JP6863578B2 - 赤外顕微鏡 - Google Patents
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Description
赤外光を放射する光源と、前記赤外光を試料に照射する赤外光照射手段と、前記試料を透過または反射した赤外光を集光する赤外光集光手段と、集光した赤外光を検出するための検出手段と、を備えた赤外顕微鏡であって、
前記赤外光照射手段は第1のアパーチャーを備え、該第1のアパーチャーは前記光源からの赤外光が前記第1のアパーチャーを通過して前記試料へ照射される位置に配置され、
前記赤外光集光手段は第2のアパーチャーを備え、該第2のアパーチャーは前記第1のアパーチャーの位置における赤外光に対する結像点に位置し、
前記第1のアパーチャーは、複数の穴を有し、
前記穴は、前記検出手段が前記赤外光を検出光として検出できるように、前記検出手段に設けられた受光素子の配列に対応した間隔で配列され、
前記第2のアパーチャーは、前記第1のアパーチャーと同じ大きさおよび同じ配列の穴を有することを特徴とする。
第1の配列方向の間隔が規則的であり、第2の配列方向の間隔も規則的であることが好ましい。
第1の配列方向の間隔が不規則的であり、第2の配列方向の間隔も不規則的であることが好ましい。
前記MCT検出器が備える受光素子の配列および前記赤外光の波長に応じて前記アパーチャーの切換えが行われることが好ましい。
前記検出手段によって検出された赤外光の干渉波を解析する解析手段が設けられていることが好ましい。
前記第1の照射経路および第2の照射経路の両方の照射経路に前記第1のアパーチャーを備えたことが好ましい。
<第1実施形態>
赤外光照射光学系14は赤外光を試料16方向へ反射させる照射ミラー22と、第1のアパーチャー24と、赤外光をビームスポットとして試料16へ照射するための照射カセグレンミラー26を備える。光源12から放射された赤外光は照射ミラー22に到達すると試料16方向へと反射される。ここでの赤外光の波長は測定試料および測定方法(赤外光の波長、透過による測定、反射による測定等)にもよるが、1.0μm〜30μmであり、特に好ましくは2.0μm〜25μmが好適である。そして、反射ミラー22によって反射された赤外光は、第1のアパーチャー24へ到達する。
図2(a)〜(c)に第1のアパーチャー24の外形および穴の形状を示す。第1のアパーチャー24は少なくとも1以上の穴を有しており、それぞれの穴が一般的なアパーチャー(ピンホール)の役割を果たしている。また、第1のアパーチャー24は1種類ではなく、例えば図2(a)のように縦長の穴が1つのアパーチャーや、図2(b)のように縦方向に一定間隔で複数の穴が配列されているものや、図2(c)のように2次元状に縦横一定間隔で穴が配列されているもの等を数種類用意する。本実施形態では3種類のアパーチャーを用意しているが、当然ながら2種類でも3種類以上でも構わない。また、測定試料が決まっているような赤外顕微鏡であれば、第1のアパーチャー24は少なくとも1以上の穴を有する1種類のアパーチャーでも構わない。そして、図2(a)〜(c)は穴が規則的に配列された形状となっているが、このような配列に限定されず、例えば不規則な配列形状の穴を有するアパーチャーや、他の形状のアパーチャーでも構わない。加えて、アパーチャーの外形は図2(a)〜(c)のような四角形状に限定されず、例えば円形状や他の形状でも構わない。このように複数個用意した第1のアパーチャー24の中から、試料16の特性や赤外光の波長に合わせて適宜アパーチャーを選定して、測定に使用する。本実施形態では、図2(b)のアパーチャーを選定するものとする。
赤外光集光光学系18は、試料16を透過したビームスポットとしての赤外光を集光するための集光カセグレンミラー28と、第1のアパーチャー24に対応した第2のアパーチャー30と、該第2のアパーチャーを通過した光をMCT検出器20の方向へ反射させる集光ミラー32から構成される。試料16を透過した赤外光(図3(b)の形状の赤外光)は、集光カセグレンミラー28によって集光され、第2のアパーチャー30に到達する。
第2のアパーチャー30は、第1のアパーチャー24と同等のものを用意する。本明細書における同等とは、穴の位置や大きさ等のアパーチャー機能(ピンホール機能)が同等であることを意味する。従って、例えば図2(a)〜(c)と穴の位置や大きさが同じであれば、アパーチャー自体の外形寸法、材質、色、形状等が異なっていても構わない。例えば、第1のアパーチャー24は図2に示すような四角形状であるが、第2のアパーチャー30が丸形状やその他の形状でも構わない。そして、第2のアパーチャー30は、第1のアパーチャー24の位置における赤外光に対する結像位置に配置する。ここで、第2のアパーチャー30は、第1のアパーチャー24位置における赤外光に対して共焦点効果が得られれば良く、例えば、結像位置から少しずれた位置に配置されていても、第1のアパーチャー24と相似関係が成り立ち、共焦点効果が得られれば良い。
<第2実施形態>
赤外光照射光学系114は、干渉計140と、照射経路Aまたは照射経路Bのどちらか一方に赤外光を反射するための切換えミラー162と、試料116の方向に赤外光を導く照射ミラー122Aおよび122Bと、さらに、試料116方向に照射経路Aを通過した赤外光(試料を透過する赤外光)を導くための透過光導光ミラー164と、試料116方向に照射経路Bを通過した赤外光(試料を反射する赤外光)を導く反射光導光ミラー166と、試料116を透過する赤外光を試料116へ照射するための照射カセグレンミラー126と、試料116を反射する赤外光を試料116へ照射するための集光カセグレンミラー128と、を備える。光源112から放射された赤外光は後述する干渉計140で干渉光となり、切換えミラー162の方向へと進む。
赤外光集光光学系118は、試料116を透過または反射した赤外光を集光するための集光カセグレンミラー128と、第1のアパーチャー124に対応した第2のアパーチャー130と、該第2のアパーチャーを通過した光を集光ミラー132へ導く第1平面ミラー168および第2平面ミラー170と、集光した赤外光をMCT検出器120の方向へ反射させる集光ミラー132から構成される。集光カセグレンミラー128は、赤外光照射光学系114における照射経路Bを通過した赤外光を試料116へ照射するための集光カセグレンミラー128と共通のものである。
<第3実施形態>
<第4実施形態>
加えて、赤外光照射光学系に照射経路Aおよび照射経路Bを備え、両方の照射経路にそれぞれ第1のアパーチャーを設け、赤外光集光光学系に第2のアパーチャーを備えることによって、クロストークの少ない良好な測定ができ、且つ、透過・反射の両方の測定に対応可能な赤外顕微鏡が得られる。
さらに、試料と切換えミラーの間に第1のアパーチャーを備えることによって、第1のアパーチャーを2つ準備することなく、クロストークの少ない良好な測定ができ、且つ、透過・反射の両方の測定に対応可能な赤外顕微鏡が得られる。
12 112 212 312 光源
14 114 214 314 赤外光照射光学系
16 116 216 316 試料
18 118 218 318 赤外光集光光学系
20 120 220 320 MCT検出器
22 照射ミラー
122A 222A 322A 照射ミラー
122B 222B 322B 照射ミラー
24 224 324 第1のアパーチャー
124A 第1のアパーチャー
124B 第1のアパーチャー
26 126 226 326 照射カセグレンミラー
28 128 228 328 集光カセグレンミラー
30 130 230 330 第2のアパーチャー
32 132 232 332 集光ミラー
140 240 340 干渉計
142 242 342 干渉計スリット
144 244 344 第1干渉計ミラー
146 246 346 第2干渉計ミラー
148 248 分解能決定スリット
150 250 350 第3干渉計ミラー
152 252 352 半透鏡
154 254 354 固定鏡
156 256 356 移動鏡
258 第1凹面ミラー
260 第2凹面ミラー
162 262 362 切換えミラー
164 264 364 透過光導光ミラー
166 266 366 反射光導光ミラー
168 268 368 第1平面ミラー
170 270 370 第2平面ミラー
Claims (12)
- 赤外光を放射する光源と、前記赤外光を試料に照射する赤外光照射手段と、前記試料を透過または反射した赤外光を集光する赤外光集光手段と、集光した赤外光を検出するための検出手段と、を備えた赤外顕微鏡であって、
前記赤外光照射手段は第1のアパーチャーを備え、該第1のアパーチャーは前記光源からの赤外光が前記第1のアパーチャーを通過して前記試料へ照射される位置に配置され、
前記赤外光集光手段は第2のアパーチャーを備え、該第2のアパーチャーは前記第1のアパーチャーの位置における赤外光に対する結像点に位置し、
前記第1のアパーチャーは、複数の穴を有し、
前記穴は、前記検出手段が前記赤外光を検出光として検出できるように、前記検出手段に設けられた受光素子の配列に対応した間隔で配列され、
前記第2のアパーチャーは、前記第1のアパーチャーと同じ大きさおよび同じ配列の穴を有し、
前記第1のアパーチャーおよび第2のアパーチャーは穴の数ないし穴の配列が異なる複数個のアパーチャーを有し、該第1のアパーチャーおよび第2のアパーチャーは前記複数個のアパーチャーの中から前記赤外光の波長に応じて選択された1個のアパーチャーであることを特徴とする赤外顕微鏡。 - 請求項1に記載の赤外顕微鏡であって、
前記第1のアパーチャーおよび第2のアパーチャーの前記穴は、一方向に規則的な間隔で配列されることを特徴とする赤外顕微鏡。 - 請求項1または請求項2に記載の赤外顕微鏡であって、
前記第1のアパーチャーおよび第2のアパーチャーの前記穴は、二次元配列され、
第1の配列方向の間隔が規則的であり、第2の配列方向の間隔も規則的であることを特徴とする赤外顕微鏡。 - 請求項1に記載された赤外顕微鏡であって、
前記第1のアパーチャーおよび第2のアパーチャーの前記穴は、一方向に不規則的な間隔で配列されることを特徴とする赤外顕微鏡。 - 請求項4に記載された赤外顕微鏡であって、
前記第1のアパーチャーおよび第2のアパーチャーの前記穴は、二次元配列され、
第1の配列方向の間隔が不規則的であり、第2の配列方向の間隔も不規則的であることを特徴とする赤外顕微鏡。 - 請求項1〜5の何れかに記載の赤外顕微鏡であって、
前記赤外光照射手段と前記試料を透過した赤外光を集光する前記赤外光集光手段の両方またはどちらか一方にカセグレンミラーを含むことを特徴とする赤外顕微鏡。 - 請求項1〜5の何れかに記載の赤外顕微鏡であって、
前記赤外光照射手段および前記試料を反射した赤外光を集光する前記赤外光集光手段は、共通のカセグレンミラーを含むことを特徴とする赤外顕微鏡。 - 請求項1〜7の何れかに記載の赤外顕微鏡であって、
前記検出手段は、MCT検出器であって、
前記MCT検出器が備える受光素子の配列および前記赤外光の波長に応じて前記アパーチャーの切換えが行われることを特徴とする赤外顕微鏡。 - 請求項1〜8の何れかに記載の赤外顕微鏡であって、
前記赤外光照射手段は、前記光源から放射された赤外光を移動鏡の走査に伴い赤外光の干渉波を生成する干渉計を備え、
前記検出手段によって検出された赤外光の干渉波を解析する解析手段が設けられていることを特徴とする赤外顕微鏡。 - 請求項1〜9の何れかに記載の赤外顕微鏡であって、
前記第1のアパーチャーは、前記干渉計に含まれることを特徴とする赤外顕微鏡。 - 請求項1〜9の何れかに記載の赤外顕微鏡であって、
前記赤外光照射手段は、透過による測定のための第1の照射経路と、反射による測定のための第2の照射経路と、を備え、
前記第1の照射経路および第2の照射経路の両方の照射経路に前記第1のアパーチャーを備えたことを特徴とする赤外顕微鏡。 - 請求項1〜11の何れかに記載の赤外顕微鏡であって、
前記赤外光の波長が2μm以上であることを特徴とする赤外顕微鏡。
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