JP6879568B2 - 有機電界発光素子およびその製造方法 - Google Patents

有機電界発光素子およびその製造方法 Download PDF

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Description

本開示は、有機電界発光素子およびその製造方法に関する。
有機電界発光素子において、アノード電極上にパーティクル(異物)や突起物が存在した場合、アノード電極とカソード電極との間で発生する短絡を防止するために、発光層とカソード電極との間に、金属酸化物等で構成された抵抗層が設けられる(例えば、特許文献1参照)。
特開2013−207010号公報
しかし、製造過程において抵抗層の抵抗が低下し、アノード電極とカソード電極との間で発生する短絡を防止する機能が低下してしまう場合がある。従って、アノード電極とカソード電極との短絡を防止する機能を維持することの可能な有機電界発光素子およびその製造方法を提供することが望ましい。
本開示の一実施の形態の有機電界発光素子は、第1電極、発光層、抵抗層および第2電極をこの順に備えている。抵抗層は、1×104Ω・cm以上5×106Ω・cm以下の範囲内の比抵抗を有し、かつ、ZnO、Ga23およびSiO2のうち少なくとも2種類の混合材料によって構成されている。混合材料の組成比は、図2の斜線で示された範囲内となっている。
本開示の一実施の形態の有機電界発光素子では、発光層と第2電極との間に設けられた抵抗層が、ZnO、Ga23およびSiO2のうち少なくとも2種類の混合材料によって構成され、混合材料の組成比が図2の斜線で示された範囲内となっている。これにより、製造過程において、第2電極上に、水素原子を含むガスを用いて保護層を形成した場合であっても、抵抗層の比抵抗を1×104Ω・cm以上5×106Ω・cm以下の範囲内の値とすることが可能となる。
本開示の一実施の形態の有機電界発光素子の製造方法は、以下のステップを含む。
(1)第1電極と、発光層と、ZnO、Ga23およびSiO2のうち少なくとも2種類の混合材料によって構成され、混合材料の組成比が図2の斜線で示された範囲内となっている抵抗層と、第2電極とをこの順に形成した後、水素原子を含むガスを用いて保護層を形成することにより、抵抗層の比抵抗を1×104Ω・cm以上5×106Ω・cm以下の範囲内とするステップ
本開示の一実施の形態の有機電界発光素子の製造方法では、発光層と第2電極との間に、ZnO、Ga23およびSiO2のうち少なくとも2種類の混合材料によって構成され、混合材料の組成比が図2の斜線で示された範囲内となっている抵抗層が形成される。これにより、第2電極上に、水素原子を含むガスを用いて保護層を形成した場合であっても、抵抗層の比抵抗を1×104Ω・cm以上5×106Ω・cm以下の範囲内の値とすることが可能となる。
本開示の一実施の形態の有機電界発光素子およびその製造方法によれば、第2電極上に、水素原子を含むガスを用いて保護層を形成した場合であっても、抵抗層の比抵抗を1×104Ω・cm以上5×106Ω・cm以下の範囲内の値とすることができるようにしたので、アノード電極とカソード電極との短絡を防止する機能を維持することができる。なお、本開示の効果は、ここに記載された効果に必ずしも限定されず、本明細書中に記載されたいずれの効果であってもよい。
本開示の第1の実施の形態に係る有機電界発光素子の断面構成例を表す図である。 図1の抵抗層の組成について説明するための図である。 図2の測定点ごとの、CVD前およびCVD後の比抵抗の測定値を表す図である。 図2の比較例bにおける比抵抗の、酸素濃度比依存性を表す図である。 図2の実施例Cにおける比抵抗の、酸素濃度比依存性を表す図である。 図2の実施例Bにおける比抵抗の、酸素濃度比依存性を表す図である。 図2の実施例Eにおける比抵抗の、酸素濃度比依存性を表す図である。 図1の有機電界発光素子の製造過程を説明するための図である。 本開示の第2の実施の形態に係る有機電界発光装置の概略構成例を表す図である。 図9の各画素に含まれる副画素の回路構成例を表す図である。 本開示の有機電界発光装置を備えた電子機器の外観の一例を斜視的に表す図である。
以下、本開示を実施するための形態について、図面を参照して詳細に説明する。以下に説明する実施の形態は、いずれも本開示の好ましい一具体例を示すものである。したがって、以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置位置及び接続形態などは、一例であって本開示を限定する主旨ではない。よって、以下の実施の形態における構成要素のうち、本開示の最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。なお、各図は、模式図であり、必ずしも厳密に図示されたものではない。また、各図において、実質的に同一の構成に対しては同一の符号を付しており、重複する説明は省略又は簡略化する。なお、説明は以下の順序で行う。

1.第1の実施の形態(有機電界発光素子)
発光層とカソード電極との間に抵抗層を設けた例
2.第2の実施の形態(有機電界発光装置)
抵抗層を備えた有機電界発光素子を画素ごとに設けた例
3.適用例(電子機器)
<1.第1の実施の形態>
[構成]
図1は、本開示の第1の実施の形態に係る有機電界発光素子1の断面構成の一例を表したものである。有機電界発光素子1は、例えば、基板10上に設けられたものである。有機電界発光素子1は、例えば、発光層14と、発光層14を挟み込むように配置された、アノード電極11およびカソード電極18を備えている。アノード電極11は、本開示の「第1電極」の一具体例に相当する。カソード電極18は、本開示の「第2電極」の一具体例に相当する。有機電界発光素子1は、例えば、さらに、アノード電極11と、発光層14との間に、正孔注入層12および正孔輸送層13をアノード電極11側からこの順に備えている。有機電界発光素子1は、例えば、さらに、発光層14と、カソード電極18との間に、電子輸送層15、電子注入層16および抵抗層17を発光層14側からこの順に備えている。なお、正孔注入層12および正孔輸送層13のうち少なくとも一方が省略されていてもよい。電子輸送層15および電子注入層16のうち少なくとも一方が省略されていてもよい。抵抗層17は、発光層14とカソード電極18との間に設けられていればよく、例えば、発光層14と電子輸送層15との間、または、電子輸送層15と電子注入層16との間に設けられていてもよい。
有機電界発光素子1は、例えば、さらに、カソード電極18上に、保護層19を備えている。有機電界発光素子1は、例えば、アノード電極11、正孔注入層12、正孔輸送層13、発光層14、電子輸送層15、電子注入層16、抵抗層17、カソード電極18および保護層19を基板10側からこの順に含んで構成された素子構造となっている。有機電界発光素子1において、さらに他の機能層が含まれていてもよい。
基板10は、例えば、透明基板等の光透過性を有する透光基板であり、例えば、ガラス材からなるガラス基板である。なお、基板10は、ガラス基板に限るものではなく、ポリカーボネート樹脂やアクリル樹脂等の透光性樹脂材料からなる透光性樹脂基板や、有機EL表示装置のバックプレーンであるTFT(薄膜トランジスタ)基板であってもよい。
アノード電極11は、例えば、基板10の上に形成されている。アノード電極11は、例えば、アルミニウム(Al)、銀(Ag)、アルミニウムもしくは銀の合金等、または、反射性を有する反射電極である。なお、アノード電極11は、反射電極に限るものではなく、例えば、透光性を有する透明電極であってもよい。透明電極の材料としては、例えば、ITO(Indium Tin Oxide)又はIZO(Indium Zinc Oxide)等の透明導電性材料が挙げられる。アノード電極11は、反射電極と透明電極とが積層されたものであってもよい。
正孔注入層12は、正孔注入効率を高めるための層である。正孔注入層12は、アノード電極11から注入された正孔を発光層14へ注入する機能を有する。正孔注入層12は、例えば、銀(Ag)、モリブデン(Mo)、クロム(Cr)、バナジウム(V)、タングステン(W)、ニッケル(Ni)、イリジウム(Ir)などの酸化物、あるいは、PEDOT(ポリチオフェンとポリスチレンスルホン酸との混合物)などの導電性ポリマー材料によって構成されている。正孔注入層12は、単層で構成されていてもよいし、複数の層が積層された構造となっていてもよい。
正孔輸送層13は、アノード電極11から注入された正孔を発光層14へ輸送する機能を有する。正孔輸送層13は、例えば、アノード電極11から注入された正孔を発光層14へ輸送する機能を有する材料(正孔輸送性材料)によって構成されている。上記の正孔輸送性材料としては、例えば、アリールアミン誘導体、トリアゾール誘導体、オキサジアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、ポリアリールアルカン誘導体、ピラゾリン誘導体及びピラゾロン誘導体、フェニレンジアミン誘導体、アミノ置換カルコン誘導体、オキサゾール誘導体、スチリルアントラセン誘導体、フルオレノン誘導体、ヒドラゾン誘導体、スチルベン誘導体、ブタジエン化合物、ポリスチレン誘導体、トリフェニルメタン誘導体、テトラフェニルベンジン誘導体等、または、これらの組み合わせからなる材料が挙げられる。
発光層14は、アノード電極11から注入された正孔と、カソード電極18から注入された電子とが、発光層14内で再結合することで励起子が生成されて発光する層である。発光層14は、例えば、有機発光材料によって構成されている。
発光層14の原料(材料)である有機発光材料は、例えば、ホスト材料とドーパント材料とが組み合わされた材料である。発光層14の原料(材料)である有機発光材料は、ドーパント材料単独であってもよい。ホスト材料は、主に電子又は正孔の電荷輸送の機能を担っており、ドーパント材料は、発光の機能を担っている。ホスト材料およびドーパント材料は1種類のみに限られるものではなく、2種類以上の組み合わせであってもよい。
発光層14のホスト材料としては、例えば、アミン化合物、縮合多環芳香族化合物、ヘテロ環化合物が用いられる。アミン化合物としては、例えば、モノアミン誘導体、ジアミン誘導体、トリアミン誘導体、テトラアミン誘導体が用いられる。縮合多環芳香族化合物としては、例えば、アントラセン誘導体、ナフタレン誘導体、ナフタセン誘導体、フェナントレン誘導体、クリセン誘導体、フルオランテン誘導体、トリフェニレン誘導体、ペンタセン誘導体、または、ペリレン誘導体等が挙げられる。ヘテロ環化合物としては、例えば、カルバゾール誘導体、フラン誘導体、ピリジン誘導体、ピリミジン誘導体、トリアジン誘導体、イミダゾール誘導体、ピラゾール誘導体、トリアゾール誘導体、オキサゾール誘導体、オキサジアゾール誘導体、ピロール誘導体、インドール誘導体、アザインドール誘導体、アザカルバゾール、ピラゾリン誘導体、ピラゾロン誘導体、または、フタロシアニン誘導体等が挙げられる。
また、発光層14のドーパント材料としては、例えば、ピレン誘導体、フルオランテン誘導体、アリールアセチレン誘導体、フルオレン誘導体、ペリレン誘導体、オキサジアゾール誘導体、アントラセン誘導体、または、クリセン誘導体が用いられる。また、発光層14の蛍光ドーパント材料としては、金属錯体が用いられてもよい。金属錯体としては、例えば、イリジウム(Ir)、白金(Pt)、オスミウム(Os)、金(Au)、レニウム(Re)、もしくは、ルテニウム(Ru)等の金属原子と配位子とを有するものが挙げられる。
電子輸送層15は、カソード電極18から注入された電子を発光層14へ輸送する機能を有する。電子輸送層15は、例えば、カソード電極18から注入された電子を発光層14へ輸送する機能を有する材料(電子輸送性材料)を含んで構成されている。電子輸送層15は、例えば、蒸着膜またはスパッタ膜で構成されている。電子輸送層15は、発光層14からカソード電極18への電荷(本実施の形態では正孔)の突き抜けを抑制する電荷ブロック機能や、発光層14の励起状態の消光を抑制する機能等を有していることが好ましい。
上記の電子輸送性材料は、例えば、分子内にヘテロ原子を1個以上含有する芳香族ヘテロ環化合物である。芳香族ヘテロ環化合物としては、例えば、ピリジン環、ピリミジン環、トリアジン環、ベンズイミダゾール環、フェナントロリン環、キナゾリン環等を骨格に含む化合物が挙げられる。上記の電子輸送性材料には、電子輸送性を有する金属がドープされている場合がある。この場合、電子輸送層15は、ドープ金属を含む有機電子輸送層である。電子輸送性を有する金属が電子輸送層15に含まれていることで、電子輸送層15の電子輸送性を向上できる。電子輸送層15に含まれるドープ金属としては、例えば、Yb(イッテルビウム)などの遷移金属が挙げられる。
電子注入層16は、カソード電極18から注入された電子を電子輸送層15、発光層14へ注入する機能を有する。電子注入層16は、例えば、カソード電極18から電子輸送層15、発光層14への電子の注入を促進させる機能を有する材料(電子注入性材料)によって構成されている。上記の電子注入性材料は、例えば、電子注入性を有する有機材料に、電子注入性を有する金属がドープされたものであってもよい。電子注入層16に含まれるドープ金属は、例えば、電子輸送層15に含まれるドープ金属と同じ金属である。
カソード電極18は、例えば、ITO膜等の透明電極である。なお、カソード電極18は、透明電極に限るものではなく、光反射性を有する反射電極であってもよい。反射電極の材料としては、例えば、アルミニウム(Al)、マグネシウム(Mg)、銀(Ag)、アルミニウム−リチウム合金、マグネシウム−銀合金等が用いられる。本実施の形態において、基板10及びアノード電極11が反射性を有し、カソード電極18が透光性を有している場合には、有機電界発光素子1は、カソード電極18側から光が放出するトップエミッション構造となっている。なお、本実施の形態において、基板10及びアノード電極11が透光性を有し、カソード電極18が反射性を有している場合には、有機電界発光素子1は、基板10側から光が放出するボトムエミッション構造となっている。
保護層19は、カソード電極18の上に形成されている。保護層19は、例えば、カソード電極18の上面に接して形成されている。保護層19は、例えば、SiN、SiONまたはSiOによって構成されている。保護層19は、例えば、シラン、アンモニアもしくはジシランなどの、水素原子を含むガスを用いたCVD(chemical vapor deposition)によって形成されている。
次に、抵抗層17について説明する。アノード電極11上にパーティクル(異物)や突起物が存在した場合、アノード電極11とカソード電極18との間で短絡が生じることがある。抵抗層17は、そのような短絡を防止するために設けられている。そのため、抵抗層17の厚みは、例えば、30nm以上1000nm以下となっている。抵抗層17は、1×104Ω・cm以上5×106Ω・cm以下の範囲内の比抵抗を有している。抵抗層17は、ZnO、Ga23およびSiO2のうち少なくとも2種類の混合材料によって構成されている。抵抗層17において、混合材料の組成比が図2中の斜線で示された範囲内となっている。
図2は、抵抗層17の組成について説明するための図である。図2には、抵抗層17の材料として用いられ得る3種類の材料(ZnO、Ga23およびSiO2)のモル比が記載されている。具体的には、ZnOのモル比が三角形の左側の辺に沿って記載されており、SiO2のモル比が三角形の右側の辺に沿って記載されており、Ga23のモル比が三角形の底辺に沿って記載されている。図2には、3種類の材料(ZnO、Ga23およびSiO2)のうち少なくとも2種類の混合材料からなる抵抗層17の比抵抗について、保護層19を形成した後(つまり、CVD実施後)の計測値が示されている。図2の斜線は、抵抗層17の比抵抗が1×104Ω・cm以上、5×106Ωcm以下となる領域を示している。図2の斜線の領域において採り得るZnOのモル比は、5mol%以上85mol%以下の範囲内の値である。図2の斜線の領域において採り得るGa23のモル比は、0mol%以上95mol%以下の範囲内の値である。図2の斜線の領域において採り得るSiO2のモル比は、12mol%以上28mol%以下の範囲内の値である。
図3は、図2の測定点ごとの、CVD前およびCVD後の比抵抗の測定値を表す図である。ここで、「CVD前」とは、抵抗層17を形成した後、保護層19を形成する前であることを指している。「CVD後」とは、抵抗層17上に保護層19を形成した後であることを指している。図3には、実施例として5種類の混合材料での結果が示されており、さらに、比較例として14種類の混合材料での結果が示されている。図3からは、抵抗層17上に保護層19を形成することにより(つまり、抵抗層17形成後にCVDを実施することにより)、抵抗層17の比抵抗が低下することがわかる。これは、CVDを用いて保護層19を形成する際に発生するH2プラズマの影響を受けて、抵抗層17の比抵抗が低下してしまうためである。抵抗層17の比抵抗が所望の範囲(1×104Ω・cm以上5×106Ω・cm以下の範囲)を下回った場合、抵抗層17による短絡防止機能が効果的に作用し難くなる。また、抵抗層17の比抵抗が所望の範囲(1×104Ω・cm以上5×106Ω・cm以下の範囲)を上回っている場合には、抵抗層17による短絡防止機能は効果的に作用するものの、抵抗層17の抵抗値の高さに起因して、有機電界発光素子1の駆動電圧が高くなってしまう。例えば、図4に示したように、図2、図3の比較例bにおいて、保護層19を形成する際の酸素濃度比を変えた場合であっても、抵抗層17の比抵抗が所望の範囲(1×104Ω・cm以上5×106Ω・cm以下の範囲)を下回ってしまう。従って、比較例に係る抵抗層17を有機電界発光素子1に適用することは実用的ではない。
一方、実施例に係る抵抗層17では、抵抗層17上に保護層19を形成することにより(つまり、抵抗層17形成後にCVDを実施することにより)、抵抗層17の比抵抗が所望の範囲(1×104Ω・cm以上5×106Ω・cm以下の範囲)内となる。または、抵抗層17上に保護層19を形成した場合であっても(つまり、抵抗層17形成後にCVDを実施した場合であっても)、抵抗層17の比抵抗が所望の範囲(1×104Ω・cm以上5×106Ω・cm以下の範囲)から外れることがない。例えば、図5、図6、図7に示したように、図2、図3の実施例B,C,Eにおいて、保護層19を形成する際の酸素濃度比を変えた場合であっても、抵抗層17の比抵抗が所望の範囲(1×104Ω・cm以上5×106Ω・cm以下の範囲)を満たすことがわかる。従って、実施例に係る抵抗層17を有機電界発光素子1に適用することは極めて実用的であることがわかる。
[製造方法]
次に、本実施の形態に係る有機電界発光素子1の製造方法について説明する。
まず、基板10上に、アノード電極11、正孔注入層12、正孔輸送層13、発光層14、電子輸送層15、電子注入層16を形成する。次に、ZnO、Ga23およびSiO2のうち少なくとも2種類の混合材料によって抵抗層17を形成する(ステップS101、図8)。このとき、保護層19を形成した後で抵抗層17の比抵抗が1×104Ω・cm以上5×106Ω・cm以下の範囲内となるような組成比で抵抗層17を形成する。具体的には、混合材料の組成比が図2の斜線で示された範囲内となっている抵抗層17を形成する。次に、カソード電極18を形成した後、水素原子を含むガスを用いたCVDによって保護層19を形成する(ステップS102、図8)。このようにして、抵抗層17の比抵抗を1×104Ω・cm以上5×106Ω・cm以下の範囲内とする。
[効果]
次に、本実施の形態に係る有機電界発光素子1の効果について説明する。
有機電界発光素子において、アノード電極上にパーティクル(異物)や突起物が存在した場合、アノード電極とカソード電極との間で発生する短絡を防止するために、発光層とカソード電極との間に、金属酸化物等で構成された抵抗層が設けられることがある。しかし、抵抗層を設けた場合であっても、上述したように、製造過程において抵抗層の抵抗が低下し、アノード電極とカソード電極との間で発生する短絡を防止することができないことがある。
一方、本実施の形態では、発光層14とカソード電極18との間に設けられた抵抗層17が、ZnO、Ga23およびSiO2のうち少なくとも2種類の混合材料によって構成され、混合材料の組成比が図2中の斜線で示された範囲内となっている。これにより、製造過程において、カソード電極18上に、水素原子を含むガスを用いて保護層19を形成した場合であっても、抵抗層17の比抵抗を1×104Ω・cm以上5×106Ω・cm以下の範囲内の値とすることができる。その結果、アノード電極11とカソード電極18との短絡を防止する機能を維持することができる。また、このような有機電界発光素子1を発光パネルの画素に用いた場合には、滅点が生じ難くなるので、歩留まりが向上し、低コスト化を図ることができる。
また、本実施の形態に係る有機電界発光素子1の製造方法では、発光層14とカソード電極18との間に、ZnO、Ga23およびSiO2のうち少なくとも2種類の混合材料によって構成され、混合材料の組成比が図2中の斜線で示された範囲内となっている抵抗層17が形成される。これにより、カソード電極18上に、水素原子を含むガスを用いたCVDによって保護層19を形成した場合であっても、抵抗層17の比抵抗を1×104Ω・cm以上5×106Ω・cm以下の範囲内の値とすることができる。その結果、アノード電極11とカソード電極18との間で発生する短絡を確実に防止することができる。
<2.第2の実施の形態>
[構成]
図9は、本開示の第2の実施の形態に係る有機電界発光装置2の概略構成例を表したものである。図10は、有機電界発光装置2に設けられた各画素21に含まれる副画素22の回路構成の一例を表したものである。有機電界発光装置2は、例えば、有機電界発光パネル20、コントローラ30およびドライバ40を備えている。ドライバ40は、例えば、有機電界発光パネル20の外縁部分に実装されている。有機電界発光パネル20は、行列状に配置された複数の画素21を有している。コントローラ30およびドライバ40は、外部から入力された映像信号Dinおよび同期信号Tinに基づいて、有機電界発光パネル20(複数の画素21)を駆動する。
(有機電界発光パネル20)
有機電界発光パネル20は、コントローラ30およびドライバ40によって各画素21がアクティブマトリクス駆動されることにより、外部から入力された映像信号Dinおよび同期信号Tinに基づく画像を表示する。有機電界発光パネル20は、行方向に延在する複数の走査線WSLと、列方向に延在する複数の信号線DTLおよび複数の電源線DSLと、行列状に配置された複数の画素21とを有している。
走査線WSLは、各画素21の選択に用いられるものであり、各画素21を所定の単位(例えば画素行)ごとに選択する選択パルスを各画素21に供給するものである。信号線DTLは、映像信号Dinに応じた信号電圧Vsigの、各画素21への供給に用いられるものであり、信号電圧Vsigを含むデータパルスを各画素21に供給するものである。電源線DSLは、各画素21に電力を供給するものである。
各画素21は、例えば、赤色光を発する副画素22、緑色光を発する副画素22、および青色光を発する副画素22を含んで構成されている。なお、各画素21は、例えば、さらに、他の色(例えば、白色や、黄色など)を発する副画素22を含んで構成されていてもよい。各画素21において、複数の副画素22は、例えば、所定の方向に一列に並んで配置されている。
各信号線DTLは、後述の水平セレクタ41の出力端に接続されている。各画素列には、例えば、複数の信号線DTLが1本ずつ、割り当てられている。各走査線WSLは、後述のライトスキャナ42の出力端に接続されている。各画素行には、例えば、複数の走査線WSLが1本ずつ、割り当てられている。各電源線DSLは、電源の出力端に接続されている。各画素行には、例えば、複数の電源線DSLが1本ずつ、割り当てられている。
各副画素22は、画素回路22−1と、有機電界発光素子22−2とを有している。有機電界発光素子22−2は、上記第1の実施の形態に係る有機電界発光素子1である。
画素回路22−1は、有機電界発光素子22−2の発光・消光を制御する。画素回路22−1は、後述の書込走査によって各副画素22に書き込んだ電圧を保持する機能を有している。画素回路22−1は、例えば、駆動トランジスタTr1、書込トランジスタTr2および保持容量Csを含んで構成されている。
書込トランジスタTr2は、駆動トランジスタTr1のゲートに対する、映像信号Dinに対応した信号電圧Vsigの印加を制御する。具体的には、書込トランジスタTr2は、信号線DTLの電圧をサンプリングするとともに、サンプリングにより得られた電圧を駆動トランジスタTr1のゲートに書き込む。駆動トランジスタTr1は、有機電界発光素子22−2に直列に接続されている。駆動トランジスタTr1は、有機電界発光素子22−2を駆動する。駆動トランジスタTr1は、書込トランジスタTr2によってサンプリングされた電圧の大きさに応じて有機電界発光素子22−2に流れる電流を制御する。保持容量Csは、駆動トランジスタTr1のゲート−ソース間に所定の電圧を保持するものである。保持容量Csは、所定の期間中に駆動トランジスタTr1のゲート−ソース間電圧Vgsを一定に保持する役割を有する。なお、画素回路22−1は、上述の2Tr1Cの回路に対して各種容量やトランジスタを付加した回路構成となっていてもよいし、上述の2Tr1Cの回路構成とは異なる回路構成となっていてもよい。
各信号線DTLは、後述の水平セレクタ41の出力端と、書込トランジスタTr2のソースまたはドレインとに接続されている。各走査線WSLは、後述のライトスキャナ42の出力端と、書込トランジスタTr2のゲートとに接続されている。各電源線DSLは、電源回路と、駆動トランジスタTr1のソースまたはドレインに接続されている。
書込トランジスタTr2のゲートは、走査線WSLに接続されている。書込トランジスタTr2のソースまたはドレインが信号線DTLに接続されている。書込トランジスタTr2のソースおよびドレインのうち信号線DTLに未接続の端子が駆動トランジスタTr1のゲートに接続されている。駆動トランジスタTr1のソースまたはドレインが電源線DSLに接続されている。駆動トランジスタTr1のソースおよびドレインのうち電源線DSLに未接続の端子が有機電界発光素子22−2のアノード電極11に接続されている。保持容量Csの一端が駆動トランジスタTr1のゲートに接続されている。保持容量Csの他端が駆動トランジスタTr1のソースおよびドレインのうち有機電界発光素子22−2側の端子に接続されている。
(ドライバ40)
ドライバ40は、例えば、水平セレクタ41およびライトスキャナ42を有している。水平セレクタ41は、例えば、制御信号の入力に応じて(同期して)、コントローラ30から入力されたアナログの信号電圧Vsigを、各信号線DTLに印加する。ライトスキャナ42は、複数の副画素22を所定の単位ごとに走査する。
(コントローラ30)
次に、コントローラ30について説明する。コントローラ30は、例えば、外部から入力されたデジタルの映像信号Dinに対して所定の補正を行い、それにより得られた映像信号に基づいて、信号電圧Vsigを生成する。コントローラ30は、例えば、生成した信号電圧Vsigを水平セレクタ41に出力する。コントローラ30は、例えば、外部から入力された同期信号Tinに応じて(同期して)、ドライバ40内の各回路に対して制御信号を出力する。
本実施の形態では、第1の実施の形態に係る有機電界発光素子1が各副画素22の有機電界発光素子22−2に用いられている。これにより、有機電界発光素子1において、アノード電極11とカソード電極18との間で発生する短絡が抵抗層17によって防止されるので、有機電界発光素子1内の短絡に起因する滅点が生じるのを防止することができる。
<3.適用例>
以下では、上記第2の実施の形態に係る有機電界発光装置2の適用例について説明する。上記第2の実施の形態に係る有機電界発光装置2は、テレビジョン装置、デジタルカメラ、ノート型パーソナルコンピュータ、シート状のパーソナルコンピュータ、携帯電話等の携帯端末装置あるいはビデオカメラなど、外部から入力された映像信号あるいは内部で生成した映像信号を、画像あるいは映像として表示するあらゆる分野の電子機器の表示装置に適用することが可能である。
図11は、本適用例に係る電子機器3の外観を斜視的に表したものである。電子機器3は、例えば、筐体310の主面に表示面320を備えたシート状のパーソナルコンピュータである。電子機器3は、電子機器3の表示面320に、上記第2の実施の形態に係る有機電界発光装置2を備えている。上記第2の実施の形態に係る有機電界発光装置2は、有機電界発光パネル20が外側を向くように配置されている。本適用例では、上記第2の実施の形態に係る有機電界発光装置2が表示面320に設けられているので、有機電界発光素子1内の短絡に起因する滅点が生じ難い電子機器3を実現することができる。
以上、複数の実施の形態および適用例を挙げて本開示を説明したが、本開示は実施の形態等に限定されるものではなく、種々変形が可能である。なお、本明細書中に記載された効果は、あくまで例示である。本開示の効果は、本明細書中に記載された効果に限定されるものではない。本開示が、本明細書中に記載された効果以外の効果を持っていてもよい。
また、例えば、本開示は以下のような構成を取ることができる。
(1)
第1電極、発光層、抵抗層および第2電極をこの順に備え、
前記抵抗層は、1×104Ω・cm以上5×106Ω・cm以下の範囲内の比抵抗を有し、かつ、ZnO、Ga23およびSiO2のうち少なくとも2種類の混合材料によって構成され、
前記混合材料の組成比が図2の斜線で示された範囲内となっている
有機電界発光素子。
(2)
前記第2電極の、前記抵抗層とは反対側に、水素原子を含むガスを用いて作成された保護層を更に備えた
(1)に記載の有機電界発光素子。
(3)
前記保護層は、SiN、SiONまたはSiOによって構成されている
(2)に記載の有機電界発光素子。
(4)
第1電極と、発光層と、ZnO、Ga23およびSiO2のうち少なくとも2種類の混合材料によって構成され、前記混合材料の組成比が図2の斜線で示された範囲内となっている抵抗層と、第2電極とをこの順に形成した後、水素原子を含むガスを用いて保護層を形成することにより、前記抵抗層の比抵抗を1×104Ω・cm以上5×106Ω・cm以下の範囲内とすること
を含む
有機電界発光素子の製造方法。
1…有機電界発光素子、2…有機電界発光装置、3…電子機器、11…アノード電極、12…正孔注入層、13…正孔輸送層、14…発光層、15…電子輸送層、16…電子注入層、17…抵抗層、18…カソード電極、19…保護層、20…有機電界発光パネル、21…画素、22…副画素、22−1…画素回路、22−2…有機電界発光素子、30…コントローラ、40…ドライバ、41…水平セレクタ、42…ライトスキャナ、310…筐体、320…表示面、Tr1…駆動トランジスタ、Tr2…選択トランジスタ、Cs…保持容量、DSL…電源線、DTL…信号線、Vgs…ゲート−ソース間電圧、Vsig…信号電圧、WSL…選択線。

Claims (4)

  1. 第1電極、発光層、抵抗層および第2電極をこの順に備え、
    前記抵抗層は、1×104Ω・cm以上5×106Ω・cm以下の範囲内の比抵抗を有し、かつ、ZnO、Ga23およびSiO2のうち少なくとも2種類の混合材料によって構成され、
    前記混合材料の組成比が以下の図中の斜線で示された範囲内となっている
    有機電界発光素子。
    [図1]
    Figure 0006879568
  2. 前記第2電極の、前記抵抗層とは反対側に、水素原子を含むガスを用いて作成された保護層を更に備えた
    請求項1に記載の有機電界発光素子。
  3. 前記保護層は、SiN、SiONまたはSiOによって構成されている
    請求項2に記載の有機電界発光素子。
  4. 第1電極と、発光層と、ZnO、Ga23およびSiO2のうち少なくとも2種類の混
    合材料によって構成され、前記混合材料の組成比が以下の図中の斜線で示された範囲内となっている抵抗層と、第2電極とをこの順に形成した後、水素原子を含むガスを用いて保護層を形成することにより、前記抵抗層の比抵抗を1×104Ω・cm以上5×106Ω・cm以下の範囲内とすること
    を含む
    有機電界発光素子の製造方法。
    [図2]
    Figure 0006879568
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Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002208479A (ja) * 2001-01-05 2002-07-26 Toppan Printing Co Ltd 有機led素子用中間抵抗膜付基板および有機led素子
JP3948365B2 (ja) * 2002-07-30 2007-07-25 株式会社島津製作所 保護膜製造方法および有機el素子
US20080100202A1 (en) * 2006-11-01 2008-05-01 Cok Ronald S Process for forming oled conductive protective layer
JP5115491B2 (ja) * 2009-02-12 2013-01-09 ソニー株式会社 有機電界発光素子および表示装置
JP5463882B2 (ja) * 2009-12-01 2014-04-09 ソニー株式会社 発光素子及びその製造方法
JP2013084413A (ja) * 2011-10-07 2013-05-09 Sony Corp 表示装置およびその製造方法、並びに電子機器
JP2013207167A (ja) * 2012-03-29 2013-10-07 Sony Corp 発光素子及び表示装置
JP2013207010A (ja) * 2012-03-28 2013-10-07 Sony Corp 発光素子、発光素子の製造方法、表示装置および照明装置
CN103367650A (zh) * 2012-03-28 2013-10-23 索尼公司 发光元件及显示装置
TWI589043B (zh) * 2012-06-20 2017-06-21 Japan Science & Tech Agency Organic electroluminescent device

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