JP6885510B2 - スキマーコーン及び誘導結合プラズマ質量分析装置 - Google Patents
スキマーコーン及び誘導結合プラズマ質量分析装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6885510B2 JP6885510B2 JP2020514878A JP2020514878A JP6885510B2 JP 6885510 B2 JP6885510 B2 JP 6885510B2 JP 2020514878 A JP2020514878 A JP 2020514878A JP 2020514878 A JP2020514878 A JP 2020514878A JP 6885510 B2 JP6885510 B2 JP 6885510B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- skimmer cone
- cone
- skimmer
- vacuum chamber
- peripheral surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/06—Electron- or ion-optical arrangements
- H01J49/067—Ion lenses, apertures, skimmers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/62—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating the ionisation of gases, e.g. aerosols; by investigating electric discharges, e.g. emission of cathode
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/04—Arrangements for introducing or extracting samples to be analysed, e.g. vacuum locks; Arrangements for external adjustment of electron- or ion-optical components
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/10—Ion sources; Ion guns
- H01J49/105—Ion sources; Ion guns using high-frequency excitation, e.g. microwave excitation, Inductively Coupled Plasma [ICP]
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
誘導結合プラズマ質量分析装置100は、誘導結合プラズマにより試料から原子イオンを生成するイオン化部110と、生成されたイオンを質量分離して検出する質量分析部130を有している。イオン化部110は、略大気圧であるイオン化室111に配置されたプラズマトーチ112を備えている。プラズマトーチ112は、ネブライザガスにより霧化した液体試料を流通させる試料管、該試料管の外周に形成されたプラズマガス管、及び該プラズマガス管の外周に形成された冷却ガス管から構成されている。イオン化部110では、試料管から噴霧される液体試料を、プラズマガス管から供給されるアルゴンガス等の原料ガスから生成した高温プラズマにより原子イオン化する。
円錐状の先端部の少なくとも一部の外周面又は/及び内周面において、周方向に形成された溝部を有する
ことを特徴とする。
a) 原料ガスから生成したプラズマによって試料をイオン化するイオン化部と、
b) 大気圧よりも低い第1圧力に維持される第1空間と、該第1圧力よりも低い第2圧力に維持され前記イオン化部で生成されたイオンを質量分離する質量分離部や該質量分離部を通過したイオンを検出する検出器とが収容される第2空間とに区画された真空チャンバと、
c) 前記第1空間と前記第2空間とを区画する隔壁の、該第1空間の側に設けられたスキマーコーンであって、円錐状の先端部の少なくとも一部の外周面又は/及び内周面において、周方向に形成された溝部を有するスキマーコーンと
を備えることを特徴とする。
10…イオン化部
11…イオン化室
12…プラズマトーチ
13…オートサンプラ
14…ネブライザガス供給源
15…プラズマガス供給源
20…質量分析部
20a…真空チャンバ
21…第1真空室
211…サンプリングコーン
212…冷却ブロック
22…第2真空室
221…イオンレンズ
222…コリジョンセル
223…エネルギー障壁形成電極
224、225、226…スキマーコーン
224a、225a、226a…溝部
24…第3真空室
241…四重極マスフィルタ
2411…プリロッド
2412…メインロッド
242…検出器
30…電源部
40…制御部
41…記憶部
42…分析制御部
60…入力部
70…表示部
Claims (8)
- 円錐状の先端部の少なくとも一部の外周面又は/及び内周面において、周方向に形成された溝部を有する
ことを特徴とするスキマーコーン。 - 純度99%以上のニッケル又は銅からなる
ことを特徴とする請求項1に記載のスキマーコーン。 - 先端部に形成されている孔の径が1.0mm以下である
ことを特徴とする請求項1に記載のスキマーコーン。 - 前記溝部がスキマーコーンの外周側に形成されている
ことを特徴とする請求項1に記載のスキマーコーン。 - 前記溝部の断面がL字状である
ことを特徴とする請求項1に記載のスキマーコーン。 - 前記溝部が先端から5mm以内の位置に形成されている
ことを特徴とする請求項1に記載のスキマーコーン。 - 前記溝部が複数形成されている
ことを特徴とする請求項1に記載のスキマーコーン。 - a) 原料ガスから生成したプラズマによって試料をイオン化するイオン化部と、
b) 大気圧よりも低い第1圧力に維持される第1空間と、該第1圧力よりも低い第2圧力に維持され前記イオン化部で生成されたイオンを質量分離する質量分離部や該質量分離部を通過したイオンを検出する検出器とが収容される第2空間とに区画された真空チャンバと、
c) 前記第1空間と前記第2空間とを区画する隔壁の、該第1空間の側に設けられたスキマーコーンであって、円錐状の先端部の少なくとも一部の外周面又は/及び内周面において、周方向に形成された溝部を有するスキマーコーンと
を備えることを特徴とする誘導結合プラズマ質量分析装置。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2018/016232 WO2019202719A1 (ja) | 2018-04-20 | 2018-04-20 | スキマーコーン及び誘導結合プラズマ質量分析装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2019202719A1 JPWO2019202719A1 (ja) | 2021-02-12 |
JP6885510B2 true JP6885510B2 (ja) | 2021-06-16 |
Family
ID=68239165
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020514878A Active JP6885510B2 (ja) | 2018-04-20 | 2018-04-20 | スキマーコーン及び誘導結合プラズマ質量分析装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20210142995A1 (ja) |
JP (1) | JP6885510B2 (ja) |
CN (1) | CN111902907A (ja) |
WO (1) | WO2019202719A1 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN116472599A (zh) * | 2020-11-18 | 2023-07-21 | 吉米亚分析公司 | 用于电感耦合等离子体质谱仪(icp-ms)的空气冷却式接口 |
US11955326B2 (en) * | 2021-03-16 | 2024-04-09 | Agilent Technologies, Inc. | Multi-device removal and installation tool |
US11667992B2 (en) | 2021-07-19 | 2023-06-06 | Agilent Technologies, Inc. | Tip for interface cones |
WO2023084868A1 (ja) * | 2021-11-10 | 2023-05-19 | 株式会社島津製作所 | 質量分析装置 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0462749A (ja) * | 1990-06-29 | 1992-02-27 | Hitachi Ltd | 分子線サンプリング装置 |
JP3355376B2 (ja) * | 1995-02-27 | 2002-12-09 | 株式会社日立製作所 | 質量分析装置、スキマ−コ−ン組立体及びスキマ−コ−ン |
JPH0935681A (ja) * | 1995-07-14 | 1997-02-07 | Yokogawa Analytical Syst Kk | 高周波誘導結合プラズマ質量分析計 |
JP3801958B2 (ja) * | 2002-06-28 | 2006-07-26 | 東芝マイクロエレクトロニクス株式会社 | Icp質量分析装置及びその分析方法 |
GB2498173C (en) * | 2011-12-12 | 2018-06-27 | Thermo Fisher Scient Bremen Gmbh | Mass spectrometer vacuum interface method and apparatus |
JP3182750U (ja) * | 2013-01-28 | 2013-04-11 | 株式会社島津製作所 | 質量分析装置用治具セット |
JP6075320B2 (ja) * | 2014-03-31 | 2017-02-08 | 株式会社島津製作所 | Icp質量分析装置 |
-
2018
- 2018-04-20 US US17/041,997 patent/US20210142995A1/en not_active Abandoned
- 2018-04-20 WO PCT/JP2018/016232 patent/WO2019202719A1/ja active Application Filing
- 2018-04-20 CN CN201880091952.5A patent/CN111902907A/zh not_active Withdrawn
- 2018-04-20 JP JP2020514878A patent/JP6885510B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN111902907A (zh) | 2020-11-06 |
WO2019202719A1 (ja) | 2019-10-24 |
US20210142995A1 (en) | 2021-05-13 |
JPWO2019202719A1 (ja) | 2021-02-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6885510B2 (ja) | スキマーコーン及び誘導結合プラズマ質量分析装置 | |
US10991561B2 (en) | Mass spectrometer vacuum interface method and apparatus | |
AU2012351701B2 (en) | Mass spectrometer vacuum interface method and apparatus | |
JP2005519450A (ja) | プラズマ質量分析計 | |
EP2808888B1 (en) | Mass analysis device | |
JPH031435A (ja) | 質量分析法のためのイオン化法 | |
Aghaei et al. | Occurrence of gas flow rotational motion inside the ICP torch: a computational and experimental study | |
EP3389080A1 (en) | Ion source and method for generating elemental ions from aerosol particles | |
JP2008234874A (ja) | 集束イオンビーム装置 | |
US11099161B2 (en) | Ionizer and mass spectrometer | |
Yu et al. | High-speed photographic analysis of microwave plasma torch source behaviour | |
JP5885299B2 (ja) | スキマー型インターフェース構造 | |
WO2023084868A1 (ja) | 質量分析装置 | |
JP2009047710A (ja) | 化学剤の探知方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200706 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200706 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210413 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210426 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6885510 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |