JP6948665B1 - 粉粒体圧送供給装置 - Google Patents

Abstract

【課題】粉塵抑制及び構造の簡素化の点で改善された粉粒体圧送供給装置を提供する。【解決手段】上記課題は、ローレベルセンサ５２による圧送ホッパ５０のローレベルの検出時には、第２開閉弁２２を閉じた状態で第３開閉弁２３を開けて中間ホッパ４０内に貯留された粉粒体を圧送ホッパ５０に供給する圧送ホッパ補給動作、第１開閉弁２１及び第３開閉弁２３を閉じた状態で第２開閉弁２２を開け、中間ホッパ４０内の圧気を排気チャンバ３０内に送り、排気フィルタ７０を介して装置外部へ排気する排気動作、第３開閉弁２３を閉じた状態で第１開閉弁２１及び第２開閉弁２２を開け、供給ホッパ１０内に貯留された粉粒体を、排気チャンバ３０を通過させて中間ホッパ４０に供給する中間ホッパ補給動作、及び第１開閉弁２１を閉じた状態で、外部から供給ホッパ１０内に粉粒体を受け入れる供給ホッパ補給動作、をこの順に行うことにより解決される。【選択図】図３

Description

本発明は、粉粒体を圧気に乗せて連続定量供給する粉粒体圧送供給装置に関する。

セメントやセメント系固化材のほか、石灰、石炭灰、鉄鋼スラグ等の粉粒体固化材は、泥土処理や地盤改良の分野等、様々な分野で利用されている。

また、このような粉粒体固化材を用いる分野では、粉粒体圧送供給装置を用いて、粉粒体固化材を圧気（圧送気体、例えば圧縮空気）に乗せて圧送し、粉粒体の移送を行うことが知られている（例えば特許文献１〜３参照）。

粉粒体圧送供給装置は、粉粒体及び圧気を別系統で送り込みながら、粉粒体を圧気に乗せて送出するものであるため、圧気が粉粒体供給側へ漏れることによる粉粒体の逆流を防止しなければならない。また、現場への搬入や、操作性、メンテナンス性にも優れることが望ましい。

本発明者は、このような要望に応じるものとして、特許文献４に示される粉粒体圧送供給装置を開発した。

特開平８−１１３３７０号公報 特開平８−１１３３６９号公報 特開平１０−５９５４２号公報 特許３７３８０２６号公報

しかしながら、この先行技術では、粉塵抑制及び構造の簡素化の点で改善の余地があった。

そこで本発明の主たる課題は、粉塵抑制及び構造の簡素化の点で改善された粉粒体圧送供給装置を提供すること等にある。

上記課題を解決した粉粒体圧送供給装置は以下のとおりである。
＜第１の態様＞
上部に供給口及び下端部に排出口を有する供給ホッパと、
前記供給ホッパの排出口に対して第１開閉弁を介して接続された入口、及び下端部に設けられた出口を有する排気チャンバと、
前記排気チャンバの出口に対して第２開閉弁を介して接続された供給口、及び下端部に設けられた排出口を有する中間ホッパと、
この中間ホッパの排出口に対して第３開閉弁を介して接続された供給口を有する圧送ホッパと、
この圧送ホッパ内に貯留された粉粒体を連続的に切り出し、圧気に乗せて外部に送り出す送出手段と、
前記圧送ホッパ内の粉粒体貯留量が所定のローレベルに達していないローレベル状態を検出するローレベルセンサと、
前記排気チャンバ内に対して前記第１開閉弁及び前記供給ホッパを経由しない排気経路を介して接続された排気フィルタと、を備え；
外部への粉粒体の供給動作時には、前記第３開閉弁を閉じた状態で、前記送出手段を常時作動させて外部に対して連続送出を行う一方、
前記ローレベルセンサによるローレベルの検出時には、
前記第２開閉弁を閉じた状態で前記第３開閉弁を開けて前記中間ホッパ内に貯留された粉粒体を前記圧送ホッパに供給する圧送ホッパ補給動作、
前記第１開閉弁及び前記第３開閉弁を閉じた状態で前記第２開閉弁を開け、前記中間ホッパ内の圧気を前記排気チャンバ内に送り、排気フィルタを介して装置外部へ排気する排気動作、
前記第３開閉弁を閉じた状態で前記第１開閉弁及び前記第２開閉弁を開け、前記供給ホッパ内に貯留された粉粒体を、前記排気チャンバを通過させて前記中間ホッパに供給する中間ホッパ補給動作、及び
前記第１開閉弁を閉じた状態で、外部から前記供給ホッパ内に粉粒体を受け入れる供給ホッパ補給動作、
をこの順に行うように構成された、
ことを特徴とする粉粒体圧送供給装置。

（作用効果）
本装置の特徴は、供給ホッパと中間ホッパとの間に排気チャンバを介在させ、中間ホッパから圧送ホッパへの補給動作に伴い中間ホッパに流入する圧気を、供給ホッパを経由せずに排気フィルタを介して装置外部に排気する、ところにある。これにより、供給ホッパを経由して排気を行う先行技術と比較して、供給ホッパに粉粒体が貯留（又は補給動作中）されていても、排気経路に粉粒体が貯留されていないため、粉塵の発生を効果的に抑制することができる。また、本装置では、供給ホッパと中間ホッパとの間に排気チャンバを設けるだけなので、先行技術と比較しても、非常に簡素な構造であり、内部清掃等のメンテナンスも非常に容易である。

＜第２の態様＞
前記中間ホッパから前記排気チャンバを介さずにかつ圧力調整弁を介して前記排気経路に接続された先行排気経路を有し、
前記先行排気経路のみを経由する場合の方が、前記排気チャンバのみを経由するよりも、排気速度が遅く、
前記排気動作に先行して、前記第２開閉弁を閉じた状態で先に前記圧力調整弁を開く圧力調整動作を行い、その後、時間的間隔を空けて前記第２開閉弁を開いて前記排気動作を行うように構成された、
第１の態様の粉粒体圧送供給装置。

（作用効果）
本装置では、排気チャンバを介した排気動作に先行して、より排気速度の遅い圧力調整動作を行うように構成されているため、粉塵発生をより少なくすることができる。

本発明によれば、粉塵抑制及び構造の簡素化の点で改善された粉粒体圧送供給装置となる、等の利点がもたらされる。

粉粒体圧送供給装置の正面図である。 粉粒体圧送供給装置の要部を概略的に示す縦断面図である。 各種動作状態の要部を示す粉粒体圧送供給装置の縦断面図である。 各種用途を示す概略図である。

＜装置の構成例＞
図１及び図２は、粉粒体圧送供給装置１の一例を示している。この粉粒体圧送供給装置１は、上部に供給口１１及び下端部に排出口１２を有する供給ホッパ１０と、供給ホッパ１０の排出口１２に対して第１開閉弁２１を介して接続された入口、及び下端部に設けられた出口を有する排気チャンバ３０と、排気チャンバ３０の出口に対して第２開閉弁２２を介して接続された供給口４１、及び下端部に設けられた排出口４２を有する中間ホッパ４０と、この中間ホッパ４０の排出口４２に対して第３開閉弁２３を介して接続された供給口５１を有する圧送ホッパ５０と、この圧送ホッパ５０内に貯留された粉粒体を連続的に切り出して、圧気に乗せて外部に送り出す送出手段６０と、圧送ホッパ５０内の粉粒体貯留量が所定のローレベルに達していないローレベル状態を検出するローレベルセンサ５２と、排気チャンバ３０内に対して第１開閉弁２１及び供給ホッパ１０を経由しない排気経路を介して接続された排気フィルタ７０と、を備えたものである。

供給ホッパ１０は、架台２により縦向きに支持されており、上部に供給口１１及び下端部に排出口１２を有し、外部から供給口１１を介して粉粒体Ｐを受け入れて貯留し、及び貯留した粉粒体Ｐ１を自重により排出口に落下排出するように構成されたものである。この構成からも理解できるように、本粉粒体圧送供給装置１は、供給ホッパ１０の上部供給口１１に対し、例えば図４に示すようにサイロ等の大型貯留槽３から粉粒体Ｐを補給することを想定したものである。

排気チャンバ３０は、供給ホッパ１０から中間ホッパ４０への粉粒体の通路として、及び中間ホッパ４０から排気経路への排気の通路として機能するものである。よって、この限りにおいて、排気チャンバ３０の形状等は特に限定されるものではないが、例えば図示例のように上下方向に沿う管路が好適である。

供給ホッパ１０と排気チャンバ３０との間には第１開閉弁２１が介在されており、この第１開閉弁２１により供給ホッパ１０から排気チャンバ３０への粉粒体Ｐ１の導入経路が開閉可能となっている。第１開閉弁２１、及び後述する第２開閉弁２２、第３開閉弁２３の種類は特に限定されるものではなく、図示例のように駆動源により開閉駆動されるバタフライバルブの他、公知のバルブを適宜使用することができる。

中間ホッパ４０は、架台２により縦向きに支持されており、供給ホッパ１０から粉粒体Ｐ１を受け入れて貯留し、及び貯留した粉粒体Ｐ２を自重により排出口４２に落下排出するように構成されたものである。

排気チャンバ３０と中間ホッパ４０との間には、第２開閉弁２２が介在されており、この第２開閉弁２２により排気チャンバ３０から中間ホッパ４０への粉粒体の導入経路が開閉可能となっている。

圧送ホッパ５０は、架台２により縦向きに支持されており、中間ホッパ４０から粉粒体Ｐ２を受け入れて貯留し、及び貯留した粉粒体Ｐ３を送出手段６０により連続的に切り出し、圧気に乗せて外部に送り出すように構成されたものである。

送出手段６０は特に限定されるものではないが、例えば図示のように、圧送ホッパ５０の下端部から連続するロータケース部６１、及びこのロータケース部６１に内装された所定方向に連続的に回転駆動されるロータ６２からなる連続供給式ロータリーフィーダと、このロータリーフィーダにより切り出した粉粒体Ｐ４を、図示しないコンプレッサ等の圧気供給源からの圧気Ａに乗せて送出する送出部とによって構成することができる。この場合、ロータ６２の回転速度を調整することで送出量を調整することができ、ロータ６２の回転速度を一定速度とすることで連続定量供給が可能となる。

図示例のロータ６２は、横向き（又は水平）回転軸６３周りに回転自在とされており、この回転軸６３の外周面には径方向に突出する区画羽根部６４が周方向に等間隔で多数形成され、これら羽根部６４間がポケット６５として形成されている。また回転軸６３は、ケース部６１の外部に連結されたモータ等の回転駆動源６８に連結されており、この回転駆動源６８によってロータ６２が回転されるように構成されている。また送出部としては、図示のようにロータケース部６１におけるロータ６２の回転軸６３方向と直交する側面の下端部に粉粒体送出口６６を形成し、これと対向する側面の下端部には圧気供給源からの圧気導入口６７を形成し、圧気導入口６７からの圧気がこれらと対応する位置のポケット６５を介して粉粒体送出口６６へと流通する構成を採用することができる。

図示例と異なり、送出手段としては、特開平８−１１３３７０号公報に記載されたスクリューフィーダを用いたものや、特願平２００１−２３３１３５号の図６〜８に記載のもの及び図９〜図１１に記載のものように、複数の外部送出路に対して連続定量供給できるものも用いることができる。

圧送ホッパ５０内には、所定高さ位置にローレベルセンサ５２が設けられており、このローレベルセンサ５２によって圧送ホッパ５０内の粉粒体量が所定量に達してないローレベル状態を検出できるようになっている。このローレベルセンサ５２の高さ位置は、例えばローレベル状態を検出してから圧送ホッパ５０内に粉粒体が補給されるまでの間、外部送出手段６０が粉粒体を連続定量供給するのに十分な粉粒体量に合わせることができる。

中間ホッパ４０と圧送ホッパ５０との間には、第３開閉弁２３が介在されており、この第３開閉弁２３により中間ホッパ４０から圧送ホッパ５０への粉粒体の導入経路が開閉可能となっている。

排気フィルタ７０は、圧送ホッパ５０から粉粒体Ｐ１〜Ｐ４の移動経路に入り込む圧気を装置外部に排気する際に、粉粒体を除去するためのものである。図示例では、排気フィルタ７０の入側が、専用の排気管路７１を介して排気チャンバ３０の側面に連通されている。したがって、この排気管路７１及び排気チャンバ３０を経由することにより、第１開閉弁２１及び供給ホッパ１０を経由せずに、圧送ホッパ５０から入り込む圧気を排気フィルタ７０に導入して、粉粒体を除去した上で排気することができる。

また、図示例のように、中間ホッパ４０から排気チャンバ３０を介さずにかつ圧力調整弁８１を介して、排気フィルタ７０に向かう排気経路に接続された先行排気経路８０を有し、先行排気経路８０のみを経由する場合の方が、排気チャンバ３０のみを経由するよりも、排気速度が遅くなっている（例えば、図示例のように断面積がより小さい管路となっている）と好ましい。圧力調整弁８１は、後述する開閉動作が可能である限り、制御装置により開閉制御される電磁弁等の制御弁であってもよいし、中間ホッパ４０の内圧が設定圧（大気圧以上かつ最大内圧以下）以上で開状態となり、設定圧未満では閉状態となるような一次圧力調整弁であってもよい。

また、図示例のように、排気チャンバ３０を排気フィルタ７０の入側に接続するだけでなく、供給ホッパ１０についても排気フィルタ７０の入側に接続することができる。この場合、図示例のように、排気チャンバ３０からの排気管路７１と、供給ホッパ１０からの排気管路７２とをＴ字管等を用いて合流させてから排気フィルタ７０に接続するのは好ましい。

供給ホッパ１０に対する粉粒体Ｐの補給量を計量する手段を備えているのも好ましい。計量機構は特に限定されるものではないが、例えば、図示例のように、供給ホッパ１０をロードセルＬ１を介して架台２により支持するとともに、排気チャンバ３０以下の重量が供給ホッパ１０側に伝わらないように、第１開閉弁２１の排出側と排気チャンバ３０、排気管路７１，７２の途中等、必要箇所をフレキシブル継手Ｃを介して接続し、供給ホッパ１０の貯留量のみをロードセルＬ１で計測できるように構成するのは好ましい。この場合、計量結果に基づいて１回の補給量を一定に制御したり、計量結果を合計することにより、１時間又は１日当たりの供給量を計測したりすることができる。

これとともに、排気チャンバ３０以下の中間ホッパ４０、圧送ホッパ５０及び送出手段６０までを一体として、ロードセルＬ２を介して架台２により支持するのも好ましい。この場合、所定のインターバルでロードセルＬ２により計量を行うことにより、単位時間当たりの供給量（＝重量の減少度合い）を計測することができる。

＜装置の動作例＞
上述の粉粒体圧送供給装置１は、例えば図３に示すように動作させることができる。

（装置始動時）
装置始動時には、先ず送出手段６０による外部送出を行わずに（すなわち少なくともロータリーフィーダは停止させた状態で）、少なくとも圧送ホッパ５０が所定量の粉粒体Ｐ１を蓄えた状態とする（図示せず）。

例えばいま、装置内部に全く粉粒体を有しない状態にあるとすると、まず第１開閉弁２１及び第２開閉弁２２を閉じた状態で、サイロ等の外部大型貯留槽３から供給口１１ｉを介して供給ホッパ１０に粉粒体を補給する（供給ホッパ補給動作）。この際、ロードセル１３により供給ホッパ１０内の貯留量を計量し、所定量に達したら外部からの供給が自動的に停止するようにする。計量が終了したならば第１開閉弁２１及び第２開閉弁２２を開けて供給ホッパ１０内の粉粒体を中間ホッパ４０内に補給する（中間ホッパ補給動作）。その後、第３開閉弁２３を開けて、中間ホッパ４０内の粉粒体を圧送ホッパ５０内に補給する（圧送ホッパ補給動作）。これにより、圧送ホッパ５０は所定量の粉粒体を貯留することとなる。

装置始動時に、圧送ホッパ５０が所定量の粉粒体を蓄えている場合には、上述の中間ホッパ補給動作から開始すればよく、中間ホッパ４０が所定量の粉粒体を貯留している場合には、圧送ホッパ補給動作から開始すればよい。当然ではあるが、既に圧送ホッパ５０が所定量の粉粒体Ｐ１を蓄えているときにはこの装置始動時動作を行う必要はない。

（粉粒体の外部供給動作時）
外部への粉粒体供給動作時には、送出手段６０を常時作動させて外部に対して連続送出を行う。より詳細には図１、図２及び図３（ａ）に示すように、ロータリーフィーダのロータ６２が所定方向に連続的に回転され、圧送ホッパ５０内に貯留された粉粒体Ｐ３が、ロータ６２のポケット６５に順次受け入れられ、ロータ６２の回転に伴って送出口６６側へ移送される。その一方で、図示しない圧気供給源から圧気Ａが、圧気導入口６７と連通するポケット６５内に導入される。その結果、ポケット６５に受け入れられた粉粒体Ｐ４は、当該ポケット６５が圧送ホッパ５０と連通せず且つ下端の送出口６６と連通したときに、ポケット６５を通過する圧気に乗せられて送出口６６を介して外部に対して送出される。なお、圧気の殆どは粉粒体Ｐ４を伴って送出されるが、粉粒体Ｐ４が送出された後のロータポケット６５はロータ６２の回転によって圧送ホッパ５０側に循環されるため、これに伴って圧気Ａが圧送ホッパ５０内に若干漏れ、圧送ホッパ５０の内圧が上昇する。

外部送出によって圧送ホッパ５０内の粉粒体Ｐ３の貯留量が減少し、ローレベルセンサ５２によってローレベル状態が検出されたときには、圧送ホッパ補給動作が行われる。すなわち、図３（ｂ）に示すように第１開閉弁２１及び第２開閉弁２２を閉じた状態で第３開閉弁２３が所定時間だけ開放され、中間ホッパ４０内の貯留粉粒体Ｐ２が圧送ホッパ５０に落下補給される。この際、圧送ホッパ５０内に漏れた圧気の一部が中間ホッパ４０内に漏れ出て、中間ホッパ４０の内圧が上昇する。また、この圧送ホッパ補給動作に際しては、ローレベル状態が検出される前であって、かつ前回の圧送ホッパ補給動作後に、供給ホッパ補給動作及び中間ホッパ補給動作が行われ、予め図３（ａ）に示すように中間ホッパ４０に所定量の粉粒体Ｐ２が貯留した状態となっている。

圧送ホッパ５０補給動作（第３開閉弁２３の開閉動作）があると、続いて図３（ｃ）に示すように、第１開閉弁２１及び第３開閉弁２３を閉じた状態で第２開閉弁２２を開け、中間ホッパ４０内の圧気を排気チャンバ３０、排気管路７１を介して排気フィルタ７０に供給し、排気フィルタ７０を通して装置外部へ排気する排気動作を行う。このように、供給ホッパ１０と中間ホッパ４０との間に排気チャンバ３０を介在させ、中間ホッパ４０から圧送ホッパ５０への補給動作に伴い中間ホッパ４０に流入する圧気を、供給ホッパ１０を経由せずに排気フィルタ７０を介して装置外部に排気すると、供給ホッパ１０に粉粒体Ｐ１が貯留（又は補給動作中）されていても、排気経路に粉粒体が貯留されていないため、粉塵の発生を効果的に抑制することができる。また、この排気動作を行うには、供給ホッパ１０と中間ホッパ４０との間に排気チャンバ３０を設けるだけで済むため、非常に簡素な構造であり、内部清掃等のメンテナンスも非常に容易である。

特に、前述の先行排気経路８０を有する場合には、排気チャンバ３０を経由する排気動作に先行して、第２開閉弁２２を閉じた状態で先に圧力調整弁８１を開く圧力調整動作を行い、中間ホッパ４０の内圧をある程度（例えば大気圧近くまで）減少させ、その後、時間的間隔（例えば２〜９秒程度）を空けて第２開閉弁２２を開いて排気動作を行うのは好ましい。これにより、排気チャンバ３０を介した排気動作に先行して、より排気速度の遅い圧力調整動作を行うことにより、粉塵発生をより少なくすることができる。

排気動作の完了後（例えば第２開閉弁２２を開いてから所定時間経過後、又は中間ホッパ４０の内圧計を設けておき、その計測値が大気圧に近い設定値に達したとき等）、図３（ｄ）に示すように、第３開閉弁２３を閉じた状態で第１開閉弁２１及び第２開閉弁２２を開け、供給ホッパ１０内に貯留された粉粒体Ｐ１を、排気チャンバ３０を通過させて中間ホッパ４０に供給する中間ホッパ補給動作が行われる。この際、中間ホッパ４０の内圧は排気動作によって十分に低下しているため、粉塵発生は効果的に抑制される。また中間ホッパ補給動作に伴い、供給ホッパ１０の内圧が多少上昇するとしても、図示例のように供給ホッパ１０内も排気フィルタ７０の入側に接続しておくことにより、排気が可能となる。

中間ホッパ補給動作後には、次の中間ホッパ補給動作までの間に、供給ホッパ補給動作が行われ、供給ホッパ１０が所定量の粉粒体Ｐ１を貯留した状態となる。なお、最初の中間ホッパ補給動作及び供給ホッパ補給動作は、送出手段６０の作動に先立って（つまり前述の圧送ホッパ補給動作とともに）行っておくこともできる。

以上のように、粉粒体Ｐ４の外部圧送中は常に圧送ホッパ５０に粉粒体Ｐ３が存在するように、供給ホッパ補給動作、中間ホッパ補給動作及び圧送ホッパ補給動作が順に行われる。以降は、この繰り返しである。

本装置では、圧送ホッパ５０の貯留量がローレベルに達するまでに、供給ホッパ１０への補給、中間ホッパ４０の排気、中間ホッパ４０への補給という一連のサイクルを終わらせておく必要があり、このサイクルタイムが本装置の供給能力（単位時間当たりの供給量）を決めることになる。しかし、装置内の粉塵発生量が多いと、排気処理時間が増加しやすいため、サイクルタイムを余分に確保しなければならなくなり、供給能力が低下するおそれがある。よって、前述の排気動作及びそのための装置構成はこの点で技術的意義が大きいものである。

上述した粉粒体圧送供給装置１の用途は特に限定されるものではないが、例えば図４に示すように、
（ａ）土木施工現場から発生する掘削残土Ｓ１などを混合処理プラント１０１で粉粒体改良剤Ｘと混合して、混合物Ｍ１を良質土として有効利用する際の、粉粒体改良剤Ｘの供給に利用したり、
（ｂ）河川や港湾、湖沼からの浚渫土Ｓ２をポンプ圧送過程において管路ミキサ１０２を用いて粉粒体改良剤Ｘと混合して、混合物Ｍ２を有効利用する際の、粉粒体改良剤Ｘの供給に利用したり、
（ｃ）深さ５〜６ｍの軟弱地盤に現位置で粉粒体改良剤Ｘを供給・混合処理する、浅・中層現位置処理工法における、混合処理機１０３への粉粒体改良剤Ｘの供給に利用したり、
（ｄ）数１０ｍの深い軟弱地盤層に粉粒体改良剤Ｘを供給混合し、柱状に固化処理をする深層混合処理工法における、混合処理機１０４への粉粒体改良剤Ｘの供給に利用したりすることができる。
これらの場合における粉粒体改良剤Ｘとしては、セメントやセメント系固化材のほか、石灰、石炭灰、鉄鋼スラグなど用途に応じて適宜選択できる。

本発明は、上記例のような粉粒体圧送供給装置に利用できるものである。

１…粉粒体圧送供給装置、２…架台、１０…供給ホッパ、２１…第１開閉弁、２２…第２開閉弁、２３…第３開閉弁、３０…排気チャンバ、４０…中間ホッパ、５０…圧送ホッパ、５２…ローレベルセンサ、６０…送出手段、７０…排気フィルタ、７１…排気管路、８０…先行排気経路、８１…圧力調整弁。

Claims (1)

1. 上部に供給口及び下端部に排出口を有する供給ホッパと、
   前記供給ホッパの排出口に対して第１開閉弁を介して接続された入口、及び下端部に設けられた出口を有する排気チャンバと、
   前記排気チャンバの出口に対して第２開閉弁を介して接続された供給口、及び下端部に設けられた排出口を有する中間ホッパと、
   この中間ホッパの排出口に対して第３開閉弁を介して接続された供給口を有する圧送ホッパと、
   この圧送ホッパ内に貯留された粉粒体を連続的に切り出し、圧気に乗せて外部に送り出す送出手段と、
   前記圧送ホッパ内の粉粒体貯留量が所定のローレベルに達していないローレベル状態を検出するローレベルセンサと、
   前記排気チャンバ内に対して前記第１開閉弁及び前記供給ホッパを経由しない排気経路を介して接続された排気フィルタと、を備え；
   外部への粉粒体の供給動作時には、前記第３開閉弁を閉じた状態で、前記送出手段を常時作動させて外部に対して連続送出を行う一方、
   前記ローレベルセンサによるローレベルの検出時には、
   前記第２開閉弁を閉じた状態で前記第３開閉弁を開けて前記中間ホッパ内に貯留された粉粒体を前記圧送ホッパに供給する圧送ホッパ補給動作、
   前記第１開閉弁及び前記第３開閉弁を閉じた状態で前記第２開閉弁を開け、前記中間ホッパ内の圧気を前記排気チャンバ内に送り、排気フィルタを介して装置外部へ排気する排気動作、
   前記第３開閉弁を閉じた状態で前記第１開閉弁及び前記第２開閉弁を開け、前記供給ホッパ内に貯留された粉粒体を、前記排気チャンバを通過させて前記中間ホッパに供給する中間ホッパ補給動作、及び
   前記第１開閉弁を閉じた状態で、外部から前記供給ホッパ内に粉粒体を受け入れる供給ホッパ補給動作、
   をこの順に行うように構成され、
   前記中間ホッパから前記排気チャンバを介さずにかつ圧力調整弁を介して前記排気経路に接続された先行排気経路を有し、
   前記先行排気経路のみを経由する場合の方が、前記排気チャンバのみを経由するよりも、排気速度が遅く、
   前記排気動作に先行して、前記第２開閉弁を閉じた状態で先に前記圧力調整弁を開く圧力調整動作を行い、その後、時間的間隔を空けて前記第２開閉弁を開いて前記排気動作を行うように構成された、
   ことを特徴とする粉粒体圧送供給装置。

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