JP6947303B2 - ガスセンサ及びガスセンサカートリッジ - Google Patents

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Description

本発明は、ガスセンサ及びガスセンサカートリッジに関する。
従来のガスセンサでは、例えばセンサデバイスを含むセンサ部の故障、劣化、寿命などに対応すべく、センサ本体からセンサ部を取り外して交換できるようにしている。
特開2012−167952号公報 特開2007−248210号公報 特開平8−114566号公報
しかしながら、交換部品に含まれるセンサデバイスは外気に開放された状態になっているため、例えば保管状況や使用状況によっては、センサデバイスの特性が変動してしまう場合がある。
本発明は、センサデバイスの特性が変動してしまうのを防止できるようにすることを目的とする。
1つの態様では、ガスセンサは、ガスセンサカートリッジと、ガスセンサカートリッジが着脱可能に装着されるガスセンサ本体とを備え、ガスセンサカートリッジは、吸気口及び排気口を有し、ガスセンサチャンバとなるケースと、ケース内に設けられたガスセンサデバイスと、ケースに設けられ、ガスセンサデバイスに接続された外部接続端子と、ガスセンサ本体に装着した際に吸気口が開口するように吸気口を封止する第1封止部材と、ガスセンサ本体に装着した際に排気口が開口するように排気口を封止する第2封止部材とを備える。
1つの態様では、ガスセンサカートリッジは、吸気口及び排気口を有し、ガスセンサチャンバとなるケースと、ケース内に設けられたガスセンサデバイスと、ケースに設けられ、ガスセンサデバイスに接続された外部接続端子と、ガスセンサ本体に装着した際に吸気口が開口するように吸気口を封止する第1封止部材と、ガスセンサ本体に装着した際に排気口が開口するように排気口を封止する第2封止部材とを備える。
1つの側面として、センサデバイスの特性が変動してしまうのを防止できるという効果を有する。
本実施形態にかかるガスセンサカートリッジの構成を示す模式的斜視図である。 本実施形態にかかるガスセンサの構成を示す模式図である。 (A)、(B)は、本実施形態にかかるガスセンサカートリッジの構成を示す模式的断面図であって、(A)は図1において左右方向に沿って水平に切った断面図であり、(B)は図1において左右方向に沿って垂直に切った断面図である。 本実施形態にかかるガスセンサカートリッジの構成を示す模式的斜視図である。 本実施形態にかかるガスセンサの構成を示す模式図である。 (A)、(B)は、本実施形態にかかるガスセンサカートリッジの構成を示す模式的断面図であって、(A)は図4において左右方向に沿って水平に切った断面図であり、(B)は図4において左右方向に沿って垂直に切った断面図である。 (A)、(B)は、本実施形態にかかるガスセンサカートリッジの構成を示す模式的断面図であって、(A)は第1封止部材及び第2封止部材によって吸気口及び排気口が閉じられた状態を示しており、(B)は第1封止部材及び第2封止部材が移動して吸気口及び排気口が開けられた状態を示している。 (A)、(B)は、本実施形態にかかるガスセンサカートリッジ及びガスセンサ本体に設けられるガスセンサソケットの構成を示す模式的断面図であって、(A)はガスセンサカートリッジをガスセンサソケットに挿入する前の状態を示しており、(B)はガスセンサカートリッジをガスセンサソケットに挿入した後の状態を示している。 本実施形態にかかるガスセンサカートリッジの構成及びガスセンサ本体に設けられる光源を示す模式的断面図である。 本実施形態にかかるガスセンサカートリッジとガスセンサ本体に設けられる光源の位置がずれた状態を示す模式的断面図である。 本実施形態にかかるガスセンサカートリッジの構成及びガスセンサ本体に設けられる光源を示す模式的断面図である。 本実施形態にかかるガスセンサカートリッジの構成及びガスセンサ本体に設けられる光源を示す模式的断面図である。 本実施形態にかかるガスセンサカートリッジ及びこれに取り付けられた光源の構成を示す模式的断面図である。 本実施形態にかかるガスセンサカートリッジ及びこれに取り付けられた光源の構成を示す模式的断面図である。 本実施形態にかかるガスセンサカートリッジ及びこれに取り付けられた光源の構成を示す模式的断面図である。 本実施形態にかかるガスセンサカートリッジ及びその内部に備えられる光源の構成を示す模式的断面図である。 本実施形態にかかるガスセンサカートリッジ及びその内部に備えられる光源の構成を示す模式的断面図である。 本実施形態にかかるガスセンサカートリッジ及びその内部に備えられる光源の構成を示す模式的断面図である。 本実施形態にかかるガスセンサカートリッジ及びその内部に備えられる光源の構成を示す模式的断面図である。 本実施形態にかかるガスセンサカートリッジ及びその内部に備えられる光源の構成を示す模式的断面図である。 本実施形態にかかるガスセンサカートリッジ及びその内部に備えられるガス吸着部材の構成を示す模式的断面図である。 本実施形態にかかるガスセンサカートリッジ及びその内部に備えられる不揮発性メモリ素子の構成を示す模式的断面図である。 本実施形態にかかるガスセンサカートリッジに備えられるガスセンサデバイスに用いられる光触媒性を有する臭化第一銅(CuBr)膜を示す模式図である。 (A)、(B)は、本実施形態にかかるガスセンサカートリッジに備えられるガスセンサデバイスに用いられる光触媒性を有するCuBr膜についてJIS R 1701−2試験による光触媒性の確認を行なった結果を示す図である。 (A)、(B)は、本実施形態にかかるガスセンサカートリッジに備えられるガスセンサデバイスに用いられる光触媒性を有するCuBr膜について近紫外光を照射していない場合と照射した場合の表面のXPS分析を行なった結果を示す図である。 本実施形態にかかるガスセンサカートリッジに備えられるガスセンサデバイスに用いられる光触媒性を有するCuBrによるNHの分解の例を示す図である。 光源を備えない従来のガスセンサにおけるガス応答時及び回復時のセンサ抵抗の変化の一例を示す図である。 ガスセンサにおけるガス応答時及び回復時における感応膜に対するガス分子の吸着、脱離を示す図である。 本実施形態にかかるガスセンサの構成を示す模式図である。 本実施形態にかかるガスセンサにおけるガス応答時及び回復時のセンサ抵抗の変化の一例を示す図である。 本実施形態にかかるガスセンサを用いて実際にガス濃度の測定を行なった結果を示す図である。 本実施形態にかかるガスセンサにおいてCuBrからなる感応膜に紫外線を照射することで応答特性が回復することを示す図である。 本実施形態にかかるガスセンサの構成を示す図である。 本実施形態にかかるガスセンサのガス濃度測定シーケンスを示す図である。 本実施形態にかかるガスセンサのガス濃度測定シーケンスにおける処理を説明するためのフローチャートである。 本実施形態にかかるガスセンサにおけるガス濃度の測定及び回復時の制御を説明するための図である。 本実施形態にかかるガスセンサにおいてガス濃度測定シーケンスに沿ってガス濃度を測定した場合のセンサ抵抗の時間的変化の一例を示す図である。 本実施形態にかかるガスセンサを適用した呼気センサと端末とによって構成されるシステムの構成を示す図である。
以下、図面により、本発明の実施の形態にかかるガスセンサ及びガスセンサカートリッジについて、図1〜図38を参照しながら説明する。
本実施形態にかかるガスセンサは、例えば、ヒトや動物などの体や排泄物から放出される生体ガス(例えば呼気、体臭、尿、屁、便)の成分を特定するガスセンサ(医療・ヘルスケア向けガスセンサ)として用いられる。
なお、ガスセンサを、ガス濃度分析装置、ガス濃度測定装置、ガス濃度測定システム、ガスセンサシステム又は測定装置ともいう。
本実施形態では、図2に示すように、ガスセンサ5は、ガスセンサカートリッジ1と、ガスセンサカートリッジ1が着脱可能に装着されるガスセンサ本体20とを備える。
ここで、ガスセンサ本体20は、例えば、インレット21と、インレット21に接続されたガス供給側配管12と、ガス供給側配管12に設けられたフィルタ14と、アウトレット22と、アウトレット22に接続された排気側配管15と、排気側配管15に設けられたポンプ16(又はファン)と、例えばマイコンなどの制御部17と、例えば無線部などの通信部(伝送部)19と、例えばバッテリなどの電源23とを備える。
なお、ガスセンサ本体20は、設定値、検出値、測定値などを表示する表示部を備えていても良い。
ガスセンサカートリッジ1は、図1に示すように、吸気口24及び排気口25を有し、ガスセンサチャンバ18となるケース26と、ケース26内に設けられたガスセンサデバイス6と、ケース26に設けられ、ガスセンサデバイス6に接続された外部接続端子27とを備える。
なお、ガスセンサチャンバ18をガス測定チャンバ又はセンサチャンバともいう。また、ケース26は、例えば、金属、不活性な樹脂などによって構成すれば良い。また、ガスセンサカートリッジ1を交換カートリッジともいう。また、ケース26を筐体ともいう。また、外部接続端子27を外部引き出し端子又は電極ともいう。
そして、図2に示すように、ガスセンサカートリッジ1をガスセンサ本体20に装着すると、ガスセンサ本体20のインレット21とアウトレット22との間にガスセンサカートリッジ1が設けられ、ガスセンサカートリッジ1のケース26がガスセンサチャンバ18(例えば図33参照)として機能することになる。
また、インレット21とアウトレット22には逆止弁(図示せず)が設けられている。
また、測定対象ガスはインレット21からガスセンサカートリッジ1のケース26(チャンバ18)に導入される。
また、清浄空気を導入する場合には、インレット21からフィルタ14を介してガスセンサカートリッジ1のケース26(チャンバ18)に導入される。
なお、ここでは、ガス供給側配管12に電磁弁13が設けられており(例えば図33参照)、フィルタ14を介した経路とフィルタ14を介さない経路とを切り替えることができるようになっている。
また、ポンプ(送風ポンプ)16を稼動させると、ガスセンサカートリッジ1のケース26内(チャンバ18内)の内圧が上昇し、インレット21からのガスの流入を遮断しつつ、ガスセンサカートリッジ1のケース26内(チャンバ18内)のガスを排出させることができる。
また、ガスセンサカートリッジ1に備えられる外部接続端子27が、ガスセンサ本体20に備えられる制御部17(例えば電気回路)に電気的に接続される。
例えば、制御部17を、例えばADコンバータなどを含むインピーダンス測定回路と、演算回路としてのMPU(microprocessor unit)及びメモリを含むマイコンとを備えるものとすれば良い。なお、インピーダンス測定回路を抵抗測定部又は計測部ともいう。
そして、ガスセンサカートリッジ1の外部接続端子27を、制御部17を構成するインピーダンス測定回路に接続し、インピーダンス測定回路をMPUに接続し、MPUで例えばガス濃度を求めるなどの各種演算を行なわれ、メモリにデータが蓄積され、無線部19としての送受信機によってデータの送受信が行なわれるようにすれば良い。
ところで、本実施形態では、ガスセンサカートリッジ1をガスセンサ本体20に装着する際に、ケース26の吸気口24に、ガスセンサ本体20に備えられるガス供給側配管12が接続され、ケース26の排気口25に、ガスセンサ本体20に備えられる排気側配管15が接続される。
また、図3(A)、図3(B)に示すように、ガスセンサカートリッジ1は、吸気口24を封止する第1封止部材28、及び、排気口25を封止する第2封止部材29も備える。
ここで、第1封止部材28は、ガスセンサ本体20に装着した際に吸気口24が開口するように吸気口24を封止する。また、第2封止部材29は、ガスセンサ本体20に装着した際に排気口25が開口するように排気口25を封止する。これにより、ガスセンサデバイス6の周囲は密閉される。
なお、ガスセンサデバイス6は、基板11上に設けられ、第1電極7と、第2電極8と、第1電極7と第2電極8とを接続する感応膜(感ガス材からなる膜)9とを備える(例えば図29参照)。なお、図3(A)、図3(B)では、第1電極7及び第2電極8は図示を省略している。
ところで、ガスセンサ5を、例えば光を照射して浄化する浄化機構などを構成する光照射機構を備えるものとする場合には、ガスセンサ本体20又はガスセンサカートリッジ1に光源を設けることになる。なお、光源を光源素子ともいう。
この場合、例えば、図4〜図6に示すように、ガスセンサ本体20に光源10を設け、ガスセンサカートリッジ1(ここではケース26)を、光学窓30を備えるものとすれば良い。
そして、ガスセンサカートリッジ1をガスセンサ本体20に装着する際に、ガスセンサ本体20に設けられた光源10とガスセンサカートリッジ1に設けられた光学窓30の位置が合うようにし、光源10からの光が光学窓30を通してガスセンサデバイス6に照射されるようにすれば良い。
また、ガスセンサデバイス6に紫外線を含む光を照射する場合には、光学窓30は、紫外線を含む光に透過性を有するものとする。
この場合、光源10には、例えばUV−LEDを用いれば良い。また、光学窓30には、例えば、石英ガラス、BK9、パイレックス(登録商標)ガラスなどのガラス部材のほか、透明なアクリルやポリカーボネートなどを用いることもできる。
この場合、例えば、図6(A)、図6(B)に示すように、光学窓30は、ケース26のガスセンサデバイス6が設けられている側の反対側に設ければ良い。
ところで、第1封止部材28は、吸気口24を開閉しうる第1可動弁31[例えば図7(A)、図7(B)参照]又はガスセンサ本体20に装着した際に破れる第1保護膜である。また、第2封止部材29は、排気口25を開閉しうる第2可動弁32[例えば図7(A)、図7(B)参照]又はガスセンサ本体20に装着した際に破れる第2保護膜である。
ここで、第1封止部材28及び第2封止部材29をそれぞれ第1可動弁31及び第2可動弁32とする場合31[例えば図7(A)、図7(B)参照]、第1可動弁31及び第2可動弁32は、例えば機械的に可動な弁とすれば良い。
なお、図7(A)、図7(B)では、ガセセンサカートリッジ1が光学窓30を備える場合を例に挙げて説明しているが、光学窓を備えない場合であっても同様に構成することができる。
例えば、図7(A)に示すように、第1可動弁31と第2可動弁32をシャフト33で連結して一体とした弁部材34を用意し、ケース26の吸気口24の周囲に第1可動弁31の外周部分が当接して第1可動弁31で吸気口24が封止されるとともに、ケース26の排気口25の周囲に第2可動弁32の外周部分が当接して第2可動弁32で排気口25が封止されるように、弁部材34をケース26内に設ければ良い。
また、例えば、少なくとも第2可動弁32を金属製とし、例えばケース26の排気口25の周囲にマグネット35を設け、第2可動弁32がマグネット35にくっつくことで、第1可動弁31で吸気口24が封止され、かつ、第2可動弁32で排気口25が封止された状態が保持されるようにすれば良い。
そして、ガスセンサカートリッジ1をガスセンサ本体20に装着する際に、図7(B)に示すように、ガスセンサ本体20側に設けられたガス供給側配管12(例えばチューブ)で第1可動弁31が押されることで、弁部材34が移動し、第1可動弁31の外周部分がケース26の吸気口24の周囲から離れて吸気口24が開けられるとともに、第2可動弁32の外周部分がケース26の排気口25の周囲に設けられているマグネット35から離れて排気口25が開けられるようにすれば良い。
一方、ガスセンサカートリッジ1をガスセンサ本体20から取り外す際に、ガスセンサ本体20側に設けられたガス供給側配管12(例えばチューブ)が第1可動弁31から離れると、再び、第2可動弁32がケース26の排気口25の周囲に設けられたマグネット35にくっつくことで、第1可動弁31で吸気口24が封止され、かつ、第2可動弁32で排気口25が封止された状態に戻るようにすれば良い。
このように構成することでガスセンサカートリッジ1をガスセンサ本体20から着脱して、繰り返し使用することが可能となる。
なお、このような構成に限られるものではなく、例えば、少なくとも第1可動弁31を金属製とし、ケース26の吸気口24の周囲にマグネットを設けても良い。また、例えば、弁部材34の全体を金属製としても良いし、部分的に金属製としても良い。また、ガスセンサカートリッジ1をガスセンサ本体20に装着する際に、ガスセンサ本体20側に設けられた排気側配管15(例えばチューブ)で第2可動弁32が押されるようにしても良い。また、例えば、マグネット35の代わりにバネなどを用いても良い。この場合、弁部材34の材料は金属製でなくても良く、例えば測定対象ガスに不活性な樹脂などを用いても良い。
また、光源10と光学窓30との位置合わせを正確に行なえるようにするために、例えば図8(A)、図8(B)に示すように、ガスセンサ本体20に、ガスセンサカートリッジ1を挿入することができるガスセンサソケット36を設け、このガスセンサソケット36に光源10を設けておくことが好ましい。
この場合、ガスセンサソケット36にガスセンサカートリッジ1を挿入するだけで、光源10と光学窓30との位置合わせが正確に行なえるとともに、吸気口24及び排気口25も開けられることになるため、ガスセンサカートリッジ1の着脱が容易になる。
なお、ガスセンサ本体20に光源10を設けるのに代えて、ガスセンサカートリッジ1を、光学窓30の外側に取り付けられた光源10を備えるものとしても良い。つまり、ガスセンサカートリッジ1を、その外側に光源10が取り付けられているものとしても良い。
また、第1封止部材28及び第2封止部材29をそれぞれ第1保護膜及び第2保護膜とする場合、第1保護膜及び第2保護膜は、例えばアルミフィルムなどのフィルムによって構成すれば良い。
例えば、ケース26の吸気口24の周囲に第1保護膜としての第1フィルムを貼り付けて、この第1フィルムで吸気口24が封止されるとともに、ケース26の排気口25の周囲に第2保護膜としての第2フィルムを貼り付けて、この第2フィルムで排気口25が封止されるようにすれば良い。
そして、ガスセンサカートリッジ1をガスセンサ本体20に装着する際に、ガスセンサ本体20側に設けられたガス供給側配管12(例えばチューブ)で第1フィルムが破られることで、吸気口24が開けられるとともに、ガスセンサ本体20側に設けられた排気側配管15(例えばチューブ)で第2フィルムが破られることで、排気口25が開けられるようにすれば良い。
このように、ガスセンサカートリッジ1がガスセンサ本体20に装着されるまでは、ガスセンサデバイス6が設けられているケース26内は第1封止部材28及び第2封止部材29によって封止された状態になっている。
そして、ガスセンサカートリッジ1をガスセンサ本体20に装着する際に、ケース26の吸気口24に、ガスセンサ本体20に備えられるガス供給側配管12が接続され、ケース26の排気口25に、ガスセンサ本体20に備えられる排気側配管15が接続され、ケース26がそのままガスセンサチャンバ18として機能することになる(例えば図33参照)。
つまり、ここでは、ガスセンサ5に備えられるガスセンサチャンバ18を、ガスセンサカートリッジ1としている。
この場合、ケース26の内部が測定室となり、吸気口24と排気口25との間に測定室が接続され、測定室にガスセンサデバイス6が配置されていることになる。
このように、ガスセンサデバイス6が外気に触れることなく、交換できる構造となっているため、ガスセンサデバイス6の特性が変動してしまうのを防止することができる。
ところで、ガスセンサカートリッジ1をガスセンサ本体20に装着する際に、ガスセンサ本体20に設けられた光源10とガスセンサカートリッジ1に設けられた光学窓30の位置が合っていれば、例えば図9に示すように、光源10からの光が光学窓30を通してガスセンサデバイス6に照射されることになる。
しかしながら、ガスセンサカートリッジ1をガスセンサ本体20に装着する際に、ガスセンサ本体20に設けられた光源10とガスセンサカートリッジ1に設けられた光学窓30の位置がずれてしまうと、例えば図10に示すように、光源10からの光が光学窓30を通してガスセンサデバイス6に照射されにくくなることが考えられる。
この場合、例えば、図11、図12に示すように、光学窓30の内側表面又は光学窓30とガスセンサデバイス6との間に設けられた集光レンズ37(例えば凸レンズ、フレネルレンズ等のレンズ)又は光導波部材38を備えるものとしても良い。
なお、これらの材料には、例えば、石英ガラス、BK9、パイレックス(登録商標)ガラスなどのガラス部材のほか、透明なアクリルやポリカーボネートなどを用いることもできる。
これにより、ガスセンサカートリッジ1をガスセンサ本体20に装着した場合にガスセンサカートリッジ1の位置がずれていても、光源10からの光をガスセンサデバイス6に確実に照射することが可能となる。
また、光学窓30とガスセンサデバイス1との間の空間に集光レンズ(レンズ)37や光導波部材38を設けることで、ガスセンサデバイス1に測定対象ガスがより当たるようにすることができ、あるいは、測定対象ガスの流速を上げることができ、これにより、効率的な測定が可能になる。
例えば、図11に示すように、光学窓30の内側表面に集光レンズ(レンズ)37を設けても良い。つまり、光学窓30の内側表面に集光レンズ37が一体形成されたものを用いても良い。この場合、集光レンズ37の部分を集光レンズ部位ともいう。
また、光学窓30とガスセンサデバイス6との間に、即ち、光学窓30の表面とガスセンサデバイス6の表面との間の空間に、光学窓30とは別に、集光レンズ(レンズ)37を設けても良い。
また、例えば、図12に示すように、光学窓30の内側表面に光導波部材38を設けても良い。つまり、光学窓30の内側表面に光導波部材38が一体形成されたものを用いても良い。この場合、光導波部材38の部分を光導波部位ともいう。
また、光学窓30とガスセンサデバイス6との間に、即ち、光学窓30の表面とガスセンサデバイス6の表面との間の空間に、光学窓30とは別に、光導波部材38を設けても良い。
なお、図11、図12に示すような構成において、ガスセンサ本体20に光源10を設けるのに代えて、ガスセンサカートリッジ1を、光学窓30の外側に取り付けられた光源10を備えるものとしても良い。つまり、ガスセンサカートリッジ1を、その外側に光源10が取り付けられているものとしても良い。
また、光学窓30とガスセンサデバイス6との間に、例えばバンドパスフィルタ(BPF)を設け、光源10からの光がバンドパスフィルタを介してガスセンサデバイス6へ照射されるようにすることで、ガスセンサデバイス6に必要な波長の光だけが照射されるようにしても良い。
なお、これに限られるものではなく、例えば図13に示すように、光学窓30を、ケース26のガスセンサデバイス6が設けられている側に設けても良い。
そして、ケース26のガスセンサデバイス6が設けられている側の反対側に、光学窓30から入射した光をガスセンサデバイス6へ向けて反射させる反射ミラー39を備えるものとしても良い。
このように構成する場合も、例えば図14に示すように、光学窓30からガスセンサデバイス6までの光路上に設けられた集光レンズ(レンズ)40又は光導波部材を備えるものとしても良い。
また、図13、図14に示すように、ガスセンサカートリッジ1を、光学窓30の外側に取り付けられた光源10を備えるものとしても良い。このように、ガスセンサカートリッジ1を、その外側に光源10が取り付けられているものとしても良い。なお、これに限られるものではなく、ガスセンサ本体20に光源10を設けるようにしても良い。
また、例えば図15に示すように、光学窓30を、ケース26のガスセンサデバイス6が設けられている底部に直交する側部に設けても良い。そして、ケース26のガスセンサデバイス6が設けられている側の反対側に、光学窓30から入射した光をガスセンサデバイス6へ向けて反射させる反射ミラー41を備えるものとしても良い。
このように構成する場合も、光学窓30からガスセンサデバイス6までの光路上に設けられた集光レンズ又は光導波部材を備えるものとしても良い。
また、ガスセンサカートリッジ1を、光学窓30の外側に取り付けられた光源10を備えるものとしても良い。このように、ガスセンサカートリッジ1を、その外側に光源10が取り付けられているものとしても良い。なお、これに限られるものではなく、ガスセンサ本体20に光源10を設けるようにしても良い。
ところで、上述の実施形態では、ガスセンサ本体20に光源10を設け、ガスセンサカートリッジ1のケース26を、光学窓30を備えるものとしているが、これに限られるものではなく、例えば図16〜図20に示すように、ガスセンサカートリッジ1を、ケース26内に設けられた光源10を備えるものとしても良い。このように、ガスセンサカートリッジ1の内部に光源10が設けられているものとしても良い。
このように構成する場合、ガスセンサカートリッジ1(ここではケース26)は、光学窓30を備えないものとすれば良い。
要するに、ガスセンサカートリッジ1(ここではケース26)は、光学窓30又は光源10を備えるものとすれば良い。
この場合、例えば、図16に示すように、光源10は、ケース26のガスセンサデバイス6が設けられている側の反対側に設けられているものとすれば良い。
また、例えば、図17に示すように、光源10とガスセンサデバイス6との間に設けられた集光レンズ(レンズ)40又は光導波部材を備えるものとしても良い。
また、例えば、図18に示すように、光源10を、ケース26のガスセンサデバイス6が設けられている側に設けても良い。
そして、ケース26のガスセンサデバイス6が設けられている側の反対側に、光源10からの光をガスセンサデバイス6へ向けて反射させる反射ミラー39を備えるものとしても良い。
また、例えば、図19に示すように、光源10からガスセンサデバイス6までの光路上に設けられた集光レンズ(レンズ)40又は光導波部材を備えるものとしても良い。
また、例えば、図20に示すように、光源10を、ケース26のガスセンサデバイス6が設けられている底部に直交する側部に設けても良い。
そして、ケース26のガスセンサデバイス6が設けられている側の反対側に、光源10からの光をガスセンサデバイス6へ向けて反射させる反射ミラー41を備えるものとしても良い。
このように構成する場合も、光源10からガスセンサデバイス6までの光路上に設けられた集光レンズ又は光導波部材を備えるものとしても良い。
ところで、例えば図21に示すように、ガスセンサカートリッジ1は、ケース26内に設けられたガス吸着部材42を備えるものとするのが好ましい。
ここでは、ガス吸着部材42としては、ガスを吸着しうる、例えばゼオライト、シリカゲルなどの吸湿剤を設ければ良い。
これにより、ケース26内のガスを吸着することができ、ガスセンサデバイス6の劣化を抑制することが可能となる。
なお、図21では、上述の図6(B)に示す構成においてガス吸着部材42を設ける場合を例に挙げて示しているが、これに限られるものではなく、上述の他の構成(例えば図3(B)、図7(A)、図8(A)、図11〜図20参照)においても、同様に、ガス吸着部材42を設けるのが好ましい。
また、例えば図22に示すように、ケース26に設けられ、かつ、外部接続端子27に接続され、ガスセンサデバイス6の特性が記録されている不揮発性メモリ素子43を備えるものとするのが好ましい。
例えば、ケース26内に設けられるガスセンサデバイス6を構成する基板上に、ガスセンサデバイス6の特性が記録されている不揮発性メモリ素子43を搭載し、これを外部接続端子27に接続すれば良い。
この場合、例えば、不揮発性メモリ素子43に、例えば、ガスセンサデバイス6の基本特性、ガスセンサデバイス6の応答の大きさをガス濃度に変換するための変換式、ガス濃度測定シーケンスなどの情報を格納しておき、ガスセンサデバイス6を交換するたびに、これらを読み出して、ガスセンサ本体20に備えられる制御部17における設定を再設定するようにしても良い。
また、例えば、不揮発性メモリ素子43に、外部接続端子27を通して、例えばガスセンサ5の使用回数が記録されるようにすることで、交換時期などを判断するのに用いても良い。例えば、ガスセンサ5の使用回数に応じて交換時期を通知するようにすることで、利便性を向上させることができる。
ところで、上述のように構成されるガスセンサカートリッジ1に備えられるガスセンサデバイス6は、Sn、W、Zn、Inの少なくとも一つを主材料とする酸化物からなる感ガス材、Cを主材料とする半導体からなる感ガス材、Cu又はAgを主材料とするハロゲン化合物又は酸化物からなる感ガス材の少なくとも一つを備えるものとすれば良い。
このような感ガス材を用いることで、例えば、アンモニア、水素、アセトン、エタノール、アセトアルデヒト、硫化水素、一酸化炭素のうちいずれかを含むガス種を検出し、その濃度を測定することが可能となる。
このうち、Sn、W、Zn、Inの少なくとも一つを主材料とする酸化物からなる感ガス材、又は、Cを主材料とする半導体からなる感ガス材(第1の感ガス材)を用いる場合、感ガス材を、少なくとも一対の離間した金属電極の間に設けるとともに、感ガス材が絶縁層を介してヒータに接するように構成すれば良い。
第1の感ガス材の一例としては、酸化スズがある。
ヒータでガス分子と酸素を熱し、感ガス材への活性酸素の吸着量を半導体材料の抵抗変化で検出する。
主体とする金属の種類の選択、ガス触媒作用を持つ貴金属を含有させる、ヒータの加熱量を調整するなどの方法で、選択性(ガス種による応答の強さの差)を持たせることができる。
貴金属であるパラジウムや白金、アルミニウム、鉛等の添加金属を含有させることで、ガス種間の選択比を出すことができる。
例えば、アセトンやエタノールに対して検出対象ガスの感度は一般的には0.1倍から10倍程度であるが、それ以上であることが望ましい。
また、特にVOC(揮発性有機化合物)に対して感度差をつけるために、感ガス材に積層されるように有機薄膜を形成しても良い。
この場合、相対的に感度を低下させるため、なるべく薄く形成するようにすることが望ましい。
例えば、酸化物(ここでは酸化スズ)の表面に金粒子を塗布し、高分子ガスに晒すことによって単分子層を形成しても良い。例えば、アミン系、チオール系、シラン系のカップリング材を用いると良い。
この場合、ガスセンサ5(金属酸化物半導体センサ)に備えられるガスセンサデバイス6は、例えば酸化スズなどの第1の感ガス材、ヒータ及び検知電極を含む構成を有し、ヒータと検知電極との間の抵抗値に基づいてガス濃度を検知する半導体ガスセンサが一例である。
このようなガスセンサ5では、検知対象とするガスの種類に応じた最適検知温度が存在し、ガス検知を行なうガス濃度測定時には金属酸化物半導体センサ(ガスセンサデバイス)を最適検知温度とする。
または、最適検知温度を含む検知温度範囲内の検知温度に加熱して使用する。
一方、金属酸化物半導体センサ(ガスセンサデバイス)のクリーニング時には、金属酸化物半導体センサを、ガス検知を行なう検知温度よりも高いクリーニング温度まで加熱することで、金属酸化物半導体センサの表面に吸着した汚染物質を熱によって脱着する。
また、Cu又はAgを主材料とするハロゲン化合物又は酸化物からなる感ガス材(第2の感ガス材)を用いる場合、感ガス材を、少なくとも一対の離間した金属電極の間に設ければ良い。
第2の感ガス材の一例としては、p型半導体である臭化銅(I)(CuBr)がある。
アンモニアの窒素原子は、銅イオンとの間に配位結合を形成可能であるため、CuBr表面にアミノ基を向けた状態で、強く吸着する性質を有している。
この場合、ガス分子の吸着を利用するため、ヒータによる加熱は必須ではない。しかし、ヒータを用いて、吸着時は低温に、離脱時は高温にすることで、感度や応答性を向上させることができる。
また、特にVOCに対して感度差をつけるために、感ガス材に積層されるように有機薄膜を形成しても良い。
この場合、相対的に感度を低下させるため、なるべく薄く形成するようにすることが望ましい。
例えば、CuBrの表面に金粒子を塗布し、高分子ガスに晒すことによって単分子層を形成しても良い。例えば、アミン系、チオール系、シラン系のカップリング材を用いると良い。
なお、複数の感ガス材を任意に組み合わせて用いても良い。例えば、同一基板上に、上述の第1の感ガス材を設け、それに並べて、上述の第2の感ガス材を設けても良い。
ところで、上述のような構成を採用しているのは、以下の理由による。
ますます加速していく高齢化社会に際し、国民の医療費の総額は年々増加傾向にあり、平成27年度厚生労働省統計によれば平成25年度には40兆円を突破し社会問題となっている。
疾病別では高血圧や糖尿病、がんといった生活習慣に起因した疾病の割合が上位を占めており、生活習慣病の早期発見の必要性が高まっている。
このような背景で、生体ガスから、からだの状態の指標を検査する呼気分析やそれによる診断方法の研究が行われている。
ヒトや動物の息には肺で血液中の化学物質が気化し放出されたごく低濃度のガスが含まれている。この中には、生体活動や病気と密接に関わっているものがある。
例えば、ヒトの息に含まれるアンモニアガスは、肝臓の代謝や、胃がんの危険因子であるピロリ菌感染との相関があるといわれている。また、アルデヒド類であるノナナールは肺がんマーカー物質の候補とされている物質である。
呼気分析はこれらのガスを分析することで、息を吹くだけで体の拘束や採血の苦痛のない手軽な手段で、生活習慣の改善や病気の早期発見のためのスクリーニングに有効な特定物質の検出をめざしたものである。
しかしながら、生体ガスには非常に多種類(一説には200種類以上)の揮発性ガスが含まれている。生体ガスの多くは還元性ガスあるいは有機分子(炭化水素)であり、化学的性質が似ているものである。
このようなガスの成分を分析する方法には、大きく分けて2種類の方法があった。
一つは、ガスクロマトグラフィに代表される大掛かりな分析装置を使用して、特定のガス種を狙った測定を行う方法である。
この方法では、ガスの成分を詳しく分析できるが、専門家の操作を要し、結果が得られるまで数時間以上がかかるうえに、高価、大型な装置であった。以上から検査の負担が大きいため研究目的の使用が主体であった。
もう一つは、多数のガスセンサデバイスを集積した機器で、ガスによるセンサデバイスの応答パターンの違いを解析する方法である。
この方法では、分析結果が出るまでの時間は早く、持ち運び可能で、手軽に使用できるが、ガスセンサデバイスの感度差が小さく特定のガスと他のガスと区別が難しく、からだの状態の指標を検査する呼気分析としては十分とは言えないものであった。
従来のガスセンサの多くは、酸化スズを材料のベースとしている。ヒータでガス分子と酸素を熱し、感ガス材への活性酸素の吸着量を半導体材料の抵抗変化で検出している。
この場合、主体とする金属の種類の選択、ガス触媒作用を持つ貴金属を含有させる、ヒータの加熱量を調整するなどの方法で、選択性(ガス種による応答の強さの差)を持たせている。
しかしながら、いずれにしてもガスセンサは半導体表面での化学反応に伴うため、特性変化・劣化寿命が短い(例えば半年〜2年)のが一般的であり、ガス濃度測定システムとして使用する際には、ガスセンサデバイスを含むセンサ部を交換する方式を採用する場合が多い。
交換用のセンサ部は、通常、気密保管していることが多いが、基本的に開放系であるため、例えば保管状況や使用状況によって、ガスセンサデバイスの特性が変動してしまう。
このため、初期値を記憶しておいてもガスセンサデバイスの特性の変動によって誤差が大きくなることは避けられない。
また、交換時に専門家による校正を行なうことも多く、ユーザにとっては、校正、代替などの費用面の負担が大きく、ガスセンサシステムの普及を阻害している。
そこで、上述のような構成を採用している。
したがって、本実施形態にかかるガスセンサ及びガスセンサカートリッジは、センサデバイス6の特性(例えば初期特性)が変動してしまうのを防止できるという効果を有する。
例えば、ガスセンサデバイス6が気密性かつ設定値を組み込んだガスセンサカートリッジ1に内蔵されており、交換部品の劣化を抑えることができる。
また、その後の調整も不要で、専門家でなくてもユーザが簡単かつ平易に交換が可能である。このため、ユーザコストを低減することができる。
また、上述のように、ガスセンサカートリッジ1をガスセンサ本体20から取り外すと、ガスセンサカートリッジ1の吸気口24及び排気口25は第1封止部材28及び第2封止部材29によって再び封止される。このため、従来のような劣化したり、寿命がきたりしたら交換するという使い方だけでなく、何度も着脱して使うという使い方も可能となる。
ところで、上述のように構成されるガスセンサ5において、ガスセンサデバイス6に備えられる感応膜9(感ガス材)に、光触媒性を持つCuBrを用いて、アンモニアの濃度を測定するガスセンサ5を構成するのが好ましい。
ここで、光触媒性を持つCuBrは、臭化第一銅(CuBr)からなり、CuBrが光の照射でCuBrに接する物質を分解する光触媒性を示す光触媒である。この場合、光触媒材料はCuBrである。
ここで、CuBrは、1価の銅と1価の臭素とから構成されるイオン結晶で主に(111)配向した成分を少なくとも含む多結晶体である。
これは、以下に説明するように、CuBrが光触媒性を有することを発見したことに基づくものであり、CuBrからなる光触媒は新しい光触媒であり、CuBrは新しい光触媒材料である。
光触媒性発現のメカニズムは、次のように考えられる。
価電子帯と伝導帯のバンドギャップに相当する波長の光エネルギをそれが吸収すると、励起によって価電子帯の電子が伝導帯に移り、価電子帯に正孔が発生する。
伝導帯では物質の表面になんらかの物質(例えば有機物)が吸着しているとして、それに移ってきた電子が表面の有機物に移動して、それを還元し、また、価電子帯では、そこに発生した正孔が電子を奪い取り、有機物の酸化を行なう。
特に、酸化チタンは価電子帯の正孔が非常に強い酸化力を有するため、有機物を最終的に水と二酸化炭素にまで分解する。
つまり、照射する光(例えば紫外光)のエネルギに相当するバンドギャップを持ち、生成した電子・正孔の寿命が長く、かつ、強い酸化還元力を持った材料が光触媒材料となる。
本発明者は、以下のようにして、CuBrが光触媒性を持つことを確認した。
本発明者は、CuBrの光触媒性を、他の実験中に紫外線照射時のみセンサ抵抗が下降することから発見した。
そこで、あらためて以下の方法で光触媒活性の評価を行ない、CuBrが光触媒性を持つことを確認した。
まず、光触媒性を発現させるための光(紫外光)の波長を次のように求めた。
CuBrのバンドギャップはEg=3.1eVであるため(例えばK.V. Rajani, S.Daniels, M.Rahman, A.Cowley, P.J. McNally, “Deposition of earth-abundant p-type CuBr films with high hole conductivity and realization of p-CuBr/n-Si heterojunction solar cell”, Materials Letter, 111, (2013), 63-66参照)、これを、以下の式(1)に代入して、波長を求めると、λ=405nmとなる。
Figure 0006947303
このため、CuBrは、405nmの波長を含む光(紫外光;近紫外光)を照射することで、光触媒性を発現することができる。
このことから、以下の評価では、波長405nmの成分を含む光源を使用すれば良いことがわかった。
まず、JIS R 1701−2による評価、即ち、JIS R 1701−2試験による光触媒性の確認を行なった。
密封デシケータ内に、図23に示すように、SiO膜を有するSi基板2上に、CuBr結晶粒3からなるCuBr膜(CuBr薄膜)4を蒸着した試料を設置した後、アセトアルデヒド(CHCHO)蒸気を気相濃度が約10000ppmになるまで導入し、約1時間程度放置した。
この間、デシケータ内に外光が入らないように遮蔽している。
次いで、デシケータの上方から、図23に示すように、光量約3mW/cm、中心波長約360nmの紫外光を約4時間にわたって照射(UV照射)し、デシケータ中におけるアセトアルデヒドガス及びその分解によって発生した炭酸ガス(CO)の濃度をガスクロマトグラフィにより測定した。
ここで、図24(A)、図24(B)は、これらの結果を示している。
図24(A)に示すように、紫外光照射開始後、アセトアルデヒドガスの濃度が急激に減少し、約4時間後には1/4程度になっていることが分かる。
一方、図24(B)に示すように、二酸化炭素は紫外線照射と同時に急激に増加していることが分かる。
これは、密閉デシケータ内に充填したアセトアルデヒドが分解して二酸化炭素になっていることを示している。
これにより、確かにCuBrは光触媒性を持っていることを確認することができた。
なお、UV照射前のdark期間中にアセトアルデヒドガス濃度が若干減少しているのは、チャンバ内壁に吸着したことによるものと考えられる。
次に、表面分析による評価、即ち、近紫外光を照射していない場合と照射した場合のCuBr膜4の表面のXPS分析を行なった。
触媒性を保証するには、反応の前後でその材料自身は変化しないということが必要である。
つまり、光触媒性を確認するには、紫外光照射前と照射後とを比較して、CuBr膜4の組成が変化しないことを確認する必要がある。
紫外光照射(近紫外光照射)によるCuBr膜4の表面の変化を確認するため、CuBr薄膜4にLED紫外光(中心波長405nm)を約10sec×11回照射したサンプル(#75C3)と照射していないサンプル(#75D3)の表面を、それぞれ、XPSによって分析し、組成を比較した。
ここで、図25(A)、図25(B)は、その結果を示している。
なお、図25(A)、図25(B)中、右上に定量分析結果を示している。
図25(A)、図25(B)に示すように、紫外光を照射したサンプルと照射していないサンプルにおいて検出された元素はC、N、O、Cu、Brでこれ以外の元素は検出されなかった。それぞれの組成比は紫外光照射前と後とでは違いはなかった。
このため、紫外光照射前後でCuBr膜4の表面の組成は変化していないものと考えられ、確かにCuBrは触媒としての働きをしていることを確認することができた。
このように、上述の2種類の評価によって、CuBrは光触媒性を持つことを確認することができた。
CuBrの光触媒活性の発現に必要な光は、約410nm以下の波長を含む光であれば特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。
つまり、紫外線を含む光(紫外光)を照射することで、好ましくは近紫外線を含む光(近紫外光)を照射することで、CuBrの光触媒性を発現させることができる。
ここでは、紫外線は、約10nm〜約410nmの波長を持つ光であり、近紫外線は、約320nm〜約410nmの波長を持つ光である。
光源のコスト等を考慮すると、約380nm〜約410nmの波長の近紫外線を照射するのが好ましい。
例えばUV−LEDを用いることで、小型、軽量、安価、安全、取り扱い容易などの利点が得られる。
なお、光触媒性によってCuBrが分解対象とするものは、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。
例えば、その成分としては、タンパク質、アミノ酸、脂質、糖質などの有機物以外に、特定の無機物、例えばNHを分解することも報告されている(例えば図26参照;H.Mozzanega et al., “NH3 Oxidation over UV-Irradiated TiO2 at Room Temperature”, The Journal of Physical Chemistry, Vol. 83, No. 17, 1979, pp. 2251-2255参照)。
ところで、CuBrは、上述のように、光触媒性を持っている一方、アンモニアガスに対して、高感度、高選択比といった特性を持つガスセンサの感応膜となる感ガス性も持っている(例えば、丑込道雄,柄澤一明,百瀬悟,高須良三,壷井修、「呼気中のアンモニア成分を短時間で測定する携帯型呼気センサーの開発」、電気学会第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム予稿集、25am2−PS−079、(2016)参照)。
この2つの性質を利用して、上述の光触媒性を持つCuBrを用いてアンモニアガスセンサを構成することで、測定時間(測定に要する時間;ここでは主に回復時間)を短縮したガスセンサを実現することができる。
なお、これに限られるものではなく、上述の光触媒性を持つCuBrはアンモニアガスセンサ以外のガスセンサに用いることもできる。
この場合、図29に示すように、ガスセンサ5に備えられるガスセンサデバイス6は、第1電極7と、第2電極8と、第1電極7と第2電極8とを接続する感応膜9とを備え、感応膜9は、CuBrからなり、CuBrが光の照射でCuBrに接する物質を分解する光触媒性を示すものとすれば良い。
この場合、感応膜9はCuBr膜である。また、ガスセンサデバイス6をCuBrセンサデバイスともいう。また、第1電極7及び第2電極8は、例えばAu電極である。
そして、ガスセンサ5は、このように構成されるガスセンサデバイス6と、ガスセンサデバイス6の感応膜9に光を照射する光源10とを備えるものとすれば良い。
ここで、光源10は、紫外光領域(近紫外光領域)の波長成分を含む光を照射する光源であれば良く、例えばUV−LEDを用いれば良い。
例えば、光の照射でそれに接する物質を分解する光触媒性を示すCuBrからなる薄膜(CuBr膜;CuBr薄膜)9を、Si熱酸化膜を有する基板11上に形成された2つのAu電極(第1電極7及び第2電極8)をまたぐようにして形成し、これをアンモニアガスに対する感応膜9としたガスセンサデバイスとすれば良い。
そして、ガスセンサ5は、このように構成されるガスセンサデバイス6と、光触媒機能を発現させるのに必要な波長の光を感応膜面に照射する光照射機構(ここでは紫外光照射機構;光源10;例えばUV−LED)を備えるものとすれば良い。
例えばUV−LEDのような光源10を備えず、CuBrセンサデバイス6を備える従来のガスセンサでは、測定対象のガスにガスセンサデバイス6を曝して、ガス濃度を測定した後、次の測定の準備として清浄空気に切り替えて、高くなったガスセンサデバイス6の抵抗(センサ抵抗)を元に戻して初期化を行なう。
つまり、測定対象ガスにガスセンサデバイス6を曝すと、ガスセンサデバイス6の感応膜(CuBr膜)9の表面にガス分子が吸着するため、この状態でガス濃度を測定した後、清浄空気(パージガス)を導入することで、感応膜9の表面からガス分子を脱離させて元の状態に戻す(例えば図28参照)。
ここで、図27は、例えばUV−LEDのような光源10を備えず、CuBrセンサデバイス6を備える従来のガスセンサにおけるセンサ抵抗の変化の一例である。
図27に示すように、アンモニアガスの測定時間(アンモニアガス暴露時間)は約60secであるのに対して、清浄空気(Air)を導入して初期抵抗に回復するまでの回復時間は約290secであり、回復時間は測定時間(アンモニアガス暴露時間)に対して約5倍程度も要する。
これに対し、上述のように、ガスセンサデバイス6の感応膜9の直上に紫外光照射機構(光源10;ここではUV−LED)を設置して(例えば図29参照)、ガスを測定した後の回復期間にUVを照射すると、センサ抵抗の変化は、一例として、図30に示すようになる。
図30に示すように、回復時間は約290secから約40secとほぼ1/7となり、アンモニアガスの測定時間(アンモニアガス暴露時間;ここでは約60sec)よりも短い時間で回復できるようになる。
また、清浄空気を導入することによってガスセンサデバイス6の感応膜9(感ガス材からなる膜;ここではCuBr膜)の表面に付着したガス分子を自発的に脱離させて、初期化していた。
これに対し、本実施形態では、紫外線を照射することによって強制的にガス分子を分解、脱離させるため、フィルタを用いるなどして清浄空気を導入しなくても良く、例えばフィルタを用いないで外気を導入するだけでも良い。
なお、紫外線の照射によってガス分子を脱離させることができるが、再吸着しないようにするために清浄空気や外気を導入するのが好ましい。
ここで、図31は、実際に3回連続してアンモニアガスの濃度測定を行なった例を示している。
上述のように構成し、回復時間にUV照射を行なうことで、回復時間を短くすることができるため、図31に示すように、連続してアンモニアガスの濃度測定を行なうことが可能となった。
以上は、紫外光照射(好ましくは近紫外光照射)をガスセンサの回復時間を短縮させるのに用いているが、これに限られるものではなく、紫外光照射(好ましくは近紫外光照射)は、感応膜9の表面が汚染されて、感度が低下したガスセンサデバイス6の感度回復にも使用することができる。
これにより、ガスセンサ5(ガスセンサデバイス6)の長寿命化を実現することも可能である。
ここで、図32は、約2年以上前に作製し、アンモニアガスに対して応答が低下しているガスセンサデバイス6に対して紫外光照射を行なってアンモニアガスに対する応答を確認した結果を示す図である。
図32に示すように、紫外光照射前に対して紫外光照射後のアンモニアガスに対する応答は約2倍になっていることが分かる。
CuBr膜9の表面に長い時間蓄積された、有機物やアミン系の物質が紫外線照射によって分解、揮発して、感度をある程度回復させたものと考えられる。
ここで、図33は、近紫外光源としてUV−LED10を使用したガスセンサ5の一例を示している。
なお、ガスセンサ5をガスセンサシステムともいう。また、図33中、実線はガス配管経路を示しており、破線は電気信号経路を示している。
図33に示すように、ガスセンサ5は、上述のように構成されるガスセンサデバイス6と、UV−LED(光源)10と、ガス供給側配管12と、ガス供給側配管12に設けられた電磁弁13と、ガス供給側配管12に設けられたフィルタ14と、排気側配管15と、排気側配管15に設けられたポンプ16と、制御部17とを備える。なお、ここでは、通信部19、電源23、表示部などは省略している。
ここでは、ガスセンサデバイス6は、センサチャンバ18内に設けられている。そして、センサチャンバ18は、上述のガスセンサカートリッジ1のケース26によって構成される。
このガスセンサ5では、ガスセンサデバイス6の近傍に外気をポンプ16で引き込む構造になっている。
また、引き込み口(導入口;ガスセンサ本体20のインレット21)からの経路としては、例えば活性炭などのフィルタ14を介した経路とこのようなフィルタ14を介さない経路があり、これらを電磁弁(ここでは3方電磁弁)13によって切り替える構造になっている。
なお、ここでは、電磁弁13を用いているが、これらの経路を切り替えるための弁は電気式に限るものではなく、気体の流路を切り替えることが可能なものであれば手動でも良い。
また、ガスセンサデバイス6の直上には、紫外光源(近紫外光源)10としてUV−LED(UV−LEDユニット)が設置されている。
なお、光源10は、ガスセンサデバイス6の感応膜9(ここではCuBr膜)が光触媒活性となる波長を含む光源であれば良く、UV−LEDに限られるものではない。例えば、感応膜9がCuBr膜である場合、約410nm以下の波長の光を含む光を照射しうる光源であれば良い。
また、これらのポンプ16、電磁弁13、UV−LED10は、すべて制御部17に接続されており、制御部17によって、プログラムされたシーケンスにしたがって、制御されるようになっている。
また、制御部17によって、測定対象ガスを供給した場合にガスセンサデバイス6によって検出される値に基づいて測定対象ガスの濃度が測定されるようになっている。
このため、例えば測定対象、測定環境、目的に応じて、シーケンスを変えることで、フレキシブルなガスセンサ5を実現することも可能である。
ここで、図34は、自動で連続的にガス濃度測定が可能なガスセンサのシーケンス(ガス濃度測定シーケンス)の例を示している。
図34に示すように、ポンプ16を始動して、測定対象ガスを、上述のように構成されるガスセンサデバイス6まで取り込む。
まず、ガス測定プロセスでは、ポンプ16を稼動させて、一定時間のガスセンサデバイス6の抵抗(センサ抵抗)の変化量を検出して、その変化に対応するガス濃度を算出する。
なお、このようにして算出したガス濃度(データ)、設定値、検出値などを表示部に表示するようにしても良いし、通信部によって、これらを例えば他の端末やサーバなどへ送信するようにしても良い。
また、事前にガス濃度に対するガスセンサデバイス6の応答の対応関係データを取得しておき、それを制御部17内のメモリに記憶しておく。
次に、リフレッシュ(回復)プロセスで、ポンプ16は稼動させたまま、電磁弁13でフィルタ14側に経路を切り替えて、清浄空気を取り込むと同時にUV照射を行なう。
なお、ここでは、フィルタ14を介して清浄空気を取り込むようにしているが、これに限られるものではなく、フィルタ14を介さずに外気を取り込むようにしても良い。
この清浄空気導入及びUV照射は、ガスセンサデバイス6が回復するまでの時間行なう。
ここで、ガスセンサデバイス6が回復するまでの時間は、ガスセンサデバイス6の応答の大きさが関係しているため、一定時間ではなく、ガス濃度の測定後もセンサ抵抗をモニタして、ガス濃度測定直前のセンサ抵抗に戻るまでの時間とすれば良い(例えば図36参照)。
そして、ガス濃度測定直前のセンサ抵抗に戻った時点で、リフレッシュプロセスを停止(UV照射停止)して、ポンプ16は稼働したまま、待機する。
続けて、次の測定がある場合は、また測定を繰り返す。
すぐに測定が無い場合は、ポンプ16も停止して待機する(スリープ)。
ここで、図35は、このようなガス濃度測定シーケンスを、ガスセンサ5に備えられる制御部17がプログラムを実行することによって実現する場合の処理(測定方法)を示すフローチャートである。
図35に示すように、まず、制御部17は、ポンプ16を制御して、ポンプ16を始動させる(ステップS1)。
次に、制御部17は、測定対象ガスを導入すべく、電磁弁13を制御して、ガス供給側配管12の経路を、フィルタ14を介さない経路に切り替える(ステップS2)。
これにより、測定対象ガスが、上述のように構成されるガスセンサデバイス6が設けられているセンサチャンバ18(ガスセンサカートリッジ1のケース26)内に供給される。
次に、制御部17は、ガスセンサデバイス6によって検出される値に基づいて測定対象ガスの濃度を測定する(ステップS3)。
ここでは、制御部17は、所定時間(一定時間;例えば60sec)のガスセンサデバイス6の抵抗(センサ抵抗)の変化量を検出して、その変化に対応するガス濃度を算出することによって、測定対象ガスの濃度を測定する。
例えば、ガスセンサデバイス6が測定対象ガスに暴露される直前の時点のガスセンサデバイス6からの抵抗値を初期値として記憶しておき、測定対象ガスを一定時間導入した時点のガスセンサデバイス6からの抵抗値の初期値からの変化に基づいて、ガス濃度を算出すれば良い。
具体的には、測定対象ガスに暴露される直前の測定開始時点を0secとしたとき、このときのセンサ抵抗値をR0、tmeassec後のセンサ抵抗値をRsとしたとき、抵抗値の変化率|R0−Rs|/R0−1を算出し、これから制御部17内のメモリ等に保持しているガス濃度変換式によってガス濃度を導出すれば良い。
このようにして、制御部17は、測定対象ガスの供給開始時に検出したガスセンサデバイス6からの抵抗値と測定対象ガスを所定時間供給した時に検出したガスセンサデバイス6からの抵抗値とに基づいて測定対象ガスの濃度を測定する。
次に、制御部17は、ポンプ16を稼動させたまま、測定対象ガスに代えて清浄空気を導入すべく、電磁弁13を制御して、ガス供給側配管12の経路を、フィルタ14を介した経路に切り替える(ステップS4)。
これにより、清浄空気が、ガスセンサデバイス6が設けられているセンサチャンバ18(ガスセンサカートリッジ1のケース26)内に供給される。
なお、清浄空気をパージガスともいう。また、このようにして測定対象ガスに代えてパージガスを供給する機構をパージガス供給機構ともいう。ここでは、パージガス供給機構は、電磁弁13及びフィルタ14によって構成される。
次に、制御部17は、光触媒機能を発現させるのに必要な波長の光を照射すべく、UV−LED(光源10;紫外光照射機構)を制御して、ガスセンサデバイス6の感応膜(ここではCuBr膜;図29参照)9に対するUV照射を行なう(ステップS5)。
このように、測定対象ガスの濃度を測定した後、清浄空気を導入してガスセンサデバイス6の感応膜9の表面に吸着したガス分離を脱離させてガスセンサデバイス6をリフレッシュ(回復)させる回復期間に、ガスセンサデバイス6の感応膜9の表面にUV照射を行なう(例えば図36参照)。
つまり、測定対象ガスの濃度測定の直後のセンサ抵抗の回復時に、ガスセンサデバイス6の感応膜9の表面にUV照射を行なう。
この場合、ガスセンサデバイス6に清浄空気を供給しながら、ガスセンサデバイス6の感応膜9の表面にUV照射を行なうことになる。
次に、制御部17は、ガスセンサデバイス6が回復したか否かを判定する(ステップS6)。
ここでは、制御部17は、ガス濃度測定後もセンサ抵抗をモニタし、ガス濃度測定直前のセンサ抵抗(はじめに記憶しておいた初期値)に戻ったか否かによって、ガスセンサデバイス6が回復したか否かを判定する。
この判定の結果、ガスセンサデバイス6が回復していないと判定した場合には、NOルートへ進み、ステップS5へ戻って、UV照射を継続する。
これにより、測定対象ガスからパージガスに切り替えるのと同時にUV照射を開始し、センサ抵抗が測定対象ガスを導入する直前のセンサ抵抗以下に回復するまでUV照射を継続する(例えば図36参照)。
そして、制御部17は、ガスセンサデバイス6が回復したと判定した場合、YESルートへ進み、UV照射を停止する(ステップS7)。
ここでは、パージガスの導入とともにUV照射を行なっているため、UV照射を行なわない場合と比較して、回復時間(tradi)が短縮される。回復時間は、例えば約290secから約40secとほぼ1/7となる(例えば図30参照)。
これにより、リフレッシュプロセスが終了する。但し、この時点ではポンプ16は停止させないため、清浄空気は流したままの待機状態となる。このとき、センサ抵抗は初期値に戻った状態で安定した状態となる。
次に、制御部17は、設定回数の測定を行なったか否かを判定する(ステップS8)。
この判定の結果、設定回数の測定を行なっていないと判定した場合は、NOルートへ進み、ステップS2へ戻って、測定を繰り返す。
そして、制御部17は、設定回数の測定を行なったと判定した場合は、YESルートへ進み、制御部17は、ポンプ16を制御して、ポンプ16を停止させ(ステップS9)、処理を終了する。
なお、ここでは、一回の測定が終了した後、ポンプ16を稼動させたまま待機し、次の測定を行なう場合を例に挙げて説明しているが、次の測定を開始するまでの時間が長い場合などには、ポンプ16を停止して待機するスリープを含むようにしても良い。
また、例えば、UV照射時間よりも十分長い時間(例えばUV照射時間の約3倍程度の時間)が経過したら、ポンプ16を停止するようにしても良い。
ここで、図37は、上述のようにしてガス濃度を測定した場合のセンサ抵抗の時間的変化の一例を示している。
従来は、回復するために比較的長い時間を要したため、連続的に濃度を測定することは難しかったのに対し、UV照射を行なうことによって、回復時間が短くなり、短い時間間隔でガス濃度測定が可能となる。
このように、上述のように構成されるガスセンサ5に、ガスセンサデバイス6に光を照射してガスセンサデバイス6をリフレッシュ(回復)させるためのリフレッシュ機構として紫外光照射機構(紫外光照射光学系;光源10)を持たせることで、回復時間(リフレッシュ時間)を短くすることができ、短い時間間隔でガス濃度測定が可能となる。
なお、ここでは、光触媒性を持つCuBrをガスセンサデバイス6の感応膜(感ガス材)9に用いる場合に、ガスセンサデバイス6に光を照射してガスセンサデバイス6をリフレッシュ(回復)させるためのリフレッシュ機構として光照射機構(紫外光照射機構;光源10)を設ける場合を例に挙げて説明しているが、これに限られるものではない。
例えば、ガスセンサデバイス6の感応膜(感ガス材)9に、他の感ガス材、例えば光触媒性を持たない感ガス材を用いる場合であっても、ガスセンサデバイス6に光を照射してガスセンサデバイス6をリフレッシュ(回復)させるためのリフレッシュ機構として光照射機構(紫外光照射機構;光源10)を設けることが好ましい場合がある。
つまり、ガスセンサデバイス6の他の感ガス材、光触媒性を持たない感ガス材を用いる場合であっても、例えば照射する光の波長やパワーなどを調整して光を照射することによって、感ガス材に付着、吸着などして感ガス材に接しているガス分子を分解(直接分解)することができる場合がある。
この場合、ガスセンサデバイス6に光を照射してガスセンサデバイス6をリフレッシュ(回復)させるためのリフレッシュ機構として光照射機構(紫外光照射機構;光源10)を設けることで、ガスセンサデバイス6をリフレッシュ(回復)させることが可能である。
このため、ガスセンサデバイス6の感ガス材に、他の感ガス材、例えば光触媒性を持たない感ガス材を用いる場合であっても、ガスセンサデバイス6に光を照射してガスセンサデバイス6をリフレッシュ(回復)させるためのリフレッシュ機構として光照射機構(紫外光照射機構;光源10)を設けることが好ましい場合がある。
ところで、上述のような構成を適用して、呼気中の微量化学物質の測定に用いることができる小型簡易なガスセンサ5としての呼気センサを試作したところ、ガスセンサ5の抵抗値をスマートフォン(端末)44でモニタし、アンモニアの濃度を簡単に推定することが可能になった(例えば図38参照)。
ヒトを含む動物の体内では、消化器管内でタンパク質の分解の際に、窒素はアンモニアとして発生する。あるいは、胃腸内に生息する微生物や嫌気性細菌がウレアーゼ酵素を用いて尿素を分解し、アンモニアを発生させる。
これらのアンモニアの一部は血液中に吸収され、残りは排泄物として対外に排出される。消化器官から吸収された栄養分を含む血液は門脈として肝臓に集められる。
肝臓内で栄養物質の吸収が行なわれるとともに、毒素に対しては解毒機能を有する代謝が行われる。
アンモニアの場合は後者であり、肝臓内の尿素回路というサイクルで代謝され、尿素に変換される。
この尿素はこの後に腎臓でろ過され尿とともに排泄される。
また、激しい運動を行い筋肉が疲労した場合に血液中にアンモニアを発生させ、静脈を通して肝臓において同様に尿素回路で代謝され、尿素に変換される。
このような代謝機能をもって生体のアンモニア濃度は一定レベル以下に保たれている。
このため、肝臓の代謝機能に疾患があり、肝機能が低下している場合は、アンモニア濃度は高くなり、低栄養な状態では、アンモニア濃度は低くなる。
しかし、栄養素・運動を伴うかぎり生物は必ずアンモニアを血中に含有しているともいえる。これが肺や皮膚の毛細血管によって気化されるため、生物の呼気や汗には必ず微量のアンモニアを含有することになる。
また、炭化水素を分解する過程においてアルコール類、例えばエタノールが発生したり、糖類の分解の際にはケトン類、例えばアセトンが発生したり、コレステロールの分解の際にはイソプレンが発生したりしている。また、ガンなどの疾患においては患部における酸化ストレスによって様々なVOC類が発生し、血液を通って肺や皮膚で気化している。
例えば、大西祥平、山崎元、「運動時のアンモニア代謝」、慶應保健研究、第8巻、第1号、1989年参照。
このため、上述のような構成を適用して呼気センサ5を実現することで、アンモニアの濃度を簡単に測定することが可能となる。
また、手軽に、採血などの苦痛を伴うことなく、息の成分の生活習慣による変動を継続的に調べることが可能になる。
また、例えばスマートデバイスやウェアラブルデバイスに上述のような構成を適用した息紋センサを搭載して、これらのガスを体温計のような手軽さで分析し続けられる手段とすることができる。
また、この技術を生活習慣の改善や病気の早期発見のためのスクリーニング手段として役立てられる。
なお、本発明は、上述した実施形態及び各変形例に記載した構成に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形することが可能である。
1 ガスセンサカートリッジ
2 Si基板
3 CuBr結晶粒
4 CuBr膜(CuBr薄膜)
5 ガスセンサ
6 ガスセンサデバイス
7 第1電極
8 第2電極
9 感応膜(CuBr膜;感ガス材からなる膜)
10 光源(UV−LED)
11 基板
12 ガス供給側配管
13 電磁弁
14 フィルタ
15 排気側配管
16 ポンプ
17 制御部
18 ガスセンサチャンバ(センサチャンバ)
19 通信部(伝送部;無線部)
20 ガスセンサ本体
21 インレット
22 アウトレット
23 電源
24 吸気口
25 排気口
26 ケース
27 外部接続端子
28 第1封止部材
29 第2封止部材
30 光学窓
31 第1可動弁
32 第2可動弁
33 シャフト
34 弁部材
35 マグネット
36 ガスセンサソケット
37 集光レンズ(レンズ)
38 光導波部材
39 反射ミラー
40 集光レンズ(レンズ)
41 反射ミラー
42 ガス吸着部材
43 不揮発性メモリ(不揮発性メモリ素子)
44 スマートフォン

Claims (10)

  1. ガスセンサカートリッジと、
    前記ガスセンサカートリッジが着脱可能に装着されるガスセンサ本体とを備え、
    前記ガスセンサカートリッジは、
    吸気口及び排気口を有し、ガスセンサチャンバとなるケースと、
    前記ケース内に設けられたガスセンサデバイスと、
    前記ケースに設けられ、前記ガスセンサデバイスに接続された外部接続端子と、
    前記ガスセンサ本体に装着した際に前記吸気口が開口するように前記吸気口を封止する第1封止部材と、
    前記ガスセンサ本体に装着した際に前記排気口が開口するように前記排気口を封止する第2封止部材とを備えることを特徴とするガスセンサ。
  2. 前記第1封止部材は、前記吸気口を開閉しうる第1可動弁又は前記ガスセンサ本体に装着した際に破れる第1保護膜であり、
    前記第2封止部材は、前記排気口を開閉しうる第2可動弁又は前記ガスセンサ本体に装着した際に破れる第2保護膜であることを特徴とする、請求項1に記載のガスセンサ。
  3. 前記ケースは、光学窓を備えることを特徴とする、請求項1又は2に記載のガスセンサ。
  4. 前記光学窓は、紫外線を含む光に透過性を有することを特徴とする、請求項3に記載のガスセンサ。
  5. 前記ガスセンサ本体に設けられた光源、又は、前記光学窓の外側に設けられた光源を備えることを特徴とする、請求項3又は4に記載のガスセンサ。
  6. 前記ケース内に設けられた光源を備えることを特徴とする、請求項1又は2に記載のガスセンサ。
  7. 前記ケース内に設けられたガス吸着部材を備えることを特徴とする、請求項1〜のいずれか1項に記載のガスセンサ。
  8. 前記ガスセンサデバイスは、Sn、W、Zn、Inの少なくとも一つを主材料とする酸化物からなる感ガス材、Cを主材料とする半導体からなる感ガス材、Cu又はAgを主材料とするハロゲン化合物又は酸化物からなる感ガス材の少なくとも一つを備えることを特徴とする、請求項1〜のいずれか1項に記載のガスセンサ。
  9. 前記ケースに設けられ、かつ、前記外部接続端子に接続され、前記ガスセンサデバイスの特性が記録されている不揮発性メモリ素子を備えることを特徴とする、請求項1〜のいずれか1項に記載のガスセンサ。
  10. 吸気口及び排気口を有し、ガスセンサチャンバとなるケースと、
    前記ケース内に設けられたガスセンサデバイスと、
    前記ケースに設けられ、前記ガスセンサデバイスに接続された外部接続端子と、
    ガスセンサ本体に装着した際に前記吸気口が開口するように前記吸気口を封止する第1封止部材と、
    前記ガスセンサ本体に装着した際に前記排気口が開口するように前記排気口を封止する第2封止部材とを備えることを特徴とするガスセンサカートリッジ。
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