JP6893591B1 - レーザモジュール - Google Patents
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Abstract
Description
図3及び図4に示されるように、QCL10は、半導体基板2と、半導体層3と、を備えている。半導体基板2は、主面2a、及び主面2aとは反対側の裏面2bを有している。主面2a及び裏面2bは、QCL10の軸線X1に沿った平坦面である。半導体基板2の裏面2bは、サブマウント20の載置面20aに載置されている。半導体基板2は、例えば、長方形板状のInP単結晶基板(半絶縁性基板:不純物がドーピングされていない高抵抗の半導体基板)である。半導体基板2の長さ、幅、厚さは、それぞれ、数百μm〜数mm程度、数百μm〜数mm程度、数百μm程度である。以下の説明では、半導体基板2の長さ方向、幅方向、厚さ方向(主面2a及び裏面2bが互いに対向する方向)を、それぞれ、X軸方向、Y軸方向、Z軸方向という。
上述した活性層31の構成について、より詳細に説明する。活性層31は、電子のサブバンド間発光遷移によって第1周波数ω1の第1ポンプ光及び第2周波数ω2の第2ポンプ光を生成するように、且つチェレンコフ位相整合による差周波発生によって第1周波数ω1及び第2周波数ω2の差周波数ω(=|ω1−ω2|)のテラヘルツ波を生成するように、構成されている。具体的には、活性層31は、DAU/MS(dual-upper-state to multiple lower state)構造を有している。
θI=90°−θC…(2)
[活性層の製造方法]
次に、活性層31の製造方法について説明する。上述したような活性層構造は、テラヘルツ波の吸収を考慮して半絶縁性のInP基板(半導体基板2)を用い、InPに格子整合するInGaAs井戸層及びInAlAs障壁層を分子線エピタキシー法(MBE: Molecular Beam Epitaxy)や有機金属気相成長法(MOCVD:Metal-organic Chemical Vapor Deposition)等によって、順次エピタキシャル成長させることによって形成される。具体的には、まず、下部コンタクト層37として高濃度SiドープInGaAs(Si:1.5×1018cm−3)を400nm、下部クラッド層35としてSiドープInP(Si:1.5×1016cm−3)を5μm、下部ガイド層33としてSiドープInGaAs(Si:1.5×1016cm−3)を250nm成長させる。続いて、活性層31を例えば40周期積層し、その上にDFB回折格子層を兼ねた上部ガイド層32としてSiドープInGaAs(Si:1.5×1016cm−3)を450nm設け、例えば深さ250nmの回折格子をエッチングによって形成する。回折格子を形成した後に、回折格子の周期構造とは垂直な方向に例えば幅12μmのリッジストライプを形成する。そして、その両側壁において、有機金属気相成長法等によってFeドープInP層(支持層38)の埋め込み再成長を行なう。続いて、上部クラッド層34としてSiドープInP(Si:1.5×1016cm−3)を5μm、上部コンタクト層36として高濃度Siドープを成長させる。続いて、エッチングによって半導体基板2側のInGaAsコンタクト層(下部コンタクト層37)を露出させた後、絶縁膜としてSiNなどを形成する。続いて、上下のInGaAsコンタクト層(上部コンタクト層36及び下部コンタクト層37)に合わせてコンタクトホールを開け、電極(不図示)としてAuの厚膜(厚さ約5μm)を蒸着及びメッキ法によって形成する。最後に、Auエッチングによって上下の電極を分離して素子を完成させる。
次に、QCL10及びレンズ30の構成について、より詳細に説明する。図8に示されるように、サブマウント20は、レンズ面30aから離れている。サブマウント20の載置面20aは、レンズ面30aに対して傾斜している。載置面20aは、レンズ面30aから離れるほどQCL10とは反対側に向かって傾斜している。載置面20aに載置されたQCL10は、レンズ面30aに対して傾斜している。具体的には、QCL10の軸線X1は、レンズ面30aに対して傾斜している。つまり、半導体基板2の主面2a及び裏面2bは、レンズ面30aに対して傾斜している。QCL10は、レンズ面30aから離れるほどサブマウント20側に向かって傾斜している。
以上説明したように、レーザモジュール1では、半導体基板2が、レンズ面30aに直接的に接触している。これにより、テラヘルツ波を半導体基板2を介してレンズ面30aへと伝搬させることができるため、テラヘルツ波の取り出し効率を向上させることができる。さらに、活性層31の端面31aは、レンズ面30aに対して傾斜している。すなわち、活性層31の端面31aの全体が、レンズ面30aに接触していない。これにより、共振器を構成する活性層31の端面31aにおいて、テラヘルツ波を生成するための光を安定して発振させることができる。以上により、レーザモジュール1によれば、活性層31における光の発振を安定化させると共に、活性層31において生成されるテラヘルツ波の取り出し効率を向上させることができる。また、半導体基板2は、半導体層3よりも強い機械的強度を有しており破損し難い。したがって、上述したように半導体基板2をレンズ面30aに接触させることにより、半導体層3(例えば活性層31よりも上部クラッド層34側の部分)をレンズ面30aに接触させる場合に比べて、QCL10の破損が抑制される。
図10は、比較例に係る測定装置80を示す図である。図10に示されるように、測定装置80は、QCL81と、放物面鏡82,83と、検出部84と、を備えている。QCL81は、第1面2d(研磨面)が形成されていない点でQCL10と相違している。放物面鏡82,83は、軸外し放物面鏡(OAP)であって、テラヘルツ波の出力を収集する。QCL81から出力されたテラヘルツ波は、放物面鏡82で平行光化された後、放物面鏡83を経て検出部84に入射する。検出部84は、入射されたテラヘルツ波の強度等を検出する。なお、放物面鏡82,83のそれぞれの収集効率は、約60%程度である。
図11は、実施例に係る測定装置90を示す図である。測定装置90は、レーザモジュール1と、検出部94と、を備えている。検出部94は、レンズ30の出射面(レンズ面30aとは反対側の球面)に対向する位置に設置されている。QCL10から出力されたテラヘルツ波は、レンズ30によって集光された後、検出部94に入射する。検出部94は、入射されたテラヘルツ波の強度等を検出する。
以上、本開示の一実施形態について説明したが、本開示は、上述した実施形態に限定されるものではない。
図13は、レーザモジュールの第1変形例を示す図である。図13に示されるように、第1変形例に係るレーザモジュール1Aは、QCL10の代わりにQCL10Aを備える点でレーザモジュール1と相違している。QCL10Aは、半導体基板2の代わりに半導体基板2Aを備える点でQCL10と相違している。半導体基板2Aは、長方形板状に形成されており、第1面2d及び第2面2eを有さない点で半導体基板2と相違している。すなわち、半導体基板2Aの側面2kは、半導体基板2の側面2cと異なり、主面2a及び裏面2bに対して略直交する平坦面である。
図14は、レーザモジュールの第2変形例を示す図である。図14に示されるように、第2変形例に係るレーザモジュール1Bは、QCL10の代わりにQCL10Bを備える点でレーザモジュール1と相違している。QCL10Bは、半導体基板2の代わりに半導体基板2Bを備えている点でQCL10と相違している。半導体基板2Bは、側面2cの代わりに側面2nを有しており、レンズ面30aに面接触している点で半導体基板2と相違している。
図15は、レーザモジュールの第3変形例を示す図である。図15に示されるように、第3変形例に係るレーザモジュール1Cは、スペーサ40を更に備えている点でレーザモジュール1と相違している。また、レーザモジュール1Cは、サブマウント20の代わりにサブマウント20Cを備えている。
上記実施形態では、レンズ30のレンズ面として、全体が同一平面上に位置する平坦なレンズ面30aを例示したが、必ずしもレンズ面の全体が同一平面上に位置していなくてもよい。例えば、レンズ30のレンズ面は、活性層31の端面31aと向かい合う第1部分と、第1部分に接続され且つ第1部分に対して傾斜する第2部分と、を有していてもよい。この場合、活性層31の端面31aは、レンズ30のレンズ面のうち少なくとも端面31aと向かい合う部分(すなわち第1部分)に対して傾斜していればよく、レンズ面のうち端面31aと向かい合っていない部分(例えば第2部分)に対して平行になっていてもよい。このような場合であっても、端面31aがレンズ30のレンズ面に接触しない構成を実現することができ、上記実施形態と同様の効果が奏される。
Claims (11)
- 主面及び前記主面とは反対側の裏面を有する基板と、前記主面上に設けられた第1クラッド層と、前記第1クラッド層の前記基板とは反対側に設けられた活性層と、前記活性層の前記第1クラッド層とは反対側に設けられた第2クラッド層と、を有する量子カスケードレーザであって、前記基板、前記第1クラッド層、前記活性層、及び前記第2クラッド層の積層方向に交差する方向を向く前記活性層の端面は、第1周波数の光及び第2周波数の光を発振させる共振器を構成し、前記活性層は、前記第1周波数及び前記第2周波数の差周波数のテラヘルツ波を生成する、前記量子カスケードレーザと、
前記活性層の前記端面に対向する位置に配置されたレンズ面を有するレンズと、を備え、
前記基板は、前記レンズ面に直接的又は間接的に接触しており、
前記活性層の前記端面は、前記レンズ面のうち前記端面と向かい合う部分に対して傾斜している、レーザモジュール。 - 前記レンズの焦点は、前記量子カスケードレーザの内部に位置している、請求項1に記載のレーザモジュール。
- 前記基板は、前記レンズ面に線接触している、請求項1又は2に記載のレーザモジュール。
- 前記基板は、前記レンズ面に対して傾斜するように前記裏面から前記主面側に延びる第1面を有し、
前記第1面の前記主面側の端部に形成された角部は、前記レンズ面に線接触している、請求項3に記載のレーザモジュール。 - 前記基板は、前記主面及び前記裏面を接続し、前記レンズ面に対向する側面を有し、
前記裏面と前記側面との間に形成された角部は、前記レンズ面に線接触している、請求項3に記載のレーザモジュール。 - 前記基板の前記主面から前記裏面までの厚さは、200μm以下である、請求項5に記載のレーザモジュール。
- 前記基板は、前記レンズ面に面接触している、請求項1又は2に記載のレーザモジュール。
- 前記基板は、前記レンズ面に対して傾斜するように前記裏面から前記主面側に延びる第1面と、前記第1面の前記主面側の端部に接続され、前記レンズ面に平行な第2面と、を有し、
前記第2面は、前記レンズ面に面接触している、請求項7に記載のレーザモジュール。 - 前記量子カスケードレーザと前記レンズとの間に配置されたスペーサを更に備え、
前記スペーサは、前記レンズ面に平行であり且つ前記レンズ面に接触する出力面と、前記出力面とは反対側の入力面と、を有し、
前記基板は、前記スペーサの前記入力面に接触しており、
前記活性層の前記端面は、前記スペーサの前記入力面に対して傾斜している、請求項1〜8のいずれか一項に記載のレーザモジュール。 - 前記スペーサの屈折率は、前記レンズの屈折率と略同一である、請求項9に記載のレーザモジュール。
- 前記基板の前記裏面が載置される載置面と、前記載置面に接続され、前記スペーサの前記入力面に当接する当接面と、を有する載置部を更に備え、
前記載置面と前記当接面とが成す角度は、鋭角である、請求項10に記載のレーザモジュール。
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