KR20240002997A - 초점 형상 조절이 가능한 엑스레이 튜브 - Google Patents

Abstract

본 발명에 따른 엑스레이 튜브는 내부에 소정의 공간이 형성된 튜브 본체; 상기 튜브 본체의 일측단부에 배치되고, 타겟이 결합된 애노드 전극; 및 상기 튜브 본체의 내부에 상기 애노드 전극과 대향하도록 배치되며, 구동 전압에 따라 전자를 방출하는 캐소드 전극을 포함한다. 이때, 애노드 전극의 타겟은 소정의 형상으로 내측으로 함몰된 형상을 가지고, 상기 타겟의 형상에 따라, 상기 타겟에 의해 반사된 초점의 형상이 조절되는 것을 특징으로 한다.

Description

초점 형상 조절이 가능한 엑스레이 튜브{X-RAY SOURCE WITH ADJUSTABLE FOCUS SHAPE}

본 발명은 초점 형상의 조절이 가능한 엑스레이 튜브에 관한 것이다.

일반적인 엑스레이 발생장치는 전자빔을 발생시키는 캐소드(음극)와 캐소드에서 나온 전자빔이 높은 운동에너지를 가지고 충돌하여 엑스레이를 발생시키는 애노드(양극)를 포함한다. 엑스레이 발생장치의 출력은 캐소드에서 나오는 전자빔의 전류(관전류)와 캐소드와 애노드 사이에 인가되는 전압(관전압)에 비례한다.

이때 애노드에는 텅스텐, 몰리브데늄, 구리등의 원자번호가 높은 금속재질의 타겟을 형성하여 타겟에 부딪힌 전자가 타겟 원자들과의 전자기적 상호작용에 의한 가속을 겪으면서 엑스레이 복사를 방출한다.

또는, 타겟 원자에 속박된 전자들이 타겟으로 부딪히는 전자들과 운동량과 에너지를 교환함으로써 여기되었다가 기저상태로 복귀할 때 여기상태와 기저상태 사이의 에너지 차이에 해당하는 전자기복사를 방출하는 방식으로 엑스레이를 생성한다.

이러한, 종래의 애노드와 캐소드는 대체로 직사각 판형 형태로 마련되며, 애노드의 타겟에 소정의 각도를 주고, 고정된 실효 초점을 제공하도록 엑스레이 튜브를 설계한다.

한편, 종래의 필라멘트 방식의 캐소드를 사용하는 엑스레이 튜브의 문제점을 개선하기 위해, 다양한 냉음극 방식의 캐소드가 개발되고 있다. 예를 들면, CNT 기반의 에미터를 이용하거나, 반도체 공정에 따라 제조되는 spindt 형 에미터를 이용하는 방식들이 개발되고 있다. 이러한 다양한 형태의 캐소드가 개발되고 있는 상황에 비해, 애노드의 타겟은 평면형상을 그대로 유지하고 있어, 최적화된 실효 초점을 확보하기 어려운 실정이다.

이에, 본 발명에서는 기존의 평면 형태의 애노드 타겟의 형상을 변화시켜, 다양한 초점 형상을 획득할 수 있도록 한다.

본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 엑스레이 튜브의 실효 초점 형상을 조절할 수 있는 애노드 타겟과 그를 포함하는 엑스레이 튜브를 제공하는 것을 기술적 과제로 한다.

다만, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제들은 상기한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 이하의 설명으로부터 본 발명의 또 다른 기술적 과제들이 도출될 수 있다.

상술한 기술적 과제를 해결하기 위한 기술적 수단으로서, 본 발명에 일 실시예에 따른 엑스레이 튜브는, 내부에 소정의 공간이 형성된 튜브 본체; 상기 튜브 본체의 일측단부에 배치되고, 타겟이 결합된 애노드 전극; 및 상기 튜브 본체의 내부에 상기 애노드 전극과 대향하도록 배치되며, 구동 전압에 따라 전자를 방출하는 캐소드 전극을 포함하되, 상기 애노드 전극의 타겟은 소정의 형상으로 내측으로 함몰된 형상을 가지고, 상기 타겟의 형상에 따라, 상기 타겟에 의해 반사된 초점의 형상이 조절되는 것이다.

또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 엑스레이 튜브용 애노드 전극은 소정의 형상으로 내측으로 함몰된 형상을 가진 타겟 및 상기 타겟이 결합되고, 상기 타겟을 고정시키는 지지부를 포함한다.

본 발명에 따르면, 애노드에 결합되는 타겟의 형상 변경을 통해, 실효 초점의 형태를 다양하게 설계할 수 있게 된다

도 1은 본 발명의 일 실예에 따른 엑스레이 튜브의 단면도이다.
도 2는 통상적인 엑스레이 튜브에서의 캐소드 전극과 애노드 전극사이의 구성을 설명하기 위한 도면이다.
도 3 내지 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 함몰된 형상의 타겟 구조를 도시한 것이다.

이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명하기로 한다. 다만, 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며, 여기에서 설명하는 실시예들로 한정되는 것은 아니다. 또한, 첨부된 도면은 본 명세서에 개시된 실시예를 쉽게 이해할 수 있도록 하기 위한 것일 뿐, 첨부된 도면에 의해 본 명세서에 개시된 기술적 사상이 제한되지 않는다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 도면에 나타난 각 구성요소의 크기, 형태, 형상은 다양하게 변형될 수 있다. 명세서 전체에 대하여 동일/유사한 부분에 대해서는 동일/유사한 도면 부호를 붙였다.

이하의 설명에서 사용되는 구성요소에 대한 접미사 "모듈" 및 "부" 등은 명세서 작성의 용이함만이 고려되어 부여되거나 혼용되는 것으로서, 그 자체로 서로 구별되는 의미 또는 역할을 갖는 것은 아니다. 또한, 본 명세서에 개시된 실시예를 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 명세서에 개시된 실시 예의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략하였다.

명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결(접속, 접촉 또는 결합)"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결(접속, 접촉 또는 결합)"되어 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결 (접속, 접촉 또는 결합)"되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함(구비 또는 마련)"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 "포함(구비 또는 마련)"할 수 있다는 것을 의미한다.

본 명세서에서 사용되는 제1, 제2 등과 같이 서수를 나타내는 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용되며, 구성 요소들의 순서나 관계를 제한하지 않는다. 예를 들어, 본 발명의 제1구성요소는 제2구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2구성요소도 제1구성 요소로 명명될 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실예에 따른 엑스레이 튜브의 단면도이다.

도 1을 참조하면, 엑스레이 튜브는 튜브 본체(10), 캐소드 전극(110), 애노드 전극(120), 타겟(200), 집속 렌즈(140), 전극 단자(150) 및 배기관 단자(160) 등을 포함한다.

예시적으로, 도 1을 참조하면 절연 소재로 이루어진 원통형의 내부에 소정의 공간이 형성된 튜브 본체(10), 튜브 본체(10)의 일측단부에 배치되며, 에미터(115)가 결합된 캐소드 전극(110), 튜브 본체(10)의 하부를 밀폐하며 적어도 하나 이상의 전극 단자(150)가 관통하는 밀봉 부재(30) 및 캐소드 전극(110)과 대향하도록 배치되고, 에미터(115)에서 방출된 전자와의 충돌에 의해 엑스선을 발생시키는 타겟(200)을 구비한 애노드 전극(120)을 포함한다.

캐소드 전극(110)은 음극 전자를 발생시키며, 상부면에 음극 전자를 방출시키는 에미터(115)를 포함한다. 예시적으로, 에미터(115)는 필드 에미터 어레이(field emitter arrays, FEA)로 구성될 수 있다. 또한 이에 한정되는 것은 아니며, 에미터(115)는 방출되는 전자의 궤적을 조절하는 전극으로서, 나노 소재인 탄소나노튜브(Carbon Nano Tube, CNT)와 같은 금속, 탄소계열 물질로 구성되는 전도성 물질을 포함할 수 있다.

다른 실시예로, 튜브 본체(10)는 캐소드 전극(110)의 상부에 에미터(115)로부터 전자 방출된 전자빔을 애노드 전극(120)으로 집속시키는 집속 렌즈(140)를 추가로 포함할 수 있다.

예시적으로 집속 렌즈(140)는 일반적인 홀 형태를 사용하여 제작되거나, 렌즈 위에 한층 또는 여러 층의 그래핀을 전사하여 제작될 수도 있다. 또한, 집속 렌즈(140)는 2개 이상 사용될 수도 있다.

애노드 전극(120)은 전기전도성과 열전도성이 높은 금속으로 형성될 수 있다. 예를 들면, 애노드 전극(120)은 코바(KOVAR) 합금으로 형성될 수 있으며, KOVAR는 철-니켈-코발트 합금으로 이루어질 수 있다. 이와 같은 코바(KOVAR) 합금은 세라믹의 열팽창계수와 유사한 열팽창계수를 갖도록 조제되어 세라믹으로 형성된 절연체와의 접합을 형성하는데 유리하다. 또한, 애노드 전극(120)은 무산소 동(OFC: Oxygen-Free Copper)에 텅스텐(W) 및 몰리브데늄(Mo) 등과 같은 원자 번호가 높은 금속을 브레이징(Brazing) 접합한 합금으로 이루어질 수 있는데, 무산소동은 높은 전기전도성과 열전도성으로 인해 타겟(200)에서 발생하는 열을 방출하는데 유리하다.

또한, 애노드 전극(120)의 전자빔 충돌부위에는 타겟(200)이 애노드 전극(120)과 접합하도록 형성될 수 있다. 즉, 애노드 전극(120) 중 튜브 본체(10)의 외부 공간에 위치하는 기저부(123)로부터 돌출되어, 튜브 본체(10)의 내부 공간에 위치하는 지지부(125)의 단부에 타겟(200)이 결합된다.

타겟(200)은 용융점이 높으며 원자번호가 높아서 전자빔이 충돌하면 높은 효율로 엑스레이를 발생시킬 수 있는 텅스텐 등의 재료로 형성될 수 있다. 본 발명에서는 애노 전극(120) 측의 방향으로 함몰된 형상을 가지며, 구체적인 구성에 대해서는 추후 살펴보기로 한다.

타겟(200)에서 반사되는 전자를 방출하기 위해, 튜브 본체(10)의 일 영역에는 튜브 본체(10)의 내부에서 외부로 방출되는 엑스선의 출입구인 윈도우가 형성될 수 있다. 예를 들어 윈도우는 베릴륨, 알루미늄 등의 금속재질 또는 형광물질이 도포된 유리재질로 형성될 수 있다. 윈도우가 베릴륨 등의 금속 재질로 형성되는 경우에는, 소정 파장 이하의 엑스선만 방출되도록 필터링될 수 있다. 또한, 원도우가 형광물질이 도포된 유리재질로 형성되는 경우에는 윈도우를 통하여 가시광선이 방출될 수 있다.

애노드 전극(120)은 둘레에 튜브 본체(10)의 외측면으로 절곡된 플랜지(121)를 포함한다. 이와 같은 플랜지(121)는 열팽창계수가 튜브 본체(10)의 재료와 비슷한 KOVAR 등의 재료로 형성될 수 있다. 따라서, 플랜지(121)를 통해 튜브 본체(10)와 애노드 전극(120)이 접합하는 경우에도 접합부위가 고온과 저온 사이의 폭넓은 온도변화에도 접합의 완전성과 진공 기밀성이 유지될 수 있다.

예시적으로, 전극 단자(150)는 캐소드 전극(110)을 지지하며 전기적으로 연결될 수 있다. 또한 전극 단자(150)는 집속 렌즈(140)의 홀에 의하여 노출될 영역과 캐소드 전극(110)이 일정 거리를 유지하도록 집속 렌즈(140)를 지지하며 전기적으로 연결될 수 있다.

배기관 단자(160)는 진공펌프가 연결되어 튜브 본체(10)의 내부를 배기할 수 있다. 배기관 단자(160)는 무산소동 등의 재료로 형성하여 배기가 완료된 후 핀치오프 등의 방법으로 배기관 단자(160)를 밀봉하여 엑스레이 튜브 내의 진공이 영구히 보존될 수 있도록 한다. 또한 배기관 단자(160)는 튜브 본체(10)의 밀봉 부재에 전기적으로 연결되어 높은 전류용량을 갖는 전극으로도 활용될 수 있다.

또한 밀봉 부재(30)의 상부면은 전극단자(150)가 관통하는 영역을 제외한 모든 면에 금속박막이 적층될 수 있다. 이때 금속박막이 배기관 단자(160)와 전기적으로 접합되면 엑스레이 방출로 인한 광전효과, 또는 콤프턴 산란 등이 발생하더라도 대전되지 않고 일정한 전위를 유지할 수 있다.

도 2는 통상적인 엑스레이 튜브에서의 캐소드 전극과 애노드 전극사이의 구성을 설명하기 위한 도면이다.

도시된 바와 같이, 통상적인 애노드 전극에는 평면형 타겟이 결합된다. 애노드 전극이 캐소드 전극과 마주하는 평면은, 캐소드 전극에서 방출된 전자가 전진하는 방향과 소정의 각도를 갖도록 기울어진다. 보다 정확하게는, 방출 전자의 전진방향에 대해 90도를 갖는 가상의 평면에 대해, 소정의 각도(θ)만큼 기울어지는데, 이를 표적 경사각(target angle)이라 한다.

한편, 캐소드 전극에서 방출된 전자가 타겟과 충돌하는 면적을 나타내는 실초점과, 중심 X선을 따라 투영된 초점의 크기를 나타내는 실효 초점은 도시된 바와 같다. 그리고, 실초점과 실효 초점의 관계식에 따라, 표적 경사각이 작아질수록, 실효 초점도 작아지게 된다.

도 3 내지 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 함몰된 형상의 타겟 구조를 도시한 것이다.

도 3 및 도 5와 같이, 본 발명의 일 실시예는 반구형 또는 반원기둥형으로 함몰된 형상의 타겟(200)을 포함한다.

도시된 바와 같이, 종래의 평면 형상과 달리, 반구형이나 반원기둥형으로 함몰된 형상을 가지는 것으로서, 타겟은 배후면(210)으로부터 표면(214)까지 소정의 두께를 갖도록 형성되며, 특히 타겟(200)의 표면(214)으로부터 소정의 깊이만큼 반구형이나 반원기둥형으로 함몰된 구조를 가진다. 이러한 구조를 통해 타겟(200)의 정면의 중앙부에 전자가 집중되는 제 1 초점(300)이 형성된다. 또한, 제 1 초점이 형성되기 전에 다른 크기의 제 2 초점(310)이 형성되거나, 제 1 초점(300)이 형성된 후의 위치에서 다른 크기의 제 3 초점(320)이 형성될 수 있다. 이와 같은 구성에 따라, 다양한 크기의 실효 초점을 제공할 수 있게 된다.

도시된 바와 같이, 종래의 평면 형상과 달리, 반구형이나 반원기둥형으로 함몰된 형상을 가지므로, 타겟(200)의 정면의 중앙부에 전자가 집중되는 제 1 초점(300)이 형성된다. 또한, 제 1 초점이 형성되기 전에 다른 크기의 제 2 초점(310)이 형성되거나, 제 1 초점(300)이 형성된 후의 위치에서 다른 크기의 제 3 초점(320)이 형성될 수 있다. 이와 같은 구성에 따라, 도 5에 도시된 바와 같이, 실효 초점의 크기를 종래 타겟에 대비하여 작게 형성할 수 있다.

도 4, 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예는 다각형으로 함몰된 형상의 타겟(200)을 사용할 수 있다.

도시된 바와 같이, 타겟(200)은 표적 경사각(θ) 만큼 기울어진 상태에서 타겟의 표면(222)으로부터 소정거리 함몰된 기저면(224), 기저면(224)의 일측(226)과 타겟의 표면(222)을 연결하는 제 1 경사면(228) 및 기저면의 타측(230)과 타겟의 표면(222)을 연결하는 제 2 경사면(232)을 포함한다. 이때, 기저면(224)의 일측(226)과 기저면의 타측(230) 또는 제 1 경사면(228)과 제 2 경사면(232)은 서로 평행인 관계를 갖는다. 또한, 기저면(224), 제 1 경사면(228) 및 제 2 경사면(232)은 각각 동일 거리만큼 연장되는 평면 형상을 갖는다.

이때, 각 경사면의 경사진 각도의 범위는 도 9을 참조하여 설명한다. 제 1 경사면(228)과 제 2 경사면(232)이 각각 경사진 각도(a)는 도 9과 같이 정의될 수 있는데, 예각 범위내에서 설정되며, 바람직하게는 10~80도 사이의 범위에서 설계자의 선택에 따라 결정된다.

또한, 다른 실시예로서, 도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예는 다각형으로 함몰된 형상의 타겟(200)을 사용할 수 있다.

도시된 바와 같이, 타겟(200)은 표적 경사각(θ) 만큼 기울어진 상태에서 타겟의 표면(222)으로부터 소정거리 함몰된 기저면(224), 기저면(224)의 제1측(226)과 타겟의 표면(222)을 연결하는 제 1 경사면(228) 및 기저면의 제 2 측(234)과 타겟의 표면(222)을 연결하는 제 2 경사면(236), 기저면(224)의 제3측(230)과 타겟의 표면(222)을 연결하는 제 3 경사면(232) 및 기저면(224)의 제 4 측(238)과 타겟의 표면(222)을 연결하는 제 4 경사면(240)을 포함한다.

이때, 기저면(224)의 제1측(226) 내지 제 4측(238)은 직사각형 형상을 갖는 기저면(224)의 테두리와 각각 대응한다. 따라서, 제 1 측(226)과 제 3 측(230), 제 1 경사면(228)과 제 3 경사면(232)은 각각 서로 평행인 관계를 갖고, 제 2 측(234)과 제 4 측(238), 제 2 경사면(236)과 제 4 경사면(240)은 각각 서로 평행인 관계를 갖는다.

이에 따라, 제 1 경사면(228)에 대해 제 2 경사면(236)과 제 4 경사면(240)은 서로 교차하도록 결합되고, 제 3 경사면(232)에 대해 제 2 경사면(236)과 제 4 경사면(240)은 서로 교차하도록 결합된다.

도 4의 실시예는, 종래의 평면 형상과 달리, 다각형으로 함몰된 형상을 가지는 것으로서, 특히 타겟(200)의 표면(214)으로부터 소정의 깊이만큼 반구형이나 반원기둥형으로 함몰된 구조를 가진다. 이러한 구조를 통해 타겟(200)의 정면의 중앙부에 전자가 집중되는 제 1 초점(300)이 형성된다. 또한, 제 1 초점이 형성되기 전에 다른 크기의 제 2 초점(310)이 형성되거나, 제 1 초점(300)이 형성된 후의 위치에서 다른 크기의 제 3 초점(320)이 형성될 수 있다. 이와 같은 구성에 따라, 다양한 크기의 실효 초점을 제공할 수 있게 된다. 특히, 도 6에 도시된 바와 같이, 실효 초점의 크기를 종래 타겟에 대비하여 작게 형성할 수 있다.

본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 상술한 설명을 기초로 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해되어야만 한다.

본 발명의 범위는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다

본원의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본원의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.

10: 튜브 본체
110: 캐소드 전극
115: 에미터
120: 애노드 전극
140: 집속 렌즈
150: 전극 단자
160: 배기관 단자
200: 타겟
210: 배후면
212, 224: 기저면

Claims (8)

1. 엑스레이 튜브에 있어서,
   내부에 소정의 공간이 형성된 튜브 본체;
   상기 튜브 본체의 일측단부에 배치되고, 타겟이 결합된 애노드 전극; 및
   상기 튜브 본체의 내부에 상기 애노드 전극과 대향하도록 배치되며, 구동 전압에 따라 전자를 방출하는 캐소드 전극을 포함하되,
   상기 애노드 전극의 타겟은 소정의 형상으로 내측으로 함몰된 형상을 가지고, 상기 타겟의 형상에 따라, 상기 타겟에 의해 반사된 초점의 형상이 조절되는 것인, 엑스레이 튜브.
2. 제1항에 있어서,
   상기 타겟은 상기 캐소드 전극에서 방출되는 전자를 측면 방향으로 반사시키도록 소정의 표적 경사각만큼 기울어지고,
   상기 타겟은 상기 표적 경사각만큼 기울어진 상태에서, 반구형 또는 반원기둥형으로 함몰된 형상을 가진 것인, 엑스레이 튜브.
3. 제1항에 있어서,
   상기 타겟은 상기 캐소드 전극에서 방출되는 전자를 측면 방향으로 반사시키도록 소정의 표적 경사각만큼 기울어지고,
   상기 타겟은 상기 표적 경사각 만큼 기울어진 상태에서, 상기 타겟의 표면으로부터 소정거리 함몰된 기저면, 상기 기저면의 일측과 상기 타겟의 표면을 연결하는 제 1 경사면 및 상기 기저면의 타측과 상기 타겟의 표면을 연결하는 제 2 경사면을 가진 것이며, 상기 기저면, 제 1 경사면 및 제 2 경사면은 각각 동일 거리만큼 연장되는 평면 형상을 갖는 것인, 엑스레이 튜브.
4. 제1항에 있어서,
   상기 타겟은 상기 캐소드 전극에서 방출되는 전자를 측면 방향으로 반사시키도록 소정의 표적 경사각만큼 기울어지고,
   상기 타겟은 상기 표적 경사각 만큼 기울어진 상태에서, 상기 타겟의 표면으로부터 소정거리 함몰된 기저면, 상기 기저면의 제 1 측과 상기 타겟의 표면을 연결하는 제 1 경사면, 상기 기저면의 제 2 측과 상기 타겟의 표면을 연결하는 제 2 경사면, 상기 기저면의 제 3 측과 상기 타겟의 표면을 연결하는 제 3 경사면, 상기 기저면의 제 4 측과 상기 타겟의 표면을 연결하는 제 4 경사면을 포함하되, 상기 제 1 경사면과 제 3 경사면은 서로 평행하게 배치되고, 상기 제 2 경사면과 제 4 경사면은 서로 평행하게 배치되는 것인, 엑스레이 튜브.
5. 엑스레이 튜브용 애노드 전극에 있어서,
   소정의 형상으로 내측으로 함몰된 형상을 가진 타겟 및
   상기 타겟이 결합되고, 상기 타겟을 고정시키는 지지부를 포함하되, 애노드 전극.
6. 제5항에 있어서,
   상기 타겟은 캐소드 전극에서 방출되는 전자를 측면 방향으로 반사시키도록 소정의 표적 경사각만큼 기울어지고,
   상기 타겟은 상기 표적 경사각만큼 기울어진 상태에서, 반구형 또는 반원기둥형으로 함몰된 형상을 가진 것인, 애노드 전극.
7. 제5항에 있어서,
   상기 타겟은 캐소드 전극에서 방출되는 전자를 측면 방향으로 반사시키도록 소정의 표적 경사각만큼 기울어지고,
   상기 타겟은 상기 표적 경사각만큼 기울어진 상태에서, 상기 타겟의 표면으로부터 소정거리 함몰된 기저면, 상기 기저면의 일측과 상기 타겟의 표면을 연결하는 제 1 경사면 및 상기 기저면의 타측과 상기 타겟의 표면을 연결하는 제 2 경사면을 가진 것이며, 상기 기저면, 제 1 경사면 및 제 2 경사면은 각각 동일 거리만큼 연장되는 평면 형상을 갖는 것인, 애노드 전극.
8. 제5항에 있어서,
   상기 타겟은 캐소드 전극에서 방출되는 전자를 측면 방향으로 반사시키도록 소정의 표적 경사각만큼 기울어지고,
   상기 타겟은 상기 표적 경사각만큼 기울어진 상태에서, 상기 타겟의 표면으로부터 소정거리 함몰된 기저면, 상기 기저면의 제 1 측과 상기 타겟의 표면을 연결하는 제 1 경사면, 상기 기저면의 제 2 측과 상기 타겟의 표면을 연결하는 제 2 경사면, 상기 기저면의 제 3 측과 상기 타겟의 표면을 연결하는 제 3 경사면, 상기 기저면의 제 4 측과 상기 타겟의 표면을 연결하는 제 4 경사면을 포함하되, 상기 제 1 경사면과 제 3 경사면은 서로 평행하게 배치되고, 상기 제 2 경사면과 제 4 경사면은 서로 평가하게 배치되는 것인, 애노드 전극.

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