JP2015212016A - Scribe head and scribe device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、基板にスクライブラインを形成するために用いられるスクライブヘッドおよびスクライブヘッドを備えたスクライブ装置に関する。 The present invention relates to a scribe head used for forming a scribe line on a substrate and a scribe device including the scribe head.
従来、ガラス基板等の脆性材料基板の分断は、基板表面にスクライブラインを形成するスクライブ工程と、形成されたスクライブラインに沿って基板表面に所定の力を付加するブレイク工程とによって行われる。スクライブ工程では、スクライビングホイールの刃先が、基板表面に押し付けられながら、所定のラインに沿って移動される。スクライブラインの形成には、スクライブヘッドを備えたスクライブ装置が用いられる。 Conventionally, a brittle material substrate such as a glass substrate is divided by a scribe process for forming a scribe line on the substrate surface and a break process for applying a predetermined force to the substrate surface along the formed scribe line. In the scribing step, the cutting edge of the scribing wheel is moved along a predetermined line while being pressed against the substrate surface. A scribe device equipped with a scribe head is used to form the scribe line.
スクライブ装置は、たとえば、基板が載置されるテーブルを備え、このテーブルに載置された基板に対して、スクライブヘッドが水平方向および上下方向に移動する。スクライブヘッドの下端には、ホイールホルダが取り付けられており、このホイールホルダに対し、刃先を備えるスクライビングホイールが回転自在に保持される(たとえば、特許文献1参照)。 The scribing device includes, for example, a table on which a substrate is placed, and the scribe head moves in the horizontal direction and the vertical direction with respect to the substrate placed on the table. A wheel holder is attached to the lower end of the scribe head, and a scribing wheel having a cutting edge is rotatably held on the wheel holder (see, for example, Patent Document 1).
上記特許文献1に開示された構成において、基板に対するスクライビングホイールの食い込み量が大きいと、基板の表面付近に蓄積された内部歪みが飽和し、基板の表面に平行な方向に水平クラックが発生する惧れがある。水平クラックが発生すると、切り粉が多量に発生し、基板の分断面の品質低下に起因する歩留まりの低下の原因となる。
In the configuration disclosed in
かかる課題を鑑み、本発明は、スクライビングツールの下降量を制限することが可能なスクライブヘッドおよびスクライブ装置を提供することを目的とする。 In view of such a problem, an object of the present invention is to provide a scribing head and a scribing device capable of limiting the descending amount of the scribing tool.
本発明の第1の態様は、基板のスクライブに用いられるスクライブヘッドに関する。この態様に係るスクライブヘッドは、スクライビングツールが一端に取付けられたホルダと、前記ホルダを前記基板に接近および離間させる駆動機構と、前記ホルダの前記基板への接近を規制して前記ホルダの前記基板に対する接近量を規定するストッパーと、を備える。 A first aspect of the present invention relates to a scribe head used for scribing a substrate. The scribing head according to this aspect includes a holder having a scribing tool attached to one end thereof, a drive mechanism that moves the holder closer to and away from the substrate, and restricts the holder from approaching the substrate to control the substrate of the holder And a stopper for defining an approach amount with respect to.
本態様に係るスクライブヘッドによれば、ストッパーによって、ホルダの基板に対する接近量が制限される。これにより、スクライビングツールが過度に基板に食い込むことを防ぐことができ、基板に水平クラックが発生することを抑制することができる。 According to the scribe head according to this aspect, the approach amount of the holder to the substrate is limited by the stopper. Thereby, it can prevent that a scribing tool bites into a board | substrate excessively, and can suppress that a horizontal crack generate | occur | produces in a board | substrate.
第1の態様に係るスクライブヘッドにおいて、前記ストッパーは、前記ホルダとともに前記基板に接近する移動部材または前記駆動機構を支持する支持部材の少なくとも一方に設けられ、前記ホルダの移動方向に平行な方向に突出する突出部を含むよう構成され得る。 In the scribing head according to the first aspect, the stopper is provided on at least one of a moving member that approaches the substrate together with the holder or a support member that supports the driving mechanism, and is in a direction parallel to the moving direction of the holder. It can be configured to include protruding protrusions.
この場合、前記突出部は、ネジを含み、前記ネジを旋回することで突出量が調整可能な構成とされ得る。こうすると、ホルダの基板に対する接近量を調整することができる。 In this case, the protrusion may include a screw, and the protrusion may be adjusted by turning the screw. If it carries out like this, the approach amount with respect to the board | substrate of a holder can be adjusted.
第1の態様に係るスクライブヘッドにおいて、前記ホルダと前記ストッパーの組が2つ配置され、前記駆動機構は、2つの前記ホルダを1つのモータにより選択的に移動させるよう構成されているよう構成され得る。こうすると、ホルダ毎に個別にホルダの接近量を設定することができる。 In the scribing head according to the first aspect, two sets of the holder and the stopper are arranged, and the drive mechanism is configured to selectively move the two holders by one motor. obtain. If it carries out like this, the approach amount of a holder can be individually set for every holder.
この場合、前記ストッパーは、前記ホルダとともに前記基板に接近する移動部材に設けられていることが望ましい。こうすると、移動部材上側の空きスペースに、ストッパーの一部を配置できるため、ストッパーに対する操作が容易となり、且つ、装置をコンパクトに構成することができる。 In this case, it is desirable that the stopper is provided on a moving member that approaches the substrate together with the holder. If it carries out like this, since a part of stopper can be arrange | positioned in the empty space above a moving member, operation with respect to a stopper becomes easy and an apparatus can be comprised compactly.
本発明の第2の態様はスクライブ装置に関する。第2の態様に係るスクライブ装置は、上記第1の態様のスクライブヘッドと、切断対象の基板を支持する支持部と、前記支持部に支持された前記基板に対して前記スクライブヘッドを移動させる移動機構と、を備える。 A second aspect of the present invention relates to a scribing apparatus. A scribing apparatus according to a second aspect includes a scribing head according to the first aspect, a support unit that supports a substrate to be cut, and a movement that moves the scribing head relative to the substrate supported by the support unit. A mechanism.
本態様に係るスクライブ装置によれば、上記第1の態様のスクライブヘッドと同様の作用および効果が奏され得る。 According to the scribe device concerning this mode, the same operation and effect as the scribe head of the above-mentioned 1st mode can be produced.
以上のとおり、本発明によれば、スクライビングツールの下降量を制限することが可能なスクライブヘッドおよびスクライブ装置を提供することができる。 As described above, according to the present invention, it is possible to provide a scribing head and a scribing device capable of limiting the descending amount of the scribing tool.
本発明の効果ないし意義は、以下に示す実施の形態の説明により更に明らかとなろう。ただし、以下に示す実施の形態は、あくまでも、本発明を実施化する際の一つの例示であって、本発明は、以下の実施の形態に記載されたものに何ら制限されるものではない。 The effects and significance of the present invention will become more apparent from the following description of embodiments. However, the embodiment described below is merely an example when the present invention is implemented, and the present invention is not limited to what is described in the following embodiment.
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。なお、各図には、便宜上、互いに直交するX軸、Y軸およびZ軸が付記されている。X−Y平面は水平面に平行で、Z軸方向は鉛直方向である。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. In each figure, an X axis, a Y axis, and a Z axis that are orthogonal to each other are added for convenience. The XY plane is parallel to the horizontal plane, and the Z-axis direction is the vertical direction.
本実施の形態において、コンベア11は、特許請求の範囲に記載の「支持部」に相当する。駆動部21、51および昇降部22、23、52は、特許請求の範囲に記載の「駆動機構」に相当する。ボトムプレート26、55は、特許請求の範囲に記載の「支持部材」に相当する。サーボモータ211、511は、特許請求の範囲に記載の「モータ」に相当する。押圧部224、234、522は、特許請求の範囲に記載の「移動部材」に相当する。ホイールホルダ228、238、526、527は、特許請求の範囲に記載の「ホルダ」に相当する。カッターホイール229、528は、特許請求の範囲に記載の「スクライビングツール」に相当する。ストッパーS1、S2、S3は、特許請求の範囲に記載の「突出部」および「ネジ」に相当する。マザー基板Gは、特許請求の範囲に記載の「基板」に相当する。ただし、上記特許請求の範囲と本実施の形態との対応付けにより、特許請求の範囲に係る発明が本実施の形態に限定されるものではない。
In the present embodiment, the
<第1実施形態>
図1(a)、(b)は、第1実施形態に係るスクライブ装置1の構成を示す模式図である。図1(a)は、Y軸正側からスクライブ装置1を見た模式図、図1(b)は、X軸負側からスクライブ装置1を見た模式図である。図1(c)は、スクライブヘッド2とマザー基板Gの斜め上から見た模式図である。
<First Embodiment>
FIGS. 1A and 1B are schematic views showing the configuration of the
図1(a)を参照して、スクライブ装置1は、コンベア11と、支柱12a、12bと、可動ガイド13a、13bと、可動ガイド14a、14bと、摺動ユニット15、16と、2つのスクライブヘッド2を備える。
Referring to FIG. 1A, a
図1(b)に示すように、コンベア11は、スクライブヘッド2が設けられている箇所を除き、Y軸方向に延びるように設けられている。コンベア11上には、マザー基板Gが載置される。マザー基板Gは、一対のガラス基板が相互に貼り合わされた基板構造を有する。マザー基板Gは、コンベア11によりY軸方向に送られる。
As shown in FIG.1 (b), the
支柱12a、12bは、スクライブ装置1のベースにコンベア11を挟んで垂直に設けられている。可動ガイド13a、13bおよび可動ガイド14a、14bは、それぞれ、X軸方向に平行となるように、支柱12a、12bの間に架設されている。摺動ユニット15、16は、それぞれ、可動ガイド13a、13b、可動ガイド14a、14bに摺動自在に設けられている。可動ガイド13a、13bおよび可動ガイド14a、14には、それぞれ、所定の駆動機構が設けられており、この駆動機構により、摺動ユニット15、16がX軸方向に摺動される。
The
Z軸負側のスクライブヘッド2は、駆動部21と、昇降部22、23を備える。昇降部22には、カッターホイール229(図3参照)が装着されており、昇降部23には、バックアップローラ239(図3参照)が装着されている。駆動部21は、昇降部22と昇降部23のどちらか一方を上昇させ、他の一方を下降させる。Z軸正側のスクライブヘッド2も、Z軸負側のスクライブヘッドと同様の構成を備える。2つのスクライブヘッド2は、一方のスクライブヘッド2のカッターホイール229と他方のスクライブヘッド2のバックアップローラ239とが互いに対向するように配置されている。
The Z-axis
Z軸負側のスクライブヘッド2の昇降部22と、Z軸正側のスクライブヘッド2の昇降部23を、それぞれ、マザー基板Gに近接させることにより、Z軸負側のカッターホイール229が、マザー基板Gの上面に圧接される。これにより、カッターホイール229の刃先がマザー基板Gの表面に垂直クラック(板厚方向に伸展するクラック)が発生する。このとき、マザー基板Gの下面は、周面が平らなバックアップローラ239によって受け止められる。そして、所定の駆動機構(図示せず)により摺動ユニット15、16がX軸方向に送られる。これにより、Z軸負側のカッターホイール229がマザー基板Gの上面に圧接された状態で移動し、マザー基板Gの上面にスクライブラインが形成される。マザー基板Gの下面にスクライブラインが形成される場合には、Z軸正側のカッターホイール229と、Z軸負側のバックアップローラ239が、マザー基板Gに近接される。
By bringing the elevating
ここで、スクライブヘッド2のカッターホイール229がマザー基板Gに対して大きく食い込むと、マザー基板Gの表面付近に蓄積された内部歪みが飽和し、マザー基板Gの表面に平行な方向に水平クラックHcが発生する。水平クラックHcは、切り粉の多量発生の原因およびマザー基板Gの分断面の品質低下に起因する歩留まりの低下の原因となる。そこで、第1実施形態に係るスクライブヘッド2では、カッターホイール229の下降可能量を制限することができる構成が設けられている。
Here, when the
図2は、スクライブヘッド2の構成を示す一部分解斜視図である。
FIG. 2 is a partially exploded perspective view showing the configuration of the
スクライブヘッド2は、駆動部21と、昇降部22、23と、ベースプレート24と、トッププレート25と、ボトムプレート26と、シール部材27と、カバー28とを備える。
The
ベースプレート24は、X軸正方向に見たときに、略長方形の輪郭を有する。ベースプレート24の2つの側面には、段部24aが形成されている。ベースプレート24には、複数のネジ孔が形成されている。
The
トッププレート25は、上面視において、略長方形の輪郭を有する。トッププレート25の側面には、段部25aが形成されている。トッププレート25の中央には、開口が形成されている(図示せず)。トッププレート25の段部25aには、複数のネジ孔が形成されている。また、トッププレート25には、給気用継手25bが設けられている。
The
ボトムプレート26は、上面視において、略長方形の輪郭を有する。ボトムプレート26の側面には、段部26aが形成されている。ボトムプレート26には、開口26b、26cが形成されている。ボトムプレート26の段部26aには、複数のネジ孔が形成されている。
The
図2の状態において、トッププレート25とボトムプレート26は、ネジによって、ベースプレート24に螺着されている。この状態で、段部24a、25a、26aは、一続きとなっている。すなわち、トッププレート25に形成された段部25aの両端が、ベースプレート24の2つの側面に形成された段部24aの上端にそれぞれ繋がっている。また、ボトムプレート26に形成された段部26aの両端が、ベースプレート24の2つの側面に形成された段部24aの下端にそれぞれ繋がっている。
In the state of FIG. 2, the
図2の状態において、ベースプレート24は、X軸正側の側面とX軸負側の側面がそれぞれY−Z平面(鉛直面)に平行となっている。また、トッププレート25は、Z軸正側の側面とZ軸負側の側面がそれぞれX−Y平面(水平面)に平行となっており、ボトムプレート26は、Z軸正側の側面とZ軸負側の側面がそれぞれX−Y平面(水平面)に平行となっている。すなわち、トッププレート25とボトムプレート26は、ベースプレート24に垂直に繋がり、且つ、所定の間隔をおいて互いに正対向するように、ベースプレート24に取り付けられている。
In the state of FIG. 2, the
図3は、駆動部21と昇降部22、23をX軸負側から見た構成を示す正面図である。図4(a)は、駆動部21と昇降部22をY軸正側から見た構成を示す側面図である。図4(b)は、駆動部21と昇降部23をY軸負側から見た構成を示す側面図である。なお、図3、図4(a)、(b)では、連結部222が透視された状態が示されている。また、図3、図4(a)、(b)には、円筒カム212が中立位置にあるときの状態が示されている。
FIG. 3 is a front view showing a configuration in which the
図3を参照して、駆動部21は、サーボモータ211と、円筒カム212を備える。
With reference to FIG. 3, the
サーボモータ211は、出力軸の軸心がZ軸に平行となるように配されている。サーボモータ211は、出力軸が円筒カム212の上部に形成された穴に圧入されている。また、サーボモータ211の出力軸の付け根部分は、トッププレート25に形成された開口の径よりもやや小さい円柱部となっている。サーボモータ211は、この円柱部がトッププレート25の開口に略隙間なく挿入されるようにして、トッププレート25の上面に設置されている。
The
円筒カム212は、円柱が2つの方向から斜めに切り欠かれた形状を有する。サーボモータ211の出力軸と円筒カム212は、ネジによって圧着固定されている。したがって、サーボモータ211が駆動されると、円筒カム212は、サーボモータ211の出力軸と一体となって、X−Y平面に平行な方向に回転する。図4(a)に示すように、円筒カム212のカム面212aは、X−Y平面(水平面)に対して、所定の角度で傾斜している。また、図4(b)に示すように、円筒カム212のカム面212bは、X−Y平面(水平面)に対して、所定の角度で傾斜している。図3に示すように円筒カム212が中立位置にあるとき、カム面212aとカム面212bは、互いに左右方向に対称な形状となっている。
The
図3を参照して、昇降部22は、カムフォロア221と、連結部222と、ストッパー223a、223bと、押圧部224と、リニアガイド225aと、弾性部材225bと、ホルダガイド226と、ホルダ保持体227と、ホイールホルダ228と、カッターホイール229と、ストッパーS1を備える。同様に、昇降部23は、カムフォロア231と、連結部232と、ストッパー233a、233bと、押圧部234と、リニアガイド235aと、弾性部材235bと、ホルダガイド236と、ホルダ保持体237と、ホイールホルダ238と、バックアップローラ239と、ストッパーS2を備える。昇降部22と昇降部23は、X−Z平面に対して面対称となるように配されている。
With reference to FIG. 3, the elevating
カムフォロア221は、Y軸に平行な固定軸222aにより、連結部222に回転可能に軸支されている。円筒カム212のカム面212a(図4(a)参照)は、カムフォロア221の外周面に当接している。円筒カム212がサーボモータ211により回転されると、カム面212a(図4(a)参照)とカムフォロア221の当接位置が、Z軸方向に変化する。これにより、カムフォロア221が上下方向(Z軸方向)に移動される。
The
連結部222は、1つの角が切り欠かれた略長方体の形状を有する。連結部222の上側(Z軸負側)には、カムフォロア221を軸支するための固定軸222aが固着されており、連結部222の下側(Z軸正側)には、押圧部224を連結固定するための2つの固定軸222bが固着されている。連結部222は、図示の如く、切り欠き部222cが押圧部224の上面に掛けられるようにして、カムフォロア221と押圧部224を連結している。したがって、カムフォロア221に伝えられた駆動力は、連結部222を介して、押圧部224に伝えられる。
The connecting
図4(a)に示すように、ストッパー223aは、ネジ状の部材であり、連結部222の上面中央に固着されている。ストッパー223bは、ネジ状の部材であり、トッププレート25のストッパー223aに対向する位置に固着されている。ストッパー223aの上面およびストッパー223bの下面は、X−Y平面に平行となっている。ストッパー223aは、ストッパー223bと当接することにより連結部222に連結されたカムフォロア221の上側への移動を所定の範囲に制限する。すなわち、円筒カム212が所定以上に回転したとしても、ストッパー223aがストッパー223bに当接することによって、連結部222およびカムフォロア221の上昇が抑制され、カムフォロア221とカム面212aの間には、隙間が発生する。
As shown in FIG. 4A, the
押圧部224は、背面(X軸負側の面)にガイド受け部224aが設けられている。ガイド受け部224aは、ネジによって押圧部224に固着されている。押圧部224の下面(Z軸正側の面)には、円筒部224bが形成されている。円筒部224bの外周の径は、ボトムプレート26の開口26b(図2参照)の径よりもやや小さい。円筒部224bはボトムプレート26の開口26bに挿入される。円筒部224bの下端面は、ホルダ保持体227にネジ留めされている。
The
図5は、ストッパーS1、S2の周辺部を拡大した一部拡大図である。 FIG. 5 is a partially enlarged view in which the peripheral portions of the stoppers S1 and S2 are enlarged.
図5に示すように、ストッパーS1は、ネジ状の部材であり、押圧部224のY軸負側の上面に形成されたネジ孔に、ナットS1aとともに螺着されている。また、同様に、ストッパーS2は、ネジ状の部材であり、押圧部234のY軸正側の上面に形成されたネジ孔に、ナットS2aとともに螺着されている。ボトムプレート26には、窪み26d、26eが形成されており、窪み26d、26eには、それぞれ、マーカーピンS1b、S2bが固着されている。ストッパーS1、S2の下面およびマーカーピンS1b、S2bの上面は、X−Y平面に平行となっている。図4に示す状態で、ストッパーS1、S2の下端と、マーカーピンS1b、S2bの間には、所定の隙間が生じている。この隙間がカッターホイール229(図3参照)、バックアップローラ239(図3参照)の下降可能量に相当する。この隙間の大きさは、ストッパーS1、S2を回すことにより調整可能である。ストッパーS1、S2の下端がマーカーピンS1b、S2bに近づけば近づくほど、カッターホイール229(図3参照)、バックアップローラ239(図3参照)の下降可能量が小さくなる。ストッパーS1、S2とマーカーピンS1b、S2bの距離は、スクライブヘッド2とマザー基板Gとの距離に応じて、カッターホイール229の刃先がマザー基板Gに所定量以上食い込まないように、適宜設定される。
As shown in FIG. 5, the stopper S <b> 1 is a screw-like member, and is screwed together with the nut S <b> 1 a into a screw hole formed on the upper surface of the
図4(a)に戻り、リニアガイド225aは、Z軸方向に延びるように、ベースプレート24にネジによって固着されている。押圧部224のガイド受け部224aは、リニアガイド225aと噛み合っている。これにより、押圧部224は、リニアガイド225aによって、上下方向(Z軸方向)に案内される。弾性部材225bは、上端がトッププレート25に固定されたネジの先端に形成された穴に掛けられており、下端が押圧部224の背面に形成された凸部に引っ掛けられている。なお、弾性部材225bは、Y軸正側とベースプレート24のY軸方向の中央付近に、それぞれ、設けられている。押圧部224は、弾性部材225bによって、上方向(Z軸負方向)に付勢されている。弾性部材225bは、たとえば、コイルバネによって構成されている。
Returning to FIG. 4A, the
ホルダガイド226は、板部226aと、円筒部226bからなっている。円筒部226bの内側は、上下方向(Z軸方向)に貫通する開口となっている。ホルダガイド226の板部226aは、ボトムプレート26の下面(Z軸正側)にネジによって螺着されている。円筒部226bの内周の径は、押圧部224の円筒部224bの外周の径よりも僅かに大きい。押圧部224が上下方向(Z軸方向)に移動すると、押圧部224の円筒部224bが、円筒部226bの内周に沿って移動する。また、ホルダガイド226は、円筒部226bの外周に沿って、後述するホルダ保持体227を上下方向(Z軸方向)に案内する。
The
ホルダ保持体227には、Z軸正側とZ軸負側に、それぞれ開口が形成されている。Z軸負側の開口の径は、ホルダガイド226の円筒部226bの外周の径よりも僅かに大きい。Z軸正側の開口の径は、Z軸負側の開口の径よりも小さい。ホルダガイド226の円筒部226bがホルダ保持体227のZ軸負側の開口に挿入されて、ホルダ保持体227は、ネジにより押圧部224の円筒部224bに螺着される。これにより、ホルダ保持体227は、押圧部224に組み付けられる。
The
ホイールホルダ228は、ホルダ保持体227によってZ軸正側に保持されている。ホイールホルダ228は、ホイール形状のカッターホイール229を、X軸に平行な2つの支軸によって、回転可能に軸支する。カッターホイール229は、先端がマザー基板Gの表面にスクライブラインを形成するための刃となっている。
The
昇降部23は、バックアップローラ239を除き、昇降部22と略同様にして構成されている。昇降部23のホイールホルダ238は、バックアップローラ239を、X軸に平行な2つの支軸によって、回転可能に軸支する。バックアップローラ239は、周面が平らな形状を有している。
The lifting
図2に戻り、シール部材27は、ゴム枠27a〜27dと、留め具27eからなる。ゴム枠27a〜27dは、それぞれ、空気を通さない弾性部材である。ゴム枠27aは、トッププレート25の段部25aに、ゴム枠27bは、ボトムプレート26の段部26aに嵌り込む形状を有している。ゴム枠27c、27dは、それぞれ、ベースプレート24のY軸負側の段部24aとY軸正側の段部24aに嵌り込む形状を有している。ゴム枠27a〜27dの厚みは、段部24a、25aおよび26aの深さよりもやや小さい。留め具27eは、ベースプレート24の段部24aのZ軸方向の幅よりもやや大きい。
Returning to FIG. 2, the
カバー28は、左カバー部28aと、右カバー部28bからなる。左カバー部28aは、板状の左側面部28cと、左側面部28cのX軸負側の端部が折り曲げられた折り曲げ部28dから構成されている。右カバー部28bは、板状の右側面部28eと前面部28fと、右側面部28eのY軸正側の端部がX軸負側に一段高い段部28gから構成されている。
The
ゴム枠27aが段部25aに、ゴム枠27bが段部26aに、ゴム枠27c、27dが段部24aに嵌め込まれた状態で、左カバー部28aの上下の端部がゴム枠27a、27b、27dの表面に当てられる。そして、左カバー部28aの折り曲げ部28dと右カバー部28bの段部28gの間にスポンジ28hが挟み込まれるようにし、右カバー部28bの上下の端部がゴム枠27a、27b、27cの表面に当てられる。この状態で、左カバー部28a、右カバー部28bの端縁に形成された孔を介して、ネジがベースプレート24、トッププレート25およびボトムプレート26に螺着される。
With the
そして、留め具27eがゴム枠27a、27b、27cを覆うようにベースプレート24のY軸負側の側面に取り付けられ、留め具27eがネジによりベースプレート24に螺着される。これにより、左側面部28cの上下の端部がゴム枠27a、27bに押し付けられ、左側面部28cのX軸正側の端部がゴム枠27a、27b、27dに押し付けられるようにして、左カバー部28aがベースプレート24、トッププレート25およびボトムプレート26に固定される。また、前面部28fおよび右側面部28eの上下の端部がゴム枠27a、27bに押し付けられ、右側面部28eのX軸正側の端部がゴム枠27a、27b、27cに押し付けられるようにして、右カバー部28bがベースプレート24、トッププレート25およびボトムプレート26に固定される。こうして、図6に示すようにスクライブヘッド2が組み立てられる。
Then, the
図6は、スクライブヘッド2の構成を示す斜視図である。
FIG. 6 is a perspective view showing the configuration of the
図6に示すように、駆動部21が収容されるベースプレート24とトッププレート25およびボトムプレート26の間の空間がカバー28により囲われている。このように、駆動部21は、カバー28と、ベースプレート24とトッププレート25と、ボトムプレート26により形成された閉空間内に配されているため、スクライブヘッド2の側面等から駆動部21にカレットや塵埃等が侵入することが抑制される。また、トッププレート25の給気用継手25bから空気が供給されることにより、閉空間内から外部に向かう空気の流れができ、カレットや塵埃等が駆動部21に侵入することがさらに抑制される。
As shown in FIG. 6, the space between the
図1(b)に示すように、一対のガラス基板が相互に貼り合わされたマザー基板Gに対して、スクライブラインが形成される場合、上下に一対のスクライブヘッド2が配されることにより基板が挟み込まれる。この場合、バックアップローラ239は、反対側に配されるスクライブヘッド2のカッターホイール229に対向し、カッターホイール229よって与えられる圧力を受けて基板を支持する。
As shown in FIG. 1B, when a scribe line is formed on a mother substrate G in which a pair of glass substrates are bonded to each other, the pair of scribe heads 2 are arranged on the top and bottom to arrange the substrate. It is caught. In this case, the
図7〜8(b)を参照して、カッターホイール229を降下させる動作について説明する。
The operation of lowering the
図7は、駆動部21と昇降部22、23をX軸負側から見た構成を示す側面図である。図8(a)は、駆動部21と昇降部22をY軸正側から見た構成を示す側面図である。図8(b)は、駆動部21と昇降部23をY軸負側から見た構成を示す側面図である。なお、図8(a)、(b)では、連結部222が透視された状態が示されている。
FIG. 7 is a side view showing a configuration in which the
図7を参照して、サーボモータ211が駆動され、サーボモータ211の出力軸がZ軸負側から見て時計回りに回転すると、サーボモータ211の出力軸と一体的に装着された円筒カム212がZ軸負側から見て時計回りに中立位置から回転する。これにより、図8(a)に示すように、カム面212aとカムフォロア221の当接位置が斜面を下る方向に移動し、連結部222を介して押圧部224が下方向(Z軸正側)に移動する。
Referring to FIG. 7, when
このとき、図8(b)に示すように、押圧部234は、弾性部材235bによって、上方向(Z軸負方向)に付勢されているため、カム面212bとカムフォロア231の当接位置が斜面を昇る方向に移動する。押圧部224は、リニアガイド225aに案内されて下方向に移動し、押圧部224の円筒部224bに固定されたホルダ保持体227は、ホルダガイド226の円筒部226bに案内されて下方向に移動する。
At this time, as shown in FIG. 8B, the
これにより、押圧部224に固着されたストッパーS1の下端部がマーカーピンS1b(図5参照)側に近づく。あらかじめ決められたカッターホイール229の下降量分、押圧部224が下方向に移動されると、ストッパーS1の下端部がマーカーピンS1bに当接する。これにより、昇降部22の下方向への移動が規制される。したがって、カッターホイール229の刃先がマザー基板Gに所定量を超えて大きく食い込むことを防ぐことができる。これにより、マザー基板Gに対する水平クラックHcの発生を抑止することができる。
Thereby, the lower end part of the stopper S1 fixed to the
また、押圧部224の下降と同時に、押圧部234は、リニアガイド235aに案内されて上方向に移動し、押圧部234の円筒部234bに固定されたホルダ保持体237は、ホルダガイド236の円筒部236bに案内されて上方向に移動する。
Simultaneously with the lowering of the
こうして昇降部23が上方向に移動すると、間もなく、ストッパー233aがストッパー233bに当接する。これにより、昇降部23の上方向の移動が抑制され、カムフォロア231と円筒カム212のカム面212bの間に、隙間が発生する。したがって、他方の昇降部22を下方向に移動させる際にカムフォロア231が負荷となることがなく、昇降部22を円滑に下方向に移動させることができる。
Thus, when the elevating
図9〜10(b)を参照して、バックアップローラ239を降下させる動作について説明する。
The operation of lowering the
図9は、駆動部21と昇降部22、23をX軸負側から見た構成を示す側面図である。図10(a)は、駆動部21と昇降部22をY軸正側から見た構成を示す側面図である。図10(b)は、駆動部21と昇降部23をY軸負側から見た構成を示す側面図である。なお、図10(a)、(b)では、連結部222が透視された状態が示されている。
FIG. 9 is a side view showing the configuration of the
図9を参照して、サーボモータ211が駆動され、サーボモータ211の出力軸がZ軸負側から見て反時計回りに回転すると、サーボモータ211の出力軸と一体的に装着された円筒カム212がZ軸負側から見て反時計回りに中立位置から回転する。これにより、図10(b)に示すように、カム面212bとカムフォロア231の当接位置が斜面を下る方向に移動し、連結部232を介して押圧部234が下方向(Z軸正側)に移動する。
Referring to FIG. 9, when
これにより、押圧部234に固着されたストッパーS2の下端部がマーカーピンS2b(図5参照)側に近づく。あらかじめ決められたバックアップローラ239の下降量分、押圧部234が下方向に移動されると、ストッパーS2の下端部がマーカーピンS2bに当接する。これにより、昇降部23の下方向への移動が規制される。したがって、カッターホイール229の刃先がマザー基板Gに所定量を超えて大きく食い込むことを防ぐことができる。これにより、マザー基板Gに対する水平クラックHcの発生を抑止することができる。
Thereby, the lower end part of the stopper S2 fixed to the
なお、この場合も、図10(a)に示すように、カムフォロア221と円筒カム212のカム面212aの間に、隙間が発生する。したがって、昇降部23の下方向に移動させる際にカムフォロア221が負荷となることがなく、昇降部23を円滑に下方向に移動させることができる。
In this case as well, a gap is generated between the
こうして、円筒カム212が一方に回動されることにより、図1(b)に示すように、Z軸負側のマザー基板Gにカッターホイール229が圧接され、Z軸正側のマザー基板Gにバックアップローラ239が圧接されて、Z軸負側のマザー基板Gにスクライブラインが形成される。また、Z軸正側のマザー基板Gにスクライブラインが形成される場合には、円筒カム212が他方に回動されることにより、Z軸負側のマザー基板Gにバックアップローラ239が圧接され、Z軸正側のマザー基板Gにカッターホイール229が圧接される。これにより、Z軸正側のマザー基板Gにスクライブラインが形成される。
Thus, as the
<第1実施形態の効果>
以下、第1実施形態による作用および効果について説明する。
<Effects of First Embodiment>
Hereinafter, the operation and effect of the first embodiment will be described.
図5に示すストッパーS1、S2によって、カッターホイール229およびバックアップローラ239の下降可能量を制限することができる。これにより、カッターホイール229、バックアップローラ239が過度にマザー基板Gに食い込むことを防ぐことができ、図1(c)に示すようなマザー基板Gに水平クラックHcが発生することを抑制することができる。
The amount that the
また、図5に示すように、ストッパーS1、S2は、ネジ状の部材となっているため、容易にカッターホイール229、バックアップローラ239の下降可能量を調整することができる。また、マザー基板Gの厚みに応じてバックアップローラ239の下降可能量を円滑に変更することができる。第1実施形態では、ストッパーS1、S2が設けられているため、ホイールホルダ228、238毎に個別にカッターホイール229とバックアップローラ239の下降可能量を設定することができる。
Further, as shown in FIG. 5, the stoppers S <b> 1 and S <b> 2 are screw-like members, so that the descendable amount of the
また、図5に示すように、押圧部224、225上側の空きスペースに、それぞれ、ストッパーS1、S2の一部が配置されるため、ストッパーS1、S2に対する操作が容易となり、且つ、装置をコンパクトに構成することができる。
Further, as shown in FIG. 5, since the stoppers S1 and S2 are partly disposed in the empty spaces above the
<第2実施形態>
第1実施形態では、2つの昇降部22、23を備えるスクライブヘッド2の構成が示されたが、第2実施形態に係るスクライブヘッド5は、1つの昇降部52を備えている。
Second Embodiment
In the first embodiment, the configuration of the
図11は、スクライブヘッド5の構成を示す一部分解斜視図である。
FIG. 11 is a partially exploded perspective view showing the configuration of the
スクライブヘッド5は、駆動部51と、昇降部52と、ベースプレート53と、トッププレート54と、ボトムプレート55と、ゴム枠56と、カバー57とを備える。
The
ベースプレート53は、X軸正方向に見たときに、略長方形の輪郭を有する。ベースプレート53のY軸正側およびY軸負側の側面には、断面がU字状の溝53aが形成されている。また、ベースプレート53の側面には、溝53aに沿って複数のネジ孔が形成されている。
The
トッププレート54は、上面視において、略長方形の輪郭を有する。トッププレート54のY軸正側、Y軸負側、およびX軸負側の側面には、断面がU字状の一連の溝54aが形成されている。トッププレート54の中央には、開口54bが形成されている。また、トッププレート54の側面には、溝54aに沿って複数のネジ孔が形成されている。
The
ボトムプレート55は、上面視において、略長方形の輪郭を有する。ボトムプレート55のY軸正側、Y軸負側、およびX軸負側の側面には、断面がU字状の一連の溝55aが形成されている。ボトムプレート55の中央には、開口35bが形成されている。また、ボトムプレート55の側面には、溝55aに沿って複数のネジ孔が形成されている。
The
図11の状態において、トッププレート54とボトムプレート55は、ネジによって、ベースプレート33に螺着されている。この状態で、溝53a、54a、55aは、一続きとなっている。すなわち、トッププレート54に形成された溝54aの両端が、ベースプレート33の2つの側面に形成された溝33aの上端にそれぞれ繋がっている。また、ボトムプレート55に形成された溝55aの両端が、ベースプレート53の2つの側面に形成された溝53aの下端にそれぞれ繋がっている。
In the state of FIG. 11, the
図11の状態において、ベースプレート53は、X軸正側の側面とX軸負側の側面がそれぞれY−Z平面(鉛直面)に平行となっている。また、トッププレート54は、Z軸正側の側面とZ軸負側の側面がそれぞれX−Y平面(水平面)に平行となっており、ボトムプレート55は、Z軸正側の側面とZ軸負側の側面がそれぞれX−Y平面(水平面)に平行となっている。すなわち、トッププレート54とボトムプレート55は、ベースプレート53に垂直に繋がり、且つ、所定の間隔をおいて互いに正対向するように、ベースプレート53に取り付けられている。
In the state of FIG. 11, the
図12(a)は、駆動部51と昇降部52をY軸正側から見た構成を示す側面図である。図12(b)は、駆動部51と昇降部52をY軸負側から見た構成を示す側面図である。
FIG. 12A is a side view showing a configuration of the
図12(a)を参照して、駆動部51は、サーボモータ511と、円筒カム512を備えている。
Referring to FIG. 12A, the
サーボモータ511は、出力軸が円筒カム512の上部に形成された穴に圧入されている。この他、サーボモータ511は、上記第1実施形態と同様にして構成されている。
The
円筒カム512は、上記第1実施形態とは異なり、円柱が斜めに切り欠かれた形状を有する。サーボモータ511の出力軸と円筒カム512は、ネジによって圧着固定されている。したがって、サーボモータ511が駆動されると、円筒カム512は、サーボモータ511の出力軸と一体となって、X−Y平面に平行な方向に回転する。円筒カム512のカム面512aは、X−Y平面(水平面)に対して、所定の角度で傾斜している。
Unlike the first embodiment, the
昇降部52は、カムフォロア521と、押圧部522と、リニアガイド523aと、弾性部材523bと、ホルダガイド524と、ホルダ保持体525と、ホイールホルダ526、527と、カッターホイール528と、バックアップローラ529と、ストッパーS3を備える。
The elevating
カムフォロア521は、Y軸に平行な軸により、押圧部522に回転可能に軸支されている。円筒カム512のカム面512aは、カムフォロア521の外周面に当接している。円筒カム512がサーボモータ511により回転されると、カム面512aとカムフォロア521の当接位置が、Z軸方向に変化する。これにより、カムフォロア521が上下方向(Z軸方向)に移動される。
The
押圧部522は、背面(X軸正側の面)にガイド受け部522aが設けられている。ガイド受け部522aは、ネジによって押圧部522に固着されている。押圧部522の下面(Z軸正側の面)には、円筒部522bが形成されている。円筒部522bの外周の径は、ボトムプレート55の開口55b(図11参照)の径よりもやや小さい。円筒部522bはボトムプレート55の開口55b(図11参照)に挿入される。円筒部522bの下端面は、ホルダ保持体525にネジ留めされている。
The
リニアガイド523aは、Z軸方向に延びるように、ベースプレート53にネジによって固着されている。押圧部522のガイド受け部522aは、リニアガイド523aと噛み合っている。これにより、押圧部522は、リニアガイド523aによって、上下方向(Z軸方向)に案内される。弾性部材523bは、上端がトッププレート54に固定されたネジの先端に形成された穴に掛けられており、下端が押圧部522の背面に形成された凸部に引っ掛けられている。なお、弾性部材523bは、Y軸正側とY軸負側の両方に、それぞれ、設けられている。押圧部522は、弾性部材216によって、上方向(Z軸負方向)に付勢されている。弾性部材523bは、たとえば、コイルバネによって構成されている。
The
図13(a)、(b)は、ストッパーS3の周辺部を拡大した一部拡大図である。図13(a)では、ホルダ保持体525と、ストッパーS3が取り外された状態の昇降部52が示されている。
FIGS. 13A and 13B are partially enlarged views in which the peripheral portion of the stopper S3 is enlarged. FIG. 13A shows the
図13(a)を参照して、ホルダガイド524は、板部524aと、円筒部524bからなっている。円筒部524bの内側は、上下方向に貫通する開口となっている。ホルダガイド524の板部524aは、ボトムプレート55の下面に3つのネジ524cによって螺着されている。また、ホルダガイド524の3つのネジ524cが螺着されていない角には、孔524dが形成されている。また、ボトムプレート55にも孔524dに繋がるようにして、上下方向に貫通するネジ孔55cが形成されている。円筒部524bの内周の径は、押圧部522の円筒部522bの外周の径よりも僅かに大きい。押圧部522が上下方向に移動すると、押圧部522の円筒部522bが、円筒部524bの内周に沿って移動する。また、ホルダガイド524は、円筒部524bの外周に沿って、後述するホルダ保持体525を上下方向に案内する。
Referring to FIG. 13A, the
ストッパーS3は、ネジ状の部材である。ストッパーS3は、図13(b)に示すように、ナットS3aが取り付けられた状態で、孔524dを介して、ボトムプレート55に形成されたネジ孔35cに螺着される。押圧部522の下面には、窪み522cが形成されており、窪み522cには、マーカーピンS3bが固着されている。ストッパーS3の下面およびマーカーピンS3bの上面は、X−Y平面に平行となっている。図13(b)に示す状態で、ストッパーS3の上端と、マーカーピンS3bの間には、所定の隙間が生じている。この隙間がカッターホイール528、バックアップローラ529の下降可能量に相当する。この隙間の大きさは、ストッパーS3を回すことにより調整可能である。ストッパーS3の上端がマーカーピンS3bに近づけば近づくほど、カッターホイール528、バックアップローラ529の下降可能量が小さくなる。ストッパーS3とマーカーピンS3bとの距離は、スクライブヘッド5とマザー基板Gとの距離に応じて、カッターホイール528の刃先が所定量以上マザー基板Gに食い込まないように、適宜設定される。
The stopper S3 is a screw-shaped member. As shown in FIG. 13B, the stopper S3 is screwed into the screw hole 35c formed in the
ホルダ保持体525には、Z軸正側とZ軸負側に、それぞれ開口が形成されている。Z軸負側の開口の径は、ホルダガイド524の円筒部524bの外周の径よりも僅かに大きい。Z軸正側の開口の径は、Z軸負側の開口の径よりも小さい。ホルダガイド524の円筒部524bがホルダ保持体525のZ軸負側の開口に挿入されて、ホルダ保持体525は、ネジにより押圧部522の円筒部522bに螺着される。これにより、ホルダ保持体525は、押圧部522に組み付けられる。
The
ホイールホルダ526、527は、ホルダ保持体525によってZ軸正側に保持されている。ホイールホルダ526は、ホイール形状のカッターホイール528を、X軸に平行な2つの支軸によって、回転可能に軸支する。ホイールホルダ527は、バックアップローラ529を、X軸に平行な2つの支軸によって、回転可能に軸支する。バックアップローラ529は、周面が平らな形状を有している。カッターホイール528は、先端がマザー基板Gの表面にスクライブラインを形成するための刃となっている。バックアップローラ529は、周面が平らな形状を有している。
The
なお、図11〜14(b)には、カッターホイール528と、バックアップローラ529が設けられている構成例が示されたが、図1(a)に示すように、スクライブヘッド5がZ軸負側に配され、Z軸負側のマザー基板Gの上面にスクライブラインを形成する場合は、ホイールホルダ527とバックアップローラ529が取り外される。また、図1(a)に示すように、スクライブヘッド5がZ軸負側に配され、Z軸正側のマザー基板Gの上面にスクライブラインを形成する場合は、ホイールホルダ526とカッターホイール528が取り外される。以下では、ホイールホルダ526とバックアップローラ529は、ホルダ保持体525から取り外されているとして、説明を行う。
FIGS. 11 to 14 (b) show a configuration example in which a
図11に戻り、ゴム枠56は、空気を通さない弾性部材である。ゴム枠56は、ベースプレート53の溝53a、トッププレート54の溝54aおよびボトムプレート55の溝55aに嵌まり込む形状を有している。ゴム枠56の厚みは、溝53a、54aおよび55aの深さよりも大きい。すなわち、ゴム枠56が溝53a、54a、55aに装着された状態で、ゴム枠56の表面は、ベースプレート53、トッププレート54およびボトムプレート55の側面よりも僅かに外側に突出する。
Returning to FIG. 11, the
カバー57は、前面部57a、右側面部57bおよび左側面部57cの3つの板部が折り曲げられた形状を有する。右側面部57bには、給気用継手57dが設けられている。
The
ゴム枠56が溝53a、54a、55aに嵌め込まれた状態で、カバー57の右側面部57bと左側面部57cが外側に撓むように変形されて、カバー57がベースプレート53、トッププレート54およびボトムプレート55に取り付けられる。この状態で、前面部57aの上下の端縁に形成された2つの孔57fを介して、ネジがトッププレート54およびボトムプレート55に螺着される。これにより、前面部57aの上下の端部がゴム枠56に押し付けられるようにして、カバー57が、トッププレート54およびボトムプレート55に固定される。さらに、ベースプレート53、トッププレート54およびボトムプレート55の溝53a、54a、55aのやや外側に形成されたネジ穴に、ネジが螺着される。これにより、カバー57が、ベースプレート53、トッププレート54およびボトムプレート55とネジの頭部とによって挟み込まれ、右側面部57bおよび左側面部57cの周縁部がゴム枠56に押し付けられる。こうして、図14に示すようにスクライブヘッド5が組み立てられる。
In a state where the
図14は、スクライブヘッド5の構成を示す斜視図である。
FIG. 14 is a perspective view showing the configuration of the
図14に示すように、駆動部51が収容されるベースプレート53とトッププレート54およびボトムプレート55の間の空間がカバー57により囲われている。このように、駆動部51は、カバー57と、ベースプレート53とトッププレート54と、ボトムプレート55により形成された閉空間内に配されているため、スクライブヘッド5の側面等から駆動部51にカレットや塵埃等が侵入することを防ぐことができる。また、給気用継手57dから空気が供給されることにより、閉空間内から外部に向かう空気の流れができ、カレットや塵埃等が駆動部51に侵入することがさらに抑制される。
As shown in FIG. 14, a space between the
図15(a)、(b)を参照して、カッターホイール528を降下させる動作について説明する。
With reference to FIGS. 15A and 15B, the operation of lowering the
図15(a)、(b)は、駆動部51と昇降部52をX軸負側から見た構成を示す側面図である。なお、図15(a)、(b)では、カバー57が透視された状態が示されている。
FIGS. 15A and 15B are side views showing the configuration of the
サーボモータ511が駆動され、サーボモータ511の出力軸がZ軸負側から見て時計周りに回転すると、サーボモータ511の出力軸と一体的に装着された円筒カム512が回転する。これにより、図15(b)に示すように、カム面512a(図12(b)参照)とカムフォロア521の当接位置が斜面を下る方向に移動し、押圧部522が下方向(Z軸正側)に移動する。押圧部522は、リニアガイド523a(図12(a)参照)に案内されて下方向に移動され、押圧部522の円筒部522bに固定されたホルダ保持体525は、ホルダガイド524の円筒部524bに案内されて下方向に移動される。
When the
これにより、押圧部522のマーカーピンS3b(図13(b)参照)がストッパーS3の上端部側に近づく。あらかじめ決められたカッターホイール528の下降量分、押圧部522が下方向に移動されると、ストッパーS3の上端部がマーカーピンS3bに当接する。これにより、昇降部52の下方向への移動が規制される。したがって、カッターホイール528の刃先が過度にマザー基板Gに食い込むことを防ぐことができる。これにより、マザー基板Gに対する水平クラックHcの発生を抑止することができる。
Thereby, marker pin S3b (refer FIG.13 (b)) of the
こうして、カッターホイール528がマザー基板Gに圧接されて、スクライブラインが形成される。
In this way, the
サーボモータ511が他方に回転すると、カム面512a(図12(b)参照)とカムフォロア521の当接位置が元の位置に戻り、弾性部材523bによる付勢力によって、押圧部522が上方向(Z軸負側)に移動される。これにより、カッターホイール528がマザー基板Gから離される。
When the
<第2実施形態の効果>
以下、第2実施形態による作用および効果について説明する。
<Effects of Second Embodiment>
Hereinafter, the operation and effect of the second embodiment will be described.
図13(b)に示すストッパーS3によって、カッターホイール528、バックアップローラ529の下降可能量を制限することができる。これにより、カッターホイール528、バックアップローラ529が過度にマザー基板Gに食い込むことを防ぐことができ、図1(c)に示すようなマザー基板Gに水平クラックHcが発生することを抑制することができる。
With the stopper S <b> 3 shown in FIG. 13B, it is possible to limit the descendable amount of the
また、図13(a)に示すように、ストッパーS3は、ネジ状の部材となっているため、容易にカッターホイール528、バックアップローラ529の下降可能量を調整することができる。
Further, as shown in FIG. 13A, since the stopper S3 is a screw-like member, the amount by which the
また、図13(b)に示すように、ストッパーS3は、ボトムプレート55の下側にネジの頭部が位置付けられるように設けられているため、カバー57を取り外すことなく、カッターホイール528、バックアップローラ529の下降可能量を調整することができる。
Further, as shown in FIG. 13B, the stopper S3 is provided so that the head of the screw is positioned below the
また、ストッパーS3は、ホルダガイド524の角に形成された孔524dを介して、ボトムプレート55にネジ留めされており、ホルダガイド524のネジ留め部材として共用される。これにより、ボトムプレート55の下部のスペースを有効的に利用することができる。
The stopper S3 is screwed to the
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は上記実施の形態に何ら制限されるものではなく、また、本発明の実施の形態も上記以外に種々の変更が可能である。 Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications can be made to the embodiments of the present invention other than the above.
たとえば、上記第1実施形態では、円筒カム212とカムフォロア221、231によって、ホイールホルダ228、238が昇降されたが他の駆動手段によって、ホイールホルダが昇降されても良い。たとえば、ラック・アンド・ピニオン方式によりホイールホルダが昇降されても良い。
For example, in the first embodiment, the
また、上記第1実施形態では、ストッパーS1、S2がホイールホルダ228、238の昇降方向(Z軸方向)に平行な方向に突出するように設けられたが、たとえば、ベースプレート24側からX軸負側に向かって突出するようにストッパーが設けられても良い。同様に、上記第2実施形態のストッパーS3に代えて、ベースプレート33側からX軸負側に向かって突出するようにストッパーが設けられても良い。
In the first embodiment, the stoppers S1 and S2 are provided so as to protrude in a direction parallel to the ascending / descending direction (Z-axis direction) of the
また、上記第1実施形態では、ストッパーS1、S2がボトムプレート26に向かって突出するように設けられたが、第1実施形態に示す構成においても、上記第2実施形態のように、ボトムプレート26から押圧部224、234に向かって突出するように2つのストッパーが設けられても良い。さらには、押圧部224、234とボトムプレート26の両方から互いに近づく方向に突出するようにストッパーが設けられても良い。上記第2実施形態においても同様にストッパーS3の突出方向は変更され得る。
In the first embodiment, the stoppers S1 and S2 are provided so as to protrude toward the
また、上記第1実施形態では、ストッパーは2つ設けられ、上記第2の実施形態では、ストッパーは1つ設けられたが、それぞれ、1つ以上の任意の数のストッパーに変更され得る。 In the first embodiment, two stoppers are provided. In the second embodiment, one stopper is provided. However, the number of stoppers may be changed to one or more arbitrary numbers.
また、上記第1実施形態では、ストッパーS1、S2は、それぞれ、ネジ状の部材として構成されたが、たとえば、押圧部224、234の下面を下方向に突出させることによりストッパーS1、S2が形成されていて良いし、ボトムプレート26の上面を上方向に突出させることによりストッパーS1、S2が形成されていても良い。この他、ストッパーは、ホイールホルダ228、238の下降可能量を制限することが可能であれば、どのような形態であっても良い。また、上記第2実施形態におけるストッパーS3も同様に変更され得る。
In the first embodiment, the stoppers S1 and S2 are each configured as a screw-like member. For example, the stoppers S1 and S2 are formed by projecting the lower surfaces of the
また、上記第1実施形態では、ホイールホルダ228にカッターホイール229、ホイールホルダ238にバックアップローラ239が保持されたが、ホイールホルダ238にもカッターホイール229が保持されていても良い。上記第2実施形態においても同様に変更され得る。
In the first embodiment, the
また、上記第1実施形態では、マザー基板Gの表面にスクライブラインを形成するカッター(スクライビングツール)として、支軸周りに回転するカッターホイール229が用いられたが、スクライブラインを形成するカッターはこれに限られない。たとえば、マザー基板Gの表面に圧接しながら回転することなく移動するカッターを用いたスクライブヘッドにも、本発明を適用可能である。上記第2実施形態においても同様に変更され得る。
In the first embodiment, the
この他、本発明の実施の形態は、特許請求の範囲に示された技術的思想の範囲内において、適宜、種々の変更が可能である。 In addition, the embodiment of the present invention can be variously modified as appropriate within the scope of the technical idea shown in the claims.
1 … スクライブ装置
2、5 … スクライブヘッド
4 … 移動機構
11 … コンベア
21、51 … 駆動部
22、23、52 … 昇降部
26、55 … ボトムプレート
211、511 … サーボモータ
224、234、522 … 押圧部
228、238、526、527 … ホイールホルダ
229、528 … カッターホイール
239、529 … バックアップローラ
S1、S2、S3 … ストッパー
G … マザー基板
DESCRIPTION OF
Claims (6)
スクライビングツールが一端に取付けられたホルダと、
前記ホルダを前記基板に接近および離間させる駆動機構と、
前記ホルダの前記基板への接近を規制して前記ホルダの前記基板に対する接近量を規定するストッパーと、を備える、
ことを特徴とするスクライブヘッド。 A scribing head used for scribing a substrate,
A holder with a scribing tool attached to one end;
A drive mechanism for moving the holder toward and away from the substrate;
A stopper that regulates the approach of the holder to the substrate by regulating the approach of the holder to the substrate,
A scribe head characterized by this.
前記ストッパーは、前記ホルダとともに前記基板に接近する移動部材または前記駆動機構を支持する支持部材の少なくとも一方に設けられ、前記ホルダの移動方向に平行な方向に突出する突出部を含む、
ことを特徴とするスクライブヘッド。 The scribe head according to claim 1,
The stopper is provided on at least one of a moving member that approaches the substrate together with the holder or a supporting member that supports the driving mechanism, and includes a protruding portion that protrudes in a direction parallel to the moving direction of the holder.
A scribe head characterized by this.
前記突出部は、ネジを含み、前記ネジを旋回することで突出量が調整可能となっている、
ことを特徴とするスクライブヘッド。 The scribe head according to claim 2,
The protruding portion includes a screw, and the protruding amount can be adjusted by turning the screw.
A scribe head characterized by this.
前記ホルダと前記ストッパーの組が2つ配置され、
前記駆動機構は、2つの前記ホルダを1つのモータにより選択的に移動させるよう構成されている、
ことを特徴とするスクライブヘッド。 The scribe head according to any one of claims 1 to 3,
Two sets of the holder and the stopper are arranged,
The drive mechanism is configured to selectively move the two holders by one motor.
A scribe head characterized by this.
前記ストッパーは、前記ホルダとともに前記基板に接近する移動部材に設けられている、
ことを特徴とするスクライブヘッド。 The scribe head according to claim 4,
The stopper is provided on a moving member that approaches the substrate together with the holder,
A scribe head characterized by this.
切断対象の基板を支持する支持部と、
前記支持部に支持された前記基板に対して前記スクライブヘッドを移動させる移動機構と、を備える、
ことを特徴とするスクライブ装置。 The scribe head according to any one of claims 1 to 5,
A support for supporting the substrate to be cut;
A moving mechanism for moving the scribe head relative to the substrate supported by the support part,
A scribing device characterized by that.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014094403A JP2015212016A (en) | 2014-05-01 | 2014-05-01 | Scribe head and scribe device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015212016A true JP2015212016A (en) | 2015-11-26 |
Family
ID=54696614
Family Applications (1)
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JP2014094403A Pending JP2015212016A (en) | 2014-05-01 | 2014-05-01 | Scribe head and scribe device |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2015212016A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101852262B1 (en) | 2015-08-27 | 2018-04-25 | 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤 | Cutting tool and cutter |
CN117285240A (en) * | 2023-11-24 | 2023-12-26 | 苏州优备精密智能装备股份有限公司 | Tool rest and cutting device |
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2014
- 2014-05-01 JP JP2014094403A patent/JP2015212016A/en active Pending
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