JP6932855B2 - マルチビーム荷電粒子カラムとその使用、組み合わされた磁気偏向ユニット及び静電偏向ユニットおよび、サンプルの表面を検査又は撮像するための方法 - Google Patents
マルチビーム荷電粒子カラムとその使用、組み合わされた磁気偏向ユニット及び静電偏向ユニットおよび、サンプルの表面を検査又は撮像するための方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6932855B2 JP6932855B2 JP2020540280A JP2020540280A JP6932855B2 JP 6932855 B2 JP6932855 B2 JP 6932855B2 JP 2020540280 A JP2020540280 A JP 2020540280A JP 2020540280 A JP2020540280 A JP 2020540280A JP 6932855 B2 JP6932855 B2 JP 6932855B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- charged particle
- magnetic
- deflection unit
- strips
- primary charged
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
- H01J37/147—Arrangements for directing or deflecting the discharge along a desired path
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
- H01J37/147—Arrangements for directing or deflecting the discharge along a desired path
- H01J37/1472—Deflecting along given lines
- H01J37/1474—Scanning means
- H01J37/1475—Scanning means magnetic
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/22—Optical or photographic arrangements associated with the tube
- H01J37/224—Luminescent screens or photographic plates for imaging ; Apparatus specially adapted therefor, e.g. cameras, TV-cameras, photographic equipment, exposure control; Optical subsystems specially adapted therefor, e.g. microscopes for observing image on luminescent screen
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/22—Optical or photographic arrangements associated with the tube
- H01J37/226—Optical arrangements for illuminating the object; optical arrangements for collecting light from the object
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/244—Detectors; Associated components or circuits therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/15—Means for deflecting or directing discharge
- H01J2237/1508—Combined electrostatic-electromagnetic means
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/15—Means for deflecting or directing discharge
- H01J2237/151—Electrostatic means
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/15—Means for deflecting or directing discharge
- H01J2237/152—Magnetic means
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/244—Detection characterized by the detecting means
- H01J2237/2445—Photon detectors for X-rays, light, e.g. photomultipliers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/244—Detection characterized by the detecting means
- H01J2237/2448—Secondary particle detectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/245—Detection characterised by the variable being measured
- H01J2237/24592—Inspection and quality control of devices
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
第1の態様によると、サンプルの表面を検査するためのマルチビーム荷電粒子カラムが提供され、前記マルチビーム荷電粒子カラムは、
サンプルホルダ上に配置された前記サンプルの前記表面に向かって軌道に沿って方向付けられた複数の一次荷電粒子ビームを生成するために配置される1つ又は複数のエミッタ、
前記サンプル上に前記複数の一次荷電粒子ビームを集束させるための対物レンズユニット、
前記サンプル上への前記一次荷電粒子ビームの入射時に生成される信号荷電粒子を検出するための検出器システム、
前記検出器システムと前記サンプルホルダとの間に配置された磁気偏向ユニット、ここにおいて、前記磁気偏向ユニットは、磁性体又は強磁性体の複数のストリップを備え、前記複数のストリップのうちの少なくとも1つのストリップは、一次荷電粒子ビームの軌道の隣に位置し、前記少なくとも1つのストリップは、前記磁気偏向ユニットにおける前記一次荷電粒子ビームの前記軌道のピッチに等しい距離内に配置され、磁性体又は強磁性体の前記複数のストリップは、0度より大きい角度で前記一次荷電粒子ビームの前記軌道と交差する力線を有する磁場を確立するように構成される、
少なくとも前記一次荷電粒子ビームに作用する静電場を生成するように構成された静電偏向ユニット、ここにおいて、前記静電偏向部材は、前記磁気偏向ユニットの前記磁場に少なくとも実質的に垂直な方向に静電場を提供するように構成される、及び、
ここにおいて、前記磁気偏向ユニットと前記静電偏向ユニットとは、前記一次荷電粒子ビームの前記軌道に平行な方向に離間して配置される、
を備える、マルチビーム荷電粒子カラムである。
一実施形態では、静電偏向部材は、磁気偏向ユニットの磁場に少なくとも実質的に垂直な方向に静電場を提供するように構成される。磁気偏向ユニットと静電偏向ユニットとは、一次荷電粒子ビームの軌道に平行な方向に離間して配置される。それ故に、組み合わされた磁気偏向ユニット及び静電偏向ユニットは、信号荷電粒子を一次荷電粒子の軌道から選り分けるために使用されることができるウィーンフィルタとして作用する。磁場と静電場があるエリアで実質的に重複する既知のウィーンフィルタ配置は、収差を生じさせる。磁気偏向ユニット及び静電偏向ユニットを離間して配置することによって、収差は大幅に低減されるか、又は実質的に無効にされさえする。
一実施形態では、前記複数のストリップのうちの少なくとも2つのストリップは、一次荷電粒子ビームの軌道の両側に、及び磁気偏向ユニットにおける一次荷電粒子ビームの軌道のピッチに等しい距離内に位置する。ストリップは、一次荷電粒子ビームの軌道のピッチに等しい距離内に配置されるように構成される。それ故に、ストリップは、一次荷電粒子ビームの2つの隣接する軌道の間に配置及び/又は収まることができる。好ましくは、2つのストリップのピッチは、一次荷電粒子ビームの軌道のピッチに実質的に等しい。
一実施形態では、磁気偏向ユニットの複数のストリップは、共通平面に配置され、前記ストリップは、磁性体を備え、前記ストリップのうちの少なくとも1つは、共通平面に実質的に平行な方向に隣接して配置される北磁極及び南磁極を備える。この実施形態の磁気偏向ユニットは、信号荷電粒子を一次荷電粒子ビームの軌道から選り分けるために使用される磁場を提供するための永久磁石を備える。好ましくは、前記ストリップのうちの各1つは、共通平面と実質的に平行な方向に隣接して配置された北磁極及び南磁極を有する永久磁石を備える。
一実施形態では、前記複数のストリップのうちの第1のストリップと隣接する第2のストリップとは、一次荷電粒子ビームの前記軌道のうちの少なくとも1つの両側に配置され、第1のストリップは、一次荷電粒子ビームの軌道に面する側に北磁極を備えるように構成され、第2のストリップは、一次荷電粒子ビームの前記軌道のうちの少なくとも1つに面する側に南磁極を備えるように構成される。それ故に、前記隣接するストリップの第1のストリップの北磁極は、第2のストリップの南磁極に面している。これは、第1のストリップの北磁極から第2のストリップの南磁極まで延びる力線を有する実質的に均一な永久磁場を前記2つの隣接するストリップの間に提供する。
代替の実施形態では、磁気偏向ユニットの複数のストリップは、共通平面に配置され、前記ストリップは、強磁性体を備え、前記ストリップのうちの少なくとも1つは、共通平面に実質的に平行な方向に延びる少なくとも2つの電線を設けられ、2つの電線は、共通平面に実質的に垂直な平面に配置され、磁気偏向ユニットは、2つの電線に電流を提供するように構成され、電流は、2つの電線を通って反対方向に流れるように構成される。それ故に、強磁性体のストリップは、電磁石のためのコアとして構成される。磁気偏向ユニットは、電磁石を設けられ、それは、電磁石のコアとして電線と強磁性体のストリップとによって形成される。磁気偏向ユニット中で電磁石を使用する利点は、電線を通る電流の大きさを制御することによって磁場の強度を制御することができることである。
一実施形態では、2つの電線は、単一のループの一部であり、好ましくは、2つの電線は、単一のコイルの一部である。既に上記に示されたように、磁場は、非常に強い必要はなく、強磁性体のコアの周りの単一のループであっても、信号荷電粒子を一次荷電粒子ビームの軌道から選り分けるための磁場の所定の強度を得るのに十分である可能性がある。
一実施形態では、検出器システムは、複数の検出器セクションを備え、前記複数の検出器セクションのうちの少なくとも1つの検出器セクションは、一次荷電粒子ビームの軌道の隣に、及び検出器システムにおける一次荷電粒子ビームのピッチに等しい距離内に位置する。
一実施形態では、検出器システムは、複数の電子−光子コンバータセクションを備える電子−光子コンバータユニットと、ここにおいて、前記複数の電子−光子コンバータセクションのうちの少なくとも1つの電子−光子コンバータセクションは、一次荷電粒子ビームの軌道の隣に、及び電子−光子コンバータユニットにおける一次荷電粒子ビームの軌道のピッチに等しい距離内に位置する、 前記電子−光子コンバータセクションから光検出器に光を輸送するための光子輸送ユニットとを備える。好ましくは、前記複数の電子−光子コンバータセクションのうちの少なくとも1つの電子−光子コンバータセクションは、前記複数の一次荷電粒子ビームのうちの2つの隣接する一次荷電粒子ビームの軌道の間に配置される。好ましくは、前記光子輸送ユニットは、複数の光ファイバを備える。
一実施形態では、磁気偏向ユニットは、強磁性体のフレームによって少なくとも実質的に囲まれ、それは、荷電粒子ビームの軌道によって占有された体積の外側の磁束線を閉じるように構成される。戻り磁場は、強磁性体の前記フレーム内に効果的に閉じ込められ、漂遊磁場の影響は、少なくとも低減され、好ましくは、実質的に無効にされる。
一実施形態では、静電偏向ユニットは、特に、一次荷電粒子ビームの軌道に平行な方向に、磁気偏向ユニットに隣接して配置される。一実施形態では、磁気偏向ユニット及び静電偏向ユニットは、好ましくは、磁気偏向及び静電偏向ユニットを形成するために、互いに接続される。磁気偏向ユニット及び静電偏向ユニットを1つの組み立てられたユニットとして配置することによって、磁気偏向ユニットと静電偏向ユニットとの間の所望されるアラインメントをマルチビーム荷電粒子カラムの外側で確立することができる。それ故に、マルチビーム荷電粒子カラム中の組み立てられた磁気偏向及び静電偏向ユニットの位置決め及び/又は交換が容易になる。一実施形態では、静電偏向部材は、磁性体又は強磁性体の複数のストリップのうちの少なくとも1つのストリップに少なくとも実質的に平行な方向に静電場を提供するように構成される。好ましくは、静電場及び磁場の両方は、磁気偏向ユニットにおける一次荷電粒子ビームの軌道に実質的に垂直な平面に延びるように配置される。一実施形態では、静電偏向部材は、磁気偏向ユニットの磁場による一次荷電粒子ビームの偏向を少なくとも実質的に補償する静電場を提供するように構成される。この実施形態によると、静電場は、磁場による偏向と少なくとも実質的に等しいが反対の偏向を一次荷電粒子ビームに提供するように構成される。それ故に、一次荷電粒子ビームが静電偏向部材により磁気偏向ユニットを横断した後の一次荷電粒子ビームの軌道は、磁気偏向ユニットの前の一次荷電粒子ビームの軌道に実質的に平行である。しかしながら、信号荷電粒子については、磁場の偏向は静電場の偏向と実質的に同じ方向にあり、両方の偏向が加算され、信号荷電粒子は一次荷電粒子の軌道から離れるように方向付けられる。
一実施形態では、静電偏向部材は、少なくとも一次荷電粒子ビームの軌道に平行な方向に、磁性体又は強磁性体の複数のストリップに隣接して配置される。静電偏向部材を複数のストリップの近くに配置することによって、一次荷電粒子ビームの軌道のいかなるずれも可能な限り小さくすることができるので、一次荷電粒子ビームは、実質的に乱されることなく、静電偏向部材により磁気偏向ユニットを横断する。
一実施形態では、第1の共通平面と第2の共通平面とは、実質的に互いに平行に配置される、及び/又は、磁気偏向器ユニットと静電偏向ユニットとは、1つのユニットとして形成される。
サンプルホルダ上に配置された前記サンプルの前記表面に向かって軌道に沿って方向付けられた複数の一次荷電粒子ビームを生成するために配置される1つ又は複数のエミッタ、
前記サンプル上に前記複数の一次荷電粒子ビームを集束させるための対物レンズユニット、
前記サンプル上への前記一次荷電粒子ビームの入射時に生成される信号荷電粒子を検出するための検出器システム、及び、
ここにおいて、前記組み合わされた磁気偏向ユニット及び静電偏向ユニットは、前記検出器システムと前記サンプルホルダとの間に配置され、前記複数のストリップのうちの各ストリップは、一次荷電粒子ビームの軌道の隣に、及び前記磁気偏向ユニットにおける前記一次荷電粒子ビームの前記軌道のピッチに等しい距離内に位置し、磁性体又は強磁性体の前記複数のストリップは、0度より大きい角度で前記一次荷電粒子ビームの軌道と交差する力線を有する磁場を確立するように構成される、
を備える、マルチビーム荷電粒子カラムである。
1つ又は複数のエミッタを使用して複数の一次荷電粒子ビームを生成し、サンプルホルダ上に配置された前記サンプルの前記表面に向かって軌道に沿って前記複数の一次荷電粒子ビームを方向付けることと、
対物レンズユニットを使用して前記サンプル上に前記複数の一次荷電粒子ビームを集束させることと、
検出器システムを使用して、前記サンプル上への前記一次荷電粒子ビームの入射時に生成される信号荷電粒子を検出することと、
前記一次荷電粒子ビームの軌道から前記信号荷電粒子の軌道を選り分けるために、前記検出器システムと前記サンプルホルダとの間に配置された組み合わされた磁気偏向ユニット及び静電偏向ユニットを使用することと、ここにおいて、前記磁気偏向ユニットは、磁性体又は強磁性体の複数のストリップを備え、前記複数のストリップのうちの各ストリップは、一次荷電粒子ビームの軌道の隣に、及び前記磁気偏向ユニットにおける前記一次荷電粒子ビームの前記軌道のピッチに等しい距離内に位置し、磁性体又は強磁性体の前記複数のストリップは、0度より大きい角度で前記一次荷電粒子ビームの軌道と交差する力線を有する磁場を確立するように構成され、前記静電偏向ユニットは、少なくとも前記一次荷電粒子ビームに作用する静電場を生成するように構成され、前記静電偏向部材は、前記磁気偏向ユニットの前記磁場に少なくとも実質的に垂直な方向に静電場を提供するように構成され、前記磁気偏向ユニットと前記静電偏向ユニットとは、前記一次荷電粒子ビームの前記軌道に平行な方向に離間して配置される、
を備える、マルチビーム荷電粒子カラムの使用である。
第4の態様によると、サンプルの表面を検査又は撮像するための方法が提供される。前記方法は、
サンプルホルダ上に配置された前記サンプルの前記表面に向かって軌道に沿って方向付けられた複数の一次荷電粒子ビームを生成することと、
前記サンプル上に前記複数の一次荷電粒子ビームを集束させることと、
前記検出器システムと前記サンプルホルダとの間に配置された磁気偏向ユニットを使用することによって、0度より大きい角度で前記一次荷電粒子ビームの軌道と交差する力線を有する磁場を確立することと、ここにおいて、前記磁気偏向ユニットは、磁性体又は強磁性体の複数のストリップを備え、前記複数のストリップのうちの各ストリップは、一次荷電粒子ビームの軌道の隣に、及び前記磁気偏向ユニットにおける前記一次荷電粒子ビームの前記軌道のピッチに等しい距離内に位置する、
少なくとも前記一次荷電粒子ビームに作用する静電場を確立することと、ここにおいて、前記静電場は、前記磁場に少なくとも実質的に垂直な方向に力線を有するように構成され、前記磁場を発生させるための磁気偏向ユニットと前記静電場を発生させるための前記静電偏向ユニットとは、前記一次荷電粒子ビームの前記軌道に平行な方向に離間して配置される、
検出器システムを使用することによって、前記サンプル上への前記一次荷電粒子ビームの入射時に生成される信号荷電粒子を検出することと
のステップを備える、方法である。
対物レンズユニット10は、前記サンプル11上に前記複数の一次荷電粒子ビーム7のうちの各1つを集束させるように配置される。
以下に本願の出願当初の特許請求の範囲に記載された発明を付記する。
[C1]
サンプルの表面を検査するためのマルチビーム荷電粒子カラムであって、前記マルチビーム荷電粒子カラムは、
サンプルホルダ上に配置された前記サンプルの前記表面に向かって軌道に沿って方向付けられた複数の一次荷電粒子ビームを生成するために配置される1つ又は複数のエミッタ、
前記サンプル上に前記複数の一次荷電粒子ビームを集束させるための対物レンズユニット、
前記サンプル上への前記一次荷電粒子ビームの入射時に生成される信号荷電粒子を検出するための検出器システム、
前記検出器システムと前記サンプルホルダとの間に配置された磁気偏向ユニット、ここにおいて、前記磁気偏向ユニットは、磁性体又は強磁性体の複数のストリップを備え、前記複数のストリップのうちの少なくとも1つのストリップは、一次荷電粒子ビームの軌道の隣に位置し、前記少なくとも1つのストリップは、前記磁気偏向ユニットにおける前記一次荷電粒子ビームの前記軌道のピッチに等しい距離内に配置され、磁性体又は強磁性体の前記複数のストリップは、0度より大きい角度で前記一次荷電粒子ビームの前記軌道と交差する力線を有する磁場を確立するように構成される、
少なくとも前記一次荷電粒子ビームに作用する静電場を生成するように構成された静電偏向ユニット、ここにおいて、前記静電偏向部材は、前記磁気偏向ユニットの前記磁場に少なくとも実質的に垂直な方向に静電場を提供するように構成される、及び、
ここにおいて、前記磁気偏向ユニットと前記静電偏向ユニットとは、前記一次荷電粒子ビームの前記軌道に平行な方向に離間して配置される、
を備える、マルチビーム荷電粒子カラム。
[C2]
磁性体又は強磁性体の前記複数のストリップは、前記磁場の前記力線と前記一次荷電粒子ビームの前記軌道との間の前記角度が45度より大きい、好ましくは約90度であることを確立するように構成される、C1に記載のマルチビーム荷電粒子カラム。
[C3]
前記複数のストリップのうちの少なくとも2つのストリップは、一次荷電粒子ビームの軌道の両側に、及び前記磁気偏向ユニットにおける前記一次荷電粒子ビームの前記軌道のピッチに等しい距離内に位置する、C1又は2に記載のマルチビーム荷電粒子カラム。
[C4]
前記磁気偏向ユニットの前記複数のストリップは、共通平面に配置され、前記ストリップは、磁性体を備え、前記ストリップのうちの少なくとも1つは、前記共通平面に実質的に平行な方向に隣接して配置される北磁極及び南磁極を備える、C1、2、又は3に記載のマルチビーム荷電粒子カラム。
[C5]
前記複数のストリップのうちの第1のストリップと隣接する第2のストリップとは、前記一次荷電粒子ビームの前記軌道のうちの少なくとも1つの両側に配置され、前記第1のストリップは、前記一次荷電粒子ビームの前記軌道に面する側に北磁極を備えるように構成され、前記第2のストリップは、前記一次荷電粒子ビームの前記軌道のうちの前記少なくとも1つに面する側に南磁極を備えるように構成される、C4に記載のマルチビーム荷電粒子カラム。
[C6]
前記磁気偏向ユニットの前記複数のストリップは、共通平面に配置され、前記ストリップは、強磁性体を備え、前記ストリップのうちの少なくとも1つは、前記共通平面に実質的に平行な方向に延びる少なくとも2つの電線を設けられ、前記2つの電線は、前記共通平面に実質的に垂直な平面に配置され、前記磁気偏向ユニットは、前記2つの電線に電流を提供するように構成され、前記電流は、前記2つの電線を通って反対方向に流れるように構成される、C1、2、又は3に記載のマルチビーム荷電粒子カラム。
[C7]
前記2つの電線は、単一のループの一部であり、好ましくは、前記2つの電線は、単一のコイルの一部である、C6に記載のマルチビーム荷電粒子カラム。
[C8]
前記検出器システムは、複数の検出器セクションを備え、前記複数の検出器セクションのうちの少なくとも1つの検出器セクションは、一次荷電粒子ビームの軌道の隣に、及び前記検出器システムにおける前記一次荷電粒子ビームのピッチに等しい距離内に位置する、C1〜7のうちのいずれか一項に記載のマルチビーム荷電粒子カラム。
[C9]
前記検出器システムは、
複数の電子−光子コンバータセクションを備える電子−光子コンバータユニット、ここにおいて、前記複数の電子−光子コンバータセクションのうちの少なくとも1つの電子−光子コンバータセクションは、一次荷電粒子ビームの軌道の隣に、及び前記電子−光子コンバータユニットにおける前記一次荷電粒子ビームの軌道のピッチに等しい距離内に位置する、
前記電子−光子コンバータセクションから光検出器に光を輸送するための光子輸送ユニット
を備える、C1〜7のうちのいずれか一項に記載のマルチビーム荷電粒子カラム。
[C10]
前記磁気偏向ユニットは、前記一次荷電粒子ビームの前記軌道の前記ピッチの10%〜90%の距離にわたって、前記検出器システムの位置において前記一次荷電粒子ビームと前記信号荷電粒子とを分離するように構成される、C8又は9に記載のマルチビーム荷電粒子カラム。
[C11]
前記磁気偏向ユニットは、強磁性体のフレームによって少なくとも実質的に囲まれ、それは、前記一次荷電粒子ビームの前記軌道によって占有された体積の外側の磁束線を閉じるように構成される、C1〜10のうちのいずれか一項に記載のマルチビーム荷電粒子カラム。
[C12]
前記磁気偏向ユニットと前記静電偏向ユニットとは、好ましくは磁気偏向及び静電偏向ユニットを形成するために、互いに接続される、C1〜11のうちのいずれか一項に記載のマルチビーム荷電粒子カラム。
[C13]
前記静電偏向ユニットは、磁性体又は強磁性体の前記複数のストリップのうちの少なくとも1つのストリップに少なくとも実質的に平行な方向に静電場を提供するように構成される、C1〜12のうちのいずれか一項に記載のマルチビーム荷電粒子カラム。
[C14]
前記静電偏向ユニットは、前記磁気偏向ユニットにおける前記一次荷電粒子ビームの前記軌道に実質的に垂直な平面に実質的に延びるように、前記静電場と前記磁場との両方を方向付けるように構成される、C12又は13に記載のマルチビーム荷電粒子カラム。
[C15]
前記静電偏向ユニットは、前記磁場による前記一次荷電粒子ビームの偏向を少なくとも実質的に補償する静電場を提供するように構成される、C12、13、又は14に記載のマルチビーム荷電粒子カラム。
[C16]
前記静電偏向ユニットは、少なくとも前記一次荷電粒子ビームの前記軌道に平行な方向に、磁性体又は強磁性体の前記ストリップに隣接して配置される、C12〜15のうちのいずれか一項に記載のマルチビーム荷電粒子カラム。
[C17]
組み合わされた磁気偏向ユニット及び静電偏向ユニットであって、
前記磁気偏向ユニットは、磁性体又は強磁性体の複数のストリップを備え、前記複数のストリップのうちの前記ストリップは、離間して第1の共通平面に配置され、磁性体又は強磁性体の前記複数のストリップは、前記第1の共通平面に実質的に平行に延びる力線を有する磁場を前記ストリップの間に確立するように構成され、
前記静電偏向ユニットは、離間して第2の共通平面に配置された導電体の一連の電極ストリップを備え、前記一連の電極ストリップは、前記第2の共通平面に実質的に平行に、及び前記磁場の前記力線に実質的に垂直に延びる力線を有する静電場を前記電極ストリップの間に確立するように構成され、
前記第1の共通平面と前記第2の共通平面とは、離間して配置される、組み合わされた磁気偏向ユニット及び静電偏向ユニット。
[C18]
前記第1の共通平面と前記第2の共通平面とは、実質的に互いに平行に配置される、及び/又は、前記磁気偏向器ユニットと前記静電偏向ユニットとは、1つのユニットとして形成される、C17に記載の組み合わされた磁気偏向ユニット及び静電偏向ユニット。
[C19]
サンプルホルダ上に配置された前記サンプルの前記表面に向かって軌道に沿って方向付けられた複数の一次荷電粒子ビームを生成するために配置される1つ又は複数のエミッタ、
前記サンプル上に前記複数の一次荷電粒子ビームを集束させるための対物レンズユニット、
前記サンプル上への前記一次荷電粒子ビームの入射時に生成される信号荷電粒子を検出するための検出器システム、及び、
ここにおいて、前記組み合わされた磁気偏向ユニット及び静電偏向ユニットは、前記検出器システムと前記サンプルホルダとの間に配置され、前記複数のストリップのうちの各ストリップは、一次荷電粒子ビームの軌道の隣に、及び前記磁気偏向ユニットにおける前記一次荷電粒子ビームの前記軌道のピッチに等しい距離内に位置し、磁性体又は強磁性体の前記複数のストリップは、0度より大きい角度で前記一次荷電粒子ビームの軌道と交差する力線を有する磁場を確立するように構成される、
を備える、マルチビーム荷電粒子カラムで使用するために構成された、C17又は18に記載の組み合わされた磁気偏向ユニット及び静電偏向ユニット磁気偏向ユニット。
[C20]
サンプルの表面を検査すること及び撮像することのうちの少なくとも1つのための、マルチビーム荷電粒子カラムの使用であって、前記マルチビーム荷電粒子カラムは、
1つ又は複数のエミッタを使用して複数の一次荷電粒子ビームを生成し、サンプルホルダ上に配置された前記サンプルの前記表面に向かって軌道に沿って前記複数の一次荷電粒子ビームを方向付けることと、
対物レンズユニットを使用して前記サンプル上に前記複数の一次荷電粒子ビームを集束させることと、
検出器システムを使用して、前記サンプル上への前記一次荷電粒子ビームの入射時に生成される信号荷電粒子を検出することと、
前記一次荷電粒子ビームの軌道から前記信号荷電粒子の軌道を選り分けるために、前記検出器システムと前記サンプルホルダとの間に配置された組み合わされた磁気偏向ユニット及び静電偏向ユニットを使用することと、ここにおいて、前記磁気偏向ユニットは、磁性体又は強磁性体の複数のストリップを備え、前記複数のストリップのうちの各ストリップは、一次荷電粒子ビームの軌道の隣に、及び前記磁気偏向ユニットにおける前記一次荷電粒子ビームの前記軌道のピッチに等しい距離内に位置し、磁性体又は強磁性体の前記複数のストリップは、0度より大きい角度で前記一次荷電粒子ビームの軌道と交差する力線を有する磁場を確立するように構成され、前記静電偏向ユニットは、少なくとも前記一次荷電粒子ビームに作用する静電場を生成するように構成され、前記静電偏向部材は、前記磁気偏向ユニットの前記磁場に少なくとも実質的に垂直な方向に静電場を提供するように構成され、前記磁気偏向ユニットと前記静電偏向ユニットとは、前記一次荷電粒子ビームの前記軌道に平行な方向に離間して配置される、
を備える、マルチビーム荷電粒子カラムの使用。
[C21]
サンプルの表面を検査又は撮像するための方法であって、
サンプルホルダ上に配置された前記サンプルの前記表面に向かって軌道に沿って方向付けられた複数の一次荷電粒子ビームを生成することと、
前記サンプル上に前記複数の一次荷電粒子ビームを集束させることと、
前記検出器システムと前記サンプルホルダとの間に配置された磁気偏向ユニットを使用することによって、0度より大きい角度で前記一次荷電粒子ビームの軌道と交差する力線を有する磁場を確立することと、ここにおいて、前記磁気偏向ユニットは、磁性体又は強磁性体の複数のストリップを備え、前記複数のストリップのうちの各ストリップは、一次荷電粒子ビームの軌道の隣に、及び前記磁気偏向ユニットにおける前記一次荷電粒子ビームの前記軌道のピッチに等しい距離内に位置する、
少なくとも前記一次荷電粒子ビームに作用する静電場を確立することと、ここにおいて、前記静電場は、前記磁場に少なくとも実質的に垂直な方向に力線を有するように構成され、前記磁場を発生させるための磁気偏向ユニットと前記静電場を発生させるための前記静電偏向ユニットとは、前記一次荷電粒子ビームの前記軌道に平行な方向に離間して配置される、
検出器システムを使用することによって、前記サンプル上への前記一次荷電粒子ビームの入射時に生成される信号荷電粒子を検出することと
のステップを備える、方法。
Claims (24)
- サンプルの表面を検査するためのマルチビーム荷電粒子カラムであって、前記マルチビーム荷電粒子カラムは、
サンプルホルダ上に配置された前記サンプルの前記表面に向かって軌道に沿って方向付けられた複数の一次荷電粒子ビームを生成するために配置される1つ又は複数のエミッタ、
前記サンプル上に前記複数の一次荷電粒子ビームを集束させるための対物レンズユニット、
前記サンプル上への前記一次荷電粒子ビームの入射時に生成される信号荷電粒子を検出するための検出器システム、
前記検出器システムと前記サンプルホルダとの間に配置された磁気偏向ユニット、ここにおいて、前記磁気偏向ユニットは、磁性体又は強磁性体の複数のストリップを備え、前記複数のストリップのうちの少なくとも1つのストリップは、一次荷電粒子ビームの軌道の隣に位置し、前記少なくとも1つのストリップは、前記磁気偏向ユニットにおける前記一次荷電粒子ビームの前記軌道のピッチに等しい距離内に配置され、磁性体又は強磁性体の前記複数のストリップは、0度より大きい角度で前記一次荷電粒子ビームの前記軌道と交差する力線を有する磁場を確立するように構成される、
少なくとも前記一次荷電粒子ビームに作用する静電場を生成するように構成された静電偏向部材、ここにおいて、前記静電偏向部材は、前記磁気偏向ユニットの前記磁場に少なくとも実質的に垂直な方向に静電場を提供するように構成される、及び、
ここにおいて、前記磁気偏向ユニットと前記静電偏向部材とは、前記一次荷電粒子ビームの前記軌道に平行な方向に離間して配置される、
を備える、マルチビーム荷電粒子カラム。 - 磁性体又は強磁性体の前記複数のストリップは、前記磁場の前記力線と前記一次荷電粒子ビームの前記軌道との間の前記角度が45度より大きい、好ましくは約90度であることを確立するように構成される、請求項1に記載のマルチビーム荷電粒子カラム。
- 前記複数のストリップのうちの少なくとも2つのストリップは、一次荷電粒子ビームの軌道の両側に、及び前記磁気偏向ユニットにおける前記一次荷電粒子ビームの前記軌道のピッチに等しい距離内に位置する、請求項1に記載のマルチビーム荷電粒子カラム。
- 前記磁気偏向ユニットの前記複数のストリップは、共通平面に配置され、前記ストリップは、磁性体を備え、前記ストリップのうちの少なくとも1つは、前記共通平面に実質的に平行な方向に隣接して配置される北磁極及び南磁極を備える、請求項1に記載のマルチビーム荷電粒子カラム。
- 前記複数のストリップのうちの第1のストリップと隣接する第2のストリップとは、前記一次荷電粒子ビームの前記軌道のうちの少なくとも1つの両側に配置され、前記第1のストリップは、前記一次荷電粒子ビームの前記軌道に面する側に北磁極を備えるように構成され、前記第2のストリップは、前記一次荷電粒子ビームの前記軌道のうちの前記少なくとも1つに面する側に南磁極を備えるように構成される、請求項4に記載のマルチビーム荷電粒子カラム。
- 前記磁気偏向ユニットの前記複数のストリップは、共通平面に配置され、前記ストリップは、強磁性体を備え、前記ストリップのうちの少なくとも1つは、前記共通平面に実質的に平行な方向に延びる少なくとも2つの電線を設けられ、前記2つの電線は、前記共通平面に実質的に垂直な平面に配置され、前記磁気偏向ユニットは、前記2つの電線に電流を提供するように構成され、前記電流は、前記2つの電線を通って反対方向に流れるように構成される、請求項1に記載のマルチビーム荷電粒子カラム。
- 前記2つの電線は、単一のループの一部であり、好ましくは、前記2つの電線は、単一のコイルの一部である、請求項6に記載のマルチビーム荷電粒子カラム。
- 前記検出器システムは、複数の検出器セクションを備え、前記複数の検出器セクションのうちの少なくとも1つの検出器セクションは、一次荷電粒子ビームの軌道の隣に、及び前記検出器システムにおける前記一次荷電粒子ビームのピッチに等しい距離内に位置する、請求項1に記載のマルチビーム荷電粒子カラム。
- 前記磁気偏向ユニットは、前記一次荷電粒子ビームの前記軌道の前記ピッチの10%〜90%の距離にわたって、前記検出器システムの位置において前記一次荷電粒子ビームと前記信号荷電粒子とを分離するように構成される、請求項8に記載のマルチビーム荷電粒子カラム。
- 前記検出器システムは、
複数の電子−光子コンバータセクションを備える電子−光子コンバータユニット、ここにおいて、前記複数の電子−光子コンバータセクションのうちの少なくとも1つの電子−光子コンバータセクションは、一次荷電粒子ビームの軌道の隣に、及び前記電子−光子コンバータユニットにおける前記一次荷電粒子ビームの軌道のピッチに等しい距離内に位置する、
前記電子−光子コンバータセクションから光検出器に光を輸送するための光子輸送ユニット、
を備える、請求項1に記載のマルチビーム荷電粒子カラム。 - 前記磁気偏向ユニットは、強磁性体のフレームによって少なくとも実質的に囲まれ、それは、前記一次荷電粒子ビームの前記軌道によって占有された体積の外側の磁束線を閉じるように構成される、請求項1に記載のマルチビーム荷電粒子カラム。
- 前記フレームは、前記磁気偏向ユニットの少なくとも部分的に上及び/又は下に配置され、前記フレームは、強磁性体のフレームストリップのアレイを備え、強磁性体の前記フレームストリップは、前記一次荷電粒子ビームが前記フレームストリップの間の前記開口部を通過することを可能にするために、前記磁気偏向ユニットの上及び/又は下の共通平面において互いに離間し且つ実質的に平行である、請求項11に記載のマルチビーム荷電粒子カラム。
- 各フレームストリップは、一次荷電粒子ビームの軌道の隣に、及び前記磁気偏向ユニットにおける前記一次荷電粒子ビームの前記軌道のピッチに実質的に等しい距離内に位置する、請求項12に記載のマルチビーム荷電粒子カラム。
- 前記フレームストリップは、前記静電偏向部材を提供するように構成された電極を設けられ、前記静電偏向部材は、前記フレームストリップの間の前記開口部中に又は前記開口部において静電場を提供するように構成される、請求項12に記載のマルチビーム荷電粒子カラム。
- 前記静電偏向部材は、磁性体又は強磁性体の前記複数のストリップのうちの少なくとも1つのストリップに少なくとも実質的に平行な方向に静電場を提供するように構成される、請求項1に記載のマルチビーム荷電粒子カラム。
- 前記静電偏向部材は、前記磁気偏向ユニットにおける前記一次荷電粒子ビームの前記軌道に実質的に垂直な平面に実質的に延びるように、前記静電場と前記磁場との両方を方向付けるように構成される、請求項1に記載のマルチビーム荷電粒子カラム。
- 前記静電偏向部材は、前記磁場による前記一次荷電粒子ビームの偏向を少なくとも実質的に補償する静電場を提供するように構成される、請求項1に記載のマルチビーム荷電粒子カラム。
- 前記静電偏向部材は、少なくとも前記一次荷電粒子ビームの前記軌道に平行な方向に、磁性体又は強磁性体の前記ストリップに隣接して配置される、請求項1に記載のマルチビーム荷電粒子カラム。
- 前記磁気偏向ユニットと前記静電偏向部材とは、好ましくは磁気偏向及び静電偏向ユニットを形成するために、互いに接続される、請求項1に記載のマルチビーム荷電粒子カラム。
- 組み合わされた磁気偏向ユニット及び静電偏向ユニットであって、
前記磁気偏向ユニットは、磁性体又は強磁性体の複数のストリップを備え、前記複数のストリップのうちの前記ストリップは、離間して第1の共通平面に配置され、磁性体又は強磁性体の前記複数のストリップは、前記第1の共通平面に実質的に平行に延びる力線を有する磁場を前記ストリップの間に確立するように構成され、
前記静電偏向ユニットは、離間して第2の共通平面に配置された導電体の一連の電極ストリップを備え、前記一連の電極ストリップは、前記第2の共通平面に実質的に平行に、及び前記磁場の前記力線に実質的に垂直に延びる力線を有する静電場を前記電極ストリップの間に確立するように構成され、
前記第1の共通平面と前記第2の共通平面とは、離間して配置される、組み合わされた磁気偏向ユニット及び静電偏向ユニット。 - サンプルホルダ上に配置された前記サンプルの前記表面に向かって軌道に沿って方向付けられた複数の一次荷電粒子ビームを生成するために配置される1つ又は複数のエミッタ、
前記サンプル上に前記複数の一次荷電粒子ビームを集束させるための対物レンズユニット、
前記サンプル上への前記一次荷電粒子ビームの入射時に生成される信号荷電粒子を検出するための検出器システム、及び、
ここにおいて、前記組み合わされた磁気偏向ユニット及び静電偏向ユニットは、前記検出器システムと前記サンプルホルダとの間に配置され、前記複数のストリップのうちの各ストリップは、一次荷電粒子ビームの軌道の隣に、及び前記磁気偏向ユニットにおける前記一次荷電粒子ビームの前記軌道のピッチに等しい距離内に位置し、磁性体又は強磁性体の前記複数のストリップは、0度より大きい角度で前記一次荷電粒子ビームの軌道と交差する力線を有する磁場を確立するように構成される、
を備える、マルチビーム荷電粒子カラムで使用するために構成された、請求項20に記載の組み合わされた磁気偏向ユニット及び静電偏向ユニット。 - 前記第1の共通平面と前記第2の共通平面とは、実質的に互いに平行に配置される、及び/又は、前記磁気偏向器ユニットと前記静電偏向ユニットとは、1つのユニットとして形成される、請求項20に記載の組み合わされた磁気偏向ユニット及び静電偏向ユニット。
- サンプルの表面を検査すること及び撮像することのうちの少なくとも1つのための、マルチビーム荷電粒子カラムの使用であって、前記マルチビーム荷電粒子カラムは、
1つ又は複数のエミッタを使用してサンプルホルダ上に配置された前記サンプルの前記表面に向かって軌道に沿って方向付けられた複数の一次荷電粒子ビームを生成することと、
対物レンズユニットを使用して前記サンプル上に前記複数の一次荷電粒子ビームを集束させることと、
検出器システムを使用して、前記サンプル上への前記一次荷電粒子ビームの入射時に生成される信号荷電粒子を検出することと、
前記検出器システムと前記サンプルホルダとの間に配置された組み合わされた磁気偏向ユニット及び静電偏向ユニットを使用することと、ここにおいて、前記磁気偏向ユニットは、強磁性体の磁性の複数のストリップを備え、前記複数のストリップのうちの各ストリップは、一次荷電粒子ビームの軌道の隣に、及び前記磁気偏向ユニットにおける前記一次荷電粒子ビームの前記軌道のピッチに等しい距離内に位置し、磁性体又は強磁性体の前記複数のストリップは、0度より大きい角度で前記一次荷電粒子ビームの軌道と交差する力線を有する磁場を確立し、前記静電偏向ユニットは、少なくとも前記一次荷電粒子ビームに作用する静電場を生成し、前記静電偏向ユニットは、前記磁気偏向ユニットの前記磁場に少なくとも実質的に垂直な方向に静電場を提供し、前記磁気偏向ユニットと前記静電偏向ユニットとは、前記一次荷電粒子ビームの前記軌道に平行な方向に離間して配置される、 のステップを備える、マルチビーム荷電粒子カラムの使用。 - サンプルの表面を検査又は撮像するための方法であって、
サンプルホルダ上に配置された前記サンプルの前記表面に向かって軌道に沿って方向付けられた複数の一次荷電粒子ビームを生成することと、
前記サンプル上に前記複数の一次荷電粒子ビームを集束させることと、
前記検出器システムと前記サンプルホルダとの間に配置された磁気偏向ユニットを使用することによって、0度より大きい角度で前記一次荷電粒子ビームの軌道と交差する力線を有する磁場を確立することと、ここにおいて、前記磁気偏向ユニットは、磁性体又は強磁性体の複数のストリップを備え、前記複数のストリップのうちの各ストリップは、一次荷電粒子ビームの軌道の隣に、及び前記磁気偏向ユニットにおける前記一次荷電粒子ビームの前記軌道のピッチに等しい距離内に位置する、
少なくとも前記一次荷電粒子ビームに作用する静電場を確立することと、ここにおいて、前記静電場は、前記磁場に少なくとも実質的に垂直な方向に力線を有するように構成され、前記磁場を発生させるための磁気偏向ユニットと前記静電場を発生させるための前記静電偏向ユニットとは、前記一次荷電粒子ビームの前記軌道に平行な方向に離間して配置される、
検出器システムを使用することによって、前記サンプル上への前記一次荷電粒子ビームの入射時に生成される信号荷電粒子を検出することと
のステップを備える、方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US15/900,428 | 2018-02-20 | ||
US15/900,428 US10504687B2 (en) | 2018-02-20 | 2018-02-20 | Signal separator for a multi-beam charged particle inspection apparatus |
PCT/NL2019/050099 WO2019164391A1 (en) | 2018-02-20 | 2019-02-15 | Signal separator for a multi-beam charged particle inspection apparatus |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021508163A JP2021508163A (ja) | 2021-02-25 |
JP6932855B2 true JP6932855B2 (ja) | 2021-09-08 |
Family
ID=66092383
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020540280A Active JP6932855B2 (ja) | 2018-02-20 | 2019-02-15 | マルチビーム荷電粒子カラムとその使用、組み合わされた磁気偏向ユニット及び静電偏向ユニットおよび、サンプルの表面を検査又は撮像するための方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10504687B2 (ja) |
EP (1) | EP3756209A1 (ja) |
JP (1) | JP6932855B2 (ja) |
CN (1) | CN111886669B (ja) |
TW (1) | TWI779166B (ja) |
WO (1) | WO2019164391A1 (ja) |
Families Citing this family (47)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020240861A1 (ja) * | 2019-05-31 | 2020-12-03 | テクニシエ ユニヴェルシテイト デルフト | ビーム偏向デバイス、収差補正器、モノクロメータ、および荷電粒子線装置 |
EP3893264A1 (en) * | 2020-04-06 | 2021-10-13 | ASML Netherlands B.V. | Charged particle assessment tool, inspection method |
KR20230021718A (ko) | 2020-07-06 | 2023-02-14 | 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. | 하전 입자 다중-빔 평가 도구에 사용하기 위한 검출기 기판 |
CN114660515A (zh) | 2020-12-22 | 2022-06-24 | 财团法人工业技术研究院 | 磁场结构 |
JP2023554272A (ja) * | 2020-12-22 | 2023-12-27 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | 一次電子ビームをサンプルに向ける方法及び電子光学カラム |
EP4020516A1 (en) | 2020-12-23 | 2022-06-29 | ASML Netherlands B.V. | Charged particle optical device, objective lens assembly, detector, detector array, and methods |
KR20230122666A (ko) | 2020-12-23 | 2023-08-22 | 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. | 하전 입자 광학 디바이스 |
EP4084039A1 (en) | 2021-04-29 | 2022-11-02 | ASML Netherlands B.V. | Charged particle assessment system and method |
EP4092712A1 (en) | 2021-05-18 | 2022-11-23 | ASML Netherlands B.V. | Charged particle optical device and method using it |
JP2024522053A (ja) | 2021-05-21 | 2024-06-11 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | データ処理デバイス及び方法、荷電粒子評価システム及び方法 |
EP4092614A1 (en) | 2021-05-21 | 2022-11-23 | ASML Netherlands B.V. | Data processing device and method, charged particle assessment system and method |
EP4117015A1 (en) | 2021-07-05 | 2023-01-11 | ASML Netherlands B.V. | Charged particle device, detector, and methods |
EP4117017A1 (en) | 2021-07-05 | 2023-01-11 | ASML Netherlands B.V. | Charged particle detector |
EP4117016A1 (en) | 2021-07-05 | 2023-01-11 | ASML Netherlands B.V. | Charged particle detector |
EP4117012A1 (en) | 2021-07-07 | 2023-01-11 | ASML Netherlands B.V. | Charged particle-optical device, charged particle apparatus and method |
EP4117014A1 (en) | 2021-07-07 | 2023-01-11 | ASML Netherlands B.V. | Charged particle apparatus and method |
IL309679A (en) | 2021-07-07 | 2024-02-01 | Asml Netherlands Bv | Charged particle device and method |
EP4123683A1 (en) | 2021-07-20 | 2023-01-25 | ASML Netherlands B.V. | Data processing device and method, charged particle assessment system and method |
EP4156227A1 (en) | 2021-09-27 | 2023-03-29 | ASML Netherlands B.V. | Charged particle apparatus and method |
US11651934B2 (en) | 2021-09-30 | 2023-05-16 | Kla Corporation | Systems and methods of creating multiple electron beams |
CA3235823A1 (en) | 2021-10-19 | 2023-04-27 | Marco Jan-Jaco Wieland | Detector assembly, charged particle device, apparatus, and methods |
EP4170695A1 (en) | 2021-10-19 | 2023-04-26 | ASML Netherlands B.V. | Detector assembly, charged particle device, apparatus, and methods |
WO2023083545A1 (en) | 2021-11-11 | 2023-05-19 | Asml Netherlands B.V. | Charged particle assessment system and method |
EP4181167A1 (en) | 2021-11-11 | 2023-05-17 | ASML Netherlands B.V. | Charged particle assessment system and method |
WO2023110244A1 (en) | 2021-12-15 | 2023-06-22 | Asml Netherlands B.V. | Charged particle assessment system |
WO2023110284A1 (en) | 2021-12-15 | 2023-06-22 | Asml Netherlands B.V. | Method of generating a sample map, computer program product |
EP4213176A1 (en) | 2022-01-13 | 2023-07-19 | ASML Netherlands B.V. | Charged particle assessment system |
WO2023110444A1 (en) | 2021-12-17 | 2023-06-22 | Asml Netherlands B.V. | Detector inspection device, detector assembly, detector array, apparatus, and method |
EP4199032A1 (en) | 2021-12-17 | 2023-06-21 | ASML Netherlands B.V. | Detector inspection device, detector assembly, detector array, apparatus, and method |
EP4199033A1 (en) | 2021-12-20 | 2023-06-21 | ASML Netherlands B.V. | Method of processing a sample with a charged particle assessment system |
EP4250331A1 (en) | 2022-03-22 | 2023-09-27 | ASML Netherlands B.V. | Charged particle apparatus and method |
EP4258320A1 (en) | 2022-04-08 | 2023-10-11 | ASML Netherlands B.V. | Sensor substrate, apparatus, and method |
WO2023197114A1 (zh) * | 2022-04-11 | 2023-10-19 | 华为技术有限公司 | 粒子矫正装置、粒子矫正器模组和粒子系统 |
EP4280252A1 (en) | 2022-05-16 | 2023-11-22 | ASML Netherlands B.V. | Charged particle optical device and method |
WO2023202819A1 (en) | 2022-04-18 | 2023-10-26 | Asml Netherlands B.V. | Charged particle optical device and method |
WO2023227424A1 (en) | 2022-05-27 | 2023-11-30 | Asml Netherlands B.V. | Data processing device and method, charged particle assessment system and method |
EP4343812A1 (en) | 2022-09-26 | 2024-03-27 | ASML Netherlands B.V. | Data processing device and method, charged particle assessment system and method |
EP4300087A1 (en) | 2022-06-29 | 2024-01-03 | ASML Netherlands B.V. | Method of processing data derived from a sample |
WO2023232474A1 (en) | 2022-05-30 | 2023-12-07 | Asml Netherlands B.V. | Method of processing data derived from a sample |
WO2024013042A1 (en) | 2022-07-15 | 2024-01-18 | Asml Netherlands B.V. | Charged particle-optical apparatus |
EP4354485A1 (en) | 2022-10-13 | 2024-04-17 | ASML Netherlands B.V. | Charged particle-optical apparatus |
WO2024017737A1 (en) | 2022-07-21 | 2024-01-25 | Asml Netherlands B.V. | Charged particle assessment system and method |
EP4333019A1 (en) | 2022-09-02 | 2024-03-06 | ASML Netherlands B.V. | Charged particle assessment system and method |
WO2024022843A1 (en) | 2022-07-25 | 2024-02-01 | Asml Netherlands B.V. | Training a model to generate predictive data |
EP4345861A1 (en) | 2022-09-28 | 2024-04-03 | ASML Netherlands B.V. | Charged particle apparatus |
WO2024088718A1 (en) | 2022-10-27 | 2024-05-02 | Asml Netherlands B.V. | Charged particle-optical apparatus |
EP4376049A1 (en) | 2022-11-28 | 2024-05-29 | ASML Netherlands B.V. | Charged particle assessment method and system |
Family Cites Families (34)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3371206A (en) * | 1964-02-04 | 1968-02-27 | Jeol Ltd | Electron beam apparatus having compensating means for triangular beam distortion |
JPH06349429A (ja) | 1993-06-02 | 1994-12-22 | Nissin Electric Co Ltd | 質量分離電極を有するイオンビ−ム引出し電極系装置 |
US5834786A (en) * | 1996-07-15 | 1998-11-10 | Diamond Semiconductor Group, Inc. | High current ribbon beam ion implanter |
EP0917177A1 (de) | 1997-11-17 | 1999-05-19 | ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH | Korpuskularstrahlgerät |
US6989546B2 (en) * | 1998-08-19 | 2006-01-24 | Ims-Innenmikrofabrikations Systeme Gmbh | Particle multibeam lithography |
JP4013377B2 (ja) | 1998-12-17 | 2007-11-28 | 日新イオン機器株式会社 | 質量分離型イオン源 |
AU2001238148A1 (en) * | 2000-02-09 | 2001-08-20 | Fei Company | Through-the-lens collection of secondary particles for a focused ion beam system |
JP5322363B2 (ja) * | 2000-02-09 | 2013-10-23 | エフ イー アイ カンパニ | 微小二次加工処理用マルチカラムfib |
US6750455B2 (en) * | 2001-07-02 | 2004-06-15 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for multiple charged particle beams |
US6774646B1 (en) * | 2001-12-17 | 2004-08-10 | Kla-Tencor Corporation | Electron beam inspection system using multiple electron beams and uniform focus and deflection mechanisms |
US6710361B2 (en) * | 2002-04-23 | 2004-03-23 | International Business Machines Corporation | Multi-beam hybrid solenoid lens electron beam system |
DE60236302D1 (de) | 2002-12-17 | 2010-06-17 | Integrated Circuit Testing | Mehrachsige Verbundlinse, Strahlvorrichtung und Verfahren zur Anwendung dieser kombinierten Linse |
CN101630623B (zh) * | 2003-05-09 | 2012-02-22 | 株式会社荏原制作所 | 基于带电粒子束的检查装置及采用了该检查装置的器件制造方法 |
EP1498930A1 (en) * | 2003-07-14 | 2005-01-19 | ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH | Charged particle beam device with multi-source array |
KR101118692B1 (ko) * | 2006-10-11 | 2012-03-12 | 전자빔기술센터 주식회사 | 자기 렌즈층을 포함한 전자 칼럼 |
EP2132763B1 (en) * | 2007-02-22 | 2014-05-07 | Applied Materials Israel Ltd. | High throughput sem tool |
EP2122655A2 (en) * | 2007-02-22 | 2009-11-25 | Applied Materials Israel Ltd. | High throughput sem tool |
WO2008115339A1 (en) * | 2007-03-15 | 2008-09-25 | White Nicholas R | Open-ended electromagnetic corrector assembly and method for deflecting, focusing, and controlling the uniformity of a traveling ion beam |
DE102007054074A1 (de) * | 2007-11-13 | 2009-05-14 | Carl Zeiss Nts Gmbh | System zum Bearbeiten eines Objekts |
EP2088614B1 (en) * | 2008-02-08 | 2010-12-15 | ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH | Beam current calibration system |
JP4548537B2 (ja) * | 2008-10-20 | 2010-09-22 | 株式会社日立製作所 | 電子ビームを用いた検査方法及び検査装置 |
EP2385542B1 (en) | 2010-05-07 | 2013-01-02 | ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH | Electron beam device with dispersion compensation, and method of operating same |
US9111715B2 (en) * | 2011-11-08 | 2015-08-18 | Fei Company | Charged particle energy filter |
JP6037693B2 (ja) * | 2012-07-23 | 2016-12-07 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
EP2827357A1 (en) * | 2013-07-18 | 2015-01-21 | Fei Company | Magnetic lens for focusing a beam of charged particles |
EP2830083B1 (en) * | 2013-07-25 | 2016-05-04 | IMS Nanofabrication AG | Method for charged-particle multi-beam exposure |
NL2011401C2 (en) * | 2013-09-06 | 2015-03-09 | Mapper Lithography Ip Bv | Charged particle optical device. |
NL2013411B1 (en) * | 2014-09-04 | 2016-09-27 | Univ Delft Tech | Multi electron beam inspection apparatus. |
US9330884B1 (en) * | 2014-11-11 | 2016-05-03 | ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH | Dome detection for charged particle beam device |
DE102015207484B4 (de) * | 2015-04-23 | 2022-11-03 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Hochspannungsversorgungseinheit und Schaltungsanordnung zur Erzeugung einer Hochspannung für ein Teilchenstrahlgerät sowie Teilchenstrahlgerät |
KR102387776B1 (ko) * | 2015-05-08 | 2022-04-15 | 케이엘에이 코포레이션 | 전자빔 시스템의 수차 보정 방법 및 시스템 |
US9818577B2 (en) * | 2016-01-25 | 2017-11-14 | Applied Materials Israel Ltd. | Multi mode system with a dispersion X-ray detector |
US9922796B1 (en) * | 2016-12-01 | 2018-03-20 | Applied Materials Israel Ltd. | Method for inspecting a specimen and charged particle multi-beam device |
US10290463B2 (en) * | 2017-04-27 | 2019-05-14 | Imatrex, Inc. | Compact deflecting magnet |
-
2018
- 2018-02-20 US US15/900,428 patent/US10504687B2/en active Active
-
2019
- 2019-02-15 CN CN201980011182.3A patent/CN111886669B/zh active Active
- 2019-02-15 JP JP2020540280A patent/JP6932855B2/ja active Active
- 2019-02-15 WO PCT/NL2019/050099 patent/WO2019164391A1/en active Search and Examination
- 2019-02-15 EP EP19716251.4A patent/EP3756209A1/en active Pending
- 2019-02-18 TW TW108105344A patent/TWI779166B/zh active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI779166B (zh) | 2022-10-01 |
US10504687B2 (en) | 2019-12-10 |
TW201946086A (zh) | 2019-12-01 |
EP3756209A1 (en) | 2020-12-30 |
CN111886669B (zh) | 2023-10-13 |
WO2019164391A1 (en) | 2019-08-29 |
JP2021508163A (ja) | 2021-02-25 |
CN111886669A (zh) | 2020-11-03 |
US20190259564A1 (en) | 2019-08-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6932855B2 (ja) | マルチビーム荷電粒子カラムとその使用、組み合わされた磁気偏向ユニット及び静電偏向ユニットおよび、サンプルの表面を検査又は撮像するための方法 | |
TWI790489B (zh) | 用於檢測樣本的方法及帶電粒子束裝置 | |
TWI779168B (zh) | 使用多束帶電粒子柱檢查樣品表面之設備與方法 | |
US11562881B2 (en) | Charged particle beam system | |
KR102179897B1 (ko) | 시료를 검사하기 위한 방법 및 하전 입자 다중-빔 디바이스 | |
KR102651558B1 (ko) | 복수의 하전 입자 빔을 이용하는 장치 | |
TWI650550B (zh) | 用於高產量電子束檢測(ebi)的多射束裝置 | |
EP3457426A1 (en) | Charged particle beam device, aperture arrangement for a charged particle beam device, and method for operating a charged particle beam device | |
JP4309886B2 (ja) | 高電流密度粒子ビームシステム | |
EP3602600A1 (en) | Charged particle beam system and method | |
US8618500B2 (en) | Multi channel detector, optics therefor and method of operating thereof | |
KR102207766B1 (ko) | 이차 전자 광학계 & 검출 디바이스 | |
JP2010519698A (ja) | 高スループットsemツール | |
KR20200113166A (ko) | 시료로부터 에너지 분석기 및 전자 분광계 장치로의 전자 전달 장치 및 방법 | |
US7135677B2 (en) | Beam guiding arrangement, imaging method, electron microscopy system and electron lithography system | |
US7919749B2 (en) | Energy filter for cold field emission electron beam apparatus | |
US20060151713A1 (en) | Multiple lens assembly and charged particle beam device comprising the same | |
JP2003512699A (ja) | 大きく転位することができる軸を備える電子光学レンズの配列 | |
US7394069B1 (en) | Large-field scanning of charged particles | |
JP4170224B2 (ja) | 粒子ビームを横方向に移動することができる光軸を具備するレンズ配列 | |
TWI838443B (zh) | 用於產生多個粒子束之設備及多束式粒子束系統 | |
TW202027121A (zh) | 用於產生多個粒子束之設備及多束式粒子束系統 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200904 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200903 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200903 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20200904 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20201214 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20210224 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210302 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210520 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210720 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210818 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6932855 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |