JP6855634B1 - 検査方法および検査システム - Google Patents

Abstract

【課題】高速伝送線路を有するプリント配線板の検査効率を向上させる。【解決手段】配線１１１の一端に電気的に接続される測定ポート２１と、配線１１１の他端に電気的に接続される測定ポート２２を有し、配線１１１の伝送特性を測定するベクトルネットワークアナライザ２と、配線１１２の一端に電気的に接続される測定ポート３１と、配線１１２の他端に電気的に接続される測定ポート３２を有し、配線１１２の直流抵抗を測定する直流抵抗測定器３と、ベクトルネットワークアナライザ２および直流抵抗測定器３に通信可能に接続された情報処理装置４とを備え、情報処理装置４はベクトルネットワークアナライザ２により測定された配線１１１の伝送特性に基づいて配線１１１の伝送特性を検査するとともに配線１１１のオープン状態およびショート状態を検査し、直流抵抗測定器３により測定された配線１１２の直流抵抗に基づいて配線１１２のオープン状態を検査する。【選択図】図１

Description

本発明は、検査方法および検査システムに関し、より詳しくは、高速伝送線路など、伝送特性検査の対象である配線を含むプリント配線板を検査するための検査方法および検査システムに関する。

近年、スマートフォン、ノートパソコン、デジタルカメラ、ゲーム機などの電子機器においては、小型化および高速化の進展に伴い、情報処理量が急増している。このため、信号速度はますます高速化する傾向にある。また、スマートフォン等の携帯通信端末は、２０１９年から次世代通信規格５Ｇへの移行が始まっている。この５Ｇでは、通信端末が送受信する信号の周波数は数ＧＨｚから２０〜３０ＧＨｚになる。さらに２０２２年頃には、信号周波数は５０ＧＨｚ程度にまで高まる見込みである。

このような信号の高速化に応じて、プリント配線板の信号線（高速伝送線路）には、伝送特性に関する仕様を満たすことが求められる。たとえば、信号の反射を抑制するために、特性インピーダンスや電圧定在波比（ＶＳＷＲ：Ｖｏｌｔａｇｅ Ｓｔａｎｄｉｎｇ Ｗａｖｅ Ｒａｔｉｏ）が仕様で規定されることがある。また、信号周波数が高くなるにつれて伝送損失が大きくなる傾向にあるため、線路の伝送損失が仕様で規定されることがある。さらに、同一のプリント配線板に複数の信号線が設けられる場合は、隣接する信号線同士の干渉（クロストーク/アイソレーション）について仕様で規定されることがある。伝送特性に係る仕様を満足していることを確認するため、高速伝送線路を有するプリント配線板の検査では、伝送特性を測定して良否判定が行われる。

なお、特許文献１には、電子機器に用いられる高速信号伝送用のプリント配線板が記載されている。このプリント配線板では、液晶ポリマー等からなる絶縁基板の内部に信号線やグランド配線が設けられており、信号線はストリップラインの高速伝送線路として構成されている。

特開２０１９−１０６５０８号公報

上記のように、高速伝送線路を有するプリント配線板に対しては、伝送特性を検査する必要がある。この伝送特性検査は、ベクトルネットワークアナライザを用いて行われる。

また、伝送特性の他にも、高速伝送線路が断線していないどうか、および隣り合う配線と短絡していないかについてオープン・ショート検査を行う必要がある。このオープン・ショート検査は、直流抵抗測定器を用いて行われる。

従来はプリント配線板の高速伝送線路について、伝送特性検査およびオープン・ショート検査をそれぞれ行う必要があった。このため、長い検査時間を要したり、検査コストが嵩むという課題があった。

そこで、本発明は、高速伝送線路を有するプリント配線板の検査効率を向上させることが可能な検査方法および検査システムを提供することを目的とする。

本発明に係る検査方法は、
伝送特性検査の対象である第１の配線と、前記第１の配線と隣り合い、伝送特性検査の対象でない第２の配線とを有するプリント配線板を検査するための検査方法であって、
ベクトルネットワークアナライザにより前記第１の配線の伝送特性を測定し、
直流抵抗測定器により前記第２の配線の直流抵抗を測定し、
前記第１の配線の伝送特性に基づいて、前記第１の配線の伝送特性に加えて前記第１の配線のオープン状態およびショート状態を検査し、
前記第２の配線の直流抵抗に基づいて、前記第２の配線のオープン状態を検査することを特徴とする。

また、前記検査方法において、
前記ベクトルネットワークアナライザにより、前記伝送特性として、前記第１の配線の反射特性を測定し、
前記第１の配線のオープン状態およびショート状態の検査では、
前記第１の配線の反射特性をＴＤＲ変換して得られる特性インピーダンスが所定のショート判定閾値を下回る場合に前記第１の配線はショート状態であると判定し、前記特性インピーダンスが所定のオープン判定閾値を上回る場合に前記第１の配線はオープン状態であると判定するようにしてもよい。

また、前記検査方法において、
前記ベクトルネットワークアナライザにより、前記伝送特性として、前記第１の配線の伝送損失を測定し、
前記第１の配線のオープン状態およびショート状態の検査では、
前記第１の配線の前記伝送損失が少なくとも１つの周波数において所定のショート判定閾値を下回る場合に前記第１の配線はショート状態であると判定し、前記伝送損失が所定のオープン判定閾値を上回る場合に、前記第１の配線はオープン状態であると判定するようにしてもよい。

また、前記検査方法において、
前記直流抵抗測定器による前記第２の配線のショート状態の検査は行わないようにしてもよい。

また、前記検査方法において、
前記第１の配線は高速伝送線路であり、前記第２の配線は電力供給線路、グランド配線または低速伝送線路であってもよい。

また、前記検査方法において、
前記プリント配線板は、前記第１の配線と隣り合い、伝送特性検査の対象である第３の配線をさらに有し、
前記ベクトルネットワークアナライザにより前記第３の配線の伝送特性を測定し、
前記第３の配線の伝送特性に基づいて、前記第３の配線の伝送特性を検査するとともに前記第３の配線のオープン状態およびショート状態を検査するようにしてもよい。

また、前記検査方法において、
前記プリント配線板は、前記第２の配線と隣り合い、伝送特性検査の対象である第３の配線を有し、
前記ベクトルネットワークアナライザにより前記第３の配線の伝送特性を測定し、
前記第３の配線の伝送特性に基づいて、前記第３の配線の伝送特性を検査するとともに前記第３の配線のオープン状態およびショート状態を検査するようにしてもよい。

また、前記検査方法において、
前記プリント配線板は、前記第２の配線と隣り合い、伝送特性検査の対象でない第３の配線を有し、
前記直流抵抗測定器により前記第３の配線の直流抵抗を測定し、
前記第３の配線の直流抵抗に基づいて、前記第３の配線のオープン状態を検査するようにしてもよい。

また、前記検査方法において、
前記プリント配線板は、前記第１の配線の入力端子および前記第２の配線の入力端子と電気的に接続された第１のコネクタと、前記第１の配線の出力端子および前記第２の配線の出力端子と電気的に接続された第２のコネクタとが実装されたフレキシブルプリント配線板であってもよい。

また、前記検査方法において、
前記プリント配線板は、製品シートに他のプリント配線板とともに含まれ、コネクタが実装されていないフレキシブルプリント配線板であってもよい。

本発明に係る検査システムは、
伝送特性検査の対象である第１の配線と、前記第１の配線と隣り合い、伝送特性検査の対象でない第２の配線とを有するプリント配線板を検査するための検査システムであって、
前記第１の配線の一端に電気的に接続される第１の測定ポートと、前記第１の配線の他端に電気的に接続される第２の測定ポートとを有し、前記第１の配線の伝送特性を測定するベクトルネットワークアナライザと、
前記第２の配線の一端に電気的に接続される第１の測定ポートと、前記第２の配線の他端に電気的に接続される第２の測定ポートとを有し、前記第２の配線の直流抵抗を測定する直流抵抗測定器と、
前記ベクトルネットワークアナライザおよび前記直流抵抗測定器に通信可能に接続された情報処理装置と、
を備え、
前記情報処理装置は、
前記ベクトルネットワークアナライザにより測定された前記第１の配線の伝送特性に基づいて、前記第１の配線の伝送特性を検査するとともに前記第１の配線のオープン状態およびショート状態を検査し、
前記直流抵抗測定器により測定された前記第２の配線の直流抵抗に基づいて、前記第２の配線のオープン状態を検査することを特徴とする。

また、前記検査システムにおいて、
前記ベクトルネットワークアナライザの前記第１の測定ポートに電気的に接続された第１の検査プローブと、前記直流抵抗測定器の前記第１の測定ポートに電気的に接続された第２の検査プローブとを有する第１の検査治具と、
前記ベクトルネットワークアナライザの前記第２の測定ポートに電気的に接続された第１の検査プローブと、前記直流抵抗測定器の前記第２の測定ポートに電気的に接続された第２の検査プローブとを有する第２の検査治具と、
を備え、
前記第１の検査治具の前記第１の検査プローブは、前記第１の配線の前記一端に電気的に接続可能に構成され、前記第１の検査治具の前記第２の検査プローブは、前記第２の配線の前記一端に電気的に接続可能に構成され、
前記第２の検査治具の前記第１の検査プローブは、前記第１の配線の前記他端に電気的に接続可能に構成され、前記第２の検査治具の前記第２の検査プローブは、前記第２の配線の前記他端に電気的に接続可能に構成されていてもよい。

また、前記検査システムにおいて、
前記第１の検査治具の前記第１および第２の検査プローブは、前記プリント配線板に実装された第１のコネクタのコネクタ端子に装着可能に構成され、
前記第２の検査治具の前記第１および第２の検査プローブは、前記プリント配線板に実装された第２のコネクタのコネクタ端子に装着可能に構成されているようにしてもよい。

また、前記検査システムにおいて、
前記プリント配線板だけでなく、前記プリント配線板とは別のプリント配線板も検査する検査システムであって、
前記別のプリント配線板は、伝送特性検査の対象である第３の配線を有し、
前記ベクトルネットワークアナライザは、前記別のプリント配線板の前記第３の配線の一端に電気的に接続される第３の測定ポートと、前記第３の配線の他端に電気的に接続される第４の測定ポートとをさらに有し、前記第３の配線の伝送特性を測定するようにしてもよい。

本発明に係る検査方法は、
伝送特性検査の対象である配線を有するプリント配線板を検査するための検査方法であって、
ベクトルネットワークアナライザにより前記配線の伝送特性を測定し、
前記配線の伝送特性に基づいて、前記配線の伝送特性を検査するとともに前記配線のオープン状態およびショート状態を検査することを特徴とする。

本発明によれば、高速伝送線路を有するプリント配線板の検査効率を向上させることが可能な検査方法および検査システムを提供することができる。

第１の実施形態に係る検査システムの概略的構成を示す図である。 ベクトルネットワークアナライザにより測定された反射特性に基づく特性インピーダンス（正常状態およびショート状態）の一例を示す図である。 ベクトルネットワークアナライザにより測定された反射特性に基づく特性インピーダンス（正常状態およびオープン状態）の一例を示す図である。 ベクトルネットワークアナライザにより測定された伝送損失（正常状態およびショート状態）の一例を示す図である。 ベクトルネットワークアナライザにより測定された伝送損失（正常状態およびオープン状態）の一例を示す図である。 実施形態に係る検査方法を説明するためのフローチャートである。 実施形態に係る検査方法の詳細を説明するためのフローチャートである。 検査対象のプリント配線板に係る別の例を示す図である。 検査対象のプリント配線板に係るさらに別の例を示す図である。 第２の実施形態に係る検査システムの概略的構成を示す図である。 比較例に係るプリント配線板の検査工程を含む、プリント配線板の製造方法を示すフローチャートである。 複数のプリント配線板を含む製品シートの一例を示す平面図である。 図８に示す製品シートのプリント配線板の平面図である。 図９ＡのＩ−Ｉ線に沿う断面図である。 比較例に係る直流抵抗測定器によるオープン・ショート検査を説明するための図である。 プリント配線板にコネクタが実装された部品実装プリント配線板の平面図である。 図１１ＡのＩＩ−ＩＩ線に沿う断面図である。 比較例に係る直流抵抗測定器によるオープン・ショート検査を説明するための図である。 比較例に係るベクトルネットワークアナライザによる伝送特性検査を説明するための図である。

本発明に係る実施形態について説明する前に、比較例について説明する。

＜比較例＞
実施形態を説明する前に、図７のフローチャートに沿って、比較例に係るプリント配線板の検査工程を含む、プリント配線板の製造方法について説明する。

まず、複数のフレキシブルプリント配線板（ＦＰＣ）を含む製品シートを製造する（ステップＳ１０１）。図８は、複数のプリント配線板１１０を含む製品シートＳの平面図である。図８中の破線は製品外形ラインを示している。この例では、製品シートＳには１２個のプリント配線板１１０が形成されている。

製品シートＳの各プリント配線板１１０は、図９Ａに示すように、複数の配線１１１（第１の配線）、配線１１２（第２の配線）および配線１１３（第３の配線）を有する。配線１１１および配線１１３は、伝送特性検査の対象となる配線であり、たとえば、高速信号を伝送するための高速伝送線路である。配線１１２は、伝送特性検査の対象ではない配線であり、たとえば、グランド配線である。グランド配線はプリント配線板１１０の外層のグランド層（図示せず）に電気的に接続された配線である。なお、配線１１２は、電力を伝送するための電力供給線路、伝送特性を検査する必要のない低速伝送線路等であってもよい。

図９Ｂに示すように、配線１１１，１１２，１１３は絶縁基材１１９中に形成されている。配線１１１，１１２，１１３は、プリント配線板１１０の内層に形成された線路と、ビアもしくはスルーホール等の層間接続手段とを有する。絶縁基材１１９の表面には入力端子１１１ａ，１１２ａ，１１３ａおよび出力端子１１１ｂ，１１２ｂ，１１３ｂが形成されている。配線１１１は入力端子１１１ａと出力端子１１１ｂとを電気的に接続し、配線１１２は入力端子１１２ａと出力端子１１２ｂとを電気的に接続し、配線１１３は入力端子１１３ａと出力端子１１３ｂとを電気的に接続する。換言すれば、配線１１１，１１２，１１３の一端はプリント配線板１１０の入力端子１１１ａ，１１２ａ，１１３ａにそれぞれ電気的に接続され、配線１１１，１１２，１１３の他端は出力端子１１１ｂ，１１２ｂ，１１３ｂにそれぞれ電気的に接続されている。

なお、検査対象の配線は、絶縁基材中に埋設された配線に限らず、マイクロストリップライン構造のように、絶縁基材の表面に形成された配線であってもよい。

次に、製品シートＳの各プリント配線板１１０について、オープン・ショート検査を行う（ステップＳ１０２）。詳しくは、プリント配線板１１０の配線１１１，１１２，１１３の各々について、オープン状態であるか否か（すなわち、断線が発生しているかどうか）、およびショート状態であるか否か（すなわち、短絡が発生しているかどうか）を検査する。本ステップは、図１０に示す検査構成により行われる。直流抵抗測定器５００は、測定ポート５１０および５２０を有し、直流抵抗の値を測定する。測定ポート５１０はケーブル５５０を介して検査治具５３０の接点Ｐ１に電気的に接続されている。同様に、測定ポート５２０はケーブル５６０を介して検査治具５４０の接点Ｐ２に電気的に接続されている。

検査治具５３０は検査プローブ５３１，５３２，５３３を有している。検査プローブ５３１は配線１１１の入力端子１１１ａに接触する。同様に、検査プローブ５３２は配線１１２の入力端子１１２ａに接触し、検査プローブ５３３は配線１１３の入力端子１１３ａに接触する。

検査治具５４０は検査プローブ５４１，５４２，５４３を有している。検査プローブ５４１は配線１１１の出力端子１１１ｂに接触する。同様に、検査プローブ５４２は配線１１２の出力端子１１２ｂに接触し、検査プローブ５４３は配線１１３の出力端子１１３ｂに接触する。

検査治具５３０は、接点Ｐ１と、検査プローブ５３１，５３２，５３３とを選択的に電気的に接続するスイッチ機構を有する。同様に、検査治具５４０は接点Ｐ２と、検査プローブ５４１，５４２，５４３とを選択的に電気的に接続するスイッチ機構を有する。これらのスイッチ機構を制御することにより、プリント配線板１１０の配線１１１，１１２，１１３の直流抵抗をそれぞれ測定し、各配線がオープン状態であるか否かを検査する。たとえば、接点Ｐ１と検査プローブ５３１が電気的に接続され、接点Ｐ２と検査プローブ５４１が電気的に接続された状態とし、この状態において直流抵抗測定器５００により直流抵抗を測定する。測定された直流抵抗が所定のオープン判定閾値を上回る場合、配線１１１で断線が発生していると判定する。同様の検査を配線１１２，１１３についても行う。

さらに、本ステップでは、配線間が短絡しているか否かについても検査する。たとえば、接点Ｐ１と検査プローブ５３１が電気的に接続され、接点Ｐ２と検査プローブ５４２が電気的に接続された状態とし、この状態において直流抵抗測定器５００により直流抵抗を測定する。測定された直流抵抗が所定のショート判定閾値を下回る場合、配線１１１と配線１１２間で短絡が発生していると判定する。同様の検査を配線１１１と配線１１３間、および配線１１２と配線１１３間について行う。

次に、製品シートＳ１の外観検査を行う（ステップＳ１０３）。

次に、ステップＳ１０２のオープン・ショート検査およびステップＳ１０３の外観検査で正常と判定されたプリント配線板１１０にコネクタ１２０，１３０を実装する（ステップＳ１０４）。図１１Ａおよび図１１Ｂに示すように、コネクタ１２０はコネクタ端子１２１，１２２，１２３を有し、コネクタ１３０はコネクタ端子１３１，１３２，１３３を有している。

コネクタ１２０は、コネクタ端子１２１，１２２，１２３が入力端子１１１ａ，１１２ａ，１１３ａにそれぞれ電気的に接続されるようにプリント配線板１１０上に実装される。同様に、コネクタ１３０は、コネクタ端子１３１，１３２，１３３が出力端子１１１ｂ，１１２ｂ，１１３ｂにそれぞれ電気的に接続されるようにプリント配線板１１０上に実装される。

次に、製品シートＳをカットして複数のＦＰＣに個片化する（ステップＳ１０５）。詳しくは、製品シートＳを製品外形ラインに沿ってカットし、コネクタ１２０，１３０が実装されたプリント配線板１１０を切り出す。なお、以下、コネクタが実装されたフレキシブルプリント配線板を「部品実装ＦＰＣ」ともいう。

次に、コネクタ１２０，１３０が実装されたプリント配線板１１０（部品実装ＦＰＣ１００）についてオープン・ショート検査を行う（ステップＳ１０６）。本ステップでは、コネクタ１２０のコネクタ端子とコネクタ１３０のコネクタ端子間について、オープン状態であるか否か、およびショート状態であるか否かを検査する。

具体的には、図１２に示すように、前述の直流抵抗測定器５００を用いて、コネクタ１２０，１３０の実装部分において、はんだ接続不良等により短絡や断線が発生していないかどうかを検査する。この検査は、検査治具５３０の検査プローブ５３１，５３２，５３３をコネクタ端子１２１，１２２，１２３にそれぞれ接触させ、検査治具５４０の検査プローブ５４１，５４２，５４３をコネクタ端子１３１，１３２，１３３にそれぞれ接触させた状態で行われる。その後のオープン状態およびショート状態の検査は、ステップＳ１０２と同様であるため、詳しい説明は省略する。

次に、コネクタが実装されたプリント配線板１１０（部品実装ＦＰＣ１００）について伝送特性検査を行う（ステップＳ１０７）。伝送特性検査は、伝送特性検査の対象となる配線について行われる。すなわち、高速伝送線路である配線１１１，１１３について伝送特性が測定される。

ステップＳ１０７の検査では、図１３に示すように、ベクトルネットワークアナライザ６００を用いる。ベクトルネットワークアナライザ６００は、測定ポート６１０，６２０，６３０，６４０を有している。測定ポート６１０は同軸ケーブル６５３を介して検査治具６５０の検査プローブ６５１に電気的に接続されている。同様に、測定ポート６２０は同軸ケーブル６６３を介して検査治具６６０の検査プローブ６６１に電気的に接続され、測定ポート６３０は同軸ケーブル６５４を介して検査治具６５０の検査プローブ６５２に電気的に接続され、測定ポート６４０は同軸ケーブル６６４を介して検査治具６６０の検査プローブ６６２に電気的に接続されている。

ステップＳ１０７の検査では、図１３に示すように、検査プローブ６５１をコネクタ端子１２１に接触させ、検査プローブ６５２をコネクタ端子１２３に接触させ、検査プローブ６６１をコネクタ端子１３１に接触させ、検査プローブ６６２をコネクタ端子１３３に接触させた後、ベクトルネットワークアナライザ６００で配線１１１および配線１１３の伝送特性をそれぞれ測定する。

伝送特性の評価を終えた後、部品実装ＦＰＣ１００の外観検査を行う（ステップＳ１０８）。外観検査で異常なしと判定されたものが、電子機器に組み込まれる製品となる。

上記のように、比較例に係るプリント配線板の検査方法では、コネクタが実装されたプリント配線板に対して、オープン・ショート検査と、伝送特性検査を別々に行う必要があるため、検査効率が低くならざるを得ない。これに対し、本発明の実施形態に係るプリント配線板の検査方法では、後述するように、ベクトルネットワークアナライザの測定結果に基づいて、伝送特性検査の対象である配線の伝送特性を検査するだけでなく、当該配線のオープン状態およびショート状態の検査も行う。このため、伝送特性検査の対象である配線についてはオープン・ショート検査を別途行う必要がなくなり、検査効率を格段に向上させることができる。

以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。

（第１の実施形態）
図１を参照して、第１の実施形態に係る検査システムについて説明する。

本実施形態に係る検査システム１は、部品実装ＦＰＣ１００を検査するための検査システムである。

検査対象の部品実装ＦＰＣ１００は、前述のように、伝送特性検査の対象である配線１１１と、配線１１１と隣り合い、伝送特性検査の対象でない配線１１２と、配線１１１と隣り合い、伝送特性検査の対象である配線１１３とを有するプリント配線板１１０、およびプリント配線板１１０に実装されたコネクタ１２０，１３０を有する。

本実施形態に係る検査システム１は、図１に示すように、ベクトルネットワークアナライザ２と、直流抵抗測定器３と、情報処理装置４と、検査治具（第１の検査治具）５と、検査治具（第２の検査治具）６と、を備えている。なお、検査システム１は、部品実装ＦＰＣ１００を保持するための保持機構（図示せず）を備えてもよい。

以下、検査システム１の各構成要素について詳しく説明する。

ベクトルネットワークアナライザ２は、前述のベクトルネットワークアナライザ６００と同様に配線の伝送特性を測定する。本実施形態のベクトルネットワークアナライザ２は測定ポート２１，２２，２３，２４を有し、配線１１１および配線１１３の伝送特性を測定する。伝送特性として、反射特性および伝送損失のうち少なくともいずれか一方が測定される。

なお、伝送特性として、配線１１１および配線１１３間のクロストークが測定されてもよい。また、ベクトルネットワークアナライザ２の測定ポート数は４つに限られず、６つ、８つ等であってもよい。

直流抵抗測定器３は、前述の直流抵抗測定器５００と同様に配線の直流抵抗を測定する。この直流抵抗測定器３として、たとえば、マルチメータが用いられる。

本実施形態の直流抵抗測定器３は、配線１１２の一端（入力端子１１２ａ）に電気的に接続される測定ポート３１と、配線１１２の他端（出力端子１１２ｂ）に電気的に接続される測定ポート３２とを有し、配線１１２の直流抵抗を測定する。なお、直流抵抗測定器３の測定ポート数は２つに限られず、４つ、６つ等であってもよい。

検査治具５は、ベクトルネットワークアナライザ２の測定ポート２１に電気的に接続された検査プローブ５１と、直流抵抗測定器３の測定ポート３１に電気的に接続された検査プローブ５２と、ベクトルネットワークアナライザ２の測定ポート２３に電気的に接続された検査プローブ５３と、を有する。検査治具６は、ベクトルネットワークアナライザ２の測定ポート２２に電気的に接続された検査プローブ６１と、直流抵抗測定器３の測定ポート３２に電気的に接続された検査プローブ６２と、ベクトルネットワークアナライザ２の測定ポート２４に電気的に接続された検査プローブ６３と、を有する。

検査治具５の検査プローブ５１は、配線１１１の一端（入力端子１１１ａ）に電気的に接続可能に構成され、検査プローブ５２は、配線１１２の一端（入力端子１１２ａ）に電気的に接続可能に構成され、検査プローブ５３は、配線１１３の一端（入力端子１１３ａ）に電気的に接続可能に構成されている。

検査治具６の検査プローブ６１は、配線１１１の他端（出力端子１１１ｂ）に電気的に接続可能に構成され、検査プローブ６２は、配線１１２の他端（出力端子１１２ｂ）に電気的に接続可能に構成され、検査プローブ６３は、配線１１３の他端（出力端子１１３ｂ）に電気的に接続可能に構成されている。

本実施形態では、コネクタ１２０，１３０が実装されたプリント配線板１１０（すなわち、部品実装ＦＰＣ１００）を検査するため、検査治具５の検査プローブ５１，５２，５３は、プリント配線板１１０に実装されたコネクタ１２０のコネクタ端子１２１，１２２，１２３にそれぞれ装着可能に構成されている。同様に、検査治具６の検査プローブ６１，６２，６３は、プリント配線板１１０に実装されたコネクタ１３０のコネクタ端子１３１，１３２，１３３にそれぞれ装着可能に構成されている。たとえば、コネクタ端子がメス型の場合、検査プローブはコネクタ端子に挿入された状態に装着される。

上記の検査治具５，６を介して、ベクトルネットワークアナライザ２および直流抵抗測定器３と、検査対象の部品実装ＦＰＣ１００とが接続されている。図１に示すように、ベクトルネットワークアナライザ２の測定ポート２１は配線１１１の一端（入力端子１１１ａ）に電気的に接続され、測定ポート２２は配線１１１の他端（出力端子１１１ｂ）に電気的に接続される。同様に、測定ポート２３は配線１１３の一端（入力端子１１３ａ）に電気的に接続され、測定ポート２４は配線１１３の他端（出力端子１１３ｂ）に電気的に接続される。

より詳しくは、測定ポート２１は同軸ケーブル５４および検査治具５の検査プローブ５１を介してコネクタ１２０のコネクタ端子１２１に電気的に接続され、測定ポート２２は同軸ケーブル６４および検査治具６の検査プローブ６１を介してコネクタ１３０のコネクタ端子１３１に電気的に接続されている。同様に、測定ポート２３は同軸ケーブル５５および検査治具５の検査プローブ５３を介してコネクタ１２０のコネクタ端子１２３に電気的に接続され、測定ポート２４は同軸ケーブル６５および検査治具６の検査プローブ６３を介してコネクタ１３０のコネクタ端子１３３に電気的に接続されている。

直流抵抗測定器３の測定ポート３１はケーブル５５および検査治具５の検査プローブ５２を介してコネクタ１２０のコネクタ端子１２２に電気的に接続され、測定ポート３２はケーブル６５および検査治具６の検査プローブ６２を介してコネクタ１３０のコネクタ端子１３２に電気的に接続されている。

次に、情報処理装置４について説明する。

情報処理装置４は、有線通信または無線通信により、ベクトルネットワークアナライザ２および直流抵抗測定器３に通信可能に接続されている。この情報処理装置４は、ベクトルネットワークアナライザ２および直流抵抗測定器３に測定開始のためのトリガ信号を、同時にまたは順次に送信する。そして、ベクトルネットワークアナライザ２および直流抵抗測定器３から測定結果を受信する。

情報処理装置４は、ベクトルネットワークアナライザ２および直流抵抗測定器３から受信した測定結果に基づいて部品実装ＦＰＣ１００が正常であるか否かを判定するように構成されている。情報処理装置４は、たとえば、パーソナルコンピュータであるが、タブレット端末やスマートフォン等の携帯情報端末であってもよい。

情報処理装置４の処理内容についてさらに詳しく説明する。

情報処理装置４は、ベクトルネットワークアナライザ２により測定された配線１１１の伝送特性に基づいて、配線１１１の伝送特性を検査するとともに配線１１１のオープン状態およびショート状態を検査する。情報処理装置４は、配線１１３についても同様に、配線１１３の伝送特性に基づいて、配線１１３の伝送特性を検査するとともに配線１１３のオープン状態およびショート状態を検査する。その後、情報処理装置４は、検査結果をディスプレイに表示する。

まず、伝送特性の検査について説明する。情報処理装置４は、たとえば、ベクトルネットワークアナライザ２により測定された反射特性をＴＤＲ変換して得られる特性インピーダンスに基づいて配線１１１の伝送特性を検査する。たとえば、配線１１１が形成された領域に対応する時間領域（配線領域）において特性インピーダンスが所定の範囲内（たとえば、５０±５Ωの範囲内）にあれば、当該配線の伝送特性は正常であると判定する。

なお、ＴＤＲ変換は通常、ベクトルネットワークアナライザ２で行われるが、これに限らず、情報処理装置４がＴＤＲ変換を行ってもよい。

また、情報処理装置４は、測定された反射特性をＴＤＲ変換して得られる電圧定在波比（ＶＳＷＲ）に基づいて配線の伝送特性を検査してもよい。

また、情報処理装置４は、検査仕様に応じて、ベクトルネットワークアナライザ２で測定された配線１１１の伝送損失やクロストークに基づいて配線１１１の伝送特性の良否を判定してもよい。

次に、伝送特性に基づくオープン・ショート検査について説明する。情報処理装置４は、配線１１１の反射特性をＴＤＲ変換して得られる特性インピーダンスが所定のショート判定閾値を下回る場合に配線１１１はショート状態であると判定し、特性インピーダンスが所定のオープン判定閾値を上回る場合に配線１１１はオープン状態であると判定する。

このオープン・ショート検査について、図２Ａおよび図２Ｂを参照して詳しく説明する。図２Ａは、正常状態およびショート状態における特性インピーダンスの一例を示している。図２Ｂは、正常状態およびオープン状態における特性インピーダンスの一例を示している。

断線や短絡が発生していない正常状態では、図２Ａおよび図２Ｂの実線で示す波形のように、検査プローブ５１および検査プローブ６１の先端部の位置に対応する時間にそれぞれピークが現れる。ピーク間における特性インピーダンスの値は、インピーダンス整合させるための設計値（５０Ω）にほぼ等しい。

コネクタ１２０で短絡が発生した場合（たとえば、はんだ過多のため、コネクタ端子１２１とコネクタ端子１２２が電気的に接続された場合）、図２Ａの破線で示す波形のように、特性インピーダンスはコネクタ１２０の位置に対応する時間から急激に減少し、配線領域の全体にわたって低い値をとる。したがって、情報処理装置４は、特性インピーダンスが配線領域で所定のショート判定閾値を下回った場合に、配線１１１はショート状態であると判定することが可能である。ショート判定閾値は、図２Ａの場合、たとえば、３５Ω〜４５Ωの値とする。特性インピーダンスの判定閾値の下限（たとえば４５Ω）をショート判定閾値としてもよい。

コネクタ１２０で断線が発生した場合（たとえば、はんだ過小のため、入力端子１１１ａとコネクタ端子１２１が電気的に接続されていない場合）、図２Ｂの破線で示す波形のように、特性インピーダンスはコネクタ１２０の位置に対応する時間から急激に増加して発散する。したがって、情報処理装置４は、特性インピーダンスが配線領域で所定のオープン判定閾値を上回った場合に、配線１１１はオープン状態であると判定することが可能である。オープン判定閾値は、図２Ｂの場合、たとえば、６５Ω以上の値とする。

上記のようにして、情報処理装置４は、ベクトルネットワークアナライザ２により測定された反射特性から得られる特性インピーダンスを用いて、配線１１１のオープン・ショート検査を行う。なお、情報処理装置４は、配線１１３についても、配線１１１と同様にして、配線１１３の反射特性に基づいて、配線１１３の伝送特性を検査するとともに配線１１３のオープン・ショート検査を行う。

情報処理装置４は、反射特性に限られず、ベクトルネットワークアナライザ２により測定された他の伝送特性（伝送損失、ＶＳＷＲ）を用いて、配線１１１，１１３のオープン・ショート検査を行ってもよい。ここでは伝送損失を用いる場合について、図２Ｃおよび図２Ｄを参照して説明する。図２Ｃは、正常状態およびショート状態における伝送損失の一例を示している。図２Ｂは、正常状態およびオープン状態における伝送損失の一例を示している。

コネクタ１２０で短絡が発生した場合、図２Ｃの破線で示す波形のように、伝送損失の波形は正常時と全く異なり、特定の周波数（約３ＧＨｚ，６．５ＧＨｚ等）で伝送損失が急減する。したがって、情報処理装置４は、伝送損失が所定の周波数でショート判定閾値を下回った場合に、配線１１１はショート状態であると判定することが可能である。ショート判定閾値は、図２Ｃの場合、たとえば、３ＧＨｚで−５ｄＢとする。

なお、情報処理装置４は、複数の周波数における伝送損失の値に基づいてショート状態であるか否かを判定してもよい。たとえば、図２Ｃの場合において、伝送損失が３ＧＨｚで−５ｄＢ以下、かつ６．５ＧＨｚで−７ｄＢ以下のときに、ショート状態であると判定してもよい。

コネクタ１２０で断線が発生した場合、図２Ｄの破線で示す波形のように、全周波数にわたって伝送損失は増大し、特に直流領域（０ＧＨｚ付近）で無限大方向に発散する。高周波領域では配線間の容量結合により伝送損失は比較的小さくなるが、それでも−３０ｄＢ以下（３０ｄＢ以上）である。したがって、情報処理装置４は、伝送損失が少なくともいずれかの周波数において所定のオープン判定閾値を上回った場合に（図２Ｄのグラフでは伝送損失が閾値を下回った場合）、配線１１１はオープン状態であると判定することが可能である。たとえば、図２Ｄのグラフにおいて伝送損失が−２０ｄＢ以下（すなわち、２０ｄＢ以上）の場合、配線１１１がオープン状態であると判定する。

なお、伝送損失は直流領域で急減するため、情報処理装置４は、伝送損失が直流領域で所定のオープン判定閾値を上回った場合に、配線１１１はオープン状態であると判定してもよい。

なお、情報処理装置４は、複数の伝送特性（たとえば、反射特性および伝送損失）に基づいて配線１１１のオープン・ショート検査を行ってもよい。この場合、たとえば、反射特性に基づく検査により正常と判定され、かつ伝送損失に基づく検査により正常と判定された場合に、最終的に正常であると判定する。

上記のオープン・ショート検査に加えて、情報処理装置４は、直流抵抗測定器３により測定された配線１１２の直流抵抗に基づいて、配線１１２のオープン状態を検査する。詳しくは、情報処理装置４は、測定された配線１１２の直流抵抗が所定のオープン判定閾値を上回る場合、配線１１２で断線が発生している（すなわち、オープン状態である）と判定する。そして、情報処理装置４は、判定結果をディスプレイに表示する。

前述したように配線１１１，１１３について伝送特性に基づくオープン・ショート検査が行われるため、配線１１１，１１３については直流抵抗測定器３によるオープン・ショート検査を行う必要がない。すなわち、直流抵抗測定器３による、伝送特性検査の対象の配線に対するオープン・ショート検査は不要である。これにより、比較例に比べて、直流抵抗測定器３によるオープン・ショート検査が軽減され、検査効率を向上させることができる。

配線１１２のショート検査（ショート状態であるか否かの検査）については、プリント配線板１１０の場合、配線１１１，１１３について伝送特性に基づくショート検査が行われるので、実施する必要はない。なお、後述のプリント配線板１１０Ｂ（図５Ｂ）の場合、伝送特性検査の対象でない配線１１５については、伝送特性検査の対象の配線に隣接していないため、ショート検査を行う必要がある。

以上説明したように、第１の実施形態に係る検査システムでは、ベクトルネットワークアナライザ２で測定された伝送特性に基づいて、伝送特性検査の対象である配線の伝送特性だけでなく、オープン状態およびショート状態の検査も行う。このため、直流抵抗測定器３によるオープン・ショート検査を大幅に軽減することができる。よって、本実施形態によれば、部品実装ＦＰＣ１００の検査効率を向上させることができる。

また、本実施形態では、検査治具５，６により、必要な検査を全て行うことができる。すなわち、比較例のように、オープン・ショート検査用の検査治具５３０，５４０と、伝送特性検査用の検査治具６５０，６６０を別々に用意する必要がない。よって、本実施形態によれば、検査コストを削減することができる。

また、本実施形態では、比較的高価なベクトルネットワークアナライザ２と、比較的安価な直流抵抗測定器３とを、１つの検査システムの中に混在させている。これにより、ベクトルネットワークアナライザのみで全ての検査を行う場合に比べて、すなわち、伝送特性検査の対象でない配線１１２の検査もベクトルネットワークアナライザで行う場合に比べて、ベクトルネットワークアナライザの過度な使用を控え、検査システム全体として検査コストを最適化させることができる。

＜検査フロー＞
図３のフローチャートに沿って、検査システム１を用いるプリント配線板の検査工程を含む、プリント配線板の製造方法について説明する。

まず、複数のフレキシブルプリント配線板（ＦＰＣ）を含む製品シートＳを製造する（ステップＳ１）。本ステップは、前述の比較例で説明したステップＳ１０１と同じである。

次に、ステップＳ１で製造された製品シートＳの各プリント配線板１１０について、オープン・ショート検査を行う（ステップＳ２）。本ステップは、前述の比較例で説明したステップＳ１０２と同じである。

次に、製品シートＳ１の外観検査を行う（ステップＳ３）。本ステップは、前述の比較例で説明したステップＳ１０３と同じである。

次に、ステップＳ２のオープン・ショート検査およびステップＳ３の外観検査で正常と判定されたプリント配線板１１０にコネクタ１２０，１３０を実装する（ステップＳ４）。本ステップは、前述の比較例で説明したステップＳ１０４と同じである。

次に、製品シートＳをカットして複数のＦＰＣに個片化する（ステップＳ５）。本ステップは、前述の比較例で説明したステップＳ１０５と同じである。

次に、コネクタが実装されたプリント配線板１１０（部品実装ＦＰＣ１００）について伝送特性検査およびオープン・ショート検査を行う（ステップＳ６）。図４を参照して、本ステップの一例について詳しく説明する。

まず、ベクトルネットワークアナライザ２により高速伝送線路（配線１１１，１１３）の伝送特性を測定する（ステップＳ６１）。そして、直流抵抗測定器３によりグランド配線（配線１１２）の直流抵抗を測定する（ステップＳ６２）。

その後、ステップＳ６１で測定された高速伝送線路の伝送特性に基づいて、当該高速伝送線路の伝送特性を検査するとともに当該高速伝送線路のオープン・ショート検査を行う（ステップＳ６３）。本ステップは、情報処理装置４が、ベクトルネットワークアナライザ２により測定された伝送特性に基づいて、配線１１１，１１３の伝送特性の良否を判定するとともに、配線１１１，１１３がオープン状態であるか否か、および配線１１１，１１３がショート状態であるか否かを判定することにより行われる。

なお、配線１１１，１１３のオープン・ショート検査では、伝送特性として、反射特性を用いてもよいし、伝送損失を用いてもよい。あるいは、反射特性と伝送損失の両方を用いて配線１１１，１１３のオープン・ショート検査を行ってもよい。

その後、ステップＳ６２で測定されたグランド配線の直流抵抗に基づいて、当該グランド配線のオープン検査を行う（ステップＳ６４）。本ステップは、情報処理装置４が、前述のようにグランド配線の直流抵抗に基づいて当該グランド配線がオープン状態であるか否かを判定することにより行われる。

なお、図４の検査フローは一例に過ぎず、矛盾しない範囲で、各ステップの順序を入れ替えてもよい。たとえば、ステップＳ６１とステップＳ６２の順序を入れ替えてもよい。あるいは、ステップＳ６１とステップＳ６２を同時に行ってもよい。あるいは、ステップＳ６１とステップＳ６２の間にステップＳ６３を行ってもよい。

ステップＳ６の後、部品実装ＦＰＣ１００の外観検査を行う（ステップＳ７）。本ステップは、前述の比較例で説明したステップＳ１０８と同じである。

上述したプリント配線板の検査方法によれば、伝送特性検査の対象である配線１１１，１１３については直流抵抗測定器３によるオープン・ショート検査を行う必要がなくなるため、部品実装ＦＰＣ１００の検査効率を格段に向上させることができる。

＜他のフレキシブルプリント配線板の例＞
上記実施形態の説明では、配線１１１，１１２，１１３を有するプリント配線板１１０を検査対象としたが、これとは異なる配線構成を有するプリント配線板についても、本実施形態により効率的に検査可能であることを以下に説明する。

図５Ａは、プリント配線板１１０Ａにコネクタ１２０Ａ，１３０Ａが実装された部品実装ＦＰＣ１００Ａの平面図である。プリント配線板１１０Ａは、伝送特性検査の対象である配線１１１，１１４と、伝送特性検査の対象でない配線１１２とを有している。配線１１２は、配線１１１と配線１１４の間に設けられている。プリント配線板１１０との比較で言えば、プリント配線板１１０Ａは、配線１１３に代えて、配線１１２と隣り合い、伝送特性検査の対象である配線１１４を有する。

部品実装ＦＰＣ１００Ａ（プリント配線板１１０Ａ）を検査する際、ベクトルネットワークアナライザ２により配線１１４の伝送特性を測定する。そして、測定された配線１１４の伝送特性に基づいて、配線１１４の伝送特性を検査するとともに配線１１４のオープン状態およびショート状態を検査する。検査方法は、配線１１１，１１３の場合と同様である。部品実装ＦＰＣ１００Ａの場合も、配線１１１，１１４については、直流抵抗測定器３によるオープン・ショート検査を行う必要はない。また、配線１１１，１１４について伝送特性に基づくショート検査が行われるため、配線１１２のショート検査を行う必要はない。

図５Ｂは、プリント配線板１１０Ｂにコネクタ１２０Ｂ，１３０Ｂが実装された部品実装ＦＰＣ１００Ｂの平面図である。プリント配線板１１０Ｂは、伝送特性検査の対象である配線１１１，１１７と、伝送特性検査の対象でない配線１１２，１１５，１１６とを有している。配線１１２，１１５，１１６は、配線１１１と配線１１７の間に設けられている。プリント配線板１１０との比較で言えば、プリント配線板１１０Ａは、配線１１３に代えて、配線１１２と隣り合い、伝送特性検査の対象でない配線１１５と、この配線１１５に隣り合う配線１１６，１１７とを有する。

部品実装ＦＰＣ１００Ｂ（プリント配線板１１０Ｂ）を検査する際、ベクトルネットワークアナライザ２により配線１１１，１１７の伝送特性を測定する。そして、測定された配線１１１，１１７の伝送特性に基づいて、配線１１１，１１７の伝送特性を検査するとともに配線１１１，１１７のオープン状態およびショート状態を検査する。検査方法は、配線１１１，１１３の場合と同様である。部品実装ＦＰＣ１００Ｂの場合も、配線１１１，１１７については、直流抵抗測定器３によるオープン・ショート検査を行う必要はない。また、配線１１１，１１７について伝送特性に基づくショート検査が行われるため、配線１１１，１１７と隣り合う配線１１２，１１６のショート検査を行う必要はない。他方、配線１１５は伝送特性検査の対象である配線１１１，１１７と隣り合わないため、配線１１５については、直流抵抗測定器３によるオープン検査だけでなくショート検査も行う必要がある。

（第２の実施形態）
次に、図６を参照して、第２の実施形態に係る検査システムについて説明する。第１の実施形態と第２の実施形態との相違点の一つは、複数の部品実装ＦＰＣを同時に検査することである。以下、相違点を中心に第２の実施形態について説明する。なお、図６において、第１の実施形態と同様の構成要素には、図１と同じ符号を付している。

本実施形態に係る検査システム１Ａは、図６に示すように、複数の部品実装ＦＰＣ１００Ｃを同時に検査するように構成されている。

検査システム１Ａは、ベクトルネットワークアナライザ２と、直流抵抗測定器３Ａ，３Ｂと、情報処理装置４と、検査治具５Ａ，５Ｂと、複数の検査治具６Ａ，６Ｂと、を備えている。なお、検査システム１Ａは、部品実装ＦＰＣ１００Ｃを保持するための保持機構（図示せず）を備えてもよい。

検査対象の部品実装ＦＰＣ１００Ｃは、伝送特性検査の対象である配線１１１と、配線１１１と隣り合い、伝送特性検査の対象でない配線１１２とを有するプリント配線板１１０Ｃと、このプリント配線板１１０Ｃに実装されたコネクタ１２０Ｃ，１３０Ｃとを有する。

コネクタ１２０Ｃは、配線１１１の入力端子にはんだ接続されたコネクタ端子１２１と、配線１１２の入力端子にはんだ接続されたコネクタ端子１２２とを有する。コネクタ１３０Ｃは、配線１１１の出力端子にはんだ接続されたコネクタ端子１３１と、配線１１２の出力端子にはんだ接続されたコネクタ端子１３２とを有する。

検査治具５Ａは、ベクトルネットワークアナライザ２の測定ポート２１に電気的に接続された検査プローブ５１と、直流抵抗測定器３Ａの測定ポート３１に電気的に接続された検査プローブ５２と、を有する。検査治具６Ａは、ベクトルネットワークアナライザ２の測定ポート２３に電気的に接続された検査プローブ６１と、直流抵抗測定器３Ａの測定ポート３２に電気的に接続された検査プローブ６２と、を有する。

検査治具５Ｂは、ベクトルネットワークアナライザ２の測定ポート２４に電気的に接続された検査プローブ５１と、直流抵抗測定器３Ｂの測定ポート３１に電気的に接続された検査プローブ５２と、を有する。検査治具６Ｂは、ベクトルネットワークアナライザ２の測定ポート２２に電気的に接続された検査プローブ６１と、直流抵抗測定器３Ｂの測定ポート３２に電気的に接続された検査プローブ６２と、を有する。

本実施形態では、ベクトルネットワークアナライザ２は、測定ポート２１と測定ポート２３間に接続された配線１１１の伝送特性を測定するとともに、測定ポート２４と測定ポート２２間に接続された配線１１１の伝送特性を測定する。

直流抵抗測定器３Ａ，３Ｂは第１の実施形態で説明した直流抵抗測定器３と同じ測定器であり、たとえば、マルチメータが用いられる。直流抵抗測定器３Ａは、測定ポート３１と測定ポート３２間に接続された配線１１２の伝送特性を測定する。同様に、直流抵抗測定器３Ｂは、測定ポート３１と測定ポート３２間に接続された配線１１２の伝送特性を測定する。

本実施形態では、情報処理装置４は、ベクトルネットワークアナライザ２、直流抵抗測定器３Ａおよび直流抵抗測定器３Ｂに通信可能に接続されており、ベクトルネットワークアナライザ２および直流抵抗測定器３Ａ，３Ｂに測定開始のためのトリガ信号を、同時にまたは順次に送信する。そして、ベクトルネットワークアナライザ２および直流抵抗測定器３Ａ，３Ｂから測定結果を受信し、受信した測定結果に基づいて各部品実装ＦＰＣ１００Ｃが正常であるか否かを判定する。そして、判定結果をディスプレイに表示する。

情報処理装置４は、各部品実装ＦＰＣ１００Ｃについて、ベクトルネットワークアナライザ２により測定された配線１１１の伝送特性に基づいて、配線１１１の伝送特性を検査するとともに配線１１１のオープン状態およびショート状態を検査する。また、情報処理装置４は、各部品実装ＦＰＣ１００Ｃについて、直流抵抗測定器３Ａ，３Ｂにより測定された配線１１２の直流抵抗に基づいて、配線１１２のオープン状態を検査する。これらの検査方法の詳細は、第１の実施形態と同様であるので省略する。

第２の実施形態では、第１の実施形態と同様に、配線１１１について伝送特性に基づくオープン・ショート検査が行われる。このため、配線１１１については直流抵抗測定器３Ａ，３Ｂによるオープン・ショート検査を行う必要がない。よって、第２の実施形態によれば、比較例に比べて、直流抵抗測定器３Ａ，３Ｂによるオープン・ショート検査が軽減され、検査効率を向上させることができる。

さらに、第２の実施形態では、複数の部品実装ＦＰＣを同時に検査できる。また、ベクトルネットワークアナライザ２の測定ポートを有効活用することができる。特にベクトルネットワークアナライザのポート数が多い場合において、空きポートを別の部品実装ＦＰＣの検査に用いることが可能となり、高価なベクトルネットワークアナライザの使用効率を向上させることができる。

なお、本実施形態では、同じ構成を有する複数の部品実装ＦＰＣ１００Ｃを検査対象としたが、これに限らず、互いに異なる構成を有する複数の部品実装ＦＰＣを検査対象としてもよい。

また、本実施形態では、複数の直流抵抗測定器３Ａ，３Ｂを用いたが、これに限らず、測定ポート数が多い１台の直流抵抗測定器により複数の部品実装ＦＰＣの直流抵抗を測定してもよい。

以上、本発明に係る２つの実施形態について説明した。

なお、本発明は、コネクタ等の部品が実装されたフレキシブルプリント配線板の検査に限らず、部品が実装される前のフレキシブルプリント配線板の検査に適用されてもよい。

また、本発明は、フレキシブルプリント配線板に限らず、リジッドプリント配線板の検査に適用されてもよい。

また、本発明は、コネクタ以外の部品、例えば、チップコンデンサ、チップ抵抗、チップインダクタ等の表面実装部品が実装されたプリント配線板の検査に適用されてもよい。

また、本発明は、伝送特性検査の対象である配線のみを有するプリント配線板の検査に適用されてもよい。この場合でも、直流抵抗測定器による高速伝送線路のオープン・ショート検査を行う必要がなくなり、検査効率を向上させることができる。

上記の記載に基づいて、当業者であれば、本発明の追加の効果や種々の変形を想到できるかもしれないが、本発明の態様は、上述した実施形態に限定されるものではない。特許請求の範囲に規定された内容およびその均等物から導き出される本発明の概念的な思想と趣旨を逸脱しない範囲で種々の追加、変更および部分的削除が可能である。

１，１Ａ 検査システム
２ ベクトルネットワークアナライザ
２１，２２，２３，２４ 測定ポート
３ 直流抵抗測定器
３１，３２ 測定ポート
４ 情報処理装置
５，６ 検査治具
５１，５２，５３，６１，６２，６３ 検査プローブ
５４，５５，６４，６５ 同軸ケーブル
５５，６５ ケーブル
１００，１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃ 部品実装ＦＰＣ
１１０，１１０Ａ，１１０Ｂ プリント配線板
１１１，１１２，１１３ 配線
１１１ａ，１１２ａ，１１３ａ 入力端子
１１１ｂ，１１２ｂ，１１３ｂ 出力端子
１１９ 絶縁基材
１２０，１３０ コネクタ
１２１，１２２，１２３，１３１，１３２，１３３ コネクタ端子
５００ 直流抵抗測定器
５１０，５２０ 測定ポート
５３０，５４０ 検査治具
５５０，５６０ ケーブル
６００ ベクトルネットワークアナライザ
６１０，６２０，６３０，６４０ 測定ポート
Ｐ１，Ｐ２ 接点
Ｓ 製品シート

Claims (14)

1. 伝送特性検査の対象である第１の配線と、前記第１の配線と隣り合い、伝送特性検査の対象でない第２の配線とを有するプリント配線板を検査するための検査方法であって、
   ベクトルネットワークアナライザにより前記第１の配線の伝送特性を測定し、
   直流抵抗測定器により前記第２の配線の直流抵抗を測定し、
   前記第１の配線の伝送特性に基づいて、前記第１の配線の伝送特性に加えて前記第１の配線のオープン状態およびショート状態を検査し、
   前記第２の配線の直流抵抗に基づいて、前記第２の配線のオープン状態を検査することを特徴とする検査方法。
2. 前記ベクトルネットワークアナライザにより、前記伝送特性として、前記第１の配線の反射特性を測定し、
   前記第１の配線のオープン状態およびショート状態の検査では、
   前記第１の配線の反射特性をＴＤＲ変換して得られる特性インピーダンスが所定のショート判定閾値を下回る場合に前記第１の配線はショート状態であると判定し、前記特性インピーダンスが所定のオープン判定閾値を上回る場合に前記第１の配線はオープン状態であると判定することを特徴とする請求項１に記載の検査方法。
3. 前記ベクトルネットワークアナライザにより、前記伝送特性として、前記第１の配線の伝送損失を測定し、
   前記第１の配線のオープン状態およびショート状態の検査では、
   前記第１の配線の前記伝送損失が少なくとも１つの周波数において所定のショート判定閾値を下回る場合に前記第１の配線はショート状態であると判定し、前記伝送損失が所定のオープン判定閾値を上回る場合に、前記第１の配線はオープン状態であると判定することを特徴とする請求項１に記載の検査方法。
4. 前記直流抵抗測定器による前記第２の配線のショート状態の検査は行わないことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の検査方法。
5. 前記第１の配線は高速伝送線路であり、前記第２の配線は電力供給線路、グランド配線または低速伝送線路であることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の検査方法。
6. 前記プリント配線板は、前記第１の配線と隣り合い、伝送特性検査の対象である第３の配線をさらに有し、
   前記ベクトルネットワークアナライザにより前記第３の配線の伝送特性を測定し、
   前記第３の配線の伝送特性に基づいて、前記第３の配線の伝送特性を検査するとともに前記第３の配線のオープン状態およびショート状態を検査することを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の検査方法。
7. 前記プリント配線板は、前記第２の配線と隣り合い、伝送特性検査の対象である第３の配線を有し、
   前記ベクトルネットワークアナライザにより前記第３の配線の伝送特性を測定し、
   前記第３の配線の伝送特性に基づいて、前記第３の配線の伝送特性を検査するとともに前記第３の配線のオープン状態およびショート状態を検査することを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の検査方法。
8. 前記プリント配線板は、前記第２の配線と隣り合い、伝送特性検査の対象でない第３の配線を有し、
   前記直流抵抗測定器により前記第３の配線の直流抵抗を測定し、
   前記第３の配線の直流抵抗に基づいて、前記第３の配線のオープン状態を検査することを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の検査方法。
9. 前記プリント配線板は、前記第１の配線の入力端子および前記第２の配線の入力端子と電気的に接続された第１のコネクタと、前記第１の配線の出力端子および前記第２の配線の出力端子と電気的に接続された第２のコネクタとが実装されたフレキシブルプリント配線板であることを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載の検査方法。
10. 前記プリント配線板は、製品シートに他のプリント配線板とともに含まれ、コネクタが実装されていないフレキシブルプリント配線板であることを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載の検査方法。
11. 伝送特性検査の対象である第１の配線と、前記第１の配線と隣り合い、伝送特性検査の対象でない第２の配線とを有するプリント配線板を検査するための検査システムであって、
    前記第１の配線の一端に電気的に接続される第１の測定ポートと、前記第１の配線の他端に電気的に接続される第２の測定ポートとを有し、前記第１の配線の伝送特性を測定するベクトルネットワークアナライザと、
    前記第２の配線の一端に電気的に接続される第１の測定ポートと、前記第２の配線の他端に電気的に接続される第２の測定ポートとを有し、前記第２の配線の直流抵抗を測定する直流抵抗測定器と、
    前記ベクトルネットワークアナライザおよび前記直流抵抗測定器に通信可能に接続された情報処理装置と、
    を備え、
    前記情報処理装置は、
    前記ベクトルネットワークアナライザにより測定された前記第１の配線の伝送特性に基づいて、前記第１の配線の伝送特性を検査するとともに前記第１の配線のオープン状態およびショート状態を検査し、
    前記直流抵抗測定器により測定された前記第２の配線の直流抵抗に基づいて、前記第２の配線のオープン状態を検査することを特徴とする検査システム。
12. 前記ベクトルネットワークアナライザの前記第１の測定ポートに電気的に接続された第１の検査プローブと、前記直流抵抗測定器の前記第１の測定ポートに電気的に接続された第２の検査プローブとを有する第１の検査治具と、
    前記ベクトルネットワークアナライザの前記第２の測定ポートに電気的に接続された第１の検査プローブと、前記直流抵抗測定器の前記第２の測定ポートに電気的に接続された第２の検査プローブとを有する第２の検査治具と、
    を備え、
    前記第１の検査治具の前記第１の検査プローブは、前記第１の配線の前記一端に電気的に接続可能に構成され、前記第１の検査治具の前記第２の検査プローブは、前記第２の配線の前記一端に電気的に接続可能に構成され、
    前記第２の検査治具の前記第１の検査プローブは、前記第１の配線の前記他端に電気的に接続可能に構成され、前記第２の検査治具の前記第２の検査プローブは、前記第２の配線の前記他端に電気的に接続可能に構成されていることを特徴とする請求項１１に記載の検査システム。
13. 前記第１の検査治具の前記第１および第２の検査プローブは、前記プリント配線板に実装された第１のコネクタのコネクタ端子に装着可能に構成され、
    前記第２の検査治具の前記第１および第２の検査プローブは、前記プリント配線板に実装された第２のコネクタのコネクタ端子に装着可能に構成されていることを特徴とする請求項１２に記載の検査システム。
14. 前記プリント配線板だけでなく、前記プリント配線板とは別のプリント配線板も検査する、請求項１１〜１３のいずれかに記載の検査システムであって、
    前記別のプリント配線板は、伝送特性検査の対象である第３の配線を有し、
    前記ベクトルネットワークアナライザは、前記別のプリント配線板の前記第３の配線の一端に電気的に接続される第３の測定ポートと、前記第３の配線の他端に電気的に接続される第４の測定ポートとをさらに有し、前記第３の配線の伝送特性を測定することを特徴とする検査システム。

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