JP6866801B2 - X線検出器監視装置 - Google Patents
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Description
エネルギー分散型蛍光X線分析装置201は、試料Sが内部に配置される分析チャンバ20と、X線管10とX線検出器ユニット30とが内部に配置される装置筐体50と、X線検出器ユニット30とペルチェ素子60とを制御する制御基板(制御部)240及びコンピュータ(制御部)270とを備える(例えば特許文献1及び特許文献2参照)。
このような分析チャンバ20によれば、上部チャンバ21を開くことにより、試料Sの分析面が試料ベース23の開口を塞ぐように配置することができ、試料Sの配置後は上部チャンバ21を閉めて、上部チャンバ21と下部チャンバ22の内部を高真空に排気することができる。
よって、試料Sの分析面が試料ベース23の開口を塞ぐように当接されることで、試料Sの分析面が一次X線に照射されることになる。
よって、試料Sの分析面が一次X線に照射されると、試料Sの分析面で蛍光X線が発生して、X線検出素子32は蛍光X線の強度(電気信号)を検出する。
そして、測温抵抗体81は、X線検出素子32の温度を検出して、検出素子温度情報Ttを所定時間間隔Δtで温度制御手段240aに出力する。また、ペルチェ素子60は、温度制御手段240aから任意の電流値(出力値)Itのペルチェ電流が流されて極低温となり、これによりX線検出素子32は設定温度TSに冷却される。
しかしながら、スローリークによりX線検出器ユニット30が使用不能となる時期は、X線検出器ユニット30の使用時間とは相関性がないため、使用者はX線検出器ユニット30の交換時期を把握することができず、突然装置が使用できなくなるという問題点があった。
また、上記の発明において、前記真空状態が異常であると判定するための出力値閾値を記憶するとともに、前記冷却手段に出力された前記出力値を記憶していくための記憶部を備え、前記制御部は、前記出力値の時間変化及び前記出力値閾値に基づいて前記X線検出器の交換時期を通知する交換時期予測手段を有するようにしてもよい。
さらに、上記の発明において、前記出力値は、前記ペルチェ素子又はヒータに出力される電圧値及び/又は電流値であるようにしてもよい。
図1は、本発明の実施形態に係るエネルギー分散型蛍光X線分析装置の一例を示す概略構成図である。なお、先に述べたエネルギー分散型蛍光X線分析装置201と同様のものについては、同じ符号を付している。
エネルギー分散型蛍光X線分析装置1は、試料Sが内部に配置される分析チャンバ20と、X線管10とX線検出器ユニット30とが内部に配置される装置筐体50と、測温抵抗体(検出器周囲温度センサ)82と、X線検出器ユニット30とペルチェ素子60とを制御する制御基板(制御部)40及びコンピュータ(制御部)70とを備える。
図2は、本発明の実施形態に係るエネルギー分散型蛍光X線分析装置の他の一例を示す概略構成図である。なお、先に述べたエネルギー分散型蛍光X線分析装置1、201と同様のものについては、同じ符号を付している。
エネルギー分散型蛍光X線分析装置101は、試料Sが内部に配置される分析チャンバ20と、X線管10とX線検出器ユニット130とが内部に配置される装置筐体150と、冷却手段160と、測温抵抗体(検出器周囲温度センサ)82と、X線検出器ユニット130と冷却手段160とを制御する制御基板(制御部)40及びコンピュータ(制御部)170とを備える。
伝熱部材163は、一端部がX線検出器ユニット130のX線検出素子32に接続されるとともに、他端部が冷媒容器162に接続されている。これにより、伝熱部材163の他端部は冷媒容器162内の冷媒によって極低温に冷却され、この冷熱が伝熱部材163を介してX線検出素子32に伝えられることにより、X線検出素子32は極低温に冷却される。
10 X線管
20 分析チャンバ
30 X線検出器ユニット(X線検出器)
31 X線導入窓
32 X線検出素子
33 真空断熱容器
40 制御基板(制御部)
60 ペルチェ素子(冷却手段)
70 コンピュータ(制御部)
81 測温抵抗体(検出素子温度センサ)
Claims (5)
- X線の強度を検出するX線検出素子と、X線導入窓が形成された真空断熱容器とを有するX線検出器と、
前記X線検出素子を冷却するための冷却手段と、
前記X線検出素子に取り付けられ、前記X線検出素子の温度を検出して検出素子温度情報を出力する検出素子温度センサと、
前記検出素子温度情報が設定温度となるように、前記冷却手段を制御するための出力値を演算して、当該出力値を前記冷却手段に出力する制御部とを備えるX線検出器監視装置であって、
前記制御部は、前記出力値に基づいて前記真空断熱容器の真空状態を検知することを特徴とするX線検出器監視装置。 - 前記真空状態が異常であると判定するための出力値閾値を記憶するとともに、前記冷却手段に出力された前記出力値を記憶していくための記憶部を備え、
前記制御部は、前記出力値の時間変化及び前記出力値閾値に基づいて前記X線検出器の交換時期を通知する交換時期予測手段を有することを特徴とする請求項1に記載のX線検出器監視装置。 - 前記X線検出器の外部に配置され、前記X線検出器の周囲の温度を検出して、検出器周囲温度情報を出力する検出器周囲温度センサを備え、
前記制御部は、前記出力値及び前記検出器周囲温度情報に基づいて前記真空断熱容器の真空状態を検知することを特徴とすることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のX線検出器監視装置。 - 前記冷却手段は、ペルチェ素子、又は、液体窒素とヒータとの組み合わせであることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載のX線検出器監視装置。
- 前記出力値は、前記ペルチェ素子又はヒータに出力される電圧値及び/又は電流値であることを特徴とする請求項4に記載のX線検出器監視装置。
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