KR20200035369A

KR20200035369A - Manufacturing method of glass film

Info

Publication number: KR20200035369A
Application number: KR1020197024631A
Authority: KR
Inventors: 요시노리 하세가와; 히로키 모리; 코이치 모리; 슈지 아키야마; 야스히로 우에무라; 나오유키 마츠모토
Original assignee: 니폰 덴키 가라스 가부시키가이샤
Priority date: 2017-07-31
Filing date: 2018-07-09
Publication date: 2020-04-03
Also published as: WO2019026554A1; JP2019026509A; CN110573465B; CN110573465A; TW201918460A; JP6909403B2; KR102475077B1; CN114573224A; TWI759509B

Abstract

유리 필름(G)의 제조 방법에 있어서의 반송 공정은 레이저 조사 장치(25)보다도 상류측에 배치되는 주름 제거부(20)에 의해 유리 필름(G)의 주름을 제거하는 주름 제거 공정을 구비한다. 유리 필름(G)의 제조 방법에 있어서의 절단 공정은 반송 공정에 있어서 유리 필름(G)의 주름(Ge)을 제거한 후에, 레이저광(L)을 유리 필름(G)에 조사함으로써 유리 필름(G)을 분리하고, 분리된 유리 필름(G)의 폭 방향 단부로부터 실 형상 박리물(Gg)을 발생시킨다.The conveyance process in the manufacturing method of the glass film G is provided with the wrinkle removal process which removes the wrinkles of the glass film G by the wrinkle removal part 20 arrange | positioned upstream than the laser irradiation apparatus 25. . The cutting process in the manufacturing method of the glass film G is a glass film G by irradiating the glass film G with the laser beam L after removing the wrinkle Ge of the glass film G in a conveyance process. ) Is separated, and a thread-like exfoliation (Gg) is generated from the widthwise end of the separated glass film (G).

Description

Manufacturing method of glass film

본 발명은 롤 형상으로 권취하는 것이 가능한 유리 필름을 제조하는 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for producing a glass film capable of being wound in a roll shape.

이미 알고 있는 바와 같이, 액정 디스플레이, 유기 EL 디스플레이 등의 플랫 패널 디스플레이(FPD)에 사용되는 판유리, 유기 EL 조명에 사용되는 판유리, 터치패널의 구성 요소인 강화 유리 등의 제조에 사용되는 판유리, 또한 태양 전지의 패널 등에 사용되는 판유리는 박육화(薄肉化)가 추진되어 있는 것이 실정이다.As already known, plate glass used in flat panel displays (FPDs) such as liquid crystal displays and organic EL displays, plate glass used in organic EL lighting, and plate glass used in the manufacture of tempered glass, which is a component of touch panels, also As for the plate glass used for the panel of a solar cell, it is a situation that thinning is promoted.

예를 들면, 특허문헌 1에는 두께가 수백㎛ 이하인 유리 필름(박판 유리)이 개시되어 있다. 이 종류의 유리 필름은 동 문헌에도 기재되는 바와 같이, 소위 오버플로우 다운드로우법을 채용한 성형 장치에 의해 연속 성형되는 것이 일반적이다.For example, Patent Document 1 discloses a glass film (thin glass) having a thickness of several hundred μm or less. As described in this document, a glass film of this kind is generally continuously molded by a molding apparatus employing a so-called overflow down draw method.

오버플로우 다운드로우법에 의해 연속 성형된 장척의 유리 필름은, 예를 들면 그 반송 방향이 연직 방향으로부터 수평 방향으로 변환된 후, 반송 장치의 가로 반송부(수평 반송부)에 의해 계속해서 하류측으로 반송된다. 이 반송 도중에 있어서, 유리 필름은 그 폭 방향 양단부가 절단 제거된다. 그 후, 유리 필름은 권취 롤러에 의해 롤 형상으로 권취됨으로써 유리 롤로서 구성된다.A long glass film continuously molded by the overflow down-draw method, for example, after its conveying direction is converted from a vertical direction to a horizontal direction, continues to be downstream by the horizontal conveying part (horizontal conveying part) of the conveying device. Is returned. During this conveyance, the glass film is cut off at both ends in the width direction. Thereafter, the glass film is configured as a glass roll by being wound in a roll shape by a winding roller.

유리 필름의 폭 방향 양단부를 절단하는 기술로서 특허문헌 1에서는 레이저 할단(割斷)이 개시되어 있다. 레이저 할단에서는 다이아몬드 커터 등의 크랙 형성 수단에 의해 유리 필름에 초기 크랙을 형성한 후, 이 부분에 레이저광을 조사해서 가열한다. 그 후, 가열된 부분을 냉각 수단에 의해 냉각하고, 유리 필름에 생기는 열 응력에 의해 초기 크랙을 진전시켜서 유리 필름을 절단한다.As a technique for cutting both ends in the width direction of the glass film, laser cutting is disclosed in Patent Document 1. In the laser cutting step, an initial crack is formed on a glass film by a crack forming means such as a diamond cutter, and then this part is irradiated with a laser beam and heated. Thereafter, the heated portion is cooled by a cooling means, and the initial crack is propagated by thermal stress generated on the glass film to cut the glass film.

다른 절단 방법으로서 특허문헌 2에는 소위 필링 현상을 이용한 유리 필름의 절단 기술이 개시되어 있다. 이 기술은 유리 필름(유리 기판)을 반송하면서, 당해 유리 필름에 레이저광을 조사해서 그 일부를 용단(溶斷)하고, 그 용단 부분을 레이저광의 조사 영역으로부터 멀어지게 함으로써 냉각한다.As another cutting method, Patent Document 2 discloses a cutting technique for a glass film using a so-called peeling phenomenon. This technique cools by conveying a laser beam to the said glass film while carrying a glass film (glass substrate), melting a part of it, and moving the welding part away from the irradiation area of a laser beam.

이 경우에 있어서, 용단 부분이 냉각됨으로써 대략 실 형상의 박리물(석출물)이 발생된다(예를 들면 특허문헌 2의 단락 0044 및 도 3 참조). 이 실 형상 박리물이 유리 필름의 단부로부터 벗겨져 떨어지는 현상을 일반적으로 필링이라고 칭한다. 실 형상 박리물이 발생됨으로써 유리 필름에는 균일한 절단면이 형성되게 된다.In this case, the substantially molten yarn-like exfoliation material (precipitate) is generated by cooling the molten metal portion (see, for example, paragraph 0044 of patent document 2 and FIG. 3). The phenomenon in which the thread-like peeling material peels off from the end of the glass film is generally referred to as peeling. When the thread-like peeling material is generated, a uniform cut surface is formed on the glass film.

일본 특허공개 2012-240883호 공보Japanese Patent Publication 2012-240883 국제공개 제 2014/002685호 공보International Publication No. 2014/002685

유리 필름은 가요성을 갖고 있기 때문에, 가로 반송부에서 가로 방향으로 반송되는 도중에, 당해 유리 필름에 주름이 발생할 수 있다. 주름이 발생하면, 이 주름 및 그 근방에 굽힘 응력이 발생한다. 따라서, 유리 필름에 주름이 생긴 채의 상태로 레이저광을 조사하면, 용단 부분에 대하여 주름에 기인하는 헤아리지 못하는 굽힘 응력이 부여되게 된다. 이 때문에, 유리 필름의 절단을 정밀도 좋게 행하는 것이 곤란해진다는 문제를 초래할 수 있다.Since the glass film has flexibility, wrinkles may occur in the glass film during transport in the horizontal direction from the horizontal transport portion. When wrinkles are generated, bending stress is generated in and around the wrinkles. Therefore, when the laser beam is irradiated in a state where wrinkles are formed on the glass film, the uneven bending stress caused by wrinkles is applied to the fused portion. For this reason, it can lead to the problem that it becomes difficult to accurately cut the glass film.

본 발명은 상기 사정을 감안하여 이루어진 것이며, 필링을 이용해서 유리 필름을 절단할 경우에 유리 필름에 발생할 수 있는 주름을 적합하게 제거하여, 유리 필름을 정밀도 좋게 절단하는 것을 기술적 과제로 한다.The present invention has been made in view of the above circumstances, and it is a technical problem to appropriately remove wrinkles that may occur in the glass film when cutting the glass film using peeling, and to cut the glass film with high precision.

본 발명은 상기 과제를 해결하기 위한 것이며, 장척 형상의 유리 필름을 그 길이 방향을 따라 상류로부터 하류로 반송하는 반송 공정과, 상기 반송 공정에 의해 상기 유리 필름을 반송하면서, 상기 유리 필름에 레이저 조사 장치로부터 레이저광을 조사함으로써 상기 유리 필름을 분리하는 절단 공정을 구비하고, 상기 반송 공정은 상기 레이저 조사 장치보다도 상류측에 배치되는 주름 제거부에 의해 상기 유리 필름의 주름을 제거하는 주름 제거 공정을 구비하고, 상기 절단 공정은 상기 반송 공정에 있어서 상기 유리 필름의 상기 주름을 제거한 후에, 상기 레이저광을 상기 유리 필름에 조사함으로써 상기 유리 필름을 분리하고, 분리된 상기 유리 필름의 폭 방향 단부로부터 실 형상 박리물을 발생시키는 것을 특징으로 한다.The present invention is to solve the above problems, and a laser beam is irradiated onto the glass film while conveying the glass film by the conveying step and the conveying step of conveying the elongated glass film from the upstream to the downstream along the length direction thereof. A cutting step of separating the glass film by irradiating laser light from the device is provided, and the conveying step includes a wrinkle removing step of removing wrinkles of the glass film by a wrinkle removing section disposed upstream of the laser irradiation device. It is provided, and the said cutting process removes the wrinkles of the said glass film in the said conveying process, and separates the said glass film by irradiating the said laser light to the said glass film, and seals it from the width direction end of the separated glass film It is characterized by generating a shape exfoliation.

이러한 구성에 의하면, 반송 공정에 있어서 주름 제거부에 의해 유리 필름의 주름을 제거한 후에, 절단 공정에 있어서 필링에 의한 유리 필름의 절단(용단)을 행함으로써 유리 필름의 폭 방향 단부로부터 균일한 실 형상 박리물을 발생시킬 수 있다. 이것에 의해 유리 필름의 폭 방향 단부를 균일한 단면으로 형성할 수 있고, 따라서 유리 필름을 정밀도 좋게 절단하는 것이 가능해진다.According to such a structure, after removing the wrinkles of a glass film by a wrinkle removal part in a conveyance process, it cuts | disconnects (melts) the glass film by peeling in a cutting process, and uniform thread shape from the edge part of the width direction of a glass film. Exfoliation may occur. Thereby, the edge part in the width direction of a glass film can be formed in a uniform cross section, and therefore it becomes possible to cut a glass film accurately.

상기 유리 필름의 제조 방법에 있어서, 상기 주름 제거부는 상기 유리 필름의 하면측이며 상기 유리 필름의 폭 방향을 따라 배치되는 막대 형상 부재를 구비하는 것이 바람직하다. 이와 같이, 반송 공정의 주름 제거 공정에서는 유리 필름이 이 막대 형상 부재를 통과함으로써 유리 필름의 주름을 적합하게 소실시킬 수 있다.In the manufacturing method of the glass film, it is preferable that the wrinkle removing portion includes a rod-shaped member that is disposed on the lower surface side of the glass film and is disposed along the width direction of the glass film. As described above, in the wrinkle removing step of the conveying step, the wrinkles of the glass film can be appropriately eliminated by the glass film passing through the rod-shaped member.

또한, 상기 주름 제거부는 상기 막대 형상 부재와 상기 레이저 조사 장치의 사이이며, 상기 유리 필름의 하면측에 배치되는 판 형상 부재를 구비할 수 있다. 주름 제거 공정에서는 유리 필름이 막대 형상 부재 및 판 형상 부재를 통과함으로써 유리 필름의 주름을 한층 더 적합하게 소실시키는 것이 가능해진다.In addition, the wrinkle removing portion may be provided between the rod-shaped member and the laser irradiation device, and a plate-shaped member disposed on the lower surface side of the glass film. In the wrinkle removal process, it becomes possible to more appropriately eliminate wrinkles of the glass film by passing the glass film through the rod-shaped member and the plate-shaped member.

이 경우에 있어서, 상기 판 형상 부재의 상면은 상기 막대 형상 부재의 상단부보다도 하방에 위치하는 것이 바람직하다. 이것에 의해 유리 필름의 주름을 막대 형상 부재와 판 형상 부재에 의해 단계적으로 소실시킬 수 있다.In this case, it is preferable that the upper surface of the plate-shaped member is located below the upper end of the rod-shaped member. Thereby, the wrinkles of the glass film can be eliminated stepwise by the rod-shaped member and the plate-shaped member.

또한, 상기 판 형상 부재의 폭은 상기 막대 형상 부재의 길이보다도 작게 설정되는 것이 바람직하다.Further, it is preferable that the width of the plate-shaped member is set smaller than the length of the rod-shaped member.

상기 유리 필름의 제조 방법에 있어서, 상기 레이저 조사 장치는 상기 유리 필름의 상방에 배치됨과 아울러, 상기 유리 필름의 폭 방향에 대하여 소정의 이간 거리를 두고 2대 배치되어 있고, 상기 판 형상 부재의 폭은 상기 레이저 조사 장치의 상기 이간 거리보다도 크게 설정되는 것이 바람직하다. 또한, 판 형상 부재의 폭이란 반송되는 유리 필름의 길이 방향에 직교하는 폭 방향에 있어서의 판 형상 부재의 치수를 말한다.In the manufacturing method of the glass film, the laser irradiation device is disposed above the glass film, and is arranged two at a predetermined separation distance with respect to the width direction of the glass film, and the width of the plate-shaped member It is preferred that the laser irradiation device is set larger than the separation distance. In addition, the width of a plate-shaped member means the dimension of the plate-shaped member in the width direction orthogonal to the longitudinal direction of the conveyed glass film.

상기와 같이 판 형상 부재의 폭을 2대의 레이저 조사 장치의 이간 거리보다도 크게 설정함으로써 레이저광을 조사하는 위치에 유리 필름이 도달하기 전에 확실하게 그 주름을 소실시킬 수 있다.By setting the width of the plate-like member to be larger than the separation distance of the two laser irradiation devices as described above, the wrinkles can be surely eliminated before the glass film reaches the position where the laser light is irradiated.

이 경우에 있어서, 상기 판 형상 부재의 폭은 상기 레이저 조사 장치의 상기 이간 거리의 1.02배 이상 상기 막대 형상 부재의 길이의 0.95배 이하인 것이 바람직하다.In this case, the width of the plate-shaped member is preferably 1.02 times or more of the separation distance of the laser irradiation device and 0.95 times or less of the length of the rod-shaped member.

상기 반송 공정에서는 상기 유리 필름의 하면에 접촉하는 반송용 시트재를 정반 상에서 이동시킴으로써 상기 유리 필름을 반송하고, 상기 주름 제거부는 상기 레이저 조사 장치에 의한 상기 레이저광의 조사 위치보다도 상류측이며, 상기 반송용 시트재를 상기 정반의 상면으로부터 상방으로 이간하기 위해 상기 상면에 설치되어 있고, 상기 레이저광의 상기 조사 위치의 상류측에 있어서 상기 반송용 시트재가 상기 정반의 상기 상면에 접촉한 상태인 것이 바람직하다.In the said conveying process, the said glass film is conveyed by moving the conveyance sheet material which contacts the lower surface of the said glass film on a platen, and the said wrinkle removal part is an upstream side than the irradiation position of the said laser beam by the said laser irradiation apparatus, and said conveyance It is preferable that the sheet material for conveyance is provided in contact with the upper surface of the surface plate on the upstream side of the irradiation position of the laser beam, provided on the upper surface to separate the sheet material for use from the upper surface of the surface plate. .

이러한 구성에 의하면, 주름 제거부에 의해 주름이 제거된 유리 필름은 레이저광의 조사 위치에 있어서 정반의 상면에 의해 안정적으로 지지되게 된다. 이것에 의해 레이저광의 조사 위치에 있어서 유리 필름을 정밀도 좋게 절단할 수 있다.According to such a structure, the glass film from which the wrinkles were removed by the wrinkle removal unit is stably supported by the upper surface of the platen at the irradiation position of the laser light. Thereby, a glass film can be cut | disconnected accurately in the irradiation position of a laser beam.

(발명의 효과)(Effects of the Invention)

본 발명에 의하면, 필링을 이용해서 유리 필름을 절단할 경우에, 유리 필름에 발생할 수 있는 주름을 적합하게 제거하고, 유리 필름을 정밀도 좋게 절단하는 것이 가능해진다.According to the present invention, when a glass film is cut using peeling, it is possible to appropriately remove wrinkles that may occur on the glass film and to cut the glass film with high precision.

도 1은 제 1 실시형태에 의한 유리 필름의 제조 장치를 나타내는 측면도이다.
도 2는 유리 필름의 제조 장치의 평면도이다.
도 3은 유리 필름의 제조 장치의 요부 확대 측면도이다.
도 4는 도 2의 Ⅳ-Ⅳ선 단면도이다.
도 5는 도 2의 V-V선 단면도이다.
도 6a는 절단 공정을 설명하기 위한 유리 필름의 단면도이다.
도 6b는 절단 공정을 설명하기 위한 유리 필름의 단면도이다.
도 6c는 절단 공정을 설명하기 위한 유리 필름의 단면도이다.
도 7은 제 2 실시형태에 의한 유리 필름의 제조 장치를 나타내는 측면도이다.
도 8은 유리 필름의 제조 장치의 평면도이다.
도 9는 유리 필름의 제조 장치의 요부 확대 측면도이다.
도 10은 도 8의 X-X선 단면도이다.
도 11은 제 3 실시형태에 의한 유리 필름의 제조 장치를 나타내는 측면도이다.
도 12는 유리 필름의 제조 장치의 평면도이다.
도 13은 제 4 실시형태에 의한 유리 필름의 제조 장치를 나타내는 측면도이다.
도 14는 유리 필름의 제어 장치의 평면도이다.1 is a side view showing an apparatus for manufacturing a glass film according to a first embodiment.
It is a top view of the manufacturing apparatus of a glass film.
It is an enlarged side view of the principal part of the manufacturing apparatus of a glass film.
4 is a cross-sectional view taken along line IV-IV in FIG. 2.
5 is a cross-sectional view taken along line VV in FIG. 2.
6A is a cross-sectional view of a glass film for explaining the cutting process.
6B is a cross-sectional view of the glass film for explaining the cutting process.
6C is a cross-sectional view of the glass film for explaining the cutting process.
It is a side view which shows the manufacturing apparatus of the glass film by 2nd embodiment.
It is a top view of the manufacturing apparatus of a glass film.
It is an enlarged side view of the principal part of the manufacturing apparatus of a glass film.
10 is a cross-sectional view taken along line XX in FIG. 8.
It is a side view which shows the manufacturing apparatus of the glass film by 3rd embodiment.
It is a top view of the manufacturing apparatus of a glass film.
It is a side view which shows the manufacturing apparatus of the glass film by 4th embodiment.
It is a top view of the control apparatus of a glass film.

이하, 본 발명을 실시하기 위한 형태에 대해서 도면을 참조하면서, 설명한다. 도 1~도 6은 본 발명에 의한 유리 필름의 제조 방법을 실시하기 위한 제조 장치의 제 1 실시형태를 나타낸다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the form for implementing this invention is demonstrated, referring drawings. 1-6 show the 1st Embodiment of the manufacturing apparatus for implementing the manufacturing method of the glass film by this invention.

도 1은 유리 필름의 제조 장치의 전체 구성을 모식적으로 나타내는 개략적인 측면도이다. 도 1에 나타내는 바와 같이, 제조 장치(1)는 유리 필름(G)을 성형하는 성형부(2)와, 유리 필름(G)의 진행 방향을 세로 방향 하방으로부터 가로 방향으로 변환하는 방향 변환부(3)와, 방향 변환 후에 유리 필름(G)을 가로 방향으로 반송하는 가로 반송부(4)와, 가로 반송부(4)에서 가로 방향으로 반송하면서, 유리 필름(G)의 폭 방향 단부(Ga, Gb)를 비제품부(Gc)로서 절단하는 절단부(5)와, 이 절단부(5)에 의해 비제품부(Gc)를 절단 제거하여 이루어지는 제품부(Gd)를 롤 형상으로 권취해서 유리 롤(R)을 구성하는 권취부(6)를 구비한다.1 is a schematic side view schematically showing the overall configuration of an apparatus for manufacturing a glass film. As shown in FIG. 1, the manufacturing apparatus 1 includes a molding part 2 for molding the glass film G, and a direction converting part for converting the traveling direction of the glass film G from the vertical direction downward to the horizontal direction ( 3), the transverse conveying part 4 for conveying the glass film G in the transverse direction after the direction change, and the transverse end part Ga of the glass film G while conveying in the transverse direction by the transverse conveying part 4 , Gb) is cut into a non-product portion (Gc), and a cutting portion (5), and the product portion (Gd) formed by cutting and removing the non-product portion (Gc) by the cut portion (5) is wound into a roll to form a glass roll The winding part 6 which comprises (R) is provided.

또한, 이하의 설명에 있어서 「상류」(측)이란 성형부(2) 또는 유리 롤 원재(Ra) 근처의 위치를 말하고, 「하류」(측)이란 권취부(6) 근처의 위치를 말한다. 또한, 본 실시형태에 있어서의 제품부(Gd)의 두께는 300㎛ 이하로 되고, 바람직하게는 10㎛ 이상 200㎛ 이하로 되고, 보다 바람직하게는 50㎛ 이상 100㎛ 이하로 되지만, 이것에 한정되지 않는다.In addition, in the following description, "upstream" (side) means the position near the molded part 2 or the glass roll raw material Ra, and "downstream" (side) means the position near the winding part 6. Further, the thickness of the product portion Gd in the present embodiment is 300 µm or less, preferably 10 µm or more and 200 µm or less, and more preferably 50 µm or more and 100 µm or less. Does not work.

성형부(2)는 상단부에 오버플로우 홈(7a)이 형성된 단면시 대략 쐐기형의 성형체(7)와, 성형체(7)의 바로 아래에 배치되어서, 성형체(7)로부터 흘러 넘친 용융 유리를 표리 양측으로부터 끼우는 엣지 롤러(8)와, 엣지 롤러(8)의 바로 아래에 배치되는 어닐러(9)를 구비한다.The molded part 2 is disposed at the upper end at an approximately wedge-shaped molded body 7 in the cross section where an overflow groove 7a is formed, and is disposed immediately below the molded body 7 to expose molten glass overflowing from the molded body 7 It is provided with an edge roller 8 fitted from both sides and an annealer 9 disposed immediately below the edge roller 8.

성형부(2)는 성형체(7)의 오버플로우 홈(7a)의 상방으로부터 흘러 넘친 용융 유리를 양측면을 따라 각각 유하시키고, 하단에서 합류시켜서 필름 형상의 용융 유리를 성형한다. 엣지 롤러(8)는 용융 유리의 폭 방향 수축을 규제하여 소정 폭의 유리 필름(G)으로 한다. 어닐러(9)는 유리 필름(G)에 대하여 변형 제거 처리를 실시하기 위한 것이다. 이 어닐러(9)는 상하 방향 복수단에 배치된 어닐러 롤러(10)를 갖는다.The molded part 2 flows the molten glass overflowed from the upper side of the overflow groove 7a of the molded body 7 along both sides, and joins at the bottom to form a film-shaped molten glass. The edge roller 8 controls the shrinkage in the width direction of the molten glass to make the glass film G of a predetermined width. The annealer 9 is for subjecting the glass film G to a strain removal treatment. This annealer 9 has an annealer roller 10 arranged at a plurality of stages in the vertical direction.

어닐러(9)의 하방에는 유리 필름(G)을 표리 양측으로부터 협지하는 지지 롤러(11)가 배치되어 있다. 지지 롤러(11)와 엣지 롤러(8)의 사이, 또는 지지 롤러(11)와 어느 1개소의 어닐러 롤러(10) 사이에서는 유리 필름(G)을 박육으로 하는 것으로 조장하기 위한 장력이 부여되어 있다.Under the annealer 9, support rollers 11 are arranged to hold the glass film G from both front and rear sides. Tension is provided between the support roller 11 and the edge roller 8, or between the support roller 11 and any one annealer roller 10 to promote thinning of the glass film G. have.

방향 변환부(3)는 지지 롤러(11)의 하방 위치에 설치되어 있다. 방향 변환부(3)에는 유리 필름(G)을 안내하는 복수의 가이드 롤러(12)가 만곡 형상으로 배열되어 있다. 이들 가이드 롤러(12)는 연직 방향으로 반송되는 유리 필름(G)을 가로 방향으로 안내한다.The direction changing part 3 is provided at the position below the support roller 11. A plurality of guide rollers 12 for guiding the glass film G are arranged in the direction conversion part 3 in a curved shape. These guide rollers 12 guide the glass film G conveyed in the vertical direction in the horizontal direction.

가로 반송부(4)는 방향 변환부(3)의 진행 방향 전방(하류측)에 배치된다. 이 가로 반송부(4)는 상류측으로부터 순서대로, 제 1 반송 장치(13), 제 2 반송 장치(14), 및 제 3 반송 장치(15)를 갖는다.The horizontal conveying section 4 is disposed in the forward direction (downstream side) of the direction converting section 3. The horizontal conveying section 4 has a first conveying device 13, a second conveying device 14, and a third conveying device 15 in order from the upstream side.

제 1 반송 장치(13)는 무단 띠 형상의 반송 벨트(16)와, 이 반송 벨트(16)의 구동 장치(17)를 갖는다. 제 1 반송 장치(13)는 반송 벨트(16)의 상면을 유리 필름(G)에 접촉시킴으로써 방향 변환부(3)를 통과한 유리 필름(G)을 하류측으로 연속적으로 반송한다. 구동 장치(17)는 반송 벨트(16)를 구동하기 위한 롤러, 스프로킷 등의 구동체(17a)와, 이 구동체(17a)를 회전시키는 모터(도시하지 않음)를 갖는다.The first conveying device 13 has an endless belt-shaped conveying belt 16 and a driving device 17 for the conveying belt 16. The 1st conveying apparatus 13 continuously conveys the glass film G which passed the direction conversion part 3 to the downstream side by making the upper surface of the conveyance belt 16 contact the glass film G. The drive device 17 has a drive body 17a for driving the conveyance belt 16, such as a roller and a sprocket, and a motor (not shown) for rotating the drive body 17a.

제 2 반송 장치(14)는 유리 필름(G)을 지지하는 정반(18)과, 유리 필름(G)을 반송하기 위한 시트재(19)를 갖는다.The 2nd conveying apparatus 14 has the surface plate 18 which supports the glass film G, and the sheet material 19 for conveying the glass film G.

정반(18)은 반송 중에 유리 필름(G)에 발생하는 주름(Ge)을 제거하기 위한 주름 제거부(20)를 갖는다. 본 실시형태에 있어서, 주름 제거부(20)는 막대 형상 부재(20a)를 포함한다. 막대 형상 부재(20a)는 원통면을 갖는 부재에 의해 구성되지만, 이 형상에 한정되지 않는다. 막대 형상 부재(20a)는 유리 필름(G)의 주름(Ge)을 제거하기 위해, 상방으로 볼록해지는 곡면을 갖고 있으면 좋고, 단면시 반원형이나 타원형으로 구성되어도 좋다.The surface plate 18 has a wrinkle removing portion 20 for removing wrinkles Ge generated in the glass film G during transportation. In the present embodiment, the wrinkle removing portion 20 includes a rod-shaped member 20a. The rod-shaped member 20a is constituted by a member having a cylindrical surface, but is not limited to this shape. The rod-shaped member 20a may have a curved surface that is convex upwardly in order to remove wrinkles Ge of the glass film G, and may be formed in a semicircular shape or an oval shape in cross section.

도 3에 나타내는 바와 같이, 막대 형상 부재(20a)는 정반(18)의 상면(18a)에 고정되어 있지만, 이 형태에 한정되지 않는다. 막대 형상 부재(20a)는 정반(18)의 상면(18a)으로부터 상방으로 이간된 위치에서 회전 가능하게 구성되어도 좋다. 이 경우, 막대 형상 부재(20a)는 공전해도 좋고, 구동 수단에 의해 회전 구동되어도 좋다. 막대 형상 부재(20a)의 지름(D)은 2㎜ 이상 100㎜ 이하로 설정되지만, 이 범위에 한정되지 않고, 유리 필름(G)이나 제품부(Gd)의 치수 등에 따라 적당히 설정될 수 있다. 또한, 막대 형상 부재(15a)가 원통형 이외인 경우(예를 들면, 삼각기둥 형상이나 반원기둥 형상), 막대 형상 부재(15a)의 높이는 10㎜ 이상 100㎜ 이하인 것이 바람직하고, 반송용 시트재(23)를 개재하여 유리와 접촉하는 부분의 곡률 반경이 R1㎜ 이상, R100㎜ 이하인 것이 바람직하다.3, the rod-shaped member 20a is fixed to the upper surface 18a of the surface plate 18, but is not limited to this form. The rod-shaped member 20a may be configured to be rotatable at a position spaced upward from the upper surface 18a of the surface plate 18. In this case, the rod-shaped member 20a may orbit or may be rotationally driven by a driving means. The diameter D of the rod-shaped member 20a is set to 2 mm or more and 100 mm or less, but is not limited to this range, and may be appropriately set according to dimensions of the glass film G or the product portion Gd. In addition, when the rod-shaped member 15a is other than a cylindrical shape (for example, a triangular prism shape or a semi-cylindrical shape), the height of the rod-shaped member 15a is preferably 10 mm or more and 100 mm or less, and the conveying sheet material ( It is preferable that the radius of curvature of the portion contacting the glass via R 23 is R1 mm or more and R100 mm or less.

막대 형상 부재(20a)는 유리 필름(G)의 폭 방향(W)을 따라 배치된다. 즉, 막대 형상 부재(20a)는 유리 필름(G)의 길이 방향에 대하여 직교하도록 정반(18)의 상면(18a)에 배치된다.The rod-shaped member 20a is disposed along the width direction W of the glass film G. That is, the rod-shaped member 20a is disposed on the upper surface 18a of the surface plate 18 so as to be perpendicular to the longitudinal direction of the glass film G.

도 2 및 도 4에 나타내는 바와 같이, 막대 형상 부재(20a)의 길이(LR)는 유리 필름(G)의 폭(WG)보다도 짧게 설정된다.2 and 4, the length LR of the rod-shaped member 20a is set to be shorter than the width WG of the glass film G.

유리 필름(G)의 폭 방향 단부(Ga, Gb)에는 중앙부보다도 두께가 큰 부분(이하 「러그부」라고 함)(Gf)이 형성된다. 막대 형상 부재(20a)의 길이(LR)는 유리 필름(G)의 하면측에 막대 형상 부재(20a)를 배치했을 경우에, 이 러그부(Gf)에 겹치지 않도록 설정된다. 즉, 막대 형상 부재(20a)의 길이(LR)는 유리 필름(G)에 있어서, 러그부(Gf)를 포함하지 않는 폭 방향 중앙측의 부분의 폭(WC)보다도 짧게 설정되는 것이 바람직하다. 이것에 의해 유리 필름(G)을 지지하는 막대 형상 부재(20a)는 유리 필름(G)의 러그부(Gf)를 지지하는 일 없이, 유리 필름(G)의 러그부(Gf)보다도 폭 방향 중앙측의 부분을 지지한다. 막대 형상 부재(20a)의 길이(LR)는 레이저 조사 장치(25)의 이간 거리(DL)의 1.1배 이상, 유리 필름(G)의 중앙측의 부분의 폭(WC)의 0.98배 이하인 것이 바람직하다.A portion having a greater thickness than the central portion (hereinafter referred to as a “lug portion”) Gf is formed at the widthwise ends (Ga, Gb) of the glass film G. The length LR of the rod-shaped member 20a is set so as not to overlap the lug portion Gf when the rod-shaped member 20a is disposed on the lower surface side of the glass film G. That is, it is preferable that the length LR of the rod-shaped member 20a is set to be shorter than the width WC of the central portion in the width direction not including the lug portion Gf in the glass film G. Thereby, the rod-shaped member 20a which supports the glass film G does not support the lug part Gf of the glass film G, but is centered in the width direction more than the lug part Gf of the glass film G. Support the side part. The length LR of the rod-like member 20a is preferably 1.1 times or more of the separation distance DL of the laser irradiation device 25 and 0.98 times or less of the width WC of the central portion of the glass film G. Do.

반송용 시트재(19)는, 예를 들면 발포 수지 시트에 의해 구성되지만, 이 재료에 한정되는 것은 아니다. 반송용 시트재(19)는 정반(18)의 하방에 배치되는 시트 롤(21)로부터 인출되고, 정반(18) 위를 상류측으로부터 하류측으로 이동한다(도 1 참조). 반송용 시트재(19)는 정반(18) 상에 있어서, 유리 필름(G)의 하면에 접촉하고, 그 이동에 의해 당해 유리 필름(G)을 하류측으로 반송한다. 반송용 시트재(19)는 정반(18)의 상면(18a)을 통과한 후에, 정반(18)의 하방 위치에 있어서 도시되지 않은 권취 장치에 의해 회수된다.Although the sheet material 19 for conveyance is comprised with a foamed resin sheet, for example, it is not limited to this material. The sheet material 19 for conveyance is taken out from the sheet roll 21 arranged below the platen 18, and moves over the platen 18 from the upstream side to the downstream side (see Fig. 1). The sheet material 19 for conveyance contacts the lower surface of the glass film G on the platen 18, and conveys the glass film G to the downstream side by the movement. After the sheet material 19 for conveyance passes through the upper surface 18a of the surface plate 18, it is recovered by the winding device not shown in the downward position of the surface plate 18.

반송용 시트재(19)의 폭(WS)은 막대 형상 부재(20a)의 길이(LR)보다도 크게 설정된다. 또한, 반송용 시트재(19)의 폭(WS)은 유리 필름(G)의 폭(WG)보다도 작게 설정된다. 보다 상세하게는 반송용 시트재(19)의 폭(WS)은 유리 필름(G)에 있어서, 러그부(Gf)를 포함하지 않는 폭 방향 중앙측의 부분의 폭(WC)보다도 작게 설정되는 것이 바람직하다(도 4 참조).The width WS of the conveying sheet member 19 is set larger than the length LR of the rod-shaped member 20a. Moreover, the width WS of the sheet material 19 for conveyance is set smaller than the width WG of the glass film G. More specifically, the width WS of the sheet material 19 for conveyance is set to be smaller than the width WC of the central side portion in the width direction not including the lug portion Gf in the glass film G. It is preferred (see Fig. 4).

반송용 시트재(19)의 두께(TS)는 0.05㎜ 이상 2㎜ 이하로 설정되지만, 이 범위에 한정되지 않고, 유리 필름(G)의 러그부(Gf)가 정반(18)의 상면(18a)에 접촉시키지 않도록 적당히 설정될 수 있다.The thickness TS of the conveying sheet material 19 is set to 0.05 mm or more and 2 mm or less, but is not limited to this range, and the lug portion Gf of the glass film G is the upper surface 18a of the surface plate 18 ).

제 3 반송 장치(15)는 유리 필름(G)을 지지하는 정반(22)과, 유리 필름(G)을 반송하기 위한 시트재(23)를 갖는다. 제 3 반송 장치(15)는 정반(22)의 상류측 하방에 배치되는 시트 롤(24)로부터 인출된 반송용 시트재(23)를 정반(22) 위에서 하류측으로 이동시킴으로써 절단부(5)에 의해 절단된 유리 필름(G)의 비제품부(Gc) 및 제품부(Gd)를 하류측으로 반송한다.The 3rd conveying apparatus 15 has the surface plate 22 which supports the glass film G, and the sheet material 23 for conveying the glass film G. The third conveying device 15 is moved by the cutting part 5 by moving the conveying sheet material 23 drawn out from the sheet roll 24 disposed below the upstream side of the surface plate 22 to the downstream side on the surface plate 22. The non-product part Gc and the product part Gd of the cut glass film G are conveyed to the downstream side.

도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 절단부(5)는 가로 반송부(4)에 있어서의 제 2 반송 장치(14)와 제 3 반송 장치(15) 사이에 배치된다. 절단부(5)는 레이저 조사 장치(25)와, 유리 필름을 지지하는 정반(26)과, 레이저 조사 장치(25)의 레이저광(L)을 유리 필름(G)에 조사함으로써 발생하는 실 형상 박리물(Gg)을 회수하는 회수 장치(27)를 구비한다.1 and 2, the cut portion 5 is disposed between the second transfer device 14 and the third transfer device 15 in the horizontal transfer section 4. The cutting section 5 is a yarn-like peeling generated by irradiating the glass film G with the laser irradiation device 25, the surface plate 26 supporting the glass film, and the laser light L of the laser irradiation device 25. And a recovery device 27 for recovering water Gg.

레이저 조사 장치(25)는 정반(26)의 상방이며, 주름 제거부(20)보다도 하류측에 배치된다. 레이저 조사 장치(25)는, 예를 들면 CO₂ 레이저, YAG 레이저 그 외의 레이저광(L)을 하방을 향해서 조사하도록 구성된다. 본 실시형태에서는 유리 필름(G)의 폭 방향 양단부(Ga, Gb)를 절단하도록 2대의 레이저 조사 장치(25)가 배치되어 있다(도 2 참조).The laser irradiation device 25 is above the platen 26 and is disposed downstream from the wrinkle removal unit 20. The laser irradiation device 25 is configured to irradiate, for example, a CO ₂ laser, a YAG laser, or other laser light L downward. In this embodiment, two laser irradiation devices 25 are arranged to cut both ends of the glass film G in the width direction (Ga, Gb) (see Fig. 2).

레이저광(L)은 유리 필름(G)에 대하여 소정의 위치(조사 위치)(O)에 조사된다. 이 조사 위치(O)와, 주름 제거부(20)의 막대 형상 부재(20a)의 이간 거리(D1)는 200㎜ 이상 2000㎜ 이하로 되지만, 이 범위에 한정되지 않고, 유리 필름(G)의 치수 및 막대 형상 부재(20a)의 치수에 따라 적당히 설정된다.The laser light L is irradiated to the glass film G at a predetermined position (irradiation position) O. The separation distance D1 between the irradiation position O and the rod-shaped member 20a of the wrinkle removal unit 20 is 200 mm or more and 2000 mm or less, but is not limited to this range, and the glass film G It is suitably set according to the dimensions and the dimensions of the rod-shaped member 20a.

정반(26)은 상하 방향으로 관통하는 개구부(26a)를 갖는다. 레이저 조사 장치(25)에 있어서의 레이저광(L)의 조사 위치(O)는 이 개구부(26a)의 범위 내에 설정된다.The surface plate 26 has an opening 26a penetrating in the vertical direction. The irradiation position O of the laser light L in the laser irradiation device 25 is set within the range of the opening 26a.

도 2 및 도 3에 나타내는 바와, 같이 회수 장치(27)는 정반(26)의 하방에 배치된다. 회수 장치(27)는 벨트 컨베이어(27a)에 의해 구성된다. 본 실시형태에서는 유리 필름(G)의 각 단부(Ga, Gb)에 대응해서 2대의 벨트 컨베이어(27a)가 배치된다. 각 벨트 컨베이어(27a)는 유리 필름(G)의 반송 방향(길이 방향)에 직교하는 방향(폭 방향)을 따라, 즉 유리 필름(G)의 폭 방향에 있어서의 내측으로부터 외측을 향해서 실 형상 박리물(Gg)을 반송한다.2 and 3, the recovery device 27 is disposed below the platen 26. As shown in FIGS. The recovery device 27 is constituted by a belt conveyor 27a. In this embodiment, two belt conveyors 27a are arranged in correspondence with the respective ends Ga and Gb of the glass film G. Each belt conveyor 27a is thread-separated along the direction orthogonal to the conveyance direction (longitudinal direction) of the glass film G, that is, from the inside to the outside in the width direction of the glass film G. Water (Gg) is returned.

권취부(6)는 제 3 반송 장치(15)의 하류측에 설치되어 있다. 권취부(6)는 권취 롤러(28)와, 이 권취 롤러(28)를 회전 구동하는 모터(도시하지 않음)와, 권취 롤러(28)에 보호 시트(29a)를 공급하는 보호 시트 공급부(29)를 갖는다. 권취부(6)는 보호 시트 공급부(29)로부터 보내지는 보호 시트(29a)를 제품부(Gd)에 서로 겹치면서 모터에 의해 권취 롤러(28)를 회전시킴으로써 제품부(Gd)를 롤 형상으로 권취한다. 권취된 제품부(Gd)는 유리 롤(R)로서 구성된다.The winding part 6 is provided on the downstream side of the 3rd conveying apparatus 15. The winding part 6 includes a winding roller 28, a motor (not shown) for rotationally driving the winding roller 28, and a protection sheet supply part 29 for supplying the protection sheet 29a to the winding roller 28. ). The winding part 6 winds up the product part Gd in a roll shape by rotating the winding roller 28 by a motor while overlapping the protection sheet 29a sent from the protection sheet supply part 29 to the product part Gd. do. The wound product part Gd is configured as a glass roll R.

이하, 상기 구성의 제조 장치(1)에 의해 유리 롤(R)을 제조하는 방법에 대하여 설명한다. 유리 롤(R)의 제조 방법은 성형부(2)에 의해 띠 형상의 유리 필름(G)을 성형하는 성형 공정과, 방향 변환부(3) 및 가로 반송부(4)에 의해 유리 필름(G)을 반송하는 반송 공정과, 절단부(5)에 의해 유리 필름(G)의 폭 방향 단부(Ga, Gb)를 절단하는 절단 공정과, 절단 공정 후에 제품부(Gd)를 권취부(6)에 의해 권취하는 권취 공정을 구비한다.Hereinafter, a method of manufacturing the glass roll R by the manufacturing apparatus 1 having the above configuration will be described. The manufacturing method of the glass roll R is a glass film (G) formed by a molding process of forming a strip-shaped glass film (G) by a molding part (2) and a direction converting part (3) and a transverse conveying part (4). ) And the cutting step of cutting the widthwise ends (Ga, Gb) of the glass film G by the cutting section 5 and the product section Gd after the cutting step to the winding section 6 It is provided with a winding process to wind up.

성형 공정에서는 성형부(2)에 있어서의 성형체(7)의 오버플로우 홈(7a)의 상방으로부터 흘러 넘친 용융 유리를 양측면을 따라 각각 유하시키고, 하단에서 합류시켜서 필름 형상의 용융 유리로 한다. 이때, 용융 유리의 폭 방향 수축을 엣지 롤러(8)에 의해 규제해서 소정 폭의 유리 필름(G)으로 한다. 그 후, 유리 필름(G)에 대하여 어닐러(9)에 의해 변형 제거 처리를 실시한다(서랭 공정). 지지 롤러(11)의 장력에 의해 유리 필름(G)은 소정의 두께로 형성된다.In the molding process, molten glass overflowing from the upper side of the overflow groove 7a of the molded body 7 in the molding part 2 is respectively flowed along both sides, and joined at the bottom to obtain a film-shaped molten glass. At this time, the shrinkage in the width direction of the molten glass is regulated by the edge roller 8 to be the glass film G of a predetermined width. Thereafter, the glass film G is subjected to a strain removal treatment by an annealer 9 (slow cooling step). The glass film G is formed to a predetermined thickness by the tension of the support roller 11.

반송 공정에서는 방향 변환부(3)에 의해 유리 필름(G)의 반송 방향을 가로 방향으로 변환함과 아울러, 각 반송 장치(13~15)에 의해 유리 필름(G)을 하류측의 권취부(6)로 반송한다.In the conveying process, the conveying direction of the glass film G is converted to the transverse direction by the direction converting part 3, and the glass film G is wound on the downstream side by each conveying device 13 to 15 ( 6).

유리 필름(G)에는 가로 반송부(4)에 의한 반송 중에 다수의 주름(Ge)이 불규칙하게 발생한다. 이들 주름(Ge)은 유리 필름(G)이 제 2 반송 장치(14)의 주름 제거부(20)를 통과함으로써 소실된다(주름 제거 공정). 즉, 유리 필름(G)은 주름 제거부(20)의 막대 형상 부재(20a)를 통과할 때, 그 하면측에 위치하는 막대 형상 부재(20a)에 의해 반송용 시트재(19)와 함께 정반(18)의 상면(18a)보다도 상방 위치로 밀어 올려진다. 이때, 유리 필름(G)의 주름(Ge)은 유리 필름(G)이 막대 형상 부재(20a)에 의해 연신됨으로 소실된다.A number of wrinkles Ge are irregularly generated in the glass film G during transportation by the horizontal conveying unit 4. These wrinkles Ge are lost by the glass film G passing through the wrinkle removal portion 20 of the second conveying device 14 (wrinkle removal process). That is, when the glass film G passes through the rod-shaped member 20a of the wrinkle removal unit 20, it is plated together with the sheet material 19 for conveyance by the rod-shaped member 20a located on its lower surface side. It is pushed up to a position above the upper surface 18a of (18). At this time, the wrinkles Ge of the glass film G are lost as the glass film G is stretched by the rod-shaped member 20a.

반송용 시트재(19)는 막대 형상 부재(20a)를 통과할 때에, 당해 막대 형상 부재(20a)에 의해 들어 올려진다. 이것에 의해 반송용 시트재(19)는 막대 형상 부재(20a)보다도 상류측의 일부와, 막대 형상 부재(20a)보다도 하류측의 일부가 정반(18)의 상면(18a)으로부터 이간된다. 도 3에 나타내는 바와 같이, 반송용 시트재(19)와 정반(18)의 상면(18a)과의 상하 방향에 있어서의 이간 거리는 반송용 시트재(19)가 막대 형상 부재(20a)로부터 하류로 이동함에 따라 작아진다. 반송용 시트재(19)는 레이저 조사 장치(25)에 있어서의 레이저광(L)의 조사 위치(O)보다도 상류측에서, 정반(18)의 상면(18a)에 접촉한다.When the sheet material for conveyance 19 passes through the rod-shaped member 20a, it is lifted by the rod-shaped member 20a. Thereby, the sheet | seat material 19 for conveyance is separated from the upper surface 18a of the surface 18 of the part on the upstream side from the rod-shaped member 20a, and a part on the downstream side from the rod-shaped member 20a. As shown in FIG. 3, the separation distance in the vertical direction between the conveying sheet material 19 and the upper surface 18a of the surface plate 18 is the conveying sheet material 19 downstream from the rod-shaped member 20a. It gets smaller as it moves. The sheet material for conveyance 19 contacts the upper surface 18a of the surface plate 18 at an upstream side from the irradiation position O of the laser light L in the laser irradiation device 25.

유리 필름(G)은 반송용 시트재(19)가 정반(18)의 상면(18a)에 접촉함으로써, 당해 반송용 시트재(19)를 개재하여 정반(18)에 지지된다. 반송용 시트재(19)는 정반(18)의 상면(18a)과의 접촉을 유지하면서, 유리 필름(G)을 레이저광(L)의 조사 위치(O)로 이동시킨다.The glass film G is supported by the sheet 18 for conveyance through the sheet material 19 for conveyance by the sheet material 19 for conveyance contacting the upper surface 18a of the surface plate 18. The conveying sheet material 19 moves the glass film G to the irradiation position O of the laser beam L while maintaining contact with the upper surface 18a of the surface plate 18.

절단 공정에서는 제 2 반송 장치(14)에 의해 반송되는 유리 필름(G)에 절단부(5)의 레이저 조사 장치(25)로부터 레이저광(L)을 조사하여, 유리 필름(G)의 폭 방향 양단부(Ga, Gb)를 절단한다. 이것에 의해 유리 필름(G)은 비제품부(Gc)와 제품부(Gd)로 분리된다.In the cutting process, the laser light L is irradiated from the laser irradiation device 25 of the cutting section 5 to the glass film G conveyed by the second conveying device 14, and both ends of the glass film G are transversely oriented. (Ga, Gb) is cut. Thereby, the glass film G is divided into the non-product part Gc and the product part Gd.

구체적으로는 레이저광(L)이 유리 필름(G)에 조사되면(도 6a 참조), 유리 필름(G)의 일부가 레이저광(L)의 가열에 의해 용단된다(도 6b 참조). 유리 필름(G)은 제 2 반송 장치(14)에 의해 반송되어 있기 때문에 용단된 부분은 레이저광(L)으로부터 멀어진다.Specifically, when the laser light L is irradiated to the glass film G (see FIG. 6A), a part of the glass film G is melted by heating the laser light L (see FIG. 6B). Since the glass film G is conveyed by the 2nd conveying apparatus 14, the molten part is away from the laser beam L.

이에 따라 유리 필름(G)의 용단 부분이 냉각된다. 용단 부분은 냉각됨으로써 열 변형을 발생시키고, 이것에 의한 응력이 용단되어 있지 않은 부분에 대하여 인장력으로서 작용한다. 이 작용에 의해 실 형상 박리물(Gg)은 비제품부(Gc)의 폭 방향 단부 및 제품부(Gd)의 폭 방향 단부로부터 분리된다. 분리된 실 형상 박리물(Gg)은 그 자체 중량에 의해 하방으로 이동한다(도 6c 참조). 실 형상 박리물(Gg)은 비제품부(Gc) 또는 제품부(Gd)로부터 분리된 후에 나선 형상으로 변형된다. 절단 공정에서는 비제품부(Gc)와 제품부(Gd)로부터 발생하는 실 형상 박리물(Gg)을 회수 장치(27)에 의해 회수한다(회수 공정).Thereby, the molten part of the glass film G is cooled. The molten portion is cooled, thereby causing thermal deformation, and the stress caused by this acts as a tensile force on the portion that is not fused. By this action, the thread-like exfoliation Gg is separated from the widthwise end of the non-product part Gc and the widthwise end of the product part Gd. The separated thread-like exfoliation Gg moves downward by its own weight (see FIG. 6C). The yarn-like peeling material Gg is deformed into a spiral shape after being separated from the non-product part Gc or the product part Gd. In the cutting process, the yarn-like peeling material Gg generated from the non-product part Gc and the product part Gd is recovered by the recovery device 27 (recovery process).

또한, 비제품부(Gc)는 제 3 반송 장치(15)에 의해 하류측으로 반송되며, 권취부(6)의 상류측에서 도시되지 않은 별도의 회수 장치에 의해 회수된다.Further, the non-product part Gc is conveyed to the downstream side by the third conveying device 15, and is recovered by a separate recovery device not shown on the upstream side of the winding part 6.

권취 공정에서는 보호 시트 공급부(29)로부터 보호 시트(29a)를 제품부(Gd)에 공급하면서, 제 3 반송 장치(15)에 의해 반송되는 제품부(Gd)를 권취부(6)의 권취 롤러(28)로 롤 형상으로 권취한다. 소정 길이의 제품부(Gd)를 권취 롤러(28)에 의해 권취함으로써 유리 롤(R)이 완성된다.In the winding-up process, the winding roller of the winding part 6 conveys the product part Gd conveyed by the 3rd conveying apparatus 15, supplying the protection sheet 29a from the protection sheet supply part 29 to the product part Gd. (28) It is wound up in roll shape. The glass roll R is completed by winding the product part Gd of a predetermined length by the winding roller 28.

이상 설명한 본 실시형태에 의한 유리 필름(G)의 제조 방법에 의하면, 절단 공정에 있어서, 주름 제거부(20)(막대 형상 부재(20a))에 의해 유리 필름(G)의 주름(Ge)을 제거한 후에, 유리 필름(G)의 용단을 행함으로써 유리 필름(G)으로부터 제품부(Gd)를 정밀도 좋게 잘라내는 것이 가능해진다. 레이저 조사 장치(25)에 의한 레이저광(L)의 조사 위치(O)에 있어서, 유리 필름(G)은 반송용 시트재(19)를 개재하여 정반(18)의 상면(18a)에 안정적으로 지지된다. 이것에 의해 제품부(Gd)로부터 균일한 실 형상 박리물(Gg)을 발생시킬 수 있고, 제품부(Gd)의 절단면을 균일하게 함으로써 고품질의 유리 필름(G)(유리 롤(R))을 제조할 수 있다.According to the manufacturing method of the glass film G which concerns on this embodiment demonstrated above, in the cutting process, the wrinkles Ge of the glass film G are removed by the wrinkle removal part 20 (rod-shaped member 20a). After removal, it is possible to accurately cut the product portion Gd from the glass film G by subjecting the glass film G to melting. In the irradiation position O of the laser light L by the laser irradiation device 25, the glass film G is stably placed on the upper surface 18a of the surface plate 18 via the conveying sheet material 19. Is supported. Thereby, a uniform yarn-like peeling material Gg can be generated from the product portion Gd, and the high-quality glass film G (glass roll R) is produced by uniformizing the cut surface of the product portion Gd. Can be produced.

도 7~도 10은 유리 필름의 제조 장치 및 제조 방법의 제 2 실시형태를 나타낸다. 본 실시형태에서는 가로 반송부(4)의 제 2 반송 장치(14), 제 3 반송 장치(15), 및 절단부(5)의 구성이 제 1 실시형태와는 상이하다.7 to 10 show a second embodiment of a manufacturing apparatus and a manufacturing method of a glass film. In the present embodiment, the structures of the second conveying device 14, the third conveying device 15, and the cutting part 5 of the horizontal conveying part 4 are different from the first embodiment.

도 7~도 9에 나타내는 바와 같이, 제 2 반송 장치(14)의 주름 제거부(20)는 제 1 실시형태에 있어서의 막대 형상 부재(20a)에 추가하여, 당해 막대 형상 부재(20a)의 하류측에 배치되는 판 형상 부재(20b)를 구비한다.7 to 9, the wrinkle removing portion 20 of the second conveying device 14 is added to the rod-shaped member 20a in the first embodiment, and the bar-shaped member 20a is And a plate-shaped member 20b disposed on the downstream side.

판 형상 부재(20b)는 유리 필름(G)의 반송 방향에 있어서, 막대 형상 부재(20a)와 레이저 조사 장치(25) 사이에 배치된다. 판 형상 부재(20b)는 정반(18)의 상면(18a)에 고정되어 있다. 판 형상 부재(20b)의 폭(WP)(유리 필름(G)의 폭 방향(W)에 있어서의 판 형상 부재(20b)의 길이)은 막대 형상 부재(20a)의 길이(LR)보다도 작게 설정된다. 판 형상 부재(20b)의 폭(WP)은 레이저 조사 장치(25)의 이간 거리(DL)의 1.02배 이상, 막대 형상 부재(20a)의 길이(LR)의 0.95배 이하인 것이 바람직하다. 유리 필름(G)의 반송 방향에 있어서의 판 형상 부재(20b)의 길이(LP)는 10㎜ 이상 500㎜ 이하로 되는 것이 바람직하지만, 이 범위에 한정되지 않고, 유리 필름(G) 및 제품부(Gd)의 치수에 따라 적당히 설정된다.The plate-shaped member 20b is disposed between the rod-shaped member 20a and the laser irradiation device 25 in the transport direction of the glass film G. The plate-shaped member 20b is fixed to the upper surface 18a of the platen 18. The width WP of the plate-like member 20b (the length of the plate-like member 20b in the width direction W of the glass film G) is set smaller than the length LR of the rod-like member 20a. do. It is preferable that the width WP of the plate-shaped member 20b is 1.02 times or more of the separation distance DL of the laser irradiation device 25 and 0.95 times or less of the length LR of the rod-shaped member 20a. The length LP of the plate-like member 20b in the conveying direction of the glass film G is preferably 10 mm or more and 500 mm or less, but is not limited to this range, and the glass film G and the product part It is appropriately set according to the dimensions of (Gd).

판 형상 부재(20b)의 두께(TP)는 막대 형상 부재(20a)의 지름(D)보다도 작게 설정된다. 따라서, 판 형상 부재의 상면(20c)은 막대 형상 부재(20a)의 상단부(20d)보다도 하방에 위치한다. 이 판 형상 부재(20b)의 두께(TP)는 1㎜ 이상, 95㎜ 이하로 되지만, 이 범위에 한정되지 않고, 막대 형상 부재(20a)의 지름(D)에 따라 적당히 설정된다. 판 형상 부재(20b)의 상면(20c)과, 막대 형상 부재(20a)의 상단부(20d)의 고저 차는 3㎜ 이상 50㎜ 이하로 되는 것이 바람직하다.The thickness TP of the plate-shaped member 20b is set smaller than the diameter D of the rod-shaped member 20a. Therefore, the upper surface 20c of the plate-shaped member is located below the upper end portion 20d of the rod-shaped member 20a. Although the thickness TP of the plate-shaped member 20b is 1 mm or more and 95 mm or less, it is not limited to this range, and is appropriately set according to the diameter D of the rod-shaped member 20a. The height difference between the upper surface 20c of the plate-like member 20b and the upper end portion 20d of the rod-like member 20a is preferably 3 mm or more and 50 mm or less.

유리 필름(G)의 반송 방향에 있어서, 레이저 조사 장치(25)에 의한 레이저광(L)의 조사 위치(O)와 판 형상 부재(20b)의 이간 거리(D2)는 50㎜ 이상 1950㎜ 이하로 되지만, 이 범위에 한정되지 않고, 유리 필름(G) 및 제품부(Gd)의 치수에 따라 적당히 설정된다. 또한, 유리 필름(G)의 반송 방향에 있어서의 판 형상 부재(20b)와 막대 형상 부재(20a)의 이간 거리(D3)는 50㎜ 이상 1500㎜ 이하로 되는 것이 바람직하다.In the conveyance direction of the glass film G, the distance D2 between the irradiation position O of the laser light L by the laser irradiation device 25 and the plate-shaped member 20b is 50 mm or more and 1950 mm or less. However, it is not limited to this range, and is appropriately set according to the dimensions of the glass film G and the product portion Gd. Moreover, it is preferable that the distance D3 between the plate-shaped member 20b and the rod-shaped member 20a in the conveyance direction of the glass film G is 50 mm or more and 1500 mm or less.

제 3 반송 장치(15)는 유리 필름(G)을 반송하는 복수 개(본 예에서는 3개)의 반송 벨트(30a~30c)와, 각 반송 벨트(30a~30c)의 구동 장치(31)를 갖는다. 도 8에 나타내는 바와 같이, 반송 벨트(30a~30c)는 무단 띠 형상으로 구성됨과 아울러, 유리 필름(G)의 폭 방향 일단부(Ga)측의 부분에 접촉하는 제 1 반송 벨트(30a)와, 유리 필름(G)의 폭 방향 타단부(Gb)측의 부분에 접촉하는 제 2 반송 벨트(30b)와, 유리 필름(G)의 폭 방향 중앙부에 접촉하는 제 3 반송 벨트(30c)를 포함한다. 구동 장치(31)는 각 반송 벨트(30a~30c)를 구동하기 위한 롤러, 스프로킷 등의 구동체(31a)와, 이 구동체(31a)를 회전시키는 모터(도시하지 않음)를 갖는다.The third conveying device 15 includes a plurality of (three in this example) conveying belts 30a to 30c for conveying the glass film G, and a driving device 31 for each conveying belt 30a to 30c. Have As shown in FIG. 8, the conveyance belts 30a to 30c are configured in an endless band shape, and the first conveyance belt 30a contacting a portion of the glass film G in the width direction one end portion Ga side. , A second conveying belt 30b in contact with a portion on the other end portion Gb side in the width direction of the glass film G, and a third conveying belt 30c in contact with the central portion in the width direction of the glass film G do. The drive device 31 has a drive body 31a, such as a roller and a sprocket, for driving each of the transport belts 30a to 30c, and a motor (not shown) that rotates the drive body 31a.

도 8에 나타내는 바와 같이, 각 반송 벨트(30a~30c)는 유리 필름(G)의 폭 방향에 있어서 이간되어 있다. 이것에 의해 제 1 반송 벨트(30a)와 제 3 반송 벨트(30c)의 사이, 제 2 반송 벨트(30b)와 제 3 반송 벨트(30c)의 사이에는 극간이 형성된다.8, each conveyance belt 30a-30c is spaced apart in the width direction of the glass film G. As shown in FIG. Thereby, a clearance gap is formed between the 1st conveyance belt 30a and the 3rd conveyance belt 30c, and between the 2nd conveyance belt 30b and the 3rd conveyance belt 30c.

절단부(5)의 레이저 조사 장치(25)는 제 3 반송 장치(15)의 상방에 배치된다. 레이저 조사 장치(25)에 있어서의 레이저광(L)의 조사 위치(O)는 각 반송 벨트(30a~30c) 사이의 극간에 대응하도록 설정된다. 본 실시형태에 있어서의 절단부(5)는 제 1 실시형태에 있어서의 정반(26)을 구비하고 있지 않지만, 각 반송 벨트(30a~30c)의 극간에 배치 가능한 정반을 구비해도 좋다. 회수 장치(27)는 제 1 반송 벨트(30a) 및 제 2 반송 벨트(30b)를 가로지르도록 각 반송 벨트(30a, 30b)의 내측에 배치된다.The laser irradiation device 25 of the cutout 5 is disposed above the third transfer device 15. The irradiation position O of the laser light L in the laser irradiation device 25 is set to correspond to the gap between the respective transport belts 30a to 30c. Although the cutting part 5 in this embodiment does not have the surface plate 26 in 1st Embodiment, you may provide the surface plate which can be arrange | positioned between the poles of each conveyance belt 30a-30c. The recovery device 27 is disposed inside each transport belt 30a, 30b so as to cross the first transport belt 30a and the second transport belt 30b.

본 실시형태에 의한 제조 장치(1)에 의해 유리 필름(G)(유리 롤(R))을 제조할 경우, 제 1 실시형태와 마찬가지로 성형 공정, 반송 공정, 절단 공정, 및 권취 공정을 실행하게 되지만, 반송 공정에 있어서의 주름 제거 공정의 형태가 제 1 실시형태와는 상이하다.When manufacturing the glass film G (glass roll R) by the manufacturing apparatus 1 which concerns on this embodiment, similarly to 1st Embodiment, a forming process, a conveying process, a cutting process, and a winding process are performed. However, the form of the wrinkle removal process in the conveying process is different from the first embodiment.

주름 제거 공정에서는 우선, 유리 필름(G)이 제 2 반송 장치(14)의 정반(18)에 설치되는 막대 형상 부재(20a)를 통과한다. 이때, 유리 필름(G)은 그 하면측에 위치하는 막대 형상 부재(20a)에 의해 반송용 시트재(19)와 함께 정반(18)의 상면(18a)보다도 상방 위치로 밀어 올려진다. 이때, 유리 필름(G)에 발생되어 있는 주름(Ge)의 대부분은 유리 필름(G)이 막대 형상 부재(20a)에 의해 확대됨으로써 소실된다.In the wrinkle removal step, first, the glass film G passes through the rod-shaped member 20a provided on the platen 18 of the second transfer device 14. At this time, the glass film G is pushed up to a position above the upper surface 18a of the platen 18 together with the sheet member 19 for conveyance by the rod-shaped member 20a located on the lower surface side thereof. At this time, most of the wrinkles Ge generated in the glass film G are lost by the glass film G being enlarged by the rod-shaped member 20a.

막대 형상 부재(20a)를 통과한 후에 있어서도 유리 필름(G)에 주름(Ge)이 잔존할 경우, 당해 주름(Ge)은 유리 필름(G)이 판 형상 부재(20b)를 통과함으로써 소실된다. 반송용 시트재(19)를 개재하여 유리 필름(G)에 선 형상으로 접촉하는 막대 형상 부재(20a)에 대하여, 판 형상 부재(20b)는 반송용 시트재(19)를 개재하여, 말하자면 면 형상으로 접촉한다. 이것에 의해 막대 형상 부재(20a)에 의해 제거되지 않은 주름(Ge)은 유리 필름(G)이 판 형상 부재(20b)를 통과함으로써 확실하게 소실된다.When wrinkles Ge remain in the glass film G even after passing through the rod-shaped member 20a, the wrinkles Ge are lost by the glass film G passing through the plate-shaped member 20b. With respect to the rod-shaped member 20a in linear contact with the glass film G via the conveying sheet member 19, the plate-like member 20b is interposed between the conveying sheet member 19, so to speak, a surface. Contact in shape. Thereby, the wrinkles Ge not removed by the rod-like member 20a are surely lost by the glass film G passing through the plate-like member 20b.

반송용 시트재(19)는 막대 형상 부재(20a) 및 판 형상 부재(20b)를 통과할 때에 정반(18)의 상면(18a)으로부터 상방으로 이간되지만, 판 형상 부재(20b)를 통과한 후에 레이저광(L)의 조사 위치(O)보다도 상류측에서, 당해 상면(18a)에 접촉한다. 이것에 의해 유리 필름(G)은 레이저광(L)의 조사 위치(O)보다도 상류측에서 정반(18)의 상면(18a)에 지지된다. 따라서, 유리 필름(G)은 정반(18)의 상면(18a)에 안정적으로 지지된 상태에서 레이저 조사 장치(25)에 의해 절단된다. 이것에 의해 제품부(Gd)의 폭 방향 단부로부터 균일한 실 형상 박리물(Gg)을 연속적으로 발생시킬 수 있고, 따라서 유리 필름(G)의 절단을 정밀도 좋게 실행할 수 있다.When the sheet material 19 for conveyance passes through the rod-shaped member 20a and the plate-shaped member 20b, it is spaced upward from the upper surface 18a of the platen 18, but after passing through the plate-shaped member 20b The laser beam L contacts the upper surface 18a at an upstream side from the irradiation position O. Thereby, the glass film G is supported on the upper surface 18a of the surface plate 18 at the upstream side from the irradiation position O of the laser beam L. Therefore, the glass film G is cut by the laser irradiation apparatus 25 in a state stably supported on the upper surface 18a of the platen 18. Thereby, the uniform thread-like peeling material Gg can be continuously produced from the width direction end part of the product part Gd, and therefore the cutting of the glass film G can be performed accurately.

본 실시형태에 의한 절단 공정에서는 제 3 반송 장치(15)에 의해 유리 필름(G)을 반송하면서, 상방에 배치되는 레이저 조사 장치(25)로부터 레이저광(L)을 조사한다. 그 후, 실 형상 박리물(Gg)을 회수 장치(27)에 의해 회수하면서(도 10 참조), 유리 필름(G)의 비제품부(Gc)를 제 3 반송 장치(15)의 제 1 반송 벨트(30a) 및 제 2 반송 벨트(30b)에 의해 반송하고, 제품부(Gd)를 제 3 반송 벨트(30c)에 의해 반송한다. 본 실시형태에 의한 성형 공정, 권취 공정 그 외의 공정은 제 1 실시형태와 동일하다.In the cutting process according to the present embodiment, the laser light L is irradiated from the laser irradiation device 25 disposed above while conveying the glass film G by the third conveying device 15. Thereafter, the non-product part Gc of the glass film G is first conveyed by the third conveying device 15 while recovering the yarn-like peeling material Gg by the recovering device 27 (see FIG. 10). It conveys by the belt 30a and the 2nd conveyance belt 30b, and conveys the product part Gd by the 3rd conveyance belt 30c. The molding process according to the present embodiment, the winding process and other steps are the same as those in the first embodiment.

도 11 및 도 12는 유리 필름의 제조 장치 및 제조 방법의 제 3 실시형태를 나타낸다. 상기 제 1, 제 2 실시형태에서는 오버플로우 다운드로우법을 사용하여 유리 필름(G)을 제조하는 예를 나타냈지만, 본 실시형태에서는 롤 투 롤 공정(Roll to Roll)을 사용하여 유리 필름(G)(유리 롤(R))을 제조하는 방법을 예시한다.11 and 12 show a third embodiment of an apparatus and a method for manufacturing a glass film. In the first and second embodiments, an example in which the glass film G is produced using the overflow down draw method is shown, but in the present embodiment, the glass film G using the roll to roll process is shown. ) (Glass roll (R)) is illustrated.

도 11 및 도 12에 나타내는 바와 같이, 제조 장치(1)는 제 1 실시형태에 있어서의 성형부(2), 방향 변환부(3)로 대체하고, 가공 대상인 유리 필름(G)을 롤 형상으로 구성하여 이루어지는 유리 롤 원재(Ra)를 가장 상류측에 구비한다. 유리 롤 원재(Ra)는 공급 롤러(32)에 권취되어 이루어진다. 유리 롤 원재(Ra)의 하류측에는 제 1 실시형태와 마찬가지로 가로 반송부(4), 절단부(5), 권취부(6)가 순서대로 배치된다. 이들 각 요소(4~6)의 구성은 제 1 실시형태와 같다.11 and 12, the manufacturing apparatus 1 is replaced with the molding part 2 and the direction converting part 3 in the first embodiment, and the glass film G to be processed is rolled. The glass roll raw material Ra comprised is provided on the most upstream side. The glass roll raw material Ra is wound around the supply roller 32. The horizontal conveying part 4, the cutting part 5, and the winding part 6 are arrange | positioned sequentially in the downstream side of the glass roll raw material Ra like 1st Embodiment. The configuration of each of the elements 4 to 6 is the same as in the first embodiment.

본 실시형태에 있어서의 유리 필름(G)(유리 롤(R))의 제조 방법은 유리 롤 원재(Ra)로부터 가공용의 유리 필름(G)을 인출하여 하류측에 공급하는 유리 필름 공급 공정과, 반송 공정과, 절단 공정과, 권취 공정을 구비한다. 유리 필름 공급 공정에 있어서, 제조 장치(1)는 공급 롤러(32)를 회전시킴으로써 유리 롤 원재(Ra)로부터 가공용의 유리 필름(G)을 인출하여 하류측으로 이동시킨다. 이후의 반송 공정, 절단 공정 및 권취 공정은 제 1 실시형태와 마찬가지이다.The manufacturing method of the glass film G (glass roll R) in this embodiment is a glass film supply process which draws the glass film G for processing from a glass roll raw material Ra, and supplies it to the downstream side, It includes a conveying process, a cutting process, and a winding process. In the glass film supplying process, the manufacturing apparatus 1 pulls out the glass film G for processing from the glass roll raw material Ra by rotating the supply roller 32, and moves it to the downstream side. Subsequent conveying processes, a cutting process, and a winding process are the same as those of the first embodiment.

본 실시형태에서는 절단 공정에 있어서, 가공용의 유리 필름(G)을 복수 개의 유리 필름(G)으로 분리시키고, 그 일부 또는 전체를 제품으로 할 수 있다. 이 경우, 제조되는 제품의 수에 따라 복수의 권취 롤러(28)가 권취부(6)에 배치된다.In the present embodiment, in the cutting step, the glass film G for processing can be separated into a plurality of glass films G, and part or all of the glass film G can be used as a product. In this case, a plurality of winding rollers 28 are arranged in the winding section 6 according to the number of products to be manufactured.

도 13 및 도 14는 유리 필름의 제조 장치 및 당해 제조 장치를 사용하여 유리 필름을 제조하는 방법의 제 4 실시형태를 나타낸다.13 and 14 show a fourth embodiment of a manufacturing apparatus for a glass film and a method for manufacturing a glass film using the manufacturing apparatus.

도 13 및 도 14에 나타내는 바와 같이, 제조 장치(1)는 제 2 실시형태에 있어서의 성형부(2), 방향 변환부(3)로 대체하고, 가공 대상인 유리 필름(G)을 롤 형상으로 구성해서 이루어지는 유리 롤 원재(Ra)를 가장 상류측에 구비한다. 유리 롤 원재(Ra)는 공급 롤러(32)에 권취되어 이루어진다. 유리 롤 원재(Ra)의 하류측에는 제 2 실시형태와 마찬가지로 가로 반송부(4), 절단부(5), 권취부(6)가 순서대로 배치된다. 이들의 각 요소(4~6)의 구성은 제 2 실시형태와 동일하다.13 and 14, the manufacturing apparatus 1 is replaced with the forming part 2 and the direction converting part 3 in the second embodiment, and the glass film G to be processed is rolled. The glass roll raw material Ra formed as a structure is provided at the most upstream side. The glass roll raw material Ra is wound around the supply roller 32. The horizontal conveying part 4, the cutting part 5, and the winding part 6 are arrange | positioned in order similarly to 2nd Embodiment on the downstream side of the glass roll raw material Ra. The configuration of each of the elements 4 to 6 is the same as that of the second embodiment.

또한, 본 발명은 상기 실시형태의 구성에 한정되는 것은 아니고, 상기한 작용 효과에 한정되는 것도 아니다. 본 발명은 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 여러 가지의 변경이 가능하다.In addition, this invention is not limited to the structure of the said embodiment, nor is it limited to the above-mentioned effect. The present invention can be modified in various ways without departing from the gist of the present invention.

상기 제 2 실시형태에서는 1개의 막대 형상 부재(20a), 1매의 판 형상 부재(20b)를 포함하는 주름 제거부(20)를 예시했지만, 이것에 한정되지 않고, 정반(18) 상에 복수 개의 막대 형상 부재, 복수 개의 판 형상 부재를 배치해도 좋다.In the second embodiment, the wrinkle removing portion 20 including one rod-shaped member 20a and one plate-shaped member 20b is illustrated, but is not limited to this, and is plural on the platen 18 You may arrange several rod-shaped members and several plate-shaped members.

18 : 정반
18a : 정반의 상면
19 : 반송용 시트재
20 : 주름 제거부
20a : 막대 형상 부재
20b : 판 형상 부재
20c : 판 형상 부재의 상면
20d : 막대 형상 부재의 상단부
25 : 레이저 조사 장치
DL : 레이저 조사 장치의 이간 거리
G : 유리 필름
Ge : 유리 필름의 주름
Gg : 실 형상 박리물
L : 레이저광
O : 레이저광의 조사 위치
W : 유리 필름의 폭 방향
WP : 판 형상 부재의 폭
LR : 막대 형상 부재의 길이18: platen
18a: top surface of the platen
19: conveying sheet material
20: wrinkle removal unit
20a: rod-shaped member
20b: plate-shaped member
20c: upper surface of the plate-shaped member
20d: upper part of the rod-shaped member
25: laser irradiation device
DL: Distance between laser irradiation devices
G: Glass film
Ge: wrinkle of glass film
Gg: thread-like exfoliation
L: laser light
O: irradiation position of laser light
W: width direction of glass film
WP: Width of plate-shaped member
LR: Length of the rod-shaped member

Claims

A conveying step of conveying the elongate glass film from the upstream to the downstream along the longitudinal direction;
A cutting step of separating the glass film by irradiating laser light from a laser irradiation device to the glass film while conveying the glass film by the conveying step,
The conveying step includes a wrinkle removing step of removing wrinkles of the glass film by a wrinkle removing section disposed upstream of the laser irradiation device,
In the said cutting process, after removing the said wrinkles of the said glass film in the said conveying process, the said glass film is isolate | separated by irradiating the said glass film with the said laser light, and a thread-shaped peeling material from the width direction end part of the said separated glass film Method for producing a glass film, characterized in that to generate.

According to claim 1,
The wrinkle removing unit is a manufacturing method of a glass film having a rod-shaped member disposed on the lower surface side of the glass film and disposed along the width direction of the glass film.

According to claim 2,
The wrinkle removing portion is between the rod-shaped member and the laser irradiation device, the method of manufacturing a glass film comprising a plate-shaped member disposed on the lower surface side of the glass film.

The method of claim 3,
The manufacturing method of the glass film whose upper surface of the said plate-shaped member is located lower than the upper end part of the said rod-shaped member.

The method of claim 3 or 4,
The manufacturing method of the glass film whose width of the said plate-shaped member is set smaller than the length of the said rod-shaped member.

The method according to any one of claims 3 to 5,
In addition to being disposed above the glass film, the laser irradiation device is arranged two at a predetermined separation distance with respect to the width direction of the glass film, and the width of the plate-shaped member is the separation distance of the laser irradiation device The manufacturing method of a glass film set larger than this.

The method of claim 6,
The width of the plate-shaped member is 1.02 times or more of the separation distance of the laser irradiation device, 0.95 times or less of the length of the rod-shaped member manufacturing method of the glass film.

The method according to any one of claims 1 to 7,
In the said conveying process, the said glass film is conveyed by moving the sheet material for conveyance which contacts the lower surface of the said glass film on a surface plate,
The wrinkle removing portion is upstream from the irradiation position of the laser light by the laser irradiation device, and is provided on the upper surface to separate the sheet material for conveyance from the upper surface of the platen upward,
The manufacturing method of the glass film in the state in which the said sheet material for conveyance came into contact with the said upper surface of the said surface on the upstream side of the said irradiation position of the said laser beam.