JP6857836B2 - Epoxy resin composition for encapsulation, cured product, and semiconductor device - Google Patents
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Description
本発明は、封止用エポキシ樹脂組成物、前記封止用エポキシ樹脂組成物の硬化物、及び前記封止用エポキシ樹脂組成物の硬化物で封止された半導体装置に関する。 The present invention relates to a sealing epoxy resin composition, a cured product of the sealing epoxy resin composition, and a semiconductor device sealed with a cured product of the sealing epoxy resin composition.
従来、トランジスタ、IC、LSI等の半導体素子を外部環境からの保護したり、半導体素子のハンドリング性を向上したりするため、半導体素子をプラスチックパッケージすること、例えばエポキシ樹脂組成物で封止することで、半導体装置を得ることが行われている。 Conventionally, in order to protect semiconductor elements such as transistors, ICs, and LSIs from the external environment and improve the handleability of semiconductor elements, the semiconductor elements are packaged in plastic, for example, sealed with an epoxy resin composition. Therefore, a semiconductor device is being obtained.
一般に、エポキシ樹脂組成物には、成形時の硬化反応を速めるために硬化促進剤が配合される。硬化促進剤としては、例えば、アミン、イミダゾール系化合物、1,8−ジアザビシクロ(5,4,0)ウンデセン−7等の含窒素複素環式化合物、ホスフィン系化合物、第4級アンモニウム化合物、第4級ホスホニウム化合物、アルソニウム化合物等が挙げられる。 Generally, the epoxy resin composition contains a curing accelerator in order to accelerate the curing reaction during molding. Examples of the curing accelerator include amines, imidazole compounds, nitrogen-containing heterocyclic compounds such as 1,8-diazabicyclo (5,4,0) undecene-7, phosphine compounds, quaternary ammonium compounds, and quaternary ammonium compounds. Examples thereof include a higher phosphonium compound and an arsonium compound.
特に第4級ホスホニウム化合物を含有するエポキシ樹脂組成物は、耐湿信頼性及び保存安定性に優れるため、高流動性を要求される薄型パッケージ用の封止材料として用いられている。第4級ホスホニウム化合物の中でも、特にテトラフェニルホスホニウム・テトラフェニルボレート(以下、TPP−Kという)が一般に用いられている。TPP−Kはそのままでは非常に安定で触媒活性が低いため、TPP−Kをあらかじめフェノール樹脂とともに加熱することで得られたフェノール樹脂塩をエポキシ樹脂組成物に配合している。しかし、TPP−Kのフェノール樹脂塩の生成時には微量のベンゼンが生成してしまう。このベンゼンがエポキシ樹脂組成物から環境に放出されて環境悪化が引き起こされてしまう。 In particular, an epoxy resin composition containing a quaternary phosphonium compound is used as a sealing material for thin packages that require high fluidity because it is excellent in moisture resistance reliability and storage stability. Among the quaternary phosphonium compounds, tetraphenylphosphonium / tetraphenylborate (hereinafter referred to as TPP-K) is generally used. Since TPP-K is very stable and has low catalytic activity as it is, a phenol resin salt obtained by heating TPP-K together with a phenol resin in advance is blended in the epoxy resin composition. However, a small amount of benzene is produced when the phenol resin salt of TPP-K is produced. This benzene is released from the epoxy resin composition to the environment, causing environmental deterioration.
そのような問題が生じない硬化促進剤として、トリフェニルホスホニウム(以下、TPPという)から誘導されたアルキル第4級化ホスホニウムのフェノール樹脂塩が提案されている(特許文献1及び2参照)。 As a curing accelerator that does not cause such a problem, a phenol resin salt of an alkyl quaternized phosphonium derived from triphenylphosphonium (hereinafter referred to as TPP) has been proposed (see Patent Documents 1 and 2).
しかし、特許文献1及び2に記載されている硬化促進剤を含有するエポキシ樹脂組成物は硬化しやすいため、長期間保存することが困難である。また、このエポキシ樹脂組成物を溶融させるために加熱した場合、速やかに硬化反応が進行してしまうため、エポキシ樹脂組成物を溶融させてから金型内で成形する場合、金型内に十分に充填される前にエポキシ樹脂組成物の溶融粘度が速やかに上昇してしまう。半導体封止用のエポキシ樹脂組成物には無機充填材が含まれているため、硬化反応の進行による溶融粘度上昇が成形性に与える影響は著しい。このため、成形中にエポキシ樹脂組成物が半導体素子の配線を押し流したり、金型内におけるエポキシ樹脂組成物の未充填によっていわゆるウエルドボイドが生じたりしやすい。 However, since the epoxy resin composition containing the curing accelerator described in Patent Documents 1 and 2 is easily cured, it is difficult to store it for a long period of time. Further, when the epoxy resin composition is heated to melt it, the curing reaction proceeds rapidly. Therefore, when the epoxy resin composition is melted and then molded in the mold, the epoxy resin composition is sufficiently contained in the mold. The melt viscosity of the epoxy resin composition rapidly increases before it is filled. Since the epoxy resin composition for encapsulating a semiconductor contains an inorganic filler, an increase in melt viscosity due to the progress of the curing reaction has a significant effect on moldability. Therefore, the epoxy resin composition tends to wash away the wiring of the semiconductor element during molding, and so-called weld voids are likely to occur due to the unfilling of the epoxy resin composition in the mold.
エポキシ樹脂組成物の溶融時の流動性を確保するため、硬化促進剤として、微粉砕されたホスホニウム塩の粒子を使用することも提案されている(特許文献3及び4参照)。しかし、特許文献3及び4に開示されている微粉砕されたホスホニウム塩の粒子はエポキシ樹脂組成物中で溶解及び分散しにくく、このため、例えばフリップチップパッケージにおける半導体素子を封止する場合に微細なバンプ間の隙間に粒子が引っかかることで絶縁不良が引き起こされる可能性がある。 In order to ensure the fluidity of the epoxy resin composition during melting, it has also been proposed to use finely pulverized phosphonium salt particles as a curing accelerator (see Patent Documents 3 and 4). However, the finely pulverized phosphonium salt particles disclosed in Patent Documents 3 and 4 are difficult to dissolve and disperse in the epoxy resin composition, and therefore, for example, when sealing a semiconductor element in a flip chip package, the particles are fine. Insulation failure may be caused by particles getting caught in the gaps between the bumps.
本発明の目的は、硬化促進剤としてホスホニウム塩を含有しながら、硬化促進剤の分散性に優れるとともに、流動性、硬化性及び保存安定性に優れた封止用エポキシ樹脂組成物、この封止用エポキシ樹脂組成物の硬化物、及びこの封止用エポキシ樹脂組成物の硬化物で封止された半導体装置を提供することである。 An object of the present invention is an epoxy resin composition for sealing, which contains a phosphonium salt as a curing accelerator, has excellent dispersibility of the curing accelerator, and has excellent fluidity, curability, and storage stability. It is an object of the present invention to provide a cured product of an epoxy resin composition for sealing, and a semiconductor device sealed with a cured product of the epoxy resin composition for sealing.
本発明の一態様に係る封止用エポキシ樹脂組成物は、
エポキシ樹脂(A)、
硬化剤(B)、
硬化促進剤(C)及び
無機充填材(D)
を含有し、
前記硬化促進剤(C)は、下記式(1)で示される第4級ホスホニウム(C1)と下記式(2)で示される有機フェノール化合物(c21)のアニオン(C2)とからなるホスホニウム塩(CA)、及び下記式(3)で示される有機フェノール化合物(CC)を有する。
The epoxy resin composition for sealing according to one aspect of the present invention is
Epoxy resin (A),
Hardener (B),
Curing accelerator (C) and inorganic filler (D)
Contains,
The curing accelerator (C) is a phosphonium salt (C2) composed of a quaternary phosphonium (C1) represented by the following formula (1) and an anion (C2) of an organic phenol compound (c21) represented by the following formula (2). It has CA) and an organic phenol compound (CC) represented by the following formula (3).
上記式(1)中、R1からR3は各々独立に炭素数6〜12のアリール基であり、R4は炭素数1〜8のアルキル基又は炭素数6〜12のアリール基である。 In the above formula (1), R1 to R3 are independently aryl groups having 6 to 12 carbon atoms, and R4 is an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms or an aryl group having 6 to 12 carbon atoms.
上記式(2)中、R5〜R8は各々独立に水素、炭素数1〜4のアルキル基又は水酸基であり、R9は炭素数1〜18のアルキル基、炭素数6〜18のアリール基、ベンジル基、ヒドロキシアルキル基又はアリル基である。 In the above formula (2), R5 to R8 are independently hydrogen, an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms or a hydroxyl group, and R9 is an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms, an aryl group having 6 to 18 carbon atoms, and benzyl. Group, hydroxyalkyl group or allyl group.
上記式(3)中、R10は炭素数1〜18のアルキル基又は炭素数6〜18のアリール基であり、R11はその少なくとも一部として下記式(4)に示す基を有する炭素数6〜50の原子団である。 In the above formula (3), R10 is an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms or an aryl group having 6 to 18 carbon atoms, and R11 has 6 to 6 carbon atoms having a group represented by the following formula (4) as at least a part thereof. There are 50 atomic groups.
本発明の一態様に係る硬化物は、前記封止用エポキシ樹脂組成物の硬化物である。 The cured product according to one aspect of the present invention is a cured product of the sealing epoxy resin composition.
本発明の一態様に係る半導体装置は、半導体素子と、前記半導体素子を封止する封止材とを備え、前記封止材が前記硬化物を含む。 The semiconductor device according to one aspect of the present invention includes a semiconductor element and a sealing material for sealing the semiconductor element, and the sealing material contains the cured product.
本発明の一態様によれば、流動性、硬化性及び保存安定性に優れた封止用エポキシ樹脂組成物、この封止用エポキシ樹脂組成物の硬化物、及びこの封止用エポキシ樹脂組成物の硬化物で封止された半導体装置が得られる。 According to one aspect of the present invention, a sealing epoxy resin composition having excellent fluidity, curability and storage stability, a cured product of the sealing epoxy resin composition, and the sealing epoxy resin composition. A semiconductor device sealed with the cured product of is obtained.
本発明の一実施形態に係る封止用エポキシ樹脂組成物は、エポキシ樹脂(A)、硬化剤(B)、硬化促進剤(C)及び無機充填材(D)を含有する。 The sealing epoxy resin composition according to one embodiment of the present invention contains an epoxy resin (A), a curing agent (B), a curing accelerator (C), and an inorganic filler (D).
硬化促進剤(C)は、ホスホニウム塩(CA)と、有機フェノール化合物(CC)とを含む。 The curing accelerator (C) contains a phosphonium salt (CA) and an organic phenol compound (CC).
ホスホニウム塩(CA)は、下記式(1)で示される第4級ホスホニウム(C1)と下記式(2)で示される有機フェノール化合物(c21)のアニオン(C2)とからなる。 The phosphonium salt (CA) is composed of a quaternary phosphonium (C1) represented by the following formula (1) and an anion (C2) of the organic phenol compound (c21) represented by the following formula (2).
式(1)中、R1からR3は各々独立に炭素数6〜12のアリール基であり、R4は炭素数1〜8のアルキル基又は炭素数6〜12のアリール基である。 In the formula (1), R1 to R3 are independently aryl groups having 6 to 12 carbon atoms, and R4 is an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms or an aryl group having 6 to 12 carbon atoms.
式(2)中、R5〜R8は各々独立に水素、炭素数1〜4のアルキル基又は水酸基であり、R9は炭素数1〜18のアルキル基、炭素数6〜18のアリール基、ベンジル基、ヒドロキシアルキル基又はアリル基である。 In the formula (2), R5 to R8 are independently hydrogen, an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms or a hydroxyl group, and R9 is an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms, an aryl group having 6 to 18 carbon atoms, and a benzyl group. , Hydrokylalkyl group or allyl group.
有機フェノール化合物(CC)は、下記式(3)で示される。 The organic phenol compound (CC) is represented by the following formula (3).
式(3)中、R10は炭素数1〜18のアルキル基又は炭素数6〜18のアリール基であり、R11はその少なくとも一部として下記式(4)に示す基を有する炭素数6〜50の原子団である。 In the formula (3), R10 is an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms or an aryl group having 6 to 18 carbon atoms, and R11 has 6 to 50 carbon atoms having a group represented by the following formula (4) as at least a part thereof. Atomic group of.
本実施形態では、硬化促進剤(C)が第4級ホスホニウム(C1)を有するため、硬化促進剤(C)はエポキシ樹脂(A)と硬化剤(B)との反応を効果的に促進できる。また、アニオン(C2)が電子吸引性のエステル基を有するため、アニオン(C2)の酸強度は見かけ上強くなる。さらに、アニオン(C2)及び有機フェノール化合物(CC)の各々が水素結合可能な水酸基を有するため、アニオン(C2)と有機フェノール化合物(CC)との間に水素結合が形成され、このため、アニオン(C2)と有機フェノール化合物(CC)との間の相互作用は強力であるとともに、アニオン(C2)と有機フェノール化合物(CC)との間の距離は短くなる。このため、アニオン(C2)は有機フェノール化合物(CC)に包囲される。そのため、アニオン(C2)の求核性が抑えられる。これにより、成形時に封止用エポキシ樹脂組成物を型に充填するために溶融させる温度では、ホスホニウム塩(CA)の活性が低くなるため、エポキシ樹脂(A)の硬化反応は抑制される。また、エステル構造は柔軟性を持つ。このため、成形時に封止用エポキシ樹脂組成物を型に充填する際の封止用エポキシ樹脂組成物の流動性が優れる。 In the present embodiment, since the curing accelerator (C) has a quaternary phosphonium (C1), the curing accelerator (C) can effectively accelerate the reaction between the epoxy resin (A) and the curing agent (B). .. Further, since the anion (C2) has an electron-withdrawing ester group, the acid strength of the anion (C2) is apparently strong. Furthermore, since each of the anion (C2) and the organic phenol compound (CC) has a hydroxyl group capable of hydrogen bonding, a hydrogen bond is formed between the anion (C2) and the organic phenol compound (CC), and thus an anion. The interaction between (C2) and the organic phenolic compound (CC) is strong, and the distance between the anion (C2) and the organic phenolic compound (CC) is short. Therefore, the anion (C2) is surrounded by the organic phenol compound (CC). Therefore, the nucleophilicity of the anion (C2) is suppressed. As a result, the activity of the phosphonium salt (CA) decreases at the temperature at which the sealing epoxy resin composition is melted to fill the mold during molding, so that the curing reaction of the epoxy resin (A) is suppressed. Also, the ester structure is flexible. Therefore, the fluidity of the sealing epoxy resin composition when the sealing epoxy resin composition is filled in the mold at the time of molding is excellent.
一方、成形時に封止用エポキシ樹脂組成物を型内で硬化させる温度では、アニオン(CA)と有機フェノール化合物(CC)の各々との間の水素結合が弱まって、ホスホニウム塩(CA)が活性化する。このため、封止用エポキシ樹脂組成物は硬化性に優れる。 On the other hand, at a temperature at which the sealing epoxy resin composition is cured in the mold during molding, the hydrogen bond between each of the anion (CA) and the organic phenol compound (CC) is weakened, and the phosphonium salt (CA) is activated. To become. Therefore, the sealing epoxy resin composition has excellent curability.
このため封止用エポキシ樹脂組成物の成形時に、封止用エポキシ樹脂組成物を型に充填するために溶融させる際には、封止用エポキシ樹脂組成物は流動性に優れ、封止用エポキシ樹脂組成物を型内で硬化させる際には封止用エポキシ樹脂組成物は硬化性に優れる。このため、封止用エポキシ樹脂組成物は、半導体などの電子部品用の封止材を製造するために好適である。 Therefore, at the time of molding the sealing epoxy resin composition, when the sealing epoxy resin composition is melted to fill the mold, the sealing epoxy resin composition has excellent fluidity, and the sealing epoxy resin composition has excellent fluidity. When the resin composition is cured in the mold, the sealing epoxy resin composition is excellent in curability. Therefore, the sealing epoxy resin composition is suitable for producing a sealing material for electronic parts such as semiconductors.
硬化促進剤(C)について、更に詳しく説明する。 The curing accelerator (C) will be described in more detail.
まず、式(1)で示される第4級ホスホニウム(C1)について説明する。 First, the quaternary phosphonium (C1) represented by the formula (1) will be described.
上記の通り、式(1)中のR1からR3は各々独立に炭素数6〜12のアリール基である。アリール基の例は、フェニル基、ナフチル基、ビフェニル基、メチルフェニル基、エチルフェニル基、プロピルフェニル基、ブチルフェニル基、メチルナフチル基、及びエチルナフチル基を含む。 As described above, R1 to R3 in the formula (1) are independently aryl groups having 6 to 12 carbon atoms. Examples of aryl groups include phenyl groups, naphthyl groups, biphenyl groups, methylphenyl groups, ethylphenyl groups, propylphenyl groups, butylphenyl groups, methylnaphthyl groups, and ethylnaphthyl groups.
R1〜R3の各々は、封止用エポキシ樹脂組成物の成形時の流動性をより向上できる点、及び原料の入手が容易である点から、フェニル基、メチルフェニル基又はナフチル基であることが好ましく、フェニル基であれば特に好ましい。 Each of R1 to R3 is a phenyl group, a methylphenyl group, or a naphthyl group because the fluidity of the sealing epoxy resin composition at the time of molding can be further improved and the raw material can be easily obtained. A phenyl group is preferable, and a phenyl group is particularly preferable.
上記の通り、式(1)中のR4は、炭素数1〜8のアルキル基又は炭素数6〜12のアリール基である。アルキル基の例は、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、n−ペンチル基、イソペンチル基、ネオペンチル基、t−ペンチル基、n−ヘキシル基、1−メチルペンチル基、4−メチル−2−ペンチル基、3,3−ジメチルブチル基、2−エチルブチル基、n−ヘプチル基、1−メチルヘキシル基、n−オクチル基、tert−オクチル基、1−メチルヘプチル基、2−エチルヘキシル基、及び2−プロピルペンチル基を含む。アリール基の例は、フェニル基、ナフチル基、ビフェニル基、メチルフェニル基、エチルフェニル基、プロピルフェニル基、ブチルフェニル基、メチルナフチル基、及びエチルナフチル基を含む。 As described above, R4 in the formula (1) is an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms or an aryl group having 6 to 12 carbon atoms. Examples of alkyl groups are methyl group, ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, n-butyl group, isobutyl group, sec-butyl group, tert-butyl group, n-pentyl group, isopentyl group, neopentyl group, t. -Pentyl group, n-hexyl group, 1-methylpentyl group, 4-methyl-2-pentyl group, 3,3-dimethylbutyl group, 2-ethylbutyl group, n-heptyl group, 1-methylhexyl group, n- It contains an octyl group, a tert-octyl group, a 1-methylheptyl group, a 2-ethylhexyl group, and a 2-propylpentyl group. Examples of aryl groups include phenyl groups, naphthyl groups, biphenyl groups, methylphenyl groups, ethylphenyl groups, propylphenyl groups, butylphenyl groups, methylnaphthyl groups, and ethylnaphthyl groups.
R4は、封止用エポキシ樹脂組成物の成形時の硬化性を向上できる点、及び第4級ホスホニウム(C1)の合成がより容易になる点から、炭素数1〜4のアルキル基又は炭素数6〜12のアリール基であることが好ましく、メチル基、エチル基又はフェニル基であればより好ましく、メチル基又はエチル基であれば更に好ましい。 R4 has an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms or an alkyl number of carbon atoms because it can improve the curability of the sealing epoxy resin composition during molding and the synthesis of quaternary phosphonium (C1) becomes easier. It is preferably an aryl group of 6 to 12, more preferably a methyl group, an ethyl group or a phenyl group, and even more preferably a methyl group or an ethyl group.
次に、式(2)で示される有機フェノール化合物(c21)のアニオン(C2)について説明する。 Next, the anion (C2) of the organic phenol compound (c21) represented by the formula (2) will be described.
アニオン(C2)は、封止用エポキシ樹脂組成物の成形時の流動性及び硬化性の向上に寄与する。 The anion (C2) contributes to the improvement of fluidity and curability of the sealing epoxy resin composition during molding.
上記の通り式(2)中のR5〜R8は各々独立に水素、炭素数1〜4のアルキル基又は水酸基であり、R9は炭素数1〜18のアルキル基、炭素数6〜18のアリール基、ベンジル基、ヒドロキシアルキル基又はアリル基であり、アルキル基の例は、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、sec−ブチル基、及びtert−ブチル基を含む。 As described above, R5 to R8 in the formula (2) are independently hydrogen, an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms or a hydroxyl group, and R9 is an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms and an aryl group having 6 to 18 carbon atoms. , A benzyl group, a hydroxyalkyl group or an allyl group, examples of the alkyl group include a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an isopropyl group, an n-butyl group, a sec-butyl group, and a tert-butyl group. ..
上記の通り、式(2)中のR9は、炭素数1〜18のアルキル基、炭素数6〜18のアリール基、ベンジル基、ヒドロキシアルキル基、又はアリル基である。アルキル基の例は、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基、トリデシル基、テトラデシル基、ペンタデシル基、ヘキサデシル基及びヘプタデシル基を含む。アリール基の例はフェニル基、ナフチル基、ビフェニル基、メチルフェニル基、エチルフェニル基、プロピルフェニル基、ブチルフェニル基、メチルナフチル基及びエチルナフチル基を含む。ヒドロキシアルキル基の例は、ヒドロキシメチル基、ヒドロキシエチル基、ヒドロキシプロピル基及びヒドロキシブチル基を含む。 As described above, R9 in the formula (2) is an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms, an aryl group having 6 to 18 carbon atoms, a benzyl group, a hydroxyalkyl group, or an allyl group. Examples of alkyl groups include methyl group, ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, n-butyl group, sec-butyl group, tert-butyl group, pentyl group, hexyl group, heptyl group, octyl group, nonyl group, It contains a decyl group, an undecyl group, a dodecyl group, a tridecyl group, a tetradecyl group, a pentadecyl group, a hexadecyl group and a heptadecyl group. Examples of aryl groups include phenyl group, naphthyl group, biphenyl group, methylphenyl group, ethylphenyl group, propylphenyl group, butylphenyl group, methylnaphthyl group and ethylnaphthyl group. Examples of hydroxyalkyl groups include hydroxymethyl groups, hydroxyethyl groups, hydroxypropyl groups and hydroxybutyl groups.
アニオン(C2)は、水素結合を有することが好ましい。すなわち、アニオン(C2)中に、水素結合が形成されていることが好ましい。水素結合を有するアニオン(C2)の構造の一例を、下記式(21)に示す。この場合、硬化促進剤(C)内におけるアニオン(C2)の求核性が更に抑制され、このため、成形時の封止用エポキシ樹脂組成物の流動性が更に向上する。アニオン(C2)が水素結合を有するためには、式(2)中のR5とR6うち少なくとも一方が水酸基であることが好ましく、R5及びR8が水酸基であることも好ましい。R5〜R8がいずれも水酸基であれば特に好ましい。 The anion (C2) preferably has a hydrogen bond. That is, it is preferable that a hydrogen bond is formed in the anion (C2). An example of the structure of the anion (C2) having a hydrogen bond is shown in the following formula (21). In this case, the nucleophilicity of the anion (C2) in the curing accelerator (C) is further suppressed, and therefore the fluidity of the sealing epoxy resin composition at the time of molding is further improved. In order for the anion (C2) to have a hydrogen bond, it is preferable that at least one of R5 and R6 in the formula (2) is a hydroxyl group, and it is also preferable that R5 and R8 are hydroxyl groups. It is particularly preferable that all of R5 to R8 are hydroxyl groups.
次に、式(3)で示される有機フェノール化合物(CC)について説明する。 Next, the organic phenol compound (CC) represented by the formula (3) will be described.
有機フェノール化合物(CC)は、ホスホニウム塩(CA)中のアニオン(C2)と相互作用することで、成形時の封止用エポキシ樹脂組成物の流動性と硬化性とを向上させる。 The organic phenol compound (CC) interacts with the anion (C2) in the phosphonium salt (CA) to improve the fluidity and curability of the sealing epoxy resin composition during molding.
上記の通り、式(3)中、R10は炭素数1〜18のアルキル基又は炭素数6〜18のアリール基であり、R11はその少なくとも一部として式(4)に示す基を有する炭素数6〜50の原子団である。 As described above, in the formula (3), R10 is an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms or an aryl group having 6 to 18 carbon atoms, and R11 has a carbon number having a group represented by the formula (4) as at least a part thereof. It is an atomic group of 6 to 50.
R11が式(4)に示す基のみを有すること、すなわちR11が式(4)に示す基であることが、好ましい。 It is preferable that R11 has only the group represented by the formula (4), that is, R11 is the group represented by the formula (4).
R11が下記式(6)で示される基であることも好ましい。 It is also preferable that R11 is a group represented by the following formula (6).
式(6)中、R12及びR13は、各々独立に水素、炭素数1〜36のアルキル基又は炭素数6〜36のアリール基である。 In formula (6), R12 and R13 are independently hydrogen, an alkyl group having 1 to 36 carbon atoms, or an aryl group having 6 to 36 carbon atoms, respectively.
有機フェノール化合物(CC)とアニオン(C2)との相互作用を良好に生じさせるためには、ホスホニウム塩(CA)と有機フェノール化合物(CC)とのモル比は、10:90〜99.9:0.1の範囲内であることが好ましく、20:80〜80:20の範囲内であればより好ましく、30:70〜70:30の範囲内であれば更に好ましい。 In order to produce a good interaction between the organic phenol compound (CC) and the anion (C2), the molar ratio of the phosphonium salt (CA) to the organic phenol compound (CC) is 10: 90-99.9: It is preferably in the range of 0.1, more preferably in the range of 20:80 to 80:20, and even more preferably in the range of 30:70 to 70:30.
硬化促進剤(C)は、下記式(5)に示される有機フェノール化合物(CB)を更に有することが好ましい。 The curing accelerator (C) preferably further contains an organic phenol compound (CB) represented by the following formula (5).
式(5)中、R5〜R8は各々独立に水素、炭素数1〜4のアルキル基又は水酸基であり、R9は炭素数1〜18のアルキル基、炭素数6〜18のアリール基、ベンジル基、ヒドロキシアルキル基又はアリル基である。 In formula (5), R5 to R8 are independently hydrogen, an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms or a hydroxyl group, and R9 is an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms, an aryl group having 6 to 18 carbon atoms, and a benzyl group. , Hydrokylalkyl group or allyl group.
有機フェノール化合物(CB)は、有機フェノール化合物(c21)と同じ構造を有していてもよい。 The organic phenol compound (CB) may have the same structure as the organic phenol compound (c21).
硬化促進剤(C)が有機フェノール化合物(CB)を有すると、有機フェノール化合物(CB)は有機フェノール化合物(CC)と同様に水素結合可能な水酸基を有するため、アニオン(C2)と有機フェノール化合物(CB)との間に水素結合が形成される。このため、アニオン(C2)と有機フェノール化合物(CB)との間の相互作用は強力であるとともに、アニオン(C2)と有機フェノール化合物(CB)との間の距離は短くなる。このため、アニオン(C2)は有機フェノール化合物(CC)及び有機フェノール化合物(CB)に包囲される。そのため、アニオン(C2)の求核性が抑えられる。このため封止用エポキシ樹脂組成物の成形時に、封止用エポキシ樹脂組成物を型に充填するために溶融させる際には、封止用エポキシ樹脂組成物は流動性に優れ、型内で硬化させる際には封止用エポキシ樹脂組成物は硬化性に優れる。 When the curing accelerator (C) has an organic phenol compound (CB), the organic phenol compound (CB) has a hydrogen-bondable hydroxyl group like the organic phenol compound (CC), so that the anion (C2) and the organic phenol compound A hydrogen bond is formed with (CB). Therefore, the interaction between the anion (C2) and the organic phenol compound (CB) is strong, and the distance between the anion (C2) and the organic phenol compound (CB) is short. Therefore, the anion (C2) is surrounded by the organic phenol compound (CC) and the organic phenol compound (CB). Therefore, the nucleophilicity of the anion (C2) is suppressed. Therefore, at the time of molding the sealing epoxy resin composition, when the sealing epoxy resin composition is melted to fill the mold, the sealing epoxy resin composition has excellent fluidity and is cured in the mold. The sealing epoxy resin composition is excellent in curability.
有機フェノール化合物(CB)とアニオン(C2)との相互作用を良好に生じさせるためには、ホスホニウム塩(CA)と有機フェノール化合物(CB)とのモル比は、10:90〜99.9:0.1の範囲内であることが好ましく、20:80〜80:20の範囲内であればより好ましく、30:70〜70:30の範囲内であれば更に好ましい。 In order for the interaction between the organic phenol compound (CB) and the anion (C2) to occur well, the molar ratio of the phosphonium salt (CA) to the organic phenol compound (CB) is 10: 90-99.9: It is preferably in the range of 0.1, more preferably in the range of 20:80 to 80:20, and even more preferably in the range of 30:70 to 70:30.
硬化促進剤(C)の合成方法について説明する。 A method for synthesizing the curing accelerator (C) will be described.
まず、ホスホニウム塩(CA)を合成する。ホスホニウム塩(CA)は、例えば、第4級ホスホニウム(C1)のアルキル炭酸塩(c11)又は水酸化物(c12)と、有機フェノール化合物(c21)との、塩交換反応によって、合成される。 First, a phosphonium salt (CA) is synthesized. The phosphonium salt (CA) is synthesized, for example, by a salt exchange reaction between an alkyl carbonate (c11) or a hydroxide (c12) of a quaternary phosphonium (C1) and an organic phenol compound (c21).
アルキル炭酸塩(c11)は、例えばこのアルキル炭酸塩(c11)に対応する第3級ホスフィンと炭酸ジエステル類とを反応させることで合成される。第3級ホスフィンの例は、トリフェニルホスフィン、トリス(4−メチルフェニル)ホスフィン、及び2−(ジフェニルホスフィノ)ビフェニルを含む。炭酸ジエステルの例は、ジエチルカーボネート、ジメチルカーボネート、ジブチルカーボネート、及びジフェニルカーボネートを含む。反応は例えばオートクレーブ中で行われ、反応条件は、例えば温度50〜150℃の範囲内、時間10〜200時間の範囲内である。反応を速やかに収率良く完結させるために、溶媒中で反応を進行させることが好ましい。溶媒の例は、メタノール及びエタノールを含む。 The alkyl carbonate (c11) is synthesized, for example, by reacting the tertiary phosphine corresponding to the alkyl carbonate (c11) with carbonic acid diesters. Examples of tertiary phosphines include triphenylphosphine, tris (4-methylphenyl) phosphine, and 2- (diphenylphosphine) biphenyl. Examples of carbonate diesters include diethyl carbonate, dimethyl carbonate, dibutyl carbonate, and diphenyl carbonate. The reaction is carried out, for example, in an autoclave, and the reaction conditions are, for example, in the temperature range of 50 to 150 ° C. and in the time range of 10 to 200 hours. In order to complete the reaction quickly and in good yield, it is preferable to proceed the reaction in a solvent. Examples of solvents include methanol and ethanol.
水酸化物(c12)は、例えば、水酸化物(c12)に対応する第3級ホスフィンと、ハロゲン化(臭化あるいは塩化)アルキル又はハロゲン化(臭化あるいは塩化)アリールとを反応させ、得られた生成物を無機アルカリを用いて塩交換することで得られる。第3級ホスフィンの例は、トリフェニルホスフィン、トリス(4−メチルフェニル)ホスフィン、及び2−(ジフェニルホスフィノ)ビフェニルを含む。ハロゲン化アルキルの例は、臭化エチル、塩化ブチル、2−エチルヘキシルブロマイド、2−ブチルエタノール、及び2−クロロプロパノールを含む。ハロゲン化アリールの例は、ブロモベンゼン、ブロモナフタレン、及びブロモビフェニルを含む。無機アルカリの例は、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化カルシウム、水酸化バリウム、及び水酸化アルミニウムを含む。反応条件は、例えば温度20〜150℃の範囲内、時間1〜20時間の範囲内である。反応を速やかに収率良く完結させるために、溶媒を使用することが好ましい。溶媒の例は、メタノール及びエタノールを含む。 The hydroxide (c12) is obtained by reacting, for example, a tertiary phosphine corresponding to the hydroxide (c12) with a halogenated (bromide or chloride) alkyl or a halogenated (bromide or chloride) aryl. The resulting product is obtained by salt exchange with an inorganic alkali. Examples of tertiary phosphines include triphenylphosphine, tris (4-methylphenyl) phosphine, and 2- (diphenylphosphine) biphenyl. Examples of alkyl halides include ethyl bromide, butyl chloride, 2-ethylhexyl bromide, 2-butylethanol, and 2-chloropropanol. Examples of aryl halides include bromobenzene, bromonaphthalene, and bromobiphenyl. Examples of inorganic alkalis include sodium hydroxide, potassium hydroxide, calcium hydroxide, barium hydroxide, and aluminum hydroxide. The reaction conditions are, for example, a temperature in the range of 20 to 150 ° C. and a time in the range of 1 to 20 hours. It is preferable to use a solvent in order to complete the reaction quickly and in good yield. Examples of solvents include methanol and ethanol.
成形時の封止用エポキシ樹脂組成物の流動性と硬化性とをより向上するためには、アルキル炭酸塩(c11)又は水酸化物(c12)と、有機フェノール化合物(c21)とのモル比は、10:90〜90:10の範囲内であることが好ましく、20:80〜80:20の範囲内であればより好ましい。 In order to further improve the fluidity and curability of the sealing epoxy resin composition during molding, the molar ratio of the alkyl carbonate (c11) or hydroxide (c12) to the organic phenol compound (c21). Is preferably in the range of 10:90 to 90:10, and more preferably in the range of 20:80 to 80:20.
アルキル炭酸塩(c11)又は水酸化物(c12)と、有機フェノール化合物(c21)との塩交換反応は、例えば温度30〜170℃の範囲内、時間1〜20時間の範囲内の条件で実施される。塩交換反応の間、副生成物であるアルコール、水、炭酸ガス、及び必要に応じて溶媒を反応系から除去する。 The salt exchange reaction between the alkyl carbonate (c11) or hydroxide (c12) and the organic phenol compound (c21) is carried out under the conditions of, for example, a temperature in the range of 30 to 170 ° C. and a time in the range of 1 to 20 hours. Will be done. During the salt exchange reaction, the by-products alcohol, water, carbon dioxide and, if necessary, the solvent are removed from the reaction system.
特に、ホスホニウム塩(CA)を、アルキル炭酸塩(c11)と有機フェノール化合物(c21)との塩交換反応で合成することが好ましい。この場合、ホスホニウム塩(CA)への、電気信頼性悪化の原因であるイオン性不純物の混入を抑制できる。 In particular, it is preferable to synthesize the phosphonium salt (CA) by a salt exchange reaction between the alkyl carbonate (c11) and the organic phenol compound (c21). In this case, it is possible to suppress the mixing of ionic impurities into the phosphonium salt (CA), which is a cause of deterioration of electrical reliability.
次に、ホスホニウム塩(CA)及び有機フェノール化合物(CC)、並びに必要により有機フェノール化合物(CB)を混合するとともに加熱することで、硬化促進剤(C)が得られる。 Next, the curing accelerator (C) is obtained by mixing and heating the phosphonium salt (CA), the organic phenol compound (CC), and if necessary, the organic phenol compound (CB).
ホスホニウム塩(CA)と、有機フェノール化合物(CB)と、有機フェノール化合物(CC)とを混合する際は、これらの成分を一度に混合してもよく、例えばホスホニウム塩(CA)と有機フェノール化合物(CB)とを混合して混合物を調製し、この混合物と有機フェノール化合物(CC)とを混合してもよい。また、アルキル炭酸塩(c11)又は水酸化物(c12)と有機フェノール化合物(c21)との塩交換反応のために有機フェノール化合物(c21)を配合する際、有機フェノール化合物(c21)を一部として含有するとともに有機フェノール化合物(CB)を残部として含有する有機フェノール化合物を使用することで、ホスホニウム塩(CA)と有機フェノール化合物(CB)との混合物を得てもよい。換言すると、有機フェノール化合物(c21)の必要量よりも過剰量の有機フェノール化合物を使用することで、有機フェノール化合物の一部を有機フェノール化合物(c21)、残部を有機フェノール化合物(CB)としてもよい。 When mixing the phosphonium salt (CA), the organic phenol compound (CB), and the organic phenol compound (CC), these components may be mixed at once, for example, the phosphonium salt (CA) and the organic phenol compound. (CB) may be mixed to prepare a mixture, and this mixture may be mixed with the organic phenol compound (CC). Further, when the organic phenol compound (c21) is blended for the salt exchange reaction between the alkyl carbonate (c11) or the hydroxide (c12) and the organic phenol compound (c21), the organic phenol compound (c21) is partially used. A mixture of a phosphonium salt (CA) and an organic phenol compound (CB) may be obtained by using an organic phenol compound containing an organic phenol compound (CB) as a balance. In other words, by using an amount of the organic phenol compound in excess of the required amount of the organic phenol compound (c21), a part of the organic phenol compound can be used as the organic phenol compound (c21) and the rest can be used as the organic phenol compound (CB). Good.
ホスホニウム塩(CA)と、有機フェノール化合物(CB)と、有機フェノール化合物(CC)とを混合するに当たっては、これらの成分を50〜200℃の範囲内の温度で、1〜20時間の範囲内の時間、撹拌することで、均一に混合することが好ましい。混合を速やかに完結させるために、溶媒を使用しても良く、その場合、混合後に、例えば減圧下又は常温下で、50〜200℃の範囲内の温度で、溶媒を除去することが好ましい。溶媒の例は、メタノ−ル及びエタノールを含む。 When mixing the phosphonium salt (CA), the organic phenol compound (CB), and the organic phenol compound (CC), these components are mixed at a temperature in the range of 50 to 200 ° C. and within a range of 1 to 20 hours. It is preferable to mix uniformly by stirring for the above time. A solvent may be used to complete the mixing quickly, in which case it is preferred to remove the solvent after mixing, for example under reduced pressure or at room temperature, at a temperature in the range of 50-200 ° C. Examples of solvents include metanol and ethanol.
硬化促進剤(C)を合成するにあたってのホスホニウム塩(CA)と有機フェノール化合物(CB)の配合比率は、硬化促進剤(C)中のホスホニウム塩(CA)と有機フェノール化合物(CB)のモル比が所望の値になるように決定される。ホスホニウム塩(CA)と有機フェノール化合物(CC)の配合比率も、硬化促進剤(C)中のホスホニウム塩(CA)と有機フェノール化合物(CC)のモル比が所望の値になるように決定される。 The mixing ratio of the phosphonium salt (CA) and the organic phenol compound (CB) in synthesizing the curing accelerator (C) is the molar amount of the phosphonium salt (CA) and the organic phenol compound (CB) in the curing accelerator (C). The ratio is determined to be the desired value. The blending ratio of the phosphonium salt (CA) and the organic phenol compound (CC) was also determined so that the molar ratio of the phosphonium salt (CA) and the organic phenol compound (CC) in the curing accelerator (C) became a desired value. To.
封止用エポキシ樹脂組成物中で硬化促進剤(C)が特に分散及び融解しやすくなるためには、硬化促進剤(C)の融点又は軟化点は200℃以下であることが好ましく、70〜150℃の範囲内であればより好ましい。融点又は軟化点が150℃以下であると、封止用エポキシ樹脂組成物中で硬化促進剤(C)が特に分散及び融解しやすくなる。また、融点又は軟化点が70℃以上であると、硬化促進剤(C)を粉砕して粉末状にする場合の融着が特に抑制されるとともに、保存中に粉末状の硬化促進剤(C)がブロック化しにくくなる。融点又は軟化点は、80〜120℃の範囲内であれば更に好ましく、90〜100℃の範囲内であれば特に好ましい。 In order for the curing accelerator (C) to be particularly easily dispersed and melted in the sealing epoxy resin composition, the melting point or softening point of the curing accelerator (C) is preferably 200 ° C. or lower, and is 70 to 70 to. It is more preferable if it is within the range of 150 ° C. When the melting point or the softening point is 150 ° C. or lower, the curing accelerator (C) is particularly easily dispersed and melted in the sealing epoxy resin composition. Further, when the melting point or the softening point is 70 ° C. or higher, fusion when the curing accelerator (C) is crushed into a powder is particularly suppressed, and the powdered curing accelerator (C) is stored during storage. ) Is hard to block. The melting point or softening point is more preferably in the range of 80 to 120 ° C., and particularly preferably in the range of 90 to 100 ° C.
なお、硬化促進剤(C)の融点又は軟化点を測定するためには、空気雰囲気下、昇温速度20℃/分の条件で硬化促進剤(C)の示差走査熱量測定を行うことで、DSC曲線を得る。このDSC曲線における吸熱ピークが現れる温度が、融点又は軟化点である。 In order to measure the melting point or softening point of the curing accelerator (C), the differential scanning calorimetry of the curing accelerator (C) is performed under the condition of a heating rate of 20 ° C./min in an air atmosphere. Obtain a DSC curve. The temperature at which the endothermic peak appears in this DSC curve is the melting point or softening point.
硬化促進剤(C)の融点又は軟化点を下げる方法として、硬化促進剤(C)をフェノール樹脂でマスターバッチ化することが挙げられる。フェノール樹脂は低粘度であることが好ましい。フェノール樹脂の例は、ビスフェノールA、ビスフェノールF、フェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、及びフェノールアラルキル樹脂を含む。マスターバッチ化のためには、公知の方法が利用可能である。 As a method for lowering the melting point or softening point of the curing accelerator (C), masterbatch of the curing accelerator (C) with a phenol resin can be mentioned. The phenol resin preferably has a low viscosity. Examples of phenolic resins include bisphenol A, bisphenol F, phenol novolac resin, cresol novolac resin, and phenol aralkyl resin. Known methods are available for masterbatch.
硬化促進剤(C)が粉末状であることも好ましい。この場合も、硬化促進剤(C)が、封止用エポキシ樹脂組成物中で特に分散及び融解しやすくなる。硬化促進剤(C)を粉末状にする方法の一例は、硬化促進剤(C)を衝撃式粉砕機等で粉砕することである。粉末状の硬化促進剤(C)は、100メッシュパス95%以上であることが好ましい。すなわち、粉末状の硬化促進剤(C)の95質量%以上が、100メッシュ(目開き212μm)を通過することが好ましい。この100メッシュパスは、エアージェットシーブ法で測定される。この場合、硬化促進剤(C)は、封止用エポキシ樹脂組成物中で非常に分散及び融解しやすくなる。 It is also preferable that the curing accelerator (C) is in the form of powder. In this case as well, the curing accelerator (C) becomes particularly easy to disperse and melt in the sealing epoxy resin composition. An example of a method of powdering the curing accelerator (C) is to pulverize the curing accelerator (C) with an impact crusher or the like. The powdery curing accelerator (C) is preferably 100 mesh pass 95% or more. That is, it is preferable that 95% by mass or more of the powdered curing accelerator (C) passes through 100 mesh (opening 212 μm). This 100 mesh pass is measured by the air jet sheave method. In this case, the curing accelerator (C) becomes very easy to disperse and melt in the sealing epoxy resin composition.
本実施形態に係る硬化促進剤(C)はベンゼンを含まず、硬化促進剤(C)の合成時にベンゼンが生成されて硬化促進剤(C)に混入されることもない。このため、封止用エポキシ樹脂組成物からの、硬化促進剤に由来するベンゼンの放出が抑制される。 The curing accelerator (C) according to the present embodiment does not contain benzene, and benzene is not generated during the synthesis of the curing accelerator (C) and is not mixed with the curing accelerator (C). Therefore, the release of benzene derived from the curing accelerator from the sealing epoxy resin composition is suppressed.
また、硬化促進剤(C)を含む成分を加熱混練することで封止用エポキシ樹脂組成物を調製する際に、硬化促進剤(C)は封止用エポキシ樹脂組成物中で分散及び融解しやすい。このため、封止用エポキシ樹脂組成物で半導体素子を封止する場合、硬化促進剤(C)の粒子がワイヤー間やバンプ間にひっかかって絶縁不良を引きおこすようなことが、抑制される。 Further, when the sealing epoxy resin composition is prepared by heating and kneading the component containing the curing accelerator (C), the curing accelerator (C) is dispersed and melted in the sealing epoxy resin composition. Cheap. Therefore, when the semiconductor element is sealed with the sealing epoxy resin composition, it is possible to prevent the particles of the curing accelerator (C) from being caught between the wires or between the bumps and causing insulation failure.
硬化促進剤(C)中の不純物であるハロゲンイオン含量は、硬化促進剤(C)に対して5ppm以下であることが好ましい。この場合、封止用エポキシ樹脂組成物から作製される封止材におけるマイグレーションが特に抑制され、このため封止材を備える半導体装置が特に高い信頼性を有する。このような低いハロゲンイオン含量は、上記のように硬化促進剤(C)が塩交換反応を含む方法で合成されることで達成可能である。 The halogen ion content, which is an impurity in the curing accelerator (C), is preferably 5 ppm or less with respect to the curing accelerator (C). In this case, migration in the sealing material produced from the sealing epoxy resin composition is particularly suppressed, and therefore the semiconductor device provided with the sealing material has particularly high reliability. Such a low halogen ion content can be achieved by synthesizing the curing accelerator (C) by a method including a salt exchange reaction as described above.
エポキシ樹脂(A)100質量部に対する、硬化促進剤(C)の量は、1〜20質量部の範囲内であることが好ましい。硬化促進剤(C)が1質量部以上であれば、封止用エポキシ樹脂組成物に特に優れた硬化性が付与される。硬化促進剤(C)が20質量部以下であれば、封止用エポキシ樹脂組成物に特に優れた成形時の流動性が付与される。硬化促進剤(C)が7.7〜15.2質量部の範囲内であれば特に好ましい。 The amount of the curing accelerator (C) with respect to 100 parts by mass of the epoxy resin (A) is preferably in the range of 1 to 20 parts by mass. When the curing accelerator (C) is 1 part by mass or more, particularly excellent curability is imparted to the sealing epoxy resin composition. When the curing accelerator (C) is 20 parts by mass or less, a particularly excellent molding fluidity is imparted to the sealing epoxy resin composition. It is particularly preferable that the curing accelerator (C) is in the range of 7.7 to 15.2 parts by mass.
封止用エポキシ樹脂組成物は、本実施形態の目的を逸脱しない範囲において、硬化促進剤(C)に加えて、硬化促進剤(C)以外の硬化促進剤(以下、第二硬化促進剤という)を含有してもよい。例えば封止用エポキシ樹脂組成物は、第二硬化促進剤として、トリアリールホスフィン類、テトラフェニルホスホニウム・テトラフェニルボレート、2−メチルイミダゾール等のイミダゾール類、及び1,8−ジアザビシクロ(5,4,0)ウンデセン−7からなる群から選択される少なくとも一種の成分を含有できる。硬化促進剤(C)と第二硬化促進剤の合計に対する、第二硬化促進剤の量は、50質量%以下であることが好ましい。 The sealing epoxy resin composition is referred to as a curing accelerator other than the curing accelerator (C) (hereinafter referred to as a second curing accelerator) in addition to the curing accelerator (C) within a range not deviating from the object of the present embodiment. ) May be contained. For example, the epoxy resin composition for encapsulation contains triarylphosphines, tetraphenylphosphonium / tetraphenylborate, imidazoles such as 2-methylimidazole, and 1,8-diazabicyclo (5,4) as the second curing accelerator. 0) It can contain at least one component selected from the group consisting of Undecene-7. The amount of the second curing accelerator is preferably 50% by mass or less with respect to the total of the curing accelerator (C) and the second curing accelerator.
封止用エポキシ樹脂組成物中の、硬化促進剤(C)以外の成分について説明する。 The components other than the curing accelerator (C) in the sealing epoxy resin composition will be described.
エポキシ樹脂(A)は、1分子内にエポキシ基を2個以上有する化合物である。エポキシ樹脂(A)は、例えばビスフェノールA型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、及びトリフェニルメタン型エポキシ樹脂からなる群から選択される少なくとも一種の成分を含有できる。特にエポキシ樹脂(A)が、ビフェニル型エポキシ樹脂と、低級アルキル基が付加されたフェニル環を有する低吸湿型のエポキシ樹脂とのうち、少なくとも一方を含有することが、半導体装置の信頼性向上のために好ましい。エポキシ樹脂(A)のエポキシ当量は150〜290の範囲内であることが好ましい。エポキシ樹脂(A)の軟化点又は融点は50〜130℃の範囲内であることが好ましい。 The epoxy resin (A) is a compound having two or more epoxy groups in one molecule. The epoxy resin (A) contains at least one component selected from the group consisting of, for example, bisphenol A type epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin, cresol novolac type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, and triphenylmethane type epoxy resin. Can contain. In particular, when the epoxy resin (A) contains at least one of a biphenyl type epoxy resin and a low moisture absorption type epoxy resin having a phenyl ring to which a lower alkyl group is added, the reliability of the semiconductor device is improved. It is preferable for this. The epoxy equivalent of the epoxy resin (A) is preferably in the range of 150 to 290. The softening point or melting point of the epoxy resin (A) is preferably in the range of 50 to 130 ° C.
硬化剤(B)は、エポキシ樹脂(A)の硬化剤である。硬化剤(B)は、フェノール化合物、酸無水物、及びフェノール性水酸基を生成する機能性化合物からなる群から選択される少なくとも一種の成分を含有することが好ましい。特に硬化剤(B)がフェノール化合物と機能性化合物とのうち少なくとも一方を含有すると、封止用エポキシ樹脂組成物から作製される封止材に非常に高い耐湿信頼性が付与される。 The curing agent (B) is a curing agent for the epoxy resin (A). The curing agent (B) preferably contains at least one component selected from the group consisting of a phenol compound, an acid anhydride, and a functional compound that produces a phenolic hydroxyl group. In particular, when the curing agent (B) contains at least one of a phenol compound and a functional compound, a sealing material made from a sealing epoxy resin composition is imparted with extremely high moisture resistance reliability.
フェノール化合物には、1分子内に2個以上のフェノール性水酸基を有するモノマー、オリゴマー及びポリマー全般が含まれうる。例えば硬化剤(B)は、フェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、ビフェニル型ノボラック樹脂、トリフェニルメタン型樹脂、ナフトールノボラック樹脂、フェノールアラルキル樹脂、及びビフェニルアラルキル樹脂からなる群から選択される少なくとも一種の成分を含有できる。特に、硬化剤(B)が低吸湿性のフェノールアラルキル樹脂及びビフェニルアラルキル樹脂のうち少なくとも一方を含有することが、半導体装置の信頼性向上のために好ましい。硬化剤(B)がフェノール化合物である場合、エポキシ樹脂(A)のエポキシ基1当量に対する、フェノール化合物の水酸基当量は、0.5〜2.0の範囲内であることが好ましく、0.8〜1.4の範囲内であれば更に好ましい。 The phenolic compound may include monomers, oligomers and polymers having two or more phenolic hydroxyl groups in one molecule. For example, the curing agent (B) is at least one component selected from the group consisting of phenol novolac resin, cresol novolac resin, biphenyl type novolak resin, triphenylmethane type resin, naphthol novolac resin, phenol aralkyl resin, and biphenyl aralkyl resin. Can be contained. In particular, it is preferable that the curing agent (B) contains at least one of a low hygroscopic phenol aralkyl resin and a biphenyl aralkyl resin in order to improve the reliability of the semiconductor device. When the curing agent (B) is a phenol compound, the hydroxyl group equivalent of the phenol compound with respect to 1 equivalent of the epoxy group of the epoxy resin (A) is preferably in the range of 0.5 to 2.0, preferably 0.8. It is more preferable if it is within the range of ~ 1.4.
酸無水物は、例えば無水フタル酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、無水マレイン酸、無水ベンゾフェノンテトラカルボン酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸及びポリアゼライン酸無水物からなる群から選択される少なくとも一種の成分を含有できる。硬化剤(B)が酸無水物である場合、エポキシ樹脂(A)のエポキシ基1当量あたりの酸無水物は0.7〜1.5当量の範囲内であることが好ましく、0.8〜1.2当量の範囲内であれば更に好ましい。 Acid anhydrides include, for example, phthalic anhydride, trimellitic anhydride, pyromellitic anhydride, maleic anhydride, benzophenone tetracarboxylic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, methylhexahydrophthalic anhydride, and methyltetrahydrophthalic anhydride. It can contain at least one component selected from the group consisting of phthalic anhydride and polyazelineic anhydride. When the curing agent (B) is an acid anhydride, the acid anhydride per epoxy group equivalent of the epoxy resin (A) is preferably in the range of 0.7 to 1.5 equivalents, preferably 0.8 to 1.5 equivalents. It is more preferable if it is within the range of 1.2 equivalents.
フェノール性水酸基を生成する機能性化合物としては、加熱されることでフェノール性水酸基を生成する化合物が挙げられる。より具体的には、機能性化合物として、加熱されると開環してフェノール性水酸基を生成するベンゾオキサジン類が挙げられる。 Examples of the functional compound that produces a phenolic hydroxyl group include a compound that produces a phenolic hydroxyl group when heated. More specifically, examples of the functional compound include benzoxazines that open the ring when heated to generate a phenolic hydroxyl group.
無機充填材(D)は、一般にエポキシ樹脂組成物に配合される材料を特に制限なく含有できる。例えば無機充填材(D)は、溶融シリカ、球状シリカ、球状溶融シリカ、破砕シリカ、結晶シリカ、球状アルミナ、酸化マグネシウム、窒化ホウ素、窒化アルミニウム等;チタン酸バリウム、酸化チタン等の高誘電率フィラー;ハードフェライト等の磁性フィラー;水酸化マグネシウム、水酸化アルミニウム、三酸化アンチモン、五酸化アンチモン、グアニジン塩、ホウ酸亜鉛、モリブデン化合物、スズ酸亜鉛等の無機系難燃剤;並びに、タルク、硫酸バリウム、炭酸カルシウム、雲母粉等からなる群から選択される少なくとも一種の成分を含有できる。特に無機充填材(D)は、球状溶融シリカを含有することが好ましい。無機充填材(D)の平均粒径は3〜40μmの範囲内であることが好ましく、この場合、成形時の封止用エポキシ樹脂組成物の流動性が特に良好である。なお、平均粒径は、レーザー回折散乱式粒度分布測定装置で測定される。 The inorganic filler (D) can generally contain a material to be blended in the epoxy resin composition without particular limitation. For example, the inorganic filler (D) is molten silica, spherical silica, spherical molten silica, crushed silica, crystalline silica, spherical alumina, magnesium oxide, boron nitride, aluminum hydroxide and the like; high dielectric constant fillers such as barium titanate and titanium oxide. Magnetic fillers such as hard ferrite; Inorganic flame retardants such as magnesium hydroxide, aluminum hydroxide, antimony trioxide, antimony pentoxide, guanidine salts, zinc borate, molybdenum compounds, zinc stannate; and talc, barium sulfate , Calcium carbonate, mica powder and the like, and can contain at least one component selected from the group. In particular, the inorganic filler (D) preferably contains spherical molten silica. The average particle size of the inorganic filler (D) is preferably in the range of 3 to 40 μm, and in this case, the fluidity of the sealing epoxy resin composition at the time of molding is particularly good. The average particle size is measured by a laser diffraction / scattering type particle size distribution measuring device.
無機質充填剤(D)は、封止用エポキシ樹脂組成物全体に対して70〜95質量%の範囲内であることが好ましい。無機質充填剤(D)が95質量%以下であると、封止用エポキシ樹脂組成物の成形時の流動性が特に優れ、ワイヤー流れ、未充填等の不良が抑制される。無機質充填剤(D)が70質量%以上であると、封止用エポキシ樹脂組成物の成形時の溶融粘度が過剰に高くなることが抑制されることで、封止用エポキシ樹脂組成物から形成される封止材におけるボイドなどによる外観不良が抑制される。無機質充填剤(D)が封止用エポキシ樹脂組成物全体に対して85〜92質量%の範囲内であれば特に好ましい。 The inorganic filler (D) is preferably in the range of 70 to 95% by mass with respect to the entire sealing epoxy resin composition. When the content of the inorganic filler (D) is 95% by mass or less, the fluidity of the sealing epoxy resin composition at the time of molding is particularly excellent, and defects such as wire flow and unfilling are suppressed. When the inorganic filler (D) is 70% by mass or more, the melt viscosity of the sealing epoxy resin composition during molding is suppressed from becoming excessively high, so that the sealing epoxy resin composition is formed from the sealing epoxy resin composition. Poor appearance due to voids in the sealing material to be formed is suppressed. It is particularly preferable that the inorganic filler (D) is in the range of 85 to 92% by mass with respect to the entire sealing epoxy resin composition.
封止用エポキシ樹脂組成物は、上記(A)から(D)成分に加えて、シランカップリング剤、難燃剤、難燃助剤、離型剤、イオントラップ剤、カーボンブラック等の顔料、着色剤、低応力化剤、粘着付与剤、シリコーン可撓剤等の、添加剤を含有してもよい。 In addition to the above components (A) to (D), the sealing epoxy resin composition contains a silane coupling agent, a flame retardant, a flame retardant aid, a mold release agent, an ion trap agent, a pigment such as carbon black, and coloring. Additives such as agents, low stress agents, tackifiers, silicone flexible agents and the like may be included.
シランカップリング剤は、2個以上のアルコキシ基を有することが好ましい。シランカップリング剤は、例えばβ−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、N−フェニル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、γ−(2−アミノエチル)アミノプロピルトリメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、γ−アニリノプロピルトリメトキシシラン、及びヘキサメチルジシラザンからなる群から選択される少なくとも一種の成分を含有できる。 The silane coupling agent preferably has two or more alkoxy groups. Examples of the silane coupling agent include β- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, N-phenyl-γ-aminopropyltrimethoxysilane, γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, and γ-mercaptopropyltrimethoxy. At least one component selected from the group consisting of silane, γ- (2-aminoethyl) aminopropyltrimethoxysilane, γ-mercaptopropylmethyldimethoxysilane, γ-anilinopropyltrimethoxysilane, and hexamethyldisilazane. Can be contained.
難燃剤は、ノボラック型ブロム化エポキシ樹脂、金属水酸化物等を含有できる。特に難燃剤は、三酸化二アンチモン及び五酸化二アンチモンのうち少なくとも一方を含有することが好ましい。 The flame retardant can contain a novolak type brominated epoxy resin, a metal hydroxide and the like. In particular, the flame retardant preferably contains at least one of diantimony trioxide and diantimony pentoxide.
離型剤は、高級脂肪酸、高級脂肪酸エステル、高級脂肪酸カルシウム等を含有できる。例えば、離型剤は、カルナバワックス及びポリエチレン系ワックスのうち少なくとも一方を含有できる。 The release agent can contain higher fatty acid, higher fatty acid ester, higher fatty acid calcium and the like. For example, the release agent can contain at least one of carnauba wax and polyethylene wax.
イオントラップ剤は、イオントラップ能力を有する公知の化合物を含有できる。例えば、イオントラップ剤は、ハイドロタルサイト類、水酸化ビスマス等を含有できる。 The ion trapping agent can contain a known compound having an ion trapping ability. For example, the ion trap agent can contain hydrotalcites, bismuth hydroxide and the like.
低応力化剤としては、アクリル酸メチル−ブタジエン−スチレン共重合体、メタクリル酸メチル−ブタジエン−スチレン共重合体等のブタジエン系ゴム、並びにシリコーン化合物が挙げられる。 Examples of the low stressing agent include butadiene rubbers such as methyl acrylate-butadiene-styrene copolymer, methyl methacrylate-butadiene-styrene copolymer, and silicone compounds.
封止用エポキシ樹脂組成物の製造方法について説明する。エポキシ樹脂(A)、硬化剤(B)、硬化促進剤(C)及び無機充填材(D)、並びに必要により添加剤を混合してから、熱ロール、ニーダー等の混練機を用いて加熱状態で溶融混合し、続いて室温に冷却し、更に公知の手段で粉砕することで、粉末状の封止用エポキシ樹脂組成物を得ることができる。この粉末状の封止用エポキシ樹脂組成物を打錠することで、成形条件に見合った寸法及び質量を有するタブレット状の封止用エポキシ樹脂組成物を得てもよい。 A method for producing an epoxy resin composition for encapsulation will be described. Epoxy resin (A), curing agent (B), curing accelerator (C), inorganic filler (D), and if necessary, additives are mixed, and then heated using a kneader such as a hot roll or kneader. The epoxy resin composition for encapsulation in powder form can be obtained by melting and mixing with the above, then cooling to room temperature, and further pulverizing by a known means. By tableting this powdery sealing epoxy resin composition, a tablet-shaped sealing epoxy resin composition having dimensions and mass suitable for molding conditions may be obtained.
封止用エポキシ樹脂組成物の硬化物は、半導体装置における半導体チップを封止する封止材として好適である。封止材を備える半導体装置について説明する。 The cured product of the epoxy resin composition for encapsulation is suitable as a encapsulant for encapsulating a semiconductor chip in a semiconductor device. A semiconductor device including a sealing material will be described.
半導体装置は、ICチップなどの半導体チップと、半導体チップを封止する封止材とを備える。封止材は、封止用エポキシ樹脂組成物の硬化物である。半導体装置は、半導体チップを支持する基材を更に備えてもよい。基材は、例えばリードフレーム、配線板等である。封止材は、トランスファーモールド法、コンプレッションモールド法、インジェクションモールド法などの公知の成形法で作製されうる。 The semiconductor device includes a semiconductor chip such as an IC chip and a sealing material for sealing the semiconductor chip. The encapsulant is a cured product of the epoxy resin composition for encapsulation. The semiconductor device may further include a base material that supports the semiconductor chip. The base material is, for example, a lead frame, a wiring board, or the like. The encapsulant can be produced by a known molding method such as a transfer molding method, a compression molding method, or an injection molding method.
半導体装置を製造する場合、例えばまず基材に半導体チップを搭載する。半導体チップは、フリップチップボンディング、ワイヤボンディング等の方法で、基材に電気的に接続される。この半導体チップが搭載されている基材をトランスファーモールド用の金型にセットする。この状態で、封止用エポキシ樹脂組成物を加熱して溶融させてから、この封止用エポキシ樹脂組成物を金型に注入し、更に金型内で封止用エポキシ樹脂組成物を加熱する。これにより、封止用エポキシ樹脂組成物が熱硬化して、半導体チップを覆う封止材が形成される。 When manufacturing a semiconductor device, for example, a semiconductor chip is first mounted on a base material. The semiconductor chip is electrically connected to the base material by a method such as flip chip bonding or wire bonding. The base material on which this semiconductor chip is mounted is set in a mold for transfer molding. In this state, the sealing epoxy resin composition is heated and melted, then the sealing epoxy resin composition is injected into a mold, and the sealing epoxy resin composition is further heated in the mold. .. As a result, the sealing epoxy resin composition is thermoset to form a sealing material that covers the semiconductor chip.
トランスファーモールド法で封止材を作製する場合、例えば金型温度は160〜185℃の範囲内、成形時間は60〜120秒の範囲内である。なお、成形条件は、封止用エポキシ樹脂組成物の組成等に応じて、適宜に変更してよい。 When the encapsulant is produced by the transfer molding method, for example, the mold temperature is in the range of 160 to 185 ° C., and the molding time is in the range of 60 to 120 seconds. The molding conditions may be appropriately changed depending on the composition of the sealing epoxy resin composition and the like.
以下、実施例により本発明を更に詳しく説明するが、本発明はこれらの実施例のみに制限されるものではない。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples, but the present invention is not limited to these Examples.
[封止用エポキシ樹脂組成物の調製]
各実施例及び比較例において、無機充填材をシランカップリング剤で表面処理した。処理後の無機充填材と、硬化促進剤と、エポキシ樹脂と、フェノール化合物と、離型剤と、着色剤とを、ミキサーで十分混合することで混合物を得た。この混合物を2軸ロールで100℃の設定温度で5分間加熱しながら溶融混練し、冷却後、粉砕機で粉砕してから打錠することで、タブレット状の封止用エポキシ樹脂組成物を得た。
[Preparation of epoxy resin composition for encapsulation]
In each Example and Comparative Example, the inorganic filler was surface-treated with a silane coupling agent. A mixture was obtained by sufficiently mixing the treated inorganic filler, curing accelerator, epoxy resin, phenol compound, mold release agent, and colorant with a mixer. This mixture is melt-kneaded with a twin-screw roll at a set temperature of 100 ° C. for 5 minutes, cooled, crushed with a crusher, and then locked to obtain a tablet-shaped epoxy resin composition for encapsulation. It was.
なお、各実施例及び比較例で使用した成分及びその量は後掲の表に示す通りである。表中では成分の量は質量部で示されている。これらの成分の詳細は次に示す通りである。
・硬化促進剤1:パナソニック株式会社製、TPP−Kとフェノールノボラック樹脂との反応物。
・硬化促進剤2:北興化学工業株式会社製、TPP−K。
・硬化促進剤3:サンアプロ株式会社製、MeTPP−Methyl Gallate。
・硬化促進剤4:サンアプロ株式会社製、MeTPP−Methyl Gallate−VGTP。
・硬化促進剤5:サンアプロ株式会社製、MeTPP−Ethyl Gallate−VGTP。
・硬化促進剤6:サンアプロ株式会社製、MeTPP−Propyl Gallate−VGTP。
・硬化促進剤7:サンアプロ株式会社製:MeTPP−4,4’−Dihydroxybenzophenone−1,1,1−Tris(4−hydroxyphenyl)ethane。
・硬化促進剤8:サンアプロ株式会社製:MeTPP−methyl salicylate−1,1,1−Tris(4−hydroxyphenyl)ethane。
・硬化促進剤9:サンアプロ株式会社製:MeTPP−catechol−1,1,1−Tris(4−hydroxyphenyl)ethane。
・硬化促進剤10:サンアプロ株式会社製、MeTPP−4−butylparaben−1,1,1−Tris(4−hydroxyphenyl)ethane。
・硬化促進剤11:サンアプロ株式会社製、MeTPP−4−phenyl4−hyodoroxybenzoate−4,4’,4”-trihydroxytriphenylmethane。
・硬化促進剤12:サンアプロ株式会社製、MeTPP−Methyl β−Resorcylate−VGTP。
・エポキシ樹脂:三菱化学株式会社製、テトラメチルビフェニル型エポキシ樹脂、品番YX4000H。
・フェノール化合物:明和化成株式会社製、ビフェニルアラルキル型フェノール樹脂、品番MEH7851SS。
・離型剤:大日化学工業株式会社製、カルナバワックス、品番F1−100。
・カップリング剤:信越シリコーン株式会社製、3γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、品番KBM−803。
・着色剤:三菱化学株式会社製、カーボンブラック、品番MA600。
・無機充填材:電気化学工業株式会社、球状溶融シリカ、品番FB5SDC。
The components used in each Example and Comparative Example and their amounts are as shown in the table below. In the table, the amount of the component is shown by mass. Details of these components are as shown below.
-Curing accelerator 1: Panasonic Corporation, a reaction product of TPP-K and phenol novolac resin.
-Curing accelerator 2: TPP-K manufactured by Hokuko Chemical Industry Co., Ltd.
-Curing accelerator 3: MeTPP-Methyl Galate manufactured by Sun Appro Co., Ltd.
-Curing accelerator 4: MeTPP-Methyl Galate-VGTP manufactured by Sun Appro Co., Ltd.
-Curing accelerator 5: MeTPP-Ethyl Gallate-VGTP manufactured by Sun Appro Co., Ltd.
-Curing accelerator 6: MeTPP-Propyl Galate-VGTP manufactured by Sun Appro Co., Ltd.
-Curing accelerator 7: manufactured by Sun Appro Co., Ltd .: MeTPP-4,4'-Dihydroxybenzophenone-1,1,1-Tris (4-hydroxyphenyl) ethane.
-Curing accelerator 8: manufactured by Sun Appro Co., Ltd .: MeTPP-methyl salicylate-1,1,1-Tris (4-hydroxyphenyl) ethane.
-Curing accelerator 9: manufactured by Sun Appro Co., Ltd .: MeTPP-catechol-1,1,1-Tris (4-hydroxyphenyl) ethane.
Curing Accelerator 10: MeTPP-4-butylparaben-1,1,1-Tris (4-hydroxyphenyl) ethane, manufactured by Sun Appro Co., Ltd.
-Curing Accelerator 11: MeTPP-4-phenyl4-hyodoroxybenzoate-4,4', 4 "-trihydroxytriphenylmethane, manufactured by Sun Appro Co., Ltd.
Curing Accelerator 12: MeTPP-Methyl β-Resorcylate-VGTP manufactured by Sun Appro Co., Ltd.
-Epoxy resin: Tetramethylbiphenyl type epoxy resin manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, product number YX4000H.
-Phenolic compound: Biphenyl aralkyl type phenol resin manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd., product number MEH7851SS.
-Release agent: Carnauba wax manufactured by Dainichi Chemical Industry Co., Ltd., product number F1-100.
-Coupling agent: 3γ-mercaptopropyltrimethoxysilane manufactured by Shinetsu Silicone Co., Ltd., product number KBM-803.
-Colorant: Mitsubishi Chemical Corporation, carbon black, product number MA600.
-Inorganic filler: Denki Kagaku Kogyo Co., Ltd., spherical fused silica, product number FB5SDC.
表に示す硬化促進剤の更なる詳細について説明する。 Further details of the curing accelerators shown in the table will be described.
(硬化促進剤1)
硬化促進剤1は、TPP−Kと低粘度フェノールノボラック樹脂(明和化成工業株式会社、品番H−4)とを、窒素雰囲気下、170〜180℃で加熱し、得られた生成物を冷却してから粉砕することで得られた、ホスホニウムカチオン濃度10質量%の化合物である。
(Curing accelerator 1)
The curing accelerator 1 heats TPP-K and a low-viscosity phenol novolac resin (Meiwa Kasei Kogyo Co., Ltd., product number H-4) at 170 to 180 ° C. in a nitrogen atmosphere to cool the obtained product. It is a compound having a phosphonium cation concentration of 10% by mass, which is obtained by pulverizing the mixture.
(硬化促進剤2)
硬化促進剤2は、北興化学工業株式会社製の市販のテトラフェニルホスホニウム・テトラフェニルボレート(TPP−K)である。
(Curing accelerator 2)
The curing accelerator 2 is a commercially available tetraphenylphosphonium tetraphenylborate (TPP-K) manufactured by Hokuko Chemical Industry Co., Ltd.
(硬化促進剤3)
硬化促進剤3は、第4級ホスホニウムのアルキル炭酸塩とフェノール類との塩交換反応を含む方法で合成された、下記式(7)で示されるホスホニウム塩である。
(Curing accelerator 3)
The curing accelerator 3 is a phosphonium salt represented by the following formula (7), which is synthesized by a method including a salt exchange reaction between an alkyl carbonate of a quaternary phosphonium and phenols.
(硬化促進剤4)
硬化促進剤4は、第4級ホスホニウムのアルキル炭酸塩とフェノール類との塩交換反応を含む方法で合成された、下記式(8)で示されるホスホニウム塩である。
(Curing accelerator 4)
The curing accelerator 4 is a phosphonium salt represented by the following formula (8), which is synthesized by a method including a salt exchange reaction between an alkyl carbonate of a quaternary phosphonium and phenols.
(硬化促進剤5)
硬化促進剤5は、第4級ホスホニウムのアルキル炭酸塩とフェノール類との塩交換反応を含む方法で合成された、下記式(9)で示されるホスホニウム塩である。
(Curing accelerator 5)
The curing accelerator 5 is a phosphonium salt represented by the following formula (9), which is synthesized by a method including a salt exchange reaction between an alkyl carbonate of a quaternary phosphonium and phenols.
(硬化促進剤6)
硬化促進剤6は、第4級ホスホニウムのアルキル炭酸塩とフェノール類との塩交換反応を含む方法で合成された、下記式(10)で示されるホスホニウム塩である。
(Curing accelerator 6)
The curing accelerator 6 is a phosphonium salt represented by the following formula (10), which is synthesized by a method including a salt exchange reaction between an alkyl carbonate of a quaternary phosphonium and phenols.
(硬化促進剤10)
硬化促進剤10は、次の方法で合成した。
(Curing accelerator 10)
The curing accelerator 10 was synthesized by the following method.
攪拌式のオートクレーブ内に、炭酸ジメチル(東京化成工業株式会社製)180質量部及び溶媒のメタノール224質量部を入れた。オートクレーブ内に、更にトリフェニルホスフィン(東京化成工業株式会社製)262質量部を入れてから、オートクレーブの内容物を125℃で80時間加熱することで、反応を進行させた。続いて、オートクレーブ内からメタノール120質量部を減圧除去した後、オートクレーブ内にトルエン1200質量部を入れることで、結晶を析出させた。この結晶を単離してからメタノールに溶解させることで、第4級ホスホニウムベース(A−Be1)としてトリフェニルメチルホスホニウムモノメチル炭酸塩の溶液(固形分濃度50%)を得た。 180 parts by mass of dimethyl carbonate (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) and 224 parts by mass of methanol as a solvent were placed in a stirring type autoclave. After further adding 262 parts by mass of triphenylphosphine (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) in the autoclave, the contents of the autoclave were heated at 125 ° C. for 80 hours to allow the reaction to proceed. Subsequently, 120 parts by mass of methanol was removed from the autoclave under reduced pressure, and then 1200 parts by mass of toluene was placed in the autoclave to precipitate crystals. By isolating the crystals and then dissolving them in methanol, a solution of triphenylmethylphosphonium monomethyl carbonate (solid content concentration: 50%) was obtained as a quaternary phosphonium base (A-Be1).
滴下ロート、及び還流管を備え付けたガラス製丸底3つ口フラスコに、第4級ホスホニウムベース(A−Be1)704質量部を入れた。この第4級ホスホニウムベース(A−Be1)の温度を50℃に維持しながら、丸底3つ口フラスコ内に4−ヒドロキシ安息香酸ブチル(東京化成工業株式会社製)400質量部を分割投入した。続いて、丸底3つ口フラスコ内に1,1,1−トリス(4−ヒドロキシフェニル)エタン(東京化成工業株式会社製)305質量部を分割投入した。続いて、丸底3つ口フラスコ内から溶剤(メタノール)を留去しながら丸底3つ口フラスコの内容物を175℃まで昇温した後、丸底3つ口フラスコ内に残った溶剤を減圧除去することで、硬化促進剤10を得た。 704 parts by mass of a quaternary phosphonium base (A-Be1) was placed in a glass round-bottomed three-necked flask equipped with a dropping funnel and a reflux tube. While maintaining the temperature of the quaternary phosphonium base (A-Be1) at 50 ° C., 400 parts by mass of butyl 4-hydroxybenzoate (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) was divided and charged into a round-bottomed three-necked flask. .. Subsequently, 305 parts by mass of 1,1,1-tris (4-hydroxyphenyl) ethane (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) was placed in a round-bottomed three-necked flask. Subsequently, the contents of the round-bottomed three-necked flask were heated to 175 ° C. while distilling off the solvent (methanol) from the round-bottomed three-necked flask, and then the solvent remaining in the round-bottomed three-necked flask was removed. The curing accelerator 10 was obtained by removing under reduced pressure.
硬化促進剤10中のホスホニウム塩(CA)と有機フェノール化合物(CB)と有機フェノール化合物(CC)のモル比は、1.00:1.06:1.00であった。 The molar ratio of the phosphonium salt (CA), the organic phenol compound (CB) and the organic phenol compound (CC) in the curing accelerator 10 was 1.00: 1.06: 1.00.
(硬化促進剤11)
硬化促進剤11は、次の方法で合成した。
(Curing Accelerator 11)
The curing accelerator 11 was synthesized by the following method.
硬化促進剤10の合成方法において、4−ヒドロキシ安息香酸ブチル400質量部を、4−ヒドロキシ安息香酸フェニル(東京化成工業株式会社製)400質量部に変更し、1,1,1−トリス(4−ヒドロキシフェニル)エタン305質量部を、4,4',4"−トリヒドロキシトリフェニルメタン(東京化成工業株式会社製)305質量部に変更した。それ以外は、硬化促進剤10の合成方法を採用して、硬化促進剤11を得た。 In the method for synthesizing the curing accelerator 10, 400 parts by mass of butyl 4-hydroxybenzoate was changed to 400 parts by mass of phenyl 4-hydroxybenzoate (manufactured by Tokyo Kasei Kogyo Co., Ltd.), and 1,1,1-tris (4) 305 parts by mass of -hydroxyphenyl) ethane was changed to 305 parts by mass of 4,4', 4 "-trihydroxytriphenylmethane (manufactured by Tokyo Kasei Kogyo Co., Ltd.). Other than that, the method for synthesizing the curing accelerator 10 was changed. It was adopted to obtain a curing accelerator 11.
硬化促進剤11中のホスホニウム塩(CA)と有機フェノール化合物(CB)と有機フェノール化合物(CC)のモル比は、1.00:0.87:1.05であった。 The molar ratio of the phosphonium salt (CA), the organic phenol compound (CB) and the organic phenol compound (CC) in the curing accelerator 11 was 1.00: 0.87: 1.05.
(硬化促進剤12)
硬化促進剤12は、次の方法で合成した。
(Curing Accelerator 12)
The curing accelerator 12 was synthesized by the following method.
滴下ロート、及び還流管を備え付けたガラス製丸底3つ口フラスコ内に、テトラフェニルホスホニウムブロマイド(東京化成工業株式会社社製)419質量部、及びメタノール1000質量部を入れて、テトラフェニルホスホニウムブロマイドをメタノールに均一に溶解させた。続いて、丸底3つ口フラスコ内に水酸化ナトリウム40質量部をゆっくり入れてから、丸底3つ口フラスコの内容物を室温で5時間静置した。丸底3つ口フラスコ内から、析出した塩を除去することで、第4級ホスホニウムベース(A−Be3)として水酸化テトラフェニルホスホニウム溶液(固形分濃度25%)を得た。 419 parts by mass of tetraphenylphosphonium bromide (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) and 1000 parts by mass of methanol are placed in a glass round-bottomed three-necked flask equipped with a dropping funnel and a reflux tube, and tetraphenylphosphonium bromide is placed. Was uniformly dissolved in methanol. Subsequently, 40 parts by mass of sodium hydroxide was slowly placed in the round-bottomed three-necked flask, and then the contents of the round-bottomed three-necked flask were allowed to stand at room temperature for 5 hours. By removing the precipitated salt from the round-bottomed three-necked flask, a tetraphenylphosphonium hydroxide solution (solid content concentration 25%) was obtained as a quaternary phosphonium base (A-Be3).
硬化促進剤10の合成方法において、第4級ホスホニウムベース(A−Be1)704部を、第4級ホスホニウムベース(A−Be3)1200質量部に変更し、4−ヒドロキシ安息香酸ブチルを、2,4−ジヒドロキシ安息香酸メチル(東京化成工業株式会社製)400質量部に変更し、1,1,1−トリス(4−ヒドロキシフェニル)エタン305質量部を、α,α,α'−トリス(4−ヒドロキシフェニル)−1−エチル−4−イソプロピルベンゼン(東京化成工業株式会社製)305質量部に変更した。それ以外は、硬化促進剤10の合成方法を採用して、硬化促進剤12を得た。 In the method for synthesizing the curing accelerator 10, 704 parts of the quaternary phosphonium base (A-Be1) was changed to 1200 parts by mass of the quaternary phosphonium base (A-Be3), and butyl 4-hydroxybenzoate was added to 2, Methyl 4-dihydroxybenzoate (manufactured by Tokyo Kasei Kogyo Co., Ltd.) was changed to 400 parts by mass, and 305 parts by mass of 1,1,1-tris (4-hydroxyphenyl) ethane was changed to α, α, α'-tris (4). -Hydroxyphenyl) -1-ethyl-4-isopropylbenzene (manufactured by Tokyo Kasei Kogyo Co., Ltd.) 305 parts by mass. Other than that, the method for synthesizing the curing accelerator 10 was adopted to obtain the curing accelerator 12.
硬化促進剤12中のホスホニウム塩(CA)と有機フェノール化合物(CB)と有機フェノール化合物(CC)のモル比は、1.00:1.38:0.71であった。 The molar ratio of the phosphonium salt (CA), the organic phenol compound (CB) and the organic phenol compound (CC) in the curing accelerator 12 was 1.00: 1.38: 0.71.
(硬化促進剤7)
硬化促進剤10の合成方法において、4−ヒドロキシ安息香酸ブチルを、4,4'−ジヒドロキシベンゾフェノン(東京化成工業株式会社製)400質量部に変更した。それ以外は、硬化促進剤10の合成方法を採用して、硬化促進剤7を得た。
(Curing accelerator 7)
In the method for synthesizing the curing accelerator 10, butyl 4-hydroxybenzoate was changed to 400 parts by mass of 4,4'-dihydroxybenzophenone (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.). Other than that, the method for synthesizing the curing accelerator 10 was adopted to obtain the curing accelerator 7.
(硬化促進剤8)
硬化促進剤10の合成方法において、4−ヒドロキシ安息香酸ブチルを、サリチル酸メチル(東京化成工業株式会社製)に変更した。それ以外は、硬化促進剤10の合成方法を採用して、硬化促進剤8を得た。
(Curing accelerator 8)
In the method for synthesizing the curing accelerator 10, butyl 4-hydroxybenzoate was changed to methyl salicylate (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.). Other than that, the method for synthesizing the curing accelerator 10 was adopted to obtain the curing accelerator 8.
(硬化促進剤9)
硬化促進剤10の合成方法において、4−ヒドロキシ安息香酸ブチルを、カテコール(東京化成工業株式会社製)に変更した。それ以外は、硬化促進剤10の合成方法を採用して、硬化促進剤9を得た。
(Curing accelerator 9)
In the method for synthesizing the curing accelerator 10, butyl 4-hydroxybenzoate was changed to catechol (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.). Other than that, the method for synthesizing the curing accelerator 10 was adopted to obtain the curing accelerator 9.
[不純イオン分析]
硬化促進剤1、3〜13を、95℃の熱水中に入れて15時間保持することで、抽出水を得た。この抽出水のイオンクロマトグラフ分析を行った。その結果に基づいて、各硬化促進剤における塩化物イオン、臭化物イオン、硫酸イオン及びナトリウムイオンの含有割合を算出した。なお、イオンが検出限界のために検出できなかった場合をNDとした。
[Impurity ion analysis]
Extracted water was obtained by putting the curing accelerators 1, 3 to 13 in hot water at 95 ° C. and holding the mixture for 15 hours. Ion chromatographic analysis of this extracted water was performed. Based on the results, the content ratios of chloride ion, bromide ion, sulfate ion and sodium ion in each curing accelerator were calculated. The case where the ion could not be detected due to the detection limit was defined as ND.
[スパイラルフロー長さ]
株式会社神藤金属工業所製のトランスファープレスETA−D型と、ASTMD3123に準じたスパイラルフロー測定金型とを用い、各実施例及び比較例における製造直後の封止用エポキシ樹脂組成物のスパイラルフロー長さを、金型温度175℃、注入圧力6.9MPa、成形時間120秒の条件の条件で測定した。スパイラルフロー長さが長いほど流動性が良好であると評価できる。
[Spiral flow length]
Using a transfer press ETA-D type manufactured by Shinto Kinzoku Kogyo Co., Ltd. and a spiral flow measurement die according to ASTMD3123, the spiral flow length of the sealing epoxy resin composition immediately after production in each Example and Comparative Example. The measurement was carried out under the conditions of a mold temperature of 175 ° C., an injection pressure of 6.9 MPa, and a molding time of 120 seconds. It can be evaluated that the longer the spiral flow length, the better the fluidity.
[ゲルタイム評価]
各実施例及び比較例で得られた封止用エポキシ樹脂組成物の170℃でのゲルタイムを測定した。測定は、株式会社JSR製のキュラストメータを用いて行った。なお、本評価試験におけるゲルタイムは、測定開始時からトルクが9.81mN・m(0.1kgf・cm)になるまでに要する時間である。ゲルタイムが短いほど硬化性が良好であると評価できる。
[Gel time evaluation]
The gel time of the sealing epoxy resin composition obtained in each Example and Comparative Example at 170 ° C. was measured. The measurement was performed using a curast meter manufactured by JSR Corporation. The gel time in this evaluation test is the time required from the start of measurement until the torque reaches 9.81 mN · m (0.1 kgf · cm). It can be evaluated that the shorter the gel time, the better the curability.
[90秒経過時トルク評価]
ゲルタイムの測定時に、測定開始時から90秒経過時のトルクの値を測定した。この値が大きいほど、封止用エポキシ樹脂組成物の硬化性が良好であると評価できる。
[Torque evaluation after 90 seconds]
When measuring the gel time, the torque value 90 seconds after the start of the measurement was measured. It can be evaluated that the larger this value is, the better the curability of the sealing epoxy resin composition is.
[分散性評価]
各実施例及び比較例で得られた封止用エポキシ樹脂組成物を直径13mm、厚み20mmのサイズを有するタブレットに成形し、このタブレットの一面を2mmずつ八回研磨した。一回研磨するごとに、研磨面を金属顕微鏡で観察した。その結果、研磨面に硬化促進剤の凝集が一度も認められない場合を「良」、研磨面に硬化促進剤の凝集が一度でも認められた場合を「不良」と評価した。
[Dispersibility evaluation]
The epoxy resin composition for encapsulation obtained in each Example and Comparative Example was molded into a tablet having a size of 13 mm in diameter and 20 mm in thickness, and one surface of this tablet was polished 8 times by 2 mm. The polished surface was observed with a metallurgical microscope after each polishing. As a result, the case where the agglutination of the curing accelerator was never observed on the polished surface was evaluated as "good", and the case where the agglutination of the curing accelerator was observed even once on the polished surface was evaluated as "poor".
[保存安定性]
各実施例及び比較例における封止用エポキシ樹脂組成物を、温度25℃にて96時間放置してから、封止用エポキシ樹脂組成物のスパイラルフロー長さを測定した。この放置後のスパイラルフロー長さの、製造直後のスパイラルフロー長さに対する百分率を、保存安定性の指標とした。この百分率が大きいほど保存安定性が高いと評価できる。
[Storage stability]
The sealing epoxy resin compositions in each Example and Comparative Example were left at a temperature of 25 ° C. for 96 hours, and then the spiral flow length of the sealing epoxy resin composition was measured. The percentage of the spiral flow length after being left to stand with respect to the spiral flow length immediately after production was used as an index of storage stability. It can be evaluated that the larger the percentage, the higher the storage stability.
[硬化前ベンゼン発生量評価]
各実施例及び比較例における封止用エポキシ樹脂組成物を密封容器内で90℃で30分加熱してから、密封容器内の気体を採取し、この気体中のベンゼン量をヘッドスペースGC/MS法で測定した。
[Evaluation of benzene generation before curing]
The epoxy resin composition for sealing in each Example and Comparative Example is heated at 90 ° C. for 30 minutes in a sealed container, then the gas in the sealed container is sampled, and the amount of benzene in this gas is measured by headspace GC / MS. Measured by method.
[硬化後ベンゼン発生量評価]
各実施例及び比較例における封止用エポキシ樹脂組成物を175℃で6時間加熱することで熱硬化させた。これにより得られた硬化物を密封容器内で90℃で30分加熱してから、密封容器内の気体を採取し、この気体中のベンゼン量をヘッドスペースGC/MS法で測定した。
[Evaluation of benzene generation after curing]
The epoxy resin compositions for encapsulation in each Example and Comparative Example were thermoset by heating at 175 ° C. for 6 hours. The cured product thus obtained was heated at 90 ° C. for 30 minutes in a sealed container, and then the gas in the sealed container was sampled, and the amount of benzene in this gas was measured by the headspace GC / MS method.
[連続成形性の評価]
40mm×40mmの寸法を有する基板を、第一精工製の成形機(品名S・Pot)の金型にセットした状態で、各実施例及び比較例における封止用エポキシ樹脂組成物を成形温度175℃、キュア時間100秒の条件で成形することで、基板上に成形体を形成した。その直後に、金型から基板を持ち上げることで、成形体を金型から取り外した。このとき、金型から基板を持ち上げるために要する力をデジタルフォースゲージ(IMADA製)で測定した。この操作を百回繰り返し行い、成形回数1〜25回目、26〜50回目、51〜75回目、76〜100回目の各々の場合の、デジタルフォースゲージによる測定値の平均値を算出した。
[Evaluation of continuous moldability]
With the substrate having a size of 40 mm × 40 mm set in the mold of a molding machine (product name S. Pot) manufactured by Daiichi Seiko, the epoxy resin composition for sealing in each Example and Comparative Example was molded at a molding temperature of 175. A molded product was formed on the substrate by molding under the conditions of ° C. and a cure time of 100 seconds. Immediately after that, the molded product was removed from the mold by lifting the substrate from the mold. At this time, the force required to lift the substrate from the mold was measured with a digital force gauge (manufactured by IMADA). This operation was repeated 100 times, and the average value of the values measured by the digital force gauge was calculated for each of the 1st to 25th, 26th to 50th, 51st to 75th, and 76th to 100th moldings.
以上の結果によると、実施例1〜9では、硬化促進剤中の不純物が少なく、封止用エポキシ樹脂組成物の流動性及び硬化性が優れ、硬化促進剤の分散性が良好であり、保存安定性も良好であった。 According to the above results, in Examples 1 to 9, impurities in the curing accelerator were small, the fluidity and curability of the sealing epoxy resin composition were excellent, the dispersibility of the curing accelerator was good, and storage was performed. The stability was also good.
一方、比較例1では、硬化促進剤として公知のTPPK−PN樹脂MBを使用した。その結果、硬化後にはベンゼンは発生しないが、硬化前のエポキシ樹脂組成物からは加熱すると反応に由来するベンゼンが発生してしまう。このため、作業環境の悪化を招いてしまう。 On the other hand, in Comparative Example 1, a known TPPK-PN resin MB was used as a curing accelerator. As a result, benzene is not generated after curing, but benzene derived from the reaction is generated from the epoxy resin composition before curing when heated. Therefore, the working environment is deteriorated.
比較例2では、硬化促進剤として公知のTPPKを使用した。その結果、ゲルタイムは100秒を超えてしまい、生産性の悪化を招いてしまう。組成物中の硬化促進剤の凝集も発生してしまう。さらに、硬化前と硬化後のいずれでもかなりの量のベンゼンが発生してしまい、作業環境の悪化を招いてしまう。 In Comparative Example 2, a known TPPK was used as a curing accelerator. As a result, the gel time exceeds 100 seconds, which leads to deterioration of productivity. Aggregation of the curing accelerator in the composition also occurs. Further, a considerable amount of benzene is generated both before and after curing, which causes deterioration of the working environment.
比較例3では、硬化促進剤としてMeTPP−Methyl Gallateを使用した。その結果、流動性に優れるが、90秒経過時トルクが低いことから、硬化性に劣ると判断される。 In Comparative Example 3, MeTPP-Methyl Galate was used as a curing accelerator. As a result, the fluidity is excellent, but the torque is low after 90 seconds, so that it is judged to be inferior in curability.
比較例4では、硬化促進剤としてMeTPP−4,4’−Dihydroxybenzophenone−1,1,1−Tris(4−hydroxyphenyl)ethaneを使用した。その結果、硬化性は良好だが、流動性に劣る。 In Comparative Example 4, MeTPP-4,4'-Dihydroxybenzophenone-1,1,1-Tris (4-hydroxyphenyl) ethane was used as a curing accelerator. As a result, the curability is good, but the fluidity is poor.
比較例5では、硬化促進剤としてMeTPP−methyl salicylate−1,1,1−Tris(4−hydroxyphenyl)ethaneを使用した。その結果、流動性、硬化性ともに劣る結果となった。 In Comparative Example 5, MeTPP-methyl salicylate-1,1,1-Tris (4-hydroxyphenyl) ethane was used as a curing accelerator. As a result, both fluidity and curability were inferior.
比較例6では、硬化促進剤としてMeTPP−catechol−1,1,1−Tris(4−hydroxyphenyl)ethaneを使用した。その結果、流動性、硬化性ともに劣る結果となった。 In Comparative Example 6, MeTPP-catechol-1,1,1-Tris (4-hydroxyphenyl) ethane was used as a curing accelerator. As a result, both fluidity and curability were inferior.
また、実施例1〜9は硬化性が優れているため、連続成型性が良好である。一方、比較例1、3〜6は硬化性が悪いため、連続成型性は成形回数が増えるにつれて悪化する結果となった。 Further, since Examples 1 to 9 have excellent curability, continuous moldability is good. On the other hand, since Comparative Examples 1 and 3 to 6 had poor curability, the continuous moldability deteriorated as the number of moldings increased.
Claims (14)
硬化剤(B)、
硬化促進剤(C)及び
無機充填材(D)、
を含有し、
前記硬化促進剤(C)は、下記式(1)で示される第4級ホスホニウム(C1)と下記式(2)で示される有機フェノール化合物(c21)のアニオン(C2)とからなるホスホニウム塩(CA)、及び下記式(3)で示される有機フェノール化合物(CC)を有する、
封止用エポキシ樹脂組成物、
Hardener (B),
Curing accelerator (C) and inorganic filler (D),
Contains,
The curing accelerator (C) is a phosphonium salt (C2) composed of a quaternary phosphonium (C1) represented by the following formula (1) and an anion (C2) of an organic phenol compound (c21) represented by the following formula (2). CA) and an organic phenol compound (CC) represented by the following formula (3).
Epoxy resin composition for sealing,
請求項1に記載の封止用エポキシ樹脂組成物、
The epoxy resin composition for sealing according to claim 1.
請求項2に記載の封止用エポキシ樹脂組成物。 The molar ratio of the phosphonium salt (CA) to the organic phenol compound (CB) is in the range of 99; 1 to 1:99.
The epoxy resin composition for sealing according to claim 2.
請求項1から3のいずれか一項に記載の封止用エポキシ樹脂組成物。 The molar ratio of the phosphonium salt (CA) to the organic phenol compound (CC) is in the range of 99: 1 to 1:99.
The epoxy resin composition for sealing according to any one of claims 1 to 3.
請求項1から4のいずれか一項に記載の封止用エポキシ樹脂組成物。 In the above formula (2), R5 is a hydroxyl group, and R6 to R8 are independently hydrogens or hydroxyl groups, respectively.
The epoxy resin composition for sealing according to any one of claims 1 to 4.
請求項1から4のいずれか一項に記載の封止用エポキシ樹脂組成物。 In the above formula (2), R5 is a hydroxyl group, R6 and R7 are hydrogen, and R8 is a hydroxyl group.
The epoxy resin composition for sealing according to any one of claims 1 to 4.
請求項1から4のいずれか一項に記載の封止用エポキシ樹脂組成物。 In the above formula (2), R6 is a hydroxyl group, and R5, R7 and R8 are independently hydrogens or hydroxyl groups, respectively.
The epoxy resin composition for sealing according to any one of claims 1 to 4.
請求項1から4のいずれか一項に記載の封止用エポキシ樹脂組成物。 In the above formula (2), R6 is a hydroxyl group, and R5, R7 and R8 are hydrogen, respectively.
The epoxy resin composition for sealing according to any one of claims 1 to 4.
請求項1から8のいずれか一項に記載の封止用エポキシ樹脂組成物。 In the above formula (2), R9 is a methyl group, an ethyl group, a propyl group or a butyl group.
The epoxy resin composition for sealing according to any one of claims 1 to 8.
請求項1から9のいずれか一項に記載の封止用エポキシ樹脂組成物。 In the above formula ( 3 ), R11 is a group represented by the above formula ( 4).
The epoxy resin composition for sealing according to any one of claims 1 to 9.
請求項1から9のいずれか一項に記載の封止用エポキシ樹脂組成物、
The epoxy resin composition for sealing according to any one of claims 1 to 9.
請求項1から11のいずれか一項に記載の封止用エポキシ樹脂組成物。 The curing agent (B) contains at least one of a phenol compound and a functional compound that produces a phenolic hydroxyl group.
The epoxy resin composition for sealing according to any one of claims 1 to 11.
半導体装置。 A semiconductor element and a sealing material for sealing the semiconductor element are provided, and the sealing material contains the cured product according to claim 13.
Semiconductor device.
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