JP6893697B2 - イオン化ツールを有するx線源 - Google Patents
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Description
第1の電子ビームをチャンバ内の相互作用領域の方へ向けることと、ここで、第1の電子ビームの電子は、相互作用領域内のターゲットと相互作用するとX線放射を発生させるための第1のエネルギーを有する、
チャンバ内の粒子をイオン化するための第2のエネルギーの電子を備える第2の電子ビームが、第1の電子ビームとターゲットとの相互作用から発生したデブリと相互作用してチャンバ内の粒子の少なくとも一部をイオン化するように、第1の電子ビームとは独立して、第2の電子ビームを向けることと、
電磁界によってチャンバからイオン化粒子を除去することと、を行うステップを備える。
以下に、出願当初の特許請求の範囲に記載の事項を、そのまま、付記しておく。
[1] 相互作用領域(I)を備えるチャンバ(110)と、
第1のエネルギーの電子を備え、第1の電子ビームがターゲット(120)と相互作用してX線放射(150)を発生させるように、前記相互作用領域に向かって前記第1の電子ビームを放出するように動作可能な第1の電子源(130)と、
前記チャンバ内の粒子をイオン化するための第2のエネルギーの電子を備える第2の電子ビームを放出するべく独立して動作するように適応された第2の電子源(160)と、
電磁界(E)によって前記チャンバから前記イオン化された粒子を除去するように適応されたイオン収集ツール(170)と、
を備え、
前記第2の電子源は、電子エミッタ(162)と、加速電位を発生させるための陽極電極(164)と、デフレクタ(166)とを備える、X線源(1)。
[2] 前記電子エミッタは、ヒータ電流によって加熱されると電子を放出するためのフィラメントを備える、[1]に記載のX線源。
[3] 前記ヒータ電流、前記加速電位、及び前記デフレクタのうちの少なくとも1つを調整するように配置されたコントローラ(190)を更に備える、[2]に記載のX線源。
[4] 前記イオン収集ツールは、イオン化粒子の数の測定値を供給するように配置され、前記コントローラは、前記測定値を増加させる調整を行うように配置される、[3]に記載のX線源。
[5] 前記第1のエネルギーは1keV又はそれより高く、前記第2のエネルギーは1keVよりも低い、[1]に記載のX線源。
[6] 前記イオン収集ツールは、ゲッタ材料を備える、[1]乃至[5]のいずれか一項に記載のX線源。
[7] 前記イオン収集ツールは、前記イオン化された粒子をイオンダンプの方へ向ける前記電磁界を発生させるための導電性要素(172)を備える、[1]乃至[6]のいずれか一項に記載のX線源。
[8] 前記イオン収集ツールは、前記第1の電子ビームに対して横方向に配向された電界を発生させるように適応される、[1]乃至[7]のいずれか一項に記載のX線源。
[9] 前記電磁界は、前記第1の電子源の光軸に対して回転対称に配置される、[1]乃至[7]のいずれか一項に記載のX線源。
[10] ターゲットを形成するように前記相互作用領域を通って伝播するターゲット材料の流れを形成するように適応されたターゲット発生器(140)を更に備える、[1]乃至[9]のいずれか一項に記載のX線源。
[11] 前記ターゲットは、液体金属ジェットから形成される、[10]に記載のX線源。
[12] 前記イオン収集ツールは、前記ターゲット材料を前記ターゲット発生器に再供給するための液体ジェット材料システム(142)に接続される、[11]に記載のX線源。
[13] X線窓(180)を更に備え、前記第2の電子源は、前記第2の電子ビームを前記X線窓の方へ向けるように適応される、[1]に記載のX線源。
[14] X線放射を発生させるための方法であって、
第1のエネルギーの電子を備える第1の電子ビームがターゲットと相互作用してX線放射を発生させるように、前記第1の電子ビームをチャンバ内の相互作用領域の方へ向けること(20)と、
前記チャンバ内の粒子をイオン化するための第2のエネルギーの電子を備える第2の電子ビームが、前記第1の電子ビームと前記ターゲットとの前記相互作用から発生したデブリと相互作用するように、前記第1の電子ビームとは独立して、前記第2の電子ビームを向け(30)、それによって前記チャンバ内の前記粒子の少なくとも一部をイオン化することと、
電磁界によって前記チャンバから前記イオン化された粒子を除去すること(40)と、
を行うステップを備える、方法。
[15] 前記イオン化された粒子を収集すること(50)と、イオン化粒子が収集された割合を測定すること(60)と、前記割合が増加するように前記第2の電子ビームを調整すること(70)とを更に備える、[14]に記載の方法。
[16] 前記ターゲットを形成するように前記チャンバ内の前記相互作用領域を通って伝搬するターゲット材料の流れを形成すること(10)を更に備える、[14]又は[15]に記載の方法。
[17] 前記チャンバから除去された前記粒子を前記ターゲットに再供給すること(80)を更に備える、[14]乃至[16]のいずれか一項に記載の方法。
[18] 収集された前記イオン化された粒子をターゲット材料の前記流れに再供給することを更に備える、[16]に記載の方法。
Claims (17)
- 相互作用領域(I)を備えるチャンバ(110)と、
第1のエネルギーの電子を備え、第1の電子ビームがターゲット(120)と相互作用してX線放射(150)を発生させるように、前記相互作用領域に向かって前記第1の電子ビームを放出するように動作可能な第1の電子源(130)と、
前記チャンバ内の粒子をイオン化するための第2のエネルギーの電子を備える第2の電子ビームを放出するべく独立して動作するように適応された第2の電子源(160)と、
電磁界(E)によって前記チャンバから前記イオン化された粒子を除去するように適応されたイオン収集ツール(170)と、
を備えるX線源(1)であって、
前記第2の電子源は、電子エミッタ(162)と、加速電位を発生させるための陽極電極(164)と、デフレクタ(166)とを備え、
前記第1のエネルギーは1keV又はそれより高く、前記第2のエネルギーは1keVよりも低い、X線源。 - 前記電子エミッタは、ヒータ電流によって加熱されると電子を放出するためのフィラメントを備える、請求項1に記載のX線源。
- 前記ヒータ電流、前記加速電位、及び前記デフレクタのうちの少なくとも1つを調整するように配置されたコントローラ(190)を更に備える、請求項2に記載のX線源。
- 前記イオン収集ツールは、イオン化粒子の数の測定値を供給するように配置され、前記コントローラは、前記測定値を増加させる調整を行うように配置される、請求項3に記載のX線源。
- 前記イオン収集ツールは、ゲッタ材料を備える、請求項1に記載のX線源。
- 前記イオン収集ツールは、前記イオン化された粒子をイオンダンプの方へ向ける前記電磁界を発生させるための導電性要素(172)を備える、請求項1に記載のX線源。
- 前記イオン収集ツールは、前記第1の電子ビームに対して横方向に配向された電界を発生させるように適応される、請求項1に記載のX線源。
- 前記電磁界は、前記第1の電子源の光軸に対して回転対称に配置される、請求項1に記載のX線源。
- ターゲットを形成するように前記相互作用領域を通って伝播するターゲット材料の流れを形成するように適応されたターゲット発生器(140)を更に備える、請求項1に記載のX線源。
- 前記ターゲットは、液体金属ジェットから形成される、請求項9に記載のX線源。
- 前記イオン収集ツールは、前記ターゲット材料を前記ターゲット発生器に再供給するための液体ジェット材料システム(142)に接続される、請求項10に記載のX線源。
- X線窓(180)を更に備え、前記第2の電子源は、前記第2の電子ビームを前記X線窓の方へ向けるように適応される、請求項1に記載のX線源。
- X線放射を発生させるための方法であって、
第1のエネルギーの電子を備える第1の電子ビームがターゲットと相互作用してX線放射を発生させるように、前記第1の電子ビームをチャンバ内の相互作用領域の方へ向けること(20)と、
前記チャンバ内の粒子をイオン化するための第2のエネルギーの電子を備える第2の電子ビームが、前記第1の電子ビームと前記ターゲットとの前記相互作用から発生したデブリと相互作用するように、前記第1の電子ビームとは独立して、デフレクタによって前記第2の電子ビームを向けて(30)、それによって前記チャンバ内の前記粒子の少なくとも一部をイオン化することと、
電磁界によって前記チャンバから前記イオン化された粒子を除去すること(40)と、
を行うステップを備え、
前記第1のエネルギーは1keV又はそれより高く、前記第2のエネルギーは1keVよりも低い、方法。 - 前記イオン化された粒子を収集すること(50)と、イオン化粒子が収集された割合を測定すること(60)と、前記割合が増加するように前記第2の電子ビームを調整すること(70)とを更に備える、請求項13に記載の方法。
- 前記ターゲットを形成するように前記チャンバ内の前記相互作用領域を通って伝搬するターゲット材料の流れを形成すること(10)を更に備える、請求項13又は14に記載の方法。
- 前記チャンバから除去された前記粒子を前記ターゲットに再供給すること(80)を更に備える、請求項13又は14に記載の方法。
- 収集された前記イオン化された粒子を前記ターゲット材料の流れに再供給することを更に備える、請求項15に記載の方法。
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---|---|---|---|---|
US3334228A (en) * | 1964-11-06 | 1967-08-01 | Gen Electric | X-ray spectrometer having an x-ray source with a continuously cleaned x-ray target |
US4205232A (en) * | 1977-08-24 | 1980-05-27 | Gesellschaft Fur Kernenergieverwertung In Schiffbau Und Schiffahrt Mbh | Arrangement for preventing the alteration of the primary beam by unwanted particles, such as sputter products, charged ions and electrons and their secondary processes |
JPH10221499A (ja) * | 1997-02-07 | 1998-08-21 | Hitachi Ltd | レーザプラズマx線源およびそれを用いた半導体露光装置並びに半導体露光方法 |
GB9703024D0 (en) * | 1997-02-14 | 1997-04-02 | Council Cent Lab Res Councils | Charged particle analysis |
GB2337632B (en) * | 1998-05-12 | 2002-05-08 | Applied Materials Inc | Ion beam apparatus and a method for neutralising space charge in an ion beam |
WO2001043157A1 (en) * | 1999-12-13 | 2001-06-14 | Semequip, Inc. | Ion implantation ion source, system and method |
US6711233B2 (en) * | 2000-07-28 | 2004-03-23 | Jettec Ab | Method and apparatus for generating X-ray or EUV radiation |
CA2464712A1 (en) * | 2002-01-31 | 2003-08-07 | The Johns Hopkins University | X-ray source and method for producing selectable x-ray wavelength |
US6760407B2 (en) * | 2002-04-17 | 2004-07-06 | Ge Medical Global Technology Company, Llc | X-ray source and method having cathode with curved emission surface |
AU2003268462A1 (en) * | 2002-09-03 | 2004-03-29 | Parker Medical, Inc. | Multiple grooved x-ray generator |
GB2411763B (en) * | 2004-03-05 | 2009-02-18 | Thermo Electron Corp | Flood gun for charge neutralization |
DE102004015590B4 (de) * | 2004-03-30 | 2008-10-09 | GE Homeland Protection, Inc., Newark | Anodenmodul für eine Flüssigmetallanoden-Röntgenquelle sowie Röntgenstrahler mit einem Anodenmodul |
KR100974119B1 (ko) * | 2006-02-01 | 2010-08-04 | 도시바 덴시칸 디바이스 가부시키가이샤 | X선원 및 형광 x선 분석 장치 |
JP2010500713A (ja) * | 2006-08-10 | 2010-01-07 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | X線管及びx線管のイオン偏向及び収集機構の電圧供給の方法 |
GB2442485B (en) * | 2006-10-03 | 2008-12-10 | Thermo Electron Corp | X-ray photoelectron spectroscopy analysis system for surface analysis and method therefor |
WO2009127995A1 (en) * | 2008-04-17 | 2009-10-22 | Philips Intellectual Property & Standards Gmbh | X-ray tube with passive ion collecting electrode |
US7976218B2 (en) * | 2008-10-16 | 2011-07-12 | General Electric Company | Apparatus for providing shielding in a multispot x-ray source and method of making same |
AU2009316352A1 (en) * | 2008-11-24 | 2010-05-27 | Hologic Inc. | Method and system for controlling x-ray focal spot characteristics for tomosynthesis and mammography imaging |
WO2010083854A1 (en) | 2009-01-26 | 2010-07-29 | Excillum Ab | X-ray window |
US20120207269A1 (en) * | 2009-10-28 | 2012-08-16 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | X-ray generating device with electron scattering element and x-ray system |
WO2011053972A2 (en) * | 2009-11-02 | 2011-05-05 | Xrsciences Llc | Rapidly switching dual energy x-ray source |
US9442213B2 (en) * | 2010-01-19 | 2016-09-13 | Rapiscan Systems, Inc. | Method of electron beam transport in an X-ray scanner |
US20110215720A1 (en) * | 2010-03-03 | 2011-09-08 | Larson Delbert J | Segmented Electron Gun, Beam and Collector System and Method for Electron Cooling of Particle Beams |
EP2365514B1 (en) * | 2010-03-10 | 2015-08-26 | ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH | Twin beam charged particle column and method of operating thereof |
WO2012054471A1 (en) * | 2010-10-18 | 2012-04-26 | The Ohio State University | Monochromatic x-ray devices and methods of use |
US8716673B2 (en) * | 2011-11-29 | 2014-05-06 | Fei Company | Inductively coupled plasma source as an electron beam source for spectroscopic analysis |
DE102012208710B3 (de) * | 2012-05-24 | 2013-09-19 | Incoatec Gmbh | Verfahren zur Herstellung einer einkristallinen Röntgenblende und Röntgenanalysegerät mit einkristalliner Röntgenblende |
CN104541332B (zh) * | 2012-06-14 | 2017-03-29 | 伊克斯拉姆公司 | 限制靶材的迁移 |
US9520263B2 (en) * | 2013-02-11 | 2016-12-13 | Novaray Medical Inc. | Method and apparatus for generation of a uniform-profile particle beam |
US9390881B2 (en) * | 2013-09-19 | 2016-07-12 | Sigray, Inc. | X-ray sources using linear accumulation |
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