JP6913429B1 - 投入ロット編成装置、投入ロットの編成方法および投入ロット編成用プログラム - Google Patents

投入ロット編成装置、投入ロットの編成方法および投入ロット編成用プログラム Download PDF

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Abstract

【課題】適合度評価条件が複数ある場合でも、処理装置で一度にまとめて処理される投入ロットを適正に編成することができる、投入ロット編成装置、投入ロットの編成方法および投入ロット編成用のコンピュータープログラムを提供する。【解決手段】ロットと処理装置との各組み合わせが投入可否判定条件に合致するか判定し、投入可能と判定されたロットと処理装置との各組み合わせについて、複数の適合度評価条件のそれぞれに対する個別適合度を適合度評価条件ごとに算出し、複数の個別適合度に基づいて、ロットを処理装置で処理する場合の適合度評価値を算出し、複数の組み合わせの複数の適合度評価値に基づいて投入に最も適した組み合わせを特定し、当該組み合わせにおけるロットを処理装置に割り当てた後、再度、未割り当てのロットについて、投入可否判定と適合度評価値の算出とを繰り返すことで、投入ロットを編成する。【選択図】図１

Description

本発明は、処理装置において一度にまとめて処理が行われる複数のロットのまとまりを投入ロットとして編成する、投入ロット編成装置、投入ロットの編成方法および投入ロット編成用プログラムに関する。
従来、性能の異なる複数の炉を備え熱処理を行う熱処理工程において、一度にまとめて熱処理を行う複数種類の製品の組み合わせであるロットを編成するロット編成方法であって、計算機の演算部により実行される処理が、熱処理を行う複数種類の製品と各製品の単位製品あたりの物量とを製品情報として登録する製品情報記憶ステップと、 熱処理を行う複数の炉を炉情報として登録する炉情報記憶ステップと、炉毎に、１ロットに積載可能な最大物量であるロット編成制約条件をロット編成制約情報として登録するロット編成制約情報記憶ステップと、炉毎に、燃料量と処理物量との関係から定義された、処理物量当たりの燃料量である燃料原単位と処理物量との燃料関係式を燃料関係式情報として登録する燃料式情報記憶ステップと、炉毎に、製品情報に基づいて算出される製品情報に基づいて算出されるロット編成制約条件を満たしながら、燃料関係式に基づいて算出される燃料原単位を最小にする製品の組み合わせをロットとして編成するロット編成ステップと、を有することを特徴とするロット編成方法が知られている（特許文献１）。
特開２０１６−０１８４９８号公報
特許文献１では、炉毎の最大物量以内であり、かつ、各製品が複数個のロットに分かれないことという制約条件を満たす製品と炉との組み合わせの中で、燃料原単位が最小になるという適合条件において、最も適合度の高い製品群と炉との組み合わせを、整数計画法を用いて求めているが、適合条件（特許文献１では燃料原単位が最小であること）が複数ある場合に、最適な編成を行う方法については開示されていなかった。
本発明は、適合度評価条件が複数ある場合でも、処理装置で一度にまとめて処理が行われる投入ロットを適正に編成することができる、投入ロット編成装置、投入ロットの編成方法および投入ロット編成用のコンピュータープログラムを提供することを目的とする。
本発明に係る投入ロット編成装置は、要求される処理条件が異なる複数のロットを、異なる処理条件の処理を実行する複数の処理装置を用いて処理する場合において、前記処理装置で同時に処理する前記複数のロットのまとまりを投入ロットとして前記処理装置ごとに編成することが可能な投入ロット編成装置であって、前記ロットに関するロット情報、および、前記処理装置に関する装置情報を取得する取得手段と、前記ロット情報および前記装置情報に基づいて、前記ロットと前記処理装置との各組み合わせが投入可否判定条件に合致するか否かをそれぞれ判定する投入可否判定手段と、前記ロット情報および前記装置情報に基づいて、前記投入可否判定手段により投入可能と判定された前記ロットと前記処理装置との各組み合わせについて、複数の適合度評価条件のそれぞれに対する適合度を個別適合度として前記適合度評価条件ごとに算出し、前記複数の個別適合度に基づいて、前記ロットを前記処理装置で処理する場合の適合度評価値を算出する前記適合度評価手段と、前記適合度評価手段により判定された複数の前記組み合わせの複数の前記適合度評価値に基づいて、前記複数の組み合わせのうち投入に最も適した単一の組み合わせを特定し、当該組み合わせにおける前記ロットを前記処理装置に割り当てた後、再度、未割り当ての前記ロットと前記ロットを割り当てた後の状態の前記処理装置との組み合わせについて、前記投入可否判定手段による投入可否判定と、前記適合度評価手段による前記適合度評価値の算出とを繰り返すことで、前記処理装置ごとに、前記投入ロットを編成する編成手段と、を有する。
上記投入ロット編成装置において、前記投入可否判定手段は、前記処理装置が稼働しているか、前記ロットが指定する前記処理装置であるか、前記処理装置の処理条件と前記ロットの処理条件とが一致するか、前記ロットを構成するワークのサイズが前記処理装置で処理可能なサイズであるか、前記処理装置のライフ内において前記ロットを処理できるか、前記処理装置で前記ロットの納期に間に合うか、および、前記処理装置に対してロットの投入保留指示があるかのうち、いずれか１つ以上の前記投入可否判定条件に基づいて、前記ロットを前記処理装置で処理可能か否かを判定する、構成とすることができる。
上記投入ロット編成装置において、前記適合度評価手段は、前記ロットを前記処理装置で処理した場合の処理終了時刻の早さ、前記ロットを前記処理装置で処理する場合の前記処理装置の充填率の高さ、前記ロットを前記処理装置で処理する場合に段取りが必要であるか、前記処理装置が前記ロットの指定する処理装置であるか、前記処理装置のライフが前記ロットに適したライフ帯であるか、前記ロットの納期の近さまたは滞留日数の長さ、前記処理装置への割り当て済み数の少なさ、前記ロットを処理した後の前記処理装置の残りバッチ数の多さ、のうちいずれか２つ以上の前記適合度評価条件について、前記個別適合度を評価する構成とすることができる。
上記投入ロット編成装置において、前記投入可否判定条件および前記適合度評価条件が、同一の事項に関する共通条件を有する構成とすることができる。
上記投入ロット編成装置において、前記適合度評価手段は、前記適合度評価条件に対する前記個別適合度に、前記適合度評価条件ごとに定めた重み付けを行い、前記重み付けした前記複数の個別適合度に基づいて、前記ロットを前記処理装置で処理する場合の前記適合度評価値を算出する構成とすることができる。
上記投入ロット編成装置において、前記適合度評価手段は、前記ロット情報に含まれる前記ロットに要求される処理条件および前記装置情報に含まれる前記処理装置が実行可能な処理条件に基づいて、前記ロットが当該ロットに適した処理装置で処理されるように、前記適合度評価条件ごとに前記複数の個別適合度を算出する構成とすることができる。
上記投入ロット編成装置において、前記ロットの全てのワークを前記処理装置の１回のバッチ処理で処理できない場合に、前記ロットをサブロットに分割するロット分割手段をさらに有し、前記投入可否判定手段は、前記サブロットの全てを前記処理装置で処理可能である場合に、前記ロットを前記処理装置に投入可能であると判定し、前記適合度評価手段は、前記サブロットの全てを前記処理装置で処理する場合の前記適合度評価値を算出する構成とすることができる。
本発明に係る投入ロット編成方法は、要求される処理条件が異なる複数のロットを、異なる処理条件で処理する複数の処理装置を用いて処理する場合において、前記処理装置で同時に処理する前記複数のロットのまとまりを投入ロットとして前記処理装置ごとに編成することが可能な投入ロット編成方法であって、前記ロットに関するロット情報、および、前記処理装置に関する装置情報に基づいて、前記ロットと前記処理装置との各組み合わせが投入可否判定条件に合致するか否かをそれぞれ判定する投入可否判定工程と、前記ロット情報および前記装置情報に基づいて、前記投入可否判定工程において投入可能と判定された前記ロットと前記処理装置との各組み合わせについて、複数の適合度評価条件のそれぞれに対する適合度を個別適合度として前記適合度評価条件ごとに算出し、前記複数の個別適合度に基づいて、前記ロットを前記処理装置で処理する場合の適合度評価値を算出する適合度評価工程と、前記適合度評価工程において判定された複数の前記組み合わせの複数の前記適合度評価値に基づいて、前記複数の組み合わせのうち投入に最も適した単一の組み合わせを特定し、当該組み合わせにおける前記ロットを前記処理装置に割り当てた後、再度、未割り当ての前記ロットと前記ロットを割り当てた後の状態の前記処理装置との組み合わせについて、前記投入可否判定工程による投入可否判定と、前記適合度評価工程による前記適合度評価値の評価とを繰り返すことで、前記処理装置ごとに、前記投入ロットを編成する編成工程と、を有する。
本発明に係る投入ロット編成用プログラムは、コンピューターを用いて、要求される処理条件が異なる複数のロットを、異なる処理条件で処理する複数の処理装置を用いて処理する場合において、前記処理装置で同時に処理する前記複数のロットのまとまりを投入ロットとして前記処理装置ごとに編成することが可能な投入ロット編成用プログラムであって、前記ロットに関するロット情報、および、前記処理装置に関する装置情報に基づいて、前記ロットと前記処理装置との各組み合わせが投入可否判定条件に合致するか否かをそれぞれ判定する投入可否判定ステップと、前記ロット情報および前記装置情報に基づいて、前記投入可否判定ステップにおいて投入可能と判定された前記ロットと前記処理装置との各組み合わせについて、複数の適合度評価条件のそれぞれに対する適合度を個別適合度として前記適合度評価条件ごとに算出し、前記複数の個別適合度に基づいて、前記ロットを前記処理装置で処理する場合の適合度評価値を算出する適合度評価ステップと、前記適合度評価ステップにおいて判定された複数の前記組み合わせの複数の前記適合度評価値に基づいて、前記複数の組み合わせのうち投入に最も適した単一の組み合わせを特定し、当該組み合わせにおける前記ロットを前記処理装置に割り当てた後、再度、未割り当ての前記ロットと前記ロットを割り当てた後の状態の前記処理装置との組み合わせについて、前記投入可否判定ステップによる投入可否判定と、前記適合度評価ステップによる前記適合度評価値の評価とを繰り返すことで、前記処理装置ごとに、前記投入ロットを編成する編成ステップと、を有する。
本発明によれば、適合度評価条件が複数ある場合でも、処理装置で一度にまとめて処理が行われる投入ロットを適正に編成することができる、投入ロット編成装置、投入ロットの編成方法および投入ロット編成用のコンピュータープログラムを提供することができる。
本実施形態にかかる投入ロット編成装置の構成図である。 本実施形態に係る投入ロット編成処理を示すフローチャートである。 ステップＳ４の投入可否判定処理を示すフローチャートである。 ステップＳ５の適合度評価処理を示すフローチャートである。 本実施形態に係る投入ロット編成処理と従来の投入ロット編成処理での処理装置の充填率を示すグラフである。 本実施形態に係る投入ロット編成処理と従来の投入ロット編成処理での編成時間を示すグラフである。
本実施形態に係る投入ロット編成装置１は、要求される処理条件が異なる複数のロットＬを、異なる処理条件の処理を実行する複数の処理装置２を用いて処理する場合に、処理装置２で同時に処理する複数のロットＬのまとまりを投入ロットＩＬとして、処理装置２ごとに編成することができる装置である。本実施形態においては、処理が行われる対象物をワークＷ、複数のワークＷから構成される管理上のまとまりをロットＬとして説明する。また、本実施形態では、１つの処理装置２に、複数のロットＬを投入して同時に処理を行う場合があり、１つの処理装置２で同時に処理する複数のロットＬのまとまりを投入ロットＩＬと称す。さらに、本実施形態では、ロットＬを構成する全てのワークＷが処理装置２内に投入できない場合に、ロットＬを複数のサブロットＳＬに分割し、分割したサブロットＳＬを同一の処理装置２において、連続して、バッチ処理する場合もある。
また、以下においては、ワークＷである半導体ウエハを、加熱処理装置である処理装置２を用いて加熱処理する場面を例示して説明するが、ワークＷは半導体ウエハＷに限定されず、また、処理装置２も加熱処理装置に限定されるものではない。
まず、処理装置２に投入されるロットＬについて説明する。本実施形態では、処理装置２で処理される複数のワークＷをロットＬ単位で管理しており、ワークＷを処理装置２に投入する際に、ロットＬ単位で編成処理が行われる。本実施形態において、ワークＷは、加熱処理の対象となる半導体ウエハであり、１つのインゴットから製造された半導体ウエハが１つのロットＬとして管理されている。また、ロットＬにおけるワークＷの枚数（ロットサイズ）は、一律ではなく、ロットごとに決められる。たとえば、ロットＬＡは、１７０枚の半導体ウエハ（ワークＷ）からなるロット単位で管理され、ロットＬＢは、１４０枚の半導体ウエハからなるロット単位で管理され、ロットＬＣは、１８０枚の半導体ウエハからなるロット単位で管理される。ワークＷはロットＬ単位で処理装置２に投入され、ロット単位で処理される（ただし、後述するように、ロットＬの全てのワークＷを処理装置２に投入できない場合、ロットＬをサブロットＳＬに分割し、サブロットＳＬ単位で処理装置２に投入する場合もある。）。
また、本実施形態では、ロットＬごとに、ロットＬを構成するワークＷの大きさ、ワークＷの枚数（ロットサイズ）、加熱温度や加熱時間などのワークＷの処理条件、ワークＷの処理に適した処理装置２のライフ帯、ロットＬの納期が決められており、これらの情報が、ロット情報として投入ロット編成装置１の記憶装置２０に記憶されている。なお、処理条件には、上記加熱温度や加熱時間の他、ワークＷのサイズや形状、ドーパントの種類、ドープ量（抵抗幅）、ガス組成や流量などを含めることができる。また、処理装置２のライフ情報とは、たとえば、処理装置２における治具の劣化度や処理装置２自体の劣化の状態をいい、傷が付きやすいロットＬＡにおいては治具の劣化度が低い方が適しており、このような場合、ロットＬＡのワークＷに適した処理装置２のライフ帯は「初期」などのように設定される。さらに、本実施形態では、受注時、加工指示時、あるいは前工程終了時などの時点から現時点までのロットＬの滞留時間の情報も、ロット情報として記憶装置２０に記憶される。ロットＬの滞留時間も「長い」、「普通」、「短い」など段階的に設定され、適宜更新される。なお、本実施形態において、複数のロットＬは、要求される処理条件が異なる２以上の品種のロットＬを有するが、処理条件が同じ同品種のロットＬを複数含む場合もある。
次に、処理装置２について説明する。本実施形態において、処理装置２は、少なくとも異なる処理条件で処理を実施する２以上の処理装置を含み、処理装置２ごとに設定された処理条件で、処理装置２内に投入された複数のロットＬのまとまりである投入ロットＩＬの処理を実行する。たとえば、本実施形態において、処理装置２は、半導体ウエハの加熱処理を行う加熱処理装置であり、異なる処理条件（たとえば異なる加熱温度や加熱時間）で加熱処理を実行する。この場合に、処理装置２Ａは、１２００℃で１０時間、投入ロットＩＬを加熱する処理を実行し、処理装置２Ｂは、１３００℃で１０時間、投入ロットＩＬを加熱する処理を実行する構成とすることができる。なお、複数の処理装置２のうち一部は、他の処理装置２と同じ処理条件で処理を行う構成としてもよい。たとえば上述の例において、処理装置２Ａと同じく、１２００℃で１０時間、投入ロットＩＬを加熱する処理装置２Ａ’をさらに有する構成とすることもできる。また、処理装置２は２以上の処理条件を選択的に実行できる構成とすることもできる。たとえば、処理装置２Ａは、１２００℃で１０時間、投入ロットＩＬを加熱する加熱処理と、１３００℃で１０時間、投入ロットＩＬを加熱する加熱処理とを選択的に実行する構成とすることができる。さらに、本実施形態では、処理装置２ごとに、処理可能なワークＷの大きさ、１回の処理当たり（１バッチ当たり）の投入可能枚数、１バッチ当たりの処理時間、処理装置２のライフ情報、実行可能な処理条件（たとえば加熱温度や加熱時間など）が決まっており、これらの情報を装置情報として、投入ロット編成装置１の記憶装置２０に記憶している。なお、処理装置２のライフ情報とは、処理装置２における治具の劣化度や処理装置２自体の劣化の状態であり、処理装置２の最大ライフ分のバッチ処理を実行した場合に、治具の交換やメンテナンス作業などが行われる。また、処理装置２のライフ情報は、処理装置２が加熱処理を行ったバッチ回数やバッチ処理を実行した延べ時間に応じて、「初期」、「中期」、「末期」のように複数の段階に分けて設定される。以下においては、処理装置２が加熱処理を行ったバッチ回数に基づいて、処理装置２のライフを判定する構成を例示する。
次に、本実施形態に係る投入ロット編成装置１について説明する。図１は、本実施形態に係る投入ロット編成装置１の構成図である。投入ロット編成装置１は、図１に示すように、演算装置１０と、記憶装置２０と、外部出力装置３０と、入力装置４０と、を有する。
演算装置１０は、記憶装置２０に記憶されている、投入ロットＩＬを編成するためのプログラムを実行することで、ロットＬに関するロット情報を取得するロット情報取得機能と、処理装置２に関する装置情報を取得する装置情報取得機能と、投入ロットＩＬの編成を行う投入ロット編成機能と、投入ロット編成機能による編成結果をユーザに出力する出力機能とを実行する。
演算装置１０のロット情報取得機能は、ロットＬに関するロット情報を取得する。上述したように、ロット情報には、ロットＬを構成するワークＷの大きさ、ロットサイズ（１ロット当たりのワークの枚数）、加熱温度や加熱時間などのワークＷの処理条件、ワークＷの処理に適した処理装置２のライフ帯、ロットＬの納期、ロットＬの滞留時間の情報が含まれ、記憶装置２０に記憶されている。そのため、ロット情報取得機能は、記憶装置２０を参照することで、これらロット情報を取得することができる。また、外部装置または外部媒体にロット情報を記憶しておき、ロット情報取得機能が、外部装置または外部媒体にアクセスすることで、外部装置または外部媒体からロット情報を取得する構成としてもよい。
演算装置１０の装置情報取得機能は、処理装置２に関する装置情報を取得する。上述したように、装置情報には、処理装置２が処理可能なワークＷの大きさ、１回の処理当たり（１バッチ当たり）の投入可能枚数、１バッチ当たりの処理時間、処理装置２のライフ情報、処理装置２が実行可能な処理条件（たとえば加熱温度や加熱時間）、などの処理装置２の仕様に関する情報が装置情報として含まれ、記憶装置２０に記憶されている。
さらに、本実施形態において、装置情報は、処理装置２のコンディションに関する情報を含む。処理装置２のコンディションに関する情報としては、処理装置２が稼働しているか否かを示す稼働状況や、処理装置２に既に割り当てられたワークＷの通算枚数の情報が挙げられる。また、本実施形態に係る投入ロット編成処理では、ロットＬの全てのワークＷを一度のバッチ処理で処理できない場合には、同じロットＬのワークＷを、同一の処理装置２で複数回に分けて処理する場合があり、このような場合、同一の処理装置２について複数回分のバッチ処理を行うように投入ロットＩＬが編成される。そのため、同一の処理装置２においてバッチ処理を複数回行う場合は、上記処理装置２に割り当てられたワークＷの通算枚数として、全てのバッチ処理において割り当てられたワークＷの合計枚数が記録される。さらに、バッチ処理を複数回行う場合の最終回のバッチ処理を「最終バッチ処理」と称した場合の、最終バッチ処理におけるワークＷの割り当て済み枚数、最終バッチ処理における処理条件、最終バッチ処理の開始時刻、最終バッチ処理の終了時刻、最終バッチ処理終了時の処理装置２のライフ帯の情報が、装置情報（処理装置２のコンディションに関する情報）として記憶装置２０に記憶される。
装置情報取得機能は、記憶装置２０を参照することで、これら装置情報を取得することができる。また、ロット情報と同様に、外部装置または外部媒体に装置情報を記憶しておき、装置情報取得機能が、外部装置または外部媒体にアクセスすることで、外部装置または外部媒体から装置情報を取得する構成としてもよい。
演算装置１０の投入ロット編成機能は、ロット情報取得機能により取得したロット情報と、装置情報取得機能により取得した装置情報とに基づいて、処理装置２に投入する投入ロットＩＬの編成を行う。具体的には、投入ロット編成機能は、まず、ロットＬを処理装置２に投入できるか否かを、ロットＬごと、処理装置２ごとに判定する投入可否判定処理を行う。より具体的には、投入ロット編成機能は、処理装置２が稼働しているか（投入可否判定条件１）、処理装置２の処理終了時刻がロットＬの処理終了期限前であるか（投入可否判定条件２）、ロットＬに処理装置２の指定がある場合に、処理装置２が当該ロットＬの指定する処理装置であるか（投入可否判定条件３）、処理装置２のライフ内においてロットＬを処理できるか（投入可否判定条件４）、および、処理装置２の処理条件とロットＬの処理条件とが一致するか（投入可否判定条件５）、の投入可否判定条件をそれぞれ判定し、１つの投入可否判定条件でも満たさない場合には、ロットＬを処理装置２に投入しないと判定する。なお、投入可否判定処理の詳細については後述する。
また、投入ロット編成機能は、投入可否判定処理において投入可能と判定されたロットＬと処理装置２との組み合わせについて、ロットＬを処理装置２に投入する際の適合度を評価する適合度評価処理を行う。具体的には、投入ロット編成機能は、投入可能と判定されたロットＬと処理装置２との組み合わせについて、ロットＬを処理装置２で処理した場合の処理終了時刻（適合度評価条件１）、ロットＬを処理装置２に投入した場合の処理装置２の最終バッチ処理における充填率（適合度評価条件２）、いずれかのロットＬから指定されている処理装置２について、判定対象のロットＬが、処理装置２を指定するロットＬであるか（適合度評価条件３）、処理装置２のライフ帯がロットＬに適したライフ帯であるか（適合度評価条件４）、ロットＬを処理装置２に投入する場合に段取りが必要であるか（適合度評価条件５）、のいずれか２つ以上の適合度評価条件について判定を行い、適合度評価条件ごとに個別適合度を算出する。さらに、投入ロット編成機能は、算出した個別適合度の合計値や当該合計値を相対化した値を、適合度評価値として算出する。なお、適合度評価処理の詳細については後述する。
そして、投入ロット編成機能は、投入可否判定処理において投入可能と判定されたロットＬと処理装置２との複数の組み合わせのうち、適合度評価値が最も高い組み合わせを選出し、当該組み合わせにおけるロットＬを、当該組み合わせにおける処理装置２に割り当てる。そして、投入ロット編成機能は、処理装置２に未だ割り当てられていないロットＬについて、上述した投入可否判定処理と、適合度評価処理とを繰り返すことで、生産計画などで必要とされる分のロットＬの処理装置２への割り当てを行う。
演算装置１０の出力機能は、投入ロット編成機能により生成された投入ロットＩＬの編成情報を、外部出力装置３０に出力する。外部出力装置３０は、特に限定されず、モニターやタッチパネルディスプレイなどの表示装置、音声を出力する音声出力装置、プリンターなど編成情報を印刷する印刷装置など、ユーザに編成情報を把握させることができる装置が一例として挙げられる。また、外部出力装置３０は、編成情報を外部媒体に記憶するものや、搬送システムなどの外部システムに編成情報を伝達する装置であってもよい。本実施形態において、外部出力装置３０は、ディスプレイであり、投入ロットＩＬの編成情報を表示することで、どのロットＬをどの処理装置２に投入すればよいかをユーザに迅速に把握させることができる。
次に、本実施形態に係る投入ロット編成処理について説明する。図２は、本実施形態に係る投入ロット編成処理を示すフローチャートである。なお、以下に示す投入ロット編成処理は、投入ロット編成装置１の演算装置１０により実行される。また、以下に示す例では、ロットＬＡ〜ＬＣを、処理装置２Ａ〜２Ｃで処理する場面を例示して説明する。
図２に示すように、ステップＳ１では、演算装置１０のロット情報取得機能により、ロット情報の取得が行われる。本実施形態において、ロット情報には、ロットＬを構成するワークＷの大きさ、ロットサイズ（１ロット当たりのワークの枚数）、加熱温度や加熱時間などのワークＷの処理条件、ワークＷの処理に適した処理装置２のライフ帯、ロットＬの納期、ロットＬの滞留時間の情報が含まれる。
ここで、下記表１は、ロットＬＡ〜ＬＣのロット情報の一例を示す表である。たとえば、表１に示すように、ロットＬＡのロット情報に関し、ロットＬＡを構成するワークＷの大きさ（直径）が１５０ｍｍであり、１ロット当たりのワークＷの枚数が１７０枚であり、加熱温度や加熱時間などの処理条件が「処理条件１」であり、治具などのライフが「初期」である処理装置２で処理されることが望ましく、処理装置２の指定はないとの情報が得られる。また、ロットＬＡは、現在までの滞留時間が「長く」、納期が「８月３日１２時」となっているとのロット情報が得られる。
Figure 0006913429
ステップＳ２では、演算装置１０の装置情報取得機能により、処理装置２に関する装置情報が、記憶装置２０から取得される。本実施形態において、装置情報には、処理装置２が処理可能なワークＷの大きさ、１回の処理当たり（１バッチ当たり）の投入可能枚数、１バッチ当たりの処理時間、処理装置２のライフ情報、処理装置２が実行可能な処理条件（たとえば加熱温度や加熱時間など）などの、処理装置２の仕様を示す情報が含まれる。
ここで、下記表２は、処理装置２Ａ〜２Ｃの装置情報の一例を示す表である。たとえば、表２に示すように、処理装置２Ａの装置情報のうち、処理装置２Ａの仕様を示す情報として、処理装置２Ａが処理可能なワークＷの大きさ（直径）が「１５０ｍｍ」であり、１バッチ当たりの投入可能なワークＷの枚数が「１２０枚」であり、１バッチ当たりの処理時間が「３時間」であり、最大ライフ「ＮＡ」とライフ帯との関係（たとえば、バッチ回数が０．３×ＮＡ未満であればライフは「初期」であり、バッチ回数が０．３×ＮＡ以上かつ０．６×ＮＡ未満であればライフは「中期」であり、バッチ回数が０．６ＮＡ以上であればライフは「末期」である）、処理装置２Ａが実行可能な処理条件が「条件１」および「条件２」であるとの装置情報が得られる。なお、１バッチ当たりの処理時間は、処理装置２へのワークＷの出し入れの時間を含めた時間とすることができる。
Figure 0006913429
また、装置情報取得機能は、処理装置２のコンディションを示す情報も、装置情報として、記憶装置２０から取得する。処理装置２のコンディション示す情報としては、処理装置２の稼働状態、処理装置２に割り当てられたワークＷの通算枚数、最後バッチ処理におけるワークＷの割り当て済み枚数、最終バッチ処理における処理条件、最終バッチ処理の開始時刻、最終バッチ処理の終了時刻、最終バッチ処理終了時の処理装置２のライフ帯の情報が含まれる。
たとえば、表２に示す例において、装置情報取得機能は、処理装置２Ａについて、処理装置２の稼働状態が「稼働中」であり、割り当て済みのワークＷの通算枚数が「３００枚」であり、最後バッチ処理におけるワークＷの割り当て済み枚数が「６０枚」であり、最終バッチ処理における処理条件が「条件１」であり、最終バッチ処理の開始時刻が「８月１日２時」であり、最終バッチ処理の終了時刻が「８月１日５時」であり、最終バッチ処理終了時の処理装置２Ａのライフ帯が「初期」であるとの装置情報を取得することができる。
ステップＳ３では、投入ロット編成機能により、ステップＳ１で取得したロット情報およびステップＳ２で取得した装置情報に基づいて、ロット分割シミュレーションが行われる。ロット分割シミュレーションとは、ロットＬのロットサイズが、処理装置２の最終バッチの投入可能枚数よりも大きい場合などに、投入ロットＩＬを編成するために、ロットＬを複数のサブロットＳＬに分割することである。なお、ロット分割シミュレーションは、ロットＬと処理装置２との組み合わせごとに行われる。
たとえば、上記表１に示すロットＬＡ、および、上記表２に示す処理装置２Ａとの組み合わせについてロット分割シミュレーションを行う場面を説明する。上記表１に示すように、ロットＬＡはロットサイズが１７０枚である。また、上記表２に示すように、処理装置２Ａは１バッチ当たりの投入可能枚数が１２０枚であり、最終バッチ処理の割り当て済み枚数が６０枚である。そのため、処理装置２Ａには、ロットＬＡを投入することができるスペースがあることがわかる。
この場合、投入ロット編成機能は、ロットＬＡを処理装置２Ａに混成させることができるか否かを判定する。具体的には、投入ロット編成機能は、まず、処理装置２Ａに別のロットＬが既に投入されているかを判定する。そして、投入ロット編成機能は、処理装置２Ａに別のロットＬが既に投入されている場合には、たとえば下記に示す条件を満たす場合に、ロットＬＡを処理装置２Ａに混成できると判定することができる。すなわち、投入ロット編成機能は、たとえば、（１）処理装置２Ａが、ロットＬＡが要求する処理条件で処理を実行可能であり、（２）ロットＬＡのワークＷの大きさと処理装置２Ａの最終バッチ処理において処理可能なワークＷの大きさが一致し、（３）処理装置２Ａの最終バッチ処理に空きがあり（最終バッチ処理の充填率が１００％未満であり）、（４）ロットＬＡの処理条件と処理装置２Ａの最終バッチにおける処理条件とが一致する場合に、既に投入された別のロットＬと、ロットＬＡとは混成可能であると判定することができる。また、上記条件に加えて、加熱温度が一致する、加熱時間が一致する、ドーパント種が一致する、あるいは、抵抗が所定範囲内である場合に、混成可能であると判定する構成としてもよい。
そして、投入ロット編成機能は、処理装置２ＡにおいてロットＬＡを混成できると判定した場合には、処理装置２Ａの投入可能枚数の１２０枚から、既に割り当てられている最終バッチ処理のロットＬの６０枚を差し引いた、６０枚分のスペースにロットＬＡを割り当てる。また、ロットＬＡはロットサイズが１７０枚であるため、残りの１１０枚については、次回のバッチ処理として、処理装置２Ａに割り当てる。これにより、投入ロット編成機能は、下記表３に示すように、ロットＬＡを処理装置２Ａに投入する場合には、ロットＬＡを、１バッチ目の６０枚と、２バッチ目の１１０枚の２つのサブロットに分割するものとして算出し、そのシミュレーション結果を、記憶装置２０に記憶する。
Figure 0006913429
また、ロットＬＡを処理装置２Ｂに投入する場合のシミュレーションについて説明する。上記表２に示すように、処理装置２Ｂは、１バッチ当たりの投入可能枚数が１００枚であり、最終バッチ処理における割り当て済み枚数は５０枚であるため、最終バッチ処理におけるスペースに余裕があるが、処理装置２Ｂの最終バッチにおける処理条件が「条件２」でありロットＬＡの処理条件が「条件１」であるため、最終バッチ処理において割り当て済みのロットＬと投入候補のロットＬＡとを混成して処理することができない。そのため、投入ロット編成機能は、最終バッチ処理の次のバッチ処理から、ロットＬＡを処理装置２Ｂに投入する。この場合、処理装置２Ｂの１バッチ当たりの投入可能枚数は１００枚であるため、投入ロット編成機能は、１バッチ目のサブロットを１００枚と設定し、２バッチ目のサブロットを７０枚と設定する。このように、ロットＬＡを処理装置２Ｂに投入する場合、投入ロット編成機能は、ロットＬＡを、１バッチ目の１００枚と、２バッチ目の７０枚の２つのサブロットに分割するシミュレーションを行うこととなる。同様に、ロットＬＡと処理装置２Ｃとの組み合わせ、並びに、ロットＬＢ，ＬＣと処理装置２Ａ〜２Ｃの各組み合わせについてもシミュレーションを行い、必要な場合に、サブロットＳＬへの分割を行う。
さらに、ステップＳ３のロット分割シミュレーションにおいて、投入ロット編成機能は、ロットＬを複数のサブロットＳＬに分割した場合の、１バッチ目の処理開始時刻、最終バッチの処理開始時刻、最終バッチの処理終了時刻、最終バッチのサブロットＳＬを投入した際の処理装置２の充填率、および最終バッチ終了時の処理装置２のライフ帯についても、シミュレーションを行う。
たとえば、ロットＬＡを処理装置２Ａに投入する場合、上述したように、ロットＬＡは２つのサブロットＳＬＡ１，ＳＬＡ２に分割され、１バッチ目のサブロットＳＬＡ１が、表２に示す処理装置２Ａの最終バッチ処理において処理される。そのため、投入ロット編成機能は、ロットＬＡの１バッチ目の処理開始時刻を、表２に示す処理装置２Ａの最終バッチ処理の開始時刻である「８月１日２時」と算出することができる。また、ロットＬＡの２バッチ目のサブロットＳＬＡ２は、ロットＬＡの最終バッチ目のサブロットとなる。表２に示すように、処理装置２Ａの１バッチ当たりの処理時間は３時間であるため、投入ロット編成機能は、ロットＬＡの最終バッチ目（２バッチ目）のサブロットＳＬＡ２の処理開始時刻を、１バッチ目の処理開始時刻から３時間後の「８月１日５時」と算出し、また、最終バッチ目（２バッチ目）のサブロットＳＬＡ２の処理終了時刻をさらに３時間後の「８月１日８時」と算出する。さらに、投入ロット編成機能は、ロットＬＡの最終バッチ目（２バッチ目）のサブロットＳＬＡ２を投入した後の処理装置２Ａの充填率を１１０／１２０＝９１．７％と算出する。
さらに、ロット分割シミュレーションにおいて、投入ロット編成機能は、上記表３に示すように、ロットＬＡの最終バッチ終了時のライフ帯も算出する。ここで、処理装置２のライフ帯は、図２に示すように、ライフの最大値を所定のバッチ回数ＮＡで定めており、実行したバッチ回数に応じてライフが３段階で判断される。たとえば、表２に示す処理装置２Ａにおいては、最大ライフのバッチ回数ＮＡに対して、バッチ回数が０．３×ＮＡ回までを「初期（＜０．３ＮＡ）」、０．６×ＮＡ回までを「中期（＜０．６ＮＡ）、０．６×ＬＡ回以上を「末期（≧０．６ＮＡ）」としている。そのため、たとえば、処理装置２Ａの最大ライフがバッチ処理１００回である場合において、処理装置２ＡでロットＬＡを処理した後の処理装置２Ａのバッチ処理の通算回数が、３０回までである場合は「初期」と設定し、６０回までである場合は「中期」と設定し、６０回以上は「末期」と設定される。なお、ライフは治具の交換やメンテナンスで回復し、回復後は再度、バッチ処理の通算回数を０回としてライフが評価される。また、上記例では、ライフを３段階で評価する構成を例示したが、この構成に限定されず、２段階または４段階以上で評価する構成としてもよい。
ステップＳ４では、投入ロット編成機能により、投入可否判定処理が行われる。ここで、図３は、ステップＳ４の投入可否判定処理を示すフローチャートである。図３に示す投入可否判定処理では、各ロットＬについて、各処理装置２に投入できるか否かを、ロットＬごと、処理装置２ごとに判定される。そのため、ステップＳ４１では、まず、投入ロット編成機能により、投入可否判定処理の処理対象となるロットＬと処理装置２との組み合わせが特定される。なお、本実施形態では、投入可否判定処理の対象となるロットＬを判定対象ロットＬＴ１と称し、投入可否判定処理の対象となる処理装置２を判定対象装置２Ｔ１と称す。
ステップＳ４２では、投入ロット編成機能により、ステップＳ２で取得された判定対象装置２Ｔ１の装置情報に基づいて、判定対象装置２Ｔ１が稼働しているか否か（投入可否判定条件１）の判定が行われる。たとえば、判定対象装置２Ｔ１が上記表２に示す処理装置２Ａである場合、稼働状態が「稼働中」であるため、投入ロット編成機能は、判定対象装置２Ｔ１は稼働していると判定する。また、判定対象装置２Ｔ１が上記表２に示す処理装置２Ｃである場合、稼働状態は「停止中」であるため、投入ロット編成機能は、判定対象装置２Ｔ１は稼働していないと判定する。そして、投入ロット編成機能は、判定対象装置２Ｔ１が稼働していると判定した場合は、投入可否判定条件１のステータスを「ＹＥＳ」に設定し、判定対象装置２Ｔ１が稼働していないと判定した場合は、投入可否判定条件１のステータスを「ＮＯ」に設定し、判定結果を記憶装置２０に記憶する。
ステップＳ４３では、投入ロット編成機能により、判定対象ロットＬＴ１を判定対象装置２Ｔ１で処理した場合に、判定対象ロットＬＴ１の納期に間に合うか否か（投入可否判定条件２）の判定が行われる。具体的には、投入ロット編成機能は、ステップＳ３のロット分割シミュレーションで算出した判定対象ロットＬＴ１の複数のサブロットＳＬのうち最終バッチ目のサブロットＳＬの処理終了時刻と、ステップＳ１で取得したロット情報にある判定対象ロットＬＴ１の納期に応じた処理終了期限とを比較する。そして、投入ロット編成機能は、判定対象ロットＬＴ１の最終バッチ目のサブロットＳＬの処理終了時刻が判定対象ロットＬＴ１の処理終了期限よりも早い場合に、判定対象ロットＬＴ１の納期に間に合うと判定する。そして、投入ロット編成機能は、判定対象ロットＬＴ１を判定対象装置２Ｔ１で処理した場合に、判定対象ロットＬＴ１の納期に間に合うと判定した場合は、投入可否判定条件２のステータスを「ＹＥＳ」に設定し、一方、判定対象ロットＬＴ１の納期に間に合わないと判定した場合は、投入可否判定条件２のステータスを「ＮＯ」に設定し、設定した投入不可判定条件２のステータスを記憶装置２０に記憶する。
たとえば、上記表３に示す例において、判定対象ロットＬＴ１がロットＬＡであり、判定対象装置２Ｔ１が処理装置２Ａである場合、表３に示すように、ロットＬＡの最終バッチ目のサブロットＳＬＡ２の処理終了時刻が「８月１日８時」であり、表２に示す、ロットＬＡの納期である「８月３日１２時」よりも早い。そのため、投入ロット編成機能は、ロットＬＡを処理装置２Ａで処理した場合に、ロットＬＡの納期に間に合うと判定し、投入可否判定条件２のステータスを「ＹＥＳ」に設定する。
また、ステップＳ４４では、投入ロット編成機能により、判定対象ロットＬＴ１について処理装置２の指定があるか否か、および、判定対象装置２Ｔ１が判定対象ロットＬＴ１の指定する処理装置２であるか否か（投入可否判定条件３の判定）の判定が行われる。具体的に、投入ロット編成機能は、ステップＳ１で取得したロット情報に基づいて、判定対象ロットＬＴ１に、処理装置２の指定があるか判定する。また、判定対象ロットＬＴ１に処理装置２の指定がある場合には、投入ロット編成機能は、判定対象装置２Ｔ１が、判定対象ロットＬＴ１の指定する処理装置２であるか否かを判定する。そして、投入ロット編成機能は、判定対象ロットＬＴ１に処理装置２の指定がない場合、あるいは、判定対象装置２Ｔ１が判定対象ロットＬＴ１の指定する処理装置２である場合、投入可否判定条件３のステータスを「ＹＥＳ」に設定し、一方、判定対象ロットＬＴ１に処理装置２の指定があり、かつ、判定対象装置２Ｔ１が判定対象ロットＬＴ１の指定する処理装置２ではない場合には、投入可否判定条件３のステータスを「ＮＯ」に設定し、設定した投入不可判定条件３のステータスを記憶装置２０に記憶する。
たとえば、判定対象ロットＬＴ１がロットＬＡである場合、上記表１に示すように、ロットＬＡは処理装置２の指定がないため、投入ロット編成機能は、判定対象装置２Ｔ１が処理装置２Ａ〜２Ｃのいずれについても、投入可否判定条件３のステータスを「ＹＥＳ」に設定する。同様に、判定対象ロットＬＴ１がロットＬＢである場合も、処理装置２の指定がないため、処理装置２Ａ〜２Ｃのいずれについても、投入可否判定条件３のステータスが「ＹＥＳ」に設定される。一方、判定対象ロットＬＴ１がロットＬＣである場合、表１に示すように、ロットＬＣは処理装置２の指定があり、ロットＬＣを処理するための処理装置２として処理装置２Ａを指定している。そのため、投入ロット編成機能は、判定対象ロットＬＴ１がロットＬＣであり、判定対象装置２Ｔ１が処理装置２Ａである場合には、投入可否判定条件３のステータスを「ＹＥＳ」に設定し、判定対象装置２Ｔ１が処理装置２Ｂ，２Ｃの場合には、投入可否判定条件３のステータスを「ＮＯ」に設定する。
ステップＳ４５では、投入ロット編成機能により、判定対象装置２Ｔ１のライフ内において判定対象ロットＬＴ１を処理できるか否かの判定（投入可否判定条件４の判定）が行われる。具体的に、投入ロット編成機能は、まず、ステップＳ２で取得した装置情報に基づいて、判定対象装置２Ｔ１のライフを確認し、判定対象装置２Ｔ１で判定対象ロットＬＴ１を処理した場合に、判定対象装置２Ｔ１の処理回数が判定対象装置２Ｔ１の最大ライフを超えない場合には、判定対象装置２Ｔ１のライフ内において判定対象ロットＬＴ１を処理できると判定し、一方、判定対象装置２Ｔ１の処理回数が判定対象装置２Ｔ１の最大ライフを超える場合には、判定対象装置２Ｔ１のライフ内において判定対象ロットＬＴ１を処理できないと判定する。特に、本実施形態において、投入ロット編成機能は、判定対象ロットＬＴ１をサブロットＳＬに分割する場合は、複数のサブロットの全てを判定対象装置２Ｔ１のライフ内で処理可能であるかを判定する。そして、投入ロット編成機能は、判定対象装置２Ｔ１のライフ内において判定対象ロットＬＴ１を処理できると判定した場合には、投入可否判定条件４のステータスを「ＹＥＳ」と設定し、一方、判定対象装置２Ｔ１のライフ内において判定対象ロットＬＴ１を処理できないと判定した場合には、投入可否判定条件４のステータスを「ＮＯ」と設定し、設定した投入可否判定条件４のステータスを記憶装置２０に記憶する。
たとえば、上記表３に示す例において、判定対象ロットＬＴ１がロットＬＡであり、判定対象装置２Ｔ１が処理装置２Ａである場合、ステップＳ３のロット分割シミュレーションの結果、ロットＬＡを分割した複数のサブロットＳＬＡ１，ＳＬＡ２の最終バッチ処理における処理装置２Ａのライフは最大ライフＮＡに達していない「中期（＜０．６×ＮＡ）」として予測されている。この場合、投入ロット編成機能は、ロットＬＡの全てのサブロットＳＬＡ１，ＳＬＡ２を処理しても、処理装置２Ａの処理回数が最大ライフＮＡを超えないため、処理装置２Ａのライフ内でロットＬＡを処理可能であると判定し、投入可否判定条件４を「ＹＥＳ」に設定する。
ステップＳ４６では、投入ロット編成機能により、判定対象装置２Ｔ１の処理条件と、判定対象ロットＬＴ１の処理条件とが一致するか否かの判定が行われる。たとえば、本実施形態において、投入ロット編成機能は、加熱温度や加熱時間、ドーパントの種類、ドープ量（抵抗幅）、ガス組成や流量などの処理条件が一致するかを判定することができる。また、本実施形態において、投入ロット編成機能は、判定対象ロットＬＴ１のワークＷの大きさや形状と、判定対象装置２Ｔ１が処理可能なワークＷの大きさや形状とが一致するかも処理条件として判定することができる。投入ロット編成機能は、判定対象装置２Ｔ１の処理条件と判定対象ロットＬＴ１の処理条件とが一致すると判定した場合には、投入可否判定条件５のステータスを「ＹＥＳ」に設定し、一方、判定対象装置２Ｔ１の処理条件と判定対象ロットＬＴ１の処理条件とが一致しない場合には、投入可否判定条件５のステータスを「ＮＯ」に設定し、設定した投入可否判定条件５のステータスを記憶装置２０に記憶する。
たとえば、判定対象ロットＬＴ１がロットＬＡであり、判定対象装置２Ｔ１が処理装置２Ａである場合、表１に示すように、ロットＬＡの処理条件は「条件１」であり、表２に示すように、処理装置２Ａが実施可能な処理条件は「条件１、２」であるため、処理条件は一致し、また、ロットＬＡのワークＷの大きさが１５０ｍｍであり、処理装置２Ａの処理可能なワークＷの大きさも１５０ｍｍで一致するため、投入ロット編成機能は、ロットＬＡの処理条件と処理装置２Ａの処理条件とが一致すると判定し、投入可否判定条件５のステータスを「ＹＥＳ」に設定する。
このように、ステップＳ４２〜Ｓ４６において、投入可否判定条件１〜５の判定を行うことで、下記表４に示すように、判定対象ロットＬＴ１における、処理装置２ごとの投入可否判定条件１〜５のステータスが記憶装置２０に記憶されることとなる。なお、下記表４は、ロットＬＡにおける、処理装置２Ａ〜２Ｃの投入可否判定条件１〜５のステータスを示している。
Figure 0006913429
そして、ステップＳ４７では、投入ロット編成機能により、ステップＳ４１で特定された判定対象ロットＬＴ１について、全ての処理装置２を判定対象装置２Ｔ１として、ステップＳ４１〜Ｓ４６の処理が行われたか否かの判定が行われる。ステップＳ４１で特定された判定対象ロットＬＴ１について、全ての処理装置２を判定対象装置２Ｔ１としてステップＳ４１〜Ｓ４６の処理が行われた場合は、ステップＳ４８に進み、一方、全ての処理装置２を判定対象装置２Ｔ１としてステップＳ４１〜Ｓ４６の処理が行われていない場合は、ステップＳ４１に戻り、処理が行われてない処理装置２が新たに判定対象装置２Ｔ１として特定され、ステップＳ４２〜Ｓ４６の処理が行われる。
ステップＳ４８では、投入ロット編成機能により、全てのロットＬを判定対象ロットＬＴ１として、ステップＳ４１〜Ｓ４７の処理が行われたか否かの判定が行われる。全てのロットＬを判定対象ロットＬＴ１としてステップＳ４１〜Ｓ４７の処理が行われた場合は、図３に示す投入可否判定処理を終了し、図２に示すステップＳ５に進む。一方、全てのロットＬを判定対象ロットＬＴ１としてステップＳ４１〜Ｓ４７の処理が行われていない場合は、ステップＳ４１に戻り、処理が行われてないロットＬが新たに判定対象ロットＬＴ１として特定され、ステップＳ４１〜Ｓ４７の処理が行われる。
図２に戻り、ステップＳ５では、投入ロット編成機能により、各ロットＬについて、各処理装置２に投入した場合の適合度を評価する適合度算出処理が行われる。ここで、図４は、ステップＳ５の適合度評価処理を示すフローチャートである。図４に示す適合度評価処理では、複数の適合度評価条件のそれぞれについて、ロットＬを処理装置２に投入した際の個別適合度を求め、求めた各個別適合度に重み付けを行った後、重み付けした複数の個別適合度の合計値や、当該合計値を相対化した値（たとえば、０〜１の範囲内となるようにシグモイド関数を用いて導出した値）を、適合度評価値として算出する。
図４に示すように、ステップＳ５１では、まず、投入ロット編成機能により、各適合度評価条件に重み付けを行うための重みの取得が行われる。本実施形態において、適合度評価条件の重みは、階層分析法により、適合度評価条件ごとに予め決定され、記憶装置２０に記憶されている。ここで、本実施形態では、適合度評価条件として、（１）ロットＬを処理装置２で処理した場合の処理終了時刻、（２）ロットＬを処理装置２に投入した場合の処理装置２の最終バッチ処理における充填率、（３）いずれかのロットＬから指定されている処理装置２について、判定対象のロットＬが、処理装置２を指定するロットＬであるか、（４）処理装置２のライフ帯がロットＬに適したライフ帯であるか、（５）ロットＬを処理装置２に投入する場合に段取りが必要であるか、の５つの適合度評価条件が評価される。そのため、本実施形態では、階層分析法により、（１）〜（５）の適合度評価条件１〜５を１：１でそれぞれ比較し、比較する適合度評価条件のどちらを優先するかを５段階で評価することで、各適合度評価条件の重みを決定している。
たとえば、下記表５の先頭行に示すように、（１）の処理終了時刻に関する適合度評価条件１と（２）の最終バッチの充填率に関する適合度評価条件２とを比較する場合に、（１）の処理終了時刻に関する適合度評価条件１よりも、（２）の最終バッチの充填率に関する適合度評価条件２を大きく優先する場合には、（１）の適合度評価条件１について１点を付与し、（２）の適合度評価条件２について５点を付与する。また、下記表５の先頭から２行目に示すように、（１）の処理終了時刻に関する適合度評価条件１と（３）の処理装置２の指定に関する適合度評価条件３とを比較する場合に、（１）の処理終了時刻に関する適合度評価条件１よりも、（３）の処理装置２の指定に関する適合度評価条件３を小さく優先する場合には、（１）の適合度評価条件１について２点を付与し、（２）の適合度評価条件２について３点を付与する。
Figure 0006913429
そして、適合度評価条件ごとに付与した点数の合計点に応じて、（１）〜（５）の適合度評価条件１〜５の重みを決定する。本実施形態では、合計点が最も高い適合度評価条件の重みを１となるように、各適合度評価条件１〜５の重みを調整する。その結果、下記表６に示すように、（１）〜（５）の適合度評価条件１〜５の重みＷ１〜Ｗ５が決定され、記憶装置２０に記憶される。
Figure 0006913429
続いて、ステップＳ５２では、投入ロット編成機能により、評価対象ロットＬＴ２および評価対象装置２Ｔ２の選定が行われる。すなわち、図４に示す適合度評価処理でも、図３に示す投入可否判定処理と同様に、各ロットＬを各処理装置２に投入する場合の適合度が、ロットＬごと、処理装置２ごとに判定される。そのため、ステップＳ５２では、適合度評価処理の処理対象となるロットＬを評価対象ロットＬＴ２として特定し、適合度評価処理の処理対象となる処理装置２を評価対象装置２Ｔ２として特定する。
ステップＳ５３では、投入ロット編成機能により、ステップＳ４の投入可否判定処理の判定結果に基づいて、評価対象ロットＬＴ２を評価対象装置２Ｔ２に投入できるか否かの判定が行われる。投入ロット編成機能は、上記表４に示すように、記憶装置２０に記憶した、各評価対象ロットＬＴ２に対する各評価対象装置２Ｔ２の投入可否判定条件１〜５のステータスを参照し、投入可否判定条件１〜５のうち１つでもステータスが「ＮＯ」の条件がある場合には「投入不可」と判定し、投入可否判定条件１〜５の全てのステータスが「ＹＥＳ」の場合に「投入可」と判定する。そして、投入ロット編成機能は、評価対象ロットＬＴ２を評価対象装置２Ｔ２に投入できないと判定した場合には、適合度評価値を評価せずに、あるいは、適合度評価値を０と評価して、ステップＳ５１０に進み、評価対象ロットＬＴ２を評価対象装置２Ｔ２に投入できると判定した場合には、ステップＳ５４に進む。
ここで、上記表４では、ロットＬＡにおける処理装置２Ａ〜２Ｃの投入可否判定条件１〜５のステータスを示している。評価対象ロットＬＴ２がロットＬＡであり、評価対象装置２Ｔ２が処理装置２Ａまたは処理装置２Ｂである場合、投入ロット編成機能は、上記表４に基づいて、ロットＬＡを処理装置２Ａおよび処理装置２Ｂに投入できると判定し、ステップＳ５４に進む。一方、評価対象ロットＬＴ２がロットＬＡであり、評価対象装置２Ｔ２が処理装置２Ｃである場合に、投入ロット編成機能は、上記表４に基づいて、ロットＬＡを処理装置２Ｃに投入できないと判定し、ステップＳ５１０に進む。
ステップＳ５４では、投入ロット編成機能により、評価対象ロットＬＴ２の最終バッチの処理終了時刻（適合度評価条件１）に基づいて、評価対象ロットＬＴ２を評価対象装置２Ｔ２に投入した場合の個別適合度Ｆ１が評価される。具体的には、投入ロット編成機能は、まず、ステップＳ３でシミュレーションした、評価対象ロットＬＴ２を評価対象装置２Ｔ２に投入する場合における、評価対象ロットＬＴ２の最終バッチ処理の終了時間を参照し、最終バッチ処理の終了時刻が早いほど評価値Ｅ１を高く評価する。たとえば、投入ロット編成機能は、処理装置２として３つの処理装置がある場合、最終バッチ処理の終了時刻が最も早い処理装置２の評価値Ｅ１を１．０と評価し、最終バッチ処理の終了時刻が次に早い処理装置２の評価値Ｅ１を０．５と評価し、最終バッチ処理の終了時刻が最も遅い処理装置２の評価値Ｅ１を０．０と評価することができる。そして、投入ロット編成機能は、評価した評価値Ｅ１に、ステップＳ５１で取得した適合度評価条件１の重みＷ１を乗じることで、適合度評価条件１の個別適合度Ｆ１を算出する。
たとえば、上記表３に示す例において、評価対象ロットＬＴ２がロットＬＡである場合の最終バッチ処理の終了時刻は、処理装置２Ａが「８月１日８時」であり、処理装置２Ｂが「８月１日８時３０分」であり、処理装置２Ｃが「８月１日９時」である。そのため、投入ロット編成機能は、下記表７に示すように、最終バッチ処理の終了時刻が最も早い処理装置２Ａに投入する場合の適合度評価条件１の評価値Ｅ１を「１」と評価し、最終バッチ処理の終了時刻が次に早い処理装置２Ｂに投入する場合の適合度評価条件１の評価値Ｅ１を「０．５」と評価し、最終バッチ処理の終了時刻が最も遅い処理装置２Ｃに投入する場合の適合度評価条件１の評価値Ｅ１を「０」と評価する。さらに、投入ロット編成機能は、上記表６に示すように、適合度評価条件１の重みＷ１である０．７２を記憶装置２０から取得し、算出した評価値Ｅ１に、取得した適合度評価条件１の重みＷ１を乗じて、個別適合度Ｆ１を算出する。たとえば、下記表７に示すように、評価対象ロットＬＴ２がロットＬＡである場合において、評価対象装置２Ｔ２が処理装置２Ａである場合の適合度評価条件１の個別適合度Ｆ１は１×０．７２＝０．７２と算出され、評価対象装置２Ｔ２が処理装置２Ｂである場合には適合度評価条件１の個別適合度Ｆ１は０．５×０．７２＝０．３６と算出される。一方、評価対象装置２Ｔ２が処理装置２Ｃである場合には、上記表４に示すように、ロットＬＡを処理装置２Ｃに投入できないため（ステップＳ５３＝Ｎｏ）、個別適合度Ｆ１は算出されない（他の個別適合度Ｆ２〜Ｆ５も同様）。なお、表７は、ロットＬＡを処理装置２Ａ〜２Ｃに投入する場合の評価値Ｅ１〜Ｅ５、個別適合度Ｆ１〜Ｆ５および適合度評価値σの一例を示す。
Figure 0006913429
なお、適合度評価条件１の評価値Ｅ１は、上述したように、最終バッチ処理の終了時刻が早いほど高い評価値Ｅ１を付与するものであれば、上記構成に限定されず、たとえば、処理装置２がＮ台ある場合に最終バッチ処理の終了時刻がｉ番目に早い処理装置２の評価値Ｅ１を（Ｎ−ｉ）／（Ｎ−１）として算出する構成としてもよいし、あるいは、現在時刻から所定時間ｔ１後（たとえば２４時間後）までに終了する処理装置２の評価値Ｅ１を１．０と評価し、ｔ１よりも遅いｔ２後（たとえば４８時間後）までに終了する処理装置２の評価値Ｅ１を０．５と評価し、それ以上遅い処理装置２の評価値Ｅ１を０．０と評価することで、評価した適合度に適合度評価条件１の重みＷ１を乗じて、個別適合度Ｆ１を算出する構成とすることもできる。
ステップＳ５５では、投入ロット編成機能により、評価対象ロットＬＴ２を評価対象装置２Ｔ２に投入した場合の評価対象装置２Ｔ２の最終バッチ処理の充填率（適合度評価条件２）に基づいて、評価対象ロットＬＴ２を評価対象装置２Ｔ２に投入した場合の個別適合度Ｆ２が評価される。たとえば、本実施形態において、投入ロット編成機能は、ステップＳ３でシミュレーションした評価対象ロットＬＴ２を評価対象装置２Ｔ２に投入した場合の最終バッチ処理の充填率を、適合度評価条件２の評価値Ｅ２として算出する。そして、投入ロット編成機能は、評価した評価値Ｅ２に、ステップＳ５１で取得した適合度評価条件２の重みＷ２を乗じることで、適合度評価条件２の個別適合度Ｆ２を算出する。
たとえば、上記表３に示す例において、評価対象ロットＬＴ２がロットＬＡであり、評価対象装置２Ｔ２が処理装置２Ａである場合、最終バッチ処理の充填率は９１．７％であるため、投入ロット編成機能は、上記表７に示すように、０．９１７を適合度評価条件２の評価値Ｅ２として算出し、これに適合度評価条件２の重みＷ２である１．０を乗じて、適合度評価条件２の個別適合度Ｆ２を０．９１７として算出することができる。
ステップＳ５６では、投入ロット編成機能により、評価対象装置２Ｔ２を指定するロットＬの有無（適合度評価条件３）に基づいて、評価対象ロットＬＴ２を評価対象装置２Ｔ２に投入した場合の個別適合度Ｆ３が評価される。具体的に、投入ロット編成機能は、評価対象装置２Ｔ２を指定するロットＬがある場合に、当該ロットＬを評価対象装置２Ｔ２に優先して投入できるように、評価対象装置２Ｔ２を指定するロットＬがあるか、また、評価対象装置２Ｔ２を指定するロットＬがある場合には当該評価対象装置２Ｔ２が評価対象ロットＬＴ２の指定する処理装置２であるかを判定する。そして、投入ロット編成機能は、評価対象装置２Ｔ２を指定するロットＬがあり、かつ、評価対象装置２Ｔ２が評価対象ロットＬＴ２の指定する処理装置２である場合には、適合度評価条件３の評価値Ｅ３を「１」と評価する。また、投入ロット編成機能は、評価対象ロットＬＴ２に処理装置２の指定がない場合には、適合度評価条件３の評価値Ｅ３を「０」と評価する。そして、投入ロット編成機能は、評価した適合度評価条件３の評価値Ｅ３に、ステップＳ５１で取得した適合度評価条件３の重みＷ３を乗じることで、適合度評価条件３の個別適合度Ｆ３を算出する。
たとえば、上記表１に示すように、ロットＬＡは処理装置２の指定がないが、ロットＬＢは処理を実施する処理装置２として処理装置２Ａを指定している。そのため、評価対象ロットＬＴ２がロットＬＡであり、評価対象装置２Ｔ２が処理装置２Ａである場合、投入ロット編成機能は、ロットＬＡに処理装置２の指定がないと判定し、上記表７に示すように、適合度評価条件３の評価値Ｅ３を「０」として算出し、これに適合度評価条件３の重みＷ３である０．６０を乗じて、適合度評価条件３の個別適合度Ｆ３を「０」として算出する。一方、評価対象ロットＬＴ２がロットＬＢであり、評価対象装置２Ｔ２が処理装置２Ａである場合、投入ロット編成機能は、処理装置２Ａを指定するロットＬがあり、かつ、処理装置２ＡがロットＬＢの指定する処理装置２であると判定し、適合度評価条件３の評価値Ｅ３として「１」を算出し、これに適合度評価条件３の重みＷ３である０．６０を乗じて、適合度評価条件３の個別適合度Ｆ３を０．６として算出する。
なお、評価対象ロットＬＴ２に処理装置２の指定があり、評価対象ロットＬＴ２が評価対象ロットＬＴ２の指定する処理装置２でない場合は、ステップＳ４４において、投入可否判定条件３のステータスが「ＮＯ」に設定されるため、当該評価対象ロットＬＴ２と当該評価対象装置２Ｔ２との組み合わせについて、適合度の評価は行われない（ステップＳ５３＝Ｎｏ）。よって、たとえば、評価対象ロットＬＴ２がロットＬＢであり、評価対象装置２Ｔ２が処理装置２Ｂである場合には、適合度は評価されないこととなる。
ステップＳ５７では、投入ロット編成機能により、評価対象装置２Ｔ２のライフが評価対象ロットＬＴ２に適したライフ帯であるか（適合度評価条件４）の評価が行われる。たとえば、投入ロット編成機能は、評価対象装置２Ｔ２のライフが評価対象ロットＬＴ２に適したライフ帯である場合は、適合度評価条件４の評価値Ｅ４を「１」として評価し、評価対象装置２Ｔ２のライフが評価対象ロットＬＴ２に適したライフ帯ではない場合には、適合度評価条件４の評価値Ｅ４を「０」として評価する。そして、投入ロット編成機能は、評価した適合度評価条件４の評価値Ｅ４に、ステップＳ５１で取得した適合度評価条件４の重みＷ４を乗じて、適合度評価条件４の個別適合度Ｆ４を算出する。
たとえば、上記表３に示す例において、評価対象ロットＬＴ２がロットＬＡであり、評価対象装置２Ｔ２が処理装置２Ａである場合、上記表２に示す処理装置２Ａのライフが「初期」であり、上記表１に示すロットＬＡに適したライフ帯が「初期」であるため、投入ロット編成機能は、処理装置２ＡはロットＬＡに適したライフ帯であると判定し、上記表７に示すように、適合度評価条件４の評価値Ｅ４を「１」として評価し、これに適合度評価条件４の重みＷ４である０．５６を乗じて適合度評価条件４の個別適合度Ｆ４を０．５６と算出する。一方、評価対象ロットＬＴ２がロットＬＡであり、評価対象装置２Ｔ２が処理装置２Ｂである場合、上記表２に示す処理装置２Ｂのライフが「中期」であり、ロットＬＡに適したライフ帯が「初期」であるため、投入ロット編成機能は、処理装置２ＢはロットＬＡに適したライフ帯ではないと判定し、上記表７に示すように、適合度評価条件４の評価値Ｅ４を「０」として評価し、これに適合度評価条件４の重みＷ４である０．５６を乗じて適合度評価条件４の個別適合度Ｆ４を「０」と算出する。
なお、本実施形態では、上記表２を参照し、評価対象装置２Ｔ２のライフが、評価対象ロットＬＴ２に適したライフ帯であるか否かを判定しているが、この構成に限定されず、ステップＳ３でシミュレーションした最終バッチ処理の終了時のライフ帯の情報に基づいて、評価対象ロットＬＴ２のサブロットＳＬの最終バッチ処理の終了時のライフ帯が、評価対象ロットＬＴ２に適したライフ内である場合に、適合度評価条件４の評価値Ｅ４を「１」として評価する構成とすることもできる。
ステップＳ５８では、投入ロット編成機能により、評価対象ロットＬＴ２を評価対象装置２Ｔ２に投入する場合に、連続して処理を実行できるか（適合度評価条件５）が評価される。たとえば、投入ロット編成機能は、評価対象ロットＬＴ２を評価対象装置２Ｔ２に投入する場合、評価対象装置２Ｔ２の最終バッチ処理の処理条件に対して、処理条件を変える必要がある、段取りが必要であるなどの場合には、連続して処理できないと判定し、適合度評価条件５の評価値Ｅ５を「０」として評価する。一方、投入ロット編成機能は、評価対象装置２Ｔ２の最終バッチ処理の処理条件に対して、加熱温度が一致する、加熱時間が一致する、ドーパント種が一致する、抵抗が所定範囲内である、ガス組成および流量が一致するなど、連続して処理が行える場合には、適合度評価条件５の評価値Ｅ５を「１」として評価する。そして、投入ロット編成機能は、評価した適合度評価条件５の評価値Ｅ５に、ステップＳ５１で取得した適合度評価条件５の重みＷ５を乗じて、適合度評価条件５の個別適合度Ｆ５を算出する。
たとえば、上記表３に示す例において、評価対象ロットＬＴ２がロットＬＡであり、評価対象装置２Ｔ２が処理装置２Ａである場合、上記表２に示す処理装置２Ａの最終バッチ処理の処理条件が「条件１」であり、ロットＬＡの処理条件が「条件１」であるため、投入ロット編成機能は、ロットＬＡをそのまま連続して処理できると判定し、上記表７に示すように、適合度評価条件５の評価値Ｅ５を「１」として評価し、これに適合度評価条件５の重みＷ５である０．６９を乗じて適合度評価条件５の個別適合度Ｆ５を「０．６９」と算出する。一方、評価対象ロットＬＴ２がロットＬＡであり、評価対象装置２Ｔ２が処理装置２Ｂである場合、上記表２に示す処理装置２Ｂの最終バッチ処理の処理条件が「条件２」であり、ロットＬＡの処理条件が「条件１」であるため、投入ロット編成機能は、ロットＬＡをそのまま連続して処理できないと判定し、上記表７に示すように、適合度評価条件５の評価値Ｅ５を「０」として評価し、これに適合度評価条件５の重みＷ５である０．６９を乗じて適合度評価条件５の個別適合度Ｆ５を「０」と算出する。
ステップＳ５９では、投入ロット編成機能により、ステップＳ５４〜Ｓ５８で算出された、評価対象ロットＬＴ２を評価対象装置２Ｔ２に投入する場合の適合度評価条件１〜５の個別適合度Ｆ１〜Ｆ５に基づいて、評価対象ロットＬＴ２および評価対象装置２Ｔ２の組み合わせでの適合度評価値σが算出される。本実施形態において、投入ロット編成機能は、適合度評価条件１〜５の個別適合度Ｆ１〜Ｆ５の合計値Σ（Ｆｉ）をシグモイド関数ｆに入力することで、上記表７に示すように、個別適合度Ｆ１〜Ｆ５の合計値が高いほど数値が高くなるように、適合度評価値σを０〜１の数値で算出する。そして、投入ロット編成機能は、評価対象ロットＬＴ２および評価対象装置２Ｔ２の組み合わせに、当該組み合わせについて算出した適合度評価値Ｔ２を紐付けて、記憶装置２０に記憶する。なお、投入ロット編成機能は、適合度評価条件１〜５の個別適合度Ｆ１〜Ｆ５の合計値Σ（Ｆｉ）をそのまま適合度評価値σとして算出する構成することもできる。
そして、ステップＳ５１０では、投入ロット編成機能により、ステップＳ５２で特定された評価対象ロットＬＴ２について、全ての処理装置２を評価対象装置２Ｔ２として、ステップＳ５２〜Ｓ５９の処理が行われたか否かの判定が行われる。ステップＳ５２で特定された評価対象ロットＬＴ２と、全ての処理装置２との組み合わせにおいて、ステップＳ５２〜Ｓ５９の処理が行われた場合は、ステップＳ５１１に進む。一方、ステップＳ５２で特定された評価対象ロットＬＴ２と、全ての処理装置２との組み合わせについて、ステップＳ５２〜Ｓ５９の処理が行われていない場合は、ステップＳ５２に戻り、処理が行われてない処理装置２が新たに評価対象装置２Ｔ２として特定され、ステップＳ５２〜Ｓ５９の処理が行われる。
ステップＳ５１１では、投入ロット編成機能により、全てのロットＬについて、ステップＳ５２〜Ｓ５９の処理が行われたか否かの判定が行われる。全てのロットＬについてステップＳ５２〜Ｓ５９の処理が行われた場合は、図４に示す適合度評価処理を終了し、図２に示すステップＳ６に進む。一方、全てのロットＬについてステップＳ５２〜Ｓ５９の処理が行われていない場合は、ステップＳ５２に戻り、処理が行われてないロットＬが新たに評価対象ロットＬＴ２として特定され、ステップＳ５２〜Ｓ５９の処理が行われる。
図２に戻り、ステップＳ６では、投入ロット編成機能により、記憶装置２０に記憶したステップＳ５の適合度評価処理の結果を参照し、適合度評価値が最も高かったロットＬと処理装置２との組み合わせが特定される。そして、ステップＳ７は、投入ロット編成機能により、ステップＳ６で特定した組み合わせにおけるロットＬを処理装置２に割り当てる処理が行われる。
ステップＳ８では、投入ロット編成機能により、生産計画などにおいて必要とされる分のロットＬを処理装置２に割り当てたか否かの判断が行われる。必要な分のロットＬを処理装置２に割り当てた場合には、ステップＳ９に進む。一方、必要な分のロットＬを処理装置２に割り当てていない場合には、ステップＳ３に戻り、残りのロットＬについて、上述したロット分割シミュレーション処理（ステップＳ３）、投入可否判定処理（ステップＳ４）、および適合度評価処理（ステップＳ５）を含むステップＳ３〜Ｓ７の処理が繰り返し実行される。
ステップＳ９では、投入ロット編成機能により、納期に間に合わないロットＬがあるか否かの判断が行われる。納期に間に合わないロットＬがない場合には（ステップＳ９＝Ｎｏ）、ステップＳ１０に進み、演算装置１０の出力機能により、この投入ロット編成処理により生成した投入ロットＩＬの編成情報が、外部出力装置３０に出力される。本実施形態では、外部出力装置３０はモニターなどの表示装置であるため、外部出力装置３０により投入ロットＩＬの編成結果を表示することで、ユーザは、投入ロットＩＬの編成結果を把握することができる。一方、納期に間に合わないロットＬがある場合（ステップＳ９＝Ｙｅｓ）、ステップＳ１１に進み、全てのロットＬが納期に間に合うように、この投入ロット編成処理により生成した投入ロットＩＬの編成情報を調整する。この場合、作業者が、投入ロットＩＬの編成を手動で調整することができる。
以上のように、本実施形態に係る投入ロット編成装置１は、要求される処理条件が異なる複数のロットＬを、異なる処理条件の処理を実行する複数の処理装置２を用いて処理する場合において、処理装置２で同時に処理する複数のロットＬのまとまりを投入ロットＩＬとして処理装置ごとに編成するものであり、ロット情報および装置情報に基づいて、ロットＬと処理装置２との各組み合わせが投入可否判定条件に合致するか否かをそれぞれ判定し、投入可能と判定されたロットＬと処理装置２との各組み合わせについて、複数の適合度評価条件のそれぞれに対する適合度を個別適合度として適合度評価条件ごとに算出し、複数の個別適合度に基づいて、ロットＬを処理装置２で処理する場合の適合度評価値を算出し、適合度評価値が最も高い組み合わせにおけるロットＬを処理装置２に割り当てた後、再度、未割り当てのロットＬについて、投入可否判定と適合度評価値の算出とを繰り返すことで、処理装置２ごとの投入ロットＩＬを編成する。これにより、本実施形態に係る投入ロット編成装置１では、複数の適合度評価条件に適した投入ロットＩＬを迅速かつ高充填率で編成することができるという効果を奏することができる。ここで、図５は、本実施形態に係る投入ロット編成処理と従来の投入ロット編成処理での処理装置２の充填率を示すグラフであり、図６は、本実施形態に係る投入ロット編成処理および従来の投入ロット編成処理での編成時間を示すグラフである。従来は、作業者が手作業で投入ロットＩＬの編成を行っていたため、処理装置２の平均充填率は８９％と高い値となったが、投入ロットＩＬを編成するための編成時間は１時間以上かかっていた。これに対して、本実施形態に係る投入ロット編成処理では、処理装置２の充填率は従来よりもさらに高い９６％と向上することができたとともに、投入ロットＩＬを編成するための編成時間を１０分以内と大幅に低減することができた。
また、本実施形態では、投入可否判定条件として「判定対象ロットＬＴ１が指定する判定対象装置２Ｔ１であるか」や「判定対象装置２Ｔ１のライフ内で判定対象ロットＬＴ１を処理できるか」という、ロットＬによる処理装置２の指定や処理装置２のライフに関する条件を判定するとともに、適合度評価条件として「評価対象装置２Ｔ２を指定するロットＬがあるか、また、評価対象装置２Ｔ２が評価対象ロットＬＴ２の指定する処理装置２であるか」や「評価対象装置２Ｔ２のライフが評価対象ロットＬＴ２に適したライフ帯であるか」という、ロットＬによる処理装置２の指定や処理装置２のライフに関する条件を判定する。このように、本実施形態では、投入可否判定条件と適合度評価条件とが、同一の事項（たとえば、ロットＬによる処理装置２の指定や処理装置２のライフなどの事項）に関する条件を共通条件として有しており、これら共通条件をそれぞれ投入可否判定条件および適合度評価条件において判定することで、共通条件を満たすロットＬを、共通条件を満たす処理装置２に優先的に割り当てることが可能となる。
以上、本発明の好ましい実施形態例について説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施形態の記載に限定されるものではない。上記実施形態例には様々な変更・改良を加えることが可能であり、そのような変更または改良を加えた形態のものも本発明の技術的範囲に含まれる。
たとえば、上述した実施形態における投入可否判定条件に加えて、処理装置２についてワークＷの投入保留指示がある場合、当該処理装置２については、投入不可と判定する構成とすることができる。
また、上述した実施形態における適合度評価条件に代えて、あるいは上述した実施形態に係る適合度評価条件に加えて、評価対象ロットＬＴ２の納期の近さ、滞留日数の長さ、評価対象装置２Ｔ２への割り当て済み数の少なさ、または、評価対象ロットＬＴ２を処理した後に評価対象装置２Ｔ２で実行可能な残りバッチ数の多さ、を適合度評価条件として個別適合度を算出し、これら個別適合度をさらに加味して、適合度評価値を算出する構成とすることができる。具体的には、納期が近い、あるいは、滞留日数が長い評価対象ロットＬＴ２は、早めに処理することが好ましいため、投入ロット編成機能は、このような評価対象ロットＬＴ２の個別適合度を高く評価することができる。また、投入ロット編成機能は、割り当て済みのワークＷの数が少ない評価対象装置２Ｔ２ほど個別適合度を高く算出することで、処理装置２間の平準化を図ることができる。さらに、投入ロット編成機能は、評価対象ロットＬＴ２を投入した後に評価対象装置２Ｔ２が実行可能なバッチ数が多いほど、個別適合度を高く算出することができる。これにより、評価対象ロットＬＴ２を投入した後の充填率が低いが次の評価対象ロットＬＴ２を処理するにはバッチ数が足りず、充填率が少ないまま処理を実施しなくてはいけなくなってしまう事態を有効に防止することができる。さらに、投入ロット編成機能は、評価対象ロットＬＴ２を投入した後に、投入した評価対象ロットＬＴ２と同じ品種であり、かつ、未割り当てのロットＬを検索し、投入した評価対象ロットＬＴ２と同じ品種かつ未割り当てのロットＬがある場合には、このロットＬを評価対象装置２Ｔ２に投入した場合の評価対象装置２Ｔ２の充填率を算出し、充填率が低い場合には、個別適合度を低く設定する構成とすることもできる。これにより、同品種かつ未割り当てのロットＬが当該評価対象装置２Ｔ２に投入されるとは限らず、充填率の低い状態で次回の割り付け待ちになることを有効に防止することができる。
１…投入ロット編成装置
１０…演算装置
２０…記憶装置
３０…外部出力装置
４０…入力装置

Claims (9)

  1. 要求される処理条件が異なる複数のロットを、異なる処理条件の処理を実行する複数の処理装置を用いて処理する場合において、前記処理装置で同時に処理する前記複数のロットのまとまりを投入ロットとして前記処理装置ごとに編成することが可能な投入ロット編成装置であって、
    前記ロットに関するロット情報、および、前記処理装置に関する装置情報を取得する取得手段と、
    前記ロット情報および前記装置情報に基づいて、前記ロットと前記処理装置との各組み合わせが投入可否判定条件に合致するか否かをそれぞれ判定する投入可否判定手段と、
    前記ロット情報および前記装置情報に基づいて、前記投入可否判定手段により投入可能と判定された前記ロットと前記処理装置との各組み合わせについて、複数の適合度評価条件のそれぞれに対する適合度を個別適合度として前記適合度評価条件ごとに算出し、前記複数の個別適合度に基づいて、前記ロットを前記処理装置で処理する場合の適合度評価値を算出する適合度評価手段と、
    前記適合度評価手段により判定された複数の前記組み合わせの複数の前記適合度評価値に基づいて、前記複数の組み合わせのうち投入に最も適した単一の組み合わせを特定し、当該組み合わせにおける前記ロットを前記処理装置に割り当てた後、再度、未割り当ての前記ロットと前記ロットを割り当てた後の状態の前記処理装置との組み合わせについて、前記投入可否判定手段による投入可否判定と、前記適合度評価手段による前記適合度評価値の算出とを繰り返すことで、前記処理装置ごとに、前記投入ロットを編成する編成手段と、を有する、投入ロット編成装置。
  2. 前記投入可否判定手段は、前記処理装置が稼働しているか、前記ロットが指定する前記処理装置であるか、前記処理装置の処理条件と前記ロットの処理条件とが一致するか、前記ロットを構成するワークのサイズが前記処理装置で処理可能なサイズであるか、前記処理装置のライフ内において前記ロットを処理できるか、前記処理装置で前記ロットの納期に間に合うか、および、前記処理装置に対してロットの投入保留指示があるかのうち、いずれか１つ以上の前記投入可否判定条件に基づいて、前記ロットを前記処理装置で処理可能か否かを判定する、請求項１に記載の投入ロット編成装置。
  3. 前記適合度評価手段は、前記ロットを前記処理装置で処理した場合の処理終了時刻の早さ、前記ロットを前記処理装置で処理する場合の前記処理装置の充填率の高さ、前記ロットを前記処理装置で処理する場合に段取りが必要であるか、前記処理装置が前記ロットの指定する処理装置であるか、前記処理装置のライフが前記ロットに適したライフ帯であるか、前記ロットの納期の近さまたは滞留日数の長さ、前記処理装置への割り当て済み数の少なさ、前記ロットを処理した後の前記処理装置の残りバッチ数の多さ、のうちいずれか２つ以上の前記適合度評価条件について、前記個別適合度を評価する、請求項１または２に記載の投入ロット編成装置。
  4. 前記投入可否判定条件および前記適合度評価条件が、同一の事項に関する共通条件を有する、請求項１ないし３のいずれかに記載の投入ロット編成装置。
  5. 前記適合度評価手段は、前記適合度評価条件に対する前記個別適合度に、前記適合度評価条件ごとに定めた重み付けを行い、前記重み付けした前記複数の個別適合度に基づいて、前記ロットを前記処理装置で処理する場合の前記適合度評価値を算出する、請求項１ないし４のいずれかに記載の投入ロット編成装置。
  6. 前記適合度評価手段は、前記ロット情報に含まれる前記ロットに要求される処理条件および前記装置情報に含まれる前記処理装置が実行可能な処理条件に基づいて、前記ロットが当該ロットに適した処理装置で処理されるように、前記適合度評価条件ごとに前記複数の個別適合度を算出する、請求項１に記載の投入ロット編成装置。
  7. 前記ロットの全てのワークを前記処理装置の１回のバッチ処理で処理できない場合に、前記ロットをサブロットに分割するロット分割手段をさらに有し、
    前記投入可否判定手段は、前記サブロットの全てを前記処理装置で処理可能である場合に、前記ロットを前記処理装置に投入可能であると判定し、
    前記適合度評価手段は、前記サブロットの全てを前記処理装置で処理する場合の前記適合度評価値を算出する、請求項１ないし６のいずれかに記載の投入ロット編成装置。
  8. 要求される処理条件が異なる複数のロットを、異なる処理条件で処理する複数の処理装置を用いて処理する場合において、前記処理装置で同時に処理する前記複数のロットのまとまりを投入ロットとして前記処理装置ごとに編成することが可能な投入ロット編成方法であって、
    前記ロットに関するロット情報、および、前記処理装置に関する装置情報に基づいて、前記ロットと前記処理装置との各組み合わせが投入可否判定条件に合致するか否かをそれぞれ判定する投入可否判定工程と、
    前記ロット情報および前記装置情報に基づいて、前記投入可否判定工程において投入可能と判定された前記ロットと前記処理装置との各組み合わせについて、複数の適合度評価条件のそれぞれに対する適合度を個別適合度として前記適合度評価条件ごとに算出し、前記複数の個別適合度に基づいて、前記ロットを前記処理装置で処理する場合の適合度評価値を算出する適合度評価工程と、
    前記適合度評価工程において判定された複数の前記組み合わせの複数の前記適合度評価値に基づいて、前記複数の組み合わせのうち投入に最も適した単一の組み合わせを特定し、当該組み合わせにおける前記ロットを前記処理装置に割り当てた後、再度、未割り当ての前記ロットと前記ロットを割り当てた後の状態の前記処理装置との組み合わせについて、前記投入可否判定工程による投入可否判定と、前記適合度評価工程による前記適合度評価値の評価とを繰り返すことで、前記処理装置ごとに、前記投入ロットを編成する編成工程と、を有する、投入ロット編成方法。
  9. コンピューターを用いて、
    要求される処理条件が異なる複数のロットを、異なる処理条件で処理する複数の処理装置を用いて処理する場合において、前記処理装置で同時に処理する前記複数のロットのまとまりを投入ロットとして前記処理装置ごとに編成することが可能な投入ロット編成用プログラムであって、
    前記ロットに関するロット情報、および、前記処理装置に関する装置情報に基づいて、前記ロットと前記処理装置との各組み合わせが投入可否判定条件に合致するか否かをそれぞれ判定する投入可否判定ステップと、
    前記ロット情報および前記装置情報に基づいて、前記投入可否判定ステップにおいて投入可能と判定された前記ロットと前記処理装置との各組み合わせについて、複数の適合度評価条件のそれぞれに対する適合度を個別適合度として前記適合度評価条件ごとに算出し、前記複数の個別適合度に基づいて、前記ロットを前記処理装置で処理する場合の適合度評価値を算出する適合度評価ステップと、
    前記適合度評価ステップにおいて判定された複数の前記組み合わせの複数の前記適合度評価値に基づいて、前記複数の組み合わせのうち投入に最も適した単一の組み合わせを特定し、当該組み合わせにおける前記ロットを前記処理装置に割り当てた後、再度、未割り当ての前記ロットと前記ロットを割り当てた後の状態の前記処理装置との組み合わせについて、前記投入可否判定ステップによる投入可否判定と、前記適合度評価ステップによる前記適合度評価値の評価とを繰り返すことで、前記処理装置ごとに、前記投入ロットを編成する編成ステップと、を有する、投入ロット編成用プログラム。
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