JP6909403B2 - Glass film manufacturing method - Google Patents

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Description

本発明は、ロール状に巻き取ることが可能なガラスフィルムを製造する方法に関する。 The present invention relates to a method for producing a glass film that can be wound into a roll.

周知のように、液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）に用いられる板ガラス、有機ＥＬ照明に用いられる板ガラス、タッチパネルの構成要素である強化ガラス等の製造に用いられる板ガラス、更には太陽電池のパネル等に用いられる板ガラスは、薄肉化が推進されているのが実情である。 As is well known, flat glass used for flat panel displays (FPDs) such as liquid crystal displays and organic EL displays, flat glass used for organic EL lighting, tempered glass used for manufacturing tempered glass which is a component of a touch panel, and further. The reality is that flat glass used for solar cell panels and the like is being promoted to be thinner.

例えば特許文献１には、厚みが数百μｍ以下のガラスフィルム（薄板ガラス）が開示されている。この種のガラスフィルムは、同文献にも記載されるように、いわゆるオーバーフローダウンドロー法を採用した成形装置によって連続成形されるのが一般的である。 For example, Patent Document 1 discloses a glass film (thin plate glass) having a thickness of several hundred μm or less. As described in the same document, this type of glass film is generally continuously molded by a molding apparatus adopting a so-called overflow down draw method.

オーバーフローダウンドロー法により連続成形された長尺のガラスフィルムは、例えばその搬送方向が鉛直方向から水平方向に変換された後、搬送装置の横搬送部（水平搬送部）によって継続して下流側に搬送される。この搬送途中において、ガラスフィルムは、その幅方向両端部が切断除去される。その後、ガラスフィルムは、巻取りローラによってロール状に巻き取られることで、ガラスロールとして構成される。 A long glass film continuously formed by the overflow down draw method, for example, has its transport direction changed from the vertical direction to the horizontal direction, and then is continuously moved downstream by the horizontal transport section (horizontal transport section) of the transport device. Be transported. During this transfer, both ends of the glass film in the width direction are cut and removed. After that, the glass film is formed as a glass roll by being wound into a roll by a winding roller.

ガラスフィルムの幅方向両端部を切断する技術として、特許文献１ではレーザ割断が開示されている。レーザ割断では、ダイヤモンドカッタ等のクラック形成手段によりガラスフィルムに初期クラックを形成した後、この部分にレーザ光を照射して加熱する。その後、加熱された部分を冷却手段により冷却し、ガラスフィルムに生じる熱応力により初期クラックを進展させてガラスフィルムを切断する。 As a technique for cutting both ends in the width direction of a glass film, Patent Document 1 discloses laser cutting. In laser cutting, initial cracks are formed in the glass film by a crack forming means such as a diamond cutter, and then this portion is irradiated with laser light to heat it. After that, the heated portion is cooled by the cooling means, and the initial cracks are developed by the thermal stress generated in the glass film to cut the glass film.

他の切断方法として、特許文献２には、いわゆるピーリング現象を利用したガラスフィルムの切断技術が開示されている。この技術は、ガラスフィルム（ガラス基板）を搬送しつつ、当該ガラスフィルムにレーザ光を照射してその一部を溶断し、その溶断部分をレーザ光の照射領域から遠ざけることにより冷却する。 As another cutting method, Patent Document 2 discloses a technique for cutting a glass film using a so-called peeling phenomenon. In this technique, while transporting a glass film (glass substrate), the glass film is irradiated with a laser beam to melt a part of the glass film, and the fused portion is cooled by moving it away from the irradiation region of the laser beam.

この場合において、溶断部分が冷却されることにより略糸状の剥離物（析出物）が生じる（例えば特許文献２の段落００４４及び図３参照）。この糸状剥離物がガラスフィルムの端部から剥がれ落ちる現象を一般にピーリングと呼ぶ。糸状剥離物が生じることで、ガラスフィルムには、均一な切断面が形成されることになる。 In this case, the fusing portion is cooled to form a substantially thread-like exfoliated substance (precipitate) (see, for example, paragraph 0044 and FIG. 3 of Patent Document 2). The phenomenon in which the filamentous material peels off from the edge of the glass film is generally called peeling. By producing the filamentous exfoliated material, a uniform cut surface is formed on the glass film.

特開２０１２−２４０８８３号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2012-240883 国際公開第２０１４／００２６８５号公報International Publication No. 2014/002685

ガラスフィルムは可撓性を有しているため、横搬送部で横方向に搬送される途中で、当該ガラスフィルムに皺が発生し得る。皺が発生すると、この皺及びその近傍に曲げ応力が発生する。したがって、ガラスフィルムに皺が生じたままの状態でレーザ光を照射すると、溶断部分に対して、皺に起因する不測の曲げ応力が付与されることになる。このため、ガラスフィルムの切断を精度良く行うことが困難になるという問題を招き得る。 Since the glass film has flexibility, wrinkles may occur in the glass film during lateral transportation by the lateral transportation portion. When wrinkles occur, bending stress is generated in and around the wrinkles. Therefore, if the glass film is irradiated with the laser beam while the glass film is wrinkled, an unexpected bending stress due to the wrinkles is applied to the fusing portion. Therefore, it may be difficult to cut the glass film with high accuracy.

本発明は上記の事情に鑑みて為されたものであり、ピーリングを利用してガラスフィルムを切断する場合に、ガラスフィルムに生じ得る皺を好適に除去し、ガラスフィルムを精度良く切断することを技術的課題とする。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and when the glass film is cut by using peeling, wrinkles that may occur on the glass film are suitably removed, and the glass film is cut with high accuracy. Make it a technical issue.

本発明は上記の課題を解決するためのものであり、長尺状のガラスフィルムをその長手方向に沿って上流から下流に搬送する搬送工程と、前記搬送工程により前記ガラスフィルムを搬送しつつ、前記ガラスフィルムにレーザ照射装置からレーザ光を照射することにより、前記ガラスフィルムを分離する切断工程と、を備え、前記搬送工程は、前記レーザ照射装置よりも上流側に配置される皺除去部により前記ガラスフィルムの皺を取り除く皺除去工程を備え、前記切断工程は、前記搬送工程において前記ガラスフィルムの前記皺を除去した後に、前記レーザ光を前記ガラスフィルムに照射することにより前記ガラスフィルムを分離し、分離された前記ガラスフィルムの幅方向端部から糸状剥離物を発生させることを特徴とする。 The present invention is for solving the above-mentioned problems, in which a transport step of transporting a long glass film from upstream to downstream along its longitudinal direction and a transport step of transporting the glass film by the transport step are performed. The glass film is provided with a cutting step of separating the glass film by irradiating the glass film with laser light from the laser irradiation device, and the transport step is performed by a wrinkle removing portion arranged on the upstream side of the laser irradiation device. The glass film is provided with a wrinkle removing step for removing the wrinkles of the glass film, and the cutting step separates the glass film by irradiating the glass film with the laser beam after removing the wrinkles of the glass film in the transporting step. However, it is characterized in that a filamentous exfoliated material is generated from the widthwise end portion of the separated glass film.

かかる構成によれば、搬送工程において皺除去部によりガラスフィルムの皺を除去した後に、切断工程においてピーリングによるガラスフィルムの切断（溶断）を行うことで、ガラスフィルムの幅方向端部から均一な糸状剥離物を発生させることができる。これにより、ガラスフィルムの幅方向端部を均一な断面に形成することができ、よってガラスフィルムを精度良く切断することが可能になる。 According to this configuration, after removing the wrinkles of the glass film by the wrinkle removing portion in the transporting step, the glass film is cut (fused) by peeling in the cutting step, so that the glass film has a uniform thread shape from the widthwise end portion. A peeled material can be generated. As a result, the widthwise end portion of the glass film can be formed into a uniform cross section, and thus the glass film can be cut with high accuracy.

上記のガラスフィルムの製造方法において、前記皺除去部は、前記ガラスフィルムの下面側であってガラスフィルムの幅方向に沿って配置される棒状部材を備えることが望ましい。このように、搬送工程の皺除去工程では、ガラスフィルムがこの棒状部材を通過することにより、ガラスフィルムの皺を好適に消失させることができる。 In the above method for producing a glass film, it is desirable that the wrinkle removing portion includes a rod-shaped member which is on the lower surface side of the glass film and is arranged along the width direction of the glass film. As described above, in the wrinkle removing step of the transporting step, the wrinkles of the glass film can be suitably eliminated by passing the glass film through the rod-shaped member.

また、前記皺除去部は、前記棒状部材と前記レーザ照射装置との間であって、前記ガラスフィルムの下面側に配置される板状部材を備え得る。皺除去工程では、ガラスフィルムが棒状部材及び板状部材を通過することで、ガラスフィルムの皺をより一層好適に消失させることが可能になる。 Further, the wrinkle removing portion may include a plate-shaped member arranged between the rod-shaped member and the laser irradiation device on the lower surface side of the glass film. In the wrinkle removing step, the wrinkles of the glass film can be more preferably removed by passing the glass film through the rod-shaped member and the plate-shaped member.

この場合において、前記板状部材の上面は、前記棒状部材の上端部よりも下方に位置することが望ましい。これにより、ガラスフィルムの皺を、棒状部材と板状部材とによって段階的に消失させることができる。 In this case, it is desirable that the upper surface of the plate-shaped member is located below the upper end of the rod-shaped member. As a result, the wrinkles of the glass film can be gradually eliminated by the rod-shaped member and the plate-shaped member.

また、前記板状部材の幅は、前記棒状部材の長さよりも小さく設定されることが望ましい。 Further, it is desirable that the width of the plate-shaped member is set smaller than the length of the rod-shaped member.

上記のガラスフィルムの製造方法において、前記レーザ照射装置は、前記ガラスフィルムの上方に配置されるとともに、前記ガラスフィルムの幅方向に対して所定の離間距離をおいて二台配置されており、前記板状部材の幅は、前記レーザ照射装置の前記離間距離よりも大きく設定されることが望ましい。なお、板状部材の幅とは、搬送されるガラスフィルムの長手方向に直交する幅方向における板状部材の寸法をいう。 In the above method for manufacturing a glass film, two laser irradiation devices are arranged above the glass film and at a predetermined distance from the width direction of the glass film. It is desirable that the width of the plate-shaped member is set to be larger than the separation distance of the laser irradiation device. The width of the plate-shaped member means the dimension of the plate-shaped member in the width direction orthogonal to the longitudinal direction of the glass film to be conveyed.

上記のように板状部材の幅を二台のレーザ照射装置の離間距離よりも大きく設定することにより、レーザ光を照射する位置にガラスフィルムが到達する前に、確実にその皺を消失させることができる。 By setting the width of the plate-shaped member to be larger than the separation distance between the two laser irradiation devices as described above, the wrinkles can be surely eliminated before the glass film reaches the position where the laser beam is irradiated. Can be done.

この場合において、前記板状部材の幅は、前記レーザ照射装置の前記離間距離の１．０２倍以上前記棒状部材の長さの０．９５倍以下であることが望ましい。 In this case, it is desirable that the width of the plate-shaped member is 1.02 times or more the separation distance of the laser irradiation device or 0.95 times or less the length of the rod-shaped member.

前記搬送工程では、前記ガラスフィルムの下面に接触する搬送用シート材を定盤上で移動させることにより前記ガラスフィルムを搬送し、前記皺除去部は、前記レーザ照射装置による前記レーザ光の照射位置よりも上流側であって、前記搬送用シート材を前記定盤の上面から上方に離間すべく前記上面に設置されており、前記レーザ光の前記照射位置の上流側において、前記搬送用シート材が前記定盤の前記上面に接触した状態であることが望ましい。 In the transfer step, the glass film is conveyed by moving the transfer sheet material in contact with the lower surface of the glass film on a surface plate, and the wrinkle removing portion is a position where the laser beam is irradiated by the laser irradiation device. The transport sheet material is installed on the upper surface of the surface plate so as to be separated upward from the upper surface of the surface plate, and is on the upstream side of the irradiation position of the laser beam. Is in contact with the upper surface of the surface plate.

かかる構成によれば、皺除去部によって皺が取り除かれたガラスフィルムは、レーザ光の照射位置において、定盤の上面によって安定的に支持されることになる。これにより、レーザ光の照射位置においてガラスフィルムを精度良く切断できる。 According to such a configuration, the glass film from which the wrinkles have been removed by the wrinkle removing portion is stably supported by the upper surface of the surface plate at the irradiation position of the laser beam. As a result, the glass film can be cut with high accuracy at the irradiation position of the laser beam.

本発明によれば、ピーリングを利用してガラスフィルムを切断する場合に、ガラスフィルムに生じ得る皺を好適に除去し、ガラスフィルムを精度良く切断することが可能になる。 According to the present invention, when the glass film is cut by using peeling, wrinkles that may occur on the glass film can be suitably removed, and the glass film can be cut with high accuracy.

第一実施形態に係るガラスフィルムの製造装置を示す側面図である。It is a side view which shows the manufacturing apparatus of the glass film which concerns on 1st Embodiment. ガラスフィルムの製造装置の平面図である。It is a top view of the glass film manufacturing apparatus. ガラスフィルムの製造装置の要部拡大側面図である。It is an enlarged side view of the main part of the glass film manufacturing apparatus. 図２のＩＶ−ＩＶ線断面図である。FIG. 2 is a sectional view taken along line IV-IV of FIG. 図２のＶ−Ｖ線断面図である。FIG. 2 is a sectional view taken along line VV of FIG. 切断工程を説明するためのガラスフィルムの断面図である。It is sectional drawing of the glass film for demonstrating the cutting process. 第二実施形態に係るガラスフィルムの製造装置を示す側面図である。It is a side view which shows the manufacturing apparatus of the glass film which concerns on 2nd Embodiment. ガラスフィルムの製造装置の平面図である。It is a top view of the glass film manufacturing apparatus. ガラスフィルムの製造装置の要部拡大側面図である。It is an enlarged side view of the main part of the glass film manufacturing apparatus. 図８のＸ−Ｘ線断面図である。FIG. 8 is a cross-sectional view taken along line XX of FIG. 第三実施形態に係るガラスフィルムの製造装置を示す側面図である。It is a side view which shows the manufacturing apparatus of the glass film which concerns on 3rd Embodiment. ガラスフィルムの製造装置の平面図である。It is a top view of the glass film manufacturing apparatus. 第四実施形態に係るガラスフィルムの製造装置を示す側面図である。It is a side view which shows the manufacturing apparatus of the glass film which concerns on 4th Embodiment. ガラスフィルムの制御装置の平面図である。It is a top view of the control device of a glass film.

以下、本発明を実施するための形態について図面を参照しながら説明する。図１乃至図６は、本発明に係るガラスフィルムの製造方法を実施するための製造装置の第一実施形態を示す。 Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings. 1 to 6 show a first embodiment of a manufacturing apparatus for carrying out the method for manufacturing a glass film according to the present invention.

図１は、ガラスフィルムの製造装置の全体構成を模式的に示す概略側面図である。図１に示すように、製造装置１は、ガラスフィルムＧを成形する成形部２と、ガラスフィルムＧの進行方向を縦方向下方から横方向に変換する方向変換部３と、方向変換後にガラスフィルムＧを横方向に搬送する横搬送部４と、横搬送部４で横方向に搬送しつつガラスフィルムＧの幅方向端部Ｇａ，Ｇｂを非製品部Ｇｃとして切断する切断部５と、この切断部５により非製品部Ｇｃを切断除去してなる製品部Ｇｄをロール状に巻き取ってガラスロールＲを構成する巻取り部６とを備える。 FIG. 1 is a schematic side view schematically showing the overall configuration of a glass film manufacturing apparatus. As shown in FIG. 1, the manufacturing apparatus 1 includes a molding unit 2 for molding the glass film G, a direction changing unit 3 for changing the traveling direction of the glass film G from the lower vertical direction to the horizontal direction, and a glass film after the direction change. A lateral transport unit 4 that transports G in the lateral direction, a cutting portion 5 that cuts the widthwise end portions Ga and Gb of the glass film G as non-product portions Gc while transporting the glass film G in the lateral direction by the lateral transport unit 4, and this cutting. A winding portion 6 for forming a glass roll R by winding the product portion Gd formed by cutting and removing the non-product portion Gc by the portion 5 into a roll shape is provided.

なお、以下の説明において「上流」（側）とは、成形部２又はガラスロール元材Ｒａ寄りの位置をいい、「下流」（側）とは、巻取り部６寄りの位置をいう。また、本実施形態における製品部Ｇｄの厚みは、３００μｍ以下とされ、好ましくは１０μｍ以上２００μｍ以下とされ、より好ましくは５０μｍ以上１００μｍ以下とされるが、これに限定されない。 In the following description, the "upstream" (side) refers to the position closer to the molding portion 2 or the glass roll base material Ra, and the "downstream" (side) refers to the position closer to the winding portion 6. The thickness of the product portion Gd in the present embodiment is 300 μm or less, preferably 10 μm or more and 200 μm or less, and more preferably 50 μm or more and 100 μm or less, but is not limited thereto.

成形部２は、上端部にオーバーフロー溝７ａが形成された断面視略楔形の成形体７と、成形体７の直下に配置されて、成形体７から溢出した溶融ガラスを表裏両側から挟むエッジローラ８と、エッジローラ８の直下に配備されるアニーラ９とを備える。 The molding portion 2 is a wedge-shaped molded body 7 having an overflow groove 7a formed at the upper end thereof, and an edge roller arranged directly under the molded body 7 and sandwiching the molten glass overflowing from the molded body 7 from both the front and back sides. 8 and annealer 9 deployed directly under the edge roller 8 are provided.

成形部２は、成形体７のオーバーフロー溝７ａの上方から溢流した溶融ガラスを、両側面に沿ってそれぞれ流下させ、下端で合流させてフィルム状の溶融ガラスを成形する。エッジローラ８は、溶融ガラスの幅方向収縮を規制して所定幅のガラスフィルムＧとする。アニーラ９は、ガラスフィルムＧに対して除歪処理を施すためのものである。このアニーラ９は、上下方向複数段に配設されたアニーラローラ１０を有する。 The molding unit 2 forms a film-shaped molten glass by causing the molten glass that has overflowed from above the overflow groove 7a of the molded body 7 to flow down along both side surfaces and merge at the lower ends. The edge roller 8 regulates the shrinkage of the molten glass in the width direction to obtain a glass film G having a predetermined width. The annealer 9 is for subjecting the glass film G to a strain-removing treatment. The annealer 9 has an annealer roller 10 arranged in a plurality of stages in the vertical direction.

アニーラ９の下方には、ガラスフィルムＧを表裏両側から挟持する支持ローラ１１が配設されている。支持ローラ１１とエッジローラ８との間、または支持ローラ１１と何れか一箇所のアニーラローラ１０との間では、ガラスフィルムＧを薄肉にすることを助長するための張力が付与されている。 A support roller 11 for sandwiching the glass film G from both the front and back sides is arranged below the annealer 9. A tension is applied between the support roller 11 and the edge roller 8 or between the support roller 11 and any one of the annealing rollers 10 to help thin the glass film G.

方向変換部３は、支持ローラ１１の下方位置に設けられている。方向変換部３には、ガラスフィルムＧを案内する複数のガイドローラ１２が湾曲状に配列されている。これらのガイドローラ１２は、鉛直方向に搬送されるガラスフィルムＧを横方向へと案内する。 The direction changing unit 3 is provided at a position below the support roller 11. A plurality of guide rollers 12 for guiding the glass film G are arranged in a curved shape in the direction changing unit 3. These guide rollers 12 guide the glass film G, which is conveyed in the vertical direction, in the lateral direction.

横搬送部４は、方向変換部３の進行方向前方（下流側）に配置される。この横搬送部４は、上流側から順に、第一搬送装置１３、第二搬送装置１４、及び第三搬送装置１５を有する。 The lateral transport unit 4 is arranged in front (downstream side) of the direction changing unit 3 in the traveling direction. The lateral transport unit 4 has a first transport device 13, a second transport device 14, and a third transport device 15 in this order from the upstream side.

第一搬送装置１３は、無端帯状の搬送ベルト１６と、この搬送ベルト１６の駆動装置１７とを有する。第一搬送装置１３は、搬送ベルト１６の上面をガラスフィルムＧに接触させることで、方向変換部３を通過したガラスフィルムＧを下流側へと連続的に搬送する。駆動装置１７は、搬送ベルト１６を駆動するためのローラ、スプロケット等の駆動体１７ａと、この駆動体１７ａを回転させるモータ（図示せず）を有する。 The first transfer device 13 has an endless band-shaped transfer belt 16 and a drive device 17 for the transfer belt 16. By bringing the upper surface of the transport belt 16 into contact with the glass film G, the first transport device 13 continuously transports the glass film G that has passed through the direction changing unit 3 to the downstream side. The drive device 17 has a drive body 17a such as a roller and a sprocket for driving the transport belt 16 and a motor (not shown) for rotating the drive body 17a.

第二搬送装置１４は、ガラスフィルムＧを支持する定盤１８と、ガラスフィルムＧを搬送するためのシート材１９とを有する。 The second transfer device 14 has a surface plate 18 for supporting the glass film G and a sheet material 19 for transporting the glass film G.

定盤１８は、搬送中にガラスフィルムＧに生じる皺Ｇｅを取り除くための皺除去部２０を有する。本実施形態において、皺除去部２０は、棒状部材２０ａを含む。棒状部材２０ａは、円筒面を有する部材により構成されるが、この形状に限定されない。棒状部材２０ａは、ガラスフィルムＧの皺Ｇｅを除去すべく、上方に凸となる曲面を有していればよく、断面視半円形や楕円形に構成されてもよい。 The surface plate 18 has a wrinkle removing portion 20 for removing wrinkles Ge generated on the glass film G during transportation. In the present embodiment, the wrinkle removing portion 20 includes a rod-shaped member 20a. The rod-shaped member 20a is composed of a member having a cylindrical surface, but is not limited to this shape. The rod-shaped member 20a may have a curved surface that is convex upward in order to remove the wrinkles Ge of the glass film G, and may be formed in a semicircular or elliptical shape in cross section.

図３に示すように、棒状部材２０ａは、定盤１８の上面１８ａに固定されているが、この形態に限定されない。棒状部材２０ａは、定盤１８の上面１８ａから上方に離間した位置にて回転可能に構成されてもよい。この場合、棒状部材２０ａは、空転してもよく、駆動手段によって回転駆動されてもよい。棒状部材２０ａの直径Ｄは、２ｍｍ以上１００ｍｍ以下に設定されるが、この範囲に限定されず、ガラスフィルムＧや製品部Ｇｄの寸法等に応じて適宜設定され得る。また、棒状部材１５ａが円筒形以外の場合（例えば三角柱状や半円柱状）、棒状部材１５ａの高さは１０ｍｍ以上１００ｍｍ以下であることが好ましく、搬送用シート材２３を介してガラスと接触する部分の曲率半径がＲ１ｍｍ以上、Ｒ１００ｍｍ以下であることが好ましい。 As shown in FIG. 3, the rod-shaped member 20a is fixed to the upper surface 18a of the surface plate 18, but is not limited to this form. The rod-shaped member 20a may be configured to be rotatable at a position separated upward from the upper surface 18a of the surface plate 18. In this case, the rod-shaped member 20a may idle or may be rotationally driven by the driving means. The diameter D of the rod-shaped member 20a is set to 2 mm or more and 100 mm or less, but is not limited to this range, and may be appropriately set according to the dimensions of the glass film G and the product part Gd. When the rod-shaped member 15a is not cylindrical (for example, triangular columnar or semi-cylindrical), the height of the rod-shaped member 15a is preferably 10 mm or more and 100 mm or less, and comes into contact with the glass via the transport sheet material 23. The radius of curvature of the portion is preferably R1 mm or more and R100 mm or less.

棒状部材２０ａは、ガラスフィルムＧの幅方向Ｗに沿って配置される。すなわち、棒状部材２０ａは、ガラスフィルムＧの長手方向に対して直交するように、定盤１８の上面１８ａに配置される。 The rod-shaped member 20a is arranged along the width direction W of the glass film G. That is, the rod-shaped member 20a is arranged on the upper surface 18a of the surface plate 18 so as to be orthogonal to the longitudinal direction of the glass film G.

図２及び図４に示すように、棒状部材２０ａの長さＬＲは、ガラスフィルムＧの幅ＷＧよりも短く設定される。 As shown in FIGS. 2 and 4, the length LR of the rod-shaped member 20a is set shorter than the width WG of the glass film G.

ガラスフィルムＧの幅方向端部Ｇａ，Ｇｂには、中央部よりも厚さが大きな部分（以下「耳部」という）Ｇｆが形成される。棒状部材２０ａの長さＬＲは、ガラスフィルムＧの下面側に棒状部材２０ａを配置した場合に、この耳部Ｇｆに重ならないように設定される。すなわち、棒状部材２０ａの長さＬＲは、ガラスフィルムＧにおいて、耳部Ｇｆを含まない幅方向中央側の部分の幅ＷＣよりも短く設定されることが望ましい。これにより、ガラスフィルムＧを支持する棒状部材２０ａは、ガラスフィルムＧの耳部Ｇｆを支持することなく、ガラスフィルムＧの耳部Ｇｆよりも幅方向中央側の部分を支持する。棒状部材２０ａの長さＬＲは、レーザ照射装置２５の離間距離ＤＬの１．１倍以上、ガラスフィルムＧの中央側の部分の幅ＷＣの０．９８倍以下であることが好ましい。 A portion (hereinafter referred to as "ear portion") Gf having a thickness larger than that of the central portion is formed at the widthwise end portions Ga and Gb of the glass film G. The length LR of the rod-shaped member 20a is set so as not to overlap the selvage portion Gf when the rod-shaped member 20a is arranged on the lower surface side of the glass film G. That is, it is desirable that the length LR of the rod-shaped member 20a is set shorter than the width WC of the portion of the glass film G on the central side in the width direction that does not include the selvage portion Gf. As a result, the rod-shaped member 20a that supports the glass film G does not support the selvage portion Gf of the glass film G, but supports the portion of the glass film G on the central side in the width direction with respect to the selvage portion Gf. The length LR of the rod-shaped member 20a is preferably 1.1 times or more the separation distance DL of the laser irradiation device 25 and 0.98 times or less the width WC of the central portion of the glass film G.

搬送用シート材１９は、例えば発泡樹脂シートにより構成されるが、この材料に限定されるものではない。搬送用シート材１９は、定盤１８の下方に配置されるシートロール２１から引き出され、定盤１８上を上流側から下流側へと移動する（図１参照）。搬送用シート材１９は、定盤１８上において、ガラスフィルムＧの下面に接触し、その移動により当該ガラスフィルムＧを下流側へと搬送する。搬送用シート材１９は、定盤１８の上面１８ａを通過した後に、定盤１８の下方位置において、図示しない巻取り装置によって回収される。 The transport sheet material 19 is composed of, for example, a foamed resin sheet, but is not limited to this material. The transport sheet material 19 is pulled out from the sheet roll 21 arranged below the surface plate 18, and moves on the surface plate 18 from the upstream side to the downstream side (see FIG. 1). The transport sheet material 19 comes into contact with the lower surface of the glass film G on the surface plate 18, and the glass film G is transported to the downstream side by the movement thereof. After passing through the upper surface 18a of the surface plate 18, the transport sheet material 19 is collected by a winding device (not shown) at a position below the surface plate 18.

搬送用シート材１９の幅ＷＳは、棒状部材２０ａの長さＬＲよりも大きく設定される。また、搬送用シート材１９の幅ＷＳは、ガラスフィルムＧの幅ＷＧよりも小さく設定される。より詳細には、搬送用シート材１９の幅ＷＳは、ガラスフィルムＧにおいて、耳部Ｇｆを含まない幅方向中央側の部分の幅ＷＣよりも小さく設定されることが望ましい（図４参照）。 The width WS of the transport sheet material 19 is set to be larger than the length LR of the rod-shaped member 20a. Further, the width WS of the transport sheet material 19 is set smaller than the width WG of the glass film G. More specifically, it is desirable that the width WS of the transport sheet material 19 is set smaller than the width WC of the portion of the glass film G on the central side in the width direction that does not include the selvage portion Gf (see FIG. 4).

搬送用シート材１９の厚みＴＳは、０．０５ｍｍ以上２ｍｍ以下に設定されるが、この範囲に限定されず、ガラスフィルムＧの耳部Ｇｆが定盤１８の上面１８ａに接触させないように適宜設定され得る。 The thickness TS of the transport sheet material 19 is set to 0.05 mm or more and 2 mm or less, but is not limited to this range, and is appropriately set so that the selvage portion Gf of the glass film G does not come into contact with the upper surface 18a of the surface plate 18. Can be done.

第三搬送装置１５は、ガラスフィルムＧを支持する定盤２２と、ガラスフィルムＧを搬送するためのシート材２３とを有する。第三搬送装置１５は、定盤２２の上流側下方に配置されるシートロール２４から引き出された搬送用シート材２３を定盤２２上で下流側に移動させることにより、切断部５によって切断されたガラスフィルムＧの非製品部Ｇｃ及び製品部Ｇｄを下流側へと搬送する。 The third transfer device 15 has a surface plate 22 for supporting the glass film G and a sheet material 23 for transporting the glass film G. The third transfer device 15 is cut by the cutting portion 5 by moving the transfer sheet material 23 pulled out from the sheet roll 24 arranged below the upstream side of the surface plate 22 to the downstream side on the surface plate 22. The non-product part Gc and the product part Gd of the glass film G are conveyed to the downstream side.

図１及び図２に示すように、切断部５は、横搬送部４における第二搬送装置１４と第三搬送装置１５との間に配置される。切断部５は、レーザ照射装置２５と、ガラスフィルムを支持する定盤２６と、レーザ照射装置２５のレーザ光ＬをガラスフィルムＧに照射することにより生じる糸状剥離物Ｇｇを回収する回収装置２７とを備える。 As shown in FIGS. 1 and 2, the cutting portion 5 is arranged between the second transport device 14 and the third transport device 15 in the lateral transport unit 4. The cutting portion 5 includes a laser irradiation device 25, a surface plate 26 that supports the glass film, and a recovery device 27 that recovers the filamentous exfoliated material Gg generated by irradiating the glass film G with the laser beam L of the laser irradiation device 25. To be equipped.

レーザ照射装置２５は、定盤２６の上方であって、皺除去部２０よりも下流側に配置される。レーザ照射装置２５は、例えばＣＯ２レーザ、ＹＡＧレーザその他のレーザ光Ｌを下方に向けて照射するように構成される。本実施形態では、ガラスフィルムＧの幅方向両端部Ｇａ，Ｇｂを切断するように、二台のレーザ照射装置２５が配置されている（図２参照）。 The laser irradiation device 25 is arranged above the surface plate 26 and downstream of the wrinkle removing portion 20. The laser irradiation device 25 is configured to irradiate, for example, a CO 2 laser, a YAG laser, or other laser beam L downward. In the present embodiment, two laser irradiation devices 25 are arranged so as to cut both ends Ga and Gb of the glass film G in the width direction (see FIG. 2).

レーザ光Ｌは、ガラスフィルムＧに対して所定の位置（照射位置）Ｏに照射される。この照射位置Ｏと、皺除去部２０の棒状部材２０ａとの離間距離Ｄ１は、２００ｍｍ以上２０００ｍｍ以下とされるが、この範囲に限定されず、ガラスフィルムＧの寸法及び棒状部材２０ａの寸法に応じて適宜設定される。 The laser beam L is irradiated to a predetermined position (irradiation position) O with respect to the glass film G. The separation distance D1 between the irradiation position O and the rod-shaped member 20a of the wrinkle removing portion 20 is 200 mm or more and 2000 mm or less, but is not limited to this range, and depends on the dimensions of the glass film G and the rod-shaped member 20a. Is set as appropriate.

定盤２６は、上下方向に貫通する開口部２６ａを有する。レーザ照射装置２５におけるレーザ光Ｌの照射位置Ｏは、この開口部２６ａの範囲内に設定される。 The surface plate 26 has an opening 26a penetrating in the vertical direction. The irradiation position O of the laser beam L in the laser irradiation device 25 is set within the range of the opening 26a.

図２及び図３に示すように、回収装置２７は、定盤２６の下方に配置される。回収装置２７は、ベルトコンベア２７ａにより構成される。本実施形態では、ガラスフィルムＧの各端部Ｇａ，Ｇｂに対応して、二台のベルトコンベア２７ａが配置される。各ベルトコンベア２７ａは、ガラスフィルムＧの搬送方向（長手方向）に直交する方向（幅方向）に沿って、すなわち、ガラスフィルムＧの幅方向における内側から外側に向かって糸状剥離物Ｇｇを搬送する。 As shown in FIGS. 2 and 3, the recovery device 27 is arranged below the surface plate 26. The recovery device 27 is composed of a belt conveyor 27a. In the present embodiment, two belt conveyors 27a are arranged corresponding to the respective end portions Ga and Gb of the glass film G. Each belt conveyor 27a conveys the filamentous strip Gg along the direction (width direction) orthogonal to the transport direction (longitudinal direction) of the glass film G, that is, from the inside to the outside in the width direction of the glass film G. ..

巻取り部６は、第三搬送装置１５の下流側に設置されている。巻取り部６は、巻取りローラ２８と、この巻取りローラ２８を回転駆動するモータ（図示せず）と、巻取りローラ２８に保護シート２９ａを供給する保護シート供給部２９とを有する。巻取り部６は、保護シート供給部２９から送られる保護シート２９ａを製品部Ｇｄに重ね合わせつつ、モータにより巻取りローラ２８を回転させることで、製品部Ｇｄをロール状に巻き取る。巻き取られた製品部Ｇｄは、ガラスロールＲとして構成される。 The take-up unit 6 is installed on the downstream side of the third transfer device 15. The take-up unit 6 includes a take-up roller 28, a motor (not shown) that rotationally drives the take-up roller 28, and a protective sheet supply unit 29 that supplies the protective sheet 29a to the take-up roller 28. The winding unit 6 winds the product unit Gd in a roll shape by rotating the winding roller 28 by a motor while superimposing the protective sheet 29a sent from the protective sheet supply unit 29 on the product unit Gd. The wound product unit Gd is configured as a glass roll R.

以下、上記構成の製造装置１によりガラスロールＲを製造する方法について説明する。ガラスロールＲの製造方法は、成形部２によって帯状のガラスフィルムＧを成形する成形工程と、方向変換部３及び横搬送部４によりガラスフィルムＧを搬送する搬送工程と、切断部５によりガラスフィルムＧの幅方向端部Ｇａ，Ｇｂを切断する切断工程と、切断工程後に製品部Ｇｄを巻取り部６によって巻き取る巻取り工程とを備える。 Hereinafter, a method of manufacturing the glass roll R by the manufacturing apparatus 1 having the above configuration will be described. The method for manufacturing the glass roll R includes a molding step of molding the strip-shaped glass film G by the molding section 2, a transport step of transporting the glass film G by the direction changing section 3 and the lateral transport section 4, and a glass film by the cutting section 5. It includes a cutting step of cutting the widthwise end portions Ga and Gb of G, and a winding step of winding the product portion Gd by the winding portion 6 after the cutting step.

成形工程では、成形部２における成形体７のオーバーフロー溝７ａの上方から溢流した溶融ガラスを、両側面に沿ってそれぞれ流下させ、下端で合流させてフィルム状の溶融ガラスとする。この際、溶融ガラスの幅方向収縮をエッジローラ８により規制して所定幅のガラスフィルムＧとする。その後、ガラスフィルムＧに対してアニーラ９により除歪処理を施す（徐冷工程）。支持ローラ１１の張力により、ガラスフィルムＧは所定の厚みに形成される。 In the molding step, the molten glass overflowing from above the overflow groove 7a of the molded body 7 in the molded portion 2 is allowed to flow down along both side surfaces and merged at the lower ends to form a film-shaped molten glass. At this time, the shrinkage of the molten glass in the width direction is regulated by the edge roller 8 to obtain a glass film G having a predetermined width. Then, the glass film G is subjected to a strain removing treatment by the annealing 9 (slow cooling step). The glass film G is formed to a predetermined thickness by the tension of the support roller 11.

搬送工程では、方向変換部３によってガラスフィルムＧの搬送方向を横方向に変換するとともに、各搬送装置１３〜１５によって、ガラスフィルムＧを下流側の巻取り部６へと搬送する。 In the transfer step, the direction changing unit 3 changes the transfer direction of the glass film G to the lateral direction, and the transfer devices 13 to 15 transfer the glass film G to the winding unit 6 on the downstream side.

ガラスフィルムＧには、横搬送部４による搬送中に多数の皺Ｇｅが不規則に生じる。これらの皺Ｇｅは、ガラスフィルムＧが第二搬送装置１４の皺除去部２０を通過することにより消失する（皺除去工程）。すなわち、ガラスフィルムＧは、皺除去部２０の棒状部材２０ａを通過する際、その下面側に位置する棒状部材２０ａによって、搬送用シート材１９とともに定盤１８の上面１８ａよりも上方位置に押し上げられる。このとき、ガラスフィルムＧの皺Ｇｅは、ガラスフィルムＧが棒状部材２０ａによって引き伸ばされることにより消失する。 A large number of wrinkles Ge are irregularly generated on the glass film G during transportation by the lateral transportation unit 4. These wrinkles Ge disappear when the glass film G passes through the wrinkle removing portion 20 of the second transfer device 14 (wrinkle removing step). That is, when the glass film G passes through the rod-shaped member 20a of the wrinkle removing portion 20, the rod-shaped member 20a located on the lower surface side thereof pushes up the glass film G together with the transport sheet material 19 to a position higher than the upper surface 18a of the surface plate 18. .. At this time, the wrinkle Ge of the glass film G disappears when the glass film G is stretched by the rod-shaped member 20a.

搬送用シート材１９は、棒状部材２０ａを通過する際に、当該棒状部材２０ａによって持ち上げられる。これにより、搬送用シート材１９は、棒状部材２０ａよりも上流側の一部と、棒状部材２０ａよりも下流側の一部とが定盤１８の上面１８ａから離間する。図３に示すように、搬送用シート材１９と定盤１８の上面１８ａとの上下方向における離間距離は、搬送用シート材１９が棒状部材２０ａから下流に移動するにつれて小さくなる。搬送用シート材１９は、レーザ照射装置２５におけるレーザ光Ｌの照射位置Ｏよりも上流側で、定盤１８の上面１８ａに接触する。 When the transport sheet material 19 passes through the rod-shaped member 20a, it is lifted by the rod-shaped member 20a. As a result, in the transport sheet material 19, a part on the upstream side of the rod-shaped member 20a and a part on the downstream side of the rod-shaped member 20a are separated from the upper surface 18a of the surface plate 18. As shown in FIG. 3, the vertical separation distance between the transport sheet material 19 and the upper surface 18a of the surface plate 18 decreases as the transport sheet material 19 moves downstream from the rod-shaped member 20a. The transport sheet material 19 comes into contact with the upper surface 18a of the surface plate 18 on the upstream side of the irradiation position O of the laser beam L in the laser irradiation device 25.

ガラスフィルムＧは、搬送用シート材１９が定盤１８の上面１８ａに接触することにより、当該搬送用シート材１９を介して定盤１８に支持される。搬送用シート材１９は、定盤１８の上面１８ａとの接触を維持しながら、ガラスフィルムＧをレーザ光Ｌの照射位置Ｏへと移動させる。 The glass film G is supported by the surface plate 18 via the transport sheet material 19 when the transport sheet material 19 comes into contact with the upper surface 18a of the surface plate 18. The transport sheet material 19 moves the glass film G to the irradiation position O of the laser beam L while maintaining contact with the upper surface 18a of the surface plate 18.

切断工程では、第二搬送装置１４により搬送されるガラスフィルムＧに、切断部５のレーザ照射装置２５からレーザ光Ｌを照射して、ガラスフィルムＧの幅方向両端部Ｇａ，Ｇｂを切断する。これにより、ガラスフィルムＧは非製品部Ｇｃと製品部Ｇｄとに分離する。 In the cutting step, the glass film G conveyed by the second transfer device 14 is irradiated with the laser beam L from the laser irradiation device 25 of the cutting portion 5, and both ends Ga and Gb of the glass film G in the width direction are cut. As a result, the glass film G is separated into a non-product part Gc and a product part Gd.

具体的には、レーザ光ＬがガラスフィルムＧに照射されると（図６（ａ）参照）、ガラスフィルムＧの一部がレーザ光Ｌの加熱により溶断される（図６（ｂ）参照）。ガラスフィルムＧは、第二搬送装置１４によって搬送されているため、溶断された部分はレーザ光Ｌから遠ざかる。 Specifically, when the laser beam L is irradiated to the glass film G (see FIG. 6A), a part of the glass film G is melted by heating the laser beam L (see FIG. 6B). .. Since the glass film G is conveyed by the second conveying device 14, the blown portion is moved away from the laser beam L.

これにより、ガラスフィルムＧの溶断部分が冷却される。溶断部分は、冷却されることにより熱歪を生じ、これによる応力が、溶断されていない部分に対して引張力として作用する。この作用により、糸状剥離物Ｇｇは、非製品部Ｇｃの幅方向端部、及び製品部Ｇｄの幅方向端部から分離する。分離した糸状剥離物Ｇｇは、その自重により下方に移動する（図６（ｃ）参照）。糸状剥離物Ｇｇは、非製品部Ｇｃ又は製品部Ｇｄから分離した後に、螺旋状に変形する。切断工程では、非製品部Ｇｃと製品部Ｇｄとから生じる糸状剥離物Ｇｇを回収装置２７により回収する（回収工程）。 As a result, the fused portion of the glass film G is cooled. When the fusing portion is cooled, thermal strain is generated, and the stress caused by this acts as a tensile force on the unfused portion. By this action, the filamentous exfoliated product Gg is separated from the widthwise end portion of the non-product portion Gc and the widthwise end portion of the product portion Gd. The separated filamentous strip Gg moves downward due to its own weight (see FIG. 6 (c)). The filamentous stripped product Gg is spirally deformed after being separated from the non-product part Gc or the product part Gd. In the cutting step, the filamentous stripped product Gg generated from the non-product part Gc and the product part Gd is recovered by the recovery device 27 (recovery step).

なお、非製品部Ｇｃは、第三搬送装置１５により下流側に搬送され、巻取り部６の上流側で、図示しない別の回収装置により回収される。 The non-product unit Gc is transported to the downstream side by the third transport device 15, and is recovered by another recovery device (not shown) on the upstream side of the winding section 6.

巻取り工程では、保護シート供給部２９から保護シート２９ａを製品部Ｇｄに供給しつつ、第三搬送装置１５によって搬送される製品部Ｇｄを巻取り部６の巻取りローラ２８にてロール状に巻き取る。所定長さの製品部Ｇｄを巻取りローラ２８により巻き取ることで、ガラスロールＲが完成する。 In the winding process, the protective sheet 29a is supplied from the protective sheet supply unit 29 to the product unit Gd, and the product unit Gd conveyed by the third transfer device 15 is rolled by the winding roller 28 of the winding unit 6. Take up. The glass roll R is completed by winding the product portion Gd having a predetermined length with the winding roller 28.

以上説明した本実施形態に係るガラスフィルムＧの製造方法によれば、切断工程において、皺除去部２０（棒状部材２０ａ）によりガラスフィルムＧの皺Ｇｅを除去した上でガラスフィルムＧの溶断を行うことで、ガラスフィルムＧから製品部Ｇｄを精度良く切り出すことが可能になる。レーザ照射装置２５によるレーザ光Ｌの照射位置Ｏにおいて、ガラスフィルムＧは、搬送用シート材１９を介して定盤１８の上面１８ａに安定的に支持される。これにより、製品部Ｇｄから均一な糸状剥離物Ｇｇを発生させることができ、製品部Ｇｄの切断面を均一にすることで、高品質なガラスフィルムＧ（ガラスロールＲ）を製造できる。 According to the method for producing the glass film G according to the present embodiment described above, in the cutting step, the wrinkle removing portion 20 (rod-shaped member 20a) removes the wrinkle Ge of the glass film G, and then the glass film G is blown. This makes it possible to accurately cut out the product part Gd from the glass film G. At the irradiation position O of the laser beam L by the laser irradiation device 25, the glass film G is stably supported by the upper surface 18a of the surface plate 18 via the conveying sheet material 19. As a result, a uniform thread-like peeled product Gg can be generated from the product part Gd, and by making the cut surface of the product part Gd uniform, a high-quality glass film G (glass roll R) can be manufactured.

図７乃至図１０は、ガラスフィルムの製造装置及び製造方法の第二実施形態を示す。本実施形態では、横搬送部４の第二搬送装置１４、第三搬送装置１５、及び切断部５の構成が第一実施形態とは異なる。 7 to 10 show a second embodiment of a glass film manufacturing apparatus and manufacturing method. In the present embodiment, the configurations of the second transport device 14, the third transport device 15, and the cutting portion 5 of the lateral transport unit 4 are different from those of the first embodiment.

図７乃至図９に示すように、第二搬送装置１４の皺除去部２０は、第一実施形態における棒状部材２０ａに加え、当該棒状部材２０ａの下流側に配置される板状部材２０ｂを備える。 As shown in FIGS. 7 to 9, the wrinkle removing portion 20 of the second transport device 14 includes a plate-shaped member 20b arranged on the downstream side of the rod-shaped member 20a in addition to the rod-shaped member 20a in the first embodiment. ..

板状部材２０ｂは、ガラスフィルムＧの搬送方向において、棒状部材２０ａとレーザ照射装置２５との間に配置される。板状部材２０ｂは、定盤１８の上面１８ａに固定されている。板状部材２０ｂの幅ＷＰ（ガラスフィルムＧの幅方向Ｗにおける板状部材２０ｂの長さ）は、棒状部材２０ａの長さＬＲよりも小さく設定される。板状部材２０ｂの幅ＷＰは、レーザ照射装置２５の離間距離ＤＬの１．０２倍以上、棒状部材２０ａの長さＬＲの０．９５倍以下であることが好ましい。ガラスフィルムＧの搬送方向における板状部材２０ｂの長さＬＰは、１０ｍｍ以上５００ｍｍ以下とされることが望ましいが、この範囲に限定されず、ガラスフィルムＧ及び製品部Ｇｄの寸法に応じて適宜設定される。 The plate-shaped member 20b is arranged between the rod-shaped member 20a and the laser irradiation device 25 in the transport direction of the glass film G. The plate-shaped member 20b is fixed to the upper surface 18a of the surface plate 18. The width WP of the plate-shaped member 20b (the length of the plate-shaped member 20b in the width direction W of the glass film G) is set smaller than the length LR of the rod-shaped member 20a. The width WP of the plate-shaped member 20b is preferably 1.02 times or more the separation distance DL of the laser irradiation device 25 and 0.95 times or less the length LR of the rod-shaped member 20a. The length LP of the plate-shaped member 20b in the transport direction of the glass film G is preferably 10 mm or more and 500 mm or less, but is not limited to this range and is appropriately set according to the dimensions of the glass film G and the product part Gd. Will be done.

板状部材２０ｂの厚みＴＰは棒状部材２０ａの直径Ｄよりも小さく設定される。したがって、板状部材の上面２０ｃは、棒状部材２０ａの上端部２０ｄよりも下方に位置する。この板状部材２０ｂの厚みＴＰは、１ｍｍ以上、９５ｍｍ以下とされるが、この範囲に限定されず、棒状部材２０ａの直径Ｄに応じて適宜設定される。板状部材２０ｂの上面２０ｃと、棒状部材２０ａの上端部２０ｄとの高低差は、３ｍｍ以上５０ｍｍ以下とされることが望ましい。 The thickness TP of the plate-shaped member 20b is set smaller than the diameter D of the rod-shaped member 20a. Therefore, the upper surface 20c of the plate-shaped member is located below the upper end portion 20d of the rod-shaped member 20a. The thickness TP of the plate-shaped member 20b is 1 mm or more and 95 mm or less, but is not limited to this range and is appropriately set according to the diameter D of the rod-shaped member 20a. It is desirable that the height difference between the upper surface 20c of the plate-shaped member 20b and the upper end portion 20d of the rod-shaped member 20a is 3 mm or more and 50 mm or less.

ガラスフィルムＧの搬送方向において、レーザ照射装置２５によるレーザ光Ｌの照射位置Ｏと板状部材２０ｂとの離間距離Ｄ２は、５０ｍｍ以上１９５０ｍｍ以下とされるが、この範囲に限定されず、ガラスフィルムＧ及び製品部Ｇｄの寸法に応じて適宜設定される。また、ガラスフィルムＧの搬送方向における板状部材２０ｂと棒状部材２０ａとの離間距離Ｄ３は、５０ｍｍ以上１５００ｍｍ以下とされることが望ましい。 In the transport direction of the glass film G, the separation distance D2 between the irradiation position O of the laser beam L by the laser irradiation device 25 and the plate-shaped member 20b is 50 mm or more and 1950 mm or less, but is not limited to this range, and the glass film. It is appropriately set according to the dimensions of G and the product part Gd. Further, it is desirable that the separation distance D3 between the plate-shaped member 20b and the rod-shaped member 20a in the transport direction of the glass film G is 50 mm or more and 1500 mm or less.

第三搬送装置１５は、ガラスフィルムＧを搬送する複数（本例では三本）の搬送ベルト３０ａ〜３０ｃと、各搬送ベルト３０ａ〜３０ｃの駆動装置３１とを有する。図８に示すように、搬送ベルト３０ａ〜３０ｃは、無端帯状に構成されるとともに、ガラスフィルムＧの幅方向一端部Ｇａ側の部分に接触する第一搬送ベルト３０ａと、ガラスフィルムＧの幅方向他端部Ｇｂ側の部分に接触する第二搬送ベルト３０ｂと、ガラスフィルムＧの幅方向中央部に接触する第三搬送ベルト３０ｃとを含む。駆動装置３１は、各搬送ベルト３０ａ〜３０ｃを駆動するためのローラ、スプロケット等の駆動体３１ａと、この駆動体３１ａを回転させるモータ（図示せず）を有する。 The third transport device 15 has a plurality of (three in this example) transport belts 30a to 30c for transporting the glass film G, and a drive device 31 for each of the transport belts 30a to 30c. As shown in FIG. 8, the transport belts 30a to 30c are formed in an endless band shape, and the first transport belt 30a in contact with one end portion Ga side in the width direction of the glass film G and the width direction of the glass film G. The second transport belt 30b that contacts the other end portion Gb side and the third transport belt 30c that contacts the center portion in the width direction of the glass film G are included. The drive device 31 includes a drive body 31a such as a roller and a sprocket for driving each of the transport belts 30a to 30c, and a motor (not shown) for rotating the drive body 31a.

図８に示すように、各搬送ベルト３０ａ〜３０ｃは、ガラスフィルムＧの幅方向において離間されている。これにより、第一搬送ベルト３０ａと第三搬送ベルト３０ｃとの間、第二搬送ベルト３０ｂと第三搬送ベルト３０ｃとの間には、隙間が形成される。 As shown in FIG. 8, the transport belts 30a to 30c are separated in the width direction of the glass film G. As a result, a gap is formed between the first transfer belt 30a and the third transfer belt 30c, and between the second transfer belt 30b and the third transfer belt 30c.

切断部５のレーザ照射装置２５は、第三搬送装置１５の上方に配置される。レーザ照射装置２５におけるレーザ光Ｌの照射位置Ｏは、各搬送ベルト３０ａ〜３０ｃの間の隙間に対応するように設定される。本実施形態における切断部５は、第一実施形態における定盤２６を備えていないが、各搬送ベルト３０ａ〜３０ｃの隙間に配置可能な定盤を備えてもよい。回収装置２７は、第一搬送ベルト３０ａ及び第二搬送ベルト３０ｂを横切るように、各搬送ベルト３０ａ，３０ｂの内側に配置される。 The laser irradiation device 25 of the cutting portion 5 is arranged above the third transfer device 15. The irradiation position O of the laser beam L in the laser irradiation device 25 is set so as to correspond to the gap between the transfer belts 30a to 30c. The cutting portion 5 in the present embodiment does not include the surface plate 26 in the first embodiment, but may include a surface plate that can be arranged in the gaps between the transport belts 30a to 30c. The recovery device 27 is arranged inside each of the transport belts 30a and 30b so as to cross the first transport belt 30a and the second transport belt 30b.

本実施形態に係る製造装置１によりガラスフィルムＧ（ガラスロールＲ）を製造する場合、第一実施形態と同様に、成形工程、搬送工程、切断工程、及び巻取り工程を実行することとなるが、搬送工程における皺除去工程の態様が第一実施形態とは異なる。 When the glass film G (glass roll R) is manufactured by the manufacturing apparatus 1 according to the present embodiment, the molding step, the conveying step, the cutting step, and the winding step are executed as in the first embodiment. , The mode of the wrinkle removing step in the transporting step is different from that of the first embodiment.

皺除去工程では、まず、ガラスフィルムＧが第二搬送装置１４の定盤１８に設けられる棒状部材２０ａを通過する。この際、ガラスフィルムＧは、その下面側に位置する棒状部材２０ａによって、搬送用シート材１９とともに定盤１８の上面１８ａよりも上方位置に押し上げられる。このとき、ガラスフィルムＧに生じている皺Ｇｅの多くは、ガラスフィルムＧが棒状部材２０ａによって引き伸ばされることにより消失する。 In the wrinkle removing step, the glass film G first passes through the rod-shaped member 20a provided on the surface plate 18 of the second transfer device 14. At this time, the glass film G is pushed up by the rod-shaped member 20a located on the lower surface side thereof together with the transport sheet material 19 to a position higher than the upper surface 18a of the surface plate 18. At this time, most of the wrinkles Ge generated in the glass film G disappear when the glass film G is stretched by the rod-shaped member 20a.

棒状部材２０ａを通過した後においてもガラスフィルムＧに皺Ｇｅが残存する場合、当該皺Ｇｅは、ガラスフィルムＧが板状部材２０ｂを通過することにより消失する。搬送用シート材１９を介してガラスフィルムＧに線状に接触する棒状部材２０ａに対し、板状部材２０ｂは、搬送用シート材１９を介して、いわば面状に接触する。これにより、棒状部材２０ａによって除去されなかった皺Ｇｅは、ガラスフィルムＧが板状部材２０ｂを通過することにより確実に消失する。 If the wrinkle Ge remains on the glass film G even after passing through the rod-shaped member 20a, the wrinkle Ge disappears when the glass film G passes through the plate-shaped member 20b. The plate-shaped member 20b comes into contact with the glass film G linearly through the transport sheet material 19 in a so-called planar manner, whereas the plate-shaped member 20b comes into contact with the glass film G linearly through the transport sheet material 19. As a result, the wrinkle Ge that has not been removed by the rod-shaped member 20a is surely disappeared when the glass film G passes through the plate-shaped member 20b.

搬送用シート材１９は、棒状部材２０ａ及び板状部材２０ｂを通過する際に、定盤１８の上面１８ａから上方に離間するが、板状部材２０ｂを通過した後に、レーザ光Ｌの照射位置Ｏよりも上流側で、当該上面１８ａに接触する。これにより、ガラスフィルムＧは、レーザ光Ｌの照射位置Ｏよりも上流側で、定盤１８の上面１８ａに支持される。したがって、ガラスフィルムＧは、定盤１８の上面１８ａに安定的に支持された状態で、レーザ照射装置２５によって切断される。これにより、製品部Ｇｄの幅方向端部から均一な糸状剥離物Ｇｇを連続的に発生させることができ、もってガラスフィルムＧの切断を精度良く実行できる。 The transport sheet material 19 is separated upward from the upper surface 18a of the surface plate 18 when passing through the rod-shaped member 20a and the plate-shaped member 20b, but after passing through the plate-shaped member 20b, the irradiation position O of the laser beam L It comes into contact with the upper surface 18a on the upstream side. As a result, the glass film G is supported on the upper surface 18a of the surface plate 18 on the upstream side of the irradiation position O of the laser beam L. Therefore, the glass film G is cut by the laser irradiation device 25 in a state of being stably supported by the upper surface 18a of the surface plate 18. As a result, a uniform thread-like peeled product Gg can be continuously generated from the widthwise end portion of the product portion Gd, so that the glass film G can be cut with high accuracy.

本実施形態に係る切断工程では、第三搬送装置１５によってガラスフィルムＧを搬送しながら、上方に配置されるレーザ照射装置２５からレーザ光Ｌを照射する。その後、糸状剥離物Ｇｇを回収装置２７により回収しつつ（図１０参照）、ガラスフィルムＧの非製品部Ｇｃを第三搬送装置１５の第一搬送ベルト３０ａ及び第二搬送ベルト３０ｂにより搬送し、製品部Ｇｄを第三搬送ベルト３０ｃにより搬送する。本実施形態に係る成形工程、巻取り工程その他の工程は、第一実施形態と同じである。 In the cutting step according to the present embodiment, the laser beam L is irradiated from the laser irradiation device 25 arranged above while the glass film G is conveyed by the third transfer device 15. Then, while collecting the thread-like peeled product Gg by the recovery device 27 (see FIG. 10), the non-product portion Gc of the glass film G is conveyed by the first transfer belt 30a and the second transfer belt 30b of the third transfer device 15. The product part Gd is conveyed by the third transfer belt 30c. The molding step, the winding step, and other steps according to the present embodiment are the same as those of the first embodiment.

図１１及び図１２は、ガラスフィルムの製造装置及び製造方法の第三実施形態を示す。上記の第一、第二実施形態では、オーバーフローダウンドロー法を用いてガラスフィルムＧを製造する例を示したが、本実施形態では、ロールトゥロール工程（Ｒｏｌｌ ｔｏ Ｒｏｌｌ）を用いてガラスフィルムＧ（ガラスロールＲ）を製造する方法を例示する。 11 and 12 show a third embodiment of a glass film manufacturing apparatus and manufacturing method. In the first and second embodiments described above, an example in which the glass film G is produced by using the overflow down draw method is shown, but in the present embodiment, the glass film G is produced by using a roll-to-roll step (Roll to Roll). A method for producing (Glass Roll R) will be illustrated.

図１１及び図１２に示すように、製造装置１は、第一実施形態における成形部２、方向変換部３に替えて、加工対象であるガラスフィルムＧをロール状に構成してなるガラスロール元材Ｒａを最も上流側に備える。ガラスロール元材Ｒａは、供給ローラ３２に巻き取られて成る。ガラスロール元材Ｒａの下流側には、第一実施形態と同様に、横搬送部４、切断部５、巻取り部６が順に配置される。これらの各要素４〜６の構成は第一実施形態と同じである。 As shown in FIGS. 11 and 12, the manufacturing apparatus 1 is a glass roll source formed by forming a glass film G to be processed into a roll shape instead of the molding unit 2 and the direction changing unit 3 in the first embodiment. The material Ra is provided on the most upstream side. The glass roll base material Ra is wound around the supply roller 32. Similar to the first embodiment, the lateral transport portion 4, the cut portion 5, and the take-up portion 6 are arranged in this order on the downstream side of the glass roll base material Ra. The configuration of each of these elements 4 to 6 is the same as that of the first embodiment.

本実施形態におけるガラスフィルムＧ（ガラスロールＲ）の製造方法は、ガラスロール元材Ｒａから加工用のガラスフィルムＧを引き出して下流側に供給するガラスフィルム供給工程と、搬送工程と、切断工程と、巻取り工程とを備える。ガラスフィルム供給工程において、製造装置１は、供給ローラ３２を回転させることにより、ガラスロール元材Ｒａから加工用のガラスフィルムＧを引き出して下流側へと移動させる。以降の搬送工程、切断工程及び巻取り工程は、第一実施形態と同様である。 The method for producing the glass film G (glass roll R) in the present embodiment includes a glass film supply step, a transport step, and a cutting step in which the glass film G for processing is pulled out from the glass roll base material Ra and supplied to the downstream side. , With a winding process. In the glass film supply step, the manufacturing apparatus 1 pulls out the glass film G for processing from the glass roll base material Ra by rotating the supply roller 32 and moves it to the downstream side. Subsequent transfer steps, cutting steps, and winding steps are the same as those in the first embodiment.

本実施形態では、切断工程において、加工用のガラスフィルムＧを複数のガラスフィルムＧに分離させ、その一部又は全てを製品とすることができる。この場合、製造される製品の数に応じて、複数の巻取りローラ２８が巻取り部６に配置される。 In the present embodiment, in the cutting step, the glass film G for processing can be separated into a plurality of glass films G, and a part or all of them can be made into a product. In this case, a plurality of take-up rollers 28 are arranged in the take-up portion 6 according to the number of products to be manufactured.

図１３及び図１４は、ガラスフィルムの製造装置及び当該製造装置を用いてガラスフィルムを製造する方法の第四実施形態を示す。 13 and 14 show a fourth embodiment of a glass film manufacturing apparatus and a method for producing a glass film using the manufacturing apparatus.

図１３及び図１４に示すように、製造装置１は、第二実施形態における成形部２、方向変換部３に替えて、加工対象であるガラスフィルムＧをロール状に構成してなるガラスロール元材Ｒａを最も上流側に備える。ガラスロール元材Ｒａは、供給ローラ３２に巻き取られて成る。ガラスロール元材Ｒａの下流側には、第二実施形態と同様に、横搬送部４、切断部５、巻取り部６が順に配置される。これらの各要素４〜６の構成は第二実施形態と同じである。 As shown in FIGS. 13 and 14, the manufacturing apparatus 1 is a glass roll source formed by forming a glass film G to be processed into a roll shape instead of the molding unit 2 and the direction changing unit 3 in the second embodiment. The material Ra is provided on the most upstream side. The glass roll base material Ra is wound around the supply roller 32. Similar to the second embodiment, the lateral transport portion 4, the cut portion 5, and the take-up portion 6 are arranged in this order on the downstream side of the glass roll base material Ra. The configuration of each of these elements 4 to 6 is the same as that of the second embodiment.

なお、本発明は、上記実施形態の構成に限定されるものではなく、上記した作用効果に限定されるものでもない。本発明は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。 The present invention is not limited to the configuration of the above embodiment, and is not limited to the above-mentioned action and effect. The present invention can be modified in various ways without departing from the gist of the present invention.

上記の第二実施形態では、一本の棒状部材２０ａ、一枚の板状部材２０ｂを含む皺除去部２０を例示したが、これに限定されず、定盤１８上に複数の棒状部材、複数の板状部材を配置してもよい。 In the second embodiment described above, the wrinkle removing portion 20 including one rod-shaped member 20a and one plate-shaped member 20b has been illustrated, but the present invention is not limited to this, and a plurality of rod-shaped members and a plurality of rod-shaped members are provided on the surface plate 18. The plate-shaped member may be arranged.

１８ 定盤
１８ａ 定盤の上面
１９ 搬送用シート材
２０ 皺除去部
２０ａ 棒状部材
２０ｂ 板状部材
２０ｃ 板状部材の上面
２０ｄ 棒状部材の上端部
２５ レーザ照射装置
ＤＬ レーザ照射装置の離間距離
Ｇ ガラスフィルム
Ｇe ガラスフィルムの皺
Ｇｇ 糸状剥離物
Ｌ レーザ光
Ｏ レーザ光の照射位置
Ｗ ガラスフィルムの幅方向
ＷＰ 板状部材の幅
ＬＲ 棒状部材の長さ 18 Plate 18a Upper surface of plate 19 Transfer sheet material 20 Wrinkle removal part 20a Rod-shaped member 20b Plate-shaped member 20c Upper surface of plate-shaped member 20d Upper end of rod-shaped member 25 Laser irradiation device DL Laser irradiation device separation distance G Glass film Ge Glass film wrinkles Gg Filamentous exfoliated material L Laser light O Laser light irradiation position W Width direction of glass film WP Width of plate-shaped member LR Length of rod-shaped member

Claims (5)

長尺状のガラスフィルムをその長手方向に沿って上流から下流に搬送する搬送工程と、
前記搬送工程により前記ガラスフィルムを搬送しつつ、前記ガラスフィルムにレーザ照射装置からレーザ光を照射することにより、前記ガラスフィルムを分離する切断工程と、を備え、
前記搬送工程では、前記ガラスフィルムの下面に接触する搬送用シート材を定盤上で移動させることにより前記ガラスフィルムを搬送し、
前記搬送工程は、前記レーザ照射装置よりも上流側に配置され、前記搬送用シート材を前記定盤の上面から上方に離間すべく前記上面に設置される皺除去部により前記ガラスフィルムの皺を取り除く皺除去工程を備え、
前記皺除去部は、前記ガラスフィルムの下面側であって前記ガラスフィルムの幅方向に沿って配置される棒状部材と、前記棒状部材と前記レーザ照射装置との間であって、前記ガラスフィルムの下面側に配置される板状部材とを備え、
前記切断工程は、前記搬送工程において前記ガラスフィルムの前記皺を除去した後かつ前記搬送用シート材が前記定盤の前記上面に接触した状態となった後に、前記レーザ光を前記ガラスフィルムに照射することにより前記ガラスフィルムを分離し、
分離された前記ガラスフィルムの幅方向端部から糸状剥離物を発生させることを特徴とするガラスフィルムの製造方法。 A transport process for transporting a long glass film from upstream to downstream along its longitudinal direction,
A cutting step of separating the glass film by irradiating the glass film with a laser beam from a laser irradiation device while transporting the glass film by the transport step is provided.
In the transfer step, the glass film is conveyed by moving the transfer sheet material in contact with the lower surface of the glass film on the surface plate.
The conveying step is disposed upstream of the laser irradiator, the wrinkles of the glass film by the wrinkle removing unit that will be installed the carrying sheet on the upper surface so as to spaced upwardly from the upper surface of said plate Equipped with a wrinkle removal process to remove
The wrinkle removing portion is a rod-shaped member on the lower surface side of the glass film and arranged along the width direction of the glass film, and between the rod-shaped member and the laser irradiation device, and is the glass film. Equipped with a plate-shaped member arranged on the lower surface side,
In the cutting step, the laser beam is applied to the glass film after the wrinkles of the glass film are removed in the transport step and after the transport sheet material is in contact with the upper surface of the surface plate. By irradiating, the glass film is separated and
A method for producing a glass film, which comprises generating a filamentous exfoliated material from the widthwise end of the separated glass film. 前記板状部材の上面は、前記棒状部材の上端部よりも下方に位置する請求項１に記載のガラスフィルムの製造方法。 Upper surface of the plate-like member, manufacturing method for a glass film according to claim 1 which is located below the upper end portion of the rod-shaped member. 前記板状部材の幅は、前記棒状部材の長さよりも小さく設定される請求項１又は２に記載のガラスフィルムの製造方法。 The method for producing a glass film according to claim 1 or 2 , wherein the width of the plate-shaped member is set smaller than the length of the rod-shaped member. 前記レーザ照射装置は、前記ガラスフィルムの上方に配置されるとともに、前記ガラスフィルムの幅方向に対して所定の離間距離をおいて二台配置されており、前記板状部材の幅は、前記レーザ照射装置の前記離間距離よりも大きく設定される請求項１から３のいずれか一項に記載のガラスフィルムの製造方法。 Two laser irradiation devices are arranged above the glass film and at a predetermined distance from the width direction of the glass film, and the width of the plate-shaped member is the width of the laser. The method for producing a glass film according to any one of claims 1 to 3 , which is set to be larger than the separation distance of the irradiation device. 前記板状部材の幅は、前記レーザ照射装置の前記離間距離の１．０２倍以上前記棒状部材の長さの０．９５倍以下である請求項４に記載のガラスフィルムの製造方法。 The method for producing a glass film according to claim 4 , wherein the width of the plate-shaped member is 1.02 times or more and 0.95 times or less the length of the rod-shaped member of the separation distance of the laser irradiation device.
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