JP6921195B2 - 広帯域光源装置及び広帯域光パルスを生成する方法 - Google Patents
広帯域光源装置及び広帯域光パルスを生成する方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6921195B2 JP6921195B2 JP2019531651A JP2019531651A JP6921195B2 JP 6921195 B2 JP6921195 B2 JP 6921195B2 JP 2019531651 A JP2019531651 A JP 2019531651A JP 2019531651 A JP2019531651 A JP 2019531651A JP 6921195 B2 JP6921195 B2 JP 6921195B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fiber
- core
- mode
- pulse
- wall
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 92
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 18
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims description 214
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims description 65
- 238000011049 filling Methods 0.000 claims description 38
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims description 23
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 9
- 238000012806 monitoring device Methods 0.000 claims description 5
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims description 3
- 239000012510 hollow fiber Substances 0.000 description 26
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 13
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 10
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 10
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 6
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical group O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 5
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 5
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 5
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 5
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 4
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 4
- 238000012805 post-processing Methods 0.000 description 4
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 4
- 238000000411 transmission spectrum Methods 0.000 description 4
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 3
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 3
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 229910052743 krypton Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 229910052754 neon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004038 photonic crystal Substances 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 2
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 2
- 238000001069 Raman spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000002657 fibrous material Substances 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 description 1
- 229910052756 noble gas Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 1
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/005—Optical devices external to the laser cavity, specially adapted for lasers, e.g. for homogenisation of the beam or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping
- H01S3/0092—Nonlinear frequency conversion, e.g. second harmonic generation [SHG] or sum- or difference-frequency generation outside the laser cavity
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/02—Optical fibres with cladding with or without a coating
- G02B6/02295—Microstructured optical fibre
- G02B6/02314—Plurality of longitudinal structures extending along optical fibre axis, e.g. holes
- G02B6/02319—Plurality of longitudinal structures extending along optical fibre axis, e.g. holes characterised by core or core-cladding interface features
- G02B6/02323—Core having lower refractive index than cladding, e.g. photonic band gap guiding
- G02B6/02328—Hollow or gas filled core
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/02—Optical fibres with cladding with or without a coating
- G02B6/02295—Microstructured optical fibre
- G02B6/02314—Plurality of longitudinal structures extending along optical fibre axis, e.g. holes
- G02B6/02342—Plurality of longitudinal structures extending along optical fibre axis, e.g. holes characterised by cladding features, i.e. light confining region
- G02B6/02357—Property of longitudinal structures or background material varies radially and/or azimuthally in the cladding, e.g. size, spacing, periodicity, shape, refractive index, graded index, quasiperiodic, quasicrystals
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/35—Non-linear optics
- G02F1/3501—Constructional details or arrangements of non-linear optical devices, e.g. shape of non-linear crystals
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/35—Non-linear optics
- G02F1/3528—Non-linear optics for producing a supercontinuum
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/35—Non-linear optics
- G02F1/353—Frequency conversion, i.e. wherein a light beam is generated with frequency components different from those of the incident light beams
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/35—Non-linear optics
- G02F1/355—Non-linear optics characterised by the materials used
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/35—Non-linear optics
- G02F1/365—Non-linear optics in an optical waveguide structure
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/04—Arrangements for thermal management
- H01S3/0407—Liquid cooling, e.g. by water
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/13—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude
- H01S3/1305—Feedback control systems
Description
[1]P. St. J. Russell et al., "Nature Photonics" 8, 278-286 (2014)
[2]米国特許第9160137号明細書
[3]F. Tani et al., "PRL" 111, 033902 (2013)
[4]F. Belli et al., "Optica" 2, 292-300 (2015)
[5]N. M. Litchinitser et al., "Opt. Lett." 27, 1592-1594 (2002)
[6]F. Gebert et al., "Opt. Exp." 22, 15388-15396 (2014)
[7]P. Uebel et al., "Opt. Lett." 41, 1961-1964 (2016)
[8]J. C. Travers et al., "J. Opt. Am." B 28 (2011), A11-A26
Claims (20)
- 広帯域光パルス(1)を生成するように構成された広帯域光源装置(100)であって、
充填ガスを含み、ポンプレーザパルス(2)の光学非線形拡張によって前記広帯域光パルス(1)を生成するように配置された、非バンドギャップ型の中空コアファイバ(10)であって、導波光フィールドのコアモードをサポートするファイバコア(11)と、前記ファイバコア(11)を包囲し前記導波光フィールドの横壁モードをサポートする内部ファイバ構造(12)と、を有する中空コアファイバ(10)と、
前記中空コアファイバ(10)の入力側(13)で前記ポンプレーザパルス(2)を生成及び提供するように配置されたポンプレーザ源装置(20)と、
を備えており、
前記横壁モードは、基本横壁モードと、2次以上の横壁モードとを含み、
前記広帯域光パルス(1)は、ファイバ長さ、ファイバコア直径、前記ポンプレーザパルス(2)の少なくとも1つのポンプパルスパラメータ及び/又はビームパラメータ、並びに前記充填ガスの少なくとも1つのガスパラメータによって決定されるコアモードスペクトルを有しており、
前記ファイバコア(11)に対向する前記内部ファイバ構造(12)のファイバ壁(15)は、少なくとも前記2次以上の横壁モードが前記コアモードスペクトルと比較して短い波長にスペクトル的にシフトされるように選択された壁厚を有し、
前記中空コアファイバ(10)は、その長手方向に沿って、前記選択された壁厚へと変化する前記ファイバ壁(15)の壁厚の分布を有する、
広帯域光源装置。 - 広帯域光パルス(1)を生成するように構成された広帯域光源装置(100)であって、
充填ガスを含み、ポンプレーザパルス(2)の光学非線形拡張によって前記広帯域光パルス(1)を生成するように配置された、非バンドギャップ型の中空コアファイバ(10)であって、導波光フィールドのコアモードをサポートするファイバコア(11)と、前記ファイバコア(11)を包囲し前記導波光フィールドの横壁モードをサポートする内部ファイバ構造(12)と、を有する中空コアファイバ(10)と、
前記中空コアファイバ(10)の入力側(13)で前記ポンプレーザパルス(2)を生成及び提供するように配置されたポンプレーザ源装置(20)と、
を備えており、
前記横壁モードは、基本横壁モードと、2次以上の横壁モードとを含み、
前記広帯域光パルス(1)は、ファイバ長さ、ファイバコア直径、前記ポンプレーザパルス(2)の少なくとも1つのポンプパルスパラメータ及び/又はビームパラメータ、並びに前記充填ガスの少なくとも1つのガスパラメータによって決定されるコアモードスペクトルを有しており、
前記ファイバコア(11)に対向する前記内部ファイバ構造(12)のファイバ壁(15)は、少なくとも前記2次以上の横壁モードが前記コアモードスペクトルと比較して短い波長にスペクトル的にシフトされるように選択された壁厚を有し、
前記内部ファイバ構造(12)は、単一リング構造又はカゴメ構造を備えており、
前記ファイバコア(11)に対向する前記ファイバ壁(15)は壁厚(t)を有し、前記壁厚は、
広帯域光源装置。 - 前記中空コアファイバ(10)の前記内部ファイバ構造(12)は、すべての横壁モードと前記コアモードスペクトルとが互いに対してスペクトル変位を有するように構成される、請求項1又は2に記載の広帯域光源装置。
- 前記壁厚は、70nmから300nm、特に70nmから150nmの範囲内であり、及び/又は
前記コアモードスペクトルの前記最短波長λminは、170nmから250nmの範囲内である、請求項1から4のうち一項に記載の広帯域光源装置。 - 少なくとも1つのポンプパルスパラメータ、特にパルス長、パルスエネルギ、パルス形状、及び/又はパルススペクトルと、少なくとも1つのビームパラメータ、特にモード形状、ポインティング、及び/又は安定性とのうち少なくとも一方を調整するように配置された調整装置(30)を更に含む、請求項1から5のうち一項に記載の広帯域光源装置。
- 前記中空コアファイバ(10)と接続され、前記中空コアファイバ(10)に前記充填ガスを供給するように配置されたガス供給装置(40)を更に含み、
前記調整装置(30)は、前記充填ガスの前記少なくとも1つのガスパラメータを調整するように前記ガス供給装置(40)と接続されている、請求項6に記載の広帯域光源装置。 - 前記中空コアファイバから出力される前記広帯域光パルス(1)の前記コアモードスペクトルの少なくとも一部を監視するように配置された監視装置(50)を更に含む、請求項6又は7に記載の広帯域光源装置。
- 前記監視装置(50)及び前記調整装置(30)を含む制御ループ(60)を更に含み、
前記制御ループ(60)は、前記横壁モード及び前記コアモードスペクトルの前記スペクトル変位が前記広帯域光源装置(100)の動作の間維持されるように前記調整装置(30)を制御するように適合されている、請求項8に記載の広帯域光源装置。 - 広帯域光パルス(1)の生成方法であって、
中空コアファイバ(10)が、導波光フィールドのコアモードをサポートするファイバコア(11)と、前記ファイバコア(11)を包囲し前記導波光フィールドの横壁モードをサポートする内部ファイバ構造(12)とを有し、前記横壁モードは基本横壁モードと2次以上の横壁モードとを含むところ、充填ガスを含む非バンドギャップ型の前記中空コアファイバ(10)内にポンプレーザパルス(2)を結合するステップと、
前記中空コアファイバ(10)内での前記ポンプレーザパルス(2)の光学非線形拡張によって前記広帯域光パルス(1)を生成するステップと、
を備え、
前記広帯域光パルス(1)は、ファイバ長さ、ファイバコア直径、前記ポンプレーザパルス(2)の少なくとも1つのポンプパルスパラメータ及び/又はビームパラメータ、並びに前記充填ガスの少なくとも1つのガスパラメータによって決定されるコアモードスペクトルを有しており、
前記ファイバコア(11)に対向する前記内部ファイバ構造(12)のファイバ壁(15)は、少なくとも前記2次以上の横壁モードが前記コアモードスペクトルと比較して短い波長にスペクトル的にシフトされるように選択された壁厚を有し、
前記中空コアファイバ(10)は、その長手方向に沿って、前記選択された壁厚へと変化する前記ファイバ壁(15)の壁厚の分布を有する、
広帯域光パルスの生成方法。 - 広帯域光パルス(1)の生成方法であって、
中空コアファイバ(10)が、導波光フィールドのコアモードをサポートするファイバコア(11)と、前記ファイバコア(11)を包囲し前記導波光フィールドの横壁モードをサポートする内部ファイバ構造(12)とを有し、前記横壁モードは基本横壁モードと2次以上の横壁モードとを含むところ、充填ガスを含む非バンドギャップ型の前記中空コアファイバ(10)内にポンプレーザパルス(2)を結合するステップと、
前記中空コアファイバ(10)内での前記ポンプレーザパルス(2)の光学非線形拡張によって前記広帯域光パルス(1)を生成するステップと、
を備え、
前記広帯域光パルス(1)は、ファイバ長さ、ファイバコア直径、前記ポンプレーザパルス(2)の少なくとも1つのポンプパルスパラメータ及び/又はビームパラメータ、並びに前記充填ガスの少なくとも1つのガスパラメータによって決定されるコアモードスペクトルを有しており、
前記ファイバコア(11)に対向する前記内部ファイバ構造(12)のファイバ壁(15)は、少なくとも前記2次以上の横壁モードが前記コアモードスペクトルと比較して短い波長にスペクトル的にシフトされるように選択された壁厚を有し、
前記内部ファイバ構造(12)は、単一リング構造又はカゴメ構造を備えており、
前記ファイバコア(11)に対向する前記ファイバ壁(15)は壁厚(t)を有し、前記壁厚は、
広帯域光パルスの生成方法。 - すべての横壁モードと前記コアモードスペクトルとが互いに対してスペクトル変位される、請求項10又は11に記載の方法。
- 前記壁厚は、70nmから300nm、特に70nmから150nmの範囲内であり、及び/又は
前記コアモードスペクトルの前記最短波長λminは、170nmから250nmの範囲内である、請求項10から13のうち一項に記載の方法。 - 前記少なくとも1つのポンプパルスパラメータ及び/又はビームパラメータのうち少なくとも一方を調整するステップを更に備える、請求項10から14のうち一項に記載の方法。
- 前記中空コアファイバ(10)に前記充填ガスを供給するステップと、
前記充填ガスの前記少なくとも1つのガスパラメータのうち少なくとも1つを調整するステップと、を更に備える、請求項15に記載の方法。 - 前記中空コアファイバから出力される前記広帯域光パルス(1)の前記コアモードスペクトルの少なくとも一部を監視するステップを更に含む、請求項10から16のうち一項に記載の方法。
- 前記横壁モード及び前記コアモードスペクトルの前記スペクトル変位が前記広帯域光パルス(1)の生成の間維持されるように、制御ループ(60)によって前記調整するステップを制御することを更に含む、請求項15又は16に記載の方法。
- 充填ガス中でのポンプレーザパルス(2)の光学非線形拡張によって広帯域光パルス(1)を生成するように配置された中空コアファイバ(10)において、
前記中空コアファイバ(10)は、前記充填ガスを充填された、前記広帯域光パルス(1)の導波光フィールドのコアモードをサポートするファイバコア(11)と、前記ファイバコア(11)を包囲し、前記導波光フィールドの横壁モードをサポートする内部ファイバ構造(12)とを有しており、前記横壁モードは、基本横壁モードと2次以上の横壁モードとを含み、
前記広帯域光パルス(1)は、ファイバ長さ、ファイバコア直径、前記ポンプレーザパルス(2)の少なくとも1つのポンプパルスパラメータ、及び前記充填ガスの少なくとも1つのガスパラメータによって決定されるコアモードスペクトルを有しており、
前記ファイバコア(11)に対向する前記内部ファイバ構造(12)のファイバ壁(15)は、少なくとも前記2次以上の横壁モードが前記コアモードスペクトルと比較して短い波長にスペクトル的にシフトされるように選択された壁厚を有し、
前記中空コアファイバ(10)は、その長手方向に沿って、前記選択された壁厚へと変化する前記ファイバ壁(15)の壁厚の分布を有する、
中空コアファイバ。 - 充填ガス中でのポンプレーザパルス(2)の光学非線形拡張によって広帯域光パルス(1)を生成するように配置された中空コアファイバ(10)において、
前記中空コアファイバ(10)は、前記充填ガスを充填された、前記広帯域光パルス(1)の導波光フィールドのコアモードをサポートするファイバコア(11)と、前記ファイバコア(11)を包囲し、前記導波光フィールドの横壁モードをサポートする内部ファイバ構造(12)とを有しており、前記横壁モードは、基本横壁モードと2次以上の横壁モードとを含み、
前記広帯域光パルス(1)は、ファイバ長さ、ファイバコア直径、前記ポンプレーザパルス(2)の少なくとも1つのポンプパルスパラメータ、及び前記充填ガスの少なくとも1つのガスパラメータによって決定されるコアモードスペクトルを有しており、
前記ファイバコア(11)に対向する前記内部ファイバ構造(12)のファイバ壁(15)は、少なくとも前記2次以上の横壁モードが前記コアモードスペクトルと比較して短い波長にスペクトル的にシフトされるように選択された壁厚を有し、
前記内部ファイバ構造(12)は、単一リング構造又はカゴメ構造を備えており、
前記ファイバコア(11)に対向する前記ファイバ壁(15)は壁厚(t)を有し、前記壁厚は、
中空コアファイバ。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/EP2017/000023 WO2018127266A1 (en) | 2017-01-09 | 2017-01-09 | Broadband light source device and method of creating broadband light pulses |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020514785A JP2020514785A (ja) | 2020-05-21 |
JP6921195B2 true JP6921195B2 (ja) | 2021-08-18 |
Family
ID=57882048
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019531651A Active JP6921195B2 (ja) | 2017-01-09 | 2017-01-09 | 広帯域光源装置及び広帯域光パルスを生成する方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (4) | US10693271B2 (ja) |
EP (2) | EP3566097B1 (ja) |
JP (1) | JP6921195B2 (ja) |
KR (3) | KR102413595B1 (ja) |
CN (2) | CN110537144B (ja) |
IL (2) | IL299683A (ja) |
WO (1) | WO2018127266A1 (ja) |
Families Citing this family (62)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100885565B1 (ko) * | 2002-07-18 | 2009-02-24 | 엘지전자 주식회사 | 액정 모니터 메인 프레임 장치 |
KR102413595B1 (ko) | 2017-01-09 | 2022-06-27 | 막스-플랑크-게젤샤프트 츄어 푀르더룽 데어 비쎈샤프텐 에.파우. | 광대역 광원장치 및 광대역 광 펄스 생성 방법 |
CN108919418B (zh) * | 2018-07-23 | 2019-09-27 | 燕山大学 | 单层孔低损耗混合导光光子晶体光纤 |
SG11202103803QA (en) * | 2018-10-24 | 2021-05-28 | Asml Netherlands Bv | Optical fibers and production methods therefor |
CN109445020B (zh) * | 2018-12-13 | 2020-05-05 | 云南电网有限责任公司电力科学研究院 | 一种用于sf6气体及其分解组分检测的光纤及制备方法 |
EP3696606A1 (en) | 2019-02-15 | 2020-08-19 | ASML Netherlands B.V. | A metrology apparatus with radiation source having multiple broadband outputs |
CN109839785B (zh) * | 2019-03-01 | 2021-04-02 | 杭州奕力科技有限公司 | 一种空芯反谐振光纤的频率上转换装置 |
EP3705942A1 (en) | 2019-03-04 | 2020-09-09 | ASML Netherlands B.V. | Hollow-core photonic crystal fiber based optical component for broadband radiation generation |
IL286548B1 (en) | 2019-03-25 | 2024-02-01 | Asml Netherlands Bv | A device for expanding frequency and method |
WO2020200637A1 (en) * | 2019-04-03 | 2020-10-08 | Asml Netherlands B.V. | Optical fiber |
EP3719551A1 (en) * | 2019-04-03 | 2020-10-07 | ASML Netherlands B.V. | Optical fiber |
EP3754389A1 (en) | 2019-06-21 | 2020-12-23 | ASML Netherlands B.V. | Mounted hollow-core fibre arrangement |
EP3758168A1 (en) | 2019-06-25 | 2020-12-30 | ASML Netherlands B.V. | Hollow-core photonic crystal fiber based optical component for broadband radiation generation |
EP3786701B1 (en) | 2019-08-29 | 2023-04-26 | ASML Netherlands B.V. | End facet protection for a light source and a method for use in metrology applications |
EP3786702A1 (en) | 2019-09-02 | 2021-03-03 | ASML Netherlands B.V. | Mode control of photonic crystal fiber based broadband light sources |
WO2021043593A1 (en) | 2019-09-02 | 2021-03-11 | Asml Netherlands B.V. | Mode control of photonic crystal fiber based broadband light sources |
EP3839586A1 (en) | 2019-12-18 | 2021-06-23 | ASML Netherlands B.V. | Hollow-core photonic crystal fiber based optical component for broadband radiation generation |
KR20220063265A (ko) | 2019-10-24 | 2022-05-17 | 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. | 광대역 방사선 발생을 위한 중공 코어 광결정 섬유 기반 광학 요소 |
EP3819267B1 (en) | 2019-11-07 | 2022-06-29 | ASML Netherlands B.V. | Method of manufacture of a capillary for a hollow-core photonic crystal fiber |
EP3819266A1 (en) | 2019-11-07 | 2021-05-12 | ASML Netherlands B.V. | Method of manufacture of a capillary for a hollow-core photonic crystal fiber |
WO2021144093A1 (en) * | 2020-01-15 | 2021-07-22 | Asml Netherlands B.V. | Method, assembly, and apparatus for improved control of broadband radiation generation |
EP3889681A1 (en) * | 2020-03-31 | 2021-10-06 | ASML Netherlands B.V. | An assembly including a non-linear element and a method of use thereof |
EP3913429A1 (en) | 2020-05-19 | 2021-11-24 | ASML Netherlands B.V. | A supercontinuum radiation source and associated metrology devices |
EP3936936A1 (en) | 2020-07-08 | 2022-01-12 | ASML Netherlands B.V. | Hollow-core photonic crystal fiber based broadband radiation generator with extended fiber lifetime |
DK3936937T3 (en) | 2020-07-08 | 2022-09-19 | Asml Netherlands Bv | Hollow-Core Fiber Based Broadband Radiation Generator With Extended Fiber Lifetime |
CN111969399B (zh) * | 2020-07-22 | 2021-09-14 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 基于Kagome空心光子晶体光纤的脉冲自压缩系统及其耦合调节方法 |
US20230273502A1 (en) | 2020-08-03 | 2023-08-31 | Asml Netherlands B.V. | Method for generating broadband radiation and associated broadband source and metrology device |
EP3974899A1 (en) | 2020-09-28 | 2022-03-30 | ASML Netherlands B.V. | Method for generating broadband radiation and associated broadband source and metrology device |
EP4001976A1 (en) | 2020-11-13 | 2022-05-25 | ASML Netherlands B.V. | Hollow core fiber light source and a method for manufacturing a hollow core fiber |
WO2022028812A1 (en) | 2020-08-06 | 2022-02-10 | Asml Netherlands B.V. | Hollow core fiber light source and a method for manufacturing a hollow core fiber |
JP2023540186A (ja) | 2020-09-03 | 2023-09-22 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | 中空コアフォトニック結晶ファイバベースの広帯域放射ジェネレータ |
EP3988996A1 (en) | 2020-10-20 | 2022-04-27 | ASML Netherlands B.V. | Hollow-core photonic crystal fiber based broadband radiation generator |
EP3968090A1 (en) | 2020-09-11 | 2022-03-16 | ASML Netherlands B.V. | Radiation source arrangement and metrology device |
CN112582861A (zh) * | 2020-10-21 | 2021-03-30 | 暨南大学 | 可调谐激光产生装置及产生方法 |
CN112582860A (zh) * | 2020-10-21 | 2021-03-30 | 暨南大学 | 超连续谱产生装置及产生方法 |
KR20230112653A (ko) | 2020-12-10 | 2023-07-27 | 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. | 중공 코어 광결정 광섬유 기반 광대역 방사선 발생기 |
EP4012492A1 (en) | 2020-12-10 | 2022-06-15 | ASML Netherlands B.V. | Hollow-core photonic crystal fiber based broadband radiation generator |
EP4030230A1 (en) | 2021-01-18 | 2022-07-20 | ASML Netherlands B.V. | Methods and apparatus for providing a broadband light source |
WO2022135823A1 (en) | 2020-12-23 | 2022-06-30 | Asml Netherlands B.V. | Methods and apparatus for providing a broadband light source |
EP4067968A1 (en) | 2021-03-29 | 2022-10-05 | ASML Netherlands B.V. | Methods and apparatuses for spatially filtering optical pulses |
JP2024512198A (ja) | 2021-02-04 | 2024-03-19 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | 光パルスを空間的にフィルタリングするための方法および装置 |
EP4060403A1 (en) | 2021-03-16 | 2022-09-21 | ASML Netherlands B.V. | Hollow-core photonic crystal fiber based multiple wavelength light source device |
EP4086698A1 (en) | 2021-05-06 | 2022-11-09 | ASML Netherlands B.V. | Hollow-core optical fiber based radiation source |
IL305428A (en) | 2021-03-16 | 2023-10-01 | Asml Netherlands Bv | A radiation source based on hollow-core optical fibers |
EP4112572A1 (en) | 2021-06-28 | 2023-01-04 | ASML Netherlands B.V. | Method of producing photonic crystal fibers |
DE102021207626A1 (de) | 2021-07-16 | 2023-01-19 | Amphos GmbH | Gepulste Laserlichtquelle und Verfahren zur Erzeugung eines gepulsten Ausgangslaserstrahls mit Laserpulsen mit vorgegebenen Eigenschaften |
EP4163715A1 (en) | 2021-10-05 | 2023-04-12 | ASML Netherlands B.V. | Improved broadband radiation generation in photonic crystal or highly non-linear fibres |
WO2023025578A1 (en) | 2021-08-25 | 2023-03-02 | Asml Netherlands B.V. | Improved broadband radiation generation in photonic crystal or highly non-linear fibres |
CN113900183B (zh) * | 2021-10-15 | 2022-07-15 | 西安邮电大学 | 一种基于双芯负曲率光纤的太赫兹偏振分束器 |
EP4170430A1 (en) | 2021-10-25 | 2023-04-26 | ASML Netherlands B.V. | Metrology apparatus and metrology methods based on high harmonic generation from a diffractive structure |
EP4174568A1 (en) | 2021-11-01 | 2023-05-03 | ASML Netherlands B.V. | Hollow-core photonic crystal fiber based broadband radiation generator |
EP4174567A1 (en) | 2021-11-02 | 2023-05-03 | ASML Netherlands B.V. | Hollow-core photonic crystal fiber based broadband radiation generator |
WO2023078619A1 (en) | 2021-11-02 | 2023-05-11 | Asml Netherlands B.V. | Hollow-core photonic crystal fiber based broadband radiation generator |
DE102021128556A1 (de) * | 2021-11-03 | 2023-05-04 | Amphos GmbH | STED-Mikroskop |
EP4202508A1 (en) | 2021-12-22 | 2023-06-28 | ASML Netherlands B.V. | Waveguides and manufacturing methods thereof |
EP4231090A1 (en) | 2022-02-17 | 2023-08-23 | ASML Netherlands B.V. | A supercontinuum radiation source and associated metrology devices |
WO2023160924A1 (en) | 2022-02-22 | 2023-08-31 | Asml Netherlands B.V. | Method and apparatus for reflecting pulsed radiation |
DE102022104992A1 (de) | 2022-03-03 | 2023-09-07 | Trumpf Lasertechnik Gmbh | Vorrichtung sowie Verfahren zur spektroskopischen Analyse eines Prozessmediums |
DE102022104988A1 (de) | 2022-03-03 | 2023-09-07 | Amphos GmbH | Vorrichtung mit einem Operationsmikroskop |
EP4273622A1 (en) | 2022-05-02 | 2023-11-08 | ASML Netherlands B.V. | Hollow-core optical fiber based radiation source |
WO2023194049A1 (en) | 2022-04-08 | 2023-10-12 | Asml Netherlands B.V. | Hollow-core optical fiber based radiation source |
EP4289798A1 (en) | 2022-06-07 | 2023-12-13 | ASML Netherlands B.V. | Method of producing photonic crystal fibers |
Family Cites Families (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4474625B2 (ja) * | 1999-12-14 | 2010-06-09 | 独立行政法人科学技術振興機構 | 超広帯域可変波長多重パルス波形整形装置 |
JP2002131710A (ja) | 2000-10-27 | 2002-05-09 | Japan Science & Technology Corp | 複合型超広帯域高精度位相補償・位相制御装置 |
DE102004032463B4 (de) * | 2004-06-30 | 2011-05-19 | Jenoptik Laser Gmbh | Verfahren und optische Anordnung zur Erzeugung eines Breitbandspektrums mittels modengekoppelter Picosekunden-Laserimpulse |
US7295739B2 (en) * | 2004-10-20 | 2007-11-13 | Kla-Tencor Technologies Corporation | Coherent DUV illumination for semiconductor wafer inspection |
US7283712B2 (en) * | 2005-05-03 | 2007-10-16 | United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Gas filled hollow core chalcogenide photonic bandgap fiber Raman device and method |
US7519253B2 (en) * | 2005-11-18 | 2009-04-14 | Omni Sciences, Inc. | Broadband or mid-infrared fiber light sources |
JP2008262004A (ja) * | 2007-04-11 | 2008-10-30 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 広帯域光源装置 |
GB0719376D0 (en) * | 2007-10-03 | 2007-11-14 | Univ Bath | Hollow-core photonic crystal fibre |
WO2010115432A1 (en) * | 2009-04-08 | 2010-10-14 | Nkt Photonics A/S | Broadband high power light source |
CN101764350B (zh) * | 2009-07-24 | 2011-09-28 | 中国科学院安徽光学精密机械研究所 | 基于空芯光子晶体光纤的光纤型可调谐气体拉曼激光光源 |
WO2011023201A1 (en) * | 2009-08-28 | 2011-03-03 | Nkt Photonics A/S | Pulsed fiber laser |
US8554037B2 (en) * | 2010-09-30 | 2013-10-08 | Raydiance, Inc. | Hybrid waveguide device in powerful laser systems |
JP2014512019A (ja) * | 2011-03-14 | 2014-05-19 | イムラ アメリカ インコーポレイテッド | 光ファイバを用いた中赤外コヒーレント・コンティニュームの広帯域発生 |
GB2518419B (en) * | 2013-09-20 | 2019-05-29 | Univ Southampton | Hollow-core photonic bandgap fibers |
JP2017501428A (ja) | 2013-10-30 | 2017-01-12 | マックス−プランク−ゲゼルシャフト ツール フェルデルンク デル ヴィッセンシャフテン エー.ファウ. | フッ化物ガラス系の微細構造のフォトニック結晶ファイバーを備えたスーパーコンティニュームシステム |
US9785033B2 (en) * | 2014-01-30 | 2017-10-10 | The United States Of America, As Represented By The Secretary Of The Navy | Compact infrared broadband source |
CN103901699B (zh) * | 2014-02-20 | 2016-05-11 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 基于脉冲分割的飞秒激光脉冲宽度压缩装置 |
US9160137B1 (en) * | 2014-05-09 | 2015-10-13 | Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e. V. | Method and device for creating supercontinuum light pulses |
EP3531514B1 (en) | 2014-05-09 | 2020-07-08 | Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. | Method and device for creating supercontinuum light pulses |
GB2526879A (en) * | 2014-06-06 | 2015-12-09 | Univ Southampton | Hollow-core optical fibers |
EP3136143B1 (en) * | 2015-08-26 | 2020-04-01 | Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. | Hollow-core fibre and method of manufacturing thereof |
JP6254985B2 (ja) * | 2015-09-17 | 2017-12-27 | ファナック株式会社 | レーザ光路内の不純ガスを監視するレーザ加工システム |
KR102413595B1 (ko) | 2017-01-09 | 2022-06-27 | 막스-플랑크-게젤샤프트 츄어 푀르더룽 데어 비쎈샤프텐 에.파우. | 광대역 광원장치 및 광대역 광 펄스 생성 방법 |
WO2021043593A1 (en) * | 2019-09-02 | 2021-03-11 | Asml Netherlands B.V. | Mode control of photonic crystal fiber based broadband light sources |
-
2017
- 2017-01-09 KR KR1020217010918A patent/KR102413595B1/ko active IP Right Grant
- 2017-01-09 IL IL299683A patent/IL299683A/en unknown
- 2017-01-09 KR KR1020197023382A patent/KR102242442B1/ko active IP Right Grant
- 2017-01-09 WO PCT/EP2017/000023 patent/WO2018127266A1/en active Application Filing
- 2017-01-09 JP JP2019531651A patent/JP6921195B2/ja active Active
- 2017-01-09 EP EP17701267.1A patent/EP3566097B1/en active Active
- 2017-01-09 EP EP22197149.2A patent/EP4130866A1/en active Pending
- 2017-01-09 US US16/471,035 patent/US10693271B2/en active Active
- 2017-01-09 CN CN201780082856.XA patent/CN110537144B/zh active Active
- 2017-01-09 KR KR1020227021300A patent/KR102592778B1/ko active IP Right Grant
- 2017-01-09 CN CN202310424425.4A patent/CN116482912A/zh active Pending
-
2019
- 2019-06-25 IL IL267624A patent/IL267624B2/en unknown
-
2020
- 2020-05-15 US US16/875,699 patent/US11205884B2/en active Active
-
2021
- 2021-10-21 US US17/507,283 patent/US11688992B2/en active Active
-
2023
- 2023-04-12 US US18/133,597 patent/US20230268706A1/en active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN116482912A (zh) | 2023-07-25 |
CN110537144B (zh) | 2023-04-25 |
KR102242442B1 (ko) | 2021-04-21 |
US11205884B2 (en) | 2021-12-21 |
US11688992B2 (en) | 2023-06-27 |
EP3566097A1 (en) | 2019-11-13 |
US20190319420A1 (en) | 2019-10-17 |
WO2018127266A1 (en) | 2018-07-12 |
KR102592778B1 (ko) | 2023-10-24 |
IL299683A (en) | 2023-03-01 |
IL267624B2 (en) | 2023-06-01 |
IL267624A (en) | 2019-08-29 |
WO2018127266A8 (en) | 2019-09-26 |
JP2020514785A (ja) | 2020-05-21 |
US10693271B2 (en) | 2020-06-23 |
EP4130866A1 (en) | 2023-02-08 |
KR102413595B1 (ko) | 2022-06-27 |
US20200280159A1 (en) | 2020-09-03 |
EP3566097B1 (en) | 2022-11-16 |
KR20210044313A (ko) | 2021-04-22 |
CN110537144A (zh) | 2019-12-03 |
KR20220093267A (ko) | 2022-07-05 |
US20230268706A1 (en) | 2023-08-24 |
KR20190100404A (ko) | 2019-08-28 |
US20220045470A1 (en) | 2022-02-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6921195B2 (ja) | 広帯域光源装置及び広帯域光パルスを生成する方法 | |
TWI757486B (zh) | 空芯光子晶體光纖及其製造方法 | |
US9160137B1 (en) | Method and device for creating supercontinuum light pulses | |
US20140334763A1 (en) | Method and light pulse source for generating soliton light pulses | |
EP2942847B1 (en) | Method and device for creating supercontinuum light pulses | |
US9300107B2 (en) | Bright few-cycle fiber source using resonant dispersive wave emission in an optical fiber | |
JP4951617B2 (ja) | 単波長励起による連続スペクトル多色光生成装置 | |
US11209717B2 (en) | Two-color wave mixing upconversion in structured waveguides | |
RU169901U1 (ru) | Многомодовый перестраиваемый генератор суперконтинуума | |
Sabbah et al. | Ultra-low threshold deep-ultraviolet generation in hollow-core fiber | |
Suresh et al. | Extension of Supercontinuum via Tapered Single-Ring PCF | |
Lee | Mid-infrared fiber laser: high-power ultrafast pulse delivery and compression | |
Hädrich et al. | 100 W nonlinear compression in hollow core fibers at 1 MHz repetition rate | |
Xu | Advances in Hollow Core Fibres and Application to Mid-Infrared Fibre Gas Lasers | |
Cooper | Multi-Kilowatt Fiber Laser Amplifiers and Hollow-Core Delivery Fibers | |
Liu et al. | 7.2 W supercontinuum generation in photonic crystal fibers pumped by a nanosecond fiber laser | |
Limpert et al. | Fiber laser pumped ultra-fast parametric amplifiers | |
Le et al. | Ultrashort pulse long distance fiber delivery | |
SAFETY | Compact ultra-bright supercon-tinuum light source | |
Akturk et al. | Energy up-scalable ultrashort pulse compression using planar hollow waveguides |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190807 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200928 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20201005 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20201225 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210405 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210618 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210702 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210727 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6921195 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |