JP6860727B2 - 半導体装置の製造方法および半導体製造装置 - Google Patents
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Description
図1は、実施の一形態による半導体製造装置の概略構成を示すブロック図の一例である。図1に示すCMP装置1は、台座部11と、第2駆動ユニット26と、研磨布12と、被加工物14を保持する保持部13と、第1駆動ユニット24と、供給部15と、音響反射(Acoustic Emission:以下、適宜「AE」という)センサ16と、弾性波処理ユニット18と、制御コンピュータ22と、を含む。
次に、AEセンサ16および弾性波処理ユニット18によるスクラッチ/クラックの発生を具体的に検出・予測する方法についてモニタ方法の実施形態として以下に説明する。
AEセンサ16により被加工物14の研磨中に被加工物14からの弾性波を検出し、得られた弾性波を弾性波処理ユニット18により解析する。本実施形態では、フーリエ変換を用いた周波数分析により解析を行う。
本実施形態は、参照データを予め準備し、被加工物14の研磨中にAEセンサ16により得られた弾性波データに対し、参照データを用いたパターン認識を行い、これにより、今後発生し得るスクラッチ/クラックの種類および程度の予測を可能にするものである。
Claims (8)
- 被加工物を保持する回転可能な第1テーブルと、
前記被加工物を研磨布によって研磨するための回転可能な第2テーブルと、
前記研磨布の表面にスラリを供給する供給部と、
前記被加工物の研磨中に前記被加工物から発生する弾性波を検出するAE(Acoustic Emission)センサと、
前記AEセンサにより検出された弾性波を解析する弾性波処理ユニットと、
制御部と、を備え、
前記弾性波処理ユニットは、
他の被加工物に対する研磨がスクラッチまたはクラックが発生することなく終了した場合に得られた第1弾性波データと、他の被加工物に対する研磨中にスクラッチまたはクラックが発生した場合にその種類および程度毎に得られた第2弾性波データとを、4次元以上の特徴量のそれぞれを軸とする特徴空間にプロットし、
前記特徴空間にプロットされた前記第1弾性波データと前記第2弾性波データを、正常研磨モードと、スクラッチまたはクラックの前記種類および前記程度毎の複数の不良モードとにカテゴライズし、
前記被加工物の前記研磨中に、前記AEセンサにより得られる第3弾性波データを、前記特徴空間にプロットし、
パターン認識を行うことで、前記第3弾性波データが前記正常研磨モードと前記複数の不良モードのいずれに対応するかを特定する、半導体製造装置。 - 前記特徴空間の各軸の特徴量は、前記第1弾性波データおよび前記第2弾性波データのそれぞれにフーリエ変換を用いて周波数分析を行って得られる、請求項1に記載の半導体製造装置。
- 前記研磨の前に、前記第2弾性波データとして、スクラッチまたはクラックの種類と、その程度が同じとなる複数のデータが収集される、請求項 1 に記載の半導体製造装置。
- 前記データを収集するときに、シミュレーションを用いて生成されたデータが使用される、請求項3に記載の半導体製造装置。
- 前記第2テーブルを回転可能に保持する円柱状の台座部をさらに有し、
前記供給部は、前記第2テーブルの前記表面側に配置され、前記台座部の延伸方向からみたとき円の中央部に配置される、請求項1に記載の半導体製造装置。 - 前記AEセンサは、前記第2テーブルの前記表面側に配置される、請求項5に記載の半導体製造装置。
- 前記制御部は、前記弾性波処理ユニットが前記被加工物の異常を検出または予測した場合、前記研磨を中止すること、前記研磨の研磨条件を変更すること、または前記研磨を継続することを決定する、請求項1に記載の半導体製造装置。
- 請求項1から7のいずれか一項に記載の前記半導体製造装置を用いて半導体装置を製造することを含む、半導体装置の製造方法。
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