JP6890856B1 - 全方位走査ミラー - Google Patents
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Abstract
Description
図3乃至図7は、本発明の実施の形態の全方位走査ミラーを示している。
図3に示すように、全方位走査ミラー10は、ミラー部11と回転支持部12と支持体13と第1回転駆動部14と第2回転駆動部15とを有している。
図3に示す一例では、ミラー部11は、平面形状が四角形の薄い板状を成している。
11 ミラー部
12 回転支持部
21 第1トーションバー
22 チップ
13 支持体
23 切込部
24 第2トーションバー
14 第1回転駆動部
15 第2回転駆動部
31 円盤部
32 円柱部
Claims (10)
- 走査ミラーであって、
ミラー部と、
前記ミラー部により走査するよう、前記ミラー部の表面に平行な第1回転軸および前記第1回転軸に対して垂直な第2回転軸を中心として、前記ミラー部を回転可能に支持する支持部とを有し、
前記支持部は、前記第1回転軸を中心として、前記ミラー部を回転可能に支持するよう設けられた回転支持部と、前記第2回転軸を中心として、前記回転支持部を回転可能に支持するよう設けられた支持体とを有し、
前記第1回転軸および前記第2回転軸は、ねじりバネから成り、
前記ミラー部の慣性モーメントテンソルのうち、前記ミラー部の表面に対して垂直な方向の成分をIξとし、前記ミラー部の表面に対して平行かつ前記第1回転軸の方向に対して直交する成分をIζとすると、0.753×Iζ<Iξ<1.488×Iζであることを
特徴とする走査ミラー。 - 走査ミラーであって、
ミラー部と、
前記ミラー部により走査するよう、前記ミラー部の表面に平行な第1回転軸および前記第1回転軸に対して垂直な第2回転軸を中心として、前記ミラー部を回転可能に支持する支持部とを有し、
前記支持部は、前記第1回転軸に沿った可撓性の第1軸部材により、前記第1回転軸を中心として前記ミラー部を回転可能に支持するとともに、軸方向が変化する可撓性の第2軸部材により、前記第2回転軸を中心として前記ミラー部を回転可能に支持するよう設けられ、
前記第1回転軸および前記第2回転軸は、ねじりバネから成り、
前記第2軸部材は、前記支持部側の端部の軸方向が前記第2回転軸に沿っており、前記ミラー部側の端部の軸方向が前記第2回転軸に対して斜めになっており、
前記ミラー部の慣性モーメントテンソルのうち、前記ミラー部の表面に対して垂直な方向の成分をIξとし、前記ミラー部の表面に対して平行かつ前記第1回転軸の方向に対して直交する成分をIζとすると、0.753×Iζ<Iξ<1.488×Iζであることを
特徴とする走査ミラー。 - 前記ミラー部は、前記第1回転軸を含む所定の平面に対して面対称の形状を成していることを特徴とする請求項1または2記載の走査ミラー。
- 前記ミラー部は、前記第1回転軸を含む所定の平面に対して面対称の形状を成し、
前記ミラー部および前記回転支持部は、前記第1回転軸に対して垂直かつ前記第2回転軸を含む平面に対し面対称の形状を成していることを
特徴とする請求項1記載の走査ミラー。 - SOIウエハを加工して形成されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の走査ミラー。
- 前記ミラー部は、四角形を成す前記表面に対して垂直方向に厚みを有する直方体形状を成し、互いに平行な1対の側面が正方形を成しており、
前記第1回転軸は、前記1対の側面の中央部を通るよう構成されていることを
特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の走査ミラー。 - 前記ミラー部は、四角形を成す前記表面に対して垂直方向に厚みを有する直方体形状を成し、互いに平行な1対の側面の、前記表面に平行な1対の辺の長さが前記表面に対して垂直な1対の辺の長さの2倍であり、
前記第1回転軸は、前記1対の側面の前記表面側の側縁部、または、前記表面とは反対側の側縁部の中央部を通るよう構成されていることを
特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の走査ミラー。 - 前記ミラー部は、円形を成す前記表面に対して垂直方向に厚みを有する円柱形状を成し、前記厚みが前記表面の直径の√3/2倍であり、
前記第1回転軸は、前記ミラー部の重心を通るよう構成されていることを
特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の走査ミラー。 - 前記ミラー部は、円形を成す前記表面に対して垂直方向に厚みを有する円柱形状を成し、前記厚みが前記表面の直径の√3/4倍であり、
前記第1回転軸は、前記表面の直径に沿って、前記ミラー部の側面の前記表面側の側縁部、または、前記表面とは反対側の側縁部を通るよう構成されていることを
特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の走査ミラー。 - 前記ミラー部は、一方の面が前記表面から成る円盤部と、前記円盤部より直径が小さい円柱形状を成し、前記円盤部と同軸で、前記円盤部の前記表面とは反対側の面に設けられた円柱部とを有し、
前記第1回転軸は、前記表面の直径に沿って、前記円盤部の側面を通るよう構成されていることを
特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の走査ミラー。
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