JP6898464B2 - ベアリングデバイス、磁気重力補償器、振動絶縁システム、リソグラフィ装置 - Google Patents
ベアリングデバイス、磁気重力補償器、振動絶縁システム、リソグラフィ装置 Download PDFInfo
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Description
本出願は、2017年3月16日に出願された欧州出願第17161329.2号、2017年5月23日に出願された欧州出願第17172365.3号、2017年9月11日に出願された欧州出願第17190344.6号、2017年11月9日に出願された欧州出願第17200742.9号の優先権を主張し、それらの全体が本明細書に援用される。
前記第1部分と前記第2部分のうち一方に搭載され、永久磁石の少なくとも第1コラムを備え、前記第1コラムは前記鉛直方向に延び、前記永久磁石は極性方向を第1水平方向または前記第1水平方向とは反対の第2水平方向に有し、鉛直に隣接する永久磁石は反対の極性方向を有する第1永久磁石アセンブリと、
前記第1部分と前記第2部分のうち他方に搭載され、永久磁石の少なくとも1つの他のコラムを備え、前記少なくとも1つの他のコラムは前記鉛直方向に延び、前記少なくとも1つの他のコラムの鉛直に隣接する永久磁石は反対の極性方向を前記第1水平方向または前記第2水平方向に有する第2永久磁石アセンブリと、を備え、
前記第1永久磁石アセンブリは、前記第2永久磁石アセンブリを少なくとも部分的に包囲するベアリングデバイスが提供される。
前記第1部分と前記第2部分のうち他方に搭載され、永久磁石の少なくとも1つの他のコラムを備え、前記少なくとも1つの他のコラムは前記鉛直方向に延び、前記少なくとも1つの他のコラムの鉛直に隣接する永久磁石は反対の極性方向を前記第1水平方向または前記第2水平方向に有する第2永久磁石アセンブリと、を備え、
前記第1永久磁石アセンブリは、前記第2永久磁石アセンブリを少なくとも部分的に包囲する磁気重力補償器が提供される。
前記第1部分と前記第2部分のうち一方に搭載され、永久磁石の少なくとも第1コラムを備え、前記第1コラムは前記鉛直方向に延び、前記永久磁石は極性方向を第1水平方向または前記第1水平方向とは反対の第2水平方向に有し、鉛直に隣接する永久磁石は反対の極性方向を有する第1永久磁石アセンブリと、
前記第1部分と前記第2部分のうち他方に搭載され、永久磁石の少なくとも1つの他のコラムを備え、前記少なくとも1つの他のコラムは前記鉛直方向に延び、前記少なくとも1つの他のコラムの鉛直に隣接する永久磁石は反対の極性方向を前記第1水平方向または前記第2水平方向に有する第2永久磁石アセンブリと、を備え、
前記第1永久磁石アセンブリは、前記第2永久磁石アセンブリを少なくとも部分的に包囲する振動絶縁システムが提供される。
パターン付けられた放射ビームを形成すべく放射ビームの断面にパターンを付与することのできるパターニングデバイスを支持するように構築される支持部と、
基板を保持するように構築される基板テーブルと、
前記パターン付けられた放射ビームを前記基板の目標部分に投影するように構成される投影システムと、を備え、
前記リソグラフィ装置は、前記リソグラフィ装置の第1部分を前記リソグラフィ装置の第2部分に対して鉛直方向に支持するように設けられるベアリングデバイスを備え、
前記ベアリングデバイスは、磁気重力補償器を備え、前記磁気重力補償器は、
前記第1部分と前記第2部分のうち一方に搭載され、永久磁石の少なくとも第1コラムを備え、前記第1コラムは前記鉛直方向に延び、前記永久磁石は極性方向を第1水平方向または前記第1水平方向とは反対の第2水平方向に有し、鉛直に隣接する永久磁石は反対の極性方向を有する第1永久磁石アセンブリと、
前記第1部分と前記第2部分のうち他方に搭載され、永久磁石の少なくとも1つの他のコラムを備え、前記少なくとも1つの他のコラムは前記鉛直方向に延び、前記少なくとも1つの他のコラムの鉛直に隣接する永久磁石は反対の極性方向を前記第1水平方向または前記第2水平方向に有する第2永久磁石アセンブリと、を備え、
前記第1永久磁石アセンブリは、前記第2永久磁石アセンブリを少なくとも部分的に包囲するリソグラフィ装置が提供される。
前記装置の前記第1部分と前記装置の前記第2部分との相対距離を示す第1測定信号を提供する第1センサと、
前記装置の前記第1部分の加速度を示す第2測定信号を提供する第2センサと、
前記第1測定信号を受信するように設けられる第1サブコントローラと、前記第2測定信号を受信する第2サブコントローラとを備えるコントローラであって、前記第1測定信号と前記第2測定信号に基づいて、前記装置の前記第1部分と前記装置の前記第2部分との間のアクチュエータデバイスを駆動するアクチュエータ信号を提供するように設けられるコントローラと、を備え、
前記第1サブコントローラは、前記ベアリングデバイスに剛性を付加し、それにより共振を許容するように主として設けられ、
前記第2サブコントローラは、この共振を減衰させるように設けられる方法が提供される。
前記第1支持要素と前記第2支持要素のうち一方は、前記質量に接続され、または接続可能であり、前記第1支持要素と前記第2支持要素のうち他方は、前記支持部に接続され、または接続可能であり、
前記1つ又は複数のらせん要素の各々の横断面は、前記第1支持要素から当該らせん要素の中点に向かって小さくなり、前記中点から前記第2支持要素に向かって大きくなり、前記中点は、前記第2支持要素と前記第1支持要素の中間にあるスプリングが提供される。
1.相対制御すなわちサブコントローラC1を使用して、主として、第3振動絶縁システムVIS−ISに剛性を付加し、必要とされる場合、何らかのローパスフィルタ処理および位置決めの積分器を付加する。この相対制御ループにおいては、閉ループシステムは、厳密に−180度の位相シフトをバンド幅に生成することによって無減衰の共振として動作すべきである。
2.このとき発生する共振を、加速度センサSENAと第2サブコントローラC2に基づく加速度フィードバックループを用いて減衰させる。
下記の番号付けられた節によっても実施の形態が与えられる。
1.装置の第1部分を前記装置の第2部分に対して鉛直方向に支持するように設けられるベアリングデバイスであって、磁気重力補償器を備え、前記磁気重力補償器は、
前記第1部分と前記第2部分のうち一方に搭載され、永久磁石の少なくとも第1コラムを備え、前記第1コラムは前記鉛直方向に延び、前記永久磁石は極性方向を第1水平方向または前記第1水平方向とは反対の第2水平方向に有し、鉛直に隣接する永久磁石は反対の極性方向を有する第1永久磁石アセンブリと、
前記第1部分と前記第2部分のうち他方に搭載され、永久磁石の少なくとも1つの他のコラムを備え、前記少なくとも1つの他のコラムは前記鉛直方向に延び、前記少なくとも1つの他のコラムの鉛直に隣接する永久磁石は反対の極性方向を前記第1水平方向または前記第2水平方向に有する第2永久磁石アセンブリと、を備え、
前記第1永久磁石アセンブリは、前記第2永久磁石アセンブリを少なくとも部分的に包囲するベアリングデバイス。
2.前記第1永久磁石アセンブリは、永久磁石の前記第1コラムと永久磁石の第2コラムとを備え、前記第2コラムは永久磁石の前記第1コラムに沿って前記鉛直方向に延び、前記第2コラムの永久磁石は極性方向を前記第1水平方向または前記第2水平方向に有し、
前記第2コラムの鉛直に隣接する永久磁石は反対の極性方向を有し、前記第1コラムと前記第2コラムで同じ高さに設けられる永久磁石は同じ極性方向を有し、
永久磁石の前記少なくとも1つの他のコラムは、永久磁石の第3コラムを備え、前記第3コラムは前記鉛直方向に延び、前記第3コラムは、少なくとも部分的に、前記第1コラムと前記第2コラムの間に設けられ、前記第3コラムの鉛直に隣接する永久磁石は反対の極性方向を前記第1水平方向または前記第2水平方向に有する項1に記載のベアリングデバイス。
3.前記第1コラム、前記第2コラム、および前記第3コラムの永久磁石は、前記第1水平方向および前記第2水平方向に垂直な第3水平方向に延びる永久磁石棒である項2に記載のベアリングデバイス。
4.前記少なくとも第1コラムと前記少なくとも1つの他のコラムの鉛直に隣接する永久磁石間のピッチは、各コラムについて等しく、前記少なくとも1つの他のコラムは、前記第1コラムと第2コラムに対して前記ピッチの半分に相当しまたはこれに近い距離だけずれた鉛直位置に設けられる項1に記載のベアリングデバイス。
5.前記第1永久磁石アセンブリが前記第1部分に搭載され前記第2永久磁石アセンブリが前記第2部分に搭載される場合、前記第1永久磁石アセンブリの永久磁石と同じ極性方向を有する前記第2永久磁石アセンブリの永久磁石は、鉛直上向きにおよそ半ピッチずれた位置にあり、または、前記第1永久磁石アセンブリが前記第2部分に搭載され前記第2永久磁石アセンブリが前記第1部分に搭載される場合、前記第1永久磁石アセンブリの永久磁石と同じ極性方向を有する前記第2永久磁石アセンブリの永久磁石は、鉛直下向きにおよそ半ピッチずれた位置にある項1に記載のベアリングデバイス。
6.前記ベアリングデバイスは、前記装置の前記第1部分と前記第2部分の間に追加の鉛直力を提供するアクチュエータデバイスをさらに備える項1に記載のベアリングデバイス。
7.前記アクチュエータデバイスは、前記第1コラム及び/または前記第2コラムの永久磁石と協働するように設けられる1つ又は複数のコイルを備えるDCアクチュエータを備える項6に記載のベアリングデバイス。
8.前記アクチュエータデバイスは、前記装置の前記第1部分と前記第2部分の間に設けられるローレンツアクチュエータである項6に記載のベアリングデバイス。
9.前記アクチュエータデバイスは、前記装置の前記第1部分と前記第2部分の間に設けられるリラクタンスアクチュエータである項6に記載のベアリングデバイス。
10.前記アクチュエータは、前記第1部分及び/または前記第2部分の運動を減衰させ、及び/または、前記ベアリングデバイスをとくに負剛性を有するとき安定化させ、及び/または、前記ベアリングデバイスによって支持される前記第1部分と前記第2部分のうち前記一方の位置を調整するように構成される項6に記載のベアリングデバイス。
11.前記ベアリングデバイスは、
前記装置の前記第1部分と前記装置の前記第2部分との相対距離を示す第1測定信号を提供する第1センサと、
前記装置の前記第1部分の加速度を示す第2測定信号を提供する第2センサと、
前記第1測定信号と前記第2測定信号に基づいて前記アクチュエータデバイスを駆動するアクチュエータ信号を提供するコントローラと、を備える項6に記載のベアリングデバイス。
12.前記コントローラは、前記第1測定信号を受信するように設けられる第1サブコントローラと、前記第2測定信号を受信する第2サブコントローラとを備え、
前記第1サブコントローラは、前記ベアリングデバイスに剛性を付加し、それにより共振を許容するように主として設けられ、
前記第2サブコントローラは、この共振を減衰させるように設けられる項11に記載のベアリングデバイス。
13.前記ベアリングデバイスは、前記装置の前記第1部分と前記第2部分の間に機械的なスプリングを備える項1に記載のベアリングデバイス。
14.前記ベアリングデバイスは、前記装置の前記第1部分と前記第2部分の間に振動絶縁システムとして構築される項1に記載のベアリングデバイス。
15.前記第1コラムの永久磁石は、環状の形状を有し、前記第1水平方向は前記環状の形状の径方向内向きであり、前記第2水平方向は前記環状の形状の径方向外向きであり、
前記他のコラムの永久磁石は、環状の形状を有し、前記第1水平方向は前記環状の形状の径方向内向きであり、前記第2水平方向は前記環状の形状の径方向外向きであり、
前記第1コラムの永久磁石の内径は、前記第2コラムの永久磁石の外径より大きく、前記第2コラムは、少なくとも部分的に前記第1コラム内に設けられる項1に記載のベアリングデバイス。
16.前記第1コラムと前記他のコラムはそれぞれ、上下に設けられる少なくとも2つの永久磁石を備える項15に記載のベアリングデバイス。
17.第1部分と第2部分のうち一方に搭載され、永久磁石の少なくとも第1コラムを備え、前記第1コラムは鉛直方向に延び、前記永久磁石は極性方向を第1水平方向または前記第1水平方向とは反対の第2水平方向に有し、鉛直に隣接する永久磁石は反対の極性方向を有する第1永久磁石アセンブリと、
前記第1部分と前記第2部分のうち他方に搭載され、永久磁石の少なくとも1つの他のコラムを備え、前記少なくとも1つの他のコラムは前記鉛直方向に延び、前記少なくとも1つの他のコラムの鉛直に隣接する永久磁石は反対の極性方向を前記第1水平方向または前記第2水平方向に有する第2永久磁石アセンブリと、を備え、
前記第1永久磁石アセンブリは、前記第2永久磁石アセンブリを少なくとも部分的に包囲する磁気重力補償器。
18.項1に記載のベアリングデバイスを備える振動絶縁システム。
19.リソグラフィ装置であって、
パターン付けられた放射ビームを形成すべく放射ビームの断面にパターンを付与することのできるパターニングデバイスを支持するように構築される支持部と、
基板を保持するように構築される基板テーブルと、
前記パターン付けられた放射ビームを前記基板の目標部分に投影するように構成される投影システムと、を備え、
前記リソグラフィ装置の第1部分を前記リソグラフィ装置の第2部分に対して鉛直方向に支持するように設けられる項1に記載のベアリングデバイスを備えるリソグラフィ装置。
20.前記ベアリングデバイスは、前記リソグラフィ装置の真空空間に設けられる項19に記載のリソグラフィ装置。
21.装置の第1部分と前記装置の第2部分の間に設けられ、負剛性を有する重力補償器を、制御システムを使用して制御する方法であって、前記制御システムは、
前記装置の前記第1部分と前記装置の前記第2部分との相対距離を示す第1測定信号を提供する第1センサと、
前記装置の前記第1部分の加速度を示す第2測定信号を提供する第2センサと、
前記第1測定信号を受信するように設けられる第1サブコントローラと、前記第2測定信号を受信する第2サブコントローラとを備えるコントローラであって、前記第1測定信号と前記第2測定信号に基づいて、前記装置の前記第1部分と前記装置の前記第2部分との間のアクチュエータデバイスを駆動するアクチュエータ信号を提供するように設けられるコントローラと、を備え、
前記第1サブコントローラは、前記ベアリングデバイスに剛性を付加し、それにより共振を許容するように主として設けられ、
前記第2サブコントローラは、この共振を減衰させるように設けられる方法。
22.質量を支持部に対して支持方向に支持するスプリングであって、第1支持要素、第2支持要素、および前記第1支持要素と前記第2支持要素との間で実質的にらせん状に延びる1つ又は複数のらせん要素を備え、
前記第1支持要素と前記第2支持要素のうち一方は、前記質量に接続され、または接続可能であり、前記第1支持要素と前記第2支持要素のうち他方は、前記支持部に接続され、または接続可能であり、
前記1つ又は複数のらせん要素の各々の横断面は、前記第1支持要素から当該らせん要素の中点に向かって小さくなり、前記中点から前記第2支持要素に向かって大きくなり、前記中点は、前記第2支持要素と前記第1支持要素の中間にあるスプリング。
23.前記らせん要素の前記横断面は、実質的に矩形であり、矩形の横断面のうち長いほうの寸法が前記支持方向に延びている項22に記載のスプリング。
24.前記らせん要素の前記横断面は、前記支持方向に実質的に一定の寸法を有する項22に記載のスプリング。
25.前記支持方向は、鉛直方向である項22に記載のスプリング。
26.前記スプリングは、前記スプリングの長手軸まわりに均等に配置される2またはそれより多いらせん要素を備える項22に記載のスプリング。
27.前記スプリングは、第3支持要素を備え、前記第1支持要素と前記第3支持要素が前記支持部に接続され、前記第2支持要素が前記質量に接続され、
前記第1支持要素は、前記第2支持要素の上方に設けられ、前記第2支持要素は、前記第3支持要素の上方に設けられ、
1つ又は複数のらせん要素は、前記第2支持要素と前記第3支持要素との間で実質的にらせん状に延び、
前記第2支持要素と前記第3支持要素との間で前記1つ又は複数のらせん要素の各々の横断面は、前記第2支持要素から当該らせん要素の中点に向かって小さくなり、前記中点から前記第3支持要素に向かって大きくなり、前記中点は、前記第2支持要素と前記第3支持要素の中間にある項22に記載のスプリング。
Claims (13)
- 装置の第1部分を前記装置の第2部分に対して鉛直方向に支持するように設けられるベアリングデバイスであって、磁気重力補償器を備え、前記磁気重力補償器は、
前記第1部分と前記第2部分のうち一方に搭載され、永久磁石の少なくとも第1コラムを含む永久磁石の複数のコラムを備え、前記第1コラムは前記鉛直方向に延び、前記永久磁石は極性方向を第1水平方向または前記第1水平方向とは反対の第2水平方向に有し、鉛直に隣接する永久磁石は反対の極性方向を有する第1永久磁石アセンブリと、
前記第1部分と前記第2部分のうち他方に搭載され、永久磁石の少なくとも1つの他のコラムを備え、前記少なくとも1つの他のコラムは前記鉛直方向に延び、前記少なくとも1つの他のコラムの鉛直に隣接する永久磁石は反対の極性方向を前記第1水平方向または前記第2水平方向に有する第2永久磁石アセンブリと、を備え、
前記第1永久磁石アセンブリは、前記第2永久磁石アセンブリを少なくとも部分的に包囲し、
前記第1永久磁石アセンブリの永久磁石の前記複数のコラムと前記第2永久磁石アセンブリの永久磁石の前記少なくとも1つの他のコラムは、永久磁石の前記極性方向において交互に配列されているベアリングデバイス。 - 前記第1永久磁石アセンブリは、永久磁石の前記第1コラムと永久磁石の第2コラムとを備え、前記第2コラムは永久磁石の前記第1コラムに沿って前記鉛直方向に延び、前記第2コラムの永久磁石は極性方向を前記第1水平方向または前記第2水平方向に有し、
前記第2コラムの鉛直に隣接する永久磁石は反対の極性方向を有し、前記第1コラムと前記第2コラムで同じ高さに設けられる永久磁石は同じ極性方向を有し、
永久磁石の前記少なくとも1つの他のコラムは、永久磁石の第3コラムを備え、前記第3コラムは前記鉛直方向に延び、前記第3コラムは、少なくとも部分的に、前記第1コラムと前記第2コラムの間に設けられ、前記第3コラムの鉛直に隣接する永久磁石は反対の極性方向を前記第1水平方向または前記第2水平方向に有する請求項1に記載のベアリングデバイス。 - 前記少なくとも第1コラムと前記少なくとも1つの他のコラムの鉛直に隣接する永久磁石間のピッチは、各コラムについて等しく、前記少なくとも1つの他のコラムは、前記第1コラムと前記第2コラムに対して前記ピッチの半分に相当しまたはこれに近い距離だけずれた鉛直位置に設けられる請求項2に記載のベアリングデバイス。
- 装置の第1部分を前記装置の第2部分に対して鉛直方向に支持するように設けられるベアリングデバイスであって、磁気重力補償器を備え、前記磁気重力補償器は、
前記第1部分と前記第2部分のうち一方に搭載され、永久磁石の少なくとも第1コラムを備え、前記第1コラムは前記鉛直方向に延び、前記永久磁石は極性方向を第1水平方向または前記第1水平方向とは反対の第2水平方向に有し、鉛直に隣接する永久磁石は反対の極性方向を有する第1永久磁石アセンブリと、
前記第1部分と前記第2部分のうち他方に搭載され、永久磁石の少なくとも1つの他のコラムを備え、前記少なくとも1つの他のコラムは前記鉛直方向に延び、前記少なくとも1つの他のコラムの鉛直に隣接する永久磁石は反対の極性方向を前記第1水平方向または前記第2水平方向に有する第2永久磁石アセンブリと、を備え、
前記第1永久磁石アセンブリは、前記第2永久磁石アセンブリを少なくとも部分的に包囲し、
前記第1コラムの永久磁石は、環状の形状を有し、前記第1水平方向は前記環状の形状の径方向内向きであり、前記第2水平方向は前記環状の形状の径方向外向きであり、
前記他のコラムの永久磁石は、環状の形状を有し、前記第1水平方向は前記環状の形状の径方向内向きであり、前記第2水平方向は前記環状の形状の径方向外向きであり、
前記第1コラムの永久磁石の内径は、前記他のコラムの永久磁石の外径より大きく、前記他のコラムは、少なくとも部分的に前記第1コラム内に設けられ、
前記磁気重力補償器の永久磁石の前記極性方向は前記第1コラムと前記他のコラムでともに、永久磁石の前記環状の形状に関して径方向内向き、または永久磁石の前記環状の形状に関して径方向外向きのいずれかであるベアリングデバイス。 - 前記ベアリングデバイスは、前記装置の前記第1部分と前記第2部分の間に追加の鉛直力を提供するアクチュエータデバイスをさらに備える請求項1から4のいずれかに記載のベアリングデバイス。
- 前記アクチュエータは、前記第1部分及び/または前記第2部分の運動を減衰させ、及び/または、前記ベアリングデバイスをとくに負剛性を有するとき安定化させ、及び/または、前記ベアリングデバイスによって支持される前記第1部分と前記第2部分のうち前記一方の位置を調整するように構成される請求項5に記載のベアリングデバイス。
- 前記ベアリングデバイスは、
前記装置の前記第1部分と前記装置の前記第2部分との相対距離を示す第1測定信号を提供する第1センサと、
前記装置の前記第1部分の加速度を示す第2測定信号を提供する第2センサと、
前記第1測定信号と前記第2測定信号に基づいて前記アクチュエータデバイスを駆動するアクチュエータ信号を提供するコントローラと、を備える請求項5または6に記載のベアリングデバイス。 - 前記ベアリングデバイスは、前記装置の前記第1部分と前記第2部分の間に振動絶縁システムとして構築される請求項1から7のいずれかに記載のベアリングデバイス。
- 第1部分と第2部分のうち一方に搭載され、永久磁石の少なくとも第1コラムを含む永久磁石の複数のコラムを備え、前記第1コラムは鉛直方向に延び、前記永久磁石は極性方向を第1水平方向または前記第1水平方向とは反対の第2水平方向に有し、鉛直に隣接する永久磁石は反対の極性方向を有する第1永久磁石アセンブリと、
前記第1部分と前記第2部分のうち他方に搭載され、永久磁石の少なくとも1つの他のコラムを備え、前記少なくとも1つの他のコラムは前記鉛直方向に延び、前記少なくとも1つの他のコラムの鉛直に隣接する永久磁石は反対の極性方向を前記第1水平方向または前記第2水平方向に有する第2永久磁石アセンブリと、を備え、
前記第1永久磁石アセンブリは、前記第2永久磁石アセンブリを少なくとも部分的に包囲し、
前記第1永久磁石アセンブリの永久磁石の前記複数のコラムと前記第2永久磁石アセンブリの永久磁石の前記少なくとも1つの他のコラムは、永久磁石の前記極性方向において交互に配列されている磁気重力補償器。 - 第1部分と第2部分のうち一方に搭載され、永久磁石の少なくとも第1コラムを備え、前記第1コラムは鉛直方向に延び、前記永久磁石は極性方向を第1水平方向または前記第1水平方向とは反対の第2水平方向に有し、鉛直に隣接する永久磁石は反対の極性方向を有する第1永久磁石アセンブリと、
前記第1部分と前記第2部分のうち他方に搭載され、永久磁石の少なくとも1つの他のコラムを備え、前記少なくとも1つの他のコラムは前記鉛直方向に延び、前記少なくとも1つの他のコラムの鉛直に隣接する永久磁石は反対の極性方向を前記第1水平方向または前記第2水平方向に有する第2永久磁石アセンブリと、を備え、
前記第1永久磁石アセンブリは、前記第2永久磁石アセンブリを少なくとも部分的に包囲し、
前記第1コラムの永久磁石は、環状の形状を有し、前記第1水平方向は前記環状の形状の径方向内向きであり、前記第2水平方向は前記環状の形状の径方向外向きであり、
前記他のコラムの永久磁石は、環状の形状を有し、前記第1水平方向は前記環状の形状の径方向内向きであり、前記第2水平方向は前記環状の形状の径方向外向きであり、
前記第1コラムの永久磁石の内径は、前記他のコラムの永久磁石の外径より大きく、前記他のコラムは、少なくとも部分的に前記第1コラム内に設けられ、
永久磁石の前記極性方向は前記第1コラムと前記他のコラムでともに、永久磁石の前記環状の形状に関して径方向内向き、または永久磁石の前記環状の形状に関して径方向外向きのいずれかである磁気重力補償器。 - 請求項1から8のいずれかに記載のベアリングデバイスを備える振動絶縁システム。
- リソグラフィ装置であって、
パターン付けられた放射ビームを形成すべく放射ビームの断面にパターンを付与することのできるパターニングデバイスを支持するように構築される支持部と、
基板を保持するように構築される基板テーブルと、
前記パターン付けられた放射ビームを前記基板の目標部分に投影するように構成される投影システムと、を備え、
前記リソグラフィ装置の第1部分を前記リソグラフィ装置の第2部分に対して鉛直方向に支持するように設けられる請求項1から8のいずれかに記載のベアリングデバイスを備えるリソグラフィ装置。 - 前記ベアリングデバイスは、前記リソグラフィ装置の真空空間に設けられる請求項12に記載のリソグラフィ装置。
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