JP6911646B2 - How to arrange long parts and tray - Google Patents
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Description
本願の開示する技術は、長尺部品の整列方法及びトレイに関する。 The techniques disclosed in the present application relate to a method of arranging long parts and a tray.
従来、複数の部品をトレイに整列させる部品の整列方法が種々考案されている(例えば、特許文献1、2参照)。 Conventionally, various methods for arranging parts for arranging a plurality of parts on a tray have been devised (see, for example, Patent Documents 1 and 2).
複数の部品としての複数の長尺部品をトレイに整列させる長尺部品の整列方法では、向きを揃えて複数の長尺部品を一括して整列させたい場合がある。 In the method of aligning a plurality of long parts as a plurality of parts on a tray, there is a case where it is desired to align a plurality of long parts in a batch by aligning the orientations.
本願の開示する技術は、一つの側面として、向きを揃えて複数の長尺部品を一括して整列させることができるようにすることを目的とする。 One aspect of the technique disclosed in the present application is to be able to align a plurality of long parts in a batch.
本願の開示する技術の一観点によれば、以下の長尺部品の整列方法が提供される。すなわち、この長尺部品の整列方法では、トレイに設けられた仮置き面に、複数の長尺部品を側面が横向きの状態でそれぞれ仮置きする。次いで、トレイを傾斜させることにより、仮置き面に隣接して一段高く設けられた段差面の端側の角部を支点として、複数の長尺部品を側面が下向きになるように軸方向周りに回転させる。そして、段差面に対する仮置き面と反対側に段差面と隣接して設けられた収容凹部の内側に、側面が下向きのまま、複数の長尺部品をそれぞれ落下させる。 According to one aspect of the technique disclosed in the present application, the following method of arranging long parts is provided. That is, in this method of arranging the long parts, a plurality of long parts are temporarily placed on the temporary placement surface provided on the tray with the side surfaces facing sideways. Next, by inclining the tray, a plurality of long parts are placed around the axial direction so that the side surfaces face downward, with the corners on the end side of the stepped surface provided one step higher adjacent to the temporary placement surface as fulcrums. Rotate. Then, a plurality of long parts are dropped inside the accommodating recess provided adjacent to the stepped surface on the side opposite to the temporarily placed surface with respect to the stepped surface, with the side surface facing downward.
本願の開示する技術によれば、向きを揃えて複数の長尺部品を一括して整列させることができる。 According to the technique disclosed in the present application, a plurality of long parts can be aligned at once in the same direction.
例えば、光学部品である長尺部品の製造方法では、長尺部品の側面にスパッタ成膜を施す工程が含まれることがある。この工程に際し、移載元トレイから複数の長尺部品を一つずつピンセットで取り出して移載先トレイに移し変えて整列させる場合には、長尺部品の移動中に長尺部品が落下して損傷し、歩留まりが低下する虞がある。 For example, a method for manufacturing a long component, which is an optical component, may include a step of forming a sputter film on the side surface of the long component. In this process, when multiple long parts are taken out one by one from the transfer source tray with tweezers, transferred to the transfer destination tray and aligned, the long parts fall during the movement of the long parts. It may be damaged and the yield may decrease.
そこで、移載元トレイの上に移載先トレイを重ね合わせ、移載元トレイ及び移載先トレイを上下反転させて、複数の長尺部品を一括して移載先トレイに移し変えて整列させる方法が検討される。 Therefore, the transfer destination tray is superposed on the transfer source tray, the transfer source tray and the transfer destination tray are turned upside down, and a plurality of long parts are collectively transferred to the transfer destination tray and arranged. The method of making it is considered.
しかしながら、長尺部品の上面が微細構造面である場合、長尺部品の上面をピンセットで触れることはできない。そのため、長尺部品の上面を上向き又は下向きにする必要があり、移載元トレイには複数の長尺部品が側面を横向きにして収容される。 However, when the upper surface of the long component is a microstructure surface, the upper surface of the long component cannot be touched with tweezers. Therefore, it is necessary to turn the upper surface of the long component upward or downward, and the transfer source tray accommodates a plurality of long components with the side surface facing sideways.
したがって、移載元トレイ及び移載先トレイを上下反転させるだけでは、側面を下向きに揃えた状態で複数の長尺部品を移載先トレイに一括して整列させることはできない。このため、側面を下向きに揃えた状態で複数の長尺部品を移載先トレイに一括して整列させることが望まれる。 Therefore, it is not possible to collectively align a plurality of long parts on the transfer destination tray with the side surfaces aligned downward by simply turning the transfer source tray and the transfer destination tray upside down. Therefore, it is desired that a plurality of long parts are collectively aligned on the transfer destination tray with the side surfaces aligned downward.
以下、本願の開示する技術の一実施形態として、側面を下向きに揃えた状態で複数の長尺部品を移載先トレイに一括して整列させることができる長尺部品の整列方法を説明する。なお、本実施形態では、一例として、長尺部品の側面にスパッタ成膜を施す工程に際し、複数の長尺部品を移載先トレイに一括して整列させる長尺部品の整列方法を説明する。 Hereinafter, as an embodiment of the technique disclosed in the present application, a method of arranging long parts capable of collectively arranging a plurality of long parts on a transfer destination tray with the side surfaces aligned downward will be described. In this embodiment, as an example, a method of arranging long parts in which a plurality of long parts are collectively aligned on a transfer destination tray in a step of applying a sputtering film formation to a side surface of the long parts will be described.
(治具10及び移載元トレイ40)
図1は、本実施形態における治具10及び移載元トレイ40の斜視図である。図1に示されるように、本実施形態に係る長尺部品の整列方法には、治具10及び移載元トレイ40が使用される。
(Jig 10 and transfer source tray 40)
FIG. 1 is a perspective view of the
治具10は、土台12と、複数の脚部14と、支持部16と、可動部18と、回転部20とを有する。土台12は、四角板状に形成されている。複数の脚部14は、土台12の四隅に配置され、土台12の裏側に向けて延びている。複数の脚部14によって支持されることにより、土台12は、水平に配置される。
The
支持部16は、土台12の表側に設けられている。可動部18の一端部18Aは、水平方向に延びる第一回転軸22によって支持部16に回転可能に連結されており、これにより、可動部18は、支持部16に対して第一回転軸22の軸方向回りに回転可能に支持されている。
The
土台12には、可動部18の他端部18Bが下側に移動するように可動部18が傾斜した場合に可動部18が挿入される開口24が形成されている。図1では、可動部18と土台12との間にストッパ部材26が介在されることにより、可動部18は、土台12の上方に配置され、水平に保たれている。可動部18の他端部18Bには、可動部18を傾斜させるための傾斜ツマミ28が設けられている。
The
回転部20の一端部20A及び他端部20Bは、水平方向に延びる一対の第二回転軸30によって可動部18に回転可能に連結されており、これにより、回転部20は、可動部18に対して一対の第二回転軸30の軸方向回りに回転可能に支持されている。一対の第二回転軸30は、同軸上に配置されている。一対の第二回転軸30の軸方向は、平面視で第一回転軸22の軸方向と直交する。一方の第二回転軸30には、回転部20を回転させるための回転ツマミ32が一体に設けられている。
One
回転部20は、より具体的には、一対の第二回転軸30の軸方向を長手方向とする長方形の枠体より形成されている。この回転部20には、一例として、二つの移載元トレイ40を一対の第二回転軸30の軸方向に並べて取り付けることができるようになっている。回転部20には、後述する移載先トレイ70(図11参照)を固定するための複数の固定部34が設けられている。
More specifically, the rotating
(移載元トレイ40及び複数の長尺部品60)
図2は、図1に示される移載元トレイ40の斜視図であって、移載元トレイ40に複数の長尺部品60が収容された状態を示す図であり、図3は、図2に対応する移載元トレイ40の二面図(平面図及び縦断面図)である。
(Transfer source tray 40 and a plurality of long parts 60)
FIG. 2 is a perspective view of the
図2、図3に示されるように、移載元トレイ40は、概略平盤状に形成されている。この移載元トレイ40は、より具体的には、板状のベース部42と、このベース部42の表側に突出する凸部44とを有する。凸部44には、複数の長尺部品60が収容される複数の溝46が並列して設けられている。
As shown in FIGS. 2 and 3, the
溝46の長手方向の一端部46A及び他端部46Bは、平面視で円弧状に形成されており、閉塞されている。溝46の長手方向の一端部と他端部との間には、平面視で直線状に延びる一対の側面部46C、46Dが形成されている。
One
溝46において、一方の側面部46Cと一端部46Aとの接続部46Eは、一方の側面部46Cとで第一突き当て部48を形成している。この第一突き当て部48は、長尺部品60を、移載元トレイ40に対して矢印X1側及び矢印Y1側に位置決めするものである。矢印X1側は、複数の長尺部品60の並列方向の一方側に相当し、矢印Y1側は、長尺部品60の軸方向の一方側に相当する。
In the
(長尺部品60)
図4は、図2、図3に示される長尺部品60の斜視図である。長尺部品60は、一例として、光学部品である。この長尺部品60は、断面四角形状の一例として、断面矩形状に形成されており、一対の側面60Aと、上面60Bと、下面60Cとを有する。長尺部品60の上面60Bは、光路や電極等が形成された微細構造面である。長尺部品60の軸方向の両端部には、上側に突出する突出部62が形成されている。
(Long part 60)
FIG. 4 is a perspective view of the
図2、図3に示されるように、複数の長尺部品60は、複数の溝46にそれぞれ収容されることにより並列して配置される。この複数の長尺部品60の並列方向は、平面視で複数の長尺部品60の軸方向と直交する方向である。また、複数の長尺部品60は、一例として、上面60Bが上向きの状態で移載元トレイ40に収容される。
As shown in FIGS. 2 and 3, the plurality of
(移載先トレイ70及び複数の長尺部品60)
図5は、本実施形態における移載先トレイ70の斜視図であって、移載先トレイ70に複数の長尺部品60が整列された状態を示す図である。また、図6は、図5に対応する移載先トレイ70の二面図(平面図及び縦断面図)であり、図7は、図6に示される移載先トレイ70単体の二面図(平面図及び縦断面図)である。
(
FIG. 5 is a perspective view of the
図5〜図7に示されるように、本実施形態に係る長尺部品の整列方法には、移載先トレイ70が使用される。移載先トレイ70には、後に詳述するように、上述の移載元トレイ40(図2参照)から複数の長尺部品60が移し変えられ、この複数の長尺部品60が側面60Aを下向きに揃えた状態で整列される。この移載先トレイ70における複数の長尺部品60の整列方向は、平面視で複数の長尺部品60の軸方向と直交する方向に相当する。移載先トレイ70は、「トレイ」の一例であり、本実施形態では、スパッタ成膜用の治具として使用される。
As shown in FIGS. 5 to 7, the
この移載先トレイ70は、上側に開口する凹部72を有する。この凹部72は、上述の移載元トレイ40の凸部44(図2、図3参照)を挿入可能な大きさ及び形状を有している。図7に示されるように、移載先トレイ70に形成された凹部72の底部72Aには、底部72Aの厚さ方向に貫通する開口74が形成されている。この開口74は、下向きとされた側面60Aにスパッタ成膜を施すためのものであり、側面60Aは、開口74を通じて移載先トレイ70の下側に露出される。
The
また、凹部72の底部72Aには、複数の長尺部品60を整列させる複数の整列部76が設けられている。この複数の整列部76は、より具体的には、底部72Aにおける開口74を挟んだ両側にそれぞれ設けられた第一整列部76A及び第二整列部76Bをそれぞれ有している。複数の整列部76は、同一の形状である。各整列部76は、上述の移載元トレイ40の溝46に挿入可能な大きさ及び形状を有する凸状に形成されている。
Further, the
図6、図7に拡大して示されるように、各整列部76は、仮置き面78と、段差面80と、縦面82と、収容凹部84と、ガイド部86とを有する。仮置き面78は、上側を向いており、段差面80は、仮置き面78に隣接して一段高く設けられている。縦面82は、仮置き面78と段差面80との間に形成されており、整列部76の高さ方向に延びている。段差面80と縦面82との接続部、つまり、段差面80の端側には、直角を成す角部88が形成されている。
As shown enlarged in FIGS. 6 and 7, each
収容凹部84は、段差面80に対する仮置き面78と反対側に段差面80と隣接して設けられており、上側に開口している。収容凹部84の開口84Aは、段差面80と同じ高さに形成されており、段差面80と連続している。ガイド部86は、収容凹部84の開口84Aの周縁部における段差面80と反対側の縁部に形成されており、収容凹部84の開口84Aに対して上側に突出している。
The
収容凹部84には、側面60Aが下向きの状態で長尺部品60が落下して収容される。この収容凹部84は、側面60Aが下向きの状態の長尺部品60の高さ寸法Hよりも幅広に形成されている。後に詳述するように、仮置き面78には、側面60Aが横向きの状態で長尺部品60が仮置きされる(図20参照)。仮置き面78は、長尺部品60の幅寸法Wよりも幅広に形成されており、仮置き面78に対する段差面80の高さは、長尺部品60の高さ寸法Hの半分よりも低く設定されている。
The
また、収容凹部84の長さ方向の両端部には、凹部90が形成されている。この凹部90は、長尺部品60の軸方向の両端部に形成された突出部62を挿入可能な大きさ及び形状を有している。
Further, recesses 90 are formed at both ends of the
また、各整列部76には、第二突き当て部50が形成されている。第二突き当て部50は、長尺部品60を、移載先トレイ70に対して矢印Y2側に位置決めするものであり、仮置き面78の矢印Y2側の端部に位置し、矢印Y1側を向く面で形成されている。矢印Y1側は、長尺部品60の軸方向の一方側に相当し、矢印Y2側は、長尺部品60の軸方向の他方側に相当する。
Further, a second abutting
図8は、図6に示される長尺部品60と移載先トレイ70の収容凹部84との形状を比較する説明図である。(A)は長尺部品60を示し、(B)は収容凹部84を示している。図8に示されるように、長尺部品60に形成された突出部62の突出方向の寸法Aは、収容凹部84に形成された凹部90の深さ方向の寸法Bよりも大きい寸法に設定されている。これにより、側面が下向きの状態で長尺部品60が収容凹部84に収容され、突出部62の突端面62Aが凹部90の底面90Aに突き当たった状態では、長尺部品60の微細構造面である上面60Bが収容凹部84の側面84Bに当たることが回避される。
FIG. 8 is an explanatory diagram comparing the shapes of the
次に、本実施形態に係る長尺部品の整列方法について説明する。 Next, a method of arranging long parts according to the present embodiment will be described.
本実施形態に係る長尺部品の整列方法は、複数の工程を備える。この複数の工程には、「移載元トレイ組付工程」、「移載元トレイに対する長尺部品の位置決め工程」、「トレイ重ね合わせ工程」、「移載先トレイに対する長尺部品の位置決め工程」、「上下反転・傾斜工程」、及び、「長尺部品整列工程」が含まれる。以下、各工程を順に説明する。 The method of arranging long parts according to the present embodiment includes a plurality of steps. These multiple processes include "transfer source tray assembly process", "positioning process of long parts with respect to transfer source tray", "tray stacking process", and "positioning process of long parts with respect to transfer destination tray". , "Upside down / tilting process", and "long part alignment process" are included. Hereinafter, each step will be described in order.
(移載元トレイ組付工程)
図9は、本実施形態に係る長尺部品の整列方法における「移載元トレイ組付工程」を治具10の斜視図にて説明する図である。図9に示されるように、「移載元トレイ組付工程」では、二つの移載元トレイ40が一対の第二回転軸30の軸方向に並べられた状態で回転部20に取り付けられる。
(Transfer source tray assembly process)
FIG. 9 is a diagram illustrating a “transfer source tray assembly step” in the method of arranging long parts according to the present embodiment with a perspective view of the
なお、複数の長尺部品60は、予め移載元トレイ40に並列した状態で収容される。この複数の長尺部品60の並列方向は、複数の長尺部品60の軸方向と直交する方向である。移載元トレイ40には、例えばピンセットを用いて複数の長尺部品60が一つずつ収容される。
The plurality of
ここで、長尺部品60の上面60Bは、微細構造面であるため、長尺部品60の上面60Bをピンセットで触れることはできない。そのため、長尺部品60の上面60Bを上向き又は下向きにする必要がある。本実施形態では、一例として、複数の長尺部品60は、上面60Bが上向きの状態(換言すれば、側面60Aが横向きの状態)で移載元トレイ40に収容される。
Here, since the
(移載元トレイに対する長尺部品の位置決め工程)
図10は、本実施形態に係る長尺部品の整列方法における「移載元トレイに対する長尺部品の位置決め工程」を治具10の斜視図にて説明する図である。図10に示されるように、「移載元トレイに対する長尺部品の位置決め工程」では、回転部20と共に移載元トレイ40が水平な状態から傾斜される。
(Positioning process of long parts with respect to the transfer source tray)
FIG. 10 is a diagram for explaining the “positioning step of the long parts with respect to the transfer source tray” in the method of arranging the long parts according to the present embodiment with a perspective view of the
このとき、可動部18の他端部18Bが上側に移動するように可動部18が傾斜されると共に、回転部20が回転されることにより、移載元トレイ40が傾斜される。可動部18の傾斜は、作業者が傾斜ツマミ28を操作することにより実行され、回転部20の回転は、作業者が回転ツマミ32を操作することにより実行される。
At this time, the
図15は、図10に示される「移載元トレイに対する長尺部品の位置決め工程」を移載元トレイ40の斜視図及び拡大平面図にて説明する図である。また、図16は、図10に示される「移載元トレイに対する長尺部品の位置決め工程」を移載元トレイ40の縦断面図にて説明する図である。
FIG. 15 is a diagram illustrating the “step of positioning a long component with respect to the transfer source tray” shown in FIG. 10 with a perspective view and an enlarged plan view of the
図15、図16に示されるように、移載元トレイ40が傾斜されると、溝46に収容されている長尺部品60が溝46内を移動する。そして、この長尺部品60が、溝46における一方の側面部46Cと一端部46Aとの接続部46Eと、一方の側面部46Cとによって形成された第一突き当て部48に突き当てられる。これにより、長尺部品60が移載元トレイ40に対して矢印X1側及び矢印Y1側に位置決めされる。矢印X1側は、複数の長尺部品60の並列方向の一方側に相当し、矢印Y1側は、長尺部品60の軸方向の一方側に相当する。
As shown in FIGS. 15 and 16, when the
(トレイ重ね合わせ工程)
図11は、本実施形態に係る長尺部品の整列方法における「トレイ重ね合わせ工程」を治具10の斜視図にて説明する図である。図11に示されるように、「トレイ重ね合わせ工程」では、移載元トレイ40の上に、移載先トレイ70が重ね合わされる。移載先トレイ70は、複数の固定部34によって回転部20に固定される。
(Tray stacking process)
FIG. 11 is a diagram illustrating a “tray stacking step” in the method of arranging long parts according to the present embodiment with a perspective view of the
図17は、図11に示される「トレイ重ね合わせ工程」を移載元トレイ40及び移載先トレイ70の二面図(平面図及び縦断面図)にて説明する図である。図17に示されるように、「トレイ重ね合わせ工程」では、長尺部品60が移載元トレイ40に対して矢印X1側及び矢印Y1側に位置決めされた状態で、移載元トレイ40の上に移載先トレイ70が重ね合わされる。
FIG. 17 is a diagram for explaining the “tray stacking step” shown in FIG. 11 with two views (plan view and vertical cross-sectional view) of the
この「トレイ重ね合わせ工程」では、長尺部品60が移載元トレイ40に対して矢印X1側及び矢印Y1側に位置決めされることにより、長尺部品60が移載先トレイ70に形成されたガイド部86よりも仮置き面78側(矢印X1側)に配置される。そして、これにより、壁状のガイド部86と長尺部品60との干渉が回避される。
In this "tray stacking step", the
(移載先トレイに対する長尺部品の位置決め工程)
図12は、本実施形態に係る長尺部品の整列方法における「移載先トレイに対する長尺部品の位置決め工程」を治具10の斜視図にて説明する図である。図12に示されるように、「移載元トレイに対する長尺部品の位置決め工程」では、移載元トレイ40(図11参照)の上に移載先トレイ70が重ね合わされた状態で、移載元トレイ40及び移載先トレイ70が水平な状態から傾斜される。
(Positioning process of long parts with respect to the transfer destination tray)
FIG. 12 is a diagram for explaining the “positioning step of the long parts with respect to the transfer destination tray” in the method of arranging the long parts according to the present embodiment with a perspective view of the
このとき、可動部18の他端部18Bが下側に移動するように可動部18が傾斜されると共に、回転部20が回転されることにより、移載元トレイ40及び移載先トレイ70が傾斜される。可動部18の傾斜は、作業者が傾斜ツマミ28を操作することにより実行され、回転部20の回転は、作業者が回転ツマミ32を操作することにより実行される。可動部18の他端部18Bが下側に移動するように可動部18が傾斜される際には、ストッパ部材26が取り除かれ、可動部18が開口24に挿入される。
At this time, the
図18は、図12に示される「移載先トレイに対する長尺部品の位置決め工程」を移載元トレイ40及び移載先トレイ70の斜視図及び拡大平面図にて示す図である。また、図19は、図12に示される「移載先トレイに対する長尺部品の位置決め工程」を移載元トレイ40及び移載先トレイ70の二面図(平面図及び縦断面図)にて説明する図である。
FIG. 18 is a view showing the “step of positioning a long component with respect to the transfer destination tray” shown in FIG. 12 in a perspective view and an enlarged plan view of the
図18に示されるように、上述の移載先トレイ70と共に移載元トレイ40が傾斜されると、溝46に収容されている長尺部品60が溝46内を移動する。そして、この長尺部品60が、図19に示される第二突き当て部50に突き当てられる。これにより、長尺部品60が移載先トレイ70に対して矢印Y2側に位置決めされる。矢印Y2側は、長尺部品60の軸方向の他方側に相当する。
As shown in FIG. 18, when the
このように長尺部品60が第二突き当て部50に突き当てられると、図19に示されるように、長尺部品60が収容凹部84の真横に位置した状態で仮置き面78と対向する位置に位置決めされる。
When the
なお、移載元トレイ40及び移載先トレイ70が重ね合わされた状態において、溝46の底面と仮置き面78との間の寸法Gは、上面60Bが上向きの状態の長尺部品60の高さ寸法Hよりも僅かに大きく設定されている。この寸法Gは、移載元トレイ40の上に移載先トレイ70が重ね合わされた状態において、長尺部品60の軸方向周りの回転(矢印R方向の回転)を移載元トレイ40の仮置き面78によって規制し得る程度に設定されている。
In the state where the
(上下反転・傾斜工程)
図13は、本実施形態に係る長尺部品の整列方法における「上下反転・傾斜工程」を治具10の斜視図にて説明する図である。図13に示されるように、「上下反転・傾斜工程」では、移載元トレイ40及び移載先トレイ70が、水平な状態から180度回転されて上下反転され、そこからさらに30度回転して傾斜される。このとき、回転部20の回転及び傾斜は、作業者が回転ツマミ32を操作することにより実行される。
(Upside down / tilting process)
FIG. 13 is a diagram for explaining the “upside-down / tilting step” in the method of arranging long parts according to the present embodiment with a perspective view of the
図20は、図13に示される「上下反転・傾斜工程」を移載元トレイ40及び移載先トレイ70の縦断面図にて説明する図である。図20に示されるように、移載元トレイ40及び移載先トレイ70が上下反転されると、側面60Aが横向きの状態で長尺部品60が仮置き面78に仮置きされる。
FIG. 20 is a diagram illustrating the “upside-down / tilting step” shown in FIG. 13 with a vertical cross-sectional view of the
そして、移載元トレイ40及び移載先トレイ70が上下反転されてから、さらに傾斜される。このとき、移載元トレイ40及び移載先トレイ70は、長尺部品60が矢印X2側に移動するように傾斜される。移載元トレイ40及び移載先トレイ70が傾斜されると、長尺部品60が矢印X2側に移動し、移載先トレイ70に形成された縦面82に突き当てられる。矢印X2側は、複数の長尺部品60の並列方向の他方側に相当する。
Then, after the
(長尺部品整列工程)
図14は、本実施形態に係る長尺部品の整列方法における「長尺部品整列工程」を治具10の斜視図にて説明する図である。図14に示されるように、「長尺部品整列工程」では、移載先トレイ70が傾斜された状態で、移載元トレイ40が移載先トレイ70から取り外される。
(Long parts alignment process)
FIG. 14 is a diagram illustrating a “long component alignment step” in the method of aligning long components according to the present embodiment with a perspective view of the
図21は、図14に示される「長尺部品整列工程」の前半を移載先トレイ70の縦断面図にて説明する図であり、図22は、図14に示される「長尺部品整列工程」の後半を移載先トレイ70の縦断面図にて説明する図である。
FIG. 21 is a diagram illustrating the first half of the “long component alignment step” shown in FIG. 14 with a vertical cross-sectional view of the
図21に示されるように、移載先トレイ70が傾斜された状態で、移載元トレイ40が移載先トレイ70から取り外されると、角部88を支点とする長尺部品60の軸方向周りの回転が許容される。そして、側面60Aが下向きになるように長尺部品60が角部88を支点として軸方向周りに90度回転される。
As shown in FIG. 21, when the
また、図22に示されるように、移載先トレイ70の傾斜状態が維持されると、長尺部品60が収容凹部84側に向けて段差面80上を滑る。そして、長尺部品60がガイド部86に当接すると、側面60Aが下向きのまま、長尺部品60が収容凹部84の内側に落下する。
Further, as shown in FIG. 22, when the
本実施形態では、以上の要領により、複数の長尺部品60が側面60Aを下向きに揃えた状態で移載先トレイ70に一括して整列される。複数の長尺部品60が収容凹部84の内側に収容された状態では、図5、図6に示されるように、移載先トレイ70の底部72Aに形成された開口74を通じて側面60Aが移載先トレイ70の下側に露出される。そして、以後、この開口74を通じて側面60Aにスパッタ成膜が施される。
In the present embodiment, a plurality of
次に、本実施形態の作用及び効果について説明する。 Next, the operation and effect of this embodiment will be described.
以上詳述したように、本実施形態によれば、図20に示されるように、移載先トレイ70に設けられた仮置き面78に、複数の長尺部品60を側面60Aが横向きの状態でそれぞれ仮置きする。次いで、図21に示されるように、移載先トレイ70を傾斜させることにより、仮置き面78に隣接して一段高く設けられた段差面80の端側の角部88を支点として、複数の長尺部品60を側面60Aが下向きになるように軸方向周りに回転させる。そして、図22に示されるように、段差面80に対する仮置き面78と反対側に段差面80と隣接して設けられた収容凹部84の内側に、側面60Aが下向きのまま、複数の長尺部品60をそれぞれ落下させる。これにより、側面60Aを下向きに揃えた状態で複数の長尺部品60を移載先トレイ70に一括して整列させることができる。
As described in detail above, according to the present embodiment, as shown in FIG. 20, a plurality of
また、図17に示されるように、複数の長尺部品60が収容された移載元トレイ40の上に、移載先トレイ70を重ね合わせる。そして、図20に示されるように、移載元トレイ40及び移載先トレイ70を上下反転させて複数の長尺部品60を仮置き面78に仮置きする。これにより、複数の長尺部品60を移載元トレイ40から移載先トレイ70に一括して移し変えることができる。
Further, as shown in FIG. 17, the
また、図15、図16に示されるように、移載元トレイ40を傾斜させて移載元トレイ40の第一突き当て部48に複数の長尺部品60を突き当てて、複数の長尺部品60を移載元トレイ40に対して位置決めする。そして、複数の長尺部品60を移載元トレイ40に対して位置決めした状態で、図17に示されるように、移載元トレイ40の上に移載先トレイ70を重ね合わせる。これにより、移載先トレイ70に形成されたガイド部86と長尺部品60との干渉を回避することができる。
Further, as shown in FIGS. 15 and 16, a plurality of
また、移載元トレイ40の上に移載先トレイ70を重ね合わせた状態で、移載元トレイ40及び移載先トレイ70を傾斜させる。そして、図18、図19に示されるように、移載先トレイ70の第二突き当て部50に複数の長尺部品60を突き当てて、長尺部品60を収容凹部84の真横に位置した状態で仮置き面78と対向する位置に位置決めする。これにより、移載先トレイ70を傾斜させたときには、角部88を支点として長尺部品60を軸方向周りに90度回転させた後に、この長尺部品60を収容凹部84の内側に円滑に落下させることができる。
Further, the
また、図20に示されるように、移載元トレイ40の上に移載先トレイ70を重ね合わせた状態では、複数の長尺部品60の軸方向周りの回転を移載元トレイ40によって規制する。そして、図21に示されるように、移載先トレイ70を傾斜させると共に、移載元トレイ40を移載先トレイ70から取り外すことにより、角部88を支点として、複数の長尺部品60を軸方向周りに回転させる。これにより、移載元トレイ40を移載先トレイ70から取り外すまでは複数の長尺部品60の回転を抑制することができる。
Further, as shown in FIG. 20, when the
また、図21、図22に示されるように、移載先トレイ70の傾斜状態を維持することで、段差面80上において複数の長尺部品60を収容凹部84側に向けて滑らせる。そして、複数の長尺部品60をガイド部86に当接させ、側面60Aが下向きのまま、複数の長尺部品60を収容凹部84の内側に落下させる。したがって、ガイド部86で案内することにより、複数の長尺部品60を収容凹部84の内側に円滑に落下させることができる。
Further, as shown in FIGS. 21 and 22, by maintaining the tilted state of the
次に、本実施形態の変形例について説明する。 Next, a modified example of this embodiment will be described.
上記実施形態において、複数の長尺部品60は、上面60Bが上向きの状態で移載元トレイ40に収容されているが、上面60Bが下向きの状態で移載元トレイ40に収容されても良い。
In the above embodiment, the plurality of
また、上記実施形態において、「上下反転・傾斜工程」では、移載元トレイ40及び移載先トレイ70を上下反転させてからさらに傾斜させ、その後に、移載元トレイ40を移載先トレイ70から取り外している。しかしながら、移載元トレイ40及び移載先トレイ70を上下反転させてから移載元トレイ40を移載先トレイ70から取り外し、その後に、移載先トレイ70を傾斜させても良い。そして、これにより、角部88を支点として、複数の長尺部品60を軸方向周りに回転させても良い。
Further, in the above-described embodiment, in the "upside down / tilting step", the
また、上記実施形態において、長尺部品60は、断面四角形状の一例として、断面矩形状に形成されているが、例えば、断面台形状など、断面矩形状以外の断面四角形状でも良い。また、長尺部品60は、一対の側面60Aと、上面60Bと、下面60Cとを有していれば、断面形状はどのような形状でも良い。さらに、一対の側面60A、上面60B、下面60Cは、平面以外に凹凸面でも良く、また、湾曲面でも良い。
Further, in the above embodiment, the
また、上記実施形態において、複数の長尺部品60は、角部88を支点として軸方向周りに90度回転されるが、側面60Aと下面60Cの成す角度が90度以外である場合には、その成す角度に応じた回転角度で回転されても良い。
Further, in the above embodiment, the plurality of
また、上記実施形態において、治具10は、手動で操作されているが、アクチュエータ等により自動で操作されても良い。
Further, in the above embodiment, the
また、上記実施形態において、移載先トレイ70は、スパッタ成膜用の治具に適用されているが、スパッタ成膜用の治具以外に適用されても良い。
Further, in the above embodiment, the
また、上記実施形態において、長尺部品60は、光学部品であるが、光学部品以外でも良い。
Further, in the above embodiment, the
また、上記実施形態において、長尺部品60の上面60Bは、微細構造面であるが、微細構造面以外でも良い。
Further, in the above embodiment, the
また、上記実施形態において、長尺部品の整列方法は、長尺部品60の側面60Aにスパッタ成膜を施す工程に対して適用されているが、それ以外の工程に対して適用されても良い。
Further, in the above embodiment, the method of aligning the long parts is applied to the step of applying the sputtering film formation to the
また、上記複数の変形例のうち組み合わせ可能な変形例は、適宜、組み合わされても良い。 Further, the modifications that can be combined among the plurality of modifications may be combined as appropriate.
以上、本願の開示する技術の一実施形態について説明したが、本願の開示する技術は、上記に限定されるものでなく、上記以外にも、その主旨を逸脱しない範囲内において種々変形して実施可能であることは勿論である。 Although one embodiment of the technique disclosed in the present application has been described above, the technique disclosed in the present application is not limited to the above, and other than the above, various modifications are performed within a range not deviating from the gist thereof. Of course it is possible.
なお、上述の本願の開示する技術の一実施形態に関し、更に以下の付記を開示する。 The following additional notes will be further disclosed with respect to one embodiment of the above-mentioned technique disclosed in the present application.
(付記1)
トレイに設けられた仮置き面に、複数の長尺部品を側面が横向きの状態でそれぞれ仮置きし、
前記トレイを傾斜させることにより、前記仮置き面に隣接して一段高く設けられた段差面の端側の角部を支点として、前記複数の長尺部品を前記側面が下向きになるように軸方向周りに回転させ、
前記段差面に対する前記仮置き面と反対側に前記段差面と隣接して設けられた収容凹部の内側に、前記側面が下向きのまま、前記複数の長尺部品をそれぞれ落下させる、
ことを含む長尺部品の整列方法。
(付記2)
前記複数の長尺部品が収容された移載元トレイの上に、前記トレイとしての移載先トレイを重ね合わせ、
前記移載元トレイ及び前記移載先トレイを上下反転させて前記複数の長尺部品を前記仮置き面に仮置きする、
付記1に記載の長尺部品の整列方法。
(付記3)
前記移載元トレイを傾斜させて前記移載元トレイの第一突き当て部に前記複数の長尺部品を突き当てて、前記複数の長尺部品を前記移載元トレイに対して位置決めし、
前記複数の長尺部品を前記移載元トレイに対して位置決めした状態で、前記移載元トレイの上に前記移載先トレイを重ね合わせ、
前記移載元トレイの上に前記移載先トレイを重ね合わせた状態で、前記移載元トレイ及び前記移載先トレイを傾斜させて前記移載先トレイの第二突き当て部に前記複数の長尺部品を突き当てて、前記複数の長尺部品を前記仮置き面と対向する位置に位置決めする、
付記2に記載の長尺部品の整列方法。
(付記4)
前記移載元トレイの上に前記移載先トレイを重ね合わせた状態では、前記複数の長尺部品の軸方向周りの回転を前記移載元トレイによって規制し、
前記移載先トレイを傾斜させると共に、前記移載元トレイを前記移載先トレイから取り外すことにより、前記角部を支点として、前記複数の長尺部品を軸方向周りに回転させる、
付記2又は付記3に記載の長尺部品の整列方法。
(付記5)
前記移載元トレイに前記複数の長尺部品を軸方向と直交する方向に並列して収容し、
前記移載先トレイで前記複数の長尺部品を軸方向と直交する方向に整列させる、
付記2〜付記4のいずれか一項に記載の長尺部品の整列方法。
(付記6)
前記トレイは、スパッタ成膜用の治具である、
付記1〜付記5のいずれか一項に記載の長尺部品の整列方法。
(付記7)
前記収容凹部の内側に前記複数の長尺部品をそれぞれ落下させることにより、前記トレイの底部に形成された開口を通じて前記側面を露出させる、
付記1〜付記6のいずれか一項に記載の長尺部品の整列方法。
(付記8)
前記開口は、前記側面にスパッタ成膜を施すための開口である、
付記7に記載の長尺部品の整列方法。
(付記9)
前記長尺部品は、光学部品である、
付記1〜付記8のいずれか一項に記載の長尺部品の整列方法。
(付記10)
前記長尺部品は、断面四角形状である、
付記1〜付記9のいずれか一項に記載の長尺部品の整列方法。
(付記11)
前記長尺部品の上面は、微細構造面である、
付記1〜付記10のいずれか一項に記載の長尺部品の整列方法。
(付記12)
前記複数の長尺部品を前記上面が上向き又は下向きの状態で前記トレイに収容する、
付記1〜付記11のいずれか一項に記載の長尺部品の整列方法。
(付記13)
前記長尺部品は、断面矩形状であり、
前記トレイを傾斜させることにより、前記角部を支点として、前記複数の長尺部品を前記側面が下向きになるように軸方向周りに90度回転させる、
付記1〜付記12のいずれか一項に記載の長尺部品の整列方法。
(付記14)
複数の長尺部品を整列させる複数の整列部を有するトレイであって、
前記整列部は、
上側を向く仮置き面と、
前記仮置き面に隣接して一段高く設けられた段差面と、
前記段差面に対する前記仮置き面と反対側に前記段差面と隣接して設けられ、上側に開口する収容凹部と、
を有する、
トレイ。
(付記15)
前記整列部は、前記収容凹部の開口の周縁部における前記段差面と反対側の縁部に形成され、前記収容凹部の開口に対して上側に突出するガイド部をさらに有する、
付記14に記載のトレイ。
(Appendix 1)
A plurality of long parts are temporarily placed on the temporary placement surface provided on the tray with the side surfaces facing sideways.
By inclining the tray, the plurality of long parts are axially oriented so that the side surface faces downward, with the corner portion on the end side of the stepped surface provided one step higher adjacent to the temporary placement surface as a fulcrum. Rotate around,
The plurality of long parts are dropped inside the accommodating recess provided adjacent to the stepped surface on the side opposite to the temporarily placed surface with respect to the stepped surface, with the side surface facing downward.
How to align long parts, including that.
(Appendix 2)
The transfer destination tray as the tray is superposed on the transfer source tray containing the plurality of long parts.
The transfer source tray and the transfer destination tray are turned upside down to temporarily place the plurality of long parts on the temporary placement surface.
The method for arranging long parts according to Appendix 1.
(Appendix 3)
The transfer source tray is tilted so that the plurality of long parts are abutted against the first abutting portion of the transfer source tray, and the plurality of long parts are positioned with respect to the transfer source tray.
With the plurality of long parts positioned with respect to the transfer source tray, the transfer destination tray is superposed on the transfer source tray.
With the transfer destination tray stacked on top of the transfer source tray, the transfer source tray and the transfer destination tray are tilted so that the plurality of transfer destination trays come into contact with the second abutting portion of the transfer destination tray. The long parts are abutted against each other to position the plurality of long parts at positions facing the temporary placement surface.
The method for arranging long parts according to Appendix 2.
(Appendix 4)
In a state where the transfer destination tray is superposed on the transfer source tray, the rotation of the plurality of long parts in the axial direction is regulated by the transfer source tray.
By tilting the transfer destination tray and removing the transfer source tray from the transfer destination tray, the plurality of long parts are rotated about the axial direction with the corner as a fulcrum.
The method for arranging long parts according to Appendix 2 or Appendix 3.
(Appendix 5)
The plurality of long parts are housed in the transfer source tray in parallel in a direction orthogonal to the axial direction.
In the transfer destination tray, the plurality of long parts are aligned in a direction orthogonal to the axial direction.
The method for arranging long parts according to any one of Supplementary note 2 to Supplementary note 4.
(Appendix 6)
The tray is a jig for sputter film formation.
The method for arranging long parts according to any one of Supplementary notes 1 to 5.
(Appendix 7)
By dropping each of the plurality of long parts inside the accommodating recess, the side surface is exposed through an opening formed in the bottom of the tray.
The method for arranging long parts according to any one of Supplementary notes 1 to 6.
(Appendix 8)
The opening is an opening for applying a sputtering film formation to the side surface.
The method for arranging long parts according to Appendix 7.
(Appendix 9)
The long component is an optical component.
The method for arranging long parts according to any one of Supplementary notes 1 to 8.
(Appendix 10)
The long part has a quadrangular cross section.
The method for arranging long parts according to any one of Supplementary notes 1 to 9.
(Appendix 11)
The upper surface of the long component is a microstructure surface.
The method for arranging long parts according to any one of Supplementary notes 1 to 10.
(Appendix 12)
The plurality of long parts are housed in the tray with the upper surface facing upward or downward.
The method for arranging long parts according to any one of Supplementary note 1 to Supplementary note 11.
(Appendix 13)
The long part has a rectangular cross section and has a rectangular cross section.
By inclining the tray, the plurality of long parts are rotated 90 degrees in the axial direction so that the side surfaces face downward, with the corners as fulcrums.
The method for arranging long parts according to any one of Supplementary note 1 to
(Appendix 14)
A tray having a plurality of alignment portions for aligning a plurality of long parts.
The alignment portion is
Temporary placement surface facing upward and
A stepped surface provided one step higher adjacent to the temporary placement surface,
An accommodating recess provided adjacent to the stepped surface on the side opposite to the temporary placement surface with respect to the stepped surface and opening upward.
Have,
tray.
(Appendix 15)
The alignment portion is formed on an edge portion of the peripheral edge portion of the opening of the accommodation recess on the opposite side of the stepped surface, and further has a guide portion projecting upward with respect to the opening of the accommodation recess.
The tray according to
10 治具
40 移載元トレイ
48 第一突き当て部
50 第二突き当て部
60 長尺部品
60A 側面
60B 上面
60C 下面
70 移載先トレイ(トレイの一例)
76 整列部
78 仮置き面
80 段差面
82 縦面
84 収容凹部
84A 開口
86 ガイド部
88 角部
10
76
Claims (6)
前記トレイを傾斜させることにより、前記仮置き面に隣接して一段高く設けられた段差面の端側の角部を支点として、前記複数の長尺部品を前記側面が下向きになるように軸方向周りに回転させ、
前記段差面に対する前記仮置き面と反対側に前記段差面と隣接して設けられた収容凹部の内側に、前記側面が下向きのまま、前記複数の長尺部品をそれぞれ落下させる、
ことを含む長尺部品の整列方法。 A plurality of long parts are temporarily placed on the temporary placement surface provided on the tray with the side surfaces facing sideways.
By inclining the tray, the plurality of long parts are axially oriented so that the side surface faces downward, with the corner portion on the end side of the stepped surface provided one step higher adjacent to the temporary placement surface as a fulcrum. Rotate around,
The plurality of long parts are dropped inside the accommodating recess provided adjacent to the stepped surface on the side opposite to the temporarily placed surface with respect to the stepped surface, with the side surface facing downward.
How to align long parts, including that.
前記移載元トレイ及び前記移載先トレイを上下反転させて前記複数の長尺部品を前記仮置き面に仮置きする、
請求項1に記載の長尺部品の整列方法。 The transfer destination tray as the tray is superposed on the transfer source tray containing the plurality of long parts.
The transfer source tray and the transfer destination tray are turned upside down to temporarily place the plurality of long parts on the temporary placement surface.
The method for arranging long parts according to claim 1.
前記複数の長尺部品を前記移載元トレイに対して位置決めした状態で、前記移載元トレイの上に前記移載先トレイを重ね合わせ、
前記移載元トレイの上に前記移載先トレイを重ね合わせた状態で、前記移載元トレイ及び前記移載先トレイを傾斜させて前記移載先トレイの第二突き当て部に前記複数の長尺部品を突き当てて、前記複数の長尺部品を前記仮置き面と対向する位置に位置決めする、
請求項2に記載の長尺部品の整列方法。 The transfer source tray is tilted so that the plurality of long parts are abutted against the first abutting portion of the transfer source tray, and the plurality of long parts are positioned with respect to the transfer source tray.
With the plurality of long parts positioned with respect to the transfer source tray, the transfer destination tray is superposed on the transfer source tray.
With the transfer destination tray stacked on top of the transfer source tray, the transfer source tray and the transfer destination tray are tilted so that the plurality of transfer destination trays come into contact with the second abutting portion of the transfer destination tray. The long parts are abutted against each other to position the plurality of long parts at positions facing the temporary placement surface.
The method for arranging long parts according to claim 2.
前記移載先トレイを傾斜させると共に、前記移載元トレイを前記移載先トレイから取り外すことにより、前記角部を支点として、前記複数の長尺部品を軸方向周りに回転させる、
請求項2又は請求項3に記載の長尺部品の整列方法。 In a state where the transfer destination tray is superposed on the transfer source tray, the rotation of the plurality of long parts in the axial direction is regulated by the transfer source tray.
By tilting the transfer destination tray and removing the transfer source tray from the transfer destination tray, the plurality of long parts are rotated around the axial direction with the corner as a fulcrum.
The method for arranging long parts according to claim 2 or 3.
前記整列部は、
上側を向く仮置き面と、
前記仮置き面に隣接して一段高く設けられた段差面と、
前記段差面に対する前記仮置き面と反対側に前記段差面と隣接して設けられ、上側に開口する収容凹部と、
を有する、
トレイ。 A tray having a plurality of alignment portions for aligning a plurality of long parts.
The alignment portion is
Temporary placement surface facing upward and
A stepped surface provided one step higher adjacent to the temporary placement surface,
An accommodating recess provided adjacent to the stepped surface on the side opposite to the temporary placement surface with respect to the stepped surface and opening upward.
Have,
tray.
請求項5に記載のトレイ。 The alignment portion is formed on an edge portion of the peripheral edge portion of the opening of the accommodating recess on the opposite side of the stepped surface, and further has a guide portion projecting upward with respect to the opening of the accommodating recess.
The tray according to claim 5.
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