JP6931717B2 - 組成物、膜、赤外線透過フィルタ、固体撮像素子および光センサ - Google Patents
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Description
<1> 下記式(I)で表されるアゾ化合物およびその互変異性構造のアゾ化合物から選ばれる少なくとも1種のアニオンと、2種以上の金属イオンと、メラミン化合物とを含む金属アゾ顔料と、
上記金属アゾ顔料以外の色材であって、波長400〜700nmの範囲に吸収極大を有する色材と、
エチレン性不飽和結合基を有する化合物、および、環状エーテル基を有する化合物から選ばれる少なくとも1種の化合物と、を含む組成物であり、
組成物の波長400〜600nmの範囲における吸光度の最小値Aと、波長1000〜1300nmの範囲における吸光度の最大値Bとの比であるA/Bが4.5以上である、組成物;
R3およびR4はそれぞれ独立して、=Oまたは=NR7であり、
R5〜R7はそれぞれ独立して、水素原子またはアルキル基である。
<2> 金属アゾ顔料は、上記アニオンと、Zn2+およびCu2+を少なくとも含む金属イオンと、メラミン化合物とを含む、<1>に記載の組成物。
<3> 金属アゾ顔料中の全金属イオンの1モルを基準として、Zn2+およびCu2+を合計で95〜100モル%含有する、<2>に記載の組成物。
<4> 金属アゾ顔料中のZn2+とCu2+とのモル比が、Zn2+:Cu2+=199:1〜1:15である、<2>または<3>に記載の組成物。
<5> 金属アゾ顔料におけるメラミン化合物が、下記式(II)で表される化合物である、<1>〜<4>のいずれかに記載の組成物;
<6> 波長400〜700nmの範囲に吸収極大を有する色材は、青色着色剤および紫色着色剤から選ばれる少なくとも1種を含む、<1>〜<5>のいずれかに記載の組成物。
<7> 更に、近赤外線吸収色素を含む、<1>〜<6>のいずれかに記載の組成物。
<8> 近赤外線吸収色素は波長800〜900nmの範囲に吸収極大を有する、<7>に記載の組成物。
<9> 近赤外線吸収色素はピロロピロール化合物、シアニン化合物、スクアリリウム化合物、フタロシアニン化合物、ナフタロシアニン化合物、および、クロコニウム化合物から選ばれる少なくとも1種である、<7>または<8>に記載の組成物。
<10> 赤外線透過フィルタ用である、<1>〜<9>のいずれかに組成物。
<11> <1>〜<10>のいずれかに記載の組成物を用いて得られる膜。
<12> <11>に記載の膜を有する赤外線透過フィルタ。
<13> <11>に記載の膜を有する固体撮像素子。
<14> <11>に記載の膜を有する光センサ。
本明細書において、「〜」とはその前後に記載される数値を下限値および上限値として含む意味で使用される。
本明細書における基(原子団)の表記において、置換および無置換を記していない表記は、置換基を有さない基(原子団)と共に置換基を有する基(原子団)をも包含する。例えば、「アルキル基」とは、置換基を有さないアルキル基(無置換アルキル基)のみならず、置換基を有するアルキル基(置換アルキル基)をも包含する。
本明細書において「露光」とは、特に断らない限り、光を用いた露光のみならず、電子線、イオンビーム等の粒子線を用いた描画も露光に含める。また、露光に用いられる光としては、水銀灯の輝線スペクトル、エキシマレーザに代表される遠紫外線、極紫外線(EUV光)、X線、電子線等の活性光線または放射線が挙げられる。
本明細書において、「(メタ)アクリレート」は、アクリレートおよびメタクリレートの双方、または、いずれかを表し、「(メタ)アクリル」は、アクリルおよびメタクリルの双方、または、いずれかを表し、「(メタ)アクリロイル」は、アクリロイルおよびメタクリロイルの双方、または、いずれかを表す。
本明細書において、重量平均分子量および数平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ(GPC)測定でのポリスチレン換算値として定義される。
本明細書において、化学式中のMeはメチル基を表し、Etはエチル基を表し、Buはブチル基を表し、Phはフェニル基を表す。
本明細書において、赤外線とは、波長700〜2500nmの光(電磁波)をいう。
本明細書において、全固形分とは、組成物の全成分から溶剤を除いた成分の総質量をいう。
本明細書において「工程」との語は、独立した工程だけではなく、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の所期の作用が達成されれば、本用語に含まれる。
本発明の組成物は、後述する式(I)で表されるアゾ化合物およびその互変異性構造のアゾ化合物から選ばれる少なくとも1種のアニオンと、2種以上の金属イオンと、メラミン化合物とを含む金属アゾ顔料と、
上記金属アゾ顔料以外の色材であって、波長400〜700nmの範囲に吸収極大を有する色材と、
エチレン性不飽和結合基を有する化合物、および、環状エーテル基を有する化合物から選ばれる少なくとも1種の化合物と、を含む組成物であり、
組成物の波長400〜600nmの範囲における吸光度の最小値Aと、波長1000〜1300nmの範囲における吸光度の最大値Bとの比であるA/Bが4.5以上であることを特徴とする。
本発明者の検討によれば、上述した金属アゾ顔料と、上述した金属アゾ顔料以外の色材であって波長400〜700nmの範囲に吸収極大を有する色材(以下他の色材ともいう)とを併用して、波長400〜600nmの範囲における吸光度の最小値Aと、波長1000〜1300nmの範囲における吸光度の最大値Bとの比であるA/Bが4.5以上である組成物を調製したところ、驚くべきことに、この組成物を用いて得られる膜を高温高湿環境下に曝しても、異物欠陥が生じにくいことを見出した。この様な効果が得られた理由としては、推測であるが、金属アゾ顔料以外の他の色材が金属アゾ顔料のアゾ部位と相互作用して金属アゾ顔料の安定性を向上できたためであると考えられる。
Aλ=−log(Tλ/100) ・・・(1)
Aλは、波長λにおける吸光度であり、Tλは、波長λにおける透過率(%)である。
本発明において、吸光度の値は、溶液の状態で測定した値であってもよく、組成物を用いて製膜した膜の値であってもよい。膜の状態で吸光度を測定する場合は、ガラス基板上にスピンコート等の方法によって組成物を塗布し、ホットプレート等を用いて100℃、120秒間乾燥して得られた膜を用いて測定することが好ましい。
(2):波長400〜720nmの範囲における吸光度の最小値A2と、波長900〜1300nmの範囲における吸光度の最大値B2との比であるA2/B2が4.5以上であり、7.5以上であることが好ましく、15以上であることがより好ましく、30以上であることが更に好ましい。この態様によれば、波長400〜750nmの範囲の光を遮光して、波長800nmを超える光を透過可能な膜を形成することができる。
(3):波長400〜830nmの範囲における吸光度の最小値A3と、波長1000〜1300nmの範囲における吸光度の最大値B3との比であるA3/B3が4.5以上であり、7.5以上であることが好ましく、15以上であることがより好ましく、30以上であることが更に好ましい。この態様によれば、波長400〜830nmの範囲の光を遮光して、波長900nmを超える光を透過可能な膜を形成することができる。
(12):本発明の組成物を用いて乾燥後の膜厚が0.5〜5.0μm(好ましくは0.6〜3.0μm、より好ましくは0.7〜2.5μm、更に好ましくは0.8〜2.0μm)の膜を製造した際に、膜の厚み方向における光の透過率の、波長400〜720nmの範囲における最大値が20%以下(好ましくは15%以下、より好ましくは10%以下)であり、膜の厚み方向における光の透過率の、波長900〜1300nmの範囲における最小値が70%以上(好ましくは75%以上、より好ましくは80%以上)である態様。
(13):本発明の組成物を用いて乾燥後の膜厚が0.6〜10μm(好ましくは0.7〜5.0μm、より好ましくは0.8〜3.0μm、更に好ましくは0.9〜2.5μm)の膜を製造した際に、膜の厚み方向における光の透過率の、波長400〜830nmの範囲における最大値が20%以下(好ましくは15%以下、より好ましくは10%以下)であり、膜の厚み方向における光の透過率の、波長1000〜1300nmの範囲における最小値が70%以上(好ましくは75%以上、より好ましくは80%以上)である態様。
本発明の組成物は、下記式(I)で表されるアゾ化合物およびその互変異性構造のアゾ化合物から選ばれる少なくとも1種のアニオンと、2種以上の金属イオンと、メラミン化合物とを含む金属アゾ顔料Aを含む。
上述の置換基Tとして、次の基が挙げられる。アルキル基(好ましくは炭素数1〜30のアルキル基)、アルケニル基(好ましくは炭素数2〜30のアルケニル基)、アルキニル基(好ましくは炭素数2〜30のアルキニル基)、アリール基(好ましくは炭素数6〜30のアリール基)、アミノ基(好ましくは炭素数0〜30のアミノ基)、アルコキシ基(好ましくは炭素数1〜30のアルコキシ基)、アリールオキシ基(好ましくは炭素数6〜30のアリールオキシ基)、ヘテロアリールオキシ基、アシル基(好ましくは炭素数1〜30のアシル基)、アルコキシカルボニル基(好ましくは炭素数2〜30のアルコキシカルボニル基)、アリールオキシカルボニル基(好ましくは炭素数7〜30のアリールオキシカルボニル基)、ヘテロアリールオキシカルボニル基、アシルオキシ基(好ましくは炭素数2〜30のアシルオキシ基)、アシルアミノ基(好ましくは炭素数2〜30のアシルアミノ基)、アルコキシカルボニルアミノ基(好ましくは炭素数2〜30のアルコキシカルボニルアミノ基)、アリールオキシカルボニルアミノ基(好ましくは炭素数7〜30のアリールオキシカルボニルアミノ基)、スルファモイル基(好ましくは炭素数0〜30のスルファモイル基)、カルバモイル基(好ましくは炭素数1〜30のカルバモイル基)、アルキルチオ基(好ましくは炭素数1〜30のアルキルチオ基)、アリールチオ基(好ましくは炭素数6〜30のアリールチオ基)、ヘテロアリールチオ基(好ましくは炭素数1〜30)、アルキルスルホニル基(好ましくは炭素数1〜30)、アリールスルホニル基(好ましくは炭素数6〜30)、ヘテロアリールスルホニル基(好ましくは炭素数1〜30)、アルキルスルフィニル基(好ましくは炭素数1〜30)、アリールスルフィニル基(好ましくは炭素数6〜30)、ヘテロアリールスルフィニル基(好ましくは炭素数1〜30)、ウレイド基(好ましくは炭素数1〜30)、ヒドロキシ基、カルボキシル基、スルホ基、リン酸基、カルボン酸アミド基、スルホン酸アミド基、イミド酸基、メルカプト基、ハロゲン原子、シアノ基、アルキルスルフィノ基、アリールスルフィノ基、ヒドラジノ基、イミノ基、ヘテロアリール基(好ましくは炭素数1〜30)。これらの基は、さらに置換可能な基である場合、さらに置換基を有してもよい。さらなる置換基としては、上述した置換基Tで説明した基が挙げられる。
(Az1−1)上記アニオンとZn2+とで構成される金属アゾ化合物と、メラミン化合物との付加体1aと、上記アニオンとCu2+とで構成される金属アゾ化合物と、メラミン化合物との付加体1bの物理的混合物。
(Az1−2) (Az1−1)の物理的混合物において、更に、上記アニオンと金属イオンMe1とで構成される金属アゾ化合物と、メラミン化合物との付加体1cを含む物理的混合物。
(Az2−1)上記アニオンとNi2+とで構成される金属アゾ化合物と、メラミン化合物との付加体2aと、上記アニオンとZn2+とで構成される金属アゾ化合物と、メラミン化合物との付加体2bと、上記アニオンと金属イオンMe2とで構成される金属アゾ化合物と、メラミン化合物との付加体2cを含む物理的混合物。
(Az3−1)上記アニオンとNi2+とで構成される金属アゾ化合物と、メラミン化合物との付加体3aと、上記アニオンとCu2+とで構成される金属アゾ化合物と、メラミン化合物との付加体3bと、上記アニオンと金属イオンMe3とで構成される金属アゾ化合物と、メラミン化合物との付加体3cを含む物理的混合物。
(Az4−1)上記アニオンとNi2+とで構成される金属アゾ化合物と、メラミン化合物との付加体4aと、上記アニオンと金属イオンMe4aとで構成される金属アゾ化合物と、メラミン化合物との付加体4bの物理的混合物。
(Az4−2) (Az4−1)の物理的混合物において、更に、上記アニオンと、金属イオンMe4bとで構成される金属アゾ化合物と、メラミン化合物との付加体4cを含む物理的混合物。
本発明の組成物は、上述した金属アゾ顔料A以外の色材であって、波長400〜700nmの範囲に吸収極大を有する色材(以下、他の色材ともいう)を含有する。他の色材としては、有彩色着色剤、黒色着色剤などが挙げられる。他の色材として用いられる有彩色着色剤としては、上述した金属アゾ顔料A以外の色材であれば特に限定は無く、赤色着色剤、緑色着色剤、青色着色剤、黄色着色剤、紫色着色剤、オレンジ色着色剤などが挙げられる。本発明の組成物は、他の色材を2種以上含むことが好ましい。この態様によれば、金属アゾ顔料Aをより安定化でき、高温高湿環境下での異物欠陥の発生をより効果的に抑制できる。また、本発明の組成物が他の色材を2種以上含む場合、異なる色相の色材を2種以上含むことが好ましい。
他の色材として用いられる有彩色着色剤は、顔料であってもよく、染料であってもよく、顔料であることが好ましい。顔料としては、有機顔料および無機顔料が挙げられ、有機顔料が好ましい。有機顔料としては以下のものが挙げられる。
C.I.Pigment Orange 2,5,13,16,17:1,31,34,36,38,43,46,48,49,51,52,55,59,60,61,62,64,71,73等(以上、オレンジ色顔料)、
C.I.Pigment Red 1,2,3,4,5,6,7,9,10,14,17,22,23,31,38,41,48:1,48:2,48:3,48:4,49,49:1,49:2,52:1,52:2,53:1,57:1,60:1,63:1,66,67,81:1,81:2,81:3,83,88,90,105,112,119,122,123,144,146,149,150,155,166,168,169,170,171,172,175,176,177,178,179,184,185,187,188,190,200,202,206,207,208,209,210,216,220,224,226,242,246,254,255,264,270,272,279等(以上、赤色顔料)、
C.I.Pigment Green 7,10,36,37,58,59等(以上、緑色顔料)、
C.I.Pigment Violet 1,19,23,27,32,37,42等(以上、紫色顔料)、
C.I.Pigment Blue 1,2,15,15:1,15:2,15:3,15:4,15:6,16,22,60,64,66,79,80等(以上、青色顔料)、
他の色材として用いられる黒色着色剤としては、ビスベンゾフラノン化合物、アゾメチン化合物、ペリレン化合物、アゾ化合物などの有機黒色着色剤が挙げられる。黒色着色剤は、ビスベンゾフラノン化合物、ペリレン化合物が好ましい。ビスベンゾフラノン化合物としては、特表2010−534726号公報、特表2012−515233号公報、特表2012−515234号公報などに記載の化合物が挙げられ、例えば、BASF社製の「Irgaphor Black」として入手可能である。ペリレン化合物としては、C.I.Pigment Black 31、32などが挙げられる。アゾメチン化合物としては、特開平1−170601号公報、特開平2−34664号公報などに記載の化合物が挙げられ、例えば、大日精化社製の「クロモファインブラックA1103」として入手できる。ビスベンゾフラノン化合物は、下記式で表される化合物およびこれらの混合物が好ましい。
(C2)金属アゾ顔料Aと赤色着色剤と青色着色剤と紫色着色剤とを含有する態様。更に、他の色材としての黄色着色剤を含んでいてもよい。
(C3)金属アゾ顔料Aと赤色着色剤と青色着色剤とを含有する態様。更に、他の色材としての黄色着色剤を含んでいてもよい。
(C4)金属アゾ顔料Aと青色着色剤と紫色着色剤とを含有する態様。更に、他の色材としての黄色着色剤を含んでいてもよい。
(C5)金属アゾ顔料Aと紫色着色剤と黒色着色剤とを含有する態様。更に、他の色材としての黄色着色剤を含んでいてもよい。
(C6)金属アゾ顔料Aと青色着色剤と黒色着色剤とを含有する態様。更に、他の色材としての黄色着色剤を含んでいてもよい。
本発明の組成物は近赤外線吸収色素を含有することができる。赤外線透過フィルタにおいて、近赤外線吸収色素は、透過する光(赤外線)をより長波長側に限定する役割を有している。本発明の組成物が近赤外線吸収色素を含有する場合においては、上述した(3)の分光特性の組成物が得られやすい。特に、金属アゾ顔料Aと他の色材を上記の(C2)〜(C6)の組み合わせで含む場合において、更に近赤外線吸収色素を含有することで、上述した(3)の分光特性の組成物が得られやすい。また、本発明の組成物が近赤外線吸収色素を含有する場合においては、高温高湿環境下での異物欠陥の発生をより効果的に抑制できる。
式(C)
R101およびR102は、それぞれ独立に、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アラルキル基またはアリール基を表し、
L1は、奇数個のメチン基を有するメチン鎖を表し、
aおよびbは、それぞれ独立に、0または1であり、
aが0の場合は、炭素原子と窒素原子とが二重結合で結合し、bが0の場合は、炭素原子と窒素原子とが単結合で結合し、
式中のCyで表される部位がカチオン部である場合、X1はアニオンを表し、cは電荷のバランスを取るために必要な数を表し、式中のCyで表される部位がアニオン部である場合、X1はカチオンを表し、cは電荷のバランスを取るために必要な数を表し、式中のCyで表される部位の電荷が分子内で中和されている場合、cは0である。
本発明の組成物は、エチレン性不飽和結合基を有する化合物、および、環状エーテル基を有する化合物から選ばれる少なくとも1種の化合物を含有する。以下、両者を合わせて硬化性化合物ともいう。エチレン性不飽和結合基としては、ビニル基、(メタ)アリル基、(メタ)アクリロイル基などが挙げられる。環状エーテル基としては、エポキシ基、オキセタニル基などが挙げられる。
本発明において用いられるエチレン性不飽和結合基を有する化合物は、モノマーであってもよく、ポリマーであってもよい。以下、エチレン性不飽和結合基を有するモノマーを重合性モノマーともいう。また、エチレン性不飽和結合基を有するポリマーを重合性ポリマーともいう。
上記式(MO−1)〜(MO−6)で表される化合物の各々において、複数のRの内の少なくとも1つは、−OC(=O)CH=CH2、−OC(=O)C(CH3)=CH2、−NHC(=O)CH=CH2または−NHC(=O)C(CH3)=CH2を表す。上記式(MO−1)〜(MO−6)で表される重合性化合物の具体例としては、特開2007−269779号公報の段落0248〜0251に記載されている化合物が挙げられる。
式(Z−5)中、nは、0〜6の整数が好ましく、0〜4の整数がより好ましい。また、各nの合計は、3〜60の整数が好ましく、3〜24の整数がより好ましく、6〜12の整数が特に好ましい。
また、式(Z−4)又は式(Z−5)中のE、すなわち、−((CH2)yCH2O)−又は−((CH2)yCH(CH3)O)−は、酸素原子側の末端がXに結合する形態が好ましい。
また、重合性モノマーは、8UH−1006、8UH−1012(以上、大成ファインケミカル(株)製)、ライトアクリレートPOB−A0(共栄社化学(株)製)などを用いることも好ましい。
また、重合性モノマーは、特開2017−48367号公報、特許第6057891号公報、特許第6031807号公報に記載されている化合物を用いることもできる。
上記式において、RG3は、水素原子またはメチル基を表す。
上記式において、QG1は、−O−または−NH−を表し、LG1は、単結合または2価の連結基を表す。2価の連結基としては、アルキレン基(好ましくは炭素数1〜12のアルキレン基)、アルキレンオキシ基(好ましくは炭素数1〜12のアルキレンオキシ基)、オキシアルキレンカルボニル基(好ましくは炭素数1〜12のオキシアルキレンカルボニル基)、アリーレン基(好ましくは炭素数6〜20のアリーレン基)、−NH−、−SO−、−SO2−、−CO−、−O−、−COO−、OCO−、−S−およびこれらの2以上を組み合わせてなる基が挙げられる。
上記式において、RG4は、水素原子または置換基を表す。置換基としては、アルキル基、アリール基、ヘテロアリール基、アルコキシ基、アリールオキシ基、ヘテロアリールオキシ基、アルキルチオエーテル基、アリールチオエーテル基、ヘテロアリールチオエーテル基等が挙げられる。
式(A−1−3)におけるL3が表す2価の連結基としては、アルキレン基(好ましくは炭素数1〜12のアルキレン基)、アルキレンオキシ基(好ましくは炭素数1〜12のアルキレンオキシ基)、オキシアルキレンカルボニル基(好ましくは炭素数1〜12のオキシアルキレンカルボニル基)、アリーレン基(好ましくは炭素数6〜20のアリーレン基)、−NH−、−SO−、−SO2−、−CO−、−O−、−COO−、OCO−、−S−およびこれらの2以上を組み合わせてなる基が挙げられる。アルキレン基、アルキレンオキシ基におけるアルキレン基、オキシアルキレンカルボニル基におけるアルキレン基は、直鎖状、分岐状、及び、環状のいずれでもよく、直鎖状または分岐状が好ましい。また、アルキレン基、アルキレンオキシ基におけるアルキレン基、オキシアルキレンカルボニル基におけるアルキレン基は、置換基を有していてもよく、無置換であってもよい。置換基としては、ヒドロキシ基などが挙げられる。
式(A−1−3)におけるA1が表す酸基としては、カルボキシル基、スルホ基、リン酸基が挙げられる。
本発明において用いられる環状エーテル基を有する化合物としては、1分子内に環状エーテル基を2個以上有する化合物が挙げられる。環状エーテル基を有する化合物に含まれる環状エーテル基の数は、100個以下であることが好ましく、10個以下であることがより好ましく、5個以下であることが更に好ましい。環状エーテル基としては、エポキシ基、オキセタニル基などが挙げられ、エポキシ基であることが好ましい。すなわち、環状エーテル基を有する化合物は、エポキシ基を有する化合物(以下、エポキシ化合物ともいう)であることが好ましい。
本発明の組成物は、上述した硬化性化合物以外の樹脂(以下、他の樹脂ともいう)をさらに含有することができる。他の樹脂は、例えば、顔料などの粒子を組成物中で分散させる用途やバインダーの用途で配合される。なお、主に顔料などの粒子を分散させるために用いられる樹脂を分散剤ともいう。ただし、樹脂のこのような用途は一例であって、このような用途以外の目的で樹脂を使用することもできる。
また、本発明の組成物は、他の樹脂を実質的に含まないこともできる。本発明の組成物が他の樹脂を実質的に含まない場合とは、本発明の組成物の全固形分中における他の樹脂の含有量が0.1質量%以下であることが好ましく、0.05質量%以下であることがより好ましく、含有しないことが特に好ましい。
また、上述した硬化性化合物と他の樹脂との合計の含有量は、本発明の組成物の全固形分中5〜50質量%であることが好ましい。下限は8質量%以上であることが好ましく、10質量%以上であることがより好ましい。上限は、45質量%以下であることが好ましく、40質量%以下であることがより好ましい。また、他の樹脂を2種以上含む場合は、それらの合計量が上記範囲となることが好ましい。
本発明の組成物は、溶剤を含有することができる。溶剤は有機溶剤が好ましい。溶剤は、各成分の溶解性や組成物の塗布性を満足すれば特に制限はない。
本発明の組成物は、更に光重合開始剤を含むことができる。特に、本発明の組成物がエチレン性不飽和結合基を有する化合物を含む場合においては、光重合開始剤を含むことが好ましい。光重合開始剤としては、特に制限はなく、公知の光重合開始剤の中から適宜選択することができる。例えば、紫外線領域から可視領域の光線に対して感光性を有する化合物が好ましい。光重合開始剤は光ラジカル重合開始剤であることが好ましい。
また、光重合開始剤の含有量は、上述した金属アゾ顔料Aの100質量部に対して1〜200質量部であることが好ましい。下限は、3質量部以上であることが好ましく、5質量部以上であることが更に好ましい。上限は、100質量部以上であることが好ましく、80質量部以下であることがより好ましい。
また、光重合開始剤としてオキシム化合物を用いた場合、オキシム化合物の含有量は、上述した金属アゾ顔料Aの100質量部に対して1〜200質量部であることが好ましい。下限は、3質量部以上であることが好ましく、5質量部以上であることが更に好ましい。上限は、100質量部以上であることが好ましく、80質量部以下であることがより好ましい。この態様によれば、上述した本発明の効果がより顕著に得られる傾向にある。
本発明の組成物は、光重合開始剤を1種のみ含んでいてもよいし、2種以上含んでいてもよい。光重合開始剤を2種以上含む場合は、それらの合計量が上記範囲となることが好ましい。
本発明の組成物は多官能チオールを含有することができる。多官能チオールは、チオール(SH)基を2個以上有する化合物である。多官能チオールは上述の光重合開始剤とともに使用することにより、光照射後のラジカル重合過程において、連鎖移動剤として働き、酸素による重合阻害を受けにくいチイルラジカルが発生するので、組成物の感度を高めることができる。特にSH基がメチレン、エチレン基等の脂肪族基に結合した多官能脂肪族チオールが好ましい。
本発明の組成物は顔料誘導体を含有することができる。この態様によれば、温度変化に対して分光の変動が抑制された膜を形成できる。顔料誘導体としては、顔料の一部が、酸基、塩基性基又はフタルイミド基などで置換された構造を有する化合物が挙げられる。顔料誘導体は下記式(syn1)で表される化合物であることが好ましい。
本発明の組成物は、界面活性剤を含有することができる。界面活性剤については、国際公開WO2015/166779号公報の段落番号0238〜0245の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。界面活性剤としては、フッ素系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤などが挙げられ、フッ素系界面活性剤が好ましい。本発明の組成物にフッ素系界面活性剤を含有させることで液特性(特に、流動性)が向上し、省液性をより改善できる。また、厚みムラの小さい膜を形成することもできる。
本発明の組成物は、紫外線吸収剤を含有することができる。紫外線吸収剤は、共役ジエン化合物、アミノジエン化合物、サリシレート化合物、ベンゾフェノン化合物、ベンゾトリアゾール化合物、アクリロニトリル化合物、ヒドロキシフェニルトリアジン化合物、インドール化合物、トリアジン化合物などを用いることができる。これらの詳細については、特開2012−208374号公報の段落番号0052〜0072、特開2013−68814号公報の段落番号0317〜0334、特開2016−162946号公報の段落番号0061〜0080の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。紫外線吸収剤の具体例としては、下記構造の化合物などが挙げられる。紫外線吸収剤の市販品としては、例えば、UV−503(大東化学(株)製)などが挙げられる。また、ベンゾトリアゾール化合物としては、ミヨシ油脂製のMYUAシリーズ(化学工業日報、2016年2月1日)が挙げられる。
本発明の組成物は、シランカップリング剤を含有することができる。本発明において、シランカップリング剤は、加水分解性基とそれ以外の官能基とを有するシラン化合物を意味する。また、加水分解性基とは、ケイ素原子に直結し、加水分解反応及び縮合反応の少なくともいずれかによってシロキサン結合を生じ得る置換基をいう。加水分解性基としては、例えば、ハロゲン原子、アルコキシ基、アシルオキシ基などが挙げられ、アルコキシ基が好ましい。すなわち、シランカップリング剤は、アルコキシシリル基を有する化合物が好ましい。また、加水分解性基以外の官能基としては、例えば、ビニル基、(メタ)アクリロイル基、メルカプト基、エポキシ基、オキセタニル基、アミノ基、ウレイド基、スルフィド基、イソシアネート基などが挙げられ、(メタ)アクリロイル基およびエポキシ基が好ましい。シランカップリング剤は、特開2009−288703号公報の段落番号0018〜0036に記載の化合物、特開2009−242604号公報の段落番号0056〜0066に記載の化合物が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
本発明の組成物は、重合禁止剤を含有することが好ましい。本発明の組成物が重合禁止剤を含有することにより、低温環境下で組成物を長期間保管した場合であっても、欠陥がより抑制された膜を製造することができる。このような効果が得られる詳細な理由は不明であるが、以下によるものであると推測される。すなわち、本発明の組成物に含まれる金属アゾ顔料Aは、2種以上の金属イオンを含むので、組成物の保管時において、上述したアニオンと金属イオンとで構成される金属アゾ化合物同士で金属交換が生じて析出物が生じると推測されるが、重合禁止剤を含有させることにより、金属アゾ化合物の活性化度を低下させて金属アゾ化合物同士で金属交換が生じにくくなると推測され、その結果、上述した効果が得られたと推測される。
本発明の組成物が重合禁止剤を含有する場合、重合禁止剤の含有量は、組成物中0.0001〜1質量%が好ましい。下限は、0.0005質量%以上が好ましく、0.001質量%以上がより好ましい。上限は、0.5質量%以下が好ましく、0.1質量%以下がより好ましい。本発明の組成物は重合禁止剤を1種のみを含んでいてもよいし、2種以上含んでいてもよい。重合禁止剤を2種以上含む場合はそれらの合計量が上記範囲となることが好ましい。
本発明の組成物には、必要に応じて、各種添加剤、例えば、充填剤、密着促進剤、酸化防止剤、潜在酸化防止剤、熱重合開始剤等を配合することができる。これらの添加剤については、特開2012−003225号公報の段落番号0183(対応する米国特許出願公開第2013/0034812号明細書の段落番号0237)の記載、特開2008−250074号公報の段落番号0101〜0104、0107〜0109等の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。また、酸化防止剤としては、例えばフェノール化合物、リン系化合物(例えば特開2011−90147号公報の段落番号004
2に記載の化合物)、チオエーテル化合物などを用いることができる。市販品としては、例えば(株)ADEKA製のアデカスタブシリーズ(AO−20、AO−30、AO−40、AO−50、AO−50F、AO−60、AO−60G、AO−80、AO−330など)が挙げられる。潜在酸化防止剤としては、酸化防止剤として機能する部位が保護基で保護された化合物であって、100〜250℃で加熱するか、又は酸/塩基触媒存在下で80〜200℃で加熱することにより保護基が脱離して酸化防止剤として機能する化合物が挙げられる。潜在酸化防止剤としては、国際公開WO2014/021023号公報、国際公開WO2017/030005号公報、特開2017−008219号公報に記載された化合物が挙げられる。市販品としては、アデカアークルズGPA−5001((株)ADEKA製)等が挙げられる。熱重合開始剤としては、ピナコール化合物、有機過酸化物、アゾ化合物などが挙げられ、ピナコール化合物が好ましい。ピナコール化合物としては、ベンゾピナコール、1,2−ジメトキシ−1,1,2,2−テトラフェニルエタン、1,2−ジエトキシ−1,1,2,2−テトラフェニルエタン、1,2−ジフェノキシ−1,1,2,2−テトラフェニルエタン、1,2−ジメトキシ−1,1,2,2−テトラ(4−メチルフェニル)エタン、1,2−ジフェノキシ−1,1,2,2−テトラ(4−メトキシフェニル)エタン、1,2−ビス(トリメチルシロキシ)−1,1,2,2−テトラフェニルエタン、1,2−ビス(トリエチルシロキシ)−1,1,2,2−テトラフェニルエタン、1,2−ビス(t−ブチルジメチルシロキシ)−1,1,2,2−テトラフェニルエタン、1−ヒドロキシ−2−トリメチルシロキシ−1,1,2,2−テトラフェニルエタン、1−ヒドロキシ−2−トリエチルシロキシ−1,1,2,2−テトラフェニルエタン、1−ヒドロキシ−2−t−ブチルジメチルシロキシ−1,1,2,2−テトラフェニルエタンなどが挙げられる。また、ピナコール化合物については、特表2014−521772号公報、特表2014−523939号公報、および、特表2014−521772号公報の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
本発明の組成物は、前述の成分を混合して調製できる。組成物の調製に際しては、全成分を同時に溶剤に溶解または分散して組成物を調製してもよいし、必要に応じては、各成分を適宜配合した2つ以上の溶液または分散液をあらかじめ調製し、使用時(塗布時)にこれらを混合して組成物として調製してもよい。
次に、本発明の膜について説明する。本発明の膜は、上述した本発明の組成物から得られるものである。本発明の膜は、赤外線透過フィルタとして好ましく用いることができる。
(111):膜の厚み方向における光の透過率の、波長400〜600nmの範囲における最大値が20%以下(好ましくは15%以下、より好ましくは10%以下)であり、膜の厚み方向における光の透過率の、波長800〜1300nmの範囲における最小値が70%以上(好ましくは75%以上、より好ましくは80%以上)である態様。この態様によれば、波長400〜600nmの範囲の光を遮光して、波長650nmを超える光を透過可能な膜とすることができる。
(112):膜の厚み方向における光の透過率の、波長400〜720nmの範囲における最大値が20%以下(好ましくは15%以下、より好ましくは10%以下)であり、膜の厚み方向における光の透過率の、波長900〜1300nmの範囲における最小値が70%以上(好ましくは75%以上、より好ましくは80%以上)である態様。この態様によれば、波長400〜750nmの範囲の光を遮光して、波長800nmを超える光を透過可能な膜とすることができる。
(113):膜の厚み方向における光の透過率の、波長400〜830nmの範囲における最大値が20%以下(好ましくは15%以下、より好ましくは10%以下)であり、膜の厚み方向における光の透過率の、波長1000〜1300nmの範囲における最小値が70%以上(好ましくは75%以上、より好ましくは80%以上)である態様。この態様によれば、波長400〜830nmの範囲の光を遮光して、波長900nmを超える光を透過可能な膜とすることができる。
次に、本発明の膜の製造方法について説明する。本発明の膜は、本発明の組成物を塗布する工程を経て製造できる。
フォトリソグラフィ法でのパターン形成方法は、本発明の組成物を塗布して形成した組成物層に対しパターン状に露光する工程(露光工程)と、未露光部の組成物層を現像除去してパターンを形成する工程(現像工程)と、を含むことが好ましい。必要に応じて、現像されたパターンをベークする工程(ポストベーク工程)を設けてもよい。以下、各工程について説明する。
露光工程では組成物層をパターン状に露光する。例えば、組成物層に対し、ステッパー露光機やスキャナ露光機などを用いて、所定のマスクパターンを有するマスクを介して露光することで、パターン露光することができる。これにより、露光部分を硬化することができる。露光に際して用いることができる放射線(光)としては、g線、i線等が挙げられる。また、波長300nm以下の光(好ましくは波長180〜300nmの光)を用いることもできる。波長300nm以下の光としては、KrF線(波長248nm)、ArF線(波長193nm)などが挙げられ、KrF線(波長248nm)が好ましい。照射量(露光量)は、例えば、0.03〜2.5J/cm2が好ましく、0.05〜1.0J/cm2がより好ましく、0.08〜0.5J/cm2が最も好ましい。露光時における酸素濃度については適宜選択することができる。例えば、大気下で露光してもよく、酸素濃度が19体積%以下の低酸素雰囲気下(例えば、15体積%、5体積%、実質的に無酸素)で露光してもよく、酸素濃度が21体積%を超える高酸素雰囲気下(例えば、22体積%、30体積%、50体積%)で露光してもよい。また、露光照度は適宜設定することができ、1000〜100000W/m2の範囲から選択することが好ましい。酸素濃度と露光照度は適宜条件を組み合わせてよく、例えば、酸素濃度10体積%で照度10000W/m2、酸素濃度35体積%で照度20000W/m2などとすることができる。
次に、露光後の組成物層における未露光部の組成物層を現像除去してパターンを形成する。未露光部の組成物層の現像除去は、現像液を用いて行うことができる。これにより、露光工程における未露光部の組成物層が現像液に溶出し、光硬化した部分だけが支持体上に残る。現像液の温度は、例えば、20〜30℃が好ましい。現像時間は、20〜180秒が好ましい。また、残渣除去性を向上させるため、現像液を60秒ごとに振り切り、さらに新たに現像液を供給する工程を数回繰り返してもよい。
ドライエッチング法でのパターン形成は、本発明の組成物を支持体上に塗布して形成した組成物層を硬化して硬化物層を形成し、次いで、この硬化物層上にパターニングされたレジスト層を形成し、次いで、パターニングされたレジスト層をマスクとして硬化物層に対してエッチングガスを用いてドライエッチングするなどの方法で行うことができる。ドライエッチング法でのパターン形成については、特開2013−064993号公報の段落番号0010〜0067の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
次に、本発明の赤外線透過フィルタについて説明する。本発明の赤外線透過フィルタは、上述した本発明の膜を有する。
本発明の固体撮像素子は、上述した本発明の膜を含む。固体撮像素子の構成としては、本発明の膜を有する構成であり、固体撮像素子として機能する構成であれば特に限定はない。例えば、以下のような構成が挙げられる。
本発明の光センサは、上述した本発明の膜を含む。光センサの構成としては、光センサとして機能する構成であれば特に限定はない。以下、本発明の光センサの一実施形態について、図面を用いて説明する。
樹脂の重量平均分子量は、以下の条件に従って、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ(GPC)によって測定した。
カラムの種類:TOSOH TSKgel Super HZM−Hと、TOSOH TSKgel Super HZ4000と、TOSOH TSKgel Super HZ2000とを連結したカラム
展開溶媒:テトラヒドロフラン
カラム温度:40℃
流量(サンプル注入量):1.0μL(サンプル濃度0.1質量%)
装置名:東ソー(株)製 HLC−8220GPC
検出器:RI(屈折率)検出器
検量線ベース樹脂:ポリスチレン樹脂
(金属アゾ顔料1の製造)
46.2gのジアゾバルビツール酸および38.4gのバルビツール酸を、85℃の蒸留水の1100g中に添加した。次いで、この溶液に水酸化カリウム水溶液を添加してpHを約5とした後、90分間攪拌してアゾバルビツール酸前駆体を製造した。
次いで、上記の方法に従って製造されたアゾバルビツール酸前駆体に、82℃の蒸留水の1500gを添加した。次いで、10gの30%塩酸を滴下により添加した。次いで、79.4gのメラミンを添加した。次いで、0.282モルの約25%塩化亜鉛溶液と、0.0015モルの約30%塩化銅(II)溶液との混合物を滴下により添加した。次いで、これらを添加した溶液を82℃の温度で3時間保持した後、KOHを添加してpHを約5.5とした。次いで、この溶液の温度を90℃に昇温し、90℃の温度を維持しつつ、100gの蒸留水を添加して希釈した。次いで、この溶液に21gの30%塩酸を滴下により添加した後、90℃の温度で12時間加熱処理した。次いで、加熱処理後の溶液に水酸化カリウム水溶液を添加してpHを約5とした。次いで、この溶液から顔料を吸引フィルタ上で単離し、洗浄し、80℃での真空乾燥キャビネット中で乾燥させた後、標準実験室ミルで約2分間すり潰して金属アゾ顔料1を製造した。
154.1gのジアゾバルビツール酸および128.1gのバルビツール酸を、85℃の蒸留水の3600g中に添加した。次いで、この溶液に水酸化カリウム水溶液を添加してpHを約5とした後、90分間攪拌してアゾバルビツール酸前駆体を製造した。
次いで、上記の方法に従って製造されたアゾバルビツール酸前駆体に、82℃の蒸留水の5000gを添加した。次いで、252.2gのメラミンを添加した。次いで、0.68モルの約30%塩化ニッケル(II)溶液、0.02モルの約30%塩化銅(II)溶液、および0.200モルの約20%塩化ランタン(III)溶液の混合物を滴下により添加した。次いで、これらを添加した溶液を82℃で3時間保持した後、KOHを添加してpHを約5.5とした。次いで、この溶液の温度を90℃に昇温し、90℃の温度を維持しつつ、1000gの蒸留水を添加して希釈した。次いで、この溶液に113gの30%塩酸を滴下により添加した後、90℃の温度で12時間加熱処理した。次いで、加熱処理後の溶液に水酸化カリウム水溶液を添加してpHを約5とした。次いで、この溶液から顔料を吸引フィルタ上で単離し、洗浄し、80℃での真空乾燥キャビネット中で乾燥させた後、標準実験室ミルで約2分間すり潰して金属アゾ顔料2を製造した。
154.1gのジアゾバルビツール酸および128.1gのバルビツール酸を、85℃の蒸留水の3600g中に添加した。次いで、この溶液に水酸化カリウム水溶液を添加してpHを約5とした後、90分間攪拌してアゾバルビツール酸前駆体を製造した。
次いで、上記の方法に従って製造されたアゾバルビツール酸前駆体に、82℃の蒸留水の5000gを添加した。次いで、252.2gのメラミンを添加した。次いで、0.70モルの約30%塩化ニッケル(II)溶液、0.05モルの約30%塩化亜鉛(II)溶液、および0.167モルの約20%塩化ランタン(III)溶液の混合物を滴下により添加した。次いで、これらを添加した溶液を82℃で3時間保持した後、KOHを添加してpHを約5.5とした。次いで、この溶液の温度を90℃に昇温し、90℃の温度を維持しつつ、1000gの蒸留水を添加して希釈した。次いで、この溶液に113gの30%塩酸を滴下により添加した後、90℃の温度で12時間加熱処理した。次いで、加熱処理後の溶液に水酸化カリウム水溶液を添加してpHを約5とした。次いで、この溶液から顔料を吸引フィルタ上で単離し、洗浄し、80℃での真空乾燥キャビネット中で乾燥させた後、標準実験室ミルで約2分間すり潰して金属アゾ顔料3を製造した。
46.2gのジアゾバルビツール酸および38.4gのバルビツール酸を、85℃の蒸留水の1100g中に添加した。次いで、この溶液に水酸化カリウム水溶液を添加してpHを約5とした後、90分間攪拌してアゾバルビツール酸前駆体を製造した。
次いで、上記の方法に従って製造されたアゾバルビツール酸前駆体に、82℃の蒸留水の5000gを添加した。次いで、252.2gのメラミンを添加した。次いで、0.285モルの約25%塩化ニッケル溶液と0.010モルの約10%塩化ガドリニウム(III)溶液との混合物を滴下により添加した。次いで、これらを添加した溶液を82℃で3時間保持した後、KOHを添加してpHを約5.5とした。次いで、この溶液の温度を90℃に昇温し、90℃の温度を維持しつつ、1000gの蒸留水を添加して希釈した。次いで、この溶液に113gの30%塩酸を滴下により添加した後、90℃の温度で12時間加熱処理した。次いで、加熱処理後の溶液に水酸化カリウム水溶液を添加してpHを約5とした。次いで、この溶液から顔料を吸引フィルタ上で単離し、洗浄し、80℃での真空乾燥キャビネット中で乾燥させた後、標準実験室ミルで約2分間すり潰して金属アゾ顔料4を製造した。
(製造例1) 重合性モノマーD5の製造
フラスコに、残留溶媒としてトルエンを238質量ppm含有する多官能アクリレート(KAYARAD DPHA、日本化薬(株)製)の50gと、プロピレングリコールモノメチルアセテート(PGMEA)の50gと、2,2,6,6−テトラメチルピペリジン 1−オキシル(TEMPO)の80mgとを入れ、外設温度を90℃に設定し、フラスコ内部の圧力を常圧から徐々に減圧して68mmHgにし、4時間かけて減圧留去を行った。その後、系内の重量を100gになるようPGMEAで調整して、多官能アクリレート溶液1(重合性モノマーD5)を得た。ガスクロマトグラフィーにて多官能アクリレート溶液1中に含まれる残留溶媒(トルエン)量を測定したところ11質量ppmに低減されていることを確認した。また、1H−NMR(nuclear magnetic resonance)にて多官能アクリレート(KAYARAD DPHA、日本化薬(株)製)由来のピークが検出され、ラジカル重合による架橋反応が生じていないことを確認した。
フラスコに残留溶媒としてトルエンを835質量ppm含有するアクリレート化合物(アロニックスM−5300、東亞合成(株)製)の50gと、PGMEAの50gと、TEMPOの40mgとを入れ、外設温度を90℃に設定し、フラスコ内部の圧力を常圧から徐々に減圧して66mmHgにし、4時間かけて減圧留去を行った。その後、系内の重量を100gになるようPGMEAで調整し、モノマー溶液1を得た。ガスクロマトグラフィーにてモノマー溶液1中に含まれる残留溶媒(トルエン)量を測定したところ、9質量ppmに低減されていることを確認した。また、1H−NMRにてアクリレート化合物(アロニックスM−5300、東亞合成(株)製)由来のピークが検出され、ラジカル重合による架橋反応が生じていないことを確認した。
反応終了後、空気下でジメチルドデシルアミンの6.0gと、TEMPOの2.46gを加えた後、メタクリル酸グリシジルの15.7gを添加した。空気下、90℃で24時間反応を続けた後、酸価測定により反応終了を確認した。60℃まで冷却した後、得られた混合物に更に2−イソシアナトエチルアクリラート(AOI)の15.6gを添加し、60℃で6時間反応させた。1H−NMR測定によりAOIの消失を確認した。得られた混合物に適量のPGMEAを加えることで分散剤C−5の20質量%溶液を得た。得られた樹脂C−5の重量平均分子量は25000、酸価は80mgKOH/mg、C=C価は0.9mmol/gであった。また、樹脂C−5中に含まれるトルエン量を測定したところ5質量ppm以下であることを確認した。
<顔料分散液の製造>
下記の表1に記載の原料を混合したのち、直径0.3mmのジルコニアビーズ230質量部を加えて、ペイントシェーカーを用いて5時間分散処理を行い、ビーズをろ過で分離して顔料分散液を製造した。下記の表に記載の数値は質量部である。
下記の表2〜5に記載の原料を混合して、実施例1〜25、比較例1〜3の組成物を調製した。下記の表に記載の数値は質量部である。
金属アゾ顔料1〜4:上述した金属アゾ顔料1〜4
PR254 : C.I.Pigment Red 254
PY139 : C.I.Pigment Yellow 139
PV23 : C.I.Pigment Violet 23
PB15:6 : C.I.Pigment Blue 15:6
PB16 : C.I.Pigment Blue 16
IB: Irgaphor Black(BASF社製)
PBk32: C.I.Pigment Black 32
C1:下記構造の樹脂(主鎖に付記した数値はモル比であり、側鎖に付記した数値は繰り返し単位の数である。Mw=20,000)
C2:下記構造の樹脂(主鎖に付記した数値はモル比であり、側鎖に付記した数値は繰り返し単位の数である。Mw=24,000)
C3:下記構造の樹脂(主鎖に付記した数値はモル比であり、側鎖に付記した数値は繰り返し単位の数である。Mw=20,000)
C4:BYK2000(固形分濃度40質量%、ビックケミージャパン(株)製)
C5:上述の製造例2で製造した分散剤C5(固形分濃度20質量%)
P1:下記構造の樹脂(Mw=11000、主鎖に付記した数値はモル比である。Meはメチル基である。)
P2:下記構造の樹脂。(Mw=4400、酸価=95mgKOH/g、以下の構造式中、Mはフェニル基であり、Aはビフェニルテトラカルボン酸無水物残基である。)
P3:サイクロマーACA250(固形分濃度45質量%、(株)ダイセル製)
P4:下記構造の樹脂(Mw=30000、主鎖に付記した数値はモル比である。)
D1:下記構造の化合物(a+b+c=3)
D2:下記構造の化合物(a+b+c=4)
D3:下記構造の化合物の混合物(a+b+c=5の化合物:a+b+c=6の化合物=3:1(モル比))
D6:アロニックスM−520(東亞合成(株)製)
I1〜I5:下記構造の化合物(オキシム化合物)
I7:IRGACURE−379(BASF社製、α−アミノケトン化合物)
I8:特表2017−523465号公報の段落番号0007に記載された化合物NO.12
I9:特開2017−151342号公報の段落番号0025に記載された式(2)の化合物
I10:特開2017−167399号公報の段落番号0031に記載された化合物6
(紫外線吸収剤)
L1:下記構造の化合物
M1:トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトブチレート)
N1:EHPE3150((株)ダイセル製)
(重合禁止剤)
G1:p−メトキシフェノール
(溶剤)
J1:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)
J2:シクロヘキサノン
J3:3−メトキシ−N,N−ジメチルプロパンアミド
J4:3−ブトキシ−N,N−ジメチルプロパンアミド
各組成物を、ガラス基板上にポストベーク後の膜厚が下記表に記載の膜厚になるようにスピンコーターを用いて塗布し、100℃のホットプレートを用いて120秒間プリベークした。次いで、プリベーク後の塗布膜の全面に、i線を1000mJ/cm2の露光量で照射して露光した後、ホットプレートを用いて220℃で5分間ポストベークを行って膜を形成した。
分光光度計(U−4100、(株)日立ハイテクノロジーズ製)を用いて、得られた膜の波長400〜1300nmの吸光度及び透過率を測定して、波長400〜600nmの範囲における透過率の最大値(透過率T1)、波長1000〜1300nmの範囲における透過率の最小値(透過率T2)、波長400〜600nmの範囲における吸光度の最小値(吸光度A)、波長1000〜1300nmの範囲における吸光度の最大値(吸光度B)、波長400〜600nmの範囲における吸光度の最小値と波長1000〜1300nmの範囲における吸光度の最大値との比(吸光度A/吸光度B)を測定した。
各組成物を8インチ(20.32cm)のシリコンウエハ上にスピンコート法で塗布した。次いで、ホットプレートを用いて、100℃で2分間加熱した。得られた膜を光学式膜厚計(フィルメトリクス(株)、F50)を用い、膜厚を測定し、最も薄い部分の膜厚と最も厚い部分の膜厚の差(以下、膜厚差という)を算出した。膜厚差が小さいほど膜厚均一性が良好であるといえる。
5:膜厚差が0.02μm以下である。
4:膜厚差が0.02μmより大きく0.03μm以下である
3:膜厚差が0.03μmより大きく0.04μm以下である
2:膜厚差が0.04μmより大きく0.05μm以下である
1:膜厚差が0.05μmより大きい
各組成物を、ガラス基板上にポストベーク後の膜厚が下記表に記載の膜厚になるようにスピンコーターを用いて塗布し、100℃のホットプレートを用いて120秒間プリベークした。次いで、プリベーク後の塗布膜の全面に、i線を1000mJ/cm2の露光量で照射して露光した後、ホットプレートを用いて220℃で5分間ポストベークを行って膜を形成した。得られた膜を、温度135℃、湿度85%の条件下で300時間保管して高温高湿試験を行った。高温高湿試験後の膜について、1cm四方の部分を光学顕微鏡で観察し、0.5μm以上のサイズの結晶状の欠陥の数をカウントして耐湿性を評価した。
5:欠陥の数が0個
4:欠陥の数が1〜4個
3:欠陥の数が5〜9個
2:欠陥の数が10〜15個
1:欠陥の数が16個以上
また、実施例1〜4の組成物は、波長400〜600nmの範囲の光を遮光して、波長650nmを超える光を透過可能な膜を形成できた。
また、実施例5〜13の組成物は、波長400〜720nmの範囲の光を遮光して、波長800nmを超える光を透過可能な膜を形成できた。
また、実施例14〜25の組成物は、波長400〜830nmの範囲の光を遮光して、波長900nmを超える光を透過可能な膜を形成できた。
実施例1〜25の組成物をシリコンウエハ上にポストベーク後の膜厚がそれぞれ表6に記載の膜厚になるようにスピンコーターを用いて塗布し、100℃のホットプレートを用いて120秒間プリベークした。次いで、プリベーク後の塗布膜の全面に、i線を1000mJ/cm2の露光量で照射して露光した後、ホットプレートを用いて220℃で5分間ポストベークを行って膜を形成した。次に、得られた膜の表面に、以下の吸収層形成用組成物をスピンコーターを用いて塗布し、100℃のホットプレートを用いて120秒間プリベークした。次いで、プリベーク後の塗布膜の全面に、i線を1000mJ/cm2の露光量で照射して露光した後、ホットプレートを用いて220℃で5分間ポストベークを行って吸収層を形成して積層体を形成した。この積層体は、試験例1と同様の波長範囲の光を遮光および透過できた。更には、耐光性にも優れていた。
C.I.Pigment Yellow 150の12質量部と、分散剤C5の37質量部と、PGMEAの51質量部とを、直径0.3mmのジルコニアビーズ230質量部に加えて、ペイントシェーカーを用いて5時間分散処理を行い、ビーズをろ過で分離してYellow顔料分散液を製造した。
得られたYellow顔料分散液の35質量部と、樹脂P1の12質量部と、重合性モノマーD5の4質量部と、光重合開始剤I1の1.8質量部と、PGMEAの47.2質量部とを混合して吸収層形成用組成物を製造した。
IR組成物を、製膜後の膜厚が1.0μmになるように、シリコンウエハ上にスピンコート法で塗布した。次いで、ホットプレートを用いて、100℃で2分間加熱した。次いで、i線ステッパー露光装置(FPA−3000i5+、Canon(株)製)を用い、1000mJ/cm2の露光量にて、2μm四方のベイヤーパターンを有するマスクを介して露光した。
次いで、水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH)0.3質量%水溶液を用い、23℃で60秒間パドル現像を行った。その後、スピンシャワーにてリンスを行い、さらに純水にて水洗した。次いで、ホットプレートを用いて、200℃で5分間加熱することで2μm四方のベイヤーパターン(近赤外線カットフィルタ)を形成した。
次に、近赤外線カットフィルタのベイヤーパターン上に、Red組成物を製膜後の膜厚が1.0μmになるようにスピンコート法で塗布した。次いで、ホットプレートを用い、100℃で2分間加熱した。次いで、i線ステッパー露光装置(FPA−3000i5+、Canon(株)製)を用い、1000mJ/cm2の露光量にて、2μm四方のパターンを有するマスクを介して露光した。次いで、水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH)0.3質量%水溶液を用い、23℃で60秒間パドル現像を行った。その後、スピンシャワーにてリンスを行い、さらに純水にて水洗した。次いで、ホットプレートを用い、200℃で5分間加熱することで、近赤外線カットフィルタのBayerパターン上にRed組成物をパターニングした。同様にGreen組成物、Blue組成物を順次パターニングし、赤、緑および青の着色パターンを形成した。
次に、上記パターン形成した膜上に、実施例14〜25の組成物を、製膜後の膜厚が2.0μmになるようにスピンコート法で塗布した。次いで、ホットプレートを用いて100℃で2分間加熱した。次いで、i線ステッパー露光装置(FPA−3000i5+、Canon(株)製)を用い、1000mJ/cm2の露光量にて、2μm四方のパターンを有するマスクを介して露光した。次いで、水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH)0.3質量%水溶液を用い、23℃で60秒間パドル現像を行った。その後、スピンシャワーにてリンスを行い、さらに純水にて水洗した。次いで、ホットプレートを用いて、200℃で5分間加熱することで、近赤外線カットフィルタのBayerパターンの抜け部分に、実施例14〜25の組成物の膜(赤外線透過フィルタ)を形成した。これを公知の方法に従い固体撮像素子に組み込んだ。
得られた固体撮像素子について、低照度の環境下(0.001Lux)で赤外発光ダイオード(赤外LED)光源から光を照射し、画像の取り込みを行い、画像性能を評価した。画像上で被写体をはっきりと認識できた。また、入射角依存性が良好であった。また、赤外線透過フィルタは、多層塗布で記載の膜厚を達成しても同様の効果が得られる。例えば実施例14の場合、組成物をスピンコート法で塗布して塗布膜を形成し、次いで、塗布膜を100℃で120秒加熱し、次いで、露光および現像を行い、次いで、200℃で5分加熱する一連の操作を複数回繰り返して膜厚を2.0μmに調整してもよい。
下記成分を混合し、撹拌した後、孔径0.45μmのナイロン製フィルタ(日本ポール(株)製)でろ過して、Red組成物を調製した。
Red顔料分散液 ・・51.7質量部
樹脂P1 ・・・0.6質量部
重合性モノマーD6 ・・・0.6質量部
光重合開始剤I1 ・・・0.4質量部
界面活性剤F1 ・・・0.2質量部
紫外線吸収剤(UV−503、大東化学(株)製) ・・・0.3質量部
PGMEA ・・・46.6質量部
下記成分を混合し、撹拌した後、孔径0.45μmのナイロン製フィルタ(日本ポール(株)製)でろ過して、Green組成物を調製した。
Green顔料分散液 ・・・73.7質量部
樹脂P1 ・・・0.3質量部
重合性モノマーD6 ・・・1.2質量部
光重合開始剤I1 ・・・0.6質量部
界面活性剤F1 ・・・0.2質量部
紫外線吸収剤(UV−503、大東化学(株)製) ・・・0.5質量部
PGMEA ・・・23.5質量部
下記成分を混合し、撹拌した後、孔径0.45μmのナイロン製フィルタ(日本ポール(株)製)でろ過して、Blue組成物を調製した。
Blue顔料分散液 44.9質量部
樹脂P1 ・・・2.1質量部
重合性モノマーD6 ・・・2.2質量部
光重合開始剤I1 ・・・0.8質量部
界面活性剤F1 ・・・0.2質量部
紫外線吸収剤(UV−503、大東化学(株)製) ・・・0.3質量部
PGMEA ・・・49.8質量部
下記成分を混合し、撹拌した後、孔径0.45μmのナイロン製フィルタ(日本ポール(株)製)でろ過して、IR組成物を調製した。
IR顔料分散液 ・・・85質量部
重合性モノマーD6 ・・・1.8質量部
樹脂P1 ・・・1.1質量部
光重合開始剤I1 ・・・0.9質量部
界面活性剤F1 ・・・0.2質量部
重合禁止剤(p−メトキシフェノール) ・・・0.001質量部
PGMEA ・・・11.0質量部
C.I.Pigment Red 254の9.6質量部と、C.I.Pigment Yellow 139の4.3質量部と、分散剤(Disperbyk−161、BYKChemie社製)の6.8質量部と、PGMEAの79.3質量部とからなる混合液を、ビーズミル(ジルコニアビーズ0.3mm径)により3時間混合および分散した。その後さらに、減圧機構付き高圧分散機NANO−3000−10(日本ビーイーイー(株)製)を用いて、2000kg/cm3の圧力下で流量500g/minとして分散処理を行なった。この分散処理を10回繰り返し、Red顔料分散液を得た。
C.I.Pigment Green 36の6.4質量部と、C.I.Pigment Yellow 150の5.3質量部と、分散剤(Disperbyk−161、BYKChemie社製)の5.2質量部と、PGMEAの83.1質量部とからなる混合液を、ビーズミル(ジルコニアビーズ0.3mm径)により3時間混合および分散した。その後さらに、減圧機構付き高圧分散機NANO−3000−10(日本ビーイーイー(株)製)を用いて、2000kg/cm3の圧力下で流量500g/minとして分散処理を行なった。この分散処理を10回繰り返し、Green顔料分散液を得た。
C.I.Pigment Blue 15:6の9.7質量部と、C.I.Pigment Violet 23の2.4質量部と、分散剤(Disperbyk−161、BYKChemie社製)の5.5質量部と、PGMEAの82.4質量部とからなる混合液を、ビーズミル(ジルコニアビーズ0.3mm径)により3時間混合および分散した。その後さらに、減圧機構付き高圧分散機NANO−3000−10(日本ビーイーイー(株)製)を用いて、2000kg/cm3の圧力下で流量500g/minとして分散処理を行なった。この分散処理を10回繰り返し、Blue顔料分散液を得た。
近赤外線吸収色素K2の6.25質量部と、顔料誘導体K4の1.25質量部と、分散剤C3の6質量部と、PGMEAの86.5質量部とからなる混合液を、ビーズミル(ジルコニアビーズ0.3mm径)により3時間混合および分散した。その後さらに、減圧機構付き高圧分散機NANO−3000−10(日本ビーイーイー(株)製)を用いて、2000kg/cm3の圧力下で流量500g/minとして分散処理を行なった。この分散処理を10回繰り返し、IR顔料分散液を得た。
Claims (15)
- 下記式(I)で表されるアゾ化合物およびその互変異性構造のアゾ化合物から選ばれる少なくとも1種のアニオンと、2種以上の金属イオンと、メラミン化合物とを含む金属アゾ顔料と、
前記金属アゾ顔料以外の色材であって、波長400〜700nmの範囲に吸収極大を有する色材と、
エチレン性不飽和結合基を有する化合物、および、環状エーテル基を有する化合物から選ばれる少なくとも1種の化合物と、を含む組成物であり、
前記組成物の波長400〜600nmの範囲における吸光度の最小値Aと、波長1000〜1300nmの範囲における吸光度の最大値Bとの比であるA/Bが4.5以上であり、
前記金属アゾ顔料は、
前記アニオンと、Zn 2+ およびCu 2+ を少なくとも含む金属イオンと、前記メラミン化合物とを含む金属アゾ顔料(Az1)、
前記アニオンと、金属イオンと、前記メラミン化合物とを含み、前記金属イオンは、Ni 2+ 、Zn 2+ および、少なくとも1種のさらなる金属イオンMe2を含み、前記金属イオンMe2がLa 3+ 、Ce 3+ 、Pr 3+ 、Nd 2+ 、Nd 3+ 、Sm 2+ 、Sm 3+ 、Eu 2+ 、Eu 3+ 、Gd 3+ 、Tb 3+ 、Dy 3+ 、Ho 3+ 、Er 3+ 、Tm 3+ 、Yb 2+ 、Yb 3+ 、Mg 2+ 、Ca 2+ 、Sr 2+ 、Ba 2+ 、Sc 3+ 、Y 3+ 、Ti 2+ 、Ti 3+ 、Zr 2+ 、Zr 3+ 、V 2+ 、V 3+ 、Nb 3+ 、Cr 3+ 、Mo 2+ 、Mo 3+ 、Mn 2+ 、Cd 2+ 、およびPb 2+ から選ばれる少なくとも1種である金属アゾ顔料(Az2)、
前記アニオンと、金属イオンと、前記メラミン化合物とを含み、前記金属イオンは、Ni 2+ 、Cu 2+ 、および、少なくとも1種のさらなる金属イオンMe3を含み、前記金属イオンMe3がLa 3+ 、Ce 3+ 、Pr 3+ 、Nd 2+ 、Nd 3+ 、Sm 2+ 、Sm 3+ 、Eu 2+ 、Eu 3+ 、Gd 3+ 、Tb 3+ 、Dy 3+ 、Ho 3+ 、Yb 2+ 、Yb 3+ 、Er 3+ 、Tm 3+ 、Mg 2+ 、Ca 2+ 、Sr 2+ 、Mn 2+ 、Y 3+ 、Sc 3+ 、Ti 2+ 、Ti 3+ 、Nb 3+ 、Mo 2+ 、Mo 3+ 、V 2+ 、V 3+ 、Zr 2+ 、Zr 3+ 、Cd 2+ 、Cr 3+ 、Pb 2+ およびBa 2+ から選ばれる少なくとも1種である金属アゾ顔料(Az3)、および、
前記アニオンと、金属イオンと、前記メラミン化合物とを含み、前記金属イオンは、Ni 2+ と金属イオンMe4aを含み、前記金属イオンMe4aがLa 3+ 、Ce 3+ 、Pr 3+ 、Nd 2+ 、Nd 3+ 、Sm 2+ 、Sm 3+ 、Eu 2+ 、Eu 3+ 、Gd 3+ 、Tb 3+ 、Dy 3+ 、Ho 3+ 、Er 3+ 、Tm 3+ 、Yb 2+ およびYb 3+ から選ばれる少なくとも1種である金属アゾ顔料(Az4)、
から選ばれる少なくとも1種である、
組成物;
R3およびR4はそれぞれ独立して、=Oまたは=NR7であり、
R5〜R7はそれぞれ独立して、水素原子またはアルキル基である。 - 前記金属アゾ顔料(Az1)は、金属アゾ顔料の全金属イオンの1モルを基準として、Zn 2+ およびCu 2+ を合計で95〜100モル%含有し、
前記金属アゾ顔料(Az2)は、金属アゾ顔料の全金属イオンの1モルを基準として、Zn 2+ およびNi 2+ を合計で75〜99.5モル%含有し、かつ、前記金属イオンMe2を0.5〜25モル%含有し、
前記金属アゾ顔料(Az3)は、金属アゾ顔料の全金属イオンの1モルを基準として、Cu 2+ およびNi 2+ を合計で70〜99.5モル%含有し、かつ、前記金属イオンMe3を0.5〜30モル%含有し、
前記金属アゾ顔料(Az4)は、金属アゾ顔料の全金属イオンの1モルを基準として、Ni 2+ および前記金属イオンMe4aを合計で95〜100モル%含有し、Ni 2+ と前記金属イオンMe4aとのモル比が、Ni 2+ :金属イオンMe4a=1:1〜19:1である、
請求項1に記載の組成物。 - 前記金属アゾ顔料(Az1)は、前記金属アゾ顔料中のZn2+とCu2+とのモル比が、Zn2+:Cu2+=199:1〜1:15である、請求項1または2に記載の組成物。
- 前記金属イオンMe2は、La 3+ 、Ce 3+ 、Pr 3+ 、Nd 3+ 、Sm 3+ 、Tb 3+ 、Ho 3+ 、およびSr 2+ から選ばれる少なくとも1種であり、
前記金属イオンMe3は、La 3+ 、Ce 3+ 、Pr 3+ 、Nd 3+ 、Sm 3+ 、Tb 3+ 、Ho 3+ 、およびSr 2+ から選ばれる少なくとも1種であり、
前記金属イオンMe4aはLa 3+ 、Ce 3+ 、Pr 3+ 、Nd 3+ 、Sm 3+ 、Tb 3+ およびHo 3+ から選ばれる少なくとも1種である、
請求項1または2に記載の組成物。 - 前記金属アゾ顔料は、前記金属アゾ顔料(Az1)である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の組成物。
- 前記波長400〜700nmの範囲に吸収極大を有する色材は、青色着色剤および紫色着色剤から選ばれる少なくとも1種を含む、請求項1〜6のいずれか1項に記載の組成物。
- 更に、近赤外線吸収色素を含む、請求項1〜7のいずれか1項に記載の組成物。
- 前記近赤外線吸収色素は波長800〜900nmの範囲に吸収極大を有する、請求項8に記載の組成物。
- 前記近赤外線吸収色素はピロロピロール化合物、シアニン化合物、スクアリリウム化合物、フタロシアニン化合物、ナフタロシアニン化合物、および、クロコニウム化合物から選ばれる少なくとも1種である、請求項8または9に記載の組成物。
- 赤外線透過フィルタ用である、請求項1〜10のいずれか1項に組成物。
- 請求項1〜11のいずれか1項に記載の組成物を用いて得られる膜。
- 請求項12に記載の膜を有する赤外線透過フィルタ。
- 請求項12に記載の膜を有する固体撮像素子。
- 請求項12に記載の膜を有する光センサ。
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