JP6910874B2 - 光学式外径測定装置 - Google Patents
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実施形態の説明に先立って、比較形態について説明する。図1は、比較形態に係る光学式外径測定装置200の概略図である。図1で例示するように、光学式外径測定装置200は、発光素子10、走査装置20、コリメートレンズ30、集光レンズ40、受光素子50などを備える。走査装置20は、回転ミラー21およびモータ(電動機)22を備える。発光素子10、走査装置20およびコリメートレンズ30は、略直方体形状の筐体60a内に配置されている。それにより、発光素子10、走査装置20およびコリメートレンズ30に対する汚れの付着などが防止される。集光レンズ40および受光素子50は、略直方体形状の筐体60b内に配置されている。それにより、集光レンズ40および受光素子50に対する汚れの付着などが防止される。
図2(a)および図2(b)は、第1実施形態に係る光学式外径測定装置100の概略図である。図2(a)は、上側から光学式外径測定装置100を見た図である。図2(b)は、側面側から光学式外径測定装置100を見た図である。図2(a)および図2(b)で例示するように、光学式外径測定装置100においては、回転ミラー21とコリメートレンズ30との間に、光透過部材80が設けられている。回転ミラー21からコリメートレンズ30に入射する走査光Sは、上下に走査方向を有する。光透過部材80は、当該走査光Sの全走査範囲が透過するような面積を有している。図1の光学式外径測定装置200と同じ構成については、同じ符号を付すことで説明を省略する。
図4は、第2実施形態に係る光学式外径測定装置100aの概略図である。図4で例示するように、光学式外径測定装置100aにおいては、光透過部材80が、走査装置20とコリメートレンズ30との間において筐体60aの断面を塞いでいる。さらに、筐体60a内において光透過部材80によって分離された空間のうち、コリメートレンズ30が配置されている空間Aが大気圧から減圧されている。
図5は、第3実施形態に係る光学式外径測定装置100bの概略図である。図5で例示するように、光学式外径測定装置100bが図2(a)および図2(b)の光学式外径測定装置100と異なる点は、放熱部材90をさらに備える点である。放熱部材90は、筐体60aよりも熱伝導率の高い材料によって構成されている。本実施形態においては、モータ22は、放熱部材90と熱的に接続されている。例えば、モータ22は、放熱部材90に接触している、または放熱部材90上に実装されている。それにより、モータ22によって生じる熱が放熱部材90に伝導しやすくなっている。さらに、放熱部材90は、筐体60aのいずれかの内面に接しているか、当該内面を貫通している。それにより、モータ22によって生じる熱を筐体60aの外部に放出することができる。その結果、モータ22によって生じる熱に起因する空気の揺らぎを抑制することができる。
上記実施形態に従って、被測定物70の外径測定を行った場合の測定精度を調べた。被測定物70として、φ30mmの円筒ゲージを用いた。実施例では、図2(a)および図2(b)で例示したように、筐体60aの断面を塞ぐ光透過部材80を設け、測定精度(繰返し精度:測定時間0.32秒(1024回平均)とした場合の±2σの値(σは標準偏差))を測定した。
比較例では、図1のように光透過部材80を設けなかった他は、実施例と同様とした。
図6は、実施例および比較例の測定精度を示す。図6に示すように、比較例では、測定精度が大きい値となった。すなわち、測定値のバラツキが大きくなった。これは、光透過部材80を設けなかったことで、走査光Sの光路における空気の揺らぎを抑制できなかったからであると考えられる。これに対して、実施例では、測定精度が小さい値となった。すなわち、測定値のバラツキが小さくなった。これは、回転ミラー21とコリメートレンズ30との間に光透過部材80を配置したことで、走査光Sの光路における空気の揺らぎを抑制できたからであると考えられる。
20 走査装置
21 回転ミラー
22 モータ
30 コリメートレンズ
40 集光レンズ
50 受光素子50
60a,60b 筐体
70 被測定物
80 光透過部材
100 光学式外径測定装置
Claims (4)
- モータの駆動によって回転することで、発光素子からの光を走査光に変換する回転装置と、
前記走査光を平行走査光に変換するコリメートレンズと、
被測定物を通過した前記平行走査光を集光する集光レンズと、
前記集光レンズによって集光された光を受光する受光素子と、
前記回転装置と前記コリメートレンズとを収容する筐体と、
前記筐体内において、前記回転装置と前記コリメートレンズとの間において、前記走査光の光路に配置され、前記筐体の断面を塞ぐ光透過部材と、を備えることを特徴とする光学式外径測定装置。 - 前記光透過部材において、前記走査光が入射する入射面および前記走査光が出射される出射面の少なくともいずれか一方は、前記走査光に対して傾斜していることを特徴とする請求項1記載の光学式外径測定装置。
- 前記筐体において、前記光透過部材によって分離される空間のうち、前記コリメートレンズが配置される空間は、大気圧から減圧されていることを特徴とする請求項1または2に記載の光学式外径測定装置。
- 前記回転装置は、外周が複数の平面によって形成された多角柱回転ミラーであることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の光学式外径測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2017141752A JP6910874B2 (ja) | 2017-07-21 | 2017-07-21 | 光学式外径測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2017141752A JP6910874B2 (ja) | 2017-07-21 | 2017-07-21 | 光学式外径測定装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2019020357A JP2019020357A (ja) | 2019-02-07 |
JP6910874B2 true JP6910874B2 (ja) | 2021-07-28 |
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Family Applications (1)
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JP2017141752A Active JP6910874B2 (ja) | 2017-07-21 | 2017-07-21 | 光学式外径測定装置 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP6910874B2 (ja) |
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2017
- 2017-07-21 JP JP2017141752A patent/JP6910874B2/ja active Active
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JP2019020357A (ja) | 2019-02-07 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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