JP6942031B2

JP6942031B2 - 検知装置および検知方法

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Publication number: JP6942031B2
Application number: JP2017213660A
Authority: JP
Inventors: 裕行小野
Original assignee: Canon Machinery Inc
Current assignee: Canon Machinery Inc
Priority date: 2017-11-06
Filing date: 2017-11-06
Publication date: 2021-09-29
Anticipated expiration: 2037-11-06
Also published as: JP2019086361A

Description

本発明は、検知装置に関し、特に、発光素子（ＬＥＤ）を用いた装置（例えば観察装置）における発光素子の劣化状態を検知する検知装置及び検知方法に関するものである。

各種の製品等の物品（ワーク）を検査する場合、一般には、照明システムを用いて物品を撮像することになる。照明システムとしては、図８に示すような単純な照明システムや図９に示すようなドーム照明システム等がある。

図８に示す照明システムは、物品（ワーク）１に対して、ＬＥＤ２からの直接光を当てて、カメラ３にてその画像を撮像するものである。また、図８に示す照明システムは、ドーム部材４の凹曲面４ａに沿って、複数個のＬＥＤ２を配置したものであり、各ＬＥＤ２からの直接光を物品（ワーク）１に対して当てて、カメラ３にてその画像を撮像するものである。このように、図９に示す照明システムでは、複数のＬＥＤ２の照射方向が、それぞれ異なるように配設され、撮像対象であるワーク１をあらゆる方向から照らすことができる構成となっている。

ところで、ＬＥＤ２には寿命がある。ＬＥＤ２の劣化によって明るさの低下を招くことになって、検査精度が低下し、システム（装置）の信頼性低下に繋がっていた。そのため、従来には、撮像した画像の輝度に基づいてＬＥＤ２の劣化の度合を判断するものがある（特許文献１）。すなわち、この場合、ＬＥＤ２からの直接光（照明光）を撮像対象に当てて撮像し、その画像の輝度値を確認することで、照明の劣化による明るさの低下を検知している。

また、従来には、撮像装置により撮像された入力画像の領域である反射領域を検出し、この反射領域の解析を行って、この反射領域の解析結果に基づいて、照明装置および撮像装置の異常を検出するものも提案されている（特許文献２）。すなわち、反射板に照明を当てて撮像し、その画像の輝度を確認することで、照明装置および撮像装置の異常を検出するものである。

特開２００７−２６５２８７号公報特開２００９−１５９５６８号公報

前記特許文献１では、図７に示すような単純な照明システムを用いることになる。このような場合、ＬＥＤの劣化による照度の低下が、そのまま画像の輝度低下に繋がることになる。しかしながら、この場合、ＬＥＤ自体を撮像したものではなく、ＬＥＤの劣化や異常を正確に把握することができなかった。また、特許文献２においても、反射板を用いるものであるが、ＬＥＤ自体を撮像したものではなく、ＬＥＤの劣化や異常（ばらつき、配置ずれ及び／又は光軸ずれ等の異常）を正確に把握することができなかった。

ところで、図８に示すドーム照明を用いた場合、前記したように、複数のＬＥＤ２の照射方向が、それぞれ異なるように配設され、撮像対象であるワーク１をあらゆる方向から照らすことができる構成となっている。

このため、各ＬＥＤが撮像画像の明るさに及ぼす影響は、均一ではない。例えば、撮像対象表面の状態や姿勢によって、ある特定方向の照射が撮像画像の明るさに影響を及ぼす場合がある。従って、複数存在するＬＥＤの劣化や異常を、ＬＥＤ個別に認識することが困難で、見逃しやすいものとなっていた。

本発明は、上記課題に鑑みて、複数個の発光素子（ＬＥＤ）のそれぞれの状態を検知することができて、劣化や異常の検知精度の向上を図ることが可能な検知装置を提供する。

本発明の検知装置は、複数の発光素子にて撮像対象を種々の方向から照らすことが可能な照明手段と、この照明手段にて照明されている撮像対象を撮像する撮像手段とを備えた観察装置における、前記照明手段の複数の発光素子の状態を検知する検知装置であって、
鏡面反射特性を持ち前記照明手段にて照明が可能な照明点検治具を配置するとともに、前記撮像手段は各発光素子にフォーカスを合わせるフォーカス調整機構を備え、照明点検治具の撮像時において、このフォーカス調整機構にて各発光素子にフォーカスを合わせた状態で、各発光素子を撮像するもので、照明点検治具を前記撮像手段にて撮像した画像に基づいて各発光素子の明るさを確認する画像処理手段を備え、この画像処理手段は、各発光素子の明るさの確認に加えて各発光素子の配置ずれおよび光軸のずれを検知して、各発光素子の劣化、ばらつき、配置ずれ、及び／又は光軸ずれの異常の確認を可能とし、かつ、前記照明手段による照明点検治具の照明可能位置と、前記照明手段による前記撮像対象の照明可能位置とに、照明手段側と照明点検治具側との少なくともいずれか一方を移動させる移動手段を備えたものである。

本発明の検知装置によれば、フォーカス調整機構にて各発光素子にフォーカスを合わせた状態で、各発光素子を撮像手段にて撮像することができる。このため、発光素子自体を撮像することができる。また、既存の観察装置等に、この観察装置の照明手段にて撮像が可能な照明点検治具を配置し、この照明点検治具に反射させて各発光素子を映し出すようにすればよいので、装置として複雑化を招くことなく、簡単に構成することができる。

照明手段は、照明点検治具に対して直接光を照射するものであっても、照明点検治具に対して間接光を照射するものであってもよい。

前記撮像手段は、フォーカスを合わせた全発光素子の画像を一度に映し出すようにしたり、全発光素子の内のフォーカスを合わせた所定数の発光素子の画像を順次映し出すようにしたりできる。一度に映し出すものであれば、作業性の向上を図ることができ、順次映し出すものでは、各発光素子の画像をより鮮明に映し出すことができ、高精度の検知が可能となる。

画像処理手段は、初期状態の各発光素子の画像と、点検時の各発光素子の画像とを比較するように設定できる。このように比較することによって、発光素子が劣化等しているか否かを安定して判断できる。

本発明の検知装置では、照明点検治具の照明可能状態と撮像対象の照明可能状態とを切り換えることができるので、通常の撮像対象の観察と発光素子の観察とを行うことができ、しかも、照明点検治具が通常の撮像対象の観察を阻害せず、撮像対象が発光素子の観察を阻害しない。

本発明の検査方法は、複数の発光素子にて撮像対象を種々の方向から照らすことが可能な照明手段と、この照明手段にて照明されている撮像対象を撮像する撮像手段とを備えた観察装置における、前記照明手段の複数の発光素子の状態を検知する検知方法であって、鏡面反射特性を持ち前記照明手段にて照明が可能な照明点検治具を配置するとともに、この照明点検治具を撮像し、この照明点検治具の撮像時において、各発光素子にフォーカスを合わせ、この状態で、各発光素子を撮像して、各発光素子の画像を得て、各発光素子の明るさの確認に加えて各発光素子の配置ずれおよび光軸のずれを検知して、各発光素子の劣化、ばらつき、配置ずれ、及び／又は光軸ずれの異常の確認を行うものであって、異常の確認状態では、照明点検治具の照明可能状態とし、撮像対象の観察状態では、撮像対象の照明可能状態とするものである。

本発明の検査方法によれば、各発光素子にフォーカスを合わせた状態で、各発光素子を撮像手段にて撮像することができる。このため、発光素子自体を撮像することができる。

本発明では、発光素子自体を撮像することができるので、発光素子の１つ１つの明るさ（劣化）、ばらつき、配置ずれ及び／又は光軸ずれ等の異常の確認が可能となり、劣化及び異常の検知能力が高くなり、劣化や異常の部位を特定でき、これら部位の状態（様子）の把握も安定して行える。また、劣化等している発光素子に対して点灯光量を補正することによって、劣化していない発光素子と同様の明るさとすることができる。

また、装置として複雑化を招くことなく、簡単に構成することができ、低コスト化を達成できる。

本発明の実施形態を示す検知装置を示し、（ａ）は照明手段による撮像対象の照明可能位置に配置されている状態の簡略図であり、（ｂ）は照明手段による照明点検治具の照明可能位置に配置されている状態の簡略図であり、（ｃ）はフォーカス調整後の簡略図である。図１に示す検知装置の簡略ブロック図である。各発光素子が映し出されている状態の画面の簡略図である。図１に示す検知装置を用いた劣化検知工程を示すフローチャート図である。図１に示す検知装置を用いた異常検知工程を示すフローチャート図である。他の照明手段を示す簡略図である。別の照明手段を示す簡略図である。単純な照明システムの簡略図である。ドーム照明の簡略図である。

以下本発明の実施の形態を図１〜図７に基づいて説明する。

図１に本発明に係る検知装置を搭載した既存の観察装置（検査装置）を示し、既存の観察装置は、複数の発光素子１１にて撮像対象を種々の方向から照らすことが可能な照明手段１２と、この照明手段１２にて照明されている撮像対象Ｗを撮像する撮像手段１３とを備える。

照明手段（照明システム）１２は、いわゆるドーム照明であり、内面が凹曲面１５ａとされたドーム１５と、このドーム１５の凹曲面１５ａに沿って配設された図示省略のプリント基板に、配列される複数個の発光素子１１とを備える。例えば、発光素子１１は複数の同心円上に周方向に沿って所定ピッチで配設されている。具体的には、図３（この図は、後述するように発光素子１１を写し出した画面を示している）に示すように、６個の同心円上に周方向にほぼ隙間なく配置されている。プリント基板には、複数のスルーホールが設けられ、各発光素子１１は、そのリードが挿入され、プリント基板のランドに実装されている。なお、以下、発光素子１１を単にＬＥＤ１１と称す場合がある。

また、撮像手段１３は例えばＣＣＤカメラやＣＭＯＳカメラ等を用いることができる。この撮像手段１３は、フォーカス調整機構２１（図２参照）によって、ワークＷに対して接近・離間することによって、ワークＷとの距離を変化させて上下方向に焦点が異なる画像を取得することができる。この場合、素子側を移動させるものであっても、レンズ系側を移動させるものであっても、素子側及びレンズ系側を移動させるものであってもよい。また、移動させる手段としては、例えば、ねじ構造にて構成することができる。すなわち、操作用つまみを廻すことによって、ねじ構造の雄ねじ側または雌ねじ側が上下方向に移動することによって、素子側及び／又はレンズ系側を移動させることができる。

また、撮像対象Ｗは、図１に示すように、ステージ１６上に配置され、照明手段（照明システム）１２からの直接光がワークＷに照射され、ドーム１５上に配置された撮像手段１３で、ドーム１５の観察窓１５ｂを介してワークＷを映し出すことができる。この際、フォーカス調整機構２１にて、カメラ焦点をワークＷに合わせることができる。

本発明に係る検知装置は、図２に示すように、照明点検治具２０と、フォーカス調整機構２１を具備した撮像手段１３と、画像処理手段２２等を備える。照明点検治具２０は、図１に示すように、鏡面反射特性を持ち照明手段１２による照明が可能な凸球面２０ａとするものであって、撮像対象Ｗが配置されるステージ１６上に配置される。なお、照明点検治具２０は、鏡面反射特性を持つものであれば、ガラス製であっても、プラスチック製であっても、金属製であってもよい。

また、照明点検治具２０及び撮像対象Ｗが配置されたステージ１６は、図１（ａ）に示す状態から図１（ｂ）に示すように、移動手段２３（図２参照）を介して矢印Ａ方向にスライドできる。また、この図１（ｂ）に示す状態から移動手段２３を介して矢印Ｂ方向にスライドできて、図１（ａ）に示す状態に戻すことができる。

図１（ａ）に示す状態では、照明手段１２によるワークＷの照明可能位置となり、図１（ｂ）（ｃ）に示す状態では、照明手段１２による照明点検治具２０の照明可能位置となる。このため、移動手段２３は、照明点検治具側を移動させて、照明手段１２によるワークＷの照明可能位置と、照明手段１２による照明点検治具２０の照明可能位置とに変位させるものである。移動手段２３は、例えば、シリンダ機構、ボールねじ機構、リニアモータ機構等の種々の公知・公用の機構にて構成することができる。

次に前記のように構成された検知装置にてＬＥＤ１１の状態を検知する方法を図４と図１を用いて説明する。なお、照明手段１２としては、ＬＥＤ１１の劣化（照度の低下）、ＬＥＤ１１毎の明るさのバラツキ、配置ずれ及び／又は光軸ずれ等の異常がある。このため、説明の簡略化のため、図４ではＬＥＤ１１が劣化（照度の低下）しているものを検知するフローチャートを示している。

まず、照明点検治具２０を撮影可能位置（照明可能位置）とする（ステップＳ１）。すなわち、図１（ａ）に示す状態から、ステージ１６を図１（ｂ）に示すように矢印Ａ方向に移動させて、照明点検治具２０の上に照明手段１２と撮像手段１３とが位置する状態とする。

次に、ステップＳ２に移行して、フォーカス調整機構２１にて各ＬＥＤ１１にフォーカスを合わせる。すなわち、照明手段１２のＬＥＤ１１から直接光を照明点検治具２０に当てて、この照明点検治具２０にて反射させて、その反射光を撮像手段１３に入光させる。そして、各ＬＥＤ１１の画像を図３に示すように取得する（ステップＳ３）。

その後、ステップＳ４へ移行して、劣化しているＬＥＤ１１があるか否かを判断する。この場合、初期状態の各ＬＥＤ１１の画像と、この点検時のＬＥＤ１１の画像とを比較する。この比較は、画像処理手段２２にて行うことができる。画像処理手段２２の処理方法としては、例えば、初期状態（劣化していない状態）のＬＥＤ１１の画像の明るさを１００として、点検時のＬＥＤ１１の画像の明るさがこの１００に対して所定値以下の暗さに低下しているかを判断し、その所定値以下に低下してものを劣化していると判断する。図３では、劣化しているＬＥＤ１１にドットを付している。画像処理手段２２としては、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）を中心としてＲＯＭ（Read Only Memory）やＲＡＭ（Random Access Memory）等がバスを介して相互に接続されたマイクロコンピューターにて構成できる。また、画像処理手段２２には、この記憶手段としての記憶装置が接続され、この記憶装置は、ＨＤＤ（Hard Disc Drive）やＤＶＤ（Digital Versatile Disk）ドライブ、ＣＤ−Ｒ（Compact Disc-Recordable）ドライブ、ＥＥＰＲＯＭ（Electronically Erasable and Programmable Read Only Memory）等からなる。なお、ＲＯＭには、ＣＰＵが実行するプログラムやデータが格納されている。この記憶装置には、初期の各ＬＥＤ１１の画像が記憶されている。

ステップＳ４で劣化しているＬＥＤ１１がなければ、この検知工程を終了する。また、ステップＳ４で劣化しているＬＥＤ１１があれば、ステップＳ５へ移行して、検知工程を終了するか否かを判断する。検知工程を終了する場合には終了する。この場合、複数のＬＥＤ１１のうち劣化しているＬＥＤ１１の位置を検知して終了することになる。

ステップＳ５で検知工程を終了しない場合、ステップＳ６へ移行して、劣化しているＬＥＤ１１の光量を補正して、劣化していないＬＥＤ１１の明るさに合わせる。その後は、ステップＳ４に戻る。

また、ＬＥＤ１１毎の明るさのバラツキ、配置ずれ、又は光軸ずれ等の異常がある場合も、初期状態の各ＬＥＤ１１の画像と、この点検時のＬＥＤ１１の画像とを比較することによって検知できるので、図５に示すフローチャートに従ってこれらの異常を検知できる。

図５のステップＳ７〜ステップＳ９までは、図４に示すステップＳ１〜ステップＳ３と同様であるので、これらの説明は省略する。ステップＳ１０では、異常なＬＥＤ１１を有るか否かを判断する。ステップＳ１０で、異常なＬＥＤ１１が無ければ、この検知工程を終了する。

ステップＳ１０で、異常なＬＥＤ１１があれば、ステップＳ１１へ移行して、異常なＬＥＤ１１の修正が可能か否かを判断する。すなわち、ＬＥＤ１１毎の明るさのバラツキであれば、そのバラツキを解消できるか否かを判断し、配置ずれ、又は光軸ずれ等の異常であれば、配置や光軸の修正が解消できるか否かを判断する。ステップＳ１１で、修正できると判断すれば、ステップＳ１２へ移行して修正した後、ステップ１０に戻る。ステップＳ１１で修正ができないと判断すれば、この検知工程を終了する。

本発明では、フォーカス調整機構２１にて各発光素子１１にフォーカスを合わせた状態で、各発光素子１１を撮像手段１２にて撮像することができるので、発光素子１１自体を撮像することができる。従って、発光素子１１の１つ１つの明るさ（劣化）、ばらつき、配置ずれ、光軸ずれ等の異常の確認が可能となり、劣化及び異常の検知能力が高くなり、劣化や異常の部位を特定でき、この部位の状態（様子）の把握も安定して行える。また、劣化等している発光素子１１に対して点灯光量を補正することによって、劣化していない発光素子１１と同様の明るさとすることができる。

また、検知装置としては、既存の観察装置等に、この観察装置の照明手段１２にて撮像が可能な照明点検治具２０を配置し、この照明点検治具２０に反射させて各発光素子１１を映し出すようにすればよいので、装置として複雑化を招くことなく、簡単に構成することができ、低コスト化を達成できる。

画像処理手段２２は、初期状態の各発光素子１１の画像と、点検時の各発光素子１１の画像とを比較するように設定できる。このように比較することによって、発光素子が劣化しているか否か及び／又は異常が発生しているか否かを安定して判断できる。

ところで、前記実施形態では、撮像手段１３は、フォーカスを合わせた全発光素子１１の画像を一度に映し出すようにしていたが、全発光素子１１の内のフォーカスを合わせた所定数の発光素子１１の画像を順次映し出すようにしたりできる。一度に映し出すものであれば、作業性の向上を図ることができ、順次映し出すものでは、各発光素子１１の画像をより鮮明に映し出すことができ、高精度の検知が可能となる。

また、照明点検治具２０の照明可能状態と撮像対象の照明可能状態とを切り換えることができる。このため、通常の撮像対象Ｗの観察と発光素子１１の観察とを行うことができ、しかも、照明点検治具が通常の撮像対象Ｗの観察を阻害せず、撮像対象Ｗが発光素子１１の観察を阻害しない。

ところで、図１では、照明手段１２として、ＬＥＤ１１から照明点検治具２０等に直接光を照射できるダイレクト型ドーム照明を用いたが、図６に示すように、内面反射型のドーム照明を用いてもよい。この場合、ドーム１５の下方開口部の内部側に周方向に沿ってＬＥＤ１１を複数個配置し、このＬＥＤ１１からの照射光をドーム内面１５ａに当てて、このドーム内面１５ａにて反射光（拡散光）を照明点検治具２０やワークＷに当てるものである。これによって、撮像手段１３にて照明点検治具２０やワークＷの画像を得ることができる。

このため、この図６に示す照明手段１２では、照明点検治具２０やワークＷに対して間接光を照射することになる。このような場合であっても、照明点検治具２０にて反射された反射光を撮像手段１３に入光させることができる。これによって、フォーカス調整機構にて発光素子にフォーカスを合わせることができ、ＬＥＤ１１の劣化、ＬＥＤ１１毎の明るさのバラツキ、配置ずれ、又は光軸ずれ等の異常を検知することができる。

図７では、照明手段１２としてリング照明を用いている。すなわち、この場合、照明点検治具２０側に円錐面３０ａを有するリング体３０におけるこの円錐面３０ａに複数のＬＥＤ１１を配列したものであり、ＬＥＤ１１から照明点検治具２０等に直接光を照射できる。

このため、このような場合であっても、照明点検治具２０にて反射された反射光を撮像手段１３に入光させることができる。これによって、フォーカス調整機構２１にて発光素子にフォーカスを合わせることができ、ＬＥＤ１１の劣化、ＬＥＤ１１毎の明るさのバラツキ、配置ずれ、又は光軸ずれ等の異常を検知することができる。

本発明は前記実施形態に限定されることなく種々の変形が可能であって、例えば、前記実施形態では、照明点検治具の照明可能状態と撮像対象の照明可能状態とを切り換える場合、照明手段１２側を固定して照明点検治具２０側であるステージ１６を移動させていたが、逆に、照明点検治具２０側であるステージ１６を固定して照明手段１２側を移動させるようにしてよく、さらには、照明手段１２側及び照明点検治具２０側を移動させるものであってもよい。すなわち、照明手段側と照明点検治具側との少なくともいずれか一方を移動させるものであればよい。この場合、照明手段１２側とは、照明手段１２及び撮像手段１３を含み、照明手段１２側を移動させる場合、少なくとも照明手段１２及び撮像手段１３を移動させるが好ましい。

また、照明点検治具２０の形状として、鏡面反射特性を持ち照明手段１２にて照明が可能で、かつ照明手段１２からの直接光や間接光を反射して撮像手段１３にその反射光を入光できればよく、球体、円すい形状体、角錐形状体（多面体）等の種々の形状のものを用いることができる。なお、図１に示すようなドーム照明であれば、反射面を、ＬＥＤ１１が配置されるドーム内面の凹曲面に対応した凸曲面とするのが好ましく、図７に示すようなリング照明であれば、反射面を、ＬＥＤ１１が配置される円すい面と同様の円すい面とするのが好ましい。すなわち、照明点検治具２０としては、照明手段１２のＬＥＤ照明の配設面と同一形状の反射面を有するものが好ましい。このように、照明手段１２のＬＥＤ照明の配設面と同一形状の反射面を有するものであれば、全ＬＥＤ１１の画像を安定して取得することができる。なお、照明手段１２として、ＬＥＤ１１の数及び配置ピッチ等は任意に設定できる。

また、ＬＥＤ照明の照明ムラを解消するために、拡散板（拡散シート）を配設するのが好ましい。このように拡散板（拡散シート）を配置することによって、照明ムラを抑えることができて、検知装置の検知精度及び観察装置の検査精度の向上を図ることができる。拡散板（拡散シート）は、ポリカーボネイト、ポリエステル、アクリル、ガラス等からなり、表面に微細な凹凸構造を設け、その構造による屈折／回析作用により入射光を一定の角度に拡散させるものである。

前記実施形態では、各発光素子１１の明るさを確認する画像処理手段２２を備えたものであったが、このような画像処理手段２２を備えることなく、作業者の目視によって、明るさを確認するものであってもよい。

１１発光素子（ＬＥＤ）
１２照明手段
１３撮像手段
２０照明点検治具
２１フォーカス調整機構
２２画像処理手段
２３移動手段
Ｗワーク（撮像対象）

Claims

複数の発光素子にて撮像対象を種々の方向から照らすことが可能な照明手段と、この照明手段にて照明されている撮像対象を撮像する撮像手段とを備えた観察装置における、前記照明手段の複数の発光素子の状態を検知する検知装置であって、
鏡面反射特性を持ち前記照明手段にて照明が可能な照明点検治具を配置するとともに、前記撮像手段は各発光素子にフォーカスを合わせるフォーカス調整機構を備え、照明点検治具の撮像時において、このフォーカス調整機構にて各発光素子にフォーカスを合わせた状態で、各発光素子を撮像するもので、照明点検治具を前記撮像手段にて撮像した画像に基づいて各発光素子の明るさを確認する画像処理手段を備え、この画像処理手段は、各発光素子の明るさの確認に加えて各発光素子の配置ずれおよび光軸のずれを検知して、各発光素子の劣化、ばらつき、配置ずれ、及び／又は光軸ずれの異常の確認を可能とし、かつ、前記照明手段による照明点検治具の照明可能位置と、前記照明手段による前記撮像対象の照明可能位置とに、照明手段側と照明点検治具側との少なくともいずれか一方を移動させる移動手段を備えたことを特徴とする検知装置。
照明手段は、照明点検治具に対して直接光を照射することを特徴とする請求項１に記載の検知装置。
照明手段は、照明点検治具に対して間接光を照射することを特徴とする請求項１に記載の検知装置。
前記撮像手段は、フォーカスを合わせた全発光素子の画像を一度に映し出すことを特徴とする請求項１〜請求項３に記載の検知装置。
前記撮像手段は、全発光素子の内のフォーカスを合わせた所定数の発光素子の画像を順次映し出すことを特徴とする請求項１〜請求項３に記載の検知装置。
画像処理手段は、初期状態の各発光素子の画像と、点検時の各発光素子の画像とを比較することを特徴とする請求項５に記載の検知装置。
複数の発光素子にて撮像対象を種々の方向から照らすことが可能な照明手段と、この照明手段にて照明されている撮像対象を撮像する撮像手段とを備えた観察装置における、前記照明手段の複数の発光素子の状態を検知する検知方法であって、
鏡面反射特性を持ち前記照明手段にて照明が可能な照明点検治具を配置するとともに、この照明点検治具を撮像し、この照明点検治具の撮像時において、各発光素子にフォーカスを合わせ、この状態で、各発光素子を撮像して、各発光素子の画像を得て、各発光素子の明るさの確認に加えて各発光素子の配置ずれおよび光軸のずれを検知して、各発光素子の劣化、ばらつき、配置ずれ、及び／又は光軸ずれの異常の確認を行うものであって、異常の確認状態では、照明点検治具の照明可能状態とし、撮像対象の観察状態では、撮像対象の照明可能状態とすることを特徴とする検知方法。