JP6941525B2 - 電子管の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、電子管の製造方法に関する。

従来の電子管の製造方法に関する技術として、例えば特許文献１〜３に記載された技術が知られている。特許文献１には、エッチングによりキャビティが設けられた下蓋と、キャビティを閉じるように下蓋に接合された上蓋と、キャビティ内に配置された電極と、を備えた火炎センサが記載されている。特許文献２には、エッチングによりキャビティが形成されたシリコン基板と、シリコン基板上に設けられたガラス基板と、キャビティ内に設けられた電極と、を備えた放電型の紫外線検出器が記載されている。

特許文献３には、互いに重ねられた基板及び透明基板と、基板及び透明基板に形成された内部電極及び外部電極と、を備えた放電発光装置が記載されている。特許文献３に記載された放電発光装置では、基板及び透明基板間に放電空間が形成されている。

特開２０１３−１９７１９号公報 米国特許第５５００５３１号明細書 特許第３４７００７７号公報

近年、上述したような電子管の製造方法としては、例えば電子管の様々な分野への応用が拡がる中、電子管の内部構造を容易に製造できる方法が求められている。

そこで、本発明は、電子管の内部構造を容易に製造することが可能な電子管の製造方法を提供することを目的とする。

本発明に係る電子管の製造方法は、絶縁性材料から成る第１部材と、先端に向かうに従って狭まり且つ導電性部材を着脱自在に保持した凸部が並設された治具と、を用意し、第１部材及び治具の少なくとも何れかを第１部材が溶融変形可能な温度まで加熱する第１工程と、第１工程後、第１部材と複数の凸部とを対向させた状態において、複数の凸部が第１部材に埋め込まれるように治具を第１部材に接触させた後、治具を取り外し、開口側に向かうに従って拡がる複数の凹部が複数の凸部に対応して形成された第１部材と当該第１部材を貫通して凹部内に突き出る複数の導電性部材とを含む中間体を形成する第２工程と、第２工程後、第２部材を用意し、複数の凹部の開口が閉じられて、電子放出が行われる複数の内部空間が形成されるように中間体に第２部材を気密接合し、接合体を形成する第３工程と、を備える。

この電子管の製造方法では、治具を用いて、第１部材を貫通した導電性部材が内部に突き出た複数の凹部を一括成形し、当該凹部により構成された内部空間を有する内部構造を一括製造することができる。すなわち、電子管の内部構造を容易に製造することが可能となる。

本発明に係る電子管の製造方法は、第３工程後、少なくとも１つの内部空間を備えるように接合体を複数の電子管に切断する第４工程をさらに備えていてもよい。この場合、所定の内部構造を備えた複数の電子管を安定して製造することが可能となる。

本発明に係る電子管の製造方法では、治具の凸部の側面は、先端側に向かうに従って凸部が狭まるように連続的に傾斜していてもよい。この場合、第１部材及び治具の破損を抑制しつつ当該治具を離型することができ、電子管の内部構造を安定して製造することが可能となる。

本発明に係る電子管の製造方法では、治具の凸部は、導電性部材の一端側を当該凸部よりも突出させた状態で導電性部材の他端側を保持する保持凹部を有し、保持凹部に保持された導電性部材の他端側と保持凹部の側面との間の少なくとも一部には、隙間が形成されていてもよい。この場合、隙間に第１部材が埋め込まれることにより導電性部材を被覆できるため、導電性部材を突出させる場合であっても、当該導電性部材を安定して固定することが可能となる。

本発明に係る電子管の製造方法では、保持凹部に保持された導電性部材の他端側は、当該他端側に向かうに従って拡がる拡大部を有し、拡大部と保持凹部の側面と間の少なくとも一部には、隙間が形成されていてもよい。この場合、隙間に第１部材が埋め込まれることにより拡大部を被覆できるため、導電性部材と第１部材との接触面積を拡大することが可能となる。よって、導電性部材を突出させる場合であっても、当該導電性部材を安定して固定することが可能となる。

本発明に係る電子管の製造方法では、拡大部の側面は、導電性部材の他端側に向かうに従って導電性部材が拡がるように連続的に傾斜していてもよい。この場合、拡大部の側面を第１部材で隙間無く被覆することが容易になる。

本発明に係る電子管の製造方法では、治具は、凸部の周囲において給電部材を着脱自在に保持し、第２工程では、給電部材が第１部材に更に埋め込まれるように治具を第１部材に接触させ、給電部材を更に含む中間体を形成し、第３工程では、凹部内に突き出る導電性部材と対向するように対向電極部材を第２部材に設けると共に、当該対向電極部材を給電部材と電気的に接続してもよい。この場合、第２部材側の対向電極部材への給電経路を、別途工程を要することなく形成することが可能となる。

本発明に係る電子管の製造方法では、第２部材は、絶縁性材料から成ってもよい。この場合、製造した電子管における内部空間内での耐電圧能を向上することが可能となる。

本発明に係る電子管の製造方法では、治具の凸部を構成する面の少なくとも一部には、凹部、凸部及び粗面部の少なくとも何れかが形成されていてもよい。この場合、内部空間を構成する面に、凹部、凸部及び粗面部の少なくとも何れかを形成でき、内部空間内における沿面距離を長くすることが可能となる。

本発明に係る電子管の製造方法では、第１工程後、第１部材において治具が接触する側と反対側を押圧部材で押圧する工程を更に含み、押圧部材における第１部材との接触領域には、凹部、凸部及び粗面部の少なくとも何れかが形成されていてもよい。この場合、第１部材の外面に、凹部、凸部及び粗面部の少なくとも何れかを形成でき、電子管の外面における沿面距離を長くすることが可能となる。

本発明に係る電子管の製造方法では、第２工程では、中間体において導電性部材が第１部材を貫通するように、導電性部材の一端を第１部材から露出させつつ導電性部材を第１部材に埋め込む、又は、導電性部材の一端が第１部材から露出するまで第１部材を研磨してもよい。この場合、導電性部材が第１部材を貫通する構成を具体的に実現できる。

本発明によれば、電子管の内部構造を容易に製造することが可能な電子管の製造方法を提供することが可能となる。

第１実施形態に係る電子管の断面図である。 図１の電子管の分解斜視図である。 図１の電子管の製造方法で用いられる治具の平面図である。 （ａ）は、図１の電子管の製造方法を説明する一部断面図である。（ｂ）は、図４（ａ）の続きを示す一部断面図である。 （ａ）は、図４（ｂ）の続きを示す一部断面図である。（ｂ）は、図５（ａ）の続きを示す一部断面図である。 （ａ）は、図５（ｂ）の続きを示す一部断面図である。（ｂ）は、図６（ａ）の続きを示す一部断面図である。（ｃ）は、図６（ｂ）の続きを示す一部断面図である。 （ａ）は、図６（ｃ）の続きを示す一部断面図である。（ｂ）は、図７（ａ）の続きを示す一部断面図である。（ｃ）は、図７（ｂ）の続きを示す一部断面図である。 （ａ）は、図７（ｃ）の続きを示す一部断面図である。（ｂ）は、図８（ａ）の続きを示す一部断面図である。 第２実施形態に係る電子管の製造方法を説明する一部断面図である。 （ａ）は、第３実施形態に係る電子管の製造方法を説明する一部断面図である。（ｂ）は、第３実施形態に係る電子管の製造方法を説明する他の一部断面図である。 （ａ）は、第４実施形態に係る電子管の製造方法を説明する一部断面図である。（ｂ）は、第４実施形態に係る電子管の製造方法を説明する他の一部断面図である。 （ａ）は、第５実施形態に係る電子管の製造方法を説明する一部断面図である。（ｂ）は、第５実施形態に係る電子管の製造方法を説明する他の一部断面図である。 （ａ）は、第５実施形態の変形例に係る電子管の製造方法を説明する一部断面図である。（ｂ）は、第５実施形態の変形例に係る電子管の製造方法を説明する他の一部断面図である。 （ａ）は、第１変形例に係る電子管の断面図である。（ｂ）は、第２変形例に係る電子管の断面図である。 （ａ）は、第３変形例に係る電子管の断面図である。（ｂ）は、第４変形例に係る電子管の断面図である。（ｃ）は、第５変形例に係る電子管の断面図である。

以下、本発明の一実施形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、以下の説明において、同一又は相当要素には同一符号を用い、重複する説明を省略する。また、以下の説明における寸法は、必ずしも図面には相当しない。

［第１実施形態］
図１及び図２に示されるように、電子管１は、ネオン又は水素等の放電ガスを封入した、受光素子（エネルギー検出素子）として機能する放電管である。電子管１は、光電子放出効果及び放電現象を利用して紫外線を検出する紫外線検出器（炎センサ）として用いられる。電子管１は、気密封止された内部空間Ｒを有する筐体２と、内部空間Ｒ内において受光を行うための電極としての陰極Ｋ及び陽極Ａと、を備える。電子管１は、直方体状の外形を呈しており、例えば１０ｍｍ×１０ｍｍ×５ｍｍの寸法を有する。

筐体２は、本体部５及び蓋部６を有する。筐体２は、本体部５及び蓋部６を封止部Ｓによって気密接合し、その内部空間Ｒに放電ガスを封入した構造を有する。本体部５は、絶縁性材料から成り、例えば石英、ガラス又はセラミック等により形成されている。本体部５は、第１板状部７と、第１板状部７上に設けられた側壁部８と、を含む。第１板状部７は、矩形平板状を呈する。第１板状部７の厚さは、例えば１ｍｍである。側壁部８は、第１板状部７の縁部に立設され、矩形枠状を呈する。本体部５では、側壁部８に囲まれた領域により、内部空間Ｒを構成する凹部９が形成されている。内部空間Ｒでは、電子放出が行われる。

凹部９は、その底面９ａ（第１板状部７の内側面）から開口９ｂ側に向かうに従って拡がっている。凹部９は、四角錐台状の空間である。凹部９の深さは、例えば２．５ｍｍである。凹部９の開口９ｂは、例えば７ｍｍ×７ｍｍの矩形状である。凹部９における４つの側面９ｃは、開口９ｂ側に向かうに従って凹部９が拡がるように連続的に（滑らかな面となるように）傾斜している。底面９ａに直交する方向を基準（０°）にした際の側面９ｃの傾斜角度θ１は、３°〜１０°であり、好ましくは５°である。換言すれば、電子管１を側壁部８の立設方向に沿った断面で見た場合（図１を紙面垂直方向から見た場合）、底面９ａと側面９ｃとがなす角度θ２は、９３°〜１００°であり、好ましくは９５°である。

蓋部６は、凹部９の開口９ｂを閉じるように、封止部Ｓによって本体部５に気密接合されている。蓋部６の内面と封止部Ｓと凹部９の底面９ａ及び側面９ｃとにより、内部空間Ｒが画成される。蓋部６は、光透過性（紫外線透過性，エネルギー透過性）を有する絶縁性材料から成り、例えば石英又は紫外線透過ガラス等により形成されている。蓋部６は、第２板状部１０を含む（ここでは、蓋部６は第２板状部１０である）。第２板状部１０は、矩形平板状を呈する。第２板状部１０の厚さは、例えば１ｍｍである。第２板状部１０は、側壁部８上に固定され、第１板状部７と対向する。第２板状部１０と側壁部８との間には、封止部Ｓを構成する第１下地膜１５、シール材１６及び第２下地膜１７が、側壁部８から第２板状部１０に向かってこの順で介在されている。なお、図２では、第１下地膜１５及び第２下地膜１７を省略して示している。

第１下地膜１５は、シール材１６と側壁部８との密着性を向上させる膜である。第２下地膜１７は、シール材１６と第２板状部１０との密着性を向上させる膜である。第１下地膜１５及び第２下地膜１７としては、Ｃｒ（クロム）／Ｎｉ（ニッケル）、又は、Ｔｉ（チタン）／Ｐｔ（白金）／Ａｕ（金）等を用いることができる。シール材１６は、側壁部８と第２板状部１０との間を気密に封止する部材である。シール材１６としては、Ｉｎ（インジウム）、ＡｕＳｎ（金スズ）等のろう材、又は、フリットガラス等を用いることができる。第１下地膜１５、シール材１６及び第２下地膜１７は、凹部９の開口９ｂ側から見て、凹部９の周縁部上に設けられた矩形枠状を呈する。

陰極（電極）Ｋは、後述する光電子放出部１４から成る。光電子放出部１４は、貫通部材３の先端部に保持されることで、内部空間Ｒ内の所望の位置に配置されると共に貫通部材３と電気的に接続される。光電子放出部１４は、貫通部材３を介して所望の電位が与えられることで、光電子放出電極として機能する。

貫通部材３は、本体部５の第１板状部７を貫通する導電性部材である。貫通部材３は、例えばコバール金属で形成されている。貫通部材３は、その基端側に、略一定の径を有して略円柱状に延在する柱状部３ａを備える。貫通部材３は、その先端側に、柱状部３ａよりも大きな径を有する大径部３ｂを備える。大径部３ｂにおける基端側は、先端側に向かうに従って拡径する（拡がる）拡大部３ｂ_１を有する。拡大部３ｂ_１よりも先端側は、その先端面において光電子放出部１４を保持する円柱状の保持部３ｂ_２とされている。また、柱状部３ａの長さは、第１板状部７の厚さよりも大きくなっている。

貫通部材３は、柱状部３ａの基端側（基端面）において外部空間（電子管１の外部の空間）に、第１板状部７の外側面と面一となるような状態で露出すると共に、大径部３ｂ及び柱状部３ａの先端側の一部が、凹部９の底面９ａから蓋部６側に向かって内部空間Ｒ内に突出するようにして、第１板状部７に固定されている。つまり、貫通部材３は、凹部９の底面９ａの中央部から内部空間Ｒ内に突き出る内部空間突出部１１を有し、内部空間突出部１１は、大径部３ｂ及び柱状部３ａの先端側の一部によって構成される。そして、内部空間突出部１１は、当該先端側に向かうに従って拡径する（拡がる）拡大部３ｂ_１を有し、拡大部３ｂ_１は大径部３ｂの基端側の一部によって構成される。

拡大部３ｂ_１の側面は、先端側に向かうに従って貫通部材３が拡がるように連続的に（滑らかな面となるように）傾斜している。拡大部３ｂ_１は、円錐台状を呈する。内部空間突出部１１における拡大部３ｂ_１よりも先端側は、保持部３ｂ_２とされている。保持部３ｂ_２は、大径部３ｂの先端側の一部によって構成される。保持部３ｂ_２は、拡大部３ｂ_１以上の径を有し、拡大部３ｂ_１は、拡大部３ｂ_１よりも基端側の径（柱状部３ａの径）よりも大きい径を有する。つまり、内部空間突出部１１では、拡大部３ｂ_１よりも先端側である保持部３ｂ_２の径が、拡大部３ｂ_１よりも基端側の径（柱状部３ａの径）に比べて大きくされている。例えば、貫通部材３における保持部３ｂ_２の径はφ２ｍｍであり、拡大部３ｂ_１よりも基端側の径（柱状部３ａの径）はφ１ｍｍであり、貫通部材３の全長は３ｍｍである。このような貫通部材３は、キノコ形状を呈し、主にその笠部分である拡大部３ｂ_１及び保持部３ｂ_２が内部空間Ｒ内に突き出ているとも言える。

保持部３ｂ_２の先端面上には、光電子放出電極として機能する円板状の光電子放出部１４が貫通部材３と同軸で接合されている。光電子放出部１４では、貫通部材３と異なり、本体部５との密着性等を考慮する必要がない。そのために、光電子放出部１４の材料として、光電変換効率を主眼とした材料を選択することができる。例えば光電子放出部１４は、Ｎｉ（ニッケル）により形成されている。光電子放出部１４は、例えばφ４ｍｍで厚さ０．３ｍｍの寸法を有する。

内部空間突出部１１において拡大部３ｂ_１と拡大部３ｂ_１よりも基端側の部分（柱状部３ａの先端側の一部）とは、その周囲が絶縁部１２により被覆されている。換言すると、内部空間突出部１１における保持部３ｂ_２以外の側方は、絶縁部１２により囲われている。絶縁部１２は、絶縁性材料から成り、例えば石英、ガラス又はセラミック等により形成されている。本実施形態の絶縁部１２は、本体部５の第１板状部７と一体で形成されている。絶縁部１２の外周面は、円錐台の側面を構成し、凹部９の底面９ａから開口９ｂ側に向かうに従って縮径するように連続的に（滑らかな面となるように）傾斜している。

陽極（他の電極）Ａは、対向電極（対向電極部材）４から成る。対向電極４は、貫通部材３及び光電子放出部１４と対向するように蓋部６に設けられている。対向電極４は、蓋部６を透過した光が透過できるような開口部を備えた、例えばメッシュ状の電極である。対向電極４は、貫通部材３上の光電子放出部１４に対して所定長離れて対面する。所定長は、例えば、０．２ｍｍに第１下地膜１５、シール材１６及び第２下地膜１７の各厚さを加えた長さである。対向電極４は、蓋部６の内面に蒸着により形成される。対向電極４は、Ａｌ（アルミニウム）又はＣｒ等の金属膜である。対向電極４は、給電部１３と電気的に接続されている。

給電部１３は、対向電極４に給電するための部材である。給電部１３は、導電性材料から成る。給電部１３は、内部空間Ｒ内に露出することなく本体部５を貫通する。具体的には、給電部１３は、凹部９の深さ方向を軸方向とし、略一定の径を有して延在する略円柱状を呈し、第１板状部７及び側壁部８の内部に埋設されて、内部空間Ｒ内に露出することなく貫通する。給電部１３は、本体部５における凹部９の周囲に設けられている。給電部１３は、例えばコバール金属で形成されている。給電部１３における開口９ｂ側の先端部（先端面）は、側壁部８の蓋部６側の端面において当該端面と面一になるように露出し、第１下地膜１５、シール材１６及び第２下地膜１７を介して、対向電極４に電気的に接続されている。一方、給電部１３における第１板状部７側の基端部（基端面）は、外部空間（電子管１の外部の空間）に、第１板状部７の外側面と面一となるような状態で露出する。

以上のように構成された電子管１の動作原理を説明する。ここでは、電子管１の使用状態において、貫通部材３に負の電圧を供給することで陰極Ｋ（光電子放出部１４）に負の電圧を印加し、給電部１３を接地電位に接続することで接地電位の陽極Ａ（対向電極４）から信号を取り出す形態における説明を行う。このように、陰極Ｋ（光電子放出部１４）と陽極Ａ（対向電極４）との間に電圧が印可されている状態において、蓋部６及び対向電極４の開口部を介して陰極Ｋ（光電子放出部１４）に紫外線が入射すると、陰極Ｋ（光電子放出部１４）から光電子が放出される（光電子放出効果）。この光電子は、陰極Ｋ（光電子放出部１４）と陽極Ａ（対向電極４）との間に印加された電圧で形成される電界によって陽極Ａ（対向電極４）に引き寄せられる際、内部空間Ｒ内の放電ガス分子と衝突して放電ガス分子を電離させる。電離によって発生した電子及び正イオンのうち、電子は、更に他の放電ガス分子と衝突及び電離を繰り返して二次電子を発生させ、陽極Ａ（対向電極４）に至る。一方、正イオンは、陰極Ｋ（光電子放出部１４）に向けて加速され、陰極Ｋ（光電子放出部１４）に入射すると、陰極Ｋ（光電子放出部１４）より電子が放出される。そして、当該電子が、陽極Ａ（対向電極４）に引き寄せられる際、内部空間Ｒ内の放電ガス分子と衝突して放電ガス分子を電離させる。このような電子増倍が繰り返されることにより、空間放電が生じ、陰極Ｋ（光電子放出部１４）と陽極Ａ（対向電極４）との間に急激に大きな電流が流れる。当該電流を陽極Ａ（対向電極４）で検出することにより、紫外線を検出することができる。このように、電子管１では、光電子放出効果及び放電現象を利用して紫外線を検出する。

次に、電子管１を製造する製造方法について、図３〜図８を用いて説明する。図４〜図８では、図３のＡ−Ａ線に沿う断面に対応する断面の一部のみ（１つの電子管１に相当する領域のみ）を示しており、実際には図３に示すように、例えば五行五列で２５個の電子管１を一括に製造している。また、製造方法の説明においては、貫通部材（導電性部材）３及び給電部１３における基端を一端とし、先端を他端とする。

まず、図３及び図４（ａ）に示されるように、治具２０を用意する。治具２０は、本体部５を成形する型である。治具２０は、平板部２１と、平板部２１の表面２１ａにマトリクス状に並設された凸部２２と、平板部２１における各凸部２２の周囲に形成された孔部２３と、を備える。

凸部２２は、凹部９に対応する形状を有する。凸部２２は、先端の頂面２２ｔに向かうに従って狭まる四角錐台状を呈する。凸部２２の側面２２ｓは、先端側に向かうに従って凸部２２が狭まるように連続的に（滑らかな面となるように）傾斜している。頂面２２ｔは凹部９の底面９ａに対応し、側面２２ｓは凹部９の側面９ｃに対応する。表面２１ａと直交する方向を基準（０°）にした際の凸部２２の側面２２ｓの傾斜角度θ１ｍは、３°〜１０°であり、好ましくは５°である。換言すれば、治具２０を凸部２２の立設方向に沿った断面で見た場合（図４を紙面垂直方向から見た場合）、表面２１ａと側面２２ｓとが為す角度θ２ｍは、９３°〜１００°であり、好ましくは９５°である。凸部２２は、その上面における略中央領域に貫通部材３を保持する保持凹部２２ａを有する。

保持凹部２２ａは、貫通部材３の柱状部３ａの一端側を凸部２２よりも突出させた状態で、柱状部３ａの他端側及び貫通部材３の大径部３ｂを内挿して保持する。保持凹部２２ａの深さは、凸部２２の突出高さよりも小さい。保持凹部２２ａの底面２２ａ_１側は、大径部３ｂの他端側である保持部３ｂ_２に対応した、底面２２ａ_１及び側面２２ａ_２によって構成される円柱状を呈する。保持凹部２２ａの開口側は、当該開口側に向かうに従って拡径する円錐台状を呈し、側面２２ａ_３によって構成される。つまり、保持凹部２２ａの開口側の側面２２ａ_３は、開口側に向かうに従って保持凹部２２ａが拡がるように連続的に（滑らかな面となるように）傾斜する。孔部２３は、平板部２１の表面２１ａにおいて各凸部２２に近接する位置に形成されている。孔部２３は、凸部２２と一対で一組となるよう、凸部２２と同数形成されている。孔部２３は、給電部（給電部材）１３の端部を保持する。孔部２３は、給電部１３に対応する円柱状を呈する。

治具２０を、図示しない載置台の上に載置した状態で、図４（ｂ）に示されるように、治具２０の保持凹部２２ａに貫通部材３の他端側である保持部３ｂ_２を底側にして、貫通部材３を同軸に挿入する。つまり、貫通部材３の保持部３ｂ_２の他端面を保持凹部２２ａの底面２２ａ_１で支持することで、貫通部材３を他端側で保持凹部２２ａ内に立設するように配置する。さらに、保持部３ｂ_２の側面も保持凹部２２ａの側面２２ａ_２で支持されているので、貫通部材３は保持凹部２２ａ内でより安定に保持されている。これにより、保持凹部２２ａで貫通部材３を着脱自在に保持させる。併せて、治具２０の孔部２３に給電部１３の他端側を同軸に挿入し、給電部１３を他端側で孔部２３内に立設するように配置する。これにより、孔部２３で給電部１３を着脱自在に保持させる。このとき、貫通部材３及び給電部１３の一端面、つまり治具２０から突出する側の端面は、それらの軸方向において略同じ位置に位置している。貫通部材３と保持凹部２２ａの側面と間には、隙間Ｇが形成されている。隙間Ｇは、保持凹部２２ａ内において貫通部材３の周囲に存在する空間である。隙間Ｇは、拡大部３ｂ_１と保持凹部２２ａの内側面との間の隙間Ｇ１を含む。なお実際には、貫通部材３を保持凹部２２ａで着脱自在に保持するために、保持凹部２２ａと保持部３ｂ_２との間にも僅かな隙間が存在するが、この隙間は隙間Ｇには含まれないものとする。

このような治具２０の用意と共に、図５（ａ）に示されるように、例えばガラス等の絶縁性材料から成る第１部材３０を用意する。第１部材３０は、平板状を呈しており、例えば８０ｍｍ×８０ｍｍ×４ｍｍの寸法を有する。第１部材３０の大きさには、後述の切断工程における切り代が含まれている。

第１部材３０を図示しない保持部材で保持した状態で、貫通部材３及び給電部１３を保持した治具２０に対向する位置に第１部材３０を配置し、第１部材３０と複数の凸部２２とを対向させる。そして、治具２０及び第１部材３０の少なくとも何れか、より好ましくは両方を、第１部材３０が溶融変形可能な温度まで加熱する。例えば、治具２０及び第１部材３０を、載置台及び保持部材を含めて、第１部材３０が溶融変形可能な温度雰囲気中に配置する。よって、治具２０、載置台及び保持部材は、第１部材３０が溶融変形可能な温度においても溶融及び変形することのない、高温での安定性に優れた材料から成る。第１部材３０が溶融変形可能な温度は、例えば第１部材３０がガラスから成る場合、ガラスの転移点以上の温度である。

続いて、図５（ｂ）に示されるように、第１部材３０と複数の凸部２２とを対向させた状態で、治具２０と第１部材３０とを接近させて接触させ、治具２０及び第１部材３０の何れか一方を他方に（又は互いに）押圧することで、複数の凸部２２と貫通部材３及び給電部１３とを第１部材３０に埋め込む。その際、拡大部３ｂ_１の周囲の隙間Ｇ１を含む隙間Ｇにも、第１部材３０が流入し、埋め込まれる。なお、保持部３ｂ_２の側面と側面２２ａ_２との間には、ほとんど第１部材３０が流入することはないため、少なくとも保持部３ｂ_２の他端面と底面２２ａ_１との間には第１部材３０が流入することはない。つまり、貫通部材３のうち、少なくとも保持部３ｂ_２の他端面は絶縁性材料に覆われることはない。そのため、後述する光電子放出部１４との接合時において、光電子放出部１４との電気的接続を確実に確保することができる。また、ここでは、貫通部材３及び給電部１３の一端面までが埋設されるように（一端面が第１部材３０から露出しないように）、第１部材３０に埋め込んでいる。その後、図６（ａ）に示されるように、治具２０を取り外す（離型する）。換言すると、治具２０から、第１部材３０と貫通部材３と給電部１３とを取り出す。

続いて、図６（ｂ）に示されるように、凹部９の開口９ｂの向きが１８０°変わるように、第１部材３０と貫通部材３と給電部１３との天地を逆にして配置する。なお、天地を逆に配置する当該工程は、説明の便宜上の工程であり、実際の製造工程においては無くてもよい。

続いて、図６（ｃ）に示されるように、第１部材３０における凹部９の開口９ｂ側とは反対側の表面３０ａを、貫通部材３及び給電部１３の一端が当該表面３０ａから露出するまで研磨する。同様に、給電部１３の他端を、第１部材３０における凹部９の開口９ｂ側の表面３０ｂと同一面になるように研磨する。これにより、中間体Ｎ１を形成する。

中間体Ｎ１は、開口９ｂ側に向かうに従って拡がる複数の凹部９が複数の凸部２２に対応して形成された第１部材３０と、第１部材３０を貫通して凹部９内に突き出る複数の貫通部材３と、第１部材３０における凹部９の周辺を貫通する複数の給電部１３と、を備える。なお、本実施形態での複数とは、上述したように例えば五行五列の２５個に相当する。貫通部材３において保持凹部２２ａに挿入された部分、つまり、大径部３ｂ（拡大部３ｂ_１及び保持部３ｂ_２）及び柱状部３ａの他端側の一部により、内部空間突出部１１が形成される。拡大部３ｂ_１の周囲の隙間Ｇ１を含む隙間Ｇ（図５（ａ）参照）に埋め込まれた第１部材３０により、絶縁部１２が形成される。

続いて、図７（ａ）に示されるように、凹部９内において貫通部材３の保持部３ｂ_２側の先端面に、陰極Ｋとしての光電子放出部１４を貫通部材３と同軸で配置して接合する。光電子放出部１４と貫通部材３との接合方法は特に限定されず、例えばレーザ溶接、抵抗溶接又はろう材等により接合できる。続いて、図７（ｂ）に示されるように、第１部材３０の表面３０ｂ上において各凹部９の周縁部に、第１下地膜１５を成膜する。そして、図７（ｃ）に示されるように、各第１下地膜１５上にシール材１６を積層する。

続いて、図８（ａ）に示されるように、第２部材４０を用意する。第２部材４０は、平板状を呈しており、例えば８０ｍｍ×８０ｍｍ×１ｍｍの寸法を有する。第２部材４０は、中間体Ｎ１における第１部材３０に対応する大きさの表面４０ａを有する。第２部材４０の表面４０ａ上において、中間体Ｎ１の各貫通部材３（光電子放出部１４）及び各給電部１３に対応する複数位置に、対向電極（対向電極部材）４を蒸着する。つまり、後段にて中間体Ｎ１に第２部材４０を気密接合した際に、各貫通部材３（光電子放出部１４）及び各給電部１３に対向するように対向電極４を第２部材４０に設ける。そして、シール材１６と対向する位置に、第２下地膜１７を成膜する。

続いて、図８（ｂ）に示されるように、ガス雰囲気中において、複数の凹部９が気密封止されて、周囲雰囲気のガスを封入した複数の内部空間Ｒが形成されるように、中間体Ｎ１に第２部材４０を重ねて気密接合する。このとき、各対向電極４を各貫通部材３（光電子放出部１４）と対向させると共に、各対向電極を各給電部１３と電気的に接続する。これにより、接合体Ｎ２を形成する。

最後に、複数の内部空間Ｒ毎に接合体Ｎ２を切断する。例えば隣接する内部空間Ｒの間を通るように格子状に切断予定ラインを設定し、この切断予定ラインに沿って接合体Ｎ２切断する。当該切断工程における切断方法は特に限定されず、公知の種々の切断方法を採用できる。これにより、第１部材３０により本体部５が構成され、第２部材４０により蓋部６が構成された複数の電子管１として、接合体Ｎ２が分割される。以上により、電子管１の製造が完成する。

以上、電子管１の製造方法では、第１部材３０を貫通した貫通部材（導電性部材）３が内部に突き出た複数の凹部９を治具２０を用いて一括成形し、当該凹部９により構成された内部空間Ｒを有する内部構造を一括製造することができる。すなわち、電子管１の内部構造を容易に製造することが可能となる。

電子管１の製造方法は、接合体Ｎを形成する工程後、少なくとも１つの内部空間Ｒを備えるように接合体Ｎ２を複数の電子管１に切断する工程を含む。これにより、所定の内部構造を備えた複数の電子管１を安定して製造することが可能となる。

電子管１の製造方法では、治具２０の凸部２２の側面２２ｓは、先端側の頂面２２ｔに向かうに従って凸部２２が狭まるように連続的に（滑らかな面となるように）傾斜している。この場合、第１部材３０及び治具２０の破損を抑制しつつ治具２０を離型することができる。電子管１の内部構造を安定して製造することが可能となる。

電子管１の製造方法では、治具２０の凸部２２は、貫通部材３の一端側を当該凸部２２よりも突出させた状態で貫通部材３の他端側を内挿して保持する保持凹部２２ａを有する。保持凹部２２ａに内挿された貫通部材３の他端側と保持凹部２２ａの側面との間には、隙間Ｇが形成されている。この場合、隙間Ｇに第１部材３０が埋め込まれることにより貫通部材３を被覆できるため、貫通部材３を突出させる場合であっても、当該貫通部材３を安定して固定することが可能となる。なお、隙間Ｇは、貫通部材３と保持凹部２２ａの側面との間の少なくとも一部に形成されていればよい。

電子管１の製造方法では、保持凹部２２ａに内挿して保持された貫通部材３の拡大部３ｂ_１と保持凹部２２ａの側面と間には、隙間Ｇ１が形成されている。この場合、隙間Ｇ１に第１部材３０が埋め込まれることにより拡大部３ｂ_１を被覆できるため、貫通部材３と第１部材３０との接触面積を拡大することが可能となる。貫通部材３を突出させる場合であっても、当該貫通部材３を安定して固定することが可能となる。なお、隙間Ｇ１は、拡大部３ｂ_１と保持凹部２２ａの側面との間の少なくとも一部に形成されていればよい。また、拡大部３ｂ_１によって絶縁部１２が保持部３ｂ_２の他端面に至ることを抑制できるので、光電子放出部１４との電気的接続を確実に確保することができる。

電子管１の製造方法では、拡大部３ｂ_１の側面は、貫通部材３の他端側に向かうに従って貫通部材３が拡がるように連続的に傾斜していてもよい。この場合、拡大部３ｂ_１の側面を第１部材３０で隙間無く被覆することが容易になる。貫通部材３を突出させる場合であっても、当該貫通部材３を一層安定して固定することが可能となる。

電子管１の製造方法では、治具２０は、凸部２２の周囲において給電部１３を着脱自在に保持する。給電部１３が第１部材３０に埋め込まれるように治具２０を第１部材３０に接触させ、給電部１３を含む中間体Ｎ１を形成する。そして、貫通部材３と対向するように対向電極４（対向電極部材）を第２部材４０に設けると共に、当該対向電極４を給電部１３と電気的に接続する。この場合、第２部材４０側の対向電極４への給電経路を、別途工程を要することなく形成することが可能となる。

電子管１の製造方法では、第２部材４０は、絶縁性材料から成る。この場合、製造した電子管１における内部空間Ｒ内での耐電圧能を向上することが可能となる。

電子管１の製造方法では、貫通部材３及び給電部１３の一端が第１部材３０から露出するまで第１部材３０を研磨する。この場合、貫通部材３及び給電部１３が第１部材３０を貫通する構成を具体的に実現できる。

電子管１では、陰極Ｋとの電気的接続を内部空間突出部１１を有する貫通部材３で行うことで、例えば筐体内壁面に沿って設けた導電膜等を用いた場合と比較して、内部空間Ｒ内における筐体２との接触面積を低減できるため、内部空間Ｒ内での耐電圧能を高めることができる。また、凹部９が開口９ｂ側に向かうに従って拡がっていることから、治具２０（型）を用いて本体部５を成形する場合に容易に離型することができる。したがって、電子管１によれば、耐電圧能を向上でき且つ容易に製造することが可能となる。

電子管１では、本体部５は、第１板状部７と、第１板状部７上に設けられた枠状の側壁部８と、を含む。蓋部６は、側壁部８上に固定され第１板状部７と対向する第２板状部１０を含む。貫通部材３は、第１板状部７を貫通する。この構成によれば、第１板状部７と第２板状部１０とが対向する筐体２を備えた電子管１において、貫通部材３を安定して固定することが可能となり、小型の電子管１を具体的且つ容易に実現できる。

電子管１では、凹部９の側面９ｃは、開口９ｂ側に向かうに従って凹部９が拡がるように連続的に傾斜している。この構成によれば、一定形状の凹部９をもった本体部５を安定して形成することが可能となる。

電子管１では、貫通部材３の内部空間突出部１１における側面の一部は、絶縁性材料から成る絶縁部１２で被覆されている。この構成によれば、内部空間Ｒ内における貫通部材３の露出を低減して、内部空間Ｒ内での耐電圧能を向上することができる。

電子管１では、陰極Ｋ（光電子放出部１４）は、貫通部材３の内部空間突出部１１における先端側で保持され、内部空間突出部１１は、当該先端側に向かうに従って拡がる拡大部３ｂ_１を有する。この構成によれば、内部空間突出部１１において陰極Ｋ（光電子放出部１４）を保持する先端側の断面積を拡大すること（保持部３ｂ_２を設けること）が可能となる。

電子管１では、拡大部３ｂ_１が絶縁部１２で被覆されている。この構成によれば、内部空間Ｒ内における拡大部３ｂ_１の露出を低減して、内部空間Ｒ内での耐電圧能を向上することが可能となる。一方で、拡大部３ｂ_１によって絶縁部１２が保持部３ｂ_２の他端面に至ることを抑制できるので、光電子放出部１４との電気的接続を確実に確保することができる。

電子管１では、拡大部３ｂ_１の側面は、先端側に向かうに従って貫通部材３が拡がるように連続的に傾斜している。この構成によれば、拡大部３ｂ_１の側面を絶縁部１２で隙間無く被覆することが容易になり、内部空間Ｒ内での耐電圧能を向上することを容易に実現できる。

電子管１は、貫通部材３と対向するように蓋部６に設けられた対向電極４をさらに備え、対向電極４は、内部空間Ｒに露出することなく本体部５を貫通する給電部１３と電気的に接続されている。この構成によれば、対向電極４に電気的に接続される給電部１３の内部空間Ｒでの露出を低減し、内部空間Ｒ内での耐電圧能を向上することが可能となる。

電子管１では、蓋部６は、光透過性を有する絶縁性材料から成る。この構成によれば、内部空間Ｒ内における受光に係る窓部として蓋部６を構成しつつ、内部空間Ｒ内での耐電圧能を一層向上することができる。

本実施形態において、図４（ａ）〜図５（ａ）に示される工程が、第１工程を構成する。図５（ｂ）〜図７（ｃ）に示される工程が、第２工程を構成する。図８（ａ）〜図８（ｂ）に示される工程が、第３工程を構成する。複数の内部空間Ｒ毎に接合体Ｎ２を切断する工程が、第４工程を構成する。

［第２実施形態］
次に、第２実施形態について説明する。第２実施形態の説明では、上記第１実施形態と異なる点を説明し、同様な説明は省略する。

図９に示されるように、第２実施形態は、電子管の製造方法において、第１部材３０（図５（ａ）参照）に代えて第１部材３０Ｘを用いる点で、第１実施形態と異なる。第１部材３０Ｘは、貫通部材３及び給電部１３に対向する位置に貫通孔３２及び貫通孔３３を有する以外、第１部材３０と同様である。貫通孔３２の内径は、貫通部材３の柱状部３ａの外径に対応し、貫通孔３３の内径は、給電部１３の外径に対応するが、貫通孔３２，３３の内径の方が当該外径よりも若干大きい方が好ましい。

第１部材３０Ｘを用いた製造方法では、第１部材３０Ｘと治具２０とを対向する位置に配置したとき、貫通孔３２を貫通部材３と対向させると共に、貫通孔３３を給電部１３と対向させる。そして、治具２０と第１部材３０Ｘとを接近させて接触させ、治具２０及び第１部材３０Ｘの何れか一方を他方に（または互いに）押圧することで、複数の凸部２２と貫通部材３及び給電部１３とを第１部材３０Ｘに埋め込む。その際、貫通孔３２に貫通部材３を挿入させると共に、貫通孔３３に給電部１３を挿入させる。

以上、第２実施形態に係る電子管の製造方法においても、上記実施形態と同様な効果を奏する。また、貫通孔３２及び貫通孔３３を有する第１部材３０Ｘを用いることで、第１部材３０Ｘから露出する貫通部材３及び給電部１３の一端面、すなわち、貫通部材３及び給電部１３に給電する際の電気的接続部の表面に第１部材３０Ｘが付着するのを抑制することができる。また、貫通部材３及び給電部１３の一端側がスムーズに第１部材３０Ｘ内に導入されるので、第１部材３０Ｘに埋め込む際に貫通部材３及び給電部１３の配置が変化してしまうことを抑制することができる。

［第３実施形態］
次に、第３実施形態について説明する。第２実施形態の説明では、上記第１実施形態と異なる点を説明し、同様な説明は省略する。

図１０（ａ）に示されるように、第３実施形態は、電子管の製造方法において、貫通部材３及び給電部１３を第１部材３０に埋め込む際、貫通部材３及び給電部１３が第１部材３０を貫通するように貫通部材３及び給電部１３の一端を第１部材３０から露出させる点で、第１実施形態とは異なる。これにより、図１０（ｂ）に示されるように、第３実施形態の中間体Ｎ１では、貫通部材３及び給電部１３の一端が第１部材３０の表面３０ａから突出する。その結果、第３実施形態に係る電子管では、貫通部材３及び給電部１３の一端は、本体部５から外側（大気側）に突出する。

以上、第３実施形態に係る電子管の製造方法においても、上記実施形態と同様な効果を奏する。また、貫通部材３及び給電部１３が第１部材３０を貫通するように、貫通部材３及び給電部１３の一端を第１部材３０から露出させるため、第１部材３０への埋め込み後に第１部材３０の表面３０ａを研磨することを不要にでき、製造工程を簡略化することができる。また、貫通部材３及び給電部１３の一端が突出しているため、貫通部材３及び給電部１３への電気的接続ひいては給電を容易化できる。また、第１部材３０として、第２実施形態で用いた第１部材３０Ｘを用いると、貫通部材３及び給電部１３に給電する際の電気的接続部の表面に第１部材３０Ｘが付着するのを抑制することができるので、より好ましい。

なお、本実施形態は、上記第１実施形態の特徴に代えてもしくは加えて、他の実施形態ないし変形例の特徴の少なくとも一部を備えていてもよい。

［第４実施形態］
次に、第４実施形態について説明する。第４実施形態の説明では、上記第１実施形態と異なる点を説明し、同様な説明は省略する。

図１１（ａ）に示されるように、第４実施形態は、電子管の製造方法において、治具２０（図４（ｂ）参照）に代えて治具２０Ａを用いる点で、第１実施形態と異なる。治具２０Ａは、凸部２２の先端面に凸部２５及び凹部２６が形成されている以外、治具２０と同様である。

図１１（ｂ）に示されるように、治具２０Ａを用いた製造方法による中間体Ｎ１では、凹部９の底面９ａには、凹部２６に対応する凸部３４が形成されると共に、凸部２５に対応する凹部３５が形成される。その結果、第４実施形態に係る電子管では、内部空間Ｒを構成する凹部９の底面９ａに凸部３４及び凹部３５が形成される。

以上、第４実施形態に係る電子管の製造方法においても、上記実施形態と同様な効果を奏する。また、凹部９の底面９ａに凸部３４及び凹部３５を形成することにより、内部空間Ｒ内における沿面距離、具体的には、陰極Ｋ（光電子放出部１４）及び貫通部材３と、陽極Ａ（対向電極４）との沿面距離を長くすることができ、内部空間Ｒ内での耐電圧能を一層向上することができる。特に凹部３５によれば、ガス封入容積を増やすことができ、電子管１の寿命を向上させることができる。

なお、治具２０Ａでは、凸部２２の先端面に凸部２５及び凹部２６が形成されているが、凸部２２を構成する面の少なくとも一部に、凹部、凸部及び粗面部の少なくとも何れかが形成されていればよい。同様に、第４実施形態に係る電子管では、凹部９の底面９ａに凸部３４及び凹部３５が形成されているが、内部空間Ｒを構成する面の少なくとも一部に、凹部、凸部及び粗面部の少なくとも何れかが形成されていればよい。粗面部は、一定粗さよりも粗い面であり、例えば梨地のような微細凹凸が形成されている面である。本実施形態は、上記第１実施形態の特徴に代えてもしくは加えて、他の実施形態ないし変形例の特徴の少なくとも一部を備えていてもよい。

［第５実施形態］
次に、第５実施形態について説明する。第５実施形態の説明では、上記第４実施形態と異なる点を説明し、同様な説明は省略する。

図１２（ａ）に示されるように、第５実施形態は、電子管の製造方法において、治具２０と第１部材３０とを接近させて接触させ、治具２０及び第１部材３０の何れか一方を他方に（または互いに）押圧する際に、第１部材３０を押圧する押圧部材６０に、複数の凸部６１及び凸部６２を設けた点で、第４実施形態と異なる。

複数の凸部６１及び凸部６２は、押圧部材６０における第１部材３０との接触領域に形成されている。凸部６１は、第１部材３０を介して治具２０Ａの凸部２５と対向する位置に設けられている。凸部６２は、第１部材３０を介して治具２０Ａの凹部２６と対向する位置に設けられている。

図１２（ｂ）に示されるように、押圧部材６０を用いた製造方法による中間体Ｎ１では、第１部材３０における凹部９の開口９ｂ側とは反対側の表面３０ａに、凹部３６及び凹部３７が形成される。凹部３６は、凸部６２により形成される。凹部３７は、凸部６１により形成される。その結果、第５実施形態に係る電子管では、本体部５における凹部９の開口９ｂ側とは反対側（大気側）の外表面に、凹部３６及び凹部３７が形成される。

以上、第５実施形態に係る電子管の製造方法においても、上記実施形態と同様な効果を奏する。また、本体部５の表面に凹部３６及び凹部３７を形成することにより、電子管１の外表面における貫通部材３の露出部（基端面）と給電部１３の露出部（基端面）との沿面距離を長くすることができ、その耐電圧能を向上できる。

なお、押圧部材６０では、第１部材３０との接触領域に凸部６１及び凸部６２が形成されているが、凹部、凸部及び粗面部の少なくとも何れかが形成されていればよい。同様に、第５実施形態に係る電子管では、本体部５の表面に凹部３６及び凹部３７が形成されているが、本体部５の外面の少なくとも一部に、凹部、凸部及び粗面部の少なくとも何れかが形成されていればよい。また、治具２０Ａに代えて治具２０（図４（ｂ）参照）を用いてもよく、凹部９の底面９ａにおける凸部３４及び凹部３５は無くてもよい。

本実施形態は、上記第４実施形態の特徴に代えてもしくは加えて、他の実施形態ないし変形例の特徴の少なくとも一部を備えていてもよい。例えば図１３（ａ）に示されるように、本実施形態に係る製造方法では、第１部材３０（図１２（ａ）参照）に代えて、第２実施形態の第１部材３０Ｘを用いてもよい。

また例えば、凸部６１及び凸部６２が形成された押圧部材６０（図１２（ａ）参照）に代えて、凸部６２及び凹部６３が形成された押圧部材６０Ａを用いてもよい。この場合、図１３（ｂ）に示されるように、本実施形態に係る電子管では、本体部５における凹部９の開口９ｂ側とは反対側（大気側）の表面に、凸部６２により凹部３６が形成され、凹部６３により凸部３８が形成される。

また例えば、本実施形態に係る製造方法では、第３実施形態と同様に、貫通部材３及び給電部１３を第１部材３０に埋め込む際、貫通部材３及び給電部１３が第１部材３０を貫通するように、貫通部材３及び給電部１３の一端を第１部材３０から露出させつつ貫通部材３及び給電部１３を埋め込んでもよい。本実施形態に係る電子管では、貫通部材３及び給電部１３の一端が第１部材３０の表面３０ａから突出していてもよい。

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限られない。

製造される電子管は、次の構成を備えていてもよい。例えば図１４（ａ）に示される電子管１Ｂのように、貫通部材３（図１参照）に代えて貫通部材３Ｂを備えていてもよい。貫通部材３Ｂは、拡大部３ｂ_１及び保持部３ｂ_２（図１参照）を有さず、その延在方向の全体にわたって、先端側に向かうに従って貫通部材３Ｂが縮径するように連続的に傾斜しており、筐体２の本体部５を貫通すると共に凹部９の底面９ａから内部空間Ｒ内に突き出る。また、別途に光電子放出部１４を設けることなく、貫通部材３Ｂの先端面を陰極Ｋとして機能させている。つまり、陰極Ｋ（電極）が貫通部材３Ｂと一体に形成されているため、製造工程が減少し、より容易に電子管1を製造することができる。また、接合部分を有さないために、耐震性に優れた電極を得ることができる。

製造される電子管は、上記実施形態のように紫外線検出器として適用できる他に、発光素子（エネルギー発生素子）として、光源等として適用することができる。例えば図１４（ｂ）に示される電子管１Ｃは、放電ランプとしての構造を備える。電子管１Ｃでは、１つの内部空間Ｒ内に一対の貫通部材３が配置され、これらの貫通部材３それぞれの先端側に陰極Ｋ及び陽極Ａとなる金属部５３が取り付けられ、両電極間で放電させることによりランプとして動作可能である。電子管１Ｃは、放電のために、本体部５を貫通して内部空間Ｒ内に突き出るプローブピン５１及びスパーカピン５２を備える。金属部５３、プローブピン５１及びスパーカピン５２は、発光を行うための電極として機能する。

また例えば図１５（ａ）に示される電子管１Ｅは、放電ランプとしての構造を備える。電子管１Ｅでは、１つの内部空間Ｒ内に一対の貫通部材３が配置され、これらの貫通部材３それぞれの先端側に陰極Ｋ及び陽極Ａとなる金属部５３が取り付けられ、両電極間で放電させることによりランプとして動作可能である。電子管１Ｅは、放電のために、本体部５を貫通して内部空間Ｒ内に突き出るプローブピン５１と、給電部１３と電気的に接続され蓋部６の内面に設けられたスパーカ電極（不図示）と、を備える。金属部５３、プローブピン５１及びスパーカ電極は、発光を行うための電極として機能する。

また例えば図１５（ｂ）に示される電子管１Ｆは、放電ランプとしての構造を備える。電子管１Ｆでは、１つの内部空間Ｒ内に一対の貫通部材３及び陰極Ｋ及び陽極Ａとなる金属部５４が配置され、両電極間で放電させることによりランプとして動作可能である。本実施形態においては、金属部５４のみが、発光を行うための電極として機能する。

また例えば図１５（ｃ）に示される電子管１Ｇは、電子源構造を備える。電子管１Ｇでは、貫通部材３の先端側に固定したエミッタ１４ｅに対してターゲット材５６を対向配置した状態で、両者の間に所定の電圧を印加することで、エミッタ１４ｅから放出された電子をターゲット材５６に導くような電界を形成する。例えば、ターゲット材５６を蛍光体とした場合には、電子を衝突させることにより蛍光発光を発生させることができる。また、ターゲット材５６を各種材料に変更することで、Ｘ線を発生させたり、電子線を透過させたりすることが可能である。動作時において、内部空間Ｒ内は真空とされる。エミッタ１４ｅは、エネルギー発生を行うための電極として機能する。

上記実施形態では、第１部材３０の第１下地膜１５上にシール材１６を設けたが（図７（ｃ）参照）、これに代えて、第２部材４０の第２下地膜１７上にシール材１６を設けてもよい。また、シール材１６にフリットガラスを利用する場合には、第１下地膜１５及び第２下地膜１７を省略してもよい。

上記実施形態では、給電部１３を本体部５における凹部９の周囲に設けたが、給電部１３の位置は限定されない。給電部１３は、第１部材３０の表面３０ａから表面３０ｂを貫通する（第１板状部７及び側壁部８の内部を貫通する）ように本体部５に設けられていればよい。例えば、凹部９の四隅のうちの一つの隅部に、凹部９の側面が内側に膨らむように隆起部を設け、この隆起部を貫通するように給電部１３を設けてもよい。上記実施形態では、絶縁部１２を本体部５と一体で形成しているが、絶縁部１２を本体部５と別体で形成してもよい。

上記実施形態では、内部空間突出部１１における側面の一部を絶縁部１２で被覆しているが、内部空間突出部１１における側面の少なくとも一部を絶縁部１２で被覆すればよい。上記実施形態では、拡大部３ｂ_１の全てを絶縁部１２で被覆しているが、拡大部３ｂ_１の少なくとも一部を絶縁部１２で被覆すればよい。また、貫通部材３はその先端に円柱状の保持部３ｂ_２を備えていたが、円柱状の部分を備えることなく、拡大部３ｂ_１から先端まで連続した傾斜面を備えていてもよい。また、電子管１は１つの凹部９のみを有する構成としたが、複数の凹部９を備えたものを１つの電子管としてもよい。この場合、分割しない状態のものを１つの電子管とすることもできる。その際、複数の凹部９における内部空間Ｒは、互いに独立していてもよいし、互いに連通していてもよい。この場合、所望の面積を持つ電子管を容易に得ることができる。上記実施形態において、各構成の材料、形状及び寸法は、上述した材料、形状及び寸法に限らず、様々な材料、形状及び寸法を採用することができる。

１，１Ｂ，１Ｃ，１Ｅ，１Ｆ，１Ｇ…電子管、３…貫通部材（導電性部材）、３ｂ_１…拡大部、４…対向電極（対向電極部材）、９…凹部、９ｂ…開口、１３…給電部（給電部材）、２０，２０Ａ…治具、２２…凸部、２２ａ…保持凹部、２５…凸部、２６…凹部、３０，３０Ｘ…第１部材、３６…凹部、３７…凹部、３８…凸部、４０…第２部材、６０…押圧部材、６１…凸部、６２…凸部、６３…凹部、Ｇ…隙間、Ｇ１…隙間、Ｎ１…中間体、Ｎ２…接合体、Ｒ…内部空間。

Claims (11)

1. 絶縁性材料から成る第１部材と、先端に向かうに従って狭まり且つ導電性部材を着脱自在に保持した凸部が並設された治具と、を用意し、前記第１部材及び前記治具の少なくとも何れかを前記第１部材が溶融変形可能な温度まで加熱する第１工程と、
   前記第１工程後、前記第１部材と複数の前記凸部とを対向させた状態において、複数の前記凸部が前記第１部材に埋め込まれるように前記治具を前記第１部材に接触させた後、前記治具を取り外し、開口側に向かうに従って拡がる複数の凹部が複数の前記凸部に対応して形成された前記第１部材と当該第１部材を貫通して前記凹部内に突き出る複数の前記導電性部材とを含む中間体を形成する第２工程と、
   前記第２工程後、第２部材を用意し、複数の前記凹部の開口が閉じられて、電子放出が行われる複数の内部空間が形成されるように前記中間体に前記第２部材を気密接合し、接合体を形成する第３工程と、を備える、電子管の製造方法。
2. 前記第３工程後、少なくとも１つの前記内部空間を備えるように前記接合体を複数の電子管に切断する第４工程をさらに備える請求項１に記載の電子管の製造方法。
3. 前記治具の前記凸部の側面は、先端側に向かうに従って前記凸部が狭まるように連続的に傾斜している、請求項１又は２に記載の電子管の製造方法。
4. 前記治具の前記凸部は、前記導電性部材の一端側を当該凸部よりも突出させた状態で前記導電性部材の他端側を保持する保持凹部を有し、
   前記保持凹部に保持された前記導電性部材の他端側と前記保持凹部の側面との間の少なくとも一部には、隙間が形成されている、請求項１〜３の何れか一項に記載の電子管の製造方法。
5. 前記保持凹部に保持された前記導電性部材の他端側は、当該他端側に向かうに従って拡がる拡大部を有し、
   前記拡大部と前記保持凹部の側面と間の少なくとも一部には、隙間が形成されている、請求項４に記載の電子管の製造方法。
6. 前記拡大部の側面は、前記導電性部材の前記他端側に向かうに従って前記導電性部材が拡がるように連続的に傾斜している、請求項５に記載の電子管の製造方法。
7. 前記治具は、前記凸部の周囲において給電部材を着脱自在に保持し、
   前記第２工程では、前記給電部材が前記第１部材に更に埋め込まれるように前記治具を前記第１部材に接触させ、前記給電部材を更に含む前記中間体を形成し、
   前記第３工程では、前記凹部内に突き出る前記導電性部材と対向するように対向電極部材を前記第２部材に設けると共に、当該対向電極部材を前記給電部材と電気的に接続する、請求項１〜６の何れか一項に記載の電子管の製造方法。
8. 前記第２部材は、絶縁性材料から成る、請求項１〜７の何れか一項に記載の電子管の製造方法。
9. 前記治具の前記凸部を構成する面の少なくとも一部には、凹部、凸部及び粗面部の少なくとも何れかが形成されている、請求項１〜８の何れか一項に記載の電子管の製造方法。
10. 前記第１工程後、前記第１部材において前記治具が接触する側と反対側を押圧部材で押圧する工程を更に含み、
    前記押圧部材における前記第１部材との接触領域には、凹部、凸部及び粗面部の少なくとも何れかが形成されている、請求項１〜９の何れか一項に記載の電子管の製造方法。
11. 前記第２工程では、前記中間体において前記導電性部材が前記第１部材を貫通するように、前記導電性部材の一端を前記第１部材から露出させつつ前記導電性部材を前記第１部材に埋め込む、又は、前記導電性部材の一端が前記第１部材から露出するまで前記第１部材を研磨する、請求項１〜１０の何れか一項に記載の電子管の製造方法。

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