JP6938397B2 - 検査装置および検査方法 - Google Patents

Description

本発明は、検査装置および検査方法に関する。

従来から、マスクに形成されたパターンの欠陥を検査するパターン検査装置においては、マスクの設計データに基づいて生成された参照画像と、マスクを撮像した光学画像とを比較することでパターンの欠陥を検査するＤ−ＤＢ(Die to Database)検査が行われている。

このようなパターン検査装置においては、参照画像の生成に必要な設計データをパターン検査装置のディスクに格納するため、パターン検査装置の外部からディスクに設計データを送信する。

ここで、設計データの中には、容量や処理効率の観点から効率的な設計データと非効率的な設計データとがあり、非効率的な設計データを用いる場合、効率的な設計データを用いる場合と比較して検査の所要時間が長くなる傾向にある。

そこで、検査の所要時間を短縮するため、設計データに対して検査の所要時間を短縮するための変換処理を行い、変換処理後の設計データをディスクに送信することが行われていた。

特開２００８−６６６３３号公報

しかしながら、変換処理を行う場合、変換処理に時間を要することで、変換処理を行わない場合と比較して設計データをディスクに送信するための所要時間が長くなってしまう。送信の所要時間が長くなることで、検査終了時刻が遅くなることが懸念される。

その一方で、検査終了時刻は、送信の所要時間だけに左右されるものではなく、検査開始時刻や検査の所要時間にもよるため、変換処理を行うことによって必ずしも検査終了時刻が遅くなるとも限らない。

このため、従来は、予め設定された検査スケジュールの中で、検査終了時刻を優先した検査を確実に行うことが困難であるといった問題があった。

本発明の目的は、予め設定された検査スケジュールの中で、検査終了時刻を優先した検査を確実に行うことができる検査装置および検査方法を提供することにある。

本発明の一態様である検査装置は、
パターンが設けられた試料の設計データに基づいて生成された参照画像と試料を撮像した光学画像とを比較することでパターンの欠陥を検査する検査装置であって、
検査開始時刻を含む予め設定された検査スケジュールにしたがって検査装置の外部から検査装置の記憶部に設計データを送信するデータ送信部と、
送信される設計データに、設計データに基づく検査の所要時間を短縮するための変換処理を実施するか否かを判断するデータ変換判断部と、
変換処理を実施すると判断された場合に、送信される設計データに変換処理を実施し、一方、変換処理を実施しないと判断された場合に、送信される設計データに変換処理を実施しないデータ変換部と、を備え、
データ変換判断部は、検査開始時刻に基づいて、変換処理を実施する場合の方が実施しない場合と比較して検査終了時刻が早くなるか否かを判定し、検査終了時刻が早くなると判定された場合に、変換処理を実施すると判断し、一方、検査終了時刻が遅くなると判定された場合に、変換処理を実施しないと判断する。

上述の検査装置において、
データ変換判断部は、
予め設定された検査の所要時間である基準検査時間と、
基準検査時間に変換処理前の設計データの実容量を一定閾値で除した係数を乗じた第１時間と、
基準検査時間に変換処理後の設計データの実容量を一定閾値で除した係数を乗じた第２時間と、
変換処理の完了時刻から検査開始時刻を減じた第３時間であって、検査開始時刻が変換処理の完了時刻より遅い場合はゼロとなる第３時間と、を取得し、
第３時間がゼロとなる場合、
第１時間および第２時間が基準検査時間以上となり、かつ、第３時間がゼロより大きくなる場合であって、第１時間が第２時間と第３時間との和以上となる場合、または、
第１時間が基準検査時間以上となり、第２時間が基準検査時間未満となり、かつ、第３時間がゼロより大きくなる場合であって、第１時間が基準検査時間と第３時間との和以上となる場合に、検査終了時刻が早くなると判定してもよい。

上述の検査装置において、
データ変換判断部は、
予め設定された検査の所要時間である基準検査時間と、
基準検査時間に変換処理前の設計データの実容量あたりの図形数を一定閾値で除した係数を乗じた第４時間と、
基準検査時間に変換処理後の設計データの実容量あたりの図形数を一定閾値で除した係数を乗じた第５時間と、
変換処理の完了時刻から検査開始時刻を減じた第３時間であって、検査開始時刻が変換処理の完了時刻より遅い場合はゼロとなる第３時間と、を取得し、
第３時間がゼロとなる場合、
第４時間および第５時間が基準検査時間以上となり、かつ、第３時間がゼロより大きくなる場合であって、第４時間が第５時間と第３時間との和以上となる場合、または、
第４時間が基準検査時間以上となり、第５時間が基準検査時間未満となり、かつ、第３時間がゼロより大きくなる場合であって、第４時間が基準検査時間と第３時間との和以上となる場合に、検査終了時刻が早くなると判定してもよい。

上述の検査装置において、
データ変換判断部は、
予め設定された検査の所要時間である基準検査時間と、
基準検査時間に変換処理前の設計データのセル数あたりの図形数の逆数を一定閾値で除した係数を乗じた第６時間と、
基準検査時間に変換処理後の設計データのセル数あたりの図形数の逆数を一定閾値で除した係数を乗じた第７時間と、
変換処理の完了時刻から検査開始時刻を減じた第３時間であって、検査開始時刻が変換処理の完了時刻より遅い場合はゼロとなる第３時間と、を取得し、
第３時間がゼロとなる場合、
第６時間および第７時間が基準検査時間以上となり、かつ、第３時間がゼロより大きくなる場合であって、第６時間が第７時間と第３時間との和以上となる場合、または、
第６時間が基準検査時間以上となり、第７時間が基準検査時間未満となり、かつ、第３時間がゼロより大きくなる場合であって、第６時間が基準検査時間と第３時間との和以上となる場合に、検査終了時刻が早くなると判定してもよい。

上述の検査装置において、
前記変換処理は、前記設計データの管理単位を統合する処理を含んでもよい。

本発明の一態様である検査方法は、
パターンが設けられた試料の設計データに基づいて生成された参照画像と試料を撮像した光学画像とを比較することでパターンの欠陥を検査する検査装置を用いてパターンの欠陥を検査する検査方法であって、
検査開始時刻を含む予め設定された検査スケジュールにしたがって検査装置の外部から検査装置の記憶部に設計データを送信する工程と、
送信される設計データに、設計データに基づく検査の所要時間を短縮するための変換処理を実施するか否かを判断する工程と、
変換処理を実施すると判断された場合に、送信される設計データに変換処理を実施する工程と、
変換処理を実施しないと判断された場合に、送信される設計データに変換処理を実施しない工程と、を備え、
変換処理を実施するか否かを判断する工程は、
検査開始時刻に基づいて、変換処理を実施する場合の方が実施しない場合と比較して検査終了時刻が早くなるか否かを判定し、
検査終了時刻が早くなると判定された場合に、変換処理を実施すると判断し、
検査終了時刻が遅くなると判定された場合に、変換処理を実施しないと判断する、ことを含む。

本発明によれば、予め設定された検査スケジュールの中で、検査終了時刻を優先した検査を確実に行うことができる。

第１の実施形態によるパターン検査装置を示す図である。 第１の実施形態によるパターン検査方法を示すフローチャートである。 第１の実施形態によるパターン検査方法において、図２の一部の工程の具体例を示すフローチャートである。 第１の実施形態によるパターン検査方法を示す斜視図である。 第１の実施形態によるパターン検査方法において、検査スケジュールの一例を示す図である。 第１の実施形態によるパターン検査方法において、フラッテンデータ容量の一例を示す図である。 第１の実施形態によるパターン検査方法において、変換処理の一例を示す図である。 第２の実施形態によるパターン検査方法を示すフローチャートである。 第３の実施形態によるパターン検査方法を示すフローチャートである。

以下、図面を参照して本発明に係る実施形態を説明する。実施形態は、本発明を限定するものではない。また、実施形態で参照する図面において、同一部分または同様な機能を有する部分には同一の符号または類似の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。

（第１の実施形態）
図１は、本発明に係る検査装置の一例として、第１の実施形態によるパターン検査装置１を示す図である。図１のパターン検査装置１は、例えば、Ｄ−ＤＢ検査によって試料の一例であるマスク２に形成されたパターンの欠陥を検査するために用いることができる。すなわち、パターン検査装置１は、パターンが設けられたマスク２の設計データに基づいて生成された参照画像と、マスク２を撮像した光学画像とを比較することでパターンの欠陥を検査することができる。以下、このようなパターン検査装置１の具体的な構成例を説明する。

図１に示すように、パターン検査装置１は、光の進行方向順に、光源３と、偏光ビームスプリッタ４と、照明光学系５と、ＸＹθテーブル６と、拡大光学系７と、フォトダイオードアレイ８とを備える。なお、偏光ビームスプリッタ４とＸＹθテーブル６との間に、光の偏光方向を変化させる波長板を設けてもよい。

光源３は、偏光ビームスプリッタ４に向けてレーザ光を出射する。偏光ビームスプリッタ４は、光源３からの光を照明光学系５に向けて反射する。照明光学系５は、偏光ビームスプリッタ４で反射された光をＸＹθテーブル６に向けて照射する。

ＸＹθテーブル６は、マスク２を載置可能なＸＹ平面６ａを有する。ＸＹθテーブル６は、Ｘ方向およびＹ方向に移動可能かつＸＹ平面６ａに対して垂直なＺ軸回りに回転可能である。

ＸＹθテーブル６に載置されたマスク２は、照明光学系５から照射された光を反射する。このマスク２の反射光によって、マスク２が照明される。マスク２の反射光は、照明光学系５および偏向ビームスプリッタ４を透過した後、拡大光学系７に入射する。拡大光学系７は、入射したマスク２の反射光を、マスク２の光学画像としてフォトダイオードアレイ８に結像させる。フォトダイオードアレイ８は、マスク２の光学画像を光電変換する。光電変換されたマスク２の光学画像に基づいて、マスク２に形成されたパターンの欠陥が検査される。

また、図１に示すように、パターン検査装置１は、オートローダ９と、Ｘ軸モータ１０Ａ、Ｙ軸モータ１０Ｂおよびθ軸モータ１０Ｃと、レーザ測長システム１１と、Ｚセンサ１２と、フォーカス機構１３と、を備える。

オートローダ９は、ＸＹθテーブル６上にマスク２を自動搬送する。Ｘ軸モータ１０Ａ、Ｙ軸モータ１０Ｂおよびθ軸モータ１０Ｃは、それぞれ、ＸＹθテーブル６をＸ方向、Ｙ方向およびθ方向に移動させる。ＸＹθテーブル６を移動させることで、ＸＹθテーブル６上のマスク２に対して光源３の光がスキャン（照射）される。レーザ測長システム１１は、ＸＹθテーブル６のＸ方向およびＹ方向の位置を検出する。

Ｚセンサ１２は、パターン側のマスク２の表面であるマスク面の高さすなわちＺ方向の位置を検出する。Ｚセンサ１２は、例えば、マスク面に光を照射する投光器と、照射された光を受光する受光器とを備えていてもよい。

フォーカス機構１３は、照明光学系５の焦点をマスク面に合わせるフォーカス合わせを行う。フォーカス合わせは、例えば、Ｚセンサ１２で検出されたマスク面の高さに応じた移動量でＸＹθテーブル６をＺ方向に移動させることで行う。

また、図１に示すように、パターン検査装置１は、バス１４に接続された各種の回路を備える。具体的には、パターン検査装置１は、オートローダ制御回路１５と、テーブル制御回路１７と、オートフォーカス制御回路１８とを備える。また、パターン検査装置１は、位置回路２２と、展開回路２３と、参照回路２４と、比較回路２５とを備える。また、パターン検査装置１は、センサ回路１９を備えており、このセンサ回路１９は、フォトダイオードアレイ８と比較回路２５との間に接続されている。また、パターン検査装置１は、データ変換判断部の一例であるデータ変換判断回路３１と、データ変換部の一例であるデータ変換回路３２とを備えている。

オートローダ制御回路１５は、オートローダ９を制御することで、ＸＹθテーブル６上にマスク２を自動搬送する。

テーブル制御回路１７は、パターンの欠陥を検査すべきマスク２の検査領域２０１（図４参照）を複数の短冊状に仮想的に分割したストライプ２０２に沿って検査領域２０１に光源３からの光をスキャンする制御を行う。具体的には、テーブル制御回路１７は、ストライプ２０２に沿って検査領域２０１に光源３からの光がスキャンされるように、モータ１０Ａ〜１０Ｃを駆動制御してＸＹθテーブル６を移動させる。

オートフォーカス制御回路１８は、Ｚセンサ１２で検出されたマスク面の高さに応じてフォーカス機構１３を制御することで、光源３の光を自動的にマスク面に合焦させる。

センサ回路１９は、フォトダイオードアレイ８で光電変換された光学画像を取り込み、取り込まれた光学画像をＡ／Ｄ変換する。そして、センサ回路１９は、Ａ／Ｄ変換した光学画像を参照回路２４および比較回路２５に出力する。センサ回路１９は、例えば、ＴＤＩ(Time Delay Integration)センサの回路であってもよい。ＴＤＩセンサを用いることで、パターンを高精度に撮像できる。

レーザ測長システム１１は、ＸＹθテーブル６の移動位置を検出し、検出された移動位置を位置回路２２に出力する。位置回路２２は、レーザ測長システム１１から入力された移動位置に基づいて、ＸＹθテーブル６上でのマスク２の位置を検出する。そして、位置回路２２は、検出されたマスク２の位置を比較回路２５に出力する。

展開回路２３は、後述する記憶装置３３（図１参照）に記憶された設計データを記憶装置３３から読み出し、読み出された設計データを２値または多値の画像データに変換する。そして、展開回路２３は、変換された画像データを参照回路２４に出力する。

参照回路２４は、展開回路２３から入力された画像データに適切なフィルタ処理を行うことで、マスク２の欠陥検査に用いる参照画像を生成する。そして、参照回路２４は、生成された参照画像を比較回路２５に出力する。

比較回路２５は、センサ回路１９から入力されたマスク２の光学画像と、参照回路２４から入力された参照画像との比較に基づいて、マスク２に形成されたパターンの欠陥を検査する。例えば、比較回路２５は、位置回路２２から入力された位置情報を用いながら、光学画像のパターンの各位置の線幅を測定し、測定された光学画像のパターンと、参照回路２４から入力された参照画像のパターンについて、両パターンの線幅や階調値（明るさ）を比較する。そして、比較回路２５は、例えば、光学画像のパターンの線幅と、参照画像のパターンの線幅との誤差をパターンの欠陥として検出する。

データ変換判断回路３１は、後述する外部記憶装置２００（図１参照）から記憶装置３３に送信される設計データに、この設計データに基づく検査の所要時間を短縮するための変換処理を実施するか否かを判断する。変換処理は、例えば、１つのセルで１つの図形を管理する状態から１つのセルで複数の図形を管理する状態に変換するといった設計データの管理単位を統合する処理であってもよい。

データ変換回路３２は、データ変換判断回路３１が変換処理を実施すると判断した場合に、外部記憶装置２００から記憶装置３３に送信される設計データに変換処理を実施する。そして、データ変換回路３２は、変換処理後の設計データを記憶装置３３に送信する。

一方、データ変換回路３２は、データ変換判断回路３１が変換処理を実施しないと判断した場合に、外部記憶装置２００から記憶装置３３に送信される設計データに変換処理を実施しない。そして、データ変換回路３２は、外部記憶装置２００から送信された設計データをそのまま記憶装置３３に送信する。

また、図１に示すように、パターン検査装置１は、データ送信部の一例である制御計算機３０と、記憶部の一例である記憶装置３３と、ＣＲＴ３４と、プリンタ３５とを備える。これらの構成部３０、３３〜３５は、いずれもバス１４に接続されている。また、制御計算機３０とデータ変換回路３２との間には、パターン検査装置１の外部に位置する外部記憶装置２００が接続されている。外部記憶装置２００には、設計データが記憶されている。外部記憶装置２００は、制御計算機３０からの指令に応じて、外部記憶装置２００に記憶されている設計データを記憶装置３３に送信する。

記憶装置３３は、データ変換回路３２を介して外部記憶装置２００から送信された設計データを受信する。記憶装置３３は、受信した設計データを記憶する。データ変換回路３２によって変換処理が実施された場合、記憶装置３３は、変換処理後の設計データを記憶する。データ変換回路３２によって変換処理が実施されなかった場合、記憶装置３３は、外部記憶装置２００から送信された設計データをそのまま記憶する。既述したように、記憶装置３３に記憶された設計データは、参照画像の生成のために展開回路２３に読み出される。記憶装置３３は、例えば、ハードディスクなどの磁気ディスク装置であってもよく、または、ＳＳＤ(solid state drive)などの半導体メモリであってもよく、あるいは、磁気ディスク装置と半導体メモリとの組合せであってもよい。

制御計算機３０は、バス１４に接続された各構成部に対して、欠陥検査に関連する各種の制御や処理を実行する。ＣＲＴ３４は、欠陥検査に関連する各種の画像を表示する。プリンタ３５は、欠陥検査に関連する各種の情報を印刷する。

制御計算機３０は、外部記憶装置２００に指令を出力することで、外部記憶装置２００から記憶装置３３に設計データを送信する。

具体的には、制御計算機３０は、検査開始時刻の情報を含む予め設定された検査のスケジュールに関する情報である検査スケジュール（図５参照）にしたがって、外部記憶装置２００から記憶装置３３に設計データを送信する。

データ変換判断回路３１は、検査スケジュールに設定された検査開始時刻に基づいて、データ変換回路３２による変換処理を実施する場合の方が実施しない場合と比較して検査終了時刻が早くなるか否かを判定する。

そして、データ変換判断回路３１は、変換処理を実施する場合の方が実施しない場合と比較して検査終了時刻が早くなる（以下、単に検査終了時刻が早くなるとも呼ぶ）と判定された場合に、変換処理を実施すると判断する。

一方、データ変換判断回路３１は、変換処理を実施する場合の方が実施しない場合と比較して検査終了時刻が遅くなる（以下、単に検査終了時刻が遅くなるとも呼ぶ）と判定された場合には、変換処理を実施しないと判断する。

このように、検査開始時刻に基づいて検査終了時刻が早くなると判定された場合に変換処理を実施すると判断することで、予め設定された検査スケジュールの中で、検査終了時刻を優先した検査を確実に行うことができる。

より具体的には、データ変換判断回路３１は、制御計算機３０に対するユーザの入力情報（設定情報）や設計データ等に基づいて、基準検査時間Ｔｒｅｆと、第１時間Ｔ１と、第２時間Ｔ２と、第３時間Ｔ３とを取得（算出）する。そして、データ変換判断回路３１は、取得された時間Ｔｒｅｆ、Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３に基づいて、検査終了時刻が早くなるか否かを判定する。

ここで、基準検査時間Ｔｒｅｆは、予め設定されたマスク２の検査の所要時間である。基準検査時間Ｔｒｅｆは、マスク２の検査領域２０１全体の検査の所要時間であってもよく、または、マスク２の検査領域２０１のうちの一部の一定面積あたりの検査の所要時間であってもよい。

第１時間Ｔ１は、基準検査時間Ｔｒｅｆに変換処理前の設計データのフラッテンデータ容量に比例した係数を乗じた時間である。より詳しくは、第１時間Ｔ１は、基準検査時間Ｔｒｅｆに、変換処理前のフラッテンデータ容量[バイト]をある一定の第１容量閾値[バイト]で除した係数を乗じた時間である。フラッテンデータ容量は、実容量の一例である。フラッテンデータ容量の具体例については後述する。第１容量閾値は、基準検査時間Ｔｒｅｆに相関する値であり、例えば、基準検査時間Ｔｒｅｆで検査される設計データの容量であってもよい。

第２時間Ｔ２は、基準検査時間Ｔｒｅｆに変換処理後の設計データのフラッテンデータ容量に比例した係数を乗じた時間である。より詳しくは、第２時間Ｔ２は、基準検査時間Ｔｒｅｆに、変換処理後のフラッテンデータ容量[バイト]をある一定の第２容量閾値[バイト]で除した係数を乗じた時間である。第２容量閾値は、基準検査時間Ｔｒｅｆに相関する値であり、例えば、第１容量閾値と同値であってもよい。

第３時間Ｔ３は、変換処理の完了時刻から検査開始時刻を減じた時間であり、検査開始時刻が変換処理の完了時刻より遅い場合はゼロとなる時間である。

そして、データ変換判断回路３１は、次の（ａ）〜（ｃ）のいずれかが満足される場合に、検査終了時刻が早くなると判定し、一方、（ａ）〜（ｃ）のいずれも足されない場合に、検査終了時刻が遅くなると判定する。

（ａ）第３時間Ｔ３がゼロとなる場合（すなわち、検査開始時刻が変換処理の完了時刻より遅くなる場合）
（ｂ）第１時間Ｔ１および第２時間Ｔ２が基準検査時間Ｔｒｅｆ以上となり、かつ、第３時間Ｔ３がゼロより大きくなる場合であって、第１時間Ｔ１が、第２時間Ｔ２と第３時間Ｔ３との和以上となる場合
（ｃ）第１時間Ｔ１が基準検査時間Ｔｒｅｆ以上となり、第２時間Ｔ２が基準検査時間Ｔｒｅｆ未満となり、かつ、第３時間Ｔ３がゼロより大きくなる場合であって、第１時間Ｔ１が、基準検査時間Ｔｒｅｆと第３時間Ｔ３との和以上となる場合。

（ａ）〜（ｃ）は、いずれも、変換処理の実施によって検査終了時刻が早くなることを意味している。

このように、変換処理の実施によって検査終了時刻が早くなる複数の場合に変換処理を実施すると判断することで、予め設定された検査スケジュールの中で、検査終了時刻を優先した検査を確実に行うことができる。

以上述べたように、第１の実施形態によるパターン検査装置１によれば、検査開始時刻に基づいて検査終了時刻が早くなると判定される場合に変換処理を実施すると判断することで、予め設定された検査スケジュールの中で、検査終了時刻を優先した検査を確実に行うことができる。

（検査方法）
次に、図１のパターン検査装置１を適用した第１の実施形態のパターン検査方法について説明する。図２は、第１の実施形態によるパターン検査方法を示すフローチャートである。図２のフローチャートは、必要に応じて繰り返される。図３は、第１の実施形態によるパターン検査方法において、図２の一部の工程の具体例を示すフローチャートである。

図４は、第１の実施形態によるパターン検査方法を示す斜視図である。図４に示すように、マスク２上の検査領域２０１は、短冊状の複数のストライプ２０２に仮想的に分割されている。フォトダイオードアレイ８は、ＸＹθテーブル６の移動にともなって、マスク２をストライプ２０２毎に撮像する。このとき、図４の破線矢印に示す方向に各ストライプ２０２が連続的にスキャンされるように、テーブル制御回路１７はＸＹθテーブル６の動作を制御する。ＸＹθテーブル６を移動させながら、フォトダイオードアレイ８で撮像された光学画像に基づいてストライプ２０２上のパターンの欠陥を検査する。

図５は、第１の実施形態によるパターン検査方法において、検査スケジュールの一例を示す図である。図５には、外部記憶装置２００に記憶されている設計データ（図５における設計データ＃１〜＃６）毎に、設計データを用いた検査の開始時刻がテーブル形式で対応付けられて登録されている。ユーザは、キーボード等の制御計算機３０に備えられたインターフェースを用いた入力操作によって、検査スケジュールの入力画面に対して外部記憶装置２００に記憶されている設計データについての検査開始時刻などの検査スケジュールを登録することができる。なお、図５は、検査スケジュールの一例を概念的に示したものに過ぎず、具体的な態様は図５と異なってよい。このような検査スケジュールを用いて、検査終了時刻が早くなるように設計データに変換処理を実施することができる。

すなわち、図２に示すように、先ず、制御計算機３０は、検査スケジュールにしたがって、外部記憶装置２００から記憶装置３３に設計データを送信する（ステップＳ１）。外部記憶装置２００から送信された設計データは、記憶装置３３で受信される前に、データ変換回路３２で受信される。

このとき、データ変換判断回路３１は、制御計算機３０に設定された検査スケジュールに基づいて、データ変換回路３２で受信された設計データを解析する（ステップＳ２）。

そして、データ変換判断回路３１は、設計データの解析結果に基づいて、第３時間Ｔ３がゼロとなるか否か、すなわち、検査スケジュールに設定された検査開始時刻までにデータ変換回路３２による変換処理が完了するか否かを判定する（ステップＳ３）。

例えば、データ変換判断回路３１は、予め取得されたデータ変換回路３２の変換速度と、設計データの容量とに基づいて設計データの変換処理の完了時刻を推定し、推定された完了時刻から検査開始時刻を減じることで第３時間Ｔ３を算出してもよい。設計データの変換処理の開始時刻は、検査開始時刻と同時刻とみなしてもよく、または、設計データに対応付けて予め検査スケジュールに登録された検査開始時刻より前の時刻または検査開始時刻より後の時刻であってもよい。第３時間Ｔ３の算出にあたって、変換処理の完了時刻から検査開始時刻を減じた値が負になる場合は、値をゼロにすればよい。

第３時間Ｔ３がゼロとなる場合（ステップＳ３：Ｙｅｓ）、データ変換判断回路３１は、検査終了時刻が早くなると判定して変換処理を実施すると判断する。この場合、データ変換回路３２は、設計データに変換処理を実施し、変換処理後の設計データを記憶装置３３に転送する（ステップＳ５）。

ここで、検査開始時刻までに変換処理が完了すること（Ｔ３＝０）は、検査開始時刻からの検査時間に変換処理の所要時間が含まれない、すなわち、変換処理の所要時間が検査時間を全く遅延させないことを意味する。このような場合に検査終了時刻が早くなると判定することで、正確な判定結果に基づいて検査終了時刻を優先した検査を確実に行うことができる。

一方、第３時間Ｔ３がゼロとならない場合（ステップＳ３：Ｎｏ）、データ変換判断回路３１は、第３時間Ｔ３がゼロとなること以外の理由で、検査終了時刻が早くなるか否かを判定する（ステップＳ４）。

具体的には、図３に示すように、データ変換判断回路３１は、第１時間Ｔ１および第２時間Ｔ２が基準検査時間Ｔｒｅｆ以上であり、第３時間Ｔ３がゼロより大きく、かつ、第１時間Ｔ１が、第２時間Ｔ２と第３時間Ｔ３との和以上であるか否かを判定する（ステップＳ４１）。

既述したように、第１時間Ｔ１は、基準検査時間Ｔｒｅｆに、変換処理前のフラッテンデータ容量を第１容量閾値で除した係数を乗じた時間である。また、第２時間Ｔ２は、基準検査時間Ｔｒｅｆに、変換処理後のフラッテンデータ容量を第２容量閾値で除した係数を乗じた時間である。また、第３時間Ｔ３は、変換処理の完了時刻から検査開始時刻を減じた時間であり、検査開始時刻が変換処理の完了時刻より遅い場合はゼロとなる時間である。

ここで、フラッテンデータ容量の一例について説明する。図６は、第１の実施形態によるパターン検査方法において、フラッテンデータ容量の一例を示す図である。

図６の例において、設計データは、図形と、図形が格納されたセルと、セルが格納されたチップとを有する。設計データは、図６と異なるデータ構造あるいは図６に追加のデータ構造を有していてもよい。

図６は、展開回路２３が、設計データに付随する展開情報に基づいて、設計データのフォルダに格納されたＡバイトのチップを、縦４個×横５個の合計２０個のチップ群に展開したデータを示している。参照回路２４は、このように展開されたデータに基づいて展開回路２３で変換された画像データを用いて参照画像を生成する。フラッテンデータ容量とは、図６に例示するように、設計データを検査に用いるために展開したときのデータの容量である。

図６の例において、フォルダ容量はＡバイトであるのに対して、展開したデータの容量であるフラッテンデータ容量は、２０Ａバイトとなる。第１時間Ｔ１および第２時間Ｔ２は、このようなフラッテンデータ容量を用いて算出された時間である。

そして、第１時間Ｔ１および第２時間Ｔ２が基準検査時間Ｔｒｅｆ以上であり（Ｔ１、Ｔ２≧Ｔｒｅｆ）、第３時間Ｔ３がゼロより大きく（Ｔ３＞０）、かつ、第１時間Ｔ１が第２時間Ｔ２と第３時間Ｔ３との和以上（Ｔ１≧Ｔ２+Ｔ３）である場合（ステップＳ４１：Ｙｅｓ）、データ変換判断回路３１は、検査終了時刻が早くなる（ステップＳ４：Ｙｅｓ）と判定して変換処理を実施すると判断する。

ここで、Ｔ１、Ｔ２≧Ｔｒｅｆ、Ｔ３＞０、かつ、Ｔ１≧Ｔ２+Ｔ３であることは、検査開始時刻から変換処理の完了を待ったうえで検査を開始して、変換処理後の設計データのフラッテンデータ容量に応じた基準検査時間以上の所要時間をかけて検査を完了するまでの時間（Ｔ３+Ｔ２に相当）が、検査開始時刻から変換処理を行わず直ちに検査を開始して、変換処理をともなわない設計データのフラッテンデータ容量に応じた所要時間をかけて検査を完了するまでの時間（Ｔ１に相当）以下となることを意味する。

このような場合（ステップＳ４１：Ｙｅｓ）に検査終了時刻が早くなると判定することで、正確な判定結果に基づいて検査終了時刻を優先した検査を確実に行うことができる。

また、フォルダ容量ではなく検査のときに設計データを読み込む回数を忠実に反映したフラッテンデータ容量に基づいて検査終了時刻が早くなるか否かを判定することで、判定をより正確に行うことができる。

一方、第１時間Ｔ１、第２時間Ｔ２が基準検査時間Ｔｒｅｆ以上でなく、第３時間Ｔ３がゼロより大きくなく、または、第１時間Ｔ１が第２時間Ｔ２と第３時間Ｔ３との和以上でない場合（ステップＳ４１：Ｎｏ）、データ変換判断回路３１は、第１時間Ｔ１が基準検査時間Ｔｒｅｆ以上であり、第２時間Ｔ２が基準検査時間Ｔｒｅｆ未満であり、第３時間Ｔ３がゼロより大きく、かつ、第１時間Ｔ１が、基準検査時間Ｔｒｅｆと第３時間Ｔ３との和以上であるか否かを判定する（ステップＳ４２）。

そして、第１時間Ｔ１が基準検査時間Ｔｒｅｆ以上、第２時間Ｔ２が基準検査時間Ｔｒｅｆ未満であり（Ｔ１≧Ｔｒｅｆ、Ｔ２＜Ｔｒｅｆ）、第３時間Ｔ３がゼロより大きく（Ｔ３＞０）、かつ第１時間Ｔ１が基準検査時間Ｔｒｅｆと第３時間Ｔ３との和以上（Ｔ１≧Ｔｒｅｆ+Ｔ３）である場合（ステップＳ４２：Ｙｅｓ）、データ変換判断回路３１は、検査終了時刻が早くなる（ステップＳ４：Ｙｅｓ）と判定して変換処理を実施すると判断する。

一方、第１時間Ｔ１が基準検査時間Ｔｒｅｆ以上でなく、第２時間Ｔ２が基準検査時間Ｔｒｅｆ未満でなく、第３時間Ｔ３がゼロより大きくなく、または、第１時間Ｔ１が基準検査時間Ｔｒｅｆと第３時間Ｔ３との和以上でない場合（ステップＳ４２：Ｎｏ）、データ変換判断回路３１は、検査終了時刻が遅くなる（ステップＳ４：Ｎｏ）と判定して変換処理を実施しないと判断する。

ここで、Ｔ１≧Ｔｒｅｆ、Ｔ２＜Ｔｒｅｆ、Ｔ３＞０かつＴ１≧Ｔｒｅｆ+Ｔ３であることは、検査開始時刻から変換処理の完了を待ったうえで検査を開始して、基準検査時間をかけて検査を完了するまでの時間（Ｔ３+Ｔｒｅｆに相当）が、検査開始時刻から変換処理を行わず直ちに検査を開始して、変換処理をともなわない設計データのフラッテンデータ容量に応じた所要時間をかけて検査を完了するまでの時間（Ｔ１に相当）以下となることを意味する。言い換えれば、検査開始時刻から変換処理の完了を待ったうえで検査を開始して、変換処理後の設計データのフラッテンデータ容量に応じた基準検査時間より短い所要時間をかけて検査を完了するまでの時間（Ｔ３+Ｔ２に相当）が、検査開始時刻から直ちに検査を開始して、変換処理をともなわない設計データのフラッテンデータ容量に応じた所要時間をかけて検査を完了するまでの検査時間（Ｔ１に相当）に対して、ステップＳ４１：Ｙｅｓの場合よりも更に短くなり得ることを意味する。

このような場合（ステップＳ４２：Ｙｅｓ）に検査終了時刻が早くなると判定することで、正確な判定結果に基づいて検査終了時刻を優先した検査を確実に行うことができる。

変換処理を実施すると判断された場合（ステップＳ３：Ｙｅｓ、ステップＳ４：Ｙｅｓ）、図２に示すように、データ変換回路３２は、変換処理を実施する（ステップＳ５）。

図７は、第１の実施形態によるパターン検査方法において、変換処理の一例を示す図である。例えば、図７に示すように、データ変換回路３２は、変換処理前は図形ごとにセルが存在していた設計データを、複数の図形を１つのセルにまとめて格納する設計データに変換する。このように変換することで、検査の際に展開回路２３がセルを読み込む回数を削減できるので、検査を効率的に行うことができる。検査を効率的に行うことで、検査終了時間を早くすることができる。

一方、図２に示すように、変換処理を実施しないと判断された場合（ステップＳ４：Ｎｏ）、データ変換回路３２は、変換処理を実施しない（ステップＳ６）。

そして、パターン検査装置１は、データ変換回路３２から送信された設計データに基づく検査を実施する（ステップＳ７）。

以上述べたように、第１の実施形態によれば、検査開始時刻に基づいて検査終了時刻が早くなると判定される場合に変換処理を実施すると判断することで、予め設定された検査スケジュールの中で、検査終了時刻を優先した検査を確実に行うことができる。

また、第１の実施形態によれば、変換処理の実施によって検査終了時刻が早くなる複数の場合（ａ）〜（ｃ）に検査終了時刻が早くなると判定することで、正確な判定結果に基づいて、予め設定された検査スケジュールの中での検査終了時刻を優先した検査を更に確実に行うことができる。

（第２の実施形態）
次に、フラッテンデータ容量あたりの図形数を考慮して変換処理の有無を判断する第２の実施形態について説明する。

図８は、第２の実施形態によるパターン検査方法を示すフローチャートである。第２の実施形態のデータ変換判断回路３１は、第３時間Ｔ３がゼロとなること以外の理由で検査終了時刻が早くなるか否かの判定として、図８に示される判定を行う。

具体的には、データ変換判断回路３１は、第４時間Ｔ４および第５時間Ｔ５が基準検査時間Ｔｒｅｆ以上であり、第３時間Ｔ３がゼロより大きく、かつ、第４時間Ｔ４が第５時間Ｔ５と第３時間Ｔ３との和以上（Ｔ４、Ｔ５≧Ｔｒｅｆ、Ｔ３＞０かつＴ４≧Ｔ５+Ｔ３）であるか否かを判定する（ステップＳ４１１）。

ここで、第４時間Ｔ４は、基準検査時間Ｔｒｅｆに変換処理前の設計データのフラッテンデータ容量あたりの図形数に比例した係数を乗じた時間である。より詳しくは、第４時間Ｔ４は、基準検査時間Ｔｒｅｆに、変換処理前のフラッテンデータ容量[バイト]あたりの図形数[個]をある一定の第１図形数閾値[個]で除した係数を乗じた時間である。第１図形数閾値は、基準検査時間Ｔｒｅｆに相関する値であり、例えば、基準検査時間Ｔｒｅｆで検査される設計データの図形数であってもよい。

第５時間Ｔ５は、基準検査時間Ｔｒｅｆに変換処理後の設計データのフラッテンデータ容量あたりの図形数に比例した係数を乗じた時間である。より詳しくは、第５時間Ｔ５は、基準検査時間Ｔｒｅｆに、変換処理後のフラッテンデータ容量[バイト] あたりの図形数[個]をある一定の第２図形数閾値[個]で除した係数を乗じた時間である。第２図形数閾値は、基準検査時間Ｔｒｅｆに相関する値であり、例えば、第１図形数閾値と同一であってもよい。

第３時間Ｔ３は、既述した通り、変換処理の完了時刻から検査開始時刻を減じた時間であり、検査開始時刻が変換処理の完了時刻より遅い場合はゼロとなる時間である。

そして、第４時間Ｔ４および第５時間Ｔ５が基準検査時間Ｔｒｅｆ以上であり（Ｔ４、Ｔ５≧Ｔｒｅｆ）、第３時間Ｔ３がゼロより大きく（Ｔ３＞０）、第４時間Ｔ４が第５時間Ｔ５と第３時間Ｔ３との和以上（Ｔ４≧Ｔ５+Ｔ３）である場合（ステップＳ４１１：Ｙｅｓ）、データ変換判断回路３１は、検査終了時刻が早くなる（ステップＳ４：Ｙｅｓ）と判定して変換処理を実施すると判断する。

ここで、Ｔ４、Ｔ５≧Ｔｒｅｆ、Ｔ３＞０かつＴ４≧Ｔ５+Ｔ３であることは、検査開始時刻から変換処理の完了を待ったうえで検査を開始して、変換処理後の設計データのフラッテンデータ容量に応じた基準検査時間以上の所要時間をかけて検査を完了するまでの時間（Ｔ３+Ｔ５に相当）が、検査開始時刻から変換処理を行わず直ちに検査を開始して、変換処理をともなわない設計データのフラッテンデータ容量に応じた所要時間をかけて検査を完了するまでの時間（Ｔ４に相当）以下となることを意味する。

このような場合（ステップＳ４１１：Ｙｅｓ）に検査終了時刻が早くなると判定することで、正確な判定結果に基づいて検査終了時刻を優先した検査を確実に行うことができる。

一方、第４時間Ｔ４、第５時間Ｔ５が基準検査時間Ｔｒｅｆ以上でなく、第３時間Ｔ３がゼロより大きくなく、または、第４時間Ｔ４が第５時間Ｔ５と第３時間Ｔ３との和以上でない場合（ステップＳ４１１：Ｎｏ）、データ変換判断回路３１は、第４時間Ｔ４が基準検査時間Ｔｒｅｆ以上であり、第５時間Ｔ５が基準検査時間Ｔｒｅｆ未満であり、第３時間Ｔ３がゼロより大きく、かつ、第４時間Ｔ４が、基準検査時間Ｔｒｅｆと第３時間Ｔ３との和以上であるか否かを判定する（ステップＳ４１２）。

そして、第４時間Ｔ４が基準検査時間Ｔｒｅｆ以上、第５時間Ｔ５が基準検査時間Ｔｒｅｆ未満であり（Ｔ４≧Ｔｒｅｆ、Ｔ５＜Ｔｒｅｆ）、第３時間Ｔ３がゼロより大きく（Ｔ３＞０）、かつ、第４時間Ｔ４が基準検査時間Ｔｒｅｆと第３時間Ｔ３との和以上（Ｔ４≧Ｔｒｅｆ+Ｔ３）である場合（ステップＳ４１２：Ｙｅｓ）、データ変換判断回路３１は、検査終了時刻が早くなる（ステップＳ４：Ｙｅｓ）と判定して変換処理を実施すると判断する。

一方、第４時間Ｔ４が基準検査時間Ｔｒｅｆ以上でなく、第５時間Ｔ５が基準検査時間Ｔｒｅｆ未満でなく、第３時間Ｔ３がゼロより大きくなく、または、第４時間Ｔ４が基準検査時間Ｔｒｅｆと第３時間Ｔ３との和以上でない場合（ステップＳ４１２：Ｎｏ）、データ変換判断回路３１は、検査終了時刻が遅くなる（ステップＳ４：Ｎｏ）と判定して変換処理を実施しないと判断する。

ここで、Ｔ４≧Ｔｒｅｆ、Ｔ５＜Ｔｒｅｆ、Ｔ３＞０かつＴ４≧Ｔｒｅｆ+Ｔ３であることは、検査開始時刻から変換処理の完了を待ったうえで検査を開始して、基準検査時間をかけて検査を完了するまでの時間（Ｔ３+Ｔｒｅｆに相当）が、検査開始時刻から変換処理を行わず直ちに検査を開始して、変換処理をともなわない設計データのフラッテンデータ容量に応じた所要時間をかけて検査を完了するまでの時間（Ｔ４に相当）以下となることを意味する。言い換えれば、検査開始時刻から変換処理の完了を待ったうえで検査を開始して、変換処理後の設計データのフラッテンデータ容量に応じた基準検査時間より短い所要時間をかけて検査を完了するまでの時間（Ｔ３+Ｔ５に相当）が、検査開始時刻から直ちに検査を開始して、変換処理をともなわない設計データのフラッテンデータ容量に応じた所要時間をかけて検査を完了するまでの検査時間（Ｔ４に相当）に対して、ステップＳ４１１：Ｙｅｓの場合よりも更に短くなり得ることを意味する。

このような場合（ステップＳ４１２：Ｙｅｓ）に検査終了時刻が早くなると判定することで、正確な判定結果に基づいて検査終了時刻を優先した検査を確実に行うことができる。

第２の実施形態によれば、第１の実施形態と同様に、変換処理の実施によって検査終了時刻が早くなる複数の場合（Ｓ３：Ｙｅｓ、Ｓ４１１：Ｙｅｓ、Ｓ４１２：Ｙｅｓ）に検査終了時刻が早くなると判定することで、正確な判定結果に基づいて、予め設定された検査スケジュールの中での検査終了時刻を優先した検査を更に確実に行うことができる。

（第３の実施形態）
次に、セルあたりの図形数の逆数を考慮して変換処理の有無を判断する第２の実施形態について説明する。

図９は、第３の実施形態によるパターン検査方法を示すフローチャートである。第３の実施形態のデータ変換判断回路３１は、第３時間Ｔ３がゼロとなること以外の理由で検査終了時刻が早くなるか否かの判定として、図９に示される判定を行う。

具体的には、データ変換判断回路３１は、第６時間Ｔ６および第７時間Ｔ７が基準検査時間Ｔｒｅｆ以上であり、第３時間Ｔ３がゼロより大きく、かつ、第６時間Ｔ６が第７時間Ｔ７と第３時間Ｔ３との和以上（Ｔ６、Ｔ７≧Ｔｒｅｆ、Ｔ３＞０かつＴ６≧Ｔ７+Ｔ３）であるか否かを判定する（ステップＳ４２１）。

ここで、第６時間Ｔ６は、基準検査時間Ｔｒｅｆに変換処理前の設計データのセル数あたりの図形数の逆数に比例した係数を乗じた時間である。より詳しくは、第６時間Ｔ６は、基準検査時間Ｔｒｅｆに、変換処理前のセル数あたりの図形数の逆数をある一定の第１逆数閾値で除した係数を乗じた時間である。例えば、変換処理前のセル数が合計でｘ個であり、これらのｘ個のセルのそれぞれに含まれる図形の個数をｘ個のセルで足し合わせた総数がｙ個であるとすると、セル数ｘあたりの図形数ｙは、ｙ／ｘであり、その逆数はｘ／ｙである。第１逆数閾値は、例えば、基準検査時間Ｔｒｅｆに相関する値であり、基準検査時間Ｔｒｅｆで検査されるセル数あたりの図形数の逆数であってもよい。

第７時間Ｔ７は、基準検査時間Ｔｒｅｆに変換処理後の設計データのセル数あたりの図形数の逆数に比例した係数を乗じた時間である。より詳しくは、第７時間Ｔ７は、基準検査時間Ｔｒｅｆに、変換処理後のセル数あたりの図形数の逆数をある一定の第２逆数閾値で除した係数を乗じた時間である。第２逆数閾値は、第１逆数閾値と同一であってもよい。

第３時間Ｔ３は、既述した通り、変換処理の完了時刻から検査開始時刻を減じた時間であり、検査開始時刻が変換処理の完了時刻より遅い場合はゼロとなる時間である。

そして、第６時間Ｔ６および第７時間Ｔ７が基準検査時間Ｔｒｅｆ以上であり（Ｔ６、Ｔ７≧Ｔｒｅｆ）、第３時間Ｔ３がゼロより大きく（Ｔ３＞０）、かつ、第６時間Ｔ６が第７時間Ｔ７と第３時間Ｔ３との和以上（Ｔ６≧Ｔ７+Ｔ３）である場合（ステップＳ４２１：Ｙｅｓ）、データ変換判断回路３１は、検査終了時刻が早くなる（ステップＳ４：Ｙｅｓ）と判定して変換処理を実施すると判断する。

ここで、Ｔ６、Ｔ７≧Ｔｒｅｆ、Ｔ３＞０、かつ、Ｔ６≧Ｔ７+Ｔ３であることは、検査開始時刻から変換処理の完了を待ったうえで検査を開始して、変換処理後の設計データのフラッテンデータ容量に応じた基準検査時間以上の所要時間をかけて検査を完了するまでの時間（Ｔ３+Ｔ７に相当）が、検査開始時刻から変換処理を行わず直ちに検査を開始して、変換処理をともなわない設計データのフラッテンデータ容量に応じた所要時間をかけて検査を完了するまでの時間（Ｔ６に相当）以下となることを意味する。

このような場合（ステップＳ４２１：Ｙｅｓ）に検査終了時刻が早くなると判定することで、正確な判定結果に基づいて検査終了時刻を優先した検査を確実に行うことができる。

一方、第６時間Ｔ６、第７時間Ｔ７が基準検査時間Ｔｒｅｆ以上でなく、第３時間Ｔ３がゼロより大きくなく、または、第６時間Ｔ６が第７時間Ｔ７と第３時間Ｔ３との和以上でない場合（ステップＳ４２１：Ｎｏ）、データ変換判断回路３１は、第６時間Ｔ６が基準検査時間Ｔｒｅｆ以上、第７時間Ｔ７が基準検査時間Ｔｒｅｆ未満であり、第３時間Ｔ３がゼロより大きく、かつ、第６時間Ｔ６が、基準検査時間Ｔｒｅｆと第３時間Ｔ３との和以上であるか否かを判定する（ステップＳ４２２）。

そして、第６時間Ｔ６が基準検査時間Ｔｒｅｆ以上、第７時間Ｔ７が基準検査時間Ｔｒｅｆ未満であり（Ｔ６≧Ｔｒｅｆ、Ｔ７＜Ｔｒｅｆ）、第３時間Ｔ３がゼロより大きく（Ｔ３＞０）、かつ第６時間Ｔ６が基準検査時間Ｔｒｅｆと第３時間Ｔ３との和以上（Ｔ６≧Ｔｒｅｆ+Ｔ３）である場合（ステップＳ４２２：Ｙｅｓ）、データ変換判断回路３１は、検査終了時刻が早くなる（ステップＳ４：Ｙｅｓ）と判定して変換処理を実施すると判断する。

一方、第６時間Ｔ６が基準検査時間Ｔｒｅｆ以上でなく、第７時間Ｔ７が基準検査時間Ｔｒｅｆ未満でなく、第３時間Ｔ３がゼロより大きくなく、または、第６時間Ｔ６が基準検査時間Ｔｒｅｆと第３時間Ｔ３との和以上でない場合（ステップＳ４２２：Ｎｏ）、データ変換判断回路３１は、検査終了時刻が遅くなる（ステップＳ４：Ｎｏ）と判定して変換処理を実施しないと判断する。

ここで、Ｔ６≧Ｔｒｅｆ、Ｔ７＜Ｔｒｅｆ、Ｔ３＞０、かつ、Ｔ６≧Ｔｒｅｆ+Ｔ３であることは、検査開始時刻から変換処理の完了を待ったうえで検査を開始して、基準検査時間をかけて検査を完了するまでの時間（Ｔ３+Ｔｒｅｆに相当）が、検査開始時刻から変換処理を行わず直ちに検査を開始して、変換処理をともなわない設計データのフラッテンデータ容量に応じた所要時間をかけて検査を完了するまでの時間（Ｔ６に相当）以下となることを意味する。言い換えれば、検査開始時刻から変換処理の完了を待ったうえで検査を開始して、変換処理後の設計データのフラッテンデータ容量に応じた基準検査時間より短い所要時間をかけて検査を完了するまでの時間（Ｔ３+Ｔ７に相当）が、検査開始時刻から直ちに検査を開始して、変換処理をともなわない設計データのフラッテンデータ容量に応じた所要時間をかけて検査を完了するまでの検査時間（Ｔ６に相当）に対して、ステップＳ４２１：Ｙｅｓの場合よりも更に短くなり得ることを意味する。

このような場合（ステップＳ４２２：Ｙｅｓ）に検査終了時刻が早くなると判定することで、正確な判定結果に基づいて検査終了時刻を優先した検査を確実に行うことができる。

第３の実施形態によれば、第１および第２の実施形態と同様に、変換処理の実施によって検査終了時刻が早くなる複数の場合（Ｓ３：Ｙｅｓ、Ｓ４２１：Ｙｅｓ、Ｓ４２２：Ｙｅｓ）に検査終了時刻が早くなると判定することで、正確な判定結果に基づいて、予め設定された検査スケジュールの中での検査終了時刻を優先した検査を更に確実に行うことができる。

パターン検査装置１の少なくとも一部は、ハードウェアで構成してもよいし、ソフトウェアで構成してもよい。ソフトウェアで構成する場合には、パターン検査装置１の少なくとも一部の機能を実現するプログラムをフレキシブルディスクやＣＤ−ＲＯＭ等の記録媒体に収納し、コンピュータに読み込ませて実行させてもよい。記録媒体は、磁気ディスクや光ディスク等の着脱可能なものに限定されず、ハードディスク装置やメモリなどの固定型の記録媒体でもよい。

上述の実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。

１ パターン検査装置
２ マスク
３０ 制御計算機
３１ データ変換有無判定回路
３２ データ変換回路

Claims (5)

1. 複数のパターンを構成する複数の図形の各々が格納された複数のセルを有する設計データに基づいて生成された参照画像と前記試料を撮像した光学画像とを比較することで前記パターンの欠陥を検査する検査装置であって、
   検査開始時刻を含む予め設定された検査スケジュールにしたがって前記検査装置の外部から前記検査装置に前記設計データを送信する制御計算機と、
   前記制御計算機によって送信された前記設計データを受信し、前記受信された設計データを、１つのセルで１つの図形を管理する状態の設計データから１つのセルで複数の図形を管理する状態の設計データへと変換する変換処理を実施し、前記変換処理が実施された設計データを前記検査装置の記憶部に送信するデータ変換部と、
   前記受信された設計データに基づいて、前記変換処理が前記試料の検査開始時刻までに完了するか否かを判定し、完了すると判定された場合、前記データ変換部に前記変換処理を実施させるデータ変換判断部と、
   前記変換処理が前記検査開始時刻までに完了すると判定された場合に、前記記憶部に送信された前記変換処理が実施された設計データに基づいて前記参照画像を生成する参照回路と、を備え、
   前記変換処理が前記検査開始時刻までに完了しないと判定された場合に、前記データ変換判断部は、前記データ変換部に前記変換処理を実施させず、前記データ変換部は、前記変換処理が実施されなかった設計データを前記記憶部に送信し、前記参照回路は、前記記憶部に送信された前記変換処理が実施されなかった設計データに基づいて前記参照画像を生成する検査装置。
2. 前記データ変換判断部は、
   予め設定された検査の所要時間である基準検査時間と、
   前記基準検査時間に前記変換処理前の前記設計データの実容量を一定の容量閾値で除した係数を乗じた第１時間と、
   前記基準検査時間に前記変換処理後の前記設計データの実容量を一定の容量閾値で除した係数を乗じた第２時間と、
   前記変換処理の完了時刻から前記検査開始時刻を減じた第３時間であって、前記検査開始時刻が前記変換処理の完了時刻より遅い場合はゼロとなる第３時間と、を取得し、
   （１）前記第３時間がゼロとなる場合、
   （２）前記第１時間および前記第２時間が前記基準検査時間以上となり、かつ、前記第３時間がゼロより大きくなる場合であって、前記第１時間が前記第２時間と前記第３時間との和以上となる場合、または、
   （３）前記第１時間が前記基準検査時間以上となり、前記第２時間が前記基準検査時間未満となり、かつ、前記第３時間がゼロより大きくなる場合であって、前記第１時間が前記基準検査時間と前記第３時間との和以上となる場合に、前記変換処理が前記検査開始時刻までに完了すると判定する、請求項１に記載の検査装置。
3. 前記データ変換判断部は、
   予め設定された検査の所要時間である基準検査時間と、
   前記基準検査時間に前記変換処理前の前記設計データの実容量あたりの前記図形の数を一定の図形数閾値で除した係数を乗じた第４時間と、
   前記基準検査時間に前記変換処理後の前記設計データの実容量あたりの前記図形の数を一定の図形数閾値で除した係数を乗じた第５時間と、
   前記変換処理の完了時刻から前記検査開始時刻を減じた第３時間であって、前記検査開始時刻が前記変換処理の完了時刻より遅い場合はゼロとなる第３時間と、を取得し、
   （１）前記第３時間がゼロとなる場合、
   （２）前記第４時間および前記第５時間が前記基準検査時間以上となり、かつ、前記第３時間がゼロより大きくなる場合であって、前記第４時間が前記第５時間と前記第３時間との和以上となる場合、または、
   （３）前記第４時間が前記基準検査時間以上となり、前記第５時間が前記基準検査時間未満となり、かつ、前記第３時間がゼロより大きくなる場合であって、前記第４時間が前記基準検査時間と前記第３時間との和以上となる場合に、前記変換処理が前記検査開始時刻までに完了すると判定する、請求項１または２に記載の検査装置。
4. 前記データ変換判断部は、
   予め設定された検査の所要時間である基準検査時間と、
   前記基準検査時間に前記変換処理前の前記設計データの前記セルの総数に対する前記図形の総数の比の逆数を一定の逆数閾値で除した係数を乗じた第６時間と、
   前記基準検査時間に前記変換処理後の前記設計データの前記セルの総数に対する前記図形の総数の比の逆数を一定の逆数閾値で除した係数を乗じた第７時間と、
   前記変換処理の完了時刻から前記検査開始時刻を減じた第３時間であって、前記検査開始時刻が前記変換処理の完了時刻より遅い場合はゼロとなる第３時間と、を取得し、
   （１）前記第３時間がゼロとなる場合、
   （２）前記第６時間および前記第７時間が前記基準検査時間以上となり、かつ、前記第３時間がゼロより大きくなる場合であって、前記第６時間が前記第７時間と前記第３時間との和以上となる場合、または、
   （３）前記第６時間が前記基準検査時間以上となり、前記第７時間が前記基準検査時間未満となり、かつ、前記第３時間がゼロより大きくなる場合であって、前記第６時間が前記基準検査時間と前記第３時間との和以上となる場合に、前記変換処理が前記検査開始時刻までに完了すると判定する、請求項１〜３のいずれか一項に記載の検査装置。
5. 複数のパターンを構成する複数の図形の各々が格納された複数のセルを有する設計データに基づいて生成された参照画像と前記試料を撮像した光学画像とを比較することで前記パターンの欠陥を検査する検査装置を用いて前記パターンの欠陥を検査する検査方法であって、
   検査開始時刻を含む予め設定された検査スケジュールにしたがって前記検査装置の外部から前記検査装置に前記設計データを送信する工程と、
   前記送信された設計データに基づいて、前記送信された設計データを、１つのセルで１つの図形を管理する状態の設計データから１つのセルで複数の図形を管理する状態の設計データへと変換する変換処理が、前記試料の検査開始時刻までに完了するか否かを判定する工程と、
   前記変換処理が前記検査開始時刻までに完了すると判定された場合に、前記送信された設計データに前記変換処理を実施し、前記変換処理が実施された設計データを前記検査装置の記憶部に送信する工程と、
   前記記憶部に送信された前記変換処理が実施された設計データに基づいて前記参照画像を生成する工程と、
   前記変換処理が前記検査開始時刻までに完了しないと判定された場合に、前記送信された設計データに前記変換処理を実施せず、前記変換処理が実施されなかった設計データを前記記憶部に送信する工程と、
   前記記憶部に送信された前記変換処理が実施されなかった設計データに基づいて前記参照画像を生成する工程と、を含む、検査方法。

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