JP6860729B2 - はんだ付製品製造装置及びはんだ付製品の製造方法 - Google Patents
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Description
11 チャンバ
13、13A ステージ
15 ヒータ
16、16A、16B カバー
16h メッシュ部
19 ギ酸供給部
F ギ酸ガス
S はんだバンプ
W 基板
Claims (10)
- はんだが配列された基板が載置されるステージと;
前記ステージに載置された前記基板の少なくとも上部全体を所定の距離をあけて覆うカバーと;
前記ステージと前記カバーとを収容するチャンバと;
前記ステージに載置された前記基板を加熱する加熱部と;
酸化物を還元する還元ガスを前記チャンバ内に供給する還元ガス供給装置とを備える;
はんだ付製品製造装置。 - 前記所定の距離は、前記基板に配列されたはんだと前記カバーとの最短距離で規定される;
請求項1に記載のはんだ付製品製造装置。 - 前記最短距離が0.1mm〜20mmに構成された;
請求項2に記載のはんだ付製品製造装置。 - 前記所定の距離は、前記基板と前記基板の上方の部分の前記カバーとの最短距離で規定される;
請求項1に記載のはんだ付製品製造装置。 - 前記加熱部が、前記基板が載置された前記ステージを加熱することによって前記基板を加熱するように構成され;
前記カバーが、前記ステージからの熱伝達が生じるように前記ステージに接触して構成された;
請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載のはんだ付製品製造装置。 - はんだが配列された基板が載置されるステージと;
前記ステージに載置された前記基板の少なくとも上部を所定の距離をあけて覆うカバーと;
前記ステージと前記カバーとを収容するチャンバと;
前記ステージに載置された前記基板を加熱する加熱部と;
酸化物を還元する還元ガスを前記チャンバ内に供給する還元ガス供給装置とを備え;
前記加熱部が、前記基板が載置された前記ステージを加熱することによって前記基板を加熱するように構成され;
前記カバーが、前記ステージからの熱伝達が生じるように前記ステージに接触して構成された;
はんだ付製品製造装置。 - 前記カバーが、前記ステージに載置された前記基板の周囲の空間を包囲するように構成された;
請求項5又は請求項6に記載のはんだ付製品製造装置。 - 前記カバーは、前記基板上の物質から生成された気化した物質を通すが液化又は固化した前記物質を通さないメッシュ部を有する;
請求項1乃至請求項7のいずれか1項に記載のはんだ付製品製造装置。 - 請求項1乃至請求項8のいずれか1項に記載のはんだ付製品製造装置を用いてはんだ付製品を製造する方法であって;
前記はんだが配列された前記基板を前記ステージに載置する載置工程と;
前記ステージに載置された前記基板の少なくとも上部全体を、前記はんだから距離をあけて前記カバーで覆う覆い工程と;
前記覆い工程の後に、前記基板を加熱する加熱工程と;
前記チャンバ内に前記還元ガスを供給する還元ガス供給工程とを備える;
はんだ付製品の製造方法。 - 前記覆い工程は、前記はんだから前記カバーまでの最短部分の距離が0.1mm〜20mmに構成された;
請求項9に記載のはんだ付製品の製造方法。
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