JP6901227B1 - 銅インク及び導電膜形成方法 - Google Patents

銅インク及び導電膜形成方法 Download PDF

Info

Publication number
JP6901227B1
JP6901227B1 JP2020053484A JP2020053484A JP6901227B1 JP 6901227 B1 JP6901227 B1 JP 6901227B1 JP 2020053484 A JP2020053484 A JP 2020053484A JP 2020053484 A JP2020053484 A JP 2020053484A JP 6901227 B1 JP6901227 B1 JP 6901227B1
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
copper
conductive film
copper ink
firing
fine particles
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2020053484A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2021152125A (ja
Inventor
三田 倫広
倫広 三田
祐一 川戸
祐一 川戸
英俊 有村
英俊 有村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ishihara Chemical Co Ltd
Original Assignee
Ishihara Chemical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ishihara Chemical Co Ltd filed Critical Ishihara Chemical Co Ltd
Priority to JP2020053484A priority Critical patent/JP6901227B1/ja
Priority to CN202180021070.3A priority patent/CN115298269A/zh
Priority to PCT/JP2021/000997 priority patent/WO2021192523A1/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6901227B1 publication Critical patent/JP6901227B1/ja
Publication of JP2021152125A publication Critical patent/JP2021152125A/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09CTREATMENT OF INORGANIC MATERIALS, OTHER THAN FIBROUS FILLERS, TO ENHANCE THEIR PIGMENTING OR FILLING PROPERTIES ; PREPARATION OF CARBON BLACK  ; PREPARATION OF INORGANIC MATERIALS WHICH ARE NO SINGLE CHEMICAL COMPOUNDS AND WHICH ARE MAINLY USED AS PIGMENTS OR FILLERS
    • C09C1/00Treatment of specific inorganic materials other than fibrous fillers; Preparation of carbon black
    • C09C1/66Copper alloys, e.g. bronze
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09DCOATING COMPOSITIONS, e.g. PAINTS, VARNISHES OR LACQUERS; FILLING PASTES; CHEMICAL PAINT OR INK REMOVERS; INKS; CORRECTING FLUIDS; WOODSTAINS; PASTES OR SOLIDS FOR COLOURING OR PRINTING; USE OF MATERIALS THEREFOR
    • C09D11/00Inks
    • C09D11/02Printing inks
    • C09D11/023Emulsion inks
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09DCOATING COMPOSITIONS, e.g. PAINTS, VARNISHES OR LACQUERS; FILLING PASTES; CHEMICAL PAINT OR INK REMOVERS; INKS; CORRECTING FLUIDS; WOODSTAINS; PASTES OR SOLIDS FOR COLOURING OR PRINTING; USE OF MATERIALS THEREFOR
    • C09D11/00Inks
    • C09D11/02Printing inks
    • C09D11/03Printing inks characterised by features other than the chemical nature of the binder
    • C09D11/033Printing inks characterised by features other than the chemical nature of the binder characterised by the solvent
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09DCOATING COMPOSITIONS, e.g. PAINTS, VARNISHES OR LACQUERS; FILLING PASTES; CHEMICAL PAINT OR INK REMOVERS; INKS; CORRECTING FLUIDS; WOODSTAINS; PASTES OR SOLIDS FOR COLOURING OR PRINTING; USE OF MATERIALS THEREFOR
    • C09D11/00Inks
    • C09D11/02Printing inks
    • C09D11/08Printing inks based on natural resins
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09DCOATING COMPOSITIONS, e.g. PAINTS, VARNISHES OR LACQUERS; FILLING PASTES; CHEMICAL PAINT OR INK REMOVERS; INKS; CORRECTING FLUIDS; WOODSTAINS; PASTES OR SOLIDS FOR COLOURING OR PRINTING; USE OF MATERIALS THEREFOR
    • C09D11/00Inks
    • C09D11/52Electrically conductive inks
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09DCOATING COMPOSITIONS, e.g. PAINTS, VARNISHES OR LACQUERS; FILLING PASTES; CHEMICAL PAINT OR INK REMOVERS; INKS; CORRECTING FLUIDS; WOODSTAINS; PASTES OR SOLIDS FOR COLOURING OR PRINTING; USE OF MATERIALS THEREFOR
    • C09D17/00Pigment pastes, e.g. for mixing in paints
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01BCABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
    • H01B1/00Conductors or conductive bodies characterised by the conductive materials; Selection of materials as conductors
    • H01B1/20Conductive material dispersed in non-conductive organic material
    • H01B1/22Conductive material dispersed in non-conductive organic material the conductive material comprising metals or alloys
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01BCABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
    • H01B13/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing conductors or cables

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Wood Science & Technology (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Conductive Materials (AREA)
  • Pigments, Carbon Blacks, Or Wood Stains (AREA)
  • Inks, Pencil-Leads, Or Crayons (AREA)
  • Manufacturing Of Electric Cables (AREA)

Abstract

【課題】焼成して導電膜を形成するための銅インクにおいて、スクリーン印刷によって基材に印刷可能とするとともに、形成される導電膜の電気抵抗を低くする。【解決手段】ギ酸雰囲気下での焼成用の銅インクであって、銅微粒子と、その銅微粒子を含有する分散媒と、その銅微粒子を分散媒中で分散させる分散剤とを含有する。銅微粒子は、メジアン径が10nm以上100nm以下のものを含む。分散媒は、ヒドロキシ基を有する有機溶剤を含む。分散剤は、高分子化合物である。【選択図】図1

Description

本発明は、スクリーン印刷に適した銅インク、及びそれを用いた導電膜形成方法に関する。
従来から、導電性ペーストをスクリーン印刷によって基板に印刷し、印刷された導電性ペーストに光を照射して焼成することにより、基板上に導電膜を形成する方法が知られている(例えば、特許文献1、2参照)。その導電性ペーストは、溶剤中に銅微粒子、銅粗粒子、バインダー樹脂を含む。銅微粒子は、アゾール化合物で被覆される。バインダー樹脂は、基板に対する密着性を向上させるために添加される(特許文献1の段落0017、特許文献2の段落0019参照)。バインダー樹脂がポリビニルピロリドン樹脂である場合、その量は、銅微粒子と銅粗粒子の総量に対して3〜9質量%、バインダー樹脂がポリビニルブチラール樹脂である場合、その量は、銅微粒子と銅粗粒子の総量に対して3〜6質量%である(特許文献1の段落0007、特許文献2の段落0020参照)。
しかしながら、導電性ペーストに添加されるバインダー樹脂は、形成される導電膜の電気抵抗を高くするという問題がある。
特開2015−133317号公報 特開2016−131078号公報
本発明は、上記問題を解決するものであり、焼成して導電膜を形成するための銅インクにおいて、スクリーン印刷によって基材に印刷可能とするとともに、形成される導電膜の電気抵抗を低くすることを目的とする。
本発明の銅インクは、ギ酸雰囲気下での焼成用のインクであって、銅微粒子と、前記銅微粒子を含有する分散媒と、前記銅微粒子を前記分散媒中で分散させる分散剤とを含有し、前記銅微粒子は、メジアン径が10nm以上100nm以下のものを含み、前記分散媒は、ヒドロキシ基を有する有機溶剤を含み、前記分散剤は、高分子化合物であることを特徴とする。
この銅インクにおいて、前記分散剤は、ポリエステルであることが好ましい。
この銅インクにおいて、前記分散剤は、塩基性基を有する高分子化合物である。
この銅インクにおいて、前記分散剤は、アルキルアンモニウム塩、又は塩基性基を有するブロック共重合物であることが好ましい。
この銅インクにおいて、バインダー樹脂が添加されないことが好ましい。
この銅インクにおいて、バインダー樹脂が添加され、前記バインダー樹脂は、前記有機溶剤に溶ける樹脂であり、銅インク全体に対して0.1重量%以上1重量%未満であってもよい。
この銅インクにおいて、前記バインダー樹脂は、エチルセルロースの熱可塑性セルロースエーテルであることが好ましい。
本発明の導電膜形成方法は、基材上に導電膜のパターンを形成する導電膜形成方法であって、上記の銅インクを用いてスクリーン印刷によって銅インク膜のパターンを基材上に形成する工程と、前記基材上の前記銅インク膜をギ酸雰囲気下で焼成してその基材上に導電膜を形成する工程とを有することを特徴とする。
本発明の銅インクによれば、銅微粒子と有機溶剤との間の水素結合によって、スクリーン印刷に必要なレオロジー特性が得られるので、スクリーン印刷によって基材に印刷可能となる。また、ギ酸雰囲気下での焼成時、ギ酸によって分散剤の分解が促進されるので、形成される導電膜の電気抵抗が低くなる。分散剤が塩基性基を有する高分子化合物である場合、分散剤の塩基性基がギ酸と反応するため、分散剤の分解がいっそう促進され、形成される導電膜の電気抵抗が低くなる。
(a)(b)は本発明の一実施形態に係る銅インクを用いた導電膜の形成を時系列順に示す断面構成図。
本発明の一実施形態に係る銅インクを説明する。銅インクは、ギ酸雰囲気下での焼成用であって、銅微粒子と、その銅微粒子を含有する分散媒と、分散剤とを含有する。分散剤は、銅微粒子を分散媒中で分散させる。銅微粒子は、銅の粒子であり、メジアン径(d50)が10nm以上100nm以下のものを含む。分散媒は、ヒドロキシ基を有する有機溶剤を含む。分散剤は、高分子化合物である。
この銅インクは、スクリーン印刷に適したインクであり、導電性粒子として銅微粒子を含有し、焼成によって導電性を発現する導電性インクである。
銅微粒子として、単一のメジアン径を持つ微粒子を用いても、2種類以上のメジアン径を持つ微粒子を混合して用いてもよい。銅微粒子の濃度は、導電膜を形成するのに十分な銅微粒子量が得られる値とされる。粒径が小さい銅微粒子(小粒子)と粒径が大きい銅微粒子(大粒子)を混合して用いる場合、小粒子の粒径範囲(メジアン径の範囲)は、10nm以上100nm以下、大粒子の粒径範囲は0.5μm以上5μm以下であることが望ましい。大粒子の粒子形状は、球形でもフレーク状でもよい。銅インクの焼成において、小粒子が比較的低温で焼結し、大粒子間をつなぐことにより焼成が進むので、大粒子は、形成される導電膜の電気抵抗に大きくは寄与しない。導電膜の膜厚が10μm以下の薄い場合、大粒子は不要である。大粒子は、導電膜の膜厚が厚い場合に、嵩上げ及び、ギ酸を被膜内部まで浸透させるために必要である。大粒子の粒径が0.5μm未満であると、ギ酸が被膜の内部まで浸透するための空隙が得られない。大粒子の粒径が5μmを超えると、銅インクの分散性が低下し、スクリーン印刷性も低下する。
本実施形態では、分散媒は、ヒドロキシ基を有する有機溶剤を含む。ヒドロキシ基は銅微粒子表面と水素結合を形成するためなじみがよく、そのためヒドロキシ基を有する有機溶剤は、銅微粒子の分散性に優れる。同様の理由で、分散媒の有機溶剤は、ヒドロキシ基の誘導体を有してもよい。ヒドロキシ基の誘導体は、例えばアセチル基である。
高分子とは、分子量が大きい分子で、分子量が小さい分子から実質的または概念的に得られる単位の多数回の繰り返しで構成した構造を有する(国際純正・応用化学連合(IUPAC))。分散剤の高分子化合物は、重量平均分子量が1000以上の有機化合物であることが望ましい。
分散剤の高分子化合物は、例えば、ポリエステルである。
分散剤は、塩基性基を有する高分子化合物であってもよい。そのような分散剤は、例えば、アルキルアンモニウム塩、又は塩基性基を有するブロック共重合物である。
従来のスクリーン印刷用の導電性ペーストや導電性インクは、バインダー樹脂が添加される。バインダー樹脂は、導電性ペースト等のレオロジー特性(粘弾性)をスクリーン印刷に適するように調整するために必要とされる。これに対して、本発明の銅インクは、バインダー樹脂を添加しなくてよい。本実施形態では、銅インクは、バインダー樹脂が添加されない。
上記のように配合された銅インクにおいて、銅微粒子は、分散剤分子で表面が覆われるので、分散媒中で分散される。
銅微粒子は、大気中に含まれる酸素によって最表面が酸化されるため、酸化銅から成る薄い表面酸化皮膜が形成される。一方、分散媒は、ヒドロキシ基を有する有機溶剤を含む。このため、銅インク中において、表面酸化被膜の酸化銅の酸素原子と、有機溶剤のヒドロキシ基の水素原子との間に水素結合が生じる。銅微粒子の粒径が小さいと、各銅微粒子における水素結合の影響が大きくなる。銅微粒子のメジアン径が10nm以上100nm以下のときに適度な水素結合が生じる。このような銅微粒子を含む銅インクをスクリーン印刷に用いた場合、銅微粒子と有機溶剤との間の水素結合により、スクリーン印刷に必要なレオロジー特性が得られる。このため、本発明の銅インクは、バインダー樹脂を添加しなくてよい。本実施形態では、銅インクは、バインダー樹脂が添加されない。
なお、本実施形態の変形例として、銅インクに微量のバインダー樹脂を添加してもよい。そのバインダー樹脂は、分散媒の有機溶剤に溶ける樹脂であり、銅インク全体に対して0.1重量%以上1重量%未満である。バインダー樹脂は、例えば、エチルセルロースの熱可塑性セルロースエーテルである。銅インクに微量のバインダー樹脂を添加することにより、銅インクを基材上に印刷する際に銅インクが流れにくくなり、バインダー樹脂を添加しない場合と比べて、銅インクの細い線を引けるようになる。バインダー樹脂の量を銅インク全体に対して0.1重量%未満とすることは可能であるが、バインダー樹脂を添加しない場合と比べて印刷時の効果があまり見られない。バインダー樹脂の量を1重量%以上にすることは不要であり、形成される導電膜の電気抵抗が高くなる。
この銅インクを用いた導電膜形成方法を図1(a)(b)を参照して説明する。この導電膜形成方法は、銅インクを用いて基材上に導電膜のパターンを形成する方法である。図1(a)に示すように、銅インクを用いてスクリーン印刷によって、銅インク膜1のパターンが基材2上に形成される。次に、その基材2上の銅インク膜1がギ酸雰囲気下で焼成される。焼成において、銅インク膜1中の分散媒が乾燥し、銅インク膜1中の銅微粒子11が焼結し、図1(b)に示すように、導電膜3が形成される。
すなわち、この導電膜形成方法は、銅インクを用いてスクリーン印刷によって銅インク膜1のパターンを基材2上に形成する工程と、その基材2上の銅インク膜1をギ酸雰囲気下で焼成してその基材2上に導電膜3を形成する工程とを有する。
基材2は、絶縁物を成形したものであり、スクリーン印刷可能な表面を有し、例えば、フレキシブル基板又はリジッド基板である。
ギ酸雰囲気下での銅インク膜1の焼成は、熱焼成であり、ギ酸リフロー装置を用いて行われる。ギ酸リフロー装置は、一般的には、ギ酸還元を利用したはんだリフローを行う装置である。本実施形態では、はんだリフローを行う装置をギ酸雰囲気下での銅インク膜1の焼成に用いる。
銅インク中に粒径が小さい銅微粒子11を含むため、焼成に要する温度は低く、時間は短い。
前述したように、銅インクは、粒径が小さい銅微粒子11を含むので、その銅微粒子11と有機溶剤との間の水素結合によって、スクリーン印刷に必要なレオロジー特性が得られ、バインダー樹脂を添加しなくてよい。銅インクにバインダー樹脂が含まれないか、含まれていても微量であるので、形成される導電膜3の電気抵抗が低くなる。
また、粒径が小さい銅微粒子11によって、銅微粒子11間の隙間が小さくなり、形成される導電膜3の電気抵抗がいっそう低くなる。
形成される導電膜3の体積抵抗率は、4〜5μΩ・cm程度まで低減でき、スクリーン印刷を用いて形成された従来の導電膜の抵抗率の1/10程度であり、バルク銅の抵抗率1.7μΩ・cm、めっき銅の抵抗率約2μΩ・cmにかなり近い。粒径が小さい銅微粒子11を用い、添加するバインダー樹脂の量を減らしただけでは、銅インクの焼成によって形成される導電膜3の電気抵抗は、ここまで低くならない。本願の発明者は、数多くの実験を行って、このような電気抵抗の低い導電膜3を形成する銅インク及び導電膜形成方法を開発した。
従来の導電性ペーストや導電性インクでは、分散剤が焼成時に分解されずにかなり残ることにより、形成された導電膜の電気抵抗が高くなる。本発明の銅インクは、ギ酸雰囲気下での焼成用であり、分散剤が高分子化合物であるので、ギ酸雰囲気下での焼成時、ギ酸によって分散剤の分解が促進され、形成される導電膜3の電気抵抗が低くなる。分散剤が塩基性基を有する高分子化合物である場合、分散剤の塩基性基がギ酸と反応するため、分散剤の分解がいっそう促進され、形成される導電膜3の電気抵抗が低くなる。
この導電膜形成方法で作製する導電回路を図1(b)を参照して説明する。導電回路4は、基材2と、導電膜3のパターンとを有する。その導電膜3のパターンは、上述した導電膜形成方法によって基材2上に形成される。本発明の銅インクとスクリーン印刷を用いることにより、基材2上に膜厚10μm〜40μm程度の厚い導電膜3を形成することができ、導電膜3の電気抵抗を低くすることができる。
本発明の実施例としての銅インク、及び比較のための銅インクを作り、その銅インクを用いて導電膜の形成を試みた。銅インクは以下の方法で作った。所定の濃度に測りとった分散媒と分散剤に、銅微粒子を徐々に添加しながら自転公転ミキサーにより攪拌した後、ディスパーやミルなどの分散機にて混合安定化した。基材には、0.5mm厚の無アルカリガラス(コーニング社製、商品名「Eagle XG」)を切り出した板を用いた。そして、作った銅インクを基材にスクリーン印刷し、印刷した銅インク膜を焼成した。銅インク、焼成温度及び焼成時間等の条件を変えて、導電膜形成の可否、導電膜の膜厚及び体積抵抗率を評価した。
先ず、銅インクを作った。銅微粒子として、メジアン径40〜50nmの小粒子と、メジアン径0.5μmの球状粒子とを重量比7:3で混合して用いた(実施例2〜13及び比較例において同じ)。銅微粒子の濃度は、銅インク全体に対して(以下、重量%において同様)85重量%とした。分散媒としてヒドロキシ基を有する有機溶剤(日本テルペン化学社製、商品名「テルソルブMTPH」)及びヒドロキシ基及びアセチル基を有する有機溶剤(日本テルペン化学社製、商品名「テルソルブTHA−90」)を混合して用いた(重量比1:1)。分散剤としてポリエステル(ビックケミー社製、商品名「DISPERBYK(登録商標)−2152」)を用い、その濃度を3重量%とした。銅インクにバインダー樹脂を添加しなかった。次に、この銅インクを用いてスクリーン印刷によって基材上に銅インク膜を形成した。そして、その銅インク膜をギ酸リフロー装置で焼成した。焼成温度は300℃、焼成時間は10分とした。焼成後、導電膜が形成された。導電膜の膜厚は16μm、体積抵抗率は5μΩ・cmであった。
銅インク、焼成温度及び焼成時間を実施例1と同じにし、実施例1より厚い導電膜を形成した。導電膜の膜厚は21μm、体積抵抗率は5μΩ・cmであった。
銅インク、焼成温度及び焼成時間を実施例2と同じにし、実施例2より厚い導電膜を形成した。導電膜の膜厚は38μm、体積抵抗率は5μΩ・cmであった。
分散剤としてアルキルアンモニウム塩(ビックケミー社製、商品名「DISPERBYK(登録商標)−9076」)を用い、その濃度を3重量%とした。銅インクにおける分散剤以外の成分、焼成温度及び焼成時間は実施例3と同じにした。焼成後、導電膜が形成された。導電膜の膜厚は39μm、体積抵抗率は10μΩ・cmであった。
分散剤として塩基性基を有するブロック共重合物(ビックケミー社製、商品名「DISPERBYK(登録商標)−2013」)を用い、その濃度を3重量%とした。銅インクにおける分散剤以外の成分、焼成温度及び焼成時間は実施例4と同じにした。焼成後、導電膜が形成された。導電膜の膜厚は7μm、体積抵抗率は6μΩ・cmであった。
分散剤として塩基性基を有するブロック共重合物(ビックケミー社製、商品名「DISPERBYK(登録商標)−2155」)を用い、その濃度を3重量%とした。銅インクにおける分散剤以外の成分は実施例1と同じにした。焼成温度は実施例5より低い250℃、焼成時間は実施例5より長い30分とした。焼成後、導電膜が形成された。導電膜の膜厚は32μm、体積抵抗率は10μΩ・cmであった。
印刷する銅インク膜を厚くすると、その焼成が難しくなるので、形成される導電膜の体積抵抗率が大きくなることがある。しかし、導電膜の膜厚が増大するので、導電膜の電気抵抗は低くなる。
銅インク及び焼成温度は実施例6と同じにし、焼成時間を実施例6より長い60分とした。導電膜の膜厚は28μm、体積抵抗率は10μΩ・cmであった。
銅インクを実施例6と同じにし、焼成温度及び焼成時間を実施例5と同じにした。導電膜の膜厚は41μm、体積抵抗率は8μΩ・cmであった。
銅インク、焼成温度及び焼成時間を実施例8と同じにし、実施例8より若干薄い導電膜を形成した。導電膜の膜厚は30μm、体積抵抗率は7μΩ・cmであった。
銅インク、焼成時間を実施例9と同じにし、焼成温度を実施例9より高い350℃とし、実施例9より薄い導電膜を形成した。導電膜の膜厚は3μm、体積抵抗率は実施例9より低い3μΩ・cmであった。
銅インク、焼成温度及び焼成時間を実施例10と同じにし、実施例10より厚い導電膜を形成した。導電膜の膜厚は27μm、体積抵抗率は実施例10より高い5μΩ・cmであった。
銅インク、焼成時間を実施例11と同じにし、焼成温度を実施例11より低い300℃とした。導電膜の膜厚は28μm、体積抵抗率は実施例11より高い7μΩ・cmであった。
銅インク、焼成時間を実施例12と同じにし、焼成温度を実施例12より高い350℃とした。導電膜の膜厚は32μm、体積抵抗率は実施例12より低い5μΩ・cmであった。
銅インクの銅微粒子として、メジアン径40〜50nmの小粒子と、メジアン径2〜3μmのフレーク状粒子とを重量比7:3で混合して用いた(実施例14〜31において同じ)。それ以外の銅インクの成分は、実施例13と同じにした。焼成温度を実施例13より低い300℃とし、焼成時間を実施例13と同じ10分とした。焼成後、導電膜が形成された。導電膜の膜厚は実施例13と同じ32μm、体積抵抗率は実施例13より高い8μΩ・cmであった。
銅インク、焼成時間を実施例14と同じにし、焼成温度を実施例14より高い350℃とし、実施例14より薄い導電膜を形成した。導電膜の膜厚は10μm、体積抵抗率は5μΩ・cmであった。
銅インク、焼成温度及び焼成時間を実施例15と同じにし、実施例15より厚い導電膜を形成した。導電膜の膜厚は36μm、体積抵抗率は6μΩ・cmであった。
銅インク、焼成温度及び焼成時間を実施例16と同じにした。導電膜の膜厚は35μm、体積抵抗率は7μΩ・cmであった。体積抵抗率は、実施例16と比較して、ばらつきの範囲と推定される。
バインダー樹脂を銅インクに添加した。それ以外の銅インクの成分は実施例14〜17と同じにした。具体的には、バインダー樹脂としてエチルセルロースの熱可塑性セルロースエーテル(ダウケミカル社製、商品名「エトセルSTD4」)を銅インクに0.09重量%添加した。焼成温度は300℃、焼成時間は10分とした。焼成後、導電膜が形成された。導電膜の膜厚は32μm、体積抵抗率は8μΩ・cmであった。
銅インク(バインダー樹脂添加)、焼成時間を実施例18と同じにした。焼成温度は350℃とした。導電膜の膜厚は10μm、体積抵抗率は5μΩ・cmであった。
銅インク(バインダー樹脂添加)、焼成温度及び焼成時間を実施例19と同じにし、実施例19より厚い導電膜を形成した。導電膜の膜厚は36μm、体積抵抗率は6μΩ・cmであった。
銅インク(バインダー樹脂添加)、焼成温度及び焼成時間を実施例20と同じにした。導電膜の膜厚は35μm、体積抵抗率は7μΩ・cmであった。体積抵抗率は、実施例20と比較して、ばらつきの範囲と推定される。
実施例21より多くのバインダー樹脂を銅インクに添加した。それ以外の銅インクの成分は実施例21と同じにした。具体的には、エチルセルロースの熱可塑性セルロースエーテルを銅インクに0.21重量%添加した。焼成温度及び焼成時間は実施例21と同じにした。導電膜の膜厚は37μm、体積抵抗率は7μΩ・cmであった。
銅インク(バインダー樹脂添加)、焼成温度及び焼成時間を実施例22と同じにした。導電膜の膜厚は36μm、体積抵抗率は7μΩ・cmであった。
実施例23より多くのバインダー樹脂を銅インクに添加した。それ以外の銅インクの成分は実施例23と同じにした。具体的には、エチルセルロースの熱可塑性セルロースエーテルを銅インクに0.30重量%添加した。焼成温度は250℃、焼成時間は10分とした。導電膜の膜厚は6μm、体積抵抗率は6μΩ・cmであった。
銅インク(バインダー樹脂添加)、焼成温度及び焼成時間を実施例24と同じにし、実施例24より厚い導電膜を形成した。導電膜の膜厚は41μm、体積抵抗率は実施例24より高い9μΩ・cmであった。
銅インク(バインダー樹脂添加)を実施例24と同じにし、焼成温度を350℃、焼成時間を10分とした。導電膜の膜厚は4μm、体積抵抗率は4μΩ・cmであった。
銅インク(バインダー樹脂添加)、焼成温度及び焼成時間を実施例26と同じにし、実施例26より厚い導電膜を形成した。導電膜の膜厚は35μm、体積抵抗率は実施例26より高い6μΩ・cmであった。
実施例27より多くのバインダー樹脂を銅インクに添加した。それ以外の銅インクの成分は実施例27と同じにした。具体的には、エチルセルロースの熱可塑性セルロースエーテルを銅インクに0.43重量%添加した。焼成温度及び焼成時間は実施例27と同じにした。導電膜の膜厚は38μm、体積抵抗率は実施例27より高い8μΩ・cmであった。
銅微粒子を銅インク全体に対して80重量%とした。実施例28より多くのバインダー樹脂を銅インクに添加した。それ以外の銅インクの成分は実施例28と同じにした。具体的には、エチルセルロースの熱可塑性セルロースエーテルを銅インクに0.80重量%添加した。焼成温度は300℃、焼成時間は10分とした。導電膜の膜厚は32μm、体積抵抗率は8μΩ・cmであった。
銅インク(バインダー樹脂添加)を実施例29と同じにし、焼成温度を350℃、焼成時間を10分とした。導電膜の膜厚は6μm、体積抵抗率は6μΩ・cmであった。
銅インク(バインダー樹脂添加)、焼成温度及び焼成時間を実施例30と同じにし、実施例30より厚い導電膜を形成した。導電膜の膜厚は31μm、体積抵抗率は7μΩ・cmであった。
比較例では、分散剤として酸性基を有する化合物を用いた。
(比較例1)
銅微粒子と分散媒は、実施例1と同じにした。分散剤として酸性基を有するコポリマー(ビックケミー社製、商品名「DISPERBYK(登録商標)−102」)を用い、その濃度を3重量%とした。銅インクにバインダー樹脂を添加しなかった。次に、この銅インクを用いてスクリーン印刷によって基材上に銅インク膜を形成した。そして、その銅インク膜をギ酸リフロー装置で焼成した。焼成温度は300℃、焼成時間は10分とした。焼成後、形成された導電膜にクラックがあり、抵抗を測定できなかった。
(比較例2)
分散剤として酸性基を有するポリマー塩(ビックケミー社製、商品名「DISPERBYK(登録商標)−106」)を用い、その濃度を3重量%とした。銅インクにおける分散剤以外の成分、焼成温度及び焼成時間は比較例1と同じにした。焼成後、形成された導電膜にクラックがあり、抵抗を測定できなかった。
(比較例3)
分散剤として酸性基を有するポリマー(ビックケミー社製、商品名「DISPERBYK(登録商標)−111」)を用い、その濃度を3重量%とした。銅インクにおける分散剤以外の成分、焼成温度及び焼成時間は比較例1と同じにした。焼成後、形成された導電膜にクラックがあり、抵抗を測定できなかった。
(比較例4)
分散剤として不飽和ポリカルボン酸ポリマー(ビックケミー社製、商品名「DISPERBYK(登録商標)−P105」)を用い、その濃度を3重量%とした。銅インクにおける分散剤以外の成分、焼成温度及び焼成時間は比較例1と同じにした。焼成後、形成された導電膜にクラックがあり、抵抗を測定できなかった。
(比較例5)
分散剤としてホスホン酸(ドデシルホスホン酸(試薬))を用い、その濃度を3重量%とした。銅インクにおける分散剤以外の成分、焼成温度及び焼成時間は比較例1と同じにした。焼成後、形成された導電膜にクラックがあり、抵抗を測定できなかった。
(比較例6)
分散剤としてオレイン酸(試薬)を用い、その濃度を3重量%とした。銅インクにおける分散剤以外の成分、焼成温度及び焼成時間は比較例1と同じにした。焼成後、形成された導電膜にクラックがあり、抵抗を測定できなかった。
比較例では、分散剤が導電膜の形成を阻害したと考えられる。
なお、本発明は、上記の実施形態の構成に限られず、発明の要旨を変更しない範囲で種々の変形が可能である。例えば、銅インク膜をギ酸雰囲気下で焼成してその基材上に導電膜を形成する工程に、ギ酸リフロー装置以外の焼成装置を用いてもよい。
1 銅インク膜
11 銅微粒子
2 基材
3 導電膜

Claims (6)

  1. ギ酸雰囲気下での焼成用の銅インクであって、
    銅微粒子と、前記銅微粒子を含有する分散媒と、前記銅微粒子を前記分散媒中で分散させる分散剤とを含有し、
    前記銅微粒子は、メジアン径が10nm以上100nm以下のものを含み、
    前記分散媒は、ヒドロキシ基を有する有機溶剤を含み、
    前記分散剤は、塩基性基を有する高分子化合物であることを特徴とする銅インク。
  2. 前記分散剤は、アルキルアンモニウム塩、又は塩基性基を有するブロック共重合物であることを特徴とする請求項に記載の銅インク。
  3. バインダー樹脂が添加されないことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の銅インク。
  4. バインダー樹脂が添加され、
    前記バインダー樹脂は、前記有機溶剤に溶ける樹脂であり、銅インク全体に対して0.1重量%以上1重量%未満であることを特徴とする請求項又は請求項に記載の銅インク。
  5. 前記バインダー樹脂は、エチルセルロースの熱可塑性セルロースエーテルであることを特徴とする請求項に記載の銅インク。
  6. 基材上に導電膜のパターンを形成する導電膜形成方法であって、
    請求項1乃至請求項のいずれか一項に記載の銅インクを用いてスクリーン印刷によって銅インク膜のパターンを基材上に形成する工程と、
    前記基材上の前記銅インク膜をギ酸雰囲気下で焼成してその基材上に導電膜を形成する工程とを有することを特徴とする導電膜形成方法。
JP2020053484A 2020-03-25 2020-03-25 銅インク及び導電膜形成方法 Active JP6901227B1 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020053484A JP6901227B1 (ja) 2020-03-25 2020-03-25 銅インク及び導電膜形成方法
CN202180021070.3A CN115298269A (zh) 2020-03-25 2021-01-14 用于形成导电膜的铜墨和方法
PCT/JP2021/000997 WO2021192523A1 (ja) 2020-03-25 2021-01-14 銅インク及び導電膜形成方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020053484A JP6901227B1 (ja) 2020-03-25 2020-03-25 銅インク及び導電膜形成方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP6901227B1 true JP6901227B1 (ja) 2021-07-14
JP2021152125A JP2021152125A (ja) 2021-09-30

Family

ID=76753065

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2020053484A Active JP6901227B1 (ja) 2020-03-25 2020-03-25 銅インク及び導電膜形成方法

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP6901227B1 (ja)
CN (1) CN115298269A (ja)
WO (1) WO2021192523A1 (ja)

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013175559A (ja) * 2012-02-24 2013-09-05 Hitachi Chemical Co Ltd 接着剤層と配線層よりなる複合層及びそれを形成するための印刷用接着剤層形成インク
KR101935272B1 (ko) * 2013-10-31 2019-01-04 쇼와 덴코 가부시키가이샤 박막 인쇄용 도전성 조성물 및 박막 도전 패턴 형성 방법
CA2959294A1 (en) * 2014-08-28 2016-03-03 Ishihara Sangyo Kaisha, Ltd. Metallic copper particles, and production method therefor
KR102380533B1 (ko) * 2015-03-26 2022-03-30 미쓰이금속광업주식회사 구리분 및 그것을 포함하는 도전성 조성물
JP2017168248A (ja) * 2016-03-15 2017-09-21 石原ケミカル株式会社 銅微粒子分散液、導電膜形成方法および回路基板
JP6544840B1 (ja) * 2018-07-04 2019-07-17 石原ケミカル株式会社 銅ペースト及び導電膜形成方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN115298269A (zh) 2022-11-04
JP2021152125A (ja) 2021-09-30
WO2021192523A1 (ja) 2021-09-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100967371B1 (ko) 구리 미립자 분산액 및 그 제조 방법
JP4212035B2 (ja) 銀粉末を主体とする導体ペースト及びその製造方法
JP2012214898A (ja) 銀コート銅粉及びその製造法、該銀コート銅粉を含有する導電性ペースト、導電性接着剤、導電性膜、及び電気回路
JPWO2006041030A1 (ja) 導電性インク
TW200536636A (en) Highly crystalline silver powder and method for production thereof
KR20060024321A (ko) 도전성 페이스트
JPWO2013161966A1 (ja) 導電性組成物
WO2014054618A1 (ja) 銀ハイブリッド銅粉とその製造法、該銀ハイブリッド銅粉を含有する導電性ペースト、導電性接着剤、導電性膜、及び電気回路
JP6277751B2 (ja) 銅粒子分散ペースト、及び導電性基板の製造方法
CN110942842A (zh) 一种导体浆料及导体材料
KR20100066810A (ko) 전도성 은나노입자 조성물 및 잉크와 그 제조방법
JP6901227B1 (ja) 銅インク及び導電膜形成方法
JP2008135416A (ja) 太陽電池の電極形成用組成物及び該電極の形成方法並びに該形成方法により得られた電極を用いた太陽電池
KR102495578B1 (ko) 은 미립자 분산액
JP2012147014A (ja) 太陽電池の電極形成用組成物及び該電極の形成方法並びに該形成方法により得られた電極を用いた太陽電池
CN112951477A (zh) 用于白色氧化铝多层陶瓷基板印刷的钨浆料及其制备方法
JP2010059410A (ja) 導電性インキ
JP2008235846A (ja) 太陽電池の電極形成用組成物及び該電極の形成方法並びに該形成方法により得られた電極を用いた太陽電池
CN1797614A (zh) 用于制做碳阻元件的碳油及其制备方法以及由其制做的碳阻元件
TW201510015A (zh) 導電性膏及附導電膜之基材
JP4653971B2 (ja) 内部電極用ニッケル含有ペースト
JP2020009554A (ja) 銅ペースト及び導電膜形成方法
JP4384428B2 (ja) 低温焼成用導体ペースト及びその製造方法
KR100856681B1 (ko) 전극용 감광성 도전 페이스트
US11227702B2 (en) Fine silver particle dispersion

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20210114

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20210317

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20210330

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20210616

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20210616

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6901227

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150