電および電気信号の授受を行う機能を有している。これにより、搭載ヘッド11に内蔵された搭載ヘッド制御部13と基台1aに内蔵された本体制御部14とが接続される。 A connector holding portion 25 is coupled to the upper end portion of the moving base 22 via a horizontal coupling member 24. The upper portion of the mounting head 11 and the connector holding portion 25 are connected to each other via the piping connector 26 and the wiring connector 27. The piping connector 26 has a function of supplying air pressure or vacuum pressure to the mounting head 11 from the main body of the apparatus. The wiring connector 27 has a function of supplying power and exchanging electric signals from the main body of the device to the mounting head 11. As a result, the mounting head control unit 13 built in the mounting head 11 and the main body control unit 14 built in the base 1a are connected.

図3(b)に示すように、移動ベース22から背面部材23を取り外した状態では、配管コネクタ26、配線コネクタ27において搭載ヘッド11に設けられたヘッド側接続部26a、27aは、コネクタ保持部25に設けられた本体部側接続部26b、27bから離脱する。そして搭載ヘッド11を他の部品搭載装置に装着する際には、背面部材23を他装置の移動ベース22に固定結合するとともに、ヘッド側接続部27a、26aを他装置のコネクタ保持部25に設けられた本体部側接続部26b、27bに嵌合させる。 As shown in FIG. 3B, when the back member 23 is removed from the moving base 22, the head-side connecting portions 26a and 27a provided on the mounting head 11 in the piping connector 26 and the wiring connector 27 are connector holding portions. It is separated from the main body side connecting portions 26b and 27b provided in 25. When the mounting head 11 is mounted on another component mounting device, the back member 23 is fixedly coupled to the moving base 22 of the other device, and the head-side connecting portions 27a and 26a are provided on the connector holding portion 25 of the other device. It is fitted to the main body side connecting portions 26b and 27b.

次に図4、図5を参照して、搭載ヘッド11の構成を説明する。図4、図5に示すように、搭載ヘッド11は垂直な背面部材23の前面に複数基(ここではX方向に6基が配列されたノズル列をY方向に2列配置した12基)のノズルユニット30を配置した構成となっている。これらのノズルユニット30は、背面部材23に固定されたシャフト保持部23a、サーボモータ取付部23bによって保持されており、外面側はカバー部材11aによって閉囲されている。 Next, the configuration of the mounting head 11 will be described with reference to FIGS. 4 and 5. As shown in FIGS. 4 and 5, a plurality of mounting heads 11 are provided on the front surface of the vertical back member 23 (here, 12 nozzle rows in which 6 nozzles are arranged in the X direction are arranged in 2 rows in the Y direction). The nozzle unit 30 is arranged. These nozzle units 30 are held by a shaft holding portion 23a and a servomotor mounting portion 23b fixed to the back surface member 23, and the outer surface side is surrounded by the cover member 11a.

図4に示すように、ノズルユニット30は上部36および下部32を有するシャフト35をサーボモータ41によって昇降させ、これにより部品保持部31を昇降させる構成となっている。シャフト35は、シャフト保持部23aによって支持されており、サーボモータ41はサーボモータ取付部23bに取り付けられている。サーボモータ41によって昇降移動する移動ロッド42は、回転部材40を介して上部36と結合されている。回転部材40は移動ロッド42に対して回転自在に装着されており、上部36を移動ロッド42に対して相対回転を許容する形態で結合している。 As shown in FIG. 4, the nozzle unit 30 has a configuration in which a shaft 35 having an upper portion 36 and a lower portion 32 is moved up and down by a servomotor 41, thereby raising and lowering a component holding portion 31. The shaft 35 is supported by the shaft holding portion 23a, and the servomotor 41 is attached to the servomotor mounting portion 23b. The moving rod 42 that moves up and down by the servomotor 41 is coupled to the upper portion 36 via a rotating member 40. The rotating member 40 is rotatably attached to the moving rod 42, and the upper portion 36 is coupled to the moving rod 42 in a form that allows relative rotation.

サーボモータ41を駆動することにより、シャフト35の下部32に装着された部品保持部31が昇降し、これにより部品保持部31に保持された部品Pを搬送用パレット3に保持された基板4に搭載するための昇降動作が行われる。この部品保持部31の昇降動作を行わせる搭載ヘッド制御部13は、背面部材23に取り付けられてヘッド側接続部27aに接続されており、この構成により、前述のように搭載ヘッド制御部13を本体制御部14と着脱可能に接続することができる。 By driving the servomotor 41, the component holding portion 31 mounted on the lower portion 32 of the shaft 35 moves up and down, whereby the component P held by the component holding portion 31 is transferred to the substrate 4 held by the transport pallet 3. An ascending / descending operation for mounting is performed. The mounting head control unit 13 for raising and lowering the component holding unit 31 is attached to the back member 23 and connected to the head side connecting unit 27a. With this configuration, the mounting head control unit 13 can be mounted as described above. It can be detachably connected to the main body control unit 14.

図5に示すように、それぞれの上部36には、プーリ37が上部36の昇降を許容しつつ上部36への回転伝達が可能な形態で取り付けられている。プーリ37に調帯されたベルト37aはΘ軸モータ38によって駆動され、これにより各上部36を回転させて部品保持部31をノズル軸周りに回転させるΘ回転動作が可能となっている。これらの複数の部品保持部31は、吸引孔31d(図7参照)に導入された負圧によって部品Pを保持する機能を有している。 As shown in FIG. 5, a pulley 37 is attached to each upper portion 36 in a form capable of transmitting rotation to the upper portion 36 while allowing the upper portion 36 to move up and down. The belt 37a tuned to the pulley 37 is driven by the Θ-axis motor 38, which enables the Θ rotation operation of rotating each upper portion 36 to rotate the component holding portion 31 around the nozzle axis. These plurality of component holding portions 31 have a function of holding the component P by the negative pressure introduced into the suction hole 31d (see FIG. 7).

すなわち本実施の形態に示す部品搭載装置1Mにおける搭載ヘッド11は、吸引孔31dに導入された負圧によって部品Pを保持する複数の部品保持部31と、複数の部品保持部31を昇降させる複数のサーボモータ41と、予め設定された動作パターンに基づいてサーボモータを制御することにより、部品保持部31に保持された部品Pを搬送用パレット3に保持された基板4に搭載するための昇降動作を部品保持部31に行わせる搭載ヘッド制御部13とを有する構成となっている。 That is, the mounting head 11 in the component mounting device 1M shown in the present embodiment includes a plurality of component holding portions 31 for holding the component P by the negative pressure introduced into the suction hole 31d, and a plurality of component holding portions 31 for raising and lowering the plurality of component holding portions 31. By controlling the servomotor 41 and the servomotor based on a preset operation pattern, the component P held by the component holding unit 31 can be raised and lowered to be mounted on the substrate 4 held by the transport pallet 3. It is configured to include a mounting head control unit 13 that causes the component holding unit 31 to perform an operation.

次に図6を参照して、ノズルユニット30の構成および機能を説明する。図6において、上部36および下部32を有するシャフト35は、シャフト保持部23aによって保持されている。下部32に設けられたホルダ部32a(図7参照)には、ノズル31aおよびノズル保持部31bを有する部品保持部31が、上下方向に変位可能な状態で取り付けられている。下部32と部品保持部31のノズル保持部31bとの間には、弾性体である圧縮ばねを用いた付勢部材33が装着されている。付勢部材33は、予め与圧値として設定された所定の付勢力で、常に部品保持部31を下方に押圧している。 Next, the configuration and function of the nozzle unit 30 will be described with reference to FIG. In FIG. 6, the shaft 35 having the upper portion 36 and the lower portion 32 is held by the shaft holding portion 23a. A component holding portion 31 having a nozzle 31a and a nozzle holding portion 31b is attached to a holder portion 32a (see FIG. 7) provided in the lower portion 32 in a vertically displaceable state. An urging member 33 using a compression spring, which is an elastic body, is mounted between the lower portion 32 and the nozzle holding portion 31b of the component holding portion 31. The urging member 33 constantly presses the component holding portion 31 downward with a predetermined urging force set as a pressurization value in advance.

上部36に取り付けられたプーリ37と回転部材40との間には、圧縮ばねであるリターンスプリング39が装着されている。リターンスプリング39は回転部材40に対して上向きの反力を作用させる。すなわち部品保持部31を下降させる際には、サーボモータ41の下向きの推力によりリターンスプリング39の反力に抗して上部36を下降させる。そして部品保持部31を上昇させる際には、サーボモータ41の上向きの推力とリターンスプリング39の上向きの反力によって上部36を上昇させる。 A return spring 39, which is a compression spring, is mounted between the pulley 37 attached to the upper portion 36 and the rotating member 40. The return spring 39 exerts an upward reaction force on the rotating member 40. That is, when lowering the component holding portion 31, the upper portion 36 is lowered against the reaction force of the return spring 39 by the downward thrust of the servomotor 41. Then, when raising the component holding portion 31, the upper portion 36 is raised by the upward thrust of the servomotor 41 and the upward reaction force of the return spring 39.

シャフト35には、下部32の上方に位置して、エアジョイント部34が設けられている。エアジョイント部34は、部品保持部31に設けられた吸引孔31dを外部の負圧発生源(図示省略)と連通させる。部品保持部31を昇降させる際には、エアジョイント部34はシャフト保持部23aから下方に延出して設けられた昇降ガイド部材34aにガイドされて、シャフト35とともに昇降する。 The shaft 35 is provided with an air joint portion 34 located above the lower portion 32. The air joint portion 34 communicates the suction hole 31d provided in the component holding portion 31 with an external negative pressure generation source (not shown). When raising and lowering the component holding portion 31, the air joint portion 34 is guided by the raising and lowering guide member 34a provided so as to extend downward from the shaft holding portion 23a, and moves up and down together with the shaft 35.

シャフト35を昇降させるサーボモータ41は、上下方向に挿通した移動ロッド42を昇降駆動するリニアモータ部41aと、移動ロッド42の移動に伴ってパルス信号を出力するエンコーダ44とを備えている。エンコーダ44は、移動ロッド42に設けられたリニアスケール44aと、リニアスケール44aと対向して縦部材43に設けられ、リニアスケール44aの移動を検出する移動検出部44bとを有している。移動検出部44bはリニアスケール44aの移動距離と方向を示すエンコーダパルスを位置信号として位置検出部53(図9参照)へ出力する。 The servomotor 41 that raises and lowers the shaft 35 includes a linear motor unit 41a that moves the moving rod 42 inserted in the vertical direction up and down, and an encoder 44 that outputs a pulse signal as the moving rod 42 moves. The encoder 44 has a linear scale 44a provided on the moving rod 42 and a movement detecting unit 44b provided on the vertical member 43 facing the linear scale 44a and detecting the movement of the linear scale 44a. The movement detection unit 44b outputs an encoder pulse indicating the movement distance and direction of the linear scale 44a to the position detection unit 53 (see FIG. 9) as a position signal.

次に図7、図8を参照して、部品保持部31の詳細構成および下部32へ部品保持部31を装着して保持させる装着動作について説明する。図7は下部32へ部品保持部31を保持させた状態における側面を示しており、図8(a)、(b)は直交する2方向の側面をそれぞれ示している。 Next, with reference to FIGS. 7 and 8, the detailed configuration of the component holding portion 31 and the mounting operation of mounting and holding the component holding portion 31 on the lower portion 32 will be described. FIG. 7 shows a side surface in a state where the component holding portion 31 is held by the lower portion 32, and FIGS. 8 (a) and 8 (b) show side surfaces in two orthogonal directions, respectively.

図7(a)に示すように、下部32には部品保持部31を保持するためのホルダ部32aが設けられている。ホルダ部32aに中空円孔形状で設けられた嵌合部32bには、部品保持部31に円柱形状で設けられたスライド部31cが、上下方向に変位可能な状態で嵌合している。スライド部31cの下部にはノズル保持部31bが設けられており、ノズル保持部31bは部品を吸着する吸着部31fが設けられたノズル31aを保持する。 As shown in FIG. 7A, a holder portion 32a for holding the component holding portion 31 is provided in the lower portion 32. A slide portion 31c provided in a cylindrical shape in the component holding portion 31 is fitted in a fitting portion 32b provided in a hollow circular hole shape in the holder portion 32a in a state of being displaceable in the vertical direction. A nozzle holding portion 31b is provided below the slide portion 31c, and the nozzle holding portion 31b holds a nozzle 31a provided with a suction portion 31f for sucking parts.

スライド部31cの上端部には、部品保持部31をホルダ部32aに位置固定するためのピン31eが径方向の両側に突出した形状で設けられている。ホルダ部32aには、ピン31eを固定位置にガイドするためのガイド溝が以下に説明する構成で設けられている。すなわち図7(a)に示すように、ホルダ部32aの側面には、ホルダ部32aの下端面から垂直上方に至る挿入部32cが設けられている。 At the upper end of the slide portion 31c, pins 31e for fixing the position of the component holding portion 31 to the holder portion 32a are provided in a shape protruding on both sides in the radial direction. The holder portion 32a is provided with a guide groove for guiding the pin 31e to a fixed position, as described below. That is, as shown in FIG. 7A, an insertion portion 32c extending vertically upward from the lower end surface of the holder portion 32a is provided on the side surface of the holder portion 32a.

挿入部32cの上端部には、ホルダ部32aを半回転だけ周回する範囲に水平部32dが設けられている。さらに、図7(b)に示すように、水平部32dの終端部は、ホルダ部32aの高さの中途まで垂直下方に延出した案内部32eと接続されている。部品保持部31をホルダ部32aに保持させた状態では、ピン31eは案内部32eの下端部に位置し、これにより部品保持部31はホルダ部32aに保持される。このとき、スライド部31cの上端部と嵌合部32bの天井面との間には所定のクリアランスが確保されており、さらに案内部32eにおいてピン31eは上下方向に移動可能となっている。これにより部品保持部31は、下部32に対して上下方向の位置が変位可能となっている。 A horizontal portion 32d is provided at the upper end portion of the insertion portion 32c in a range in which the holder portion 32a is rotated by half a turn. Further, as shown in FIG. 7B, the end portion of the horizontal portion 32d is connected to the guide portion 32e extending vertically downward to the middle of the height of the holder portion 32a. In the state where the component holding portion 31 is held by the holder portion 32a, the pin 31e is located at the lower end portion of the guide portion 32e, whereby the component holding portion 31 is held by the holder portion 32a. At this time, a predetermined clearance is secured between the upper end portion of the slide portion 31c and the ceiling surface of the fitting portion 32b, and the pin 31e can be moved in the vertical direction in the guide portion 32e. As a result, the position of the component holding portion 31 in the vertical direction can be displaced with respect to the lower portion 32.

吸着部31fは部品保持部31の内部に形成された吸引孔31dと連通しており、部品保持部31をホルダ部32aに保持させた状態では、吸引孔31dは下部32に形成された吸引孔32fと連通状態となる。吸引孔32fはエアジョイント部34(図6参照)を介して外部の負圧発生源に接続されており、これにより部品保持部31において、ノズル31aによって負圧による部品Pの保持が行われる。 The suction portion 31f communicates with the suction hole 31d formed inside the component holding portion 31, and when the component holding portion 31 is held by the holder portion 32a, the suction hole 31d is a suction hole formed in the lower portion 32. It becomes a communication state with 32f. The suction hole 32f is connected to an external negative pressure generation source via an air joint portion 34 (see FIG. 6), whereby the component P is held by the nozzle 31a by the nozzle 31a in the component holding portion 31.

上記構成において、ノズル31a、ノズル保持部31b、スライド部31c、吸引孔31dおよびピン31eは、シャフト35の下部32に上下方向に変位可能な状態で取り付けられ、負圧によって部品を保持するための吸引孔31dを有する部品保持部31を構成する。ホルダ部32aの下端面とノズル保持部31bとの間のスライド部31cの外周には、弾性体である付勢部材33が嵌着されている。付勢部材33は、シャフト35の下部32に対して部品保持部31を下方に付勢する。 In the above configuration, the nozzle 31a, the nozzle holding portion 31b, the sliding portion 31c, the suction hole 31d and the pin 31e are attached to the lower portion 32 of the shaft 35 in a vertically displaceable state, and are used to hold the parts by negative pressure. A component holding portion 31 having a suction hole 31d is configured. An elastic urging member 33 is fitted on the outer circumference of the slide portion 31c between the lower end surface of the holder portion 32a and the nozzle holding portion 31b. The urging member 33 urges the component holding portion 31 downward with respect to the lower portion 32 of the shaft 35.

次に図8を参照して、部品保持部31を下部32のホルダ部32aに保持させる際の動作手順について説明する。まず図8(a)に示すように、部品保持部31においてスライド部31cに設けられたピン31eをホルダ部32aの挿入部32cに対して位置合わせする。そしてこの状態で、スライド部31cを嵌合部32bに嵌合させように、部品保持部31をホルダ部32aに対して接近させる(矢印b)。 Next, with reference to FIG. 8, the operation procedure when the component holding portion 31 is held by the holder portion 32a of the lower portion 32 will be described. First, as shown in FIG. 8A, the pin 31e provided on the slide portion 31c in the component holding portion 31 is aligned with the insertion portion 32c of the holder portion 32a. Then, in this state, the component holding portion 31 is brought closer to the holder portion 32a so that the slide portion 31c is fitted to the fitting portion 32b (arrow b).

次いで図8(b)に示すように、ピン31eを挿入部32cによってガイドしながら(矢印c)部品保持部31を上昇させ、ピン31eが水平部32dに到達したならば、ピン31eを水平部32dによってガイドしながら部品保持部31を軸周りに回転させる。これにより、図8(c)に示すように、ピン31eは水平部32dの終端部に到達する。この後、図8(d)に示すように、ピン31eを案内部32eによってガイドしながら(矢印e)部品保持部31を引き下げる。これにより、ピン31eは案内部32eの下端部に位置し、部品保持部31は下部32のホルダ部32aに保持された状態となる。 Next, as shown in FIG. 8B, the component holding portion 31 is raised while guiding the pin 31e by the insertion portion 32c (arrow c), and when the pin 31e reaches the horizontal portion 32d, the pin 31e is moved to the horizontal portion. The component holding portion 31 is rotated around the axis while being guided by 32d. As a result, as shown in FIG. 8C, the pin 31e reaches the end of the horizontal portion 32d. After that, as shown in FIG. 8D, the component holding portion 31 is pulled down while guiding the pin 31e by the guide portion 32e (arrow e). As a result, the pin 31e is located at the lower end of the guide portion 32e, and the component holding portion 31 is held by the holder portion 32a of the lower portion 32.

ここで上述構成のノズルユニット30に作用する力の関係について、図11を参照して説明する。図11において、推力Tはサーボモータ41が発生する推力であり、回転部材40を介して結合されたシャフト35を下方に押し下げる方向に作用する。重さWは、図中において可動部を示すハッチング部分、すなわち移動ロッド42、回転部材40、上部36、エアジョイント部34、下部32、部品保持部31などの自重の総和であり、推力Tと同様にシャフト35を下方に押し下げる方向に作用する。 Here, the relationship between the forces acting on the nozzle unit 30 having the above configuration will be described with reference to FIG. In FIG. 11, the thrust T is the thrust generated by the servomotor 41 and acts in the direction of pushing down the shaft 35 coupled via the rotating member 40. The weight W is the sum of the weights of the hatched portions indicating the movable portions in the drawing, that is, the moving rod 42, the rotating member 40, the upper portion 36, the air joint portion 34, the lower portion 32, the component holding portion 31, and the thrust T. Similarly, it acts in the direction of pushing down the shaft 35 downward.

反力F1は、リターンスプリング39の反力であり、回転部材40を介してシャフト35を押し上げる方向に作用する。抵抗F2は、上述の可動部を摺動自在に保持する摺動ガイド部などの抵抗外力であり、下降方向に駆動されるシャフト35については上向きに作用する。そして荷重LFは、部品保持部31が下降して当接した当接部、例えば部品保持部31が保持した部品Pを基板に押圧する際の荷重を示している。 The reaction force F1 is the reaction force of the return spring 39, and acts in the direction of pushing up the shaft 35 via the rotating member 40. The resistor F2 is an external resistance force such as a sliding guide portion that slidably holds the above-mentioned movable portion, and acts upward on the shaft 35 driven in the downward direction. The load LF indicates the load when the component holding portion 31 lowers and comes into contact with the contact portion, for example, the component P held by the component holding portion 31 is pressed against the substrate.

図11では、推力−荷重相関データ(図12参照)を取得するために、荷重LFを計測する機能を有する荷重検出部45(図9、図10参照)に、部品保持部31を押し当てた状態を示している。また図11に示す付勢力FPは、部品保持部31と下部32との間に介在する付勢部材33の与圧値であり、部品保持部31と下部32に及ぼす押圧力を示している。 In FIG. 11, in order to acquire thrust-load correlation data (see FIG. 12), the component holding unit 31 is pressed against the load detecting unit 45 (see FIGS. 9 and 10) having a function of measuring the load LF. Indicates the state. Further, the urging force FP shown in FIG. 11 is a pressurization value of the urging member 33 interposed between the component holding portion 31 and the lower portion 32, and indicates the pressing force exerted on the component holding portion 31 and the lower portion 32.

上述の力の作用状態において、荷重LFは図中の数式(1)に示す関係、すなわち、LF=T+W−F1−F2で示される。ここで、重さW、反力F1、抵抗F2は同一のノズルユニット30については固定値とみなしてよいことから、荷重LFは推力Tに一意的に依存する。本実施の形態に示す部品搭載装置1Mにおいては、付勢力FPと荷重LFとが不等式(2)を満たすように、すなわち荷重LFが付勢力FPよりも小さくなるように、推力Tを設定するようにしている。 In the above-mentioned force acting state, the load LF is represented by the relationship shown in the mathematical formula (1) in the figure, that is, LF = T + W-F1-F2. Here, since the weight W, the reaction force F1, and the resistance F2 can be regarded as fixed values for the same nozzle unit 30, the load LF uniquely depends on the thrust T. In the component mounting device 1M shown in the present embodiment, the thrust T is set so that the urging force FP and the load LF satisfy the inequality (2), that is, the load LF is smaller than the urging force FP. I have to.

荷重LFが付勢力FPよりも小さくなるように推力Tを設定することは、以下のような技術的意義を有する。すなわち従来技術においては、付勢部材33は部品保持部31を弾性支持する役割を有しており、部品保持部31に保持した部品を搭載する際には、付勢部材33が押し込まれることにより発生する反力によって部品を基板に押圧するようにしていた。 Setting the thrust T so that the load LF is smaller than the urging force FP has the following technical significance. That is, in the prior art, the urging member 33 has a role of elastically supporting the component holding portion 31, and when the component held by the component holding portion 31 is mounted, the urging member 33 is pushed in. The reaction force generated was used to press the component against the substrate.

これに対し本実施の形態に示す部品搭載装置1Mでは、部品保持部31を押し下げる荷重LFが付勢部材33の付勢力FPよりも小さくなるような荷重LFの限界値を制限荷重LFLとしてまず規定する。そしてこのような制限荷重LFLに対応するサーボモータ41の推力Tを推力制限値TLとして求めて搭載ヘッド制御部13に記憶させておく。そして実際の部品搭載動作におけるサーボモータ41の駆動に際しては、推力Tが推力制限値TLを超えないようにサーボモータ41を制御する。 On the other hand, in the component mounting device 1M shown in the present embodiment, the limit value of the load LF such that the load LF pushing down the component holding portion 31 becomes smaller than the urging force FP of the urging member 33 is first defined as the limiting load LFL. do. Then, the thrust T of the servomotor 41 corresponding to such a limit load LFL is obtained as a thrust limit value TL and stored in the mounting head control unit 13. When driving the servomotor 41 in the actual component mounting operation, the servomotor 41 is controlled so that the thrust T does not exceed the thrust limit value TL.

ノズルユニット30におけるサーボモータ41の推力Tをこのように制御することにより、部品保持部31の下降動作において付勢部材33を押し縮めることなく、荷重LFそのものの押圧力によって部品を基板に搭載することができる。これにより、部品装着位置によって基板の高さにばらつきが存在するような場合にあっても、高精度で制御可能な荷重LFによって部品を基板に押圧することが可能となっている。 By controlling the thrust T of the servomotor 41 in the nozzle unit 30 in this way, the component is mounted on the substrate by the pressing force of the load LF itself without compressing the urging member 33 in the lowering operation of the component holding portion 31. be able to. As a result, even if the height of the substrate varies depending on the mounting position of the component, the component can be pressed against the substrate by the load LF that can be controlled with high accuracy.

そしてこのような推力Tの制御を可能とするため、本実施の形態においては、搭載ヘッド11のノズルユニット30の動作を制御する搭載ヘッド制御部13において、サーボモータ41の推力Tの値を制限する推力制限値TLを各サーボモータ41毎に設定し、設定された推力制限値TLに基づいてサーボモータ41を制御するようにしている。推力制限値TLの設定は、部品搭載装置1Mの本体が備えた本体制御部14からの指令に含まれる制限荷重LFLを、予め作成された推力−荷重相関データ(図12参照)と参照することにより行われる。以下、部品搭載装置1Mにおいてこのような制御処理を実行するために、搭載ヘッド制御部13および本体制御部14よりなる制御部15が備えた構成について、図9を参照して説明する。 In order to enable such control of the thrust T, in the present embodiment, the value of the thrust T of the servomotor 41 is limited by the mounting head control unit 13 that controls the operation of the nozzle unit 30 of the mounting head 11. The thrust limit value TL to be used is set for each servomotor 41, and the servomotor 41 is controlled based on the set thrust limit value TL. To set the thrust limit value TL, refer to the limit load LFL included in the command from the main body control unit 14 provided in the main body of the component mounting device 1M with the thrust-load correlation data (see FIG. 12) created in advance. Is done by. Hereinafter, a configuration provided by the control unit 15 including the mounting head control unit 13 and the main body control unit 14 in order to execute such a control process in the component mounting device 1M will be described with reference to FIG.

図9において、部品搭載装置1Mの全体を制御する制御部15は、本体制御部14および本体制御部14に配線コネクタ27を介して接続された搭載ヘッド制御部13より構成される。本体制御部14は、部品搭載装置1Mにおける基板4を保持した搬送用パレット3の搬送や搭載ヘッド11による部品供給部5からの部品の取り出しなどの動作を制御するとともに、搭載ヘッド制御部13に対して制御指令を送信する機能を有している。さらに本体制御部14は、通信ネットワーク75を介して上位システムである管理部1Sに接続されている。 In FIG. 9, the control unit 15 that controls the entire component mounting device 1M is composed of a main body control unit 14 and a mounting head control unit 13 connected to the main body control unit 14 via a wiring connector 27. The main body control unit 14 controls operations such as transporting the transport pallet 3 holding the substrate 4 in the component mounting device 1M and taking out parts from the component supply unit 5 by the mounting head 11, and also controls the mounting head control unit 13. It has a function to send a control command to it. Further, the main body control unit 14 is connected to the management unit 1S, which is a higher-level system, via the communication network 75.

すなわち本体制御部14は、少なくとも搭載ヘッド11を移動させるXYテーブル10(搭載ヘッド移動機構)を制御し、搭載ヘッド制御部13に部品保持部31の昇降動作を行うための指令を送信する。換言すれば制御部15は、予め設定されて第2の記憶部58に「標準動作パターン」58dとして記憶された動作パターンに基づいて、ノズルユニット30のシャフト35を昇降させるサーボモータ41を制御することにより、部品保持部31に保持された部品を搬送用パレット3に保持された基板4に搭載するための昇降動作を部品保持部31に行わせる。 That is, the main body control unit 14 controls at least the XY table 10 (mounting head moving mechanism) that moves the mounting head 11, and transmits a command for raising and lowering the component holding unit 31 to the mounting head control unit 13. In other words, the control unit 15 controls the servomotor 41 that raises and lowers the shaft 35 of the nozzle unit 30 based on the operation pattern preset and stored in the second storage unit 58 as the “standard operation pattern” 58d. As a result, the component holding unit 31 is made to perform an elevating operation for mounting the component held by the component holding unit 31 on the substrate 4 held by the transport pallet 3.

搭載ヘッド制御部13には、搭載ヘッド11に配置された複数基(ここでは12基)のノズルユニット30毎に、当該ノズルユニット30のサーボモータ41(#1〜#12)を制御するサーボモータ制御部50(#1〜#12)が設けられている。それぞれのサーボモータ制御部50は、モータドライバ51、推力検出部52、位置検出部53、着地検出部54、タイマー55、推力制限部56、第1の記憶部57および第2の記憶部58を備えている。 The mounting head control unit 13 has a servomotor that controls servomotors 41 (# 1 to # 12) of the nozzle unit 30 for each of a plurality of nozzle units (12 in this case) arranged on the mounting head 11. Control units 50 (# 1 to # 12) are provided. Each servo motor control unit 50 includes a motor driver 51, a thrust detection unit 52, a position detection unit 53, a landing detection unit 54, a timer 55, a thrust limit unit 56, a first storage unit 57, and a second storage unit 58. I have.

ここで前述のように搭載ヘッド11は搭載ヘッド移動機構であるXYテーブル10に着脱可能に構成されており、第1の記憶部57は不揮発性の記憶部となっている。この構成により、搭載ヘッド11がXYテーブル10のX軸移動テーブル9から取り外されて単体となった状態においても、記憶内容を保持できるようになっている。これにより、1つの部品搭載装置1Mから取り外した搭載ヘッド11を他の部品搭載装置1Mへ移した場合にあっても、当該搭載ヘッド11の各ノズルユニット30を、第1の記憶部57に記憶された相関データを参照して正しく動作させることが可能となっている。 Here, as described above, the mounting head 11 is detachably attached to the XY table 10 which is the mounting head moving mechanism, and the first storage unit 57 is a non-volatile storage unit. With this configuration, even when the mounting head 11 is removed from the X-axis moving table 9 of the XY table 10 and becomes a single unit, the stored contents can be retained. As a result, even when the mounting head 11 removed from one component mounting device 1M is moved to another component mounting device 1M, each nozzle unit 30 of the mounting head 11 is stored in the first storage unit 57. It is possible to operate correctly by referring to the obtained correlation data.

モータドライバ51は、サーボモータ41の駆動制御装置であり、予め設定された動作パターンに基づいてサーボモータ41に電力を供給して(矢印f)、サーボモータ41を駆動する。そして動作パターンで定められた目標位置や目標速度との偏差をサーボモータ41のエンコーダ44から送られるパルス信号によって検出し(矢印g)、検出された偏差をフィードバックするサーボ制御によってサーボモータ41を駆動する。 The motor driver 51 is a drive control device for the servomotor 41, and supplies power to the servomotor 41 based on a preset operation pattern (arrow f) to drive the servomotor 41. Then, the deviation from the target position and the target speed determined by the operation pattern is detected by the pulse signal sent from the encoder 44 of the servomotor 41 (arrow g), and the servomotor 41 is driven by the servo control that feeds back the detected deviation. do.

推力検出部52はサーボモータ41の推力を検出する機能を有する。すなわちモータドライバ51からサーボモータ41に供給される電流(矢印f)、またはモータドライバ51から通知された電流値(矢印h)により、サーボモータ41で発生している推力を検出する。本実施の形態においては、サーボモータ41の推力は推力制限部56の機能によって前述の推力制限値TLに基づいて制限される。 The thrust detection unit 52 has a function of detecting the thrust of the servomotor 41. That is, the thrust generated by the servomotor 41 is detected by the current supplied from the motor driver 51 to the servomotor 41 (arrow f) or the current value notified from the motor driver 51 (arrow h). In the present embodiment, the thrust of the servomotor 41 is limited by the function of the thrust limiting unit 56 based on the above-mentioned thrust limiting value TL.

推力制限部56は、本体制御部14からの制御指令に含まれる制限荷重LFLを、相関データ記憶部である第1の記憶部57に記憶された推力−荷重相関データと参照して推力制限値TLを求め、第1の記憶部57に「推力制限値」57aとして記憶する。そして求められた推力制限値TLをモータドライバ51に設定する処理を実行する(矢印i)。 The thrust limiting unit 56 refers to the limiting load LFL included in the control command from the main body control unit 14 as the thrust-load correlation data stored in the first storage unit 57, which is the correlation data storage unit, and refers to the thrust limiting value. The TL is obtained and stored in the first storage unit 57 as the "thrust limit value" 57a. Then, the process of setting the obtained thrust limit value TL in the motor driver 51 is executed (arrow i).

すなわち、部品保持部31が下降して、予め設定されて第2の記憶部58に「推力制限高さ」58cとして記憶されている推力制限高さTLh(図13参照)に到達したら、第1の記憶部57に「推力制限値」57aとして記憶されている推力制限値TLをモータドライバ51に設定する。なお部品保持部31が上昇して推力制限高さTLhよりも高い位置まで移動したら、モータドライバ51における推力制限値TLの設定を解除する。 That is, when the component holding unit 31 descends and reaches the thrust limiting height TLh (see FIG. 13) that is preset and stored as the "thrust limiting height" 58c in the second storage unit 58, the first The thrust limit value TL stored as the "thrust limit value" 57a in the storage unit 57 is set in the motor driver 51. When the component holding portion 31 rises and moves to a position higher than the thrust limit height TLh, the setting of the thrust limit value TL in the motor driver 51 is released.

この構成において、推力制限部56およびモータドライバ51は、推力−荷重相関データと本体制御部14からの制御指令に含まれる制限荷重LFLの情報に基づいて、サーボモータ41の推力を制限する推力制限値TLを設定し、部品保持部31を搬送用パレット3に保持された基板4に向かって下降させる際に、サーボモータ41の推力を推力制限値TL以下に制限する推力制限部を構成する。ここで推力制限値TLは、サーボモータ41を推力制限値TLと同じ推力で駆動させたときに部品保持部31から部品に作用する荷重が、弾性体である付勢部材33が部品保持部31を付勢する付勢力FPよりも小さくなる範囲で設定されている。 In this configuration, the thrust limiting unit 56 and the motor driver 51 limit the thrust of the servomotor 41 based on the thrust-load correlation data and the information of the limiting load LFL included in the control command from the main body control unit 14. When the value TL is set and the component holding unit 31 is lowered toward the substrate 4 held by the transport pallet 3, the thrust limiting unit that limits the thrust of the servomotor 41 to the thrust limiting value TL or less is configured. Here, the thrust limit value TL is such that when the servomotor 41 is driven with the same thrust as the thrust limit value TL, the load acting on the component from the component holding portion 31 is applied to the component holding portion 31 by the urging member 33 which is an elastic body. It is set in a range smaller than the urging force FP that urges.

そして上述構成の推力制限部は、サーボモータ41を駆動させたときに部品保持部31から部品に作用する荷重LFが、付勢部材33が部品保持部31を付勢する付勢力FPよりも小さくなる範囲でサーボモータ41の推力を制限する推力制限値TLを設定し、サーボモータ41の推力をこの推力制限値TL以下に制限する。具体的にはモータドライバ51によるサーボモータ41の駆動において、推力が推力制限値TL以下となるように、サーボモータ41へ供給する電流を制限する。 In the thrust limiting unit having the above configuration, the load LF acting on the component from the component holding unit 31 when the servomotor 41 is driven is smaller than the urging force FP in which the urging member 33 urges the component holding unit 31. A thrust limit value TL that limits the thrust of the servomotor 41 is set within the above range, and the thrust of the servomotor 41 is limited to the thrust limit value TL or less. Specifically, when the servomotor 41 is driven by the motor driver 51, the current supplied to the servomotor 41 is limited so that the thrust is equal to or less than the thrust limit value TL.

位置検出部53は、サーボモータ41のエンコーダ44からのエンコーダパルスをカウントする。このカウント値は部品保持部31の高さ方向の位置を示す位置情報となる。すなわち、位置検出部53は、サーボモータ41からの位置信号に基づいて部品保持部31の高さ方向の位置を検出する高さ位置計測機能を有する。後述する装着位置高さ計測は、この位置検出部53の高さ位置計測機能を用いて行われる。 The position detection unit 53 counts the encoder pulse from the encoder 44 of the servomotor 41. This count value becomes position information indicating the position of the component holding portion 31 in the height direction. That is, the position detection unit 53 has a height position measurement function that detects the position of the component holding unit 31 in the height direction based on the position signal from the servomotor 41. The mounting position height measurement described later is performed by using the height position measurement function of the position detection unit 53.

着地検出部54は、部品保持部31に保持された部品が搬送用パレット3に保持された基板4に着地したことを検出する。この着地検出は、以下に示す2つの方法のいずれかによって行われる。まず1つの方法として、推力制限値TLが設定されて上述の推力制限部による推力Tの制限中に、サーボモータ41の推力Tが設定された推力制限値TLに到達したことを推力検出部52が検出したならば、部品が基板4に着地したことを検出する。なおこの方法の代替方法として、サーボモータ41のエンコーダ44から出力されるエンコーダパルスが停滞していることを以て、部品が基板4に着地したことを検出するようにしてもよい。 The landing detection unit 54 detects that the parts held by the parts holding unit 31 have landed on the substrate 4 held by the transport pallet 3. This landing detection is performed by one of the following two methods. First, as one method, the thrust detection unit 52 determines that the thrust limit value TL of the servomotor 41 has reached the set thrust limit value TL while the thrust limit value TL is set and the thrust T is limited by the above-mentioned thrust limit unit. If is detected, it is detected that the component has landed on the substrate 4. As an alternative method of this method, it may be detected that the component has landed on the substrate 4 by the fact that the encoder pulse output from the encoder 44 of the servomotor 41 is stagnant.

タイマー55は、着地検出部54が着地を検出してからの経過時間を計測する機能を有する。そして計測された経過時間が、予め適正な静定時間として設定され第2の記憶部58に記憶された「目標時間」58eに到達したら、部品保持部31の上昇を開始するようにしている。本実施の形態においては、制御部15の搭載ヘッド制御部13は、第2の記憶部58の「標準動作パターン」58dに記憶された動作パターンで定めた上昇開始タイミングの前に経過時間が「目標時間」58eに到達したら、サーボモータ41を制御して部品保持部31を上昇させるようにしている。 The timer 55 has a function of measuring the elapsed time after the landing detection unit 54 detects the landing. Then, when the measured elapsed time reaches the "target time" 58e stored in the second storage unit 58, which is set in advance as an appropriate statically indeterminate time, the component holding unit 31 starts to rise. In the present embodiment, the mounting head control unit 13 of the control unit 15 has an elapsed time before the ascending start timing defined by the operation pattern stored in the “standard operation pattern” 58d of the second storage unit 58. When the target time "58e" is reached, the servomotor 41 is controlled to raise the component holding portion 31.

第1の記憶部57は相関データ記憶部であり、サーボモータ41の推力Tと部品保持部31の先端に発生する荷重LFとの関係を示す相関データ(推力−荷重相関データ)を、複数のサーボモータ別に記憶する。なお第1の記憶部57は不揮発性の記憶部であり、搭載ヘッド11をXYテーブル10から取り外した状態においても記憶内容を保持することができるようになっている。 The first storage unit 57 is a correlation data storage unit, and provides a plurality of correlation data (thrust-load correlation data) showing the relationship between the thrust T of the servomotor 41 and the load LF generated at the tip of the component holding unit 31. Store by servo motor. The first storage unit 57 is a non-volatile storage unit, and can retain the stored contents even when the mounting head 11 is removed from the XY table 10.

図12を参照して、上述の推力−荷重相関データの内容を説明する。図12は、サーボモータ41の推力Tを横軸とし、部品保持部31の先端に発生する荷重LFを縦軸としたグラフである。図11に示す構成のノズルユニット30においては、推力Tと荷重LFとは、実用的に対象となる区間ではリニアな関係にあり、図12のグラフにおいて、推力Tと荷重LFとは特性直線[L]によって表される関係にある。 The contents of the above-mentioned thrust-load correlation data will be described with reference to FIG. FIG. 12 is a graph in which the thrust T of the servomotor 41 is on the horizontal axis and the load LF generated at the tip of the component holding portion 31 is on the vertical axis. In the nozzle unit 30 having the configuration shown in FIG. 11, the thrust T and the load LF have a linear relationship in a practically target section, and in the graph of FIG. 12, the thrust T and the load LF have a characteristic straight line [ There is a relationship represented by [L].

この特性直線[L]は、以下のようにして取得される。まず大きさが相異なる2つの推力A、推力Bにてサーボモータ41を駆動したときに部品保持部31の先端に発生する荷重A、荷重Bを、図9に示す荷重検出部45によって計測する。そして図12において、(推力A、荷重A)、(推力B、荷重B)によって規定される2つのデータ点(PA)、(PB)を結ぶ直線を特性直線[L]とする。 This characteristic straight line [L] is acquired as follows. First, the load A and the load B generated at the tip of the component holding unit 31 when the servomotor 41 is driven by two thrusts A and B having different sizes are measured by the load detecting unit 45 shown in FIG. .. Then, in FIG. 12, the straight line connecting the two data points (PA) and (PB) defined by (thrust A, load A) and (thrust B, load B) is defined as the characteristic straight line [L].

そして部品搭載動作の実行時において、本体制御部14から送信される制御指令にて制限荷重LFLが指定されると、特性直線[L]上においてこの制限荷重LFLに対応する推力を推力制限値TLとして求める。すなわち部品Pを搬送用パレット3に保持された基板4に搭載する際の部品保持部31が部品Pに加える制限荷重LFLと、図12に示す推力−荷重相関データを使用してサーボモータ41が発生する推力Tを制限するための推力制限値TLを算出する。求められた推力制限値TLは、相関データ記憶部である第1の記憶部57に「推力制限値」57aとして複数のサーボモータ別に記憶される。 When the limit load LFL is specified by the control command transmitted from the main body control unit 14 at the time of executing the component mounting operation, the thrust corresponding to this limit load LFL is set to the thrust limit value TL on the characteristic straight line [L]. Ask as. That is, the servomotor 41 uses the thrust-load correlation data shown in FIG. 12 and the limit load LFL applied to the component P by the component holding unit 31 when the component P is mounted on the substrate 4 held on the transport pallet 3. The thrust limit value TL for limiting the generated thrust T is calculated. The obtained thrust limit value TL is stored in the first storage unit 57, which is a correlation data storage unit, as a "thrust limit value" 57a for each of a plurality of servomotors.

部品搭載動作におけるサーボモータ41の駆動では、このようにして記憶された推力制限値TLが所定のタイミングにてモータドライバ51に設定され、サーボモータ41の推力が推力制限値TL以下となるように推力が制御される。このような構成により、複数の部品保持部31とサーボモータ41を備えた部品搭載装置1Mにおいて、サーボモータ41の特性のばらつきに起因する荷重のばらつきを少なくすることができる。 In driving the servomotor 41 in the component mounting operation, the thrust limit value TL stored in this way is set in the motor driver 51 at a predetermined timing so that the thrust of the servomotor 41 becomes equal to or less than the thrust limit value TL. Thrust is controlled. With such a configuration, in the component mounting device 1M provided with the plurality of component holding portions 31 and the servomotor 41, it is possible to reduce the variation in load due to the variation in the characteristics of the servomotor 41.

上述の推力−荷重相関データは、第1の記憶部57において「推力制限値」57a、「推力A」57b、「荷重A」57c、「推力B」57d、「荷重B」57eを示すデジタル値の形態で記憶される。なお、荷重A、荷重Bは、弾性体である付勢部材33が部品保持部31を付勢する付勢力FPよりも小さくなるように設定される。これにより、荷重検出部45を用いた荷重測定において、付勢部材33を押し縮めること無く荷重LFを測定することができ、推力−荷重の相関を正しく求めることができる。 The above-mentioned thrust-load correlation data is a digital value indicating "thrust limit value" 57a, "thrust A" 57b, "load A" 57c, "thrust B" 57d, and "load B" 57e in the first storage unit 57. Is memorized in the form of. The load A and the load B are set so that the urging member 33, which is an elastic body, is smaller than the urging force FP that urges the component holding portion 31. As a result, in the load measurement using the load detection unit 45, the load LF can be measured without compressing the urging member 33, and the thrust-load correlation can be correctly obtained.

第2の記憶部58は、装着動作における昇降動作制御用の高さパラメータや動作パターンなど、本体制御部14から搭載ヘッド制御部13に送信された作業実行用データを記憶する。これらの作業用実行データは、基板種毎の装着データに基づいて、本体制御部14の装着作業実行部60によって作成され、搭載ヘッド制御部13に送信される。 The second storage unit 58 stores work execution data transmitted from the main body control unit 14 to the mounting head control unit 13, such as height parameters and operation patterns for elevating operation control in the mounting operation. These work execution data are created by the mounting work execution unit 60 of the main body control unit 14 based on the mounting data for each board type, and are transmitted to the mounting head control unit 13.

次にこれらの作業用実行データに含まれる昇降動作制御用の高さパラメータについて、図13を参照して説明する。図13は、部品Pを保持した部品保持部31が装着されたシャフト35(図6参照)をサーボモータ41によって下降させる際の制御用の高さパラメータの位置関係を模式的に図示している。図13において、上方に描かれた水平線は、部品保持部31の動作開始前の位置である待機高さZ0を示している。 Next, the height parameters for elevating motion control included in these work execution data will be described with reference to FIG. FIG. 13 schematically illustrates the positional relationship of the height parameters for control when the shaft 35 (see FIG. 6) on which the component holding portion 31 holding the component P is mounted is lowered by the servomotor 41. .. In FIG. 13, the horizontal line drawn above indicates the standby height Z0, which is the position of the component holding portion 31 before the start of operation.

左側の下方に示す第1例EX1では、理想状態における部品Pの装着状態を示している。すなわちここでは、高さが正しく保持された基板保持部に変形のない理想状態の基板4をセットし、この基板4に対して部品Pを保持した部品保持部31を下降させた状態を示している。この状態での基板4の上面は、理想状態における装着高さZ1を示している。待機高さZ0から装着高さZ1に至る途中には、推力制限値TLを適用してサーボモータ41の推力を制限する推力制限を開始する高さである推力制限高さTLhが設定されており、予め搭載ヘッド制御部13の第2の記憶部58に記憶されている。 In the first example EX1 shown at the lower left side, the mounted state of the component P in the ideal state is shown. That is, here, a state is shown in which the substrate 4 in an ideal state without deformation is set in the substrate holding portion whose height is correctly held, and the component holding portion 31 holding the component P is lowered with respect to the substrate 4. There is. The upper surface of the substrate 4 in this state shows the mounting height Z1 in the ideal state. On the way from the standby height Z0 to the mounting height Z1, the thrust limit height TLh, which is the height at which the thrust limit value TL is applied to start the thrust limit that limits the thrust of the servomotor 41, is set. , It is stored in advance in the second storage unit 58 of the mounting head control unit 13.

また装着高さZ1から装着厚み寸法d(ここでは部品Pの厚さ、ランド4cの厚さ、接合用半田Sの厚さを加えた厚み寸法)だけ上方の高さは、部品保持部31が保持した部品Pが接合用半田に接触するときの部品保持部31の高さを示す着地高さZCである。そしてこの着地高さZCから所定の減速高さオフセットOFDだけ上方の位置が、部品保持部31の下降速度を高速から低速に減速する減速位置を規定する減速高さDhとなる。また着地高さZCから空振り防止を考慮した目標高さオフセットOFTだけ下方の位置が、部品保持部31を下降させる目標となる目標高さThとなる。本実施の形態においては、減速高さDhは固定位置に設定されており、搬送用パレット3にセットされた基板4の状態に拘わらず、常に同一の高さ位置にて減速を開始するようにしている。 Further, the height above the mounting height Z1 by the mounting thickness dimension d (here, the thickness of the component P, the thickness of the land 4c, and the thickness of the joining solder S) is set by the component holding portion 31. The landing height ZC indicates the height of the component holding portion 31 when the held component P comes into contact with the joining solder. The position above the landing height ZC by a predetermined deceleration height offset OFD is the deceleration height Dh that defines the deceleration position for decelerating the descending speed of the component holding portion 31 from high speed to low speed. Further, the position below the landing height ZC by the target height offset OFT in consideration of prevention of missed swing is the target height Th which is the target for lowering the component holding portion 31. In the present embodiment, the deceleration height Dh is set to a fixed position, and deceleration is always started at the same height position regardless of the state of the substrate 4 set on the transport pallet 3. ing.

第1例EX1の右側に示す第2例EX2、第3例EX3は、基板4の高さ位置が理想状態における基板4から、それぞれ上方へのばらつきΔ1、下方へのばらつきΔ2だけ変位した状態での部品Pの装着状態を示している。第2例EX2における基板4の上面は、この状態での装着高さZ11を示している。そして装着高さZ11から前述の装着厚み寸法dだけ上方の高さが着地高さZC1となり、着地高さZC1から上方の固定位置に減速高さDh1が設定される。 In the second example EX2 and the third example EX3 shown on the right side of the first example EX1, the height position of the substrate 4 is displaced from the substrate 4 in the ideal state by the upward variation Δ1 and the downward variation Δ2, respectively. Shows the mounting state of the component P of. The upper surface of the substrate 4 in the second example EX2 shows the mounting height Z11 in this state. Then, the height above the mounting height Z11 by the above-mentioned mounting thickness dimension d becomes the landing height ZC1, and the deceleration height Dh1 is set at a fixed position above the landing height ZC1.

第3例EX3における基板4の上面はこの状態での装着高さZ12を示している。そしてこの装着高さZ12から装着厚み寸法dだけ上方の高さは、着地高さZC2であり、この着地高さZC1から目標高さオフセットOFT1だけ下方の位置が、部品保持部31を下降させる目標となる目標高さTh1となる。ここでは、想定される装着位置の高さが最も低い場合でも空振りが生じないような高さに設定される。なお、第2例EX2については、目標高さの図示を省略しており、第3例EX3については減速高さの図示を省略している。 The upper surface of the substrate 4 in the third example EX3 shows the mounting height Z12 in this state. The height above the mounting height Z12 by the mounting thickness dimension d is the landing height ZC2, and the position below the landing height ZC1 by the target height offset OFT1 is the target for lowering the component holding portion 31. The target height is Th1. Here, the height is set so that missed swing does not occur even when the height of the assumed mounting position is the lowest. The target height is not shown for the second example EX2, and the deceleration height is not shown for the third example EX3.

これらの高さパラメータは第2の記憶部58に記憶される。ここで目標高さTh1は搭載ヘッド11におけるノズルユニット30の動作毎に設定され、部品搭載動作において部品保持部31を下降させる際の目標とする下降高さである「目標高さ」58aとして、その都度更新して記憶される。また減速高さDh1、推力制限高さTLhは「推力制限高さ」58cとして記憶される。 These height parameters are stored in the second storage unit 58. Here, the target height Th1 is set for each operation of the nozzle unit 30 in the mounting head 11, and is set as a “target height” 58a, which is a target lowering height when lowering the component holding portion 31 in the component mounting operation. It is updated and memorized each time. Further, the deceleration height Dh1 and the thrust limit height TLh are stored as the "thrust limit height" 58c.

「標準動作パターン」58dは、搬送用パレット3に保持された基板4を対象として搭載ヘッド11による部品搭載における装着動作の動作パターンである。この動作パターンには、部品保持部31を下降させる速度を高速から低速に減速する減速高さと部品保持部31の目標とする下降高さである目標高さとが含まれる。 The “standard operation pattern” 58d is an operation pattern of a mounting operation in mounting components by the mounting head 11 for the substrate 4 held on the transport pallet 3. This operation pattern includes a deceleration height for decelerating the speed at which the component holding unit 31 is lowered from a high speed to a low speed, and a target height which is a target lowering height of the component holding unit 31.

「目標時間」58eは、部品Pを保持した部品保持部31が下降して、部品Pを搬送用パレット3に保持された基板4に押圧したままの静定状態を維持する静定時間である。本実施の形態では、着地検出部54が着地を検出してからの経過時間を着地検出部54で計測した経過時間が「目標時間」58eとして記憶された目標時間Tsに到達すると、部品保持部31を部品Pから離脱して上昇させるようにしている。 The “target time” 58e is a statically indeterminate time in which the component holding portion 31 holding the component P is lowered to maintain the statically indeterminate state while pressing the component P against the substrate 4 held on the transport pallet 3. .. In the present embodiment, when the elapsed time measured by the landing detection unit 54 after the landing detection unit 54 detects the landing reaches the target time Ts stored as the “target time” 58e, the component holding unit The 31 is separated from the component P and raised.

本体制御部14には、XYテーブル10、基板搬送部2、部品供給部5、タッチパネル68、基板認識カメラ16、部品認識カメラ12、報知部69、荷重検出部45が接続されている。本体制御部14は、内部処理機能部としての、装着作業実行部60、装着位置高さ計測部61、装着データ記憶部62、部品情報記憶部63、装着高さ情報記憶部64、二次元コード認識部65、推力−荷重相関データ取得部66を備えている。 The XY table 10, the board transport unit 2, the component supply unit 5, the touch panel 68, the board recognition camera 16, the component recognition camera 12, the notification unit 69, and the load detection unit 45 are connected to the main body control unit 14. The main body control unit 14 has a mounting work execution unit 60, a mounting position height measuring unit 61, a mounting data storage unit 62, a component information storage unit 63, a mounting height information storage unit 64, and a two-dimensional code as internal processing function units. It includes a recognition unit 65 and a thrust-load correlation data acquisition unit 66.

装着作業実行部60は、装着データ記憶部62に記憶された装着データに基づき、XYテーブル10、基板搬送部2、部品供給部5、搭載ヘッド11、部品認識カメラ12、基板認識カメラ16を制御する。これにより、搬送用パレット3に保持された基板4に部品Pを搭載するための一連の作業(図15に示すフロー参照)が実行される。タッチパネル68は入力操作および入力操作時の操作画面を表示する操作入力部であり、上述の一連の作業実行に際して必要とされる入力操作を行う。報知部69は、所定の状況で作動するシグナルタワーや表示画面などの報知手段であり、搭載ヘッド11による部品搭載動作において不正常な状態が検出された場合にその旨を報知する。 The mounting work execution unit 60 controls the XY table 10, the board transfer unit 2, the component supply unit 5, the mounting head 11, the component recognition camera 12, and the board recognition camera 16 based on the mounting data stored in the mounting data storage unit 62. do. As a result, a series of operations for mounting the component P on the substrate 4 held on the transport pallet 3 (see the flow shown in FIG. 15) is executed. The touch panel 68 is an operation input unit that displays an input operation and an operation screen at the time of the input operation, and performs an input operation required for executing the above-mentioned series of operations. The notification unit 69 is a notification means such as a signal tower or a display screen that operates in a predetermined situation, and notifies that fact when an abnormal state is detected in the component mounting operation by the mounting head 11.

荷重検出部45は、図11に示す荷重LFを検出する機能を有する検出ユニットである。図10に示すように、荷重検出部45は上面にロードセルなどの荷重検出器45aを備えており、荷重検出器45aに部品保持部31の下端部を当接させて押圧することにより、荷重LFを計測することができる。荷重検出部45は、コネクタ装置45bを介して本体制御部14に取り外し自在に接続できるようになっている。荷重計測が必要とされるときには、図10に示すように、搭載ヘッド11の基台1a上に配置される。 The load detection unit 45 is a detection unit having a function of detecting the load LF shown in FIG. As shown in FIG. 10, the load detector 45 is provided with a load detector 45a such as a load cell on the upper surface, and the load LF is pressed by abutting the lower end portion of the component holding portion 31 against the load detector 45a. Can be measured. The load detection unit 45 can be detachably connected to the main body control unit 14 via the connector device 45b. When load measurement is required, it is arranged on the base 1a of the mounting head 11 as shown in FIG.

装着位置高さ計測部61は、部品が搬送用パレット3に保持された基板4の装着位置に着地してから部品保持部31が上昇を開始する直前までの所定のタイミングで、位置検出部53が検出した部品保持部31の高さ方向の位置と、部品保持部31によって装着された部品Pの寸法とに基づいて、装着位置の装着高さを算出する。 The mounting position height measuring unit 61 reaches the position detecting unit 53 at a predetermined timing from the time when the component lands on the mounting position of the substrate 4 held on the transport pallet 3 to just before the component holding unit 31 starts to rise. Calculates the mounting height of the mounting position based on the position in the height direction of the component holding portion 31 detected by the manufacturer and the dimensions of the component P mounted by the component holding portion 31.

装着データ記憶部62は、当該部品搭載装置1Mによる搭載作業対象となる基板4における部品Pの装着位置座標などの装着データを記憶する。部品情報記憶部63は、基板4に搭載される部品Pの型番や寸法などを示す部品情報を記憶する。装着高さ情報記憶部64は、装着位置高さ計測部61で計測した複数の装着位置の装着高さを記憶する。 The mounting data storage unit 62 stores mounting data such as mounting position coordinates of the component P on the board 4 to be mounted by the component mounting device 1M. The component information storage unit 63 stores component information indicating the model number, dimensions, and the like of the component P mounted on the substrate 4. The mounting height information storage unit 64 stores the mounting heights of a plurality of mounting positions measured by the mounting position height measuring unit 61.

二次元コード認識部65は、搬送用パレット3に形成された二次元コード3aを基板認識カメラ16によって撮像した撮像結果を認識処理することにより、当該搬送用パレット3に付与された識別情報を取得する処理を行う。したがって基板認識カメラ16および二次元コード認識部65は、搬送用パレット3に付与された識別情報を取得する搬送用パレット識別情報取得部を構成する。 The two-dimensional code recognition unit 65 acquires the identification information given to the transport pallet 3 by recognizing the imaging result of the two-dimensional code 3a formed on the transport pallet 3 captured by the substrate recognition camera 16. Perform the processing to be performed. Therefore, the substrate recognition camera 16 and the two-dimensional code recognition unit 65 form a transport pallet identification information acquisition unit that acquires the identification information given to the transport pallet 3.

推力−荷重相関データ取得部66は、図12に示す推力−荷重相関データを取得するための処理を行う。すなわち図10に示すように、搭載ヘッド11を基台1aの所定位置に準備された荷重検出部45に対してアクセスさせ、測定対象のノズルユニット30のサーボモータ41を規定の推力で駆動して部品保持部31を荷重検出部45の荷重検出器45aに押圧し、このときの推力に対応する荷重LFを計測する。計測結果は推力−荷重相関データとして搭載ヘッド制御部13に送信されて、相関データ記憶部としての第1の記憶部57に記憶される。 The thrust-load correlation data acquisition unit 66 performs a process for acquiring the thrust-load correlation data shown in FIG. That is, as shown in FIG. 10, the mounting head 11 is made to access the load detection unit 45 prepared at a predetermined position on the base 1a, and the servomotor 41 of the nozzle unit 30 to be measured is driven by a specified thrust. The component holding unit 31 is pressed against the load detector 45a of the load detecting unit 45, and the load LF corresponding to the thrust at this time is measured. The measurement result is transmitted to the mounting head control unit 13 as thrust-load correlation data, and is stored in the first storage unit 57 as the correlation data storage unit.

このように、本実施の形態においては搭載ヘッド制御部13に、相関データ記憶部としての第1の記憶部57と前述の推力制限部とを備えた構成となっている。ここで第1の記憶部57は、サーボモータ41の推力と部品保持部31の先端に発生する荷重LFとの関係を示す相関データを複数のサーボモータ別に記憶する。 As described above, in the present embodiment, the mounting head control unit 13 is provided with the first storage unit 57 as the correlation data storage unit and the thrust limiting unit described above. Here, the first storage unit 57 stores correlation data indicating the relationship between the thrust of the servomotor 41 and the load LF generated at the tip of the component holding unit 31 for each of a plurality of servomotors.

そして推力制限部は、第1の記憶部57に記憶された相関データと本体制御部14からの指令に含まれる荷重の情報に基づいてサーボモータ41が発生する推力を制限する推力制限値TLを設定し、部品保持部31を搬送用パレット3に保持された基板4に向かって下降させる際にサーボモータ41の推力を推力制限値TL以下に制限する機能を有している。このような構成の搭載ヘッド制御部13を有することにより、複数の部品保持部31毎にサーボモータ41を備えた構成において、装着荷重を高精度に安定して制御することが可能となっている。 Then, the thrust limiting unit sets a thrust limiting value TL that limits the thrust generated by the servomotor 41 based on the correlation data stored in the first storage unit 57 and the load information included in the command from the main body control unit 14. It has a function of limiting the thrust of the servomotor 41 to the thrust limit value TL or less when the component holding unit 31 is set and lowered toward the substrate 4 held by the transport pallet 3. By having the mounting head control unit 13 having such a configuration, it is possible to stably control the mounting load with high accuracy in a configuration in which the servomotor 41 is provided for each of the plurality of component holding units 31. ..

次に、管理部1Sの構成および機能を説明する。管理部1Sは、図9に示すように、搬送用パレット評価部70、画像生成部71、搬送用パレット情報記憶部72、ディスプレイ73および操作部74を備えており、通信ネットワーク75を介して本体制御部14に接続されている。 Next, the configuration and function of the management unit 1S will be described. As shown in FIG. 9, the management unit 1S includes a transport pallet evaluation unit 70, an image generation unit 71, a transport pallet information storage unit 72, a display 73, and an operation unit 74, and is a main body via a communication network 75. It is connected to the control unit 14.

搬送用パレット評価部70は、本体制御部14が備えた装着位置高さ計測部61で計測した複数の装着高さに基づいて、搬送用パレット3の変形状態を判断する評価処理を行う。ここでは、評価の対象となる搬送用パレット3は、前述の搬送用パレット識別情報取得部によって当該搬送用パレット3の識別情報が取得されている。そして取得した識別情報と当該搬送用パレット3にセットされた基板4について装着位置高さ計測部61で計測された複数の装着高さとを関連付けした一群の装着高さ情報は、装着高さ情報記憶部64に記憶されている。 The transport pallet evaluation unit 70 performs an evaluation process for determining the deformed state of the transport pallet 3 based on a plurality of mounting heights measured by the mounting position height measuring unit 61 provided in the main body control unit 14. Here, the transport pallet 3 to be evaluated has the identification information of the transport pallet 3 acquired by the above-mentioned transport pallet identification information acquisition unit. Then, a group of mounting height information in which the acquired identification information is associated with a plurality of mounting heights measured by the mounting position height measuring unit 61 for the substrate 4 set on the transport pallet 3 is stored in the mounting height information. It is stored in part 64.

搬送用パレット評価部70は、装着高さ情報記憶部64に記憶された一群の装着高さ情報を用いて、当該識別情報が付与された搬送用パレット3の変形状態を検出するようになっている。ここで、搬送用パレット3には複数の基板4がセットされており、装着高さ情報記憶部64に記憶される一群の装着高さ情報には、複数の基板4の複数の装着高さが含まれたデータ態様となっている。 The transport pallet evaluation unit 70 has come to detect a deformed state of the transport pallet 3 to which the identification information is given by using a group of mounting height information stored in the mounting height information storage unit 64. There is. Here, a plurality of boards 4 are set on the transport pallet 3, and a group of mounting height information stored in the mounting height information storage unit 64 includes a plurality of mounting heights of the plurality of boards 4. It is a included data aspect.

画像生成部71は装着位置高さ計測部61で計測した複数の装着高さに基づいて、搬送用パレット3の形状を模した画像を生成する。ここでは、例えば搬送用パレット3の上面の3次元形状を模式的に表示する画像などが必要に応じて生成される。搬送用パレット情報記憶部72は、当該部品搭載システム1において使用される搬送用パレット3の管理に関する情報を記憶する。これらの情報には、本体制御部14からアップロードされた情報、すなわち装着高さ情報記憶部64に記憶された一群の装着高さ情報が含まれる。 The image generation unit 71 generates an image imitating the shape of the transport pallet 3 based on a plurality of mounting heights measured by the mounting position height measuring unit 61. Here, for example, an image that schematically displays the three-dimensional shape of the upper surface of the transport pallet 3 is generated as needed. The transport pallet information storage unit 72 stores information related to management of the transport pallet 3 used in the component mounting system 1. These information include information uploaded from the main body control unit 14, that is, a group of mounting height information stored in the mounting height information storage unit 64.

ディスプレイ73は液晶パネルなどの表示装置であり、画像生成部71によって生成された画像や、操作入力時の案内画面などが表示される。操作部74は、キーボードやディスプレイ73に作り込まれたタッチパネルなどの操作入力装置であり、管理部1Sによる搬送用パレット3の評価や管理に関する指令の操作入力を行う。 The display 73 is a display device such as a liquid crystal panel, and displays an image generated by the image generation unit 71, a guidance screen at the time of operation input, and the like. The operation unit 74 is an operation input device such as a touch panel built into the keyboard or the display 73, and the management unit 1S performs operation input of commands related to evaluation and management of the transport pallet 3.

次に図15を参照して、上述構成の部品搭載装置1Mによって実行される部品装着処理について説明する。なお図15に示す処理の開始に先立って、作業対象の基板4がセットされた搬送用パレット3は基板搬送部2に搬入されて位置決め保持され、基板認識カメラ16による基板認識が実行された状態となっている。 Next, with reference to FIG. 15, the component mounting process executed by the component mounting device 1M having the above configuration will be described. Prior to the start of the process shown in FIG. 15, the transport pallet 3 on which the substrate 4 to be worked is set is carried into the substrate transport unit 2, positioned and held, and the substrate recognition by the substrate recognition camera 16 is executed. It has become.

部品装着処理が開始されると、まず搬送パレット識別情報の読み取りが行われる(ST1)。すなわち搬送用パレット3に形成された二次元コード3aを基板認識カメラ16によって撮像し、撮像結果を二次元コード認識部65によって認識する。次に搭載ヘッド11を部品供給部5に移動させ、部品保持部31を下降させて部品保持部31で装着対象の部品Pを保持する(ST2)。次いで部品Pを部品保持部31によって保持した搭載ヘッド11を部品認識カメラ12の上方へ移動させ、部品Pを部品認識カメラ12によって撮像して部品認識を行う(ST3)。 When the component mounting process is started, the transport pallet identification information is first read (ST1). That is, the two-dimensional code 3a formed on the transport pallet 3 is imaged by the substrate recognition camera 16, and the image pickup result is recognized by the two-dimensional code recognition unit 65. Next, the mounting head 11 is moved to the component supply unit 5, the component holding unit 31 is lowered, and the component holding unit 31 holds the component P to be mounted (ST2). Next, the mounting head 11 holding the component P by the component holding unit 31 is moved above the component recognition camera 12, and the component P is imaged by the component recognition camera 12 to perform component recognition (ST3).

次いで部品保持部31を装着位置へ移動させる(ST4)。すなわち本体制御部14の装着作業実行部60が、装着データ記憶部62に記憶された装着データに基づいてXYテーブル10を制御することにより、部品保持部31を装着作業のシーケンスによって指定される搬送用パレット3に保持された基板4の装着位置の上方に位置させる。 Next, the component holding portion 31 is moved to the mounting position (ST4). That is, the mounting work execution unit 60 of the main body control unit 14 controls the XY table 10 based on the mounting data stored in the mounting data storage unit 62, so that the component holding unit 31 is designated by the mounting operation sequence. It is positioned above the mounting position of the substrate 4 held by the pallet 3.

次いで、本体制御部14から部品搭載指令を搭載ヘッド制御部13に送信する(ST5)。すなわち、作業対象となる搭載ヘッド11における部品保持部31を特定する番号、目標高さTh1、減速高さDh1、制限荷重LFLなどの装着動作パラメータを含む制御指令を、搭載ヘッド制御部13に送信する。そしてこれらの装着動作パラメータは、当該搭載ヘッド11における装着動作の実行のために、第1の記憶部57、第2の記憶部58に記憶される。 Next, the main body control unit 14 transmits a component mounting command to the mounting head control unit 13 (ST5). That is, a control command including a number for specifying the component holding unit 31 in the mounting head 11 to be worked, a target height Th1, a deceleration height Dh1, a limiting load LFL, and other mounting operation parameters is transmitted to the mounting head control unit 13. do. Then, these mounting operation parameters are stored in the first storage unit 57 and the second storage unit 58 for executing the mounting operation in the mounting head 11.

この後、搭載ヘッド制御部13の制御処理機能によって搭載ヘッド11のノズルユニット30による部品装着動作が実行される。この部品装着動作においては、サーボモータ制御部50によってサーボモータ41を駆動し(ST6)、これにより部品Pを保持した部品保持部31を搬送用パレット3に保持された基板4の装着位置に対して昇降させる。そして基板4の装着位置に着地させて所定の静定時間が経過した後に部品保持部31を上昇させることにより、部品装着の動作が完了する(ST7)。 After that, the component mounting operation by the nozzle unit 30 of the mounting head 11 is executed by the control processing function of the mounting head control unit 13. In this component mounting operation, the servomotor 41 is driven by the servomotor control unit 50 (ST6), whereby the component holding unit 31 holding the component P is moved with respect to the mounting position of the substrate 4 held on the transport pallet 3. To raise and lower. Then, the component mounting operation is completed by landing on the mounting position of the substrate 4 and raising the component holding portion 31 after a predetermined static time has elapsed (ST7).

この動作完了に伴い、部品装着動作においてサーボモータ制御部50の推力検出部52が検出した推力検出結果、位置検出部53が検出した部品Pの装着時の部品保持部31の位置を、本体制御部14に送信する(ST8)。そして送信された部品保持部31の位置に基づき、装着高さの算出および記憶が行われる(ST9)。 With the completion of this operation, the thrust detection result detected by the thrust detection unit 52 of the servomotor control unit 50 in the component mounting operation, and the position of the component holding unit 31 at the time of mounting the component P detected by the position detection unit 53 are controlled by the main body. It is transmitted to the unit 14 (ST8). Then, the mounting height is calculated and stored based on the transmitted position of the component holding unit 31 (ST9).

すなわち、装着位置高さ計測部61により部品保持部31の高さ方向の位置と装着された部品の寸法とに基づいて装着高さを算出し、その結果を(ST1)にて取得された当該搬送用パレット3の識別情報と関連付けした一群の装着高さ情報を装着高さ情報記憶部64に記憶する。これにより、1つのノズルユニット30の部品保持部31を対象とする部品装着動作が終了し、次いで作業未完了の部品保持部31の有無を確認する(ST10)。 That is, the mounting position height measuring unit 61 calculates the mounting height based on the position of the component holding unit 31 in the height direction and the dimensions of the mounted component, and the result is obtained in (ST1). A group of mounting height information associated with the identification information of the transport pallet 3 is stored in the mounting height information storage unit 64. As a result, the component mounting operation targeting the component holding unit 31 of one nozzle unit 30 is completed, and then the presence or absence of the component holding unit 31 whose work has not been completed is confirmed (ST10).

ここで作業未完了の部品保持部31、すなわち部品を装着しないまま保持した状態の部品保持部31が有る場合には、(ST4)に戻って以降の処理を反復実行する。これに対し、作業未完了の部品保持部31が無い場合には、全部品の装着完了を確認する(ST11)。ここで装着未完了の場合には、(ST2)に戻って以降の処理を反復実行する。 Here, if there is a component holding unit 31 whose work has not been completed, that is, a component holding unit 31 in a state where the component is held without being mounted, the process returns to (ST4) and the subsequent processes are repeatedly executed. On the other hand, when there is no component holding unit 31 whose work has not been completed, it is confirmed that all the components have been mounted (ST11). If the mounting is not completed, the process returns to (ST2) and the subsequent processes are repeatedly executed.

そして(ST11)にて全部品の装着完了を確認したならば、装着高さ情報記憶部64に記憶された搬送パレット識別情報と装着高さ計測結果を、管理部1Sにアップロードする(ST12)。管理部1Sにアップロードされた搬送パレット識別情報と装着高さ計測結果とは、搬送用パレット情報として搬送用パレット情報記憶部72に記憶される。これにより、部品搭載装置1Mによる部品装着処理を終了する。その後、記憶された搬送用パレット情報に基づき、搬送用パレット評価部70による搬送用パレットの評価や、画像生成部71による搬送用パレットの形状を模した画像の生成が可能となる。 Then, when it is confirmed in (ST11) that the mounting of all the parts is completed, the transport pallet identification information stored in the mounting height information storage unit 64 and the mounting height measurement result are uploaded to the management unit 1S (ST12). The transport pallet identification information and the mounting height measurement result uploaded to the management unit 1S are stored in the transport pallet information storage unit 72 as transport pallet information. As a result, the component mounting process by the component mounting device 1M is completed. After that, based on the stored transport pallet information, the transport pallet evaluation unit 70 can evaluate the transport pallet, and the image generation unit 71 can generate an image imitating the shape of the transport pallet.

次に上述構成の部品搭載装置1Mによって実行される装着動作について、図14を参照して説明する。この装着動作は、搭載ヘッド制御部13、本体制御部14を含む制御部15によって図9に示す各部を制御することにより実行される。図14は部品の装着動作における部品保持部31の昇降動作を模式的に示しており、縦軸は部品保持部31の昇降変位に、横軸は時間の経過にそれぞれ対応している。また図14において太破線で示すTR1は、予め設定された動作パターンにおいて部品保持部31の下端部が移動する設定軌跡TR1を示している。また太実線で示すTR2は、図14にて示す実際の装着動作において部品保持部31の下端部が移動する実軌跡TR2を示している。 Next, the mounting operation executed by the component mounting device 1M having the above configuration will be described with reference to FIG. This mounting operation is executed by controlling each unit shown in FIG. 9 by the control unit 15 including the mounting head control unit 13 and the main body control unit 14. FIG. 14 schematically shows the ascending / descending operation of the component holding portion 31 in the component mounting operation, the vertical axis corresponds to the elevating displacement of the component holding portion 31, and the horizontal axis corresponds to the passage of time. Further, TR1 shown by a thick broken line in FIG. 14 indicates a set locus TR1 in which the lower end portion of the component holding portion 31 moves in a preset operation pattern. Further, TR2 shown by a thick solid line shows a real locus TR2 in which the lower end portion of the component holding portion 31 moves in the actual mounting operation shown in FIG.

なお図14において、タイミングtaは動作開始のタイミングであり、部品保持部31を搬送用パレット3に保持された基板4の装着位置の上方へ移動させて待機高さZ0にて待機させた状態を示している。推力制限高さTLhは、部品保持部31の下降時においてサーボモータ41の推力を推力制限値TL以下に制限する推力制限の開始高さを示している。着地高さZCは、保持した部品Pの端子が搬送用パレット3に保持された基板4に供給された半田部に接触して部品Pが着地する際の部品保持部31の高さを示している。また目標高さTh1は、部品保持部31の下降動作の目標となる高さであり、搬送用パレット3に保持された基板4の装着高さのばらつきを考慮して、実際に部品Pが着地する高さよりも低く設定されている。 In FIG. 14, the timing ta is the timing of starting the operation, and the state in which the component holding portion 31 is moved above the mounting position of the substrate 4 held by the transport pallet 3 and is made to stand by at the standby height Z0. Shown. The thrust limit height TLh indicates the start height of the thrust limit that limits the thrust of the servomotor 41 to the thrust limit value TL or less when the component holding portion 31 is lowered. The landing height ZC indicates the height of the component holding portion 31 when the terminal of the held component P comes into contact with the solder portion supplied to the substrate 4 held on the transport pallet 3 and the component P lands. There is. Further, the target height Th1 is a height that is a target for the lowering operation of the component holding portion 31, and the component P actually lands in consideration of the variation in the mounting height of the substrate 4 held on the transport pallet 3. It is set lower than the height to be used.

まず図14(a)を参照して、この装着動作において作業動作時間を短縮するために部品保持部31の下降を高速のみで行う高速装着モードM−1を説明する。部品Pを保持した部品保持部31は搬送用パレット3に保持された基板4の装着位置の上方に移動して、タイミングtaにおいて、待機高さZ0に位置して待機状態にある。次いでサーボモータ制御部50が備えた推力制限部56の機能により、サーボモータ41の推力を制限する推力制限値TLを設定する。ここでは、サーボモータ41を推力制限値TLと同じ推力で駆動させたときに部品保持部31から部品Pに作用する荷重が、弾性体である付勢部材33が部品保持部31を付勢する付勢力FPよりも小さくなる範囲で推力制限値TLを設定する。 First, with reference to FIG. 14A, a high-speed mounting mode M-1 in which the component holding portion 31 is lowered only at high speed in order to shorten the working operation time in this mounting operation will be described. The component holding unit 31 that holds the component P moves above the mounting position of the substrate 4 held on the transport pallet 3, and is located at the standby height Z0 at the timing ta and is in the standby state. Next, the thrust limit value TL for limiting the thrust of the servomotor 41 is set by the function of the thrust limiting unit 56 provided in the servomotor control unit 50. Here, when the servomotor 41 is driven with the same thrust as the thrust limit value TL, the load acting on the component P from the component holding portion 31 causes the elastic body urging member 33 to urge the component holding portion 31. The thrust limit value TL is set within a range smaller than the urging force FP.

次いで予め設定された動作パターンに基づいてサーボモータ41を制御することにより、部品保持部31を搬送用パレット3に保持された基板4の装着位置へ向かって、目標高さTh1を目標として下降させる。この下降の途中において、部品保持部31の高さが推力制限高さTLhに到達したタイミングにて、部品Pが装着位置に着地する前にサーボモータ41の推力を推力制限値TL以下に制限する。 Next, by controlling the servomotor 41 based on a preset operation pattern, the component holding portion 31 is lowered toward the mounting position of the substrate 4 held by the transport pallet 3 with the target height Th1 as the target. .. In the middle of this descent, when the height of the component holding portion 31 reaches the thrust limit height TLh, the thrust of the servomotor 41 is limited to the thrust limit value TL or less before the component P lands at the mounting position. ..

この後、部品保持部31がさらに下降すると部品保持部31が着地高さZCに到達し、保持した部品Pの端子が搬送用パレット3に保持された基板4に供給された半田部に接触して部品Pが着地した状態となる。この着地時の衝撃は付勢部材33によって吸収され、衝撃吸収後には付勢部材33は着地前の通常状態の長さに戻る。この後、部品保持部31は動作パターンにおいて予め設定された押圧開始タイミングから、部品Pの着地状態を静定させるための目標時間Tsの間押圧状態を維持する。そして目標時間Tsがタイムアップする上昇開始タイミングにて部品保持部31の上昇が開始され、部品保持部31が待機高さZ0まで上昇して装着動作が終了する。 After that, when the component holding portion 31 is further lowered, the component holding portion 31 reaches the landing height ZC, and the terminals of the held component P come into contact with the solder portion supplied to the substrate 4 held on the transport pallet 3. The part P is in a landed state. The impact at the time of landing is absorbed by the urging member 33, and after the impact absorption, the urging member 33 returns to the normal length before landing. After that, the component holding unit 31 maintains the pressing state for a target time Ts for statically indeterminating the landing state of the component P from the pressing start timing preset in the operation pattern. Then, ascending of the component holding portion 31 is started at the ascending start timing when the target time Ts is timed up, the component holding portion 31 is ascended to the standby height Z0, and the mounting operation is completed.

上述の装着動作での押圧状態において、部品Pが装着位置に着地する前に付勢力FPよりも小さくなる範囲で推力制限値TLが設定されていることから、サーボモータ41は付勢力FPよりも小さな推力で部品Pを搬送用パレット3に保持された基板4に対して押圧する。したがって、着地後に押し込まれて弾性変形した付勢部材33の弾性力によって部品Pを基板4へ押圧する従来方式と比べて、装着荷重を低荷重領域で高精度に安定して制御することが可能となっている。 In the pressed state in the above-mentioned mounting operation, the thrust limit value TL is set in a range smaller than the urging force FP before the component P lands on the mounting position, so that the servomotor 41 is larger than the urging force FP. The component P is pressed against the substrate 4 held by the transport pallet 3 with a small thrust. Therefore, it is possible to stably control the mounting load in a low load region with high accuracy as compared with the conventional method in which the component P is pressed against the substrate 4 by the elastic force of the urging member 33 that is pushed and elastically deformed after landing. It has become.

次に、図14(b)を参照して低衝撃装着モードM−2について説明する。ここでは、推力制限高さTLhと着地高さZCの間に減速高さDh1が設定されている点が、高速装着モードM−1と異なっている。すなわち低衝撃装着モードM−2では、部品Pを保持した部品保持部31が待機高さZ0から下降する過程において減速高さDh1に到達したならば、下降速度を高速から低速に切り換える。これにより、部品保持部31が着地高さZCまで下降して部品Pが着地する際の衝撃を低減することができるという効果を得る。 Next, the low impact mounting mode M-2 will be described with reference to FIG. 14 (b). Here, the deceleration height Dh1 is set between the thrust limit height TLh and the landing height ZC, which is different from the high-speed mounting mode M-1. That is, in the low impact mounting mode M-2, when the component holding unit 31 holding the component P reaches the deceleration height Dh1 in the process of descending from the standby height Z0, the descending speed is switched from high speed to low speed. As a result, the component holding portion 31 can be lowered to the landing height ZC to reduce the impact when the component P lands.

上述の高速装着モードM−1、低衝撃装着モードM−2のいずれにおいても、装着動作の間に装着高さの検出が行われる。すなわち部品Pが搬送用パレット3に保持された基板4の装着位置に着地してから部品保持部31が上昇を開始する直前までの所定のタイミングで、装着位置高さ計測部61は位置検出部53から部品保持部31の位置情報を取得する。このタイミングで取得した部品保持部31の位置情報は、図13にて部品保持部31の高さ方向の位置示す着地高さZCとなる。そして、装着位置高さ計測部61は取得した位置情報と装着された部品Pの寸法とに基づいて、部品Pが装着された装着位置の装着高さを算出する。すなわち本体制御部14が備えた装着位置高さ計測部61の機能により、図13にて部品保持部31の高さ方向の位置示す着地高さZCと、部品Pの寸法を含む装着厚み寸法dとに基づいて装着高さZ1を求める。そして管理部1Sが備えた搬送用パレット評価部70による搬送用パレット3の評価は、このようにして求められた複数の装着高さZ1に基づいて行われる。 In both the high-speed mounting mode M-1 and the low-impact mounting mode M-2 described above, the mounting height is detected during the mounting operation. That is, at a predetermined timing from when the component P lands on the mounting position of the substrate 4 held on the transport pallet 3 to immediately before the component holding section 31 starts to rise, the mounting position height measuring section 61 is the position detecting section. The position information of the component holding unit 31 is acquired from 53. The position information of the component holding portion 31 acquired at this timing is the landing height ZC indicating the position of the component holding portion 31 in the height direction in FIG. Then, the mounting position height measuring unit 61 calculates the mounting height of the mounting position where the component P is mounted based on the acquired position information and the dimensions of the mounted component P. That is, due to the function of the mounting position height measuring unit 61 provided in the main body control unit 14, the landing height ZC indicating the position of the component holding unit 31 in the height direction in FIG. 13 and the mounting thickness dimension d including the dimension of the component P The mounting height Z1 is obtained based on the above. Then, the evaluation of the transport pallet 3 by the transport pallet evaluation unit 70 provided by the management unit 1S is performed based on the plurality of mounting heights Z1 thus obtained.

なお、装着位置高さ計測部61が位置検出部53から部品保持部31の位置情報を取得するタイミングは、弾性体である付勢部材33が装着位置に部品Pが着地した際の衝撃を吸収した後、部品保持部31が上昇を開始する直前までの期間内であり、上昇開始の直前が最も好ましい。この位置情報の取得は、緩衝用の付勢部材33が伸びきった状態で行われることから、緩衝用の付勢部材33を備えている場合にあっても、位置検出部53の位置情報から部品保持部31の高さ検出を高精度で行うことができる。 The timing at which the mounting position height measuring unit 61 acquires the position information of the component holding unit 31 from the position detecting unit 53 is such that the urging member 33, which is an elastic body, absorbs the impact when the component P lands at the mounting position. It is within the period until immediately before the component holding portion 31 starts ascending, and most preferably immediately before the start of ascending. Since the acquisition of the position information is performed in a state where the cushioning urging member 33 is fully extended, even when the cushioning urging member 33 is provided, the position information of the position detection unit 53 is used to acquire the position information. The height of the component holding portion 31 can be detected with high accuracy.

さらに部品保持部31が搬送用パレット3に保持された基板4を押圧する荷重LFは低荷重であることから搬送用パレット3に保持された基板4の変形は少ない。したがって、部品保持部31の高さ位置を用いて装着位置の高さを計測しても誤差は少なく、正確な高さ計測を行うことができる。これにより、専用の計測装置を使用することなく部品装着動作の実行と並行して、装着位置の高さを含む基板高さ情報を、簡便な方法によって取得することが可能となっている。 Further, since the load LF on which the component holding portion 31 presses the substrate 4 held on the transport pallet 3 is a low load, the substrate 4 held on the transport pallet 3 is hardly deformed. Therefore, even if the height of the mounting position is measured using the height position of the component holding portion 31, there is little error and accurate height measurement can be performed. As a result, it is possible to acquire the board height information including the height of the mounting position by a simple method in parallel with the execution of the component mounting operation without using a dedicated measuring device.

次に上述構成の部品搭載装置1Mおよび管理部1Sを備えた部品搭載システム1において、部品が実装される基板4(軟弱基板)を保持して部品搭載装置1Mに搬送する搬送用パレット3の変形状態を判断する搬送用パレットの評価方法について、各図を参照しながら説明する。 Next, in the component mounting system 1 provided with the component mounting device 1M and the management unit 1S having the above-described configuration, the deformation of the transport pallet 3 that holds the substrate 4 (soft substrate) on which the components are mounted and transports the components to the component mounting device 1M. The evaluation method of the transport pallet for determining the state will be described with reference to each figure.

この搬送用パレットの評価方法では、まず図1に示すように、基板4を保持した搬送用パレット3を部品搭載装置1Mに搬送する。次いで、図15の(ST2)に示すように、部品保持部31で部品を保持して、この部品保持部31を基板4の装着位置へ移動させる(図15の(ST4))。次いでサーボモータを駆動して部品保持部31を昇降させることにより、複数の装着位置に複数の部品を搭載する。 In this method of evaluating the transport pallet, first, as shown in FIG. 1, the transport pallet 3 holding the substrate 4 is transported to the component mounting device 1M. Next, as shown in (ST2) of FIG. 15, the component holding portion 31 holds the component and moves the component holding portion 31 to the mounting position of the substrate 4 ((ST4) of FIG. 15). Next, by driving the servomotor to raise and lower the component holding unit 31, a plurality of components are mounted at a plurality of mounting positions.

この部品の搭載における装着動作では、図14にて説明したように、複数の装着位置に複数の部品を搭載する際の部品保持部31の高さ方向の位置を位置検出部53によって検出する。そして少なくとも位置検出部53によって検出された部品保持部31の高さ方向の位置(図13に示す着地高さZC参照)と装着した部品の寸法(図13に示す装着厚み寸法d参照)とに基づいて、装着位置高さ計測部61により複数の装着位置の装着高さを求める。そして装着位置高さ計測部61により求めた複数の装着高さに基づいて、搬送用パレット評価部70によって搬送用パレット3の変形状態を判断する。 In the mounting operation of mounting the components, as described with reference to FIG. 14, the position detecting section 53 detects the position in the height direction of the component holding section 31 when mounting the plurality of components at the plurality of mounting positions. Then, at least the position in the height direction of the component holding unit 31 detected by the position detecting unit 53 (see the landing height ZC shown in FIG. 13) and the dimensions of the mounted component (see the mounting thickness dimension d shown in FIG. 13). Based on this, the mounting position height measuring unit 61 obtains the mounting heights of a plurality of mounting positions. Then, based on the plurality of mounting heights obtained by the mounting position height measuring unit 61, the transport pallet evaluation unit 70 determines the deformed state of the transport pallet 3.

なお、画像生成部71の機能により、装着位置高さ計測部61で計測した複数の装着高さに基づいて、搬送用パレット3の形状を模した画像を生成し、ディスプレイ73に表示させるようにしてもよい。この場合には表示された画像を目視することにより、搬送用パレット3の評価を行う。 It should be noted that the function of the image generation unit 71 generates an image imitating the shape of the transport pallet 3 based on a plurality of mounting heights measured by the mounting position height measuring unit 61 and displays it on the display 73. You may. In this case, the transport pallet 3 is evaluated by visually observing the displayed image.

ここで評価の対象となる搬送用パレット3については、図15に示す(ST1)において、前述の搬送用パレット識別情報取得部によって当該搬送用パレット3の識別情報を取得している。そして取得した識別情報と当該搬送用パレット3にセットされた基板4について装着位置高さ計測部61で計測された複数の装着高さとを関連付けした一群の装着高さ情報は、装着高さ情報記憶部64に記憶されるとともに、管理部1Sにアップロードされて搬送用パレット情報記憶部72に記憶される。 Regarding the transport pallet 3 to be evaluated here, in (ST1) shown in FIG. 15, the identification information of the transport pallet 3 is acquired by the above-mentioned transport pallet identification information acquisition unit. Then, a group of mounting height information in which the acquired identification information is associated with a plurality of mounting heights measured by the mounting position height measuring unit 61 for the substrate 4 set on the transport pallet 3 is stored in the mounting height information. It is stored in the unit 64, uploaded to the management unit 1S, and stored in the transport pallet information storage unit 72.

そして搬送用パレット評価部70による搬送用パレット3の評価においては、装着高さ情報記憶部64(または搬送用パレット情報記憶部72)に記憶された一群の装着高さ情報を用いて、当該識別情報が付与された搬送用パレット3の変形状態を検出して評価する。ここで、搬送用パレット3には複数の基板4がセットされており、装着高さ情報記憶部64に記憶される一群の装着高さ情報には、複数の基板4の複数の装着高さが含まれたデータ態様となっている。 Then, in the evaluation of the transport pallet 3 by the transport pallet evaluation unit 70, the identification is performed using a group of mount height information stored in the mounting height information storage unit 64 (or the transport pallet information storage unit 72). The deformed state of the transport pallet 3 to which the information is given is detected and evaluated. Here, a plurality of boards 4 are set on the transport pallet 3, and a group of mounting height information stored in the mounting height information storage unit 64 includes a plurality of mounting heights of the plurality of boards 4. It is a included data aspect.

このように本実施の形態に示す部品搭載システム1における搬送用パレット3の評価では、部品搭載装置1Mが備えた装着高さ計測機能を使用して搬送用パレット3の変形状態を判断するようにしている。これにより、専用の検査装置を用いて使用対象となる搬送用パレット3を全数検査する場合に比べ、使用することが好ましくない搬送用パレット3の抽出を迅速且つ容易に行うことができる。さらに、搬送用パレット3の評価に利用される装着高さの計測は部品装着動作の一環として作業動作中に組み込まれていることから、搬送用パレット3の評価のために必要とされる追加時間が発生しない。したがって搬送用パレットの状態検査を個別に行うことなく搬送用パレットの状態を評価することができ、搬送用パレット3の保守のための評価を、簡便且つ容易に行うことが可能となっている。 As described above, in the evaluation of the transport pallet 3 in the component mounting system 1 shown in the present embodiment, the deformed state of the transport pallet 3 is determined by using the mounting height measurement function provided in the component mounting device 1M. ing. As a result, it is possible to quickly and easily extract the transport pallets 3, which are not preferable to be used, as compared with the case where 100% of the transport pallets 3 to be used are inspected using a dedicated inspection device. Further, since the measurement of the mounting height used for the evaluation of the transport pallet 3 is incorporated during the work operation as a part of the component mounting operation, the additional time required for the evaluation of the transport pallet 3 is required. Does not occur. Therefore, the state of the transport pallet can be evaluated without individually inspecting the state of the transport pallet, and the evaluation for maintenance of the transport pallet 3 can be easily and easily performed.

本発明の部品搭載システムおよび搬送用パレットの評価方法は、搬送用パレットの状態検査を個別に行うことなく搬送用パレットの状態を評価することができるという効果を有し、フレキシブル基板などの軟弱基板に部品を搭載する分野において有用である。 The component mounting system and the evaluation method of the transport pallet of the present invention have an effect that the state of the transport pallet can be evaluated without individually inspecting the state of the transport pallet, and is a soft substrate such as a flexible substrate. It is useful in the field of mounting components on the pallet.

1 部品搭載システム
1M 部品搭載装置
1S 管理部
3 搬送用パレット
4 基板(軟弱基板)
11 搭載ヘッド
15 制御部
30 ノズルユニット
31 部品保持部
31d 吸引孔
32 下部
33 付勢部材
35 シャフト
36 上部
41 サーボモータ
44 エンコーダ
45 荷重検出部
P 部品
T 推力
LF 荷重
FP 付勢力
TLh 推力制限高さ
Z0 待機高さ
ZC、ZC1 着地高さ
Dh、Dh1 減速高さ
Th、Th1 目標高さ
1 Parts mounting system 1M Parts mounting device 1S Management unit 3 Transport pallet 4 Board (soft board)
11 Mounting head 15 Control unit 30 Nozzle unit 31 Parts holding unit 31d Suction hole 32 Lower 33 Biasing member 35 Shaft 36 Upper 41 Servo motor 44 Encoder 45 Load detection unit P Parts T Thrust LF Load FP Biasing force TLh Thrust limit height Z0 Standby height ZC, ZC1 Landing height Dh, Dh1 Deceleration height Th, Th1 Target height

Claims (9)

搬送用パレットに保持された軟弱基板の複数の装着位置に部品を搭載する部品搭載システムであって、
負圧によって部品を保持するための吸引孔を有する部品保持部と、
前記部品保持部を昇降させるサーボモータと、
予め設定された動作パターンに基づいて前記サーボモータを制御することにより、前記部品保持部に保持された部品を前記軟弱基板に搭載するための昇降動作を前記部品保持部に行わせる制御部と、を備え、
さらに、前記制御部は、
前記部品保持部を前記軟弱基板に向かって下降させる際に前記サーボモータの推力を制限する推力制限部と、
前記サーボモータからの位置信号に基づいて前記部品保持部の高さ方向の位置を検出する位置検出部と、
前記部品が前記装着位置に着地してから前記部品保持部が上昇を開始する直前までの所定のタイミングで前記位置検出部が検出した前記部品保持部の高さ方向の位置と前記部品保持部によって装着された部品の寸法とに基づいて、前記装着位置の装着高さを算出する装着位置高さ計測部と、
前記装着位置高さ計測部で計測した複数の装着高さに基づいて、前記搬送用パレットの変形状態を判断する搬送用パレット評価部と、
を備えた、部品搭載システム。
A component mounting system in which components are mounted at multiple mounting positions of a soft substrate held on a transport pallet.
A part holding part having a suction hole for holding the part by negative pressure,
A servo motor that raises and lowers the component holding unit,
By controlling the servomotor based on a preset operation pattern, a control unit that causes the component holding unit to perform an elevating operation for mounting the component held by the component holding unit on the soft substrate. With
Further, the control unit
A thrust limiting portion that limits the thrust of the servomotor when the component holding portion is lowered toward the soft substrate, and a thrust limiting portion.
A position detection unit that detects the position of the component holding unit in the height direction based on a position signal from the servomotor, and a position detection unit.
By the height position of the component holding portion detected by the position detecting unit and the component holding portion at a predetermined timing from the landing of the component to the mounting position to immediately before the component holding portion starts to rise. A mounting position height measuring unit that calculates the mounting height of the mounted position based on the dimensions of the mounted parts, and
A transport pallet evaluation unit that determines the deformation state of the transport pallet based on a plurality of mounting heights measured by the mounting position height measuring unit.
A component mounting system equipped with.
さらに、前記複数の装着高さに基づいて前記搬送用パレットの形状を模した画像を生成する画像生成部を備えた、請求項1記載の部品搭載システム。 The component mounting system according to claim 1, further comprising an image generation unit that generates an image that imitates the shape of the transport pallet based on the plurality of mounting heights. さらに、下部と上部を有するシャフト部と、弾性体とを備え、
前記部品保持部は、前記シャフトの下部に上下方向に変位可能な状態で取り付けられるとともに前記弾性体によって前記シャフトに対して下方に付勢されており、
前記推力制限部は、前記サーボモータを駆動させたときに前記部品保持部から部品に作用する荷重が、前記弾性体が前記部品保持部を付勢する力よりも小さくなる範囲で前記サーボモータの推力を制限する推力制限値を設定し、前記サーボモータの推力をこの推力制限値以下に制限する、請求項1または2のいずれかに記載の部品搭載システム。
Further, a shaft portion having a lower portion and an upper portion and an elastic body are provided.
The component holding portion is attached to the lower part of the shaft in a vertically displaceable state, and is urged downward with respect to the shaft by the elastic body.
The thrust limiting portion of the servomotor is provided in a range in which the load acting on the component from the component holding portion when the servomotor is driven becomes smaller than the force with which the elastic body urges the component holding portion. The component mounting system according to any one of claims 1 or 2, wherein a thrust limit value for limiting the thrust is set, and the thrust of the servomotor is limited to the thrust limit value or less.
さらに、前記搬送用パレットに付与された識別情報を取得する搬送用パレット識別情報取得部と、
取得した前記識別情報と当該識別情報が付与された搬送用パレットにセットされた軟弱基板について前記装着位置高さ計測部で計測された複数の装着高さとを関連付けした一群の装着高さ情報を記憶する装着高さ情報記憶部と、
を備え、
前記搬送用パレット評価部は、前記装着高さ情報記憶部に記憶された前記一群の装着高さ情報を用いて当該識別情報が付与された搬送用パレットの変形状態を検出する、請求項1から3のいずれかに記載の部品搭載システム。
Further, a transport pallet identification information acquisition unit that acquires the identification information assigned to the transport pallet, and a transport pallet identification information acquisition unit.
A group of mounting height information associated with the acquired identification information and a plurality of mounting heights measured by the mounting position height measuring unit for the soft substrate set on the transport pallet to which the identification information is given is stored. Wearing height information storage unit and
With
From claim 1, the transport pallet evaluation unit detects a deformed state of the transport pallet to which the identification information is given by using the group of mounting height information stored in the mounting height information storage unit. The component mounting system according to any one of 3.
前記搬送用パレットには複数の軟弱基板がセットされており、前記一群の装着高さ情報には、前記複数の軟弱基板の複数の装着高さが含まれる、請求項4に記載の部品搭載システム。 The component mounting system according to claim 4, wherein a plurality of soft substrates are set in the transport pallet, and the mounting height information of the group includes a plurality of mounting heights of the plurality of soft substrates. .. 部品が実装される軟弱基板を保持して部品搭載装置に搬送する搬送用パレットの変形状態を判断する搬送用パレットの評価方法であって、
前記軟弱基板を保持した搬送用パレットを部品搭載装置に搬送し、
前記部品搭載装置の部品保持部で前記軟弱基板の複数の装着位置に複数の部品を搭載し、
前記複数の装着位置に複数の部品を搭載する際の前記部品保持部の高さ方向の位置を検出し、
少なくとも前記部品保持部の高さ方向の位置と装着した部品の寸法とに基づいて、装着位置高さ計測部により前記複数の装着位置の装着高さを求め、
前記装着位置高さ計測部により求めた複数の装着高さに基づいて、前記搬送用パレットの変形状態を判断する、搬送用パレットの評価方法。
It is an evaluation method of a transport pallet that determines the deformed state of a transport pallet that holds a soft substrate on which components are mounted and transports it to a component mounting device.
The transport pallet holding the soft substrate is transported to the component mounting device, and the transfer pallet is transferred to the component mounting device.
A plurality of components are mounted at a plurality of mounting positions of the soft substrate in the component holding portion of the component mounting device.
The position in the height direction of the component holding portion when a plurality of components are mounted at the plurality of mounting positions is detected.
Based on at least the position in the height direction of the component holding portion and the dimensions of the mounted component, the mounting position height measuring unit obtains the mounting heights of the plurality of mounting positions.
A method for evaluating a transport pallet, which determines a deformed state of the transport pallet based on a plurality of mount heights obtained by the mounting position height measuring unit.
さらに、前記複数の装着高さに基づいて前記搬送用パレットの形状を模した画像を生成する、請求項6に記載の搬送用パレットの評価方法。 The method for evaluating a transport pallet according to claim 6, further comprising generating an image imitating the shape of the transport pallet based on the plurality of mounting heights. さらに、前記搬送用パレットに付与された識別情報を取得し、
取得した前記識別情報と当該識別情報が付与された搬送用パレットにセットされた軟弱基板について計測された複数の装着高さとを関連付けした一群の装着高さ情報を記憶し、
前記搬送用パレットの評価において、前記記憶された一群の装着高さ情報を用いて当該識別情報が付与された搬送用パレットの変形状態を評価する、請求項6もしくは7のいずれかに記載の搬送用パレットの評価方法。
Further, the identification information given to the transport pallet is acquired, and the identification information is acquired.
A group of mounting height information in which the acquired identification information is associated with a plurality of mounting heights measured for a soft substrate set on a transport pallet to which the identification information is given is stored.
The transport according to claim 6 or 7, wherein in the evaluation of the transport pallet, the deformed state of the transport pallet to which the identification information is given is evaluated by using the stored group of mounting height information. How to evaluate the pallet.
前記搬送用パレットには複数の軟弱基板がセットされており、前記一群の装着高さ情報には、前記複数の軟弱基板の複数の装着高さが含まれる、請求項に記載の搬送用パレットの評価方法。 The transport pallet according to claim 8 , wherein a plurality of soft substrates are set in the transport pallet, and the mounting height information of the group includes a plurality of mounting heights of the plurality of soft substrates. Evaluation method.
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