JP6941708B2 - 二次電子放出係数の測定装置 - Google Patents
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Description
S1では、二次電子放出係数の測定装置100を提供し、走査型電子顕微鏡10の電子放出端102から放出される高エネルギー電子ビームは、第一収集板20の第一貫通孔202および第二収集板30の第二貫通孔302を順次通過して、ファラデーカップ70に入り、第二電流計50によって、ファラデーカップ70に入る高エネルギー電子ビームによって形成される注入電流I注入電流を測定する。
S2では、第一収集板20及び第二収集板30を短絡し、測定試料を第一収集板20と第二収集板30との間に置き、測定試料と第一収集板20との間に50ボルトの正電圧を印加し、測定試料の電圧は第一収集板20の電圧に対して正電圧であり、このとき、生成した二次電子は測定試料から脱出できず、第一収集板20及び第二収集板30では二次電子信号を収集することができず、すなわち、二次電子によって形成される電流ISEは理論的には0であり、第一電流計40によって測定試料と第一収集板20との間の電流I1を測定し、第一電流計40のバックグラウンド電流IBG1は無視でき、式I1=IBG1+Iothers+ISEによって、二次電子以外の電子の電流Iotherを獲得する。
S3では、第一収集板20及び第二収集板30を短絡し、次に、第一収集板20と測定試料との間に正電圧を印加し、第一収集板20の電圧は、測定試料の電圧に対して正電圧であり、第一電流計40によって、測定試料と第一収集板20との間の電流I2を測定し、第一電流計40のバックグラウンド電流IBG2は無視でき、式I2=IBG2+Iothers+ISEによって、二次電子が形成する電流ISEを獲得する。
S4では、数1によって、二次電子放出係数δを獲得する。
10 走査型電子顕微鏡
102 電子放出端
20 第一収集板
202 第一貫通孔
30 第二収集板
302 第二貫通孔
40 第一電流計
50 第二電流計
60 電圧計
70 ファラデーカップ
702 電子入り口
Claims (5)
- 走査型電子顕微鏡と、第一収集板と、第二収集板と、第一電流計と、第二電流計と、電圧計と、ファラデーカップと、電圧供給ユニットと、を含む二次電子放出係数の測定装置であって、
前記第一収集板は第一貫通孔を有し、前記第二収集板は第二貫通孔を有し、前記第一収集板および前記第二収集板は、前記走査型電子顕微鏡のキャビティに設置され、且つ間隔をあけて互いに平行して設置され、測定試料は前記第一収集板と前記第二収集板との間に設置され、
前記第一電流計は、高エネルギー電子ビームは測定試料の表面に当たった後に、測定試料の表面から脱出された電子から前記第一収集板および前記第二収集板に衝突する電子の電流強度を試験するために使用され、
前記ファラデーカップは前記走査型電子顕微鏡のキャビティに設置され、前記ファラデーカップは電子入り口を有し、前記第一貫通孔、前記第二貫通孔、および前記電子入り口は貫通して設置され、前記第一貫通孔、前記第二貫通孔、および前記電子入り口は前記走査型電子顕微鏡のキャビティに設置され、前記高エネルギー電子ビームは前記第一貫通孔および前記第二貫通孔を順次通過して前記ファラデーカップに入り、
前記第二電流計は、前記ファラデーカップに入った前記高エネルギー電子ビームによって放出される電子の電流強度を試験するために使用され、
前記電圧計は前記第一収集板と前記測定試料との間の電圧差を試験するために使用され、
前記電圧供給ユニットは、前記測定試料と前記第一収集板との間に電圧を印加するために使用されることを特徴とする二次電子放出係数の測定装置。 - 前記測定試料は二次元材料であり、その面積は10平方ナノメートル以上50平方ナノメートル以下であることを特徴とする、請求項1に記載の二次電子放出係数の測定装置。
- 前記測定試料は二次元金属モリブデンであることを特徴とする、請求項1に記載の二次電子放出係数の測定装置。
- 前記走査型電子顕微鏡の電子放出端から放出される前記高エネルギー電子ビームの集束ビームスポット直径は10ナノメートルであることを特徴とする、請求項1に記載の二次電子放出係数の測定装置。
- 前記第一収集板と前記第二収集板との間の距離は80ミクロン以上120ミクロン以下であることを特徴とする、請求項1に記載の二次電子放出係数の測定装置。
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