JP6855181B2 - 3D modeling device and manufacturing method of 3D modeled object - Google Patents

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Description

造形ステージ上に敷設された材料粉末を選択的に輻射加熱し、焼結させる動作を繰り返して3次元造形物を製造する3次元造形装置、および3次元造形物の製造方法に関する。 The present invention relates to a three-dimensional modeling apparatus for producing a three-dimensional model by repeating an operation of selectively radiating and heating material powder laid on a modeling stage and sintering it, and a method for manufacturing a three-dimensional model.

従来より、いわゆる3Dプリンタなどの製品において、3次元の造形物を造形する粉末床溶融結合技術が利用されている。 Conventionally, in products such as so-called 3D printers, a powder bed melt-bonding technique for modeling a three-dimensional model has been used.

この粉末床溶融結合(powder bed fusion)では、例えばレーザビームなどのエネルギービームを用い、1層ずつ積層的に材料粉末を輻射加熱、焼結して3次元部品を造形する(例えば下記の特許文献1)。材料粉末からなる第1層にレーザビームを照射し、必要部分を選択的に焼結させ、引き続きその上に材料粉末の第2層を作成し、同様にレーザビームを照射し、第2層を選択的に焼結させるとともに、第1層の焼結部分と接合させる。以降、第3層以降についても上記過程を繰り返すことで3次元部品を製造する。レーザビームは、所期の造形物の形状に応じて選択的に熱量を付与する手段として用いられるが、この熱量付与手段としては他のエネルギービームを用いることも考えられる。 In this powder bed fusion, for example, an energy beam such as a laser beam is used, and the material powder is radiantly heated and sintered layer by layer to form a three-dimensional component (for example, the following patent documents). 1). The first layer made of the material powder is irradiated with a laser beam, the necessary portion is selectively sintered, a second layer of the material powder is subsequently prepared on the first layer, and the laser beam is irradiated in the same manner to form the second layer. It is selectively sintered and joined with the sintered portion of the first layer. After that, the three-dimensional parts are manufactured by repeating the above process for the third and subsequent layers. The laser beam is used as a means for selectively applying heat according to the desired shape of the modeled object, but it is also conceivable to use another energy beam as the means for applying heat.

粉末床溶融結合では、レーザビームが照射されたスポットの最表層が焼結される際に、最表層とその下部にある焼結済みの造形物の一部が瞬時に熱膨張し、その後急激に冷却収縮することでスポット近傍に残留応力を生じることがある。多くの粉末床溶融結合の造形装置では、造形中の造形物は、第1層目が接合されているベースプレートの剛性や、ベースプレートを装置に締結する締結力により拘束されるため、大きく変形することはない。しかしながら、造形物を装置から取り出した後、また、ベースプレートを除去した後は造形中に残留した応力の解放により、造形物の反りや歪みといった形状不良が生じることがある。 In the powder bed fusion bond, when the outermost layer of the spot irradiated with the laser beam is sintered, the outermost layer and a part of the sintered structure below it are instantaneously thermally expanded, and then rapidly. Residual stress may be generated near the spot due to cooling shrinkage. In many powder bed melt-bonded modeling devices, the modeled object during modeling is significantly deformed because it is constrained by the rigidity of the base plate to which the first layer is joined and the fastening force that fastens the base plate to the device. There is no. However, after the modeled object is taken out from the device and after the base plate is removed, the stress remaining during the modeling is released, which may cause a shape defect such as warpage or distortion of the modeled object.

このような造形物の形状不良を考慮し、最新に形成された焼結層を再加熱し、再溶融部を形成することにより、造形中に造形物の残留応力を除去する構成(例えば下記の特許文献2)が提案されている。また、最終的な造形部品の最表層にあたる部位に残留する応力が形状不良の主な要因であると見なして、こうした部位のみを造形中に再加熱することで、残留応力を緩和させる構成(例えば下記の特許文献3)も提案されている。 In consideration of such shape defects of the modeled object, the latest formed sintered layer is reheated to form a remelted portion, thereby removing the residual stress of the modeled object during modeling (for example, the following). Patent Document 2) has been proposed. In addition, the stress remaining on the outermost layer of the final modeled part is considered to be the main cause of the shape defect, and only such a part is reheated during modeling to relieve the residual stress (for example). The following Patent Document 3) has also been proposed.

特許第2620353号公報Japanese Patent No. 2620353 特許第4693681号公報Japanese Patent No. 4693681 特許第5612530号公報Japanese Patent No. 5612530

上記の特許文献2および3に記載されるような技術によると、造形中の造形物への主な熱量の印加が造形物の上方からに限られるため、造形中の造形物に鉛直方向の温度分布が生じる可能性がある。こうした温度分布を持つ造形物は、造形後に温度分布が解消された際に、造形中に高温だった部位と低温だった部位で収縮量に差が出るため、得られる造形物に反り、歪みといった形状不良を生じる可能性がある。 According to the techniques described in Patent Documents 2 and 3 above, since the main amount of heat applied to the modeled object during modeling is limited to the upper part of the modeled object, the temperature in the vertical direction to the modeled object being modeled. Distribution can occur. When the temperature distribution is eliminated after modeling, the modeled object with such a temperature distribution has a difference in the amount of shrinkage between the part that was hot and the part that was cold during modeling, so the resulting modeled object is warped and distorted. Poor shape may occur.

本発明の課題は、上記の問題に鑑み、粉末床溶融結合において造形物に生じる残留応力を緩和し、また、造形物の温度分布を均一に保つことによって造形物の形状不良を抑制できるようにすることにある。 In view of the above problems, the object of the present invention is to alleviate the residual stress generated in the modeled object in the powder bed melt bonding, and to suppress the shape defect of the modeled object by keeping the temperature distribution of the modeled object uniform. To do.

発明の一態様は、造形エリアに導電性の材料粉末を敷設し、敷設した前記材料粉末の一部を選択的に輻射加熱し焼結させる一連の動作を繰り返して3次元造形物を製造する3次元造形装置において、前記造形エリアの外周部に配置され、通電によって前記造形エリアの内側の造形済みの造形物を誘導発熱させる誘導加熱コイルと、前記造形エリアの外周部に配置され、前記造形エリア内の未焼結の材料粉末を冷却する冷却装置と、前記誘導加熱コイルの通電および前記冷却装置を制御することにより前記造形物の温度管理を実行する制御装置と、を備えた3次元造形装置である In one aspect of the present invention, a conductive material powder is laid in a molding area, and a series of operations of selectively radiating and sintering a part of the laid material powder are repeated to manufacture a three-dimensional model. In a three-dimensional modeling apparatus, an induction heating coil arranged on the outer peripheral portion of the modeling area and inducing heat generation of a molded object inside the modeling area by energization, and an induction heating coil arranged on the outer peripheral portion of the modeling area and described above. Three-dimensional modeling including a cooling device for cooling unsintered material powder in the area and a control device for performing temperature control of the modeled object by energizing the induction heating coil and controlling the cooling device. It is a device .

上記構成によれば、造形期間中、造形物を加熱ないし保温するよう造形物の温度管理を実行することにより、造形物中に応力残留が生じるのを抑制し、造形終了後の残留応力の解放によって生じる形状不良を低減し、高精度な3次元造形を行うことができる。造形中、造形物全体を加熱ないし保温することにより造形物の鉛直方向の温度差を抑制でき、造形中の温度分布に起因する形状不良を抑制することができる。 According to the above configuration, by performing temperature control of the modeled object so as to heat or keep the modeled object warm during the modeling period, it is possible to suppress the occurrence of stress residue in the modeled object and release the residual stress after the modeling is completed. It is possible to reduce the shape defects caused by the above and perform highly accurate three-dimensional modeling. By heating or keeping the entire modeled object warm during modeling, the temperature difference in the vertical direction of the modeled object can be suppressed, and shape defects due to the temperature distribution during modeling can be suppressed.

本発明を実施可能な3次元造形装置の構成例を示した模式図である。It is a schematic diagram which showed the structural example of the 3D modeling apparatus which can carry out this invention. 造形材料の拡散接合境界温度の確認実験に用いられる試験容器の構成例を示した模式図である。It is a schematic diagram which showed the structural example of the test container used for the confirmation experiment of the diffusion bonding boundary temperature of a modeling material. 図1の装置における造形エリアの近傍を示した模式図である。It is a schematic diagram which showed the neighborhood of the modeling area in the apparatus of FIG. 図1の装置において、下層部の造形が終了する際の造形エリアの近傍を示した模式図である。In the apparatus of FIG. 1, it is a schematic diagram which showed the vicinity of the modeling area at the time of completion of modeling of a lower layer part. 図1の装置において、中層部の造形が終了する際の造形エリアの近傍を示した模式図である。In the apparatus of FIG. 1, it is a schematic diagram which showed the vicinity of the modeling area at the time of completion of modeling of a middle layer part. 図1の装置において、上層部の造形が終了する際の造形エリアの近傍を示した模式図である。In the apparatus of FIG. 1, it is a schematic diagram which showed the vicinity of the modeling area at the time of completion of modeling of the upper layer part. 図1の装置において、造形の各段階における各加熱ゾーンの制御指令値と制御点を示した表図である。In the apparatus of FIG. 1, it is a table diagram which showed the control command value and the control point of each heating zone in each stage of modeling. 図1の装置において、造形物の上面の温度制御を行う場合の加熱出力制御を示した説明図である。It is explanatory drawing which showed the heating output control at the time of performing the temperature control of the upper surface of a modeled object in the apparatus of FIG. 図1の装置において、造形物の最上端および最下端以外の加熱ゾーンにおける制御指令値の制御例を示した説明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram showing a control example of a control command value in a heating zone other than the uppermost end and the lowermost end of the modeled object in the apparatus of FIG. 図1の装置の変形例に関し、絶縁体と誘導加熱コイルを独立して設ける場合の構成を示した模式図である。It is a schematic diagram which showed the structure in the case where the insulator and the induction heating coil are provided independently with respect to the modification of the apparatus of FIG. 図1の装置の誘導加熱系の構成を示した説明図である。It is explanatory drawing which showed the structure of the induction heating system of the apparatus of FIG. 図1の装置において用いられる誘導加熱コイルの構成例を示した説明図である。It is explanatory drawing which showed the structural example of the induction heating coil used in the apparatus of FIG. 図1の装置の制御系(制御装置)の構成例を示したブロック図である。It is a block diagram which showed the structural example of the control system (control device) of the device of FIG.

以下、添付図面に示す実施例を参照して本発明を実施するための形態につき説明する。なお、以下に示す実施例はあくまでも一例であり、例えば細部の構成については本発明の趣旨を逸脱しない範囲において当業者が適宜変更することができる。また、本実施形態で取り上げる数値は、参考数値であって、本発明を限定するものではない。 Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described with reference to the examples shown in the accompanying drawings. It should be noted that the examples shown below are merely examples, and for example, those skilled in the art can appropriately change the detailed configuration without departing from the spirit of the present invention. Further, the numerical values taken up in the present embodiment are reference numerical values and do not limit the present invention.

<実施形態1>
図1に本発明を採用した3次元造形装置の構成例を示す。図1の装置は、造形エリアに成膜した導電性の材料粉末を選択的に輻射加熱し、焼結させる動作を繰り返して3次元造形物を製造する、例えば3Dプリンタなどの3次元造形装置である。
<Embodiment 1>
FIG. 1 shows a configuration example of a three-dimensional modeling apparatus adopting the present invention. The device of FIG. 1 is a three-dimensional modeling device such as a 3D printer, which manufactures a three-dimensional model by repeating the operation of selectively radiating and heating the conductive material powder formed in the modeling area and sintering it. is there.

図1の造形装置では、造形テーブル4を造形チャンバ1内に収容し、エネルギービーム照射装置としてのレーザ光源12と、その走査系を造形チャンバ1の外側に配置している。造形チャンバ1は外部の雰囲気に対して気密を保てるよう構成される。造形チャンバ1には排気口2が設けられ、この排気口2を介して不図示の真空ポンプにより造形チャンバ1の内部を減圧することができる。また、本実施形態の造形チャンバ1は、減圧後に、給気口3を介してより所望のガス(例えば不活性ガス)を封入できるよう構成されている。 In the modeling apparatus of FIG. 1, the modeling table 4 is housed in the modeling chamber 1, and the laser light source 12 as an energy beam irradiation device and its scanning system are arranged outside the modeling chamber 1. The modeling chamber 1 is configured to maintain airtightness with respect to the outside atmosphere. The modeling chamber 1 is provided with an exhaust port 2, and the inside of the modeling chamber 1 can be depressurized by a vacuum pump (not shown) through the exhaust port 2. Further, the modeling chamber 1 of the present embodiment is configured so that a more desired gas (for example, an inert gas) can be sealed through the air supply port 3 after depressurization.

図1の造形チャンバ1の上方には、輻射加熱による造形を行うためのエネルギービームとしてレーザビームLを照射するレーザ照射装置を配置する。このレーザ照射系は、例えば、レーザ光源12、コリメータレンズ13、ビームエキスパンダ14、集光レンズ15、ガルバノスキャナ16、およびレーザスポットを結像面上で等速走査させるためのf−θレンズ17などから構成される。ガルバノスキャナ16は、後述の制御装置によって、例えば造形物の形状を表現した3DCAD(あるいは3DCG)信号によって変調され、造形物の1層に相当する形状にレーザスポットを水平面内で走査するよう制御される。 Above the modeling chamber 1 of FIG. 1, a laser irradiation device that irradiates a laser beam L as an energy beam for performing modeling by radiant heating is arranged. This laser irradiation system includes, for example, a laser light source 12, a collimator lens 13, a beam expander 14, a condenser lens 15, a galvano scanner 16, and an f-θ lens 17 for scanning a laser spot on an imaging surface at a constant velocity. It is composed of such as. The galvano scanner 16 is modulated by a control device described later, for example, by a 3DCAD (or 3DCG) signal expressing the shape of the modeled object, and is controlled to scan the laser spot in a horizontal plane into a shape corresponding to one layer of the modeled object. To.

造形チャンバ1内部には、金属や樹脂などの材料から構成された造形テーブル4が設置されている。造形テーブル4には、例えば鉛直方向に穴5a、6a、10aが設けられている。これらの穴5a、6a、10aの断面形状は矩形、円形など任意である。 Inside the modeling chamber 1, a modeling table 4 made of a material such as metal or resin is installed. The modeling table 4 is provided with holes 5a, 6a, and 10a in the vertical direction, for example. The cross-sectional shapes of these holes 5a, 6a, and 10a are arbitrary, such as rectangular and circular.

穴5a、6a、10aは、それぞれ造形前の材料粉末を貯蔵するための穴、造形を行うための穴、焼結されなかった材料粉末を回収するための穴に相当する。特に、造形を行うための穴6aは、3D造形を行うための造形エリアに相当する。 The holes 5a, 6a, and 10a correspond to holes for storing the material powder before molding, holes for performing the molding, and holes for collecting the unsintered material powder, respectively. In particular, the hole 6a for performing modeling corresponds to the modeling area for performing 3D modeling.

材料粉末を貯蔵する穴5aの内部には、昇降可能な材料供給ステージ5が配置されている。この材料供給ステージ5によって、造形前に穴5aの上部に予め貯蔵された材料粉末をせり上げ、粉敷きローラ11によって、適宜必要な量の材料粉末を造形テーブル4上に供給することができる。材料供給ステージ5は、例えば造形チャンバ1の外部の駆動手段(例えばサーボモータ+ラック&ピニオンなどを用いた伝達系(不図示))によって昇降可能に構成される。なお、本実施形態では、穴5aの内部に貯蔵される材料粉末は導電性の金属材料であるものとする。 A material supply stage 5 that can be raised and lowered is arranged inside the hole 5a for storing the material powder. The material supply stage 5 raises the material powder previously stored in the upper part of the hole 5a before modeling, and the powder laying roller 11 can appropriately supply a required amount of the material powder onto the modeling table 4. The material supply stage 5 is configured to be able to move up and down by, for example, an external drive means (for example, a transmission system using a servomotor + rack & pinion (not shown)) of the modeling chamber 1. In the present embodiment, the material powder stored inside the hole 5a is assumed to be a conductive metal material.

造形を行う穴6aの内部には、昇降可能な造形ステージ6が配置されている。造形ステージ6上には、ベースプレート7が設けられている。このベースプレート7は、造形ステージ6に対して例えばねじ止めなどの手法により固定される。造形ステージ6は、例えば造形チャンバ1の外部の駆動手段(例えばサーボモータ+ラック&ピニオンなどを用いた伝達系(不図示))によって昇降可能に構成され、層ごとの造形が進むにつれて後述の制御装置によって例えば下降するよう制御される。また、造形テーブル4の材料回収の穴10aには、回収容器10が配置される。 Inside the hole 6a for modeling, a modeling stage 6 that can be raised and lowered is arranged. A base plate 7 is provided on the modeling stage 6. The base plate 7 is fixed to the modeling stage 6 by a method such as screwing. The modeling stage 6 is configured to be able to move up and down by, for example, an external drive means of the modeling chamber 1 (for example, a transmission system using a servomotor + rack & pinion (not shown)), and controls described later as the modeling of each layer progresses. The device controls, for example, to descend. Further, a recovery container 10 is arranged in the material recovery hole 10a of the modeling table 4.

本実施形態では、造形を行う穴6aの周囲側面に、らせん状の誘導加熱コイル8を配置する。本実施形態では、誘導加熱コイル8は、金属性の材料粉末(22)から造形された造形物(O)を誘導加熱するために用いる。なお、図1(あるいは図12)では誘導加熱コイル8はほぼ2巻き分のみ図示してあるが、誘導加熱コイル8のループ数は任意である。 In the present embodiment, the spiral induction heating coil 8 is arranged on the peripheral side surface of the hole 6a to be modeled. In the present embodiment, the induction heating coil 8 is used for induction heating the modeled object (O) formed from the metallic material powder (22). Although the induction heating coil 8 is shown only for two turns in FIG. 1 (or FIG. 12), the number of loops of the induction heating coil 8 is arbitrary.

造形テーブル4の造形を行う穴6a(造形エリア)の内壁は、絶縁体9により構成し、誘導加熱コイル8は、絶縁体9の中に埋設する。絶縁体9は、絶縁セラミック材料、特に熱衝撃に強い材料である窒化アルミ、窒化ケイ素などの材質を用いて、例えば塗布〜乾燥あるいは焼結などの工法によって形成することが考えられる。誘導加熱コイル8や、下記の熱電対18は、絶縁体9の形成時に、絶縁体9中に埋設加工することができる。この絶縁体9により誘導加熱コイル8(ないしこの中空部により構成される冷却装置)が造形エリア(穴6a)の内側と隔離される。 The inner wall of the hole 6a (modeling area) for modeling the modeling table 4 is formed of an insulator 9, and the induction heating coil 8 is embedded in the insulator 9. It is conceivable that the insulator 9 is formed by a method such as coating, drying, or sintering using an insulating ceramic material, particularly a material such as aluminum nitride or silicon nitride which is a material resistant to thermal shock. The induction heating coil 8 and the thermocouple 18 described below can be embedded in the insulator 9 when the insulator 9 is formed. The insulator 9 isolates the induction heating coil 8 (or a cooling device composed of the hollow portion thereof) from the inside of the modeling area (hole 6a).

誘導加熱コイル8は、例えば図12に示すような形状であり、らせん形状の部分と、リード部81から成る。なお、この誘導加熱コイル8の形状は、後述の実施形態3で用いる誘導加熱コイル37でも同様である。誘導加熱コイル8は、例えば銅などの導電材料、好ましくは中空のパイプ材から構成する。電気的には、リード部81は、電源線82、82を介して後述の電源系(図11)に接続される。また、誘導加熱コイル8の中空部位は、後述の冷却系(図11)に接続され、81a、81bで示すように冷媒(例えば冷却水)を供給、回収し、循環させる。このように誘導加熱コイル8の内部を冷媒(例えば冷却水)を循環させることにより、特に造形を行う穴6aの内壁の絶縁体9を冷却し(図1)、この部分の温度管理を行う。 The induction heating coil 8 has a shape as shown in FIG. 12, for example, and includes a spiral-shaped portion and a lead portion 81. The shape of the induction heating coil 8 is the same for the induction heating coil 37 used in the third embodiment described later. The induction heating coil 8 is made of a conductive material such as copper, preferably a hollow pipe material. Electrically, the lead portion 81 is connected to the power supply system (FIG. 11) described later via the power supply lines 82 and 82. Further, the hollow portion of the induction heating coil 8 is connected to a cooling system (FIG. 11) described later, and a refrigerant (for example, cooling water) is supplied, recovered, and circulated as shown by 81a and 81b. By circulating a refrigerant (for example, cooling water) inside the induction heating coil 8 in this way, the insulator 9 on the inner wall of the hole 6a to be modeled is cooled (FIG. 1), and the temperature of this portion is controlled.

本実施形態では、後述の制御装置によって、誘導加熱コイル8による誘導加熱と、その内部の冷媒の循環を制御することにより、特に図1の造形済みの造形物Oと、造形エリア(造形を行う穴6a)の内壁部位の温度管理を行う。 In the present embodiment, by controlling the induction heating by the induction heating coil 8 and the circulation of the refrigerant inside the induction heating coil 8 by the control device described later, particularly the modeled object O of FIG. 1 and the modeling area (modeling is performed). The temperature of the inner wall portion of the hole 6a) is controlled.

この温度管理のために、造形エリア(穴6a)内の造形済みの造形物(O)の最上部の温度を測定する第1の温度測定装置として、放射温度計19を配置している。また、造形エリア(穴6a)内の造形済みの造形物(O)の最下部の温度を測定する第2の温度測定装置として、ベースプレート7に熱電対18を配置している。 For this temperature control, a radiation thermometer 19 is arranged as a first temperature measuring device for measuring the temperature of the uppermost part of the modeled object (O) in the modeling area (hole 6a). Further, a thermocouple 18 is arranged on the base plate 7 as a second temperature measuring device for measuring the temperature of the lowermost portion of the modeled object (O) in the modeling area (hole 6a).

また、造形エリア(穴6a)の周囲のそれぞれ異なる位置に配置された複数の測定点の温度をそれぞれ検出する第3の温度測定装置として熱電対20を配置している。造形済みの造形物を取り巻く造形物(O)の側面周囲、特に造形エリア(穴6a)内壁部分の未焼結の材料粉末22の温度検出手段を構成する。熱電対20は、絶縁体9の内部に埋設、配置する。 Further, a thermocouple 20 is arranged as a third temperature measuring device for detecting the temperatures of a plurality of measuring points arranged at different positions around the modeling area (hole 6a). It constitutes a temperature detecting means for the unsintered material powder 22 around the side surface of the modeled object (O) surrounding the modeled object, particularly the inner wall portion of the modeling area (hole 6a). The thermocouple 20 is embedded and arranged inside the insulator 9.

図1の造形装置では、造形テーブル4の穴5aの上部〜回収容器10の上部の開口部の上面の領域を移動できるよう、粉敷きローラ11が配置される。粉敷きローラ11の回転駆動系および上記領域における(水平)往復移動系には、公知の構成を用いることができる。これら粉敷きローラ11の駆動手段は、図1では詳細図示は省略してあるが、少なくとも、図1の左右方向の(水平)往復移動と、順逆方向の回転運動をそれぞれ独立して制御できるよう構成される。造形時の粉敷きローラ11による材料粉末の供給および回収は、例えば次のように行われる。 In the modeling apparatus of FIG. 1, the powder laying roller 11 is arranged so that the region from the upper part of the hole 5a of the modeling table 4 to the upper surface of the opening at the upper part of the collection container 10 can be moved. Known configurations can be used for the rotary drive system of the powder spreading roller 11 and the (horizontal) reciprocating movement system in the above region. Although detailed illustration of these powder spreading rollers 11 is omitted in FIG. 1, at least the left-right (horizontal) reciprocating movement in FIG. 1 and the rotational movement in the forward and reverse directions can be independently controlled. It is composed. The material powder is supplied and recovered by the powder spreading roller 11 at the time of modeling, for example, as follows.

1層の造形の際には、穴5aの上部の材料粉末を適量供給できるよう材料供給ステージ5をせり上げる。一方、造形ステージ6は例えば造形物の1層分の高さ下降させて待機させる。この状態で、粉敷きローラ11を図中左方から穴5aの上部〜造形ステージ6の上部を転動させて、1層分の材料粉末を馴らしながら造形ステージ6ないしは既に造形済みの造形物(O)上に供給する。さらに粉敷きローラ11を回収容器10の上部の開口部まで転動させることによって、1層分を超える余分の材料粉末を回収容器10の内部に回収する。 When forming one layer, the material supply stage 5 is raised so that an appropriate amount of the material powder above the hole 5a can be supplied. On the other hand, the modeling stage 6 is made to stand by, for example, by lowering the height of one layer of the modeled object. In this state, the powder laying roller 11 is rolled from the upper part of the hole 5a to the upper part of the modeling stage 6 from the left side in the drawing, and the modeling stage 6 or the already modeled object (which has already been modeled) while acclimatizing one layer of material powder O) Supply on. Further, by rolling the powder laying roller 11 to the upper opening of the collection container 10, excess material powder exceeding one layer is collected inside the collection container 10.

図11に、上記の造形装置(図1)の誘導加熱コイル8を用いた加熱および冷却(温度管理)を行うためのハードウェア構成の一例を示す。図11において、誘導加熱コイル8のリード部81は、電気的には、電源線82、マッチングトランス88、電源線84を介して交流電源86に接続されている。交流電源86には、好ましくは例えば後述のような出力周波数のオートマッチングを行えるものを用いる。後述の制御装置(600)のCPU(601)は、シーケンサ87を介して交流電源86の出力交流の電力、周波数、あるいはデューティ比などを制御することができる。 FIG. 11 shows an example of a hardware configuration for heating and cooling (temperature control) using the induction heating coil 8 of the above-mentioned modeling apparatus (FIG. 1). In FIG. 11, the lead portion 81 of the induction heating coil 8 is electrically connected to the AC power supply 86 via the power supply line 82, the matching transformer 88, and the power supply line 84. As the AC power supply 86, for example, one capable of auto-matching the output frequency as described later is used. The CPU (601) of the control device (600) described later can control the power, frequency, duty ratio, and the like of the output AC of the AC power supply 86 via the sequencer 87.

一方、誘導加熱コイル8の冷媒(冷却水)の循環はチラー85によって行う。チラー85は冷媒流路83を介して誘導加熱コイル8の中空の冷媒(冷却水)流路と連通させる。チラー85は、この種の冷媒(冷却水)の循環制御を行うためのもので、例えば、冷媒(冷却水)の温度制御を行う加熱(または冷却)素子や、ポンプなどの流量制御部を備える。また、チラー85は、制御回路とのインターフェース手段を備え、後述の制御装置(600)のCPU(601)は、適宜制御情報を送信することにより、冷媒(冷却水)の温度設定や単位時間あたりの流量設定を行うことができる。 On the other hand, the refrigerant (cooling water) of the induction heating coil 8 is circulated by the chiller 85. The chiller 85 communicates with the hollow refrigerant (cooling water) flow path of the induction heating coil 8 via the refrigerant flow path 83. The chiller 85 is for controlling the circulation of this type of refrigerant (cooling water), and includes, for example, a heating (or cooling) element that controls the temperature of the refrigerant (cooling water) and a flow control unit such as a pump. .. Further, the chiller 85 is provided with an interface means with a control circuit, and the CPU (601) of the control device (600) described later appropriately transmits control information to set the temperature of the refrigerant (cooling water) or per unit time. Flow rate can be set.

図13に、図1の造形装置の制御装置600(制御系)の構成例を示す。図13の制御系は、汎用マイクロプロセッサなどから成るCPU601、ROM602、RAM603、インターフェース604、605、606、などから構成される。制御装置600には、その他に、必要に応じてネットワークインターフェースや、例えばSSDやHDDのディスク装置で構成した外部記憶装置を配置してもよい。 FIG. 13 shows a configuration example of the control device 600 (control system) of the modeling device of FIG. The control system of FIG. 13 is composed of a CPU 601 including a general-purpose microprocessor and the like, a ROM 602, a RAM 603, interfaces 604, 605, 606, and the like. In addition, the control device 600 may be provided with a network interface or an external storage device composed of, for example, an SSD or HDD disk device, if necessary.

ROM602は、CPU601に例えば、図1の造形装置の基本制御、および本実施形態の温度管理を実行させるための制御プログラムと制御データを格納する。なお、ROM602に格納した制御プログラムと制御データを後から更新(アップデート)できるよう、そのための記憶領域はE(E)PROMなどの記憶デバイスによって構成されていてもよい。RAM603は、DRAM素子などから構成され、CPU601が各種の制御、処理を実行するためのワークエリアとして用いられる。後述する温度管理の制御手順に係る機能は、CPU601が本実施形態の制御プログラム(例えば図8)を実行することにより実現される。なお、SSDやHDDなどの外部記憶装置を配置している場合には、上記の制御プログラムや制御データを例えばファイル形式で格納することができる。また、SSDやHDDなどの外部記憶装置は、RAM603上の主記憶の領域を補完する仮想記憶領域を配置するためにも利用することができる。 The ROM 602 stores, for example, a control program and control data for causing the CPU 601 to execute the basic control of the modeling apparatus of FIG. 1 and the temperature control of the present embodiment. The storage area for the control program and the control data stored in the ROM 602 may be configured by a storage device such as an E (E) PRO so that the control program and the control data can be updated later. The RAM 603 is composed of a DRAM element or the like, and is used as a work area for the CPU 601 to execute various controls and processes. The function related to the temperature control control procedure described later is realized by the CPU 601 executing the control program of the present embodiment (for example, FIG. 8). When an external storage device such as an SSD or HDD is arranged, the above control program and control data can be stored in, for example, a file format. Further, an external storage device such as an SSD or an HDD can also be used to arrange a virtual storage area that complements the main storage area on the RAM 603.

なお、外部記憶装置は、SSDやHDDに限らず、着脱式の各種光ディスクのような記録媒体、あるいは、着脱式のSSDやHDDのディスク装置、着脱式のフラッシュメモリから構成されていてもよい。このような各種の着脱式のコンピュータ読み取り可能な記録媒体は、例えば、本発明の一部を構成する制御プログラムをROM602(のE(E)PROM領域)にインストールしたり、またはアップデートするために用いることができる。この場合、各種の着脱式のコンピュータ読み取り可能な記録媒体は、本発明を構成する制御プログラムを格納しており、記録媒体それ自体も本発明を構成することになる。 The external storage device is not limited to the SSD and the HDD, and may be composed of a recording medium such as various detachable optical disks, a detachable SSD or HDD disk device, and a detachable flash memory. Such various removable computer-readable recording media are used, for example, to install or update a control program constituting a part of the present invention in ROM 602 (E (E) PROM area). be able to. In this case, various removable computer-readable recording media store the control program constituting the present invention, and the recording medium itself constitutes the present invention.

ROM602(あるいは外部記憶装置)に格納される制御データには、例えば、実験(後述の図2)によって得られた特定の材料粉末から造形する造形物に係る「拡散接合境界温度」(後述)のデータが含まれる。 The control data stored in the ROM 602 (or an external storage device) includes, for example, the "diffusion bonding boundary temperature" (described later) relating to a modeled object formed from a specific material powder obtained by an experiment (FIG. 2 described later). Contains data.

CPU601は、ROM602(あるいは不図示の外部記憶装置)に格納された造形制御プログラム、温度管理に係る制御プログラム、ファームウェアなどを実行する。これにより、例えば図8に示す(制御装置600の)各機能ブロック(または制御ステップ)が実現される。 The CPU 601 executes a modeling control program, a control program related to temperature control, firmware, and the like stored in the ROM 602 (or an external storage device (not shown)). As a result, for example, each functional block (or control step) shown in FIG. 8 (of the control device 600) is realized.

また、図13において、制御装置600には、インターフェース604、605、606が設けられている。これらのうち、例えばインターフェース604は、外部装置から3次元造形データ(3DCAD、3DCGデータなどデータ形式は任意)を受信するために用いる。また、インターフェース605は図1の造形装置の被制御要素607(P)にアクセスするために用いられる。この被制御要素607(P)には、例えば、粉敷きローラ11の駆動系、レーザ光源12、造形ステージ6を昇降制御する(3Dプリンタの)駆動系などが含まれる。また、造形チャンバ1内の雰囲気調整用の減圧装置や、不活性ガスの供給装置(いずれも詳細不図示)などが配置される場合には、被制御要素607(P)にはこれらの部材もCPU601の制御対象として含まれる。 Further, in FIG. 13, the control device 600 is provided with interfaces 604, 605, and 606. Of these, for example, the interface 604 is used to receive three-dimensional modeling data (data format such as 3D CAD and 3DCG data is arbitrary) from an external device. The interface 605 is also used to access the controlled element 607 (P) of the modeling apparatus of FIG. The controlled element 607 (P) includes, for example, a drive system for the powder spreading roller 11, a laser light source 12, and a drive system (of a 3D printer) for raising and lowering the modeling stage 6. Further, when a decompression device for adjusting the atmosphere in the modeling chamber 1 and an inert gas supply device (all not shown in detail) are arranged, these members are also included in the controlled element 607 (P). It is included as a control target of the CPU 601.

また、図13では、特に上記の温度管理系のチラー85、シーケンサ87、センサ類609を図示している。このセンサ類609は、温度検出のための上記の熱電対18、20、あるいは放射温度計19に相当する。これらの温度管理系の各部は、CPU601によってインターフェース606を介して制御される。例えば、CPU601は、インターフェース606を介してセンサ類609の測定情報を取得できるとともに、所定の信号形式によって制御信号を送信することにより、チラー85、シーケンサ87などの動作を所望に制御可能である。 Further, FIG. 13 shows, in particular, the chiller 85, the sequencer 87, and the sensors 609 of the temperature control system. The sensors 609 correspond to the thermocouples 18 and 20 or the radiation thermometer 19 for temperature detection. Each part of these temperature control systems is controlled by the CPU 601 via the interface 606. For example, the CPU 601 can acquire the measurement information of the sensors 609 via the interface 606, and can control the operations of the chiller 85, the sequencer 87, and the like by transmitting the control signal in a predetermined signal format.

なお、ネットワークインターフェースを配置した場合、このインターフェースは他の制御端末(不図示)や、他の造形装置、ネットワーク上のサーバなどと通信するために用いることができる。このネットワークインターフェースには、例えば有線、無線接続によるネットワーク通信方式、例えば有線接続ではIEEE802.3、無線接続ではIEEE802.11、802.15のような通信方式を用いることができる。なお、インターフェース604はネットワークインターフェースで構成してもよく、造形データの入出力をネットワーク通信を介して行うようにしてもよい。 When a network interface is arranged, this interface can be used for communicating with other control terminals (not shown), other modeling devices, servers on the network, and the like. For this network interface, for example, a network communication method by a wired or wireless connection, for example, a communication method such as IEEE802.3 for a wired connection and IEEE802.11 or 802.11 for a wireless connection can be used. The interface 604 may be configured as a network interface, or input / output of modeling data may be performed via network communication.

次に、図1の造形装置における3D造形処理の概略につき説明する。造形チャンバ1は図示しない作業窓より内部にアクセス可能となっている。造形に先立ち、材料供給ステージ5への造形材料(材料粉末22)の貯蔵作業、ベースプレート7の取り付け作業を事前に行う。 Next, the outline of the 3D modeling process in the modeling apparatus of FIG. 1 will be described. The modeling chamber 1 is accessible to the inside through a work window (not shown). Prior to modeling, the modeling material (material powder 22) is stored in the material supply stage 5 and the base plate 7 is attached in advance.

その後、造形チャンバ1内の雰囲気の調整を行う。例えば作業窓(不図示)を閉じ、再度チャンバ内の気密を確保する。もし造形材料が酸化しやすい材料である、などの事情がある場合には、チャンバ内の酸素濃度を下げる目的で、排気口2より真空ポンプでチャンバ内を減圧する。また、その後で給気口3より不活性ガスを導入し封止しても良い。不活性ガスとしては窒素、アルゴンなどが好適に用いられる。なお、造形チャンバ1内の雰囲気要件として、酸素濃度のみが課題であるならば、必ずしも造形チャンバ1は封止されている必要は無い。また、例えば造形中常に不活性ガスを供給、排出することで結果的に造形チャンバ1内の酸素濃度を規定以下に制御するようにしてもよい。また、同様に不活性ガスを供給、排出することにより造形チャンバ1内で発生したヒュームや浮遊した材料粉末を回収しながら造形を行っても良い。 After that, the atmosphere in the modeling chamber 1 is adjusted. For example, the work window (not shown) is closed to ensure airtightness in the chamber again. If there are circumstances such as the modeling material being a material that easily oxidizes, the inside of the chamber is depressurized from the exhaust port 2 with a vacuum pump for the purpose of lowering the oxygen concentration in the chamber. Further, after that, an inert gas may be introduced from the air supply port 3 and sealed. As the inert gas, nitrogen, argon or the like is preferably used. If only the oxygen concentration is an issue as an atmosphere requirement in the modeling chamber 1, the modeling chamber 1 does not necessarily have to be sealed. Further, for example, by constantly supplying and discharging the inert gas during modeling, the oxygen concentration in the modeling chamber 1 may be controlled to a specified value or less as a result. Similarly, modeling may be performed while collecting the fume and suspended material powder generated in the modeling chamber 1 by supplying and discharging the inert gas.

造形チャンバ1内の雰囲気が所望の真空度、酸素濃度あるいは封入ガス濃度となったことを確認した後、ベースプレート7の予備加熱を行う。 After confirming that the atmosphere in the modeling chamber 1 has a desired degree of vacuum, oxygen concentration, or enclosed gas concentration, the base plate 7 is preheated.

ベースプレート7が導電性材料である場合は、誘導加熱コイル8を利用して予備加熱を行う事もできる。ベースプレート7を一定の温度に維持したまま、第1層の造形に入るためには、ベースプレート7の上面が造形テーブル4の上面とほぼ一致した高さで予備加熱されることが望ましい。ただし、予備加熱に誘導加熱コイル8を用いる場合、ベースプレート7の予備加熱と同時に、造形ステージの下部構成部品も発熱する恐れがある。これを考慮し、予備加熱中および造形中にコイルの内側に侵入し得る部位については上記の絶縁体9と同様の絶縁材料で構成することが望ましい。 When the base plate 7 is made of a conductive material, preheating can be performed by using the induction heating coil 8. In order to start modeling the first layer while maintaining the base plate 7 at a constant temperature, it is desirable that the upper surface of the base plate 7 is preheated at a height substantially equal to the upper surface of the modeling table 4. However, when the induction heating coil 8 is used for the preheating, the lower component of the modeling stage may also generate heat at the same time as the preheating of the base plate 7. In consideration of this, it is desirable that the portion that can penetrate the inside of the coil during preheating and molding is made of the same insulating material as the above-mentioned insulator 9.

また、ベースプレート7の予備加熱は誘導加熱コイル8によらず、造形ステージに設けた抵抗加熱ヒーターを用いて行っても良い。この場合、ベースプレート7の材料は導電性の有無を問わない。なお抵抗加熱ヒーターは通電中の誘導加熱コイル8の内側に侵入し得ない位置に設ける必要がある。 Further, the preheating of the base plate 7 may be performed not by using the induction heating coil 8 but by using a resistance heating heater provided on the modeling stage. In this case, the material of the base plate 7 may or may not be conductive. The resistance heating heater needs to be provided at a position where it cannot enter the inside of the induction heating coil 8 during energization.

ベースプレート7の温度制御はベースプレート7内に設けられた熱電対18を制御点として行う。ベースプレート7の予備加熱の指令温度は、後述する(造形中の)造形物の指令温度と同一で良い。この造形物の指令温度の決定方法については後で詳述する。 The temperature of the base plate 7 is controlled by using a thermocouple 18 provided in the base plate 7 as a control point. The command temperature for preheating the base plate 7 may be the same as the command temperature for the modeled object (during modeling) described later. The method of determining the command temperature of this model will be described in detail later.

例えば、ベースプレート7とそれに隣接する造形ステージが予備加熱温度において酸化し劣化し得る構成であるものとして、予備加熱前にチャンバ内雰囲気の調整を行う。しかしながら、通常大気下でも予備加熱温度までの昇温が可能である構成の場合には、雰囲気の調整工程と予備加熱工程を並行して行い、造形開始までの時間を短縮するようにしても良い。 For example, assuming that the base plate 7 and the modeling stage adjacent thereto can be oxidized and deteriorated at the preheating temperature, the atmosphere in the chamber is adjusted before the preheating. However, in the case of a configuration in which the temperature can be raised to the preheating temperature even in the normal atmosphere, the atmosphere adjustment step and the preheating step may be performed in parallel to shorten the time until the start of modeling. ..

続いて、第1層の造形を開始する。図1において粉敷きローラ11を材料の貯蔵穴の左側に待機させ、材料供給ステージ5をせり上げ、適当な量の材料粉末を造形テーブル4上に供給する。なお薄膜の形成に必要な量よりも若干多めに供給を行う。粉敷きローラ11を所望の速度で右方に並進移動させるとともに回転させる。このようにして、供給ステージ上にせり出た材料粉末の山を右方へ搬送しながら、ベースプレート7上に材料粉末の薄膜を形成していく。 Subsequently, the modeling of the first layer is started. In FIG. 1, the powder spreading roller 11 is made to stand by on the left side of the material storage hole, the material supply stage 5 is raised, and an appropriate amount of material powder is supplied onto the modeling table 4. A slightly larger amount than the amount required for forming the thin film is supplied. The powdering roller 11 is translated and rotated to the right at a desired speed. In this way, a thin film of the material powder is formed on the base plate 7 while transporting the pile of the material powder protruding on the supply stage to the right.

形成される薄膜の厚さは粉敷きローラに対する造形ステージ6の相対高さを予め調整することで制御することができる。粉敷きローラ11はベースプレート7上を通過し、残った粉体材料を回収容器10に流し込む。その後、そのまま粉敷きローラを左方へ並進移動させ、初期の待機場所まで戻す。また、造形ステージ6を僅かに上昇させてから、粉敷きローラ11を待機場所に戻すことで、往路で形成した薄膜を押し潰し、あるいは削り取って所望の膜厚としても良い。この場合は粉敷きローラ11を回転をさせながら待機位置に戻すことになる。 The thickness of the thin film to be formed can be controlled by adjusting the relative height of the molding stage 6 with respect to the powder spreading roller in advance. The powder spreading roller 11 passes over the base plate 7 and the remaining powder material is poured into the recovery container 10. After that, the powdering roller is translated to the left as it is, and returned to the initial waiting place. Further, by slightly raising the modeling stage 6 and then returning the powder spreading roller 11 to the standby place, the thin film formed on the outward path may be crushed or scraped to obtain a desired film thickness. In this case, the powder spreading roller 11 is returned to the standby position while being rotated.

なお、薄膜の形成中もベースプレート7に対する上記の予備加熱は切らないでおく。ただし、粉敷きローラ11が導電性材を含み、誘導発熱により粉敷きローラ11の運動精度や薄膜形成挙動に影響が出るようであれば、粉敷きローラ11が誘導加熱コイル8上を通過中のみ、誘導加熱コイル8の加熱通電を遮断するよう制御してもよい。 The preheating of the base plate 7 is not turned off even during the formation of the thin film. However, if the powdering roller 11 contains a conductive material and the induced heat generation affects the motion accuracy and the thin film forming behavior of the powdering roller 11, only while the powdering roller 11 is passing over the induction heating coil 8. , The heating energization of the induction heating coil 8 may be controlled to be cut off.

なお、以上では薄膜形成の手段として粉敷きローラ11を例示したが、薄膜形成は粉敷きローラ11に限らずスクレーパーなどにより行うこともできる。 Although the powder-laying roller 11 has been illustrated as a means for forming the thin film in the above, the thin-film formation can be performed not only by the powder-laying roller 11 but also by a scraper or the like.

続いて、ベースプレート7上に形成された粉体薄膜に造形用レーザを選択的に照射していく。レーザ光源12から得られたレーザビームをコリメータレンズ13でコリメートし、ビームエキスパンダ14で帯状に広げた後、集光レンズ15で集光する。レーザビームLはガルバノスキャナ16のミラーで反射され、f−θレンズ17を通過して最上層に材料粉末22から形成された薄膜の上面に焦点を結びレーザスポットを形成する。ガルバノスキャナ16は後述の制御装置の指令に基づきレーザスポットを材料粉末22の薄膜上面内で水平にスキャンさせる。 Subsequently, the powder thin film formed on the base plate 7 is selectively irradiated with the modeling laser. The laser beam obtained from the laser light source 12 is collimated by the collimator lens 13, expanded in a band shape by the beam expander 14, and then condensed by the condenser lens 15. The laser beam L is reflected by the mirror of the galvano scanner 16 and passes through the f-θ lens 17 to focus on the upper surface of the thin film formed from the material powder 22 on the uppermost layer to form a laser spot. The galvano scanner 16 scans the laser spot horizontally in the upper surface of the thin film of the material powder 22 based on the command of the control device described later.

このレーザスポット走査を制御するために、制御装置600のCPU601は、インターフェース604を介して外部装置から予め用意された造形物の3次元モデルデータ(3DCAD、3DCGデータなど)を入力する。そしてこの3次元モデルデータを水平断面の積層データに分解し、さらに各層に対応する造形層のスキャン軌跡のデータを生成する。さらにCPU601は、当該の造形層の軌跡データに基づき、走査系、例えばガルバノスキャナ16の駆動データを生成する。なお、レーザのスキャン光学系は上述の構成に限定されるものではない。例えば、ガルバノスキャナなどの揺動走査系に限定されることなく、必要に応じてポリゴンミラーなどの回転走査系を用いることが考えられる。また、本実施形態では、エネルギービームとしてレーザビーム(L)を考えたが、材料粉末22の輻射加熱に電子ビームなどの他のエネルギービームを用いる場合には、その発生源や、走査系は当業者において適宜変更して構わない。 In order to control the laser spot scanning, the CPU 601 of the control device 600 inputs three-dimensional model data (3DCAD, 3DCG data, etc.) of a modeled object prepared in advance from an external device via the interface 604. Then, the three-dimensional model data is decomposed into the laminated data of the horizontal cross section, and the data of the scan locus of the modeling layer corresponding to each layer is generated. Further, the CPU 601 generates drive data of a scanning system, for example, a galvano scanner 16, based on the locus data of the modeling layer. The laser scanning optical system is not limited to the above configuration. For example, it is conceivable to use a rotary scanning system such as a polygon mirror, if necessary, without being limited to a swing scanning system such as a galvano scanner. Further, in the present embodiment, the laser beam (L) is considered as the energy beam, but when another energy beam such as an electron beam is used for radiant heating of the material powder 22, the source and the scanning system are the same. The vendor may change it as appropriate.

以上のようにして、レーザ光をスキャンし薄膜を焼結する間、本実施例では、誘導加熱コイル8はベースプレート7および造形された造形物の加熱を続ける。 As described above, in this embodiment, the induction heating coil 8 continues to heat the base plate 7 and the modeled object while scanning the laser beam and sintering the thin film.

1層目の焼結が終了すると、造形ステージ6は2層目の所望の膜厚分だけ下降し、1層目と同様に2層目の材料供給および薄膜形成を行う。なお、造形時間短縮のために、1層目の造形中に並行して材料供給工程のうち実行可能な部分を行っても良い。 When the sintering of the first layer is completed, the modeling stage 6 is lowered by the desired film thickness of the second layer, and the material of the second layer is supplied and the thin film is formed in the same manner as in the first layer. In addition, in order to shorten the modeling time, a feasible part of the material supply process may be performed in parallel during the modeling of the first layer.

以後、2層目以上の層も同様に造形を行う。本実施例では、造形中、誘導加熱コイル8は常に加熱を続け、造形物Oの温度を所望の温度に保ち続ける。造形初期から造形終了までの誘導加熱コイル8による温度管理については後で詳述する。 After that, the second and higher layers are also shaped in the same manner. In this embodiment, the induction heating coil 8 is constantly heated during modeling, and the temperature of the modeled object O is maintained at a desired temperature. The temperature control by the induction heating coil 8 from the initial stage of modeling to the end of modeling will be described in detail later.

造形が終了すると、造形チャンバ1の雰囲気は保ったまま、造形物Oの降温を開始する。例えば、誘導加熱コイル8の通電を遮断し、造形物Oないしその周囲が作業者の作業が可能となる温度まで冷却する。この降温中、制御装置600は熱電対18、20や放射温度計を用いて、引き続き造形物(ないしその周囲)の温度を監視することができる。そして、造形物の酸化、劣化等の問題が生じない温度まで下がった時点で、雰囲気の調整を停止し、造形チャンバ1内に大気を導入する。降温終了後、制御装置600は造形ステージ6を上昇させ、造形テーブル4上に造形物をせり出させる。 When the modeling is completed, the temperature of the modeled object O is started to be lowered while maintaining the atmosphere of the modeling chamber 1. For example, the energization of the induction heating coil 8 is cut off, and the modeled object O or its surroundings is cooled to a temperature at which the operator can work. During this temperature drop, the control device 600 can continue to monitor the temperature of the modeled object (or its surroundings) using thermocouples 18 and 20 and a radiation thermometer. Then, when the temperature drops to a temperature at which problems such as oxidation and deterioration of the modeled object do not occur, the adjustment of the atmosphere is stopped and the atmosphere is introduced into the modeling chamber 1. After the temperature has been lowered, the control device 600 raises the modeling stage 6 to project the modeled object onto the modeling table 4.

作業者は、作業窓からチャンバ内部にアクセスし、造形物周りの材料粉末を取り除き、ベースプレート7上の造形物Oを造形ステージ6から取り外す。また、作業者は、必要に応じて造形チャンバ1内に飛散した材料粉末の清掃や、回収容器10内の材料粉末(22)の取り出しを行い、これにより造形作業が終了する。その後、必要に応じて造形物Oに付着した材料粉末の除去処理、造形物Oの熱処理、ベースプレート7の除去加工、造形物Oの追加加工などを経て、最終の造形品(成形)を得る。 The operator accesses the inside of the chamber through the work window, removes the material powder around the modeled object, and removes the modeled object O on the base plate 7 from the modeling stage 6. Further, the operator cleans the material powder scattered in the modeling chamber 1 and takes out the material powder (22) in the collection container 10 as necessary, whereby the modeling work is completed. After that, if necessary, the final modeled product (molding) is obtained through a treatment for removing the material powder adhering to the modeled object O, a heat treatment for the modeled object O, a processing for removing the base plate 7, an additional processing for the modeled object O, and the like.

ここで、本実施形態において、好適とされるベースプレート7および造形物の材料について詳細に説明する。ベースプレート7の材料は造形材料と接合可能であること、融点が造形材料の拡散接合を生じる温度より十分に高いことが求められる。また、ベースプレート7を予備加熱する際に、誘導加熱コイル8を用いて誘導加熱する場合には、ベースプレート7も導電性材料である必要がある。 Here, the materials of the base plate 7 and the modeled object, which are suitable in the present embodiment, will be described in detail. The material of the base plate 7 is required to be able to be bonded to the modeling material and to have a melting point sufficiently higher than the temperature at which diffusion bonding of the modeling material occurs. Further, when the base plate 7 is preheated by induction heating using the induction heating coil 8, the base plate 7 also needs to be a conductive material.

ベースプレート7と造形物の接合力が弱すぎる場合には、造形中に発生した残留応力が緩和される前に、プレートと造形物間にクラックが発生してしまう恐れがある。また、ベースプレート7の剛性および締結力が低すぎると、やはり残留応力が緩和される前に、造形中の反り、歪みが発生してしまう恐れがある。従って、造形中の一時的な残留応力に十分耐えるだけの接合力と剛性が得られるプレート材料、プレート厚、締結トルクの選定が必要となる。ベースプレート7と第一層の接合の条件出しを容易にし、かつある程度の接合力を確保するには、プレート材料にも造形物と同じ材料を用いることが望ましい。熱伝導率および融点が造形材料と変わらないため、造形物を焼結するのと同様の焼結条件で接合が可能であり、接合部においては熱膨張差によるクラック等も発生せず造形物と同程度の強度が期待できる。 If the bonding force between the base plate 7 and the modeled object is too weak, cracks may occur between the plate and the modeled object before the residual stress generated during modeling is relaxed. Further, if the rigidity and fastening force of the base plate 7 are too low, warpage and distortion may occur during molding before the residual stress is relaxed. Therefore, it is necessary to select the plate material, plate thickness, and fastening torque that can sufficiently withstand the temporary residual stress during modeling and provide the bonding force and rigidity. In order to facilitate the conditions for joining the base plate 7 and the first layer and to secure a certain degree of joining force, it is desirable to use the same material as the modeled product as the plate material. Since the thermal conductivity and melting point are the same as those of the modeling material, it is possible to join under the same sintering conditions as when sintering the modeled object. The same level of strength can be expected.

次に、本実施形態に好適な造形材料(材料粉末22)の選定について説明する。本実施形態では、誘導加熱コイル8を交流で通電駆動し、造形エリア(穴6a)内に交流磁場を発生させ、主に造形物Oだけを選択的に誘導発熱させる。 Next, selection of a modeling material (material powder 22) suitable for this embodiment will be described. In the present embodiment, the induction heating coil 8 is driven by alternating current to generate an alternating magnetic field in the modeling area (hole 6a), and mainly only the modeled object O is selectively induced to generate heat.

即ち、本実施形態は、造形(固体化)済みの造形物Oに発生する渦電流ループに比べ、例えば造形物Oの周囲の粉末状態の材料粉末22に発生する渦電流ループが十分に小さく、造形物Oと比較して粉末材料粉末22では殆ど発熱が生じないという現象に基づく。この現象は発生する渦電流ループの大きさに差があるほど、より顕著に表れるため、造形材料の粉末は渦電流ループの小さいもの、つまり、粒径が小さいものが望ましい。具体的には平均粒径が10μm以下のものが好適に用いられる。 That is, in the present embodiment, the eddy current loop generated in the powdered material powder 22 around the modeled object O is sufficiently smaller than that of the eddy current loop generated in the modeled object O that has already been modeled (solidified). It is based on the phenomenon that almost no heat is generated in the powder material powder 22 as compared with the model O. This phenomenon appears more prominently as the size of the generated eddy current loops differs. Therefore, it is desirable that the powder of the modeling material has a small eddy current loop, that is, a small particle size. Specifically, those having an average particle size of 10 μm or less are preferably used.

一方、交流磁場による誘導発熱は上記の渦電流損によるもの以外に、材料の磁性に基づくヒステリシス損によるものが知られている。このヒステリシス損は造形物Oでも材料粉末22でも一様に発生する。 On the other hand, the induced heat generation due to the alternating magnetic field is known to be due to hysteresis loss based on the magnetism of the material in addition to the above-mentioned eddy current loss. This hysteresis loss occurs uniformly in both the model O and the material powder 22.

本実施形態では、特に造形済みの造形物Oの部位を誘導加熱し、造形エリア(穴6a)中で固化されていない材料粉末22の方はむしろ誘導加熱されないほうが望ましい。従って、ヒステリシス損が造形済みの造形物Oでも未造形の材料粉末22でも一様に発生する点を考慮すると、材料粉末22の磁性は無い方が望ましい。ただし、交流磁場の周波数を上げていくと、ヒステリシス損に対して、渦電流損による発熱量を支配的にすることができる。従って、誘導加熱コイル8によって印加する交流磁場の周波数を上げることにより、磁性材料から成る材料粉末22でも本実施形態を実施することが可能になる。 In the present embodiment, it is particularly desirable that the portion of the modeled object O that has already been modeled is induced and heated, and the material powder 22 that has not been solidified in the modeling area (hole 6a) is not induced and heated. Therefore, considering that the hysteresis loss is uniformly generated in both the molded product O and the unshaped material powder 22, it is desirable that the material powder 22 has no magnetism. However, by increasing the frequency of the alternating magnetic field, the amount of heat generated by the eddy current loss can be dominated by the hysteresis loss. Therefore, by increasing the frequency of the alternating magnetic field applied by the induction heating coil 8, it is possible to carry out the present embodiment even with the material powder 22 made of a magnetic material.

本実施形態において、誘導加熱コイル8を配置する目的は、造形期間中、造形エリア(穴6aの内部)に存在する、導電性の材料粉末22から造形された造形物(O)を加熱(ないし保温)する温度管理を行うことにある。前述のように、もし造形物(O)の温度管理を行わない場合には、例えばレーザ照射された部位が急激に熱膨張し、その後、冷却収縮されることによって、造形物(O)内部に応力残留が生じる。そして、特に、造形物(O)の造形エリア(穴6aの内部)からの取り出しやベースプレート7の除去の時に、造形中の残留応力が解放され、造形物(O)の反りや歪みなどの形状不良が生じることがある。 In the present embodiment, the purpose of arranging the induction heating coil 8 is to heat (or) the modeled object (O) formed from the conductive material powder 22 existing in the modeling area (inside the hole 6a) during the modeling period. It is to control the temperature to keep warm. As described above, if the temperature of the modeled object (O) is not controlled, for example, the laser-irradiated portion rapidly expands by heat and then is cooled and shrunk to enter the modeled object (O). Stress residue occurs. Then, in particular, when the modeled object (O) is taken out from the modeling area (inside the hole 6a) or the base plate 7 is removed, the residual stress during modeling is released, and the shape of the modeled object (O) such as warpage or distortion is released. Defects may occur.

本実施形態では、特にこのような造形後に取り出した造形物(O)の変形、形状不良を防止するために、誘導加熱コイル8によって造形物(O)を加熱(ないし保温)する温度管理を行う。ただし、誘導加熱コイル8による誘導加熱は、造形エリア(穴6aの内部)に存在する造形済みの造形物(O)のみならず、同じ材料から成る材料粉末22にも作用する。 In the present embodiment, in order to prevent deformation and shape defects of the modeled object (O) taken out after such modeling, temperature control is performed in which the modeled object (O) is heated (or kept warm) by the induction heating coil 8. .. However, the induction heating by the induction heating coil 8 acts not only on the shaped object (O) existing in the modeling area (inside the hole 6a) but also on the material powder 22 made of the same material.

そこで、誘導加熱コイル8によって造形物(O)を加熱(ないし保温)する温度管理を行う場合には、例えば造形エリア(穴6a)内の造形物(O)および材料粉末22を加熱する条件、例えば加熱の上限温度を予め実験によって定めておく必要がある。これは、過度の加熱を行なえば、造形済みの造形物(O)の周囲を取り巻く、造形上、固体化させる必要のない材料粉末22同士、あるいは造形物(O)と周囲の材料粉末22の拡散接合(甚しい場合には融解)が生じる可能性があるためである。 Therefore, in the case of temperature control in which the modeled object (O) is heated (or kept warm) by the induction heating coil 8, for example, the condition for heating the modeled object (O) and the material powder 22 in the modeling area (hole 6a), For example, it is necessary to determine the upper limit temperature of heating in advance by experiment. This is because the material powders 22 that do not need to be solidified in terms of modeling, or the material powders 22 that surround the modeled object (O) and the surrounding material powders 22 that surround the modeled object (O) if excessive heating is performed. This is because diffusion bonding (melting in severe cases) may occur.

以下、造形中の造形物(O)の指令温度および、造形中の造形エリア(穴6a)の側面の温度管理の基準となる「拡散接合境界温度」の定義および決定方法を示す。 Hereinafter, the definition and determination method of the command temperature of the modeled object (O) during modeling and the "diffusion bonding boundary temperature" which is a standard for temperature control of the side surface of the modeling area (hole 6a) during modeling will be shown.

粉末床溶融結合で用いられる材料粉末、例えば鉄系の合金材料などでは、融点に達しなくても、ある温度以上で長時間維持することで、隣接する粒同士が接合する現象が起こり得る。これは、粒を構成する原子が粒の表面積を小さくするように移動を起こすことで生じる。このようにして粗大化が進行し、大きくなりすぎた粒子は薄膜形成に用いることができないため、造形材料として再利用することはできない。また、粒同士でなくても、こうした接合は起こり得る。造形エリア内の造形材料粉末が造形装置の壁面に高温状態で接触していると、材料粉末は壁面に固着し、造形物の取り出しが困難になるとともに、造形の度に装置壁面をメンテナンスする必要が生じる。したがって、造形エリア内の未造形の材料粉末はこうした拡散接合が起きない低温に保たれることが望ましく、そのために拡散接合が起こり得る温度を予め把握する必要がある。 In the material powder used in the powder bed melt bonding, for example, an iron-based alloy material, a phenomenon in which adjacent grains are bonded to each other may occur by maintaining the temperature at a certain temperature or higher for a long time even if the melting point is not reached. This occurs when the atoms that make up the grain move to reduce the surface area of the grain. Since the particles that have been coarsened in this way and have become too large cannot be used for forming a thin film, they cannot be reused as a modeling material. Also, such bonding can occur even if the grains are not grains. If the modeling material powder in the modeling area is in contact with the wall surface of the modeling device at a high temperature, the material powder sticks to the wall surface, making it difficult to take out the modeled object, and it is necessary to maintain the device wall surface every time modeling is performed. Occurs. Therefore, it is desirable that the unformed material powder in the modeling area is kept at a low temperature at which such diffusion bonding does not occur, and therefore it is necessary to know in advance the temperature at which diffusion bonding can occur.

拡散接合が生じる上限温度の把握には、造形に利用する材料粉末を加熱し、拡散接合の有無を確認する実験を行うとよい。図2にこの拡散接合実験に用いる試験容器21を示す。 In order to grasp the upper limit temperature at which diffusion bonding occurs, it is advisable to carry out an experiment in which the material powder used for modeling is heated and the presence or absence of diffusion bonding is confirmed. FIG. 2 shows the test container 21 used in this diffusion bonding experiment.

図2は、試験容器21に材料粉末22を収容した状態を示している。この試験容器21は、例えば材料粉末との拡散接合を確認したい材料で作成する。材料粉末との造形物の固着を確認したいのであれば造形物と同材料とし、造形エリア壁面との固着を確認したいのであれば、造形エリア壁面と同じ材料から作成する。 FIG. 2 shows a state in which the material powder 22 is contained in the test container 21. The test container 21 is made of, for example, a material for which diffusion bonding with the material powder is to be confirmed. If you want to confirm the adhesion of the modeled object to the material powder, use the same material as the modeled object, and if you want to confirm the adhesion to the modeling area wall surface, create it from the same material as the modeling area wall surface.

試験容器21に材料粉末22を投入する前後の試験容器21の重量差から、容器内の材料粉末22の質量を把握できる。試験容器の蓋23は、材料粉末22が飛散しないようにするとともに、材料粉末22粉の充填状態が大きく変化しないようにするウェイト(バラスト)としても機能させる。また、試験容器21と蓋23は、例えば隙間嵌めの嵌合構造としており、試験容器21に対する蓋23の差し込み長を計測することで、試験容器21内部の容積がわかるように設計する。 The mass of the material powder 22 in the container can be grasped from the weight difference of the test container 21 before and after charging the material powder 22 into the test container 21. The lid 23 of the test container functions as a weight (ballast) to prevent the material powder 22 from scattering and to prevent the filling state of the material powder 22 powder from changing significantly. Further, the test container 21 and the lid 23 have, for example, a gap-fitting fitting structure, and are designed so that the volume inside the test container 21 can be known by measuring the insertion length of the lid 23 into the test container 21.

以上のような構成により、試験容器21の容積、投入されている材料粉末22の質量を取得することができる。また、材料粉末22を構成する造形材料の密度から、容器内での粉末の充填率を算出できる。一般に、粉の充填率が高いほど、拡散接合に必要な温度は下がり、時間も短くなる。なお、この実験では、充填密度(圧力)は、材料粉末22の試験容器21への充填を一定に管理することで制御できる。 With the above configuration, the volume of the test container 21 and the mass of the charged material powder 22 can be obtained. Further, the filling rate of the powder in the container can be calculated from the density of the modeling material constituting the material powder 22. In general, the higher the powder filling factor, the lower the temperature required for diffusion bonding and the shorter the time. In this experiment, the filling density (pressure) can be controlled by constantly controlling the filling of the material powder 22 into the test container 21.

図2のようにして試験容器21および材料粉末22の温度管理条件を決定する場合、実造形において確実に拡散接合を抑制するためには、充填率の高い状態で評価を行うのが望ましい。粉末の充填率としては例えばタップ密度相当の値を取得して評価するのが望ましい。 When the temperature control conditions of the test container 21 and the material powder 22 are determined as shown in FIG. 2, it is desirable to perform the evaluation in a state where the filling rate is high in order to surely suppress the diffusion bonding in the actual molding. As the powder filling rate, for example, it is desirable to obtain and evaluate a value corresponding to the tap density.

この図2に示す実験の目的は、例えば材料粉末22それ自体、あるいは材料粉末22と試験容器21との間の拡散接合を生じない加熱温度の基準(例えば下記の「拡散接合境界温度」)を求めることにある。 The purpose of the experiment shown in FIG. 2 is to set a standard of heating temperature (for example, "diffusion bonding boundary temperature" below) that does not cause diffusion bonding between the material powder 22 itself or the material powder 22 and the test container 21. To ask.

ただし、材料粉末(22)の拡散接合の条件には、温度だけではなく、加熱時間(図1装置においては予測総造形時間)や充填密度(圧力)が密接に関係する。例えば、同じ加熱温度であっても、加熱時間(図1装置における予測総造形時間)や充填密度(圧力)の値の大小によって材料粉末22の拡散接合が起きたり起きなかったりする。なお、ある造形物の造形時間は、造形物の積層数、各層におけるレーザの走査距離と速度、1層あたりの薄膜形成時間から定量的に予測可能である。 However, not only the temperature but also the heating time (predicted total molding time in the apparatus of FIG. 1) and the filling density (pressure) are closely related to the conditions for diffusion bonding of the material powder (22). For example, even at the same heating temperature, diffusion bonding of the material powder 22 may or may not occur depending on the magnitude of the heating time (predicted total modeling time in the apparatus of FIG. 1) and the filling density (pressure). The modeling time of a modeled object can be quantitatively predicted from the number of layers of the modeled object, the scanning distance and speed of the laser in each layer, and the thin film formation time per layer.

そこで、この実験では、図1の装置と同じ加熱時間(予測総造形時間)と、充填密度(圧力)の条件を用いて、「予測総造形時間内で材料粉末22の拡散接合を生じ得ない上限温度」である「拡散接合境界温度」を求める。即ち、本発明における「拡散接合境界温度」とは「予測総造形時間内で材料粉末22の拡散接合を生じ得ない上限温度」として定義される。即ち、この「拡散接合境界温度」は、加熱時間(図1の装置における予測総造形時間)ないしは特定の充填密度(圧力)の範囲内であれば、その温度で加熱を続けても材料粉末22の拡散接合が生じない温度である。 Therefore, in this experiment, using the same heating time (predicted total molding time) and filling density (pressure) conditions as in the apparatus of FIG. 1, "diffusion bonding of the material powder 22 cannot occur within the predicted total molding time. Obtain the "diffusion junction boundary temperature" which is the "upper limit temperature". That is, the "diffusion bonding boundary temperature" in the present invention is defined as "the upper limit temperature at which diffusion bonding of the material powder 22 cannot occur within the predicted total molding time". That is, if this "diffusion bonding boundary temperature" is within the heating time (predicted total molding time in the apparatus of FIG. 1) or a specific packing density (pressure), the material powder 22 can be continuously heated at that temperature. This is the temperature at which diffusion bonding does not occur.

試験容器21および材料粉末22の温度管理に用いる「拡散接合境界温度」を求めるには、例えば、材料粉末22を収容した試験容器21を図1の造形チャンバ1と同等の雰囲気調整が可能な恒温炉に入れる。そして、図1の装置における実造形と同様の雰囲気下で、加熱時間と加熱温度を種々に変更し、拡散接合が生じる温度と時間の関係を評価する。 In order to obtain the "diffusion bonding boundary temperature" used for temperature control of the test container 21 and the material powder 22, for example, the test container 21 containing the material powder 22 has a constant temperature capable of adjusting the atmosphere equivalent to that of the modeling chamber 1 of FIG. Put in a furnace. Then, under the same atmosphere as the actual modeling in the apparatus of FIG. 1, the heating time and the heating temperature are variously changed, and the relationship between the temperature at which diffusion bonding occurs and the time is evaluated.

ここで「拡散接合が生じるか否か」の判断基準は、運用上必要とされるレベルに合わせたもので構わない。造形エリアの装置壁面と材料の固着のみが課題であれば、試験容器と材料粉末が固着しているかを目視で判断するだけで構わない。一方、造形材料の再利用を考えるのであれば、加熱後の粉末の粒度分布計測や、残留酸素濃度計測を行い、再利用可能か否か、を判断する必要がある。 Here, the criterion for "whether or not diffusion bonding occurs" may be adjusted to the level required for operation. If only the adhesion between the device wall surface and the material in the modeling area is an issue, it is sufficient to visually determine whether the test container and the material powder are adhered. On the other hand, when considering the reuse of modeling materials, it is necessary to measure the particle size distribution of the powder after heating and the residual oxygen concentration to determine whether or not it can be reused.

以上のような実験を行うことにより、図1の装置と同じ加熱時間(予測総造形時間)、および充填密度(圧力)の条件を満たす上記の「拡散接合境界温度」を求めることができる。 By conducting the above experiments, it is possible to obtain the above-mentioned "diffusion junction boundary temperature" that satisfies the same heating time (predicted total molding time) and packing density (pressure) as the apparatus of FIG.

ここで、造形物の残留応力蓄積を抑制する、という本来の目的に関しては、造形中(ないし造形済み)の造形物の温度は上記の「拡散接合境界温度」を基準にして決定できる。例えば、発明者の実験によると、上記のような実験により求めた「拡散接合境界温度」よりも造形物の加熱温度としては「拡散接合境界温度」より例えば50℃〜100℃程度高い温度を好適に用いることができることが判明した。 Here, with respect to the original purpose of suppressing the accumulation of residual stress in the modeled object, the temperature of the modeled object during (or already modeled) modeling can be determined with reference to the above-mentioned "diffusion junction boundary temperature". For example, according to the inventor's experiment, the heating temperature of the modeled object is preferably, for example, about 50 ° C. to 100 ° C. higher than the "diffusion junction boundary temperature" obtained by the above experiment. It turned out that it can be used for.

即ち、本実施形態では、誘導加熱コイル8による造形物の造形物指令温度を、上記の実験により求めた「拡散接合境界温度」に基づき定めた、例えばそれよりも上記の範囲(50℃〜100℃程度)高い温度値とする。ここで造形物指令温度とは、放射温度計19、熱電対18、20などにより、それらの制御点(温度検出位置)で検出した温度に基づき、誘導加熱コイル8を制御するための制御量に相当する。 That is, in the present embodiment, the commanded temperature of the modeled object by the induction heating coil 8 is determined based on the "diffusion bonding boundary temperature" obtained by the above experiment, for example, in the above range (50 ° C. to 100). (Approximately ° C) Set a high temperature value. Here, the modeled object command temperature is a control amount for controlling the induction heating coil 8 based on the temperature detected at the control points (temperature detection positions) of the radiation thermometer 19, thermocouples 18, 20, and the like. Equivalent to.

このような温度管理制御により、造形中に造形物中の応力残留を緩和させることが可能となるが、温度を高くしすぎると造形材料が造形物に固着するという弊害がある。実験により求めた「拡散接合境界温度」に基づき、どの程度の範囲内に造形物の加熱温度(加熱上限温度)を求めるかは、当業者が各自の実験によって確認の上、決定すればよい。 Such temperature control can alleviate the residual stress in the modeled object during modeling, but if the temperature is too high, the modeling material has an adverse effect of sticking to the modeled object. Based on the "diffusion bonding boundary temperature" obtained by the experiment, a person skilled in the art may determine within what range the heating temperature (heating upper limit temperature) of the modeled object should be obtained after confirming by his / her own experiment.

一方、造形エリア(穴6a)内の材料粉末22については、造形エリアの内側面の領域では、例えば上記の「拡散接合境界温度」よりも低い温度に管理すべきであるのはいうまでもない。造形エリアの内側面の領域における未焼結(未造形)の材料粉末22に関して、温度が低いことによる弊害は特にないため、低ければ低いほど望ましく、造形エリア(穴6a)の側面から積極的に冷却するのが望ましい。本実施形態では、誘導加熱コイル8内部の冷媒の循環によって造形エリア(穴6a)の内側面およびその内側の材料粉末22を積極的に冷却することができる。 On the other hand, it goes without saying that the material powder 22 in the modeling area (hole 6a) should be controlled to a temperature lower than, for example, the above-mentioned "diffusion bonding boundary temperature" in the region on the inner surface of the modeling area. .. Regarding the unsintered (unformed) material powder 22 in the region of the inner surface of the modeling area, there is no particular adverse effect due to the low temperature, so the lower the temperature, the more desirable, and the positively from the side surface of the modeling area (hole 6a) It is desirable to cool. In the present embodiment, the inner side surface of the modeling area (hole 6a) and the material powder 22 inside the modeling area (hole 6a) can be positively cooled by the circulation of the refrigerant inside the induction heating coil 8.

また、造形エリア(穴6a)の内側面およびその内側の未造形の材料粉末22の温度を例えば上記の「拡散接合境界温度」よりも低く管理することにより、未焼結(未造形)の材料のリサイクルや造形終了後の降温工程の短縮などの効果を期待できる。 Further, by controlling the temperature of the unmolded material powder 22 on the inner surface of the molding area (hole 6a) and the inside thereof to be lower than, for example, the above-mentioned "diffusion bonding boundary temperature", the unsintered (unshaped) material. It can be expected to have effects such as recycling and shortening the temperature lowering process after the completion of modeling.

次に、本実施形態において、好適と考えられる造形ステージ6、誘導加熱コイル8、絶縁体9、および温度検出手段の構成について説明する。 Next, in the present embodiment, the configurations of the modeling stage 6, the induction heating coil 8, the insulator 9, and the temperature detecting means, which are considered to be suitable, will be described.

図3は第1層目を造形中の造形エリア(穴6a:図1)近傍の断面を模式的に示している。同図において、誘導加熱コイル8は鉛直方向に上、中、下の3つの加熱ゾーンに分割されており、それぞれ所望の制御点温度に基づいて出力制御を行う事ができる。誘導加熱コイル8はらせん状の例えば銅管でそれぞれ構成され、その内部には前記のように冷媒(冷却水)を循環させる。誘導加熱コイル8は絶縁体9に埋設してある。絶縁体9の材料としては、高温でも高強度である絶縁セラミック材、中でも熱衝撃に強い窒化アルミニウムや窒化ケイ素などが好適に用いられる。誘導加熱コイル8と造形物Oの距離は近いほど加熱効率が良くなるため、絶縁体9の内径側に誘導加熱コイル8を設けるのが望ましい。 FIG. 3 schematically shows a cross section in the vicinity of the modeling area (hole 6a: FIG. 1) during modeling of the first layer. In the figure, the induction heating coil 8 is divided into three heating zones of upper, middle, and lower in the vertical direction, and output control can be performed based on each desired control point temperature. Each of the induction heating coils 8 is composed of a spiral, for example, a copper tube, and a refrigerant (cooling water) is circulated inside the induction heating coil 8 as described above. The induction heating coil 8 is embedded in the insulator 9. As the material of the insulator 9, an insulating ceramic material having high strength even at a high temperature, particularly aluminum nitride or silicon nitride which is resistant to thermal shock, is preferably used. The closer the distance between the induction heating coil 8 and the modeled object O, the better the heating efficiency. Therefore, it is desirable to provide the induction heating coil 8 on the inner diameter side of the insulator 9.

一方、造形テーブル4での発熱を抑制するため、絶縁体9の断面において、誘導加熱コイル8と造形テーブル4の間には距離を取るように配置している。このように絶縁体9に誘導加熱コイル8を埋設することにより、誘導加熱コイル8を造形エリア側面の冷却配管としても機能させ、側面の粉体材料を積極的に冷却することができる。なお、絶縁体9の材質としては、熱伝導率の高いものが望ましく、窒化アルミニウムなどが好適である。 On the other hand, in order to suppress heat generation in the modeling table 4, the induction heating coil 8 and the modeling table 4 are arranged so as to have a distance in the cross section of the insulator 9. By embedding the induction heating coil 8 in the insulator 9 in this way, the induction heating coil 8 can also function as a cooling pipe on the side surface of the molding area, and the powder material on the side surface can be positively cooled. As the material of the insulator 9, it is desirable that the insulator 9 has a high thermal conductivity, and aluminum nitride or the like is preferable.

造形ステージ6は造形中に発熱しないよう、ベースプレート7の取り付け部と、ベースプレート7の直下の構造部材を絶縁体で構成するのが望ましい(詳細不図示)。この部位の絶縁体には絶縁体料としてはやはり窒化アルミニウム、窒化ケイ素などが好適に用いられる。 In the modeling stage 6, it is desirable that the mounting portion of the base plate 7 and the structural member directly below the base plate 7 are made of an insulator so as not to generate heat during modeling (details not shown). Aluminum nitride, silicon nitride, or the like is preferably used as the insulator material for the insulator at this portion.

続いて、各部の温度検出手段について述べる。各検出温度を造形中どのように利用するかは後述する。上記のように、造形エリア(穴6a)の上部には、造形中の造形物の上面温度を測る放射温度計19を配置している。放射温度計19の計測点は造形物上面内の複数点であることが望ましく、面内の温度分布が面計測できることが理想的である。当然ながら放射温度計19の筐体は造形用レーザが通過し得る領域の外側に設置する。また、放射温度計19には、造形用レーザの波長をカットするフィルタを設けておく。 Subsequently, the temperature detecting means of each part will be described. How to use each detected temperature during modeling will be described later. As described above, a radiation thermometer 19 for measuring the upper surface temperature of the modeled object being modeled is arranged above the modeling area (hole 6a). It is desirable that the measurement points of the radiation thermometer 19 are a plurality of points in the upper surface of the modeled object, and it is ideal that the temperature distribution in the plane can be measured in a plane. As a matter of course, the housing of the radiation thermometer 19 is installed outside the area through which the modeling laser can pass. Further, the radiation thermometer 19 is provided with a filter that cuts the wavelength of the modeling laser.

造形の際には、予め、放射温度計19により、造形物Oおよび材料粉末22の放射率をキャリブレーションしておくのが望ましい。造形中の上面温度計測は、例えば最低限各層ごとに焼結工程の直前と直後の2回ずつ行う。1層の焼結工程の直前の造形物O上部の薄膜の温度計測では、前層の造形物の直上の薄膜温度が造形物の上面温度と同等であると見なして測定を行う。また、1層の焼結工程直後においては造形物Oの上面をそのまま計測する。この場合、例えば放射温度計19で測定した面内での平均温度を検出温度として用いる。 At the time of modeling, it is desirable to calibrate the emissivity of the modeled object O and the material powder 22 with a radiation thermometer 19 in advance. The top surface temperature during molding is measured, for example, at least twice for each layer, immediately before and immediately after the sintering process. In the temperature measurement of the thin film on the upper part of the modeled object O immediately before the sintering step of one layer, the temperature of the thin film directly above the modeled object in the front layer is assumed to be equivalent to the upper surface temperature of the modeled object, and the measurement is performed. Immediately after the sintering process of one layer, the upper surface of the modeled object O is measured as it is. In this case, for example, the in-plane average temperature measured by the radiation thermometer 19 is used as the detection temperature.

また、造形物Oの最下部の温度を測定するために、ベースプレート7に設けられた熱電対18を配置している。例えばベースプレート7の材質と造形物Oの材質を同じにしておくことにより、熱電対18で検出したベースプレート7の温度は、造形物最下面温度として測定することができる。熱電対18の配置位置は造形物Oの最下面の直下が望ましい。なお、造形物Oの最下面の面積が大きい場合には、造形が行われる面内に複数の熱電対を設けるのが望ましい。熱電対18には、ベースプレート7とは絶縁されたシース熱電対を用いることができる。ここで熱電対18の自己発熱を抑制するため、太すぎる熱電対は望ましくなく、シース径0.2mm〜1mm程度の物が好適に用いられる。 Further, a thermocouple 18 provided on the base plate 7 is arranged in order to measure the temperature of the lowermost portion of the modeled object O. For example, by keeping the material of the base plate 7 and the material of the modeled object O the same, the temperature of the base plate 7 detected by the thermocouple 18 can be measured as the temperature of the lowermost surface of the modeled object. The position of the thermocouple 18 is preferably directly below the lowermost surface of the modeled object O. When the area of the lowermost surface of the modeled object O is large, it is desirable to provide a plurality of thermocouples in the plane on which the modeled object O is performed. As the thermocouple 18, a sheath thermocouple insulated from the base plate 7 can be used. Here, in order to suppress the self-heating of the thermocouple 18, a thermocouple that is too thick is not desirable, and a thermocouple having a sheath diameter of about 0.2 mm to 1 mm is preferably used.

また、上述のように、造形エリア(穴6a)の内側面ないし、特にこの部位近傍の材料粉末22の温度を検出するために、絶縁体9の内側面に近い位置に熱電対20を配置している。熱電対20の先端(検出端)位置は、造形エリア(穴6a)の内壁面に近いほど望ましい。また、熱電対20は、誘導加熱コイル8の上、中、下の3つの加熱ゾーンに相当する温度を測定できるよう、これら加熱ゾーンごとに独立して少なくとも1個ずつ配置するのが望ましい。各加熱ゾーンにおける検出温度は、そのゾーン設けられた複数の熱電対の平均温度とする。また、熱電対20は、同一の高さで造形エリア(穴6a)の周方向に等配に複数設けるのが望ましい。これらの熱電対20についてもシース径0.2mm〜1mm程度のシース熱電対を好適に用いることができる。 Further, as described above, the thermocouple 20 is arranged at a position close to the inner surface of the insulator 9 in order to detect the temperature of the material powder 22 on the inner surface of the modeling area (hole 6a) or particularly near this portion. ing. The position of the tip (detection end) of the thermocouple 20 is preferably closer to the inner wall surface of the modeling area (hole 6a). Further, it is desirable that at least one thermocouple 20 is independently arranged in each of the three heating zones so that the temperature corresponding to the upper, middle, and lower heating zones of the induction heating coil 8 can be measured. The detected temperature in each heating zone is the average temperature of a plurality of thermocouples provided in the zone. Further, it is desirable that a plurality of thermocouples 20 are provided at the same height and evenly distributed in the circumferential direction of the modeling area (hole 6a). As for these thermocouples 20, sheath thermocouples having a sheath diameter of about 0.2 mm to 1 mm can be preferably used.

続いて、造形中の各段階での温度制御方法を示す。図3〜図6は、造形物Oを上層、中層、下層の3つの高さの領域として分割して考えたときの造形の様子を示している。図3は造形物Oの最下層の1層目を造形している状態に相当し、図4は造形物Oの下層の造形が終了した状態に相当する。また、図5は造形物Oの中層の造形が終了した状態に相当し、図6は造形物Oの上層の造形が終了した状態に相当する。 Next, a temperature control method at each stage during modeling will be shown. FIGS. 3 to 6 show a state of modeling when the modeled object O is divided into three height regions of an upper layer, a middle layer, and a lower layer. FIG. 3 corresponds to a state in which the first layer of the lowermost layer of the modeled object O is modeled, and FIG. 4 corresponds to a state in which modeling of the lower layer of the modeled object O is completed. Further, FIG. 5 corresponds to a state in which the molding of the middle layer of the modeled object O is completed, and FIG. 6 corresponds to a state in which the modeling of the upper layer of the modeled object O is completed.

図4〜図6は、上述の図3に準拠した図示となっており、各部およびそれらと参照符号の関係は図3と同様である。図1の構成によると、レーザビームLによる造形(1層の焼結)は造形エリア(穴6a)の最上部の1層に対して行われるため、図3〜図6のように、造形物Oは下層、中層、上層の順で造形され、造形ステージ6によって造形エリア中を下降していく。 4 to 6 are diagrams based on FIG. 3 described above, and the relationship between each part and their reference numerals is the same as that in FIG. According to the configuration of FIG. 1, modeling by the laser beam L (sintering of one layer) is performed on the uppermost one layer of the modeling area (hole 6a), so that the modeled object is as shown in FIGS. 3 to 6. O is formed in the order of the lower layer, the middle layer, and the upper layer, and descends in the modeling area by the modeling stage 6.

図7は上記の造形物Oの下層、中層、上層の造形の各段階と、上(部)、中(部)、下(部)の加熱ゾーンの制御指令値と制御点(温度検出位置)の関係を示している。図7において、701、702、703はそれぞれ上(部)、中(部)、下(部)の加熱ゾーンの制御指令値と制御点(温度検出位置)を示す。また、704、705、706はそれぞれ造形物Oの下層、中層、上層の造形の各段階に相当する。 FIG. 7 shows the control command values and control points (temperature detection positions) of the lower layer, middle layer, and upper layer of the modeled object O, and the heating zones of the upper (part), middle (part), and lower (part). Shows the relationship. In FIG. 7, 701, 702, and 703 indicate control command values and control points (temperature detection positions) of the upper (part), middle (part), and lower (part) heating zones, respectively. Further, 704, 705, and 706 correspond to each stage of modeling of the lower layer, the middle layer, and the upper layer of the modeled object O, respectively.

図7に示すように、図3から図4に至る造形物Oの下層の造形(図7の704の区画)では、誘導加熱コイル8は上部の加熱ゾーンのみを使用する。また、造形物指令温度としては、上述のようにして予め「拡散接合境界温度」に基づき決定した造形物指令温度を用いることができる。また、制御点(温度検出位置)には、放射温度計19による測定点である造形物上面を採用するか、または造形物Oの下面(熱電対18の測定点)を用いてよい。ここでは、制御装置600のCPU601は上部の加熱ゾーンの誘導加熱コイル8に造形物指令温度に対応する駆動量を与え、造形物Oを加熱する。 As shown in FIG. 7, in the lower layer of the model O from FIG. 3 to FIG. 4 (section 704 in FIG. 7), the induction heating coil 8 uses only the upper heating zone. Further, as the modeled object commanded temperature, the modeled object commanded temperature determined in advance based on the "diffusion bonding boundary temperature" as described above can be used. Further, as the control point (temperature detection position), the upper surface of the modeled object, which is the measurement point by the radiation thermometer 19, may be adopted, or the lower surface of the modeled object O (measurement point of the thermocouple 18) may be used. Here, the CPU 601 of the control device 600 gives a drive amount corresponding to the commanded temperature of the modeled object to the induction heating coil 8 in the upper heating zone to heat the modeled object O.

図4から図5に至る中層の造形(図7の705の区画)では、誘導加熱コイルは上部と中部の2ゾーンを使用する(701、702)。上部加熱ゾーンの制御点としては、造形物の上面(放射温度計19の測定点)を用いる。また、中部加熱ゾーンの制御点としては、造形物Oの下面(熱電対18の測定点)を用いる。 In the middle layer shaping (section 705 of FIG. 7) from FIG. 4 to FIG. 5, the induction heating coil uses two zones, upper and middle (701, 702). As the control point of the upper heating zone, the upper surface of the modeled object (measurement point of the radiation thermometer 19) is used. Further, as the control point of the central heating zone, the lower surface of the modeled object O (the measurement point of the thermocouple 18) is used.

また、図5から図6に至る上層の造形(図7の706の区画)では、誘導加熱コイル8は上、中、下の3つの加熱ゾーンのものを全て使用する(701、702、703)。上部加熱ゾーンの制御点としては造形物の上面(放射温度計19の測定点)、下部加熱ゾーンの制御点としては造形物の下面(熱電対18の測定点)を使用する。また、中部加熱ゾーンについては、造形物温度を直接検出することができないため、側面の材料の温度を検出・制御する。上下の加熱ゾーンにおける側面の材料温度の平均値を指令温度とし、造形エリア内側面(熱電対20の測定点)を制御点として制御する。 Further, in the upper layer modeling (section 706 of FIG. 7) from FIG. 5 to FIG. 6, all of the induction heating coils 8 in the upper, middle, and lower three heating zones are used (701, 702, 703). .. The upper surface of the modeled object (measurement point of the radiation thermometer 19) is used as the control point of the upper heating zone, and the lower surface of the modeled object (measurement point of the thermocouple 18) is used as the control point of the lower heating zone. Further, in the central heating zone, since the temperature of the modeled object cannot be directly detected, the temperature of the material on the side surface is detected and controlled. The average value of the material temperature of the side surfaces in the upper and lower heating zones is set as the command temperature, and the inner side surface of the modeling area (measurement point of the thermocouple 20) is controlled as a control point.

ここで、造形物Oの中層ないし上層の造形(図4〜図6)において、制御装置600のCPU601は図8に示すような手順により、誘導加熱コイル8の出力値を決定する温度管理を行うことができる。図8では、特に造形物Oの上面温度を制御点として使用する場合の制御を詳細に示している。 Here, in the molding of the middle layer to the upper layer of the modeled object O (FIGS. 4 to 6), the CPU 601 of the control device 600 performs temperature control for determining the output value of the induction heating coil 8 by the procedure shown in FIG. be able to. FIG. 8 shows in detail the control when the upper surface temperature of the modeled object O is used as a control point.

図8の温度管理制御は、造形済みの造形物Oの温度を、上記の「拡散接合境界温度」に基づき決定した一定の目標造形物指令温度(807)に保つためのものである。図8のように造形物Oの上面温度を制御点とする制御においては各層ごとに加熱出力を決定するため制御周期を1層ごとを単位としている。例えば、1層の焼結、次の薄膜形成を繰り返す間に計測対象である造形物上面の温度と領域が大きく変動する可能性があり、リアルタイムに温度計測を誘導加熱コイル8の駆動へのフィードバックさせるのは難しい。そこで、図8の制御では、1層の造形中で最も低温と考えられる焼結直前と、高温と考えられる焼結直後を用いて、上面の温度を決定する。 The temperature control control of FIG. 8 is for keeping the temperature of the modeled object O at a constant target modeled object command temperature (807) determined based on the above-mentioned “diffusion bonding boundary temperature”. As shown in FIG. 8, in the control using the upper surface temperature of the modeled object O as the control point, the control cycle is set as a unit for each layer in order to determine the heating output for each layer. For example, the temperature and region of the upper surface of the modeled object to be measured may fluctuate significantly while repeating the sintering of one layer and the formation of the next thin film, and the temperature measurement is guided in real time as feedback to the drive of the heating coil 8. It's hard to get it done. Therefore, in the control of FIG. 8, the temperature of the upper surface is determined by using immediately before sintering, which is considered to be the lowest temperature in the molding of one layer, and immediately after sintering, which is considered to be high temperature.

図8の温度管理制御は、ある層、例えばN層の造形における誘導加熱コイル8による加熱制御量を、前層、例えばN−1層の造形における温度計測に基づいて行うようにしてある。即ち、N−1層の焼結前において、制御装置600のCPU601は、放射温度計19によって、(N−1層の造形中で最も低温と考えられる)焼結直前の温度計測(801)を行わせる。また、N−1層の焼結後において、放射温度計19によって、(N−1層の造形中で最も高温と考えられる)焼結直後の温度計測(802)を行わせる。 The temperature control control in FIG. 8 is such that the amount of heating control by the induction heating coil 8 in the molding of a certain layer, for example, the N layer, is performed based on the temperature measurement in the molding of the front layer, for example, the N-1 layer. That is, before the N-1 layer is sintered, the CPU 601 of the control device 600 measures the temperature (801) immediately before the sintering (which is considered to be the lowest temperature in the modeling of the N-1 layer) by the radiation thermometer 19. Let me do it. Further, after the N-1 layer is sintered, the radiation thermometer 19 is used to measure the temperature (802) immediately after the sintering (which is considered to be the highest temperature in the modeling of the N-1 layer).

そして、CPU601は、焼結直前の温度計測(801)、および焼結直後の温度計測(802)の計測値から、適当な演算手法を用いてN−1層の上面温度の代表値を算出(803)する。また、焼結直前、直後の温度計測(801、802)の温度偏差を算出する(804)ことにより、N−1層の誘導加熱コイル8による加熱の効果(温度変化)を評価することができる。 Then, the CPU 601 calculates a representative value of the upper surface temperature of the N-1 layer from the measured values of the temperature measurement immediately before sintering (801) and the temperature measurement immediately after sintering (802) by using an appropriate calculation method (). 803). Further, by calculating the temperature deviation (804) of the temperature measurement (801, 802) immediately before and after sintering, the effect (temperature change) of heating by the induction heating coil 8 of the N-1 layer can be evaluated. ..

そして、CPU601は、N−1層上面温度の代表値(803)、およびN−1層の焼結直前、直後の温度偏差(804)を用い、適当な演算方式によって、続くN層の造形中の誘導加熱コイル8の駆動制御量を取得(805)する。その後、取得した駆動制御量(805)を用いて、N層の造形中の誘導加熱コイル8を駆動し、造形物Oの加熱(保温)を行う(806)。なお、複数の加熱ゾーンの温度検出に基づき誘導加熱コイル8の駆動制御量(ないし指令温度)を演算する方式の一例については、実施形態2(図9)として示す。 Then, the CPU 601 uses the representative value (803) of the upper surface temperature of the N-1 layer and the temperature deviation (804) immediately before and after the sintering of the N-1 layer, and is in the process of forming the subsequent N layer by an appropriate calculation method. The drive control amount of the induction heating coil 8 of the above is acquired (805). Then, using the acquired drive control amount (805), the induction heating coil 8 during modeling of the N layer is driven to heat (heat-retain) the modeled object O (806). An example of a method of calculating the drive control amount (or command temperature) of the induction heating coil 8 based on the temperature detection of a plurality of heating zones is shown in the second embodiment (FIG. 9).

以上説明したように、本実施形態では、誘導加熱コイル8の誘導加熱を介して造形物Oの温度管理制御を行い、造形済みの造形物Oの温度を上述の「拡散接合境界温度」に基づき決定した一定の造形物指令温度に温度管理する。そのため、造形物Oの造形期間中の応力残留を緩和し、造形エリア(穴6aの内部)からの造形物Oの取り出しや、ベースプレート7の除去の際に生じる可能性のある造形物(O)の変形(形状不良)を良好に抑制することができる。また、造形期間中、造形物(O)全体を加熱ないし保温することにより造形物の鉛直方向の温度差を抑制でき、造形中の温度分布に起因する形状不良を抑制することができる。 As described above, in the present embodiment, the temperature control of the modeled object O is performed through the induction heating of the induction heating coil 8, and the temperature of the modeled object O is set based on the above-mentioned "diffusion bonding boundary temperature". The temperature is controlled to the determined constant modeled object command temperature. Therefore, the stress residue during the modeling period of the modeled object O is relaxed, and the modeled object (O) that may occur when the modeled object O is taken out from the modeling area (inside the hole 6a) or the base plate 7 is removed. Deformation (poor shape) can be satisfactorily suppressed. Further, by heating or keeping the entire modeled object (O) warm during the modeling period, the temperature difference in the vertical direction of the modeled object can be suppressed, and the shape defect due to the temperature distribution during modeling can be suppressed.

その場合、本実施形態では、造形物指令温度は、上述のように、予め実験(図2)によって求めた「拡散接合境界温度」に基づき決定している。このため、造形物(O)と未造形の材料粉末22の不用意な固着、未造形の材料粉末22の変質や、造形エリア内壁面への固着などを生じることなく、精度のよい3次元造形が可能となる。 In that case, in the present embodiment, as described above, the commanded temperature of the modeled object is determined based on the "diffusion junction boundary temperature" obtained in advance by the experiment (FIG. 2). Therefore, accurate three-dimensional modeling does not occur without inadvertent sticking of the modeled object (O) and the unmodeled material powder 22, alteration of the unmodeled material powder 22, or adhesion to the inner wall surface of the modeling area. Is possible.

なお、上記のように造形物温度を制御点とした制御を行う場合、造形エリアの内側面の冷却能力が不十分な構成においては、造形エリアの内側面の材料温度が拡散接合境界温度を越えてしまう可能性がある。そこで、CPU601による温度管理制御には、熱電対20などを介して測定した造形エリアの内側面(の材料粉末)の温度が拡散接合境界温度を上回った場合に、制御方式切換を行うルーチンを組み込んでおくのが望ましい。 When controlling with the modeled object temperature as the control point as described above, the material temperature of the inner surface of the modeling area exceeds the diffusion bonding boundary temperature in a configuration in which the cooling capacity of the inner surface of the modeling area is insufficient. There is a possibility that it will end up. Therefore, the temperature control control by the CPU 601 incorporates a routine for switching the control method when the temperature of the inner surface (material powder) of the modeling area measured via the thermocouple 20 or the like exceeds the diffusion bonding boundary temperature. It is desirable to keep it.

例えば、この造形エリアの内側面(の材料粉末)の温度が拡散接合境界温度を上回った場合に実施する制御方式切換では、造形物指令温度を低下させることが考えられる。例えば、造形物指令温度を、上記の「拡散接合境界温度」に50℃〜100℃程度のマージンを加えて求めた値から実験などにより求めた「拡散接合境界温度」それ自体まで低下させることが考えられる。また、この制御方式切換では、制御点(温度検出ないし温度管理位置)を造形エリアの内側面とし、造形エリアの内側面の材料粉末の温度を直接管理するような制御方式に切り替えるのが望ましい。 For example, in the control method switching performed when the temperature of the inner surface (material powder) of the modeling area exceeds the diffusion bonding boundary temperature, it is conceivable to lower the modeled object command temperature. For example, the commanded temperature of the modeled object can be lowered from the value obtained by adding a margin of about 50 ° C. to 100 ° C. to the above-mentioned "diffusion bonding boundary temperature" to the "diffusion bonding boundary temperature" itself obtained by experiments or the like. Conceivable. Further, in this control method switching, it is desirable to switch to a control method in which the control point (temperature detection or temperature control position) is set as the inner surface of the modeling area and the temperature of the material powder on the inner surface of the modeling area is directly controlled.

なお、本実施形態においては、装置の造形可能高さの限界まで造形した場合について説明しているが、高さの低い造形物にも本発明は適用可能である。このような場合、造形中加熱に利用される誘導加熱コイルのゾーン数は造形物高さに合わせて少なくなる。 In the present embodiment, the case where the device is modeled to the limit of the modelable height of the device is described, but the present invention can also be applied to a modeled object having a low height. In such a case, the number of zones of the induction heating coil used for heating during modeling decreases according to the height of the modeled object.

<実施形態2>
以上では、それぞれ独立して通電制御可能な複数の誘導加熱コイルを、造形エリア(穴6a)の外周部の上、中、下の3つの加熱ゾーンに配置する構成を示した。しかしながら、加熱ゾーン数は少なくとも鉛直方向に2ゾーン以上あることが望ましく、あるいは加熱ゾーン数はより多いほど望ましい。その場合、最上部および最下部の加熱ゾーン以外の中間の加熱ゾーンでは造形物自体の温度の検出が困難であり、造形エリア(穴6a)側面(ないしその近傍の材料粉末)の温度を温度管理制御に利用することになる。
<Embodiment 2>
In the above, a configuration is shown in which a plurality of induction heating coils, each of which can be independently controlled to be energized, are arranged in three heating zones above, inside, and below the outer peripheral portion of the modeling area (hole 6a). However, it is desirable that the number of heating zones is at least two or more in the vertical direction, or that the number of heating zones is larger. In that case, it is difficult to detect the temperature of the modeled object itself in the intermediate heating zone other than the uppermost and lowermost heating zones, and the temperature of the side surface (or the material powder in the vicinity) of the modeling area (hole 6a) is controlled. It will be used for control.

図9は、図1の造形装置の造形エリア(穴6a)に鉛直方向に5つの加熱ゾーン配置した構成における最上部および最下部以外の加熱ゾーンの指令値決定の例を示している。図9の左端部に示した造形エリア(穴6a)の模式図示では、(造形済みの)造形物Oがあり、その周囲を(未造形の)材料粉末32がとり巻いている。なお、造形装置の他の構成は、上述の実施形態1と同様であるものとする。 FIG. 9 shows an example of determining a command value of a heating zone other than the uppermost portion and the lowermost portion in a configuration in which five heating zones are arranged in the vertical direction in the modeling area (hole 6a) of the modeling apparatus of FIG. In the schematic diagram of the modeling area (hole 6a) shown at the left end of FIG. 9, there is a (modeled) modeled object O, and the (unshaped) material powder 32 surrounds the modeled object O. The other configuration of the modeling device is the same as that of the first embodiment described above.

図9の例では、5つの加熱ゾーンには、造形エリアの内壁面ないしそれに面した材料粉末32の温度を検出するため、5つの熱電対31をそれぞれ配置している。図9において、33はN−1回目の制御周期における各ゾーンの材料温度検出結果のプロットを示している。この例では、各ゾーンの材料温度検出結果のプロット(33)は、下層から上層にかけてなだらかに変化していない。実際の造形では、このように、造形物Oの形状に対応した各造形層の面積(その層の体積)の持つ蓄熱量などに応じてこのように材料温度検出結果のプロット(33)に非直線性が生じる可能性がある。 In the example of FIG. 9, five thermocouples 31 are arranged in each of the five heating zones in order to detect the temperature of the inner wall surface of the modeling area or the material powder 32 facing the inner wall surface. In FIG. 9, 33 shows a plot of the material temperature detection result of each zone in the N-1th control cycle. In this example, the plot (33) of the material temperature detection result of each zone does not change gently from the lower layer to the upper layer. In the actual modeling, the plot (33) of the material temperature detection result is not shown in this way according to the amount of heat storage of the area of each modeling layer (volume of the layer) corresponding to the shape of the modeled object O. Linearity can occur.

このように材料温度検出結果のプロット(33)に非直線性が生じることを考慮すると、複数(この例では5つ)の熱電対31から得た材料温度検出結果から、各加熱ゾーンの指令温度値を決定するには次のような演算方式が考えられる。 Considering that the plot (33) of the material temperature detection result has non-linearity in this way, the command temperature of each heating zone is obtained from the material temperature detection results obtained from a plurality of (five in this example) thermocouples 31. The following calculation methods can be considered to determine the value.

図9において、34はN−1回目の温度検出結果(33)に基づいて、5つの熱電対31の各温度検出ゾーンのうち、最上端と最下端のゾーンで検出された温度に基づき決定した指令温度値を線形でつないだ近似線に相当する。制御装置600のCPU601は、このように熱電対31の検出ゾーンの最上端と最下端のゾーンで求めた指令温度値を直線で接続した近似線(34)を求めることができる。さらに、CPU601は、この近似線(34)と、例えば各ゾーンの距離を用いることにより、中間の3つの温度検出ゾーンの高さに相当する位置における指令温度値を取得できる。即ち本実施形態では、図9のように、最上部および最下部の加熱(温度検出)ゾーンに配置した熱電対31でそれぞれ検出した材料温度を基準とし、側面における鉛直方向温度分布がなだらかに繋がるよう、各加熱(温度検出)ゾーンの指令温度を設定する。 In FIG. 9, 34 was determined based on the temperature detected in the uppermost and lowermost zones of each of the five thermocouple 31 temperature detection zones based on the N-1th temperature detection result (33). It corresponds to an approximate line that connects the command temperature values linearly. The CPU 601 of the control device 600 can obtain an approximate line (34) in which the command temperature values obtained in the uppermost and lowermost zones of the detection zone of the thermocouple 31 are connected by a straight line. Further, the CPU 601 can acquire the command temperature value at a position corresponding to the height of the three intermediate temperature detection zones by using the approximate line (34) and the distance of each zone, for example. That is, in the present embodiment, as shown in FIG. 9, the vertical temperature distribution on the side surface is gently connected with reference to the material temperature detected by the thermocouples 31 arranged in the uppermost and lowermost heating (temperature detection) zones. Set the command temperature for each heating (temperature detection) zone.

なお、誘導加熱コイル8に流す交流電流の周波数は造形物の材質、形状に応じて好適なものは変わるが、周波数の高低に応じてそれぞれメリットがある。周波数を高くする場合は、上述の通り、磁性材料にも本発明を実施できる可能性がある。一方、周波数を低くするメリットは、造形物の表皮において生じる発熱領域が、高周波に比べより深くなることが挙げられる。造形物の表皮近傍の温度が下がると、より均一な造形物加熱が実現できる。また、表皮近傍の温度が下がることで、材料粉末の造形物への固着が抑制できるといったメリットもある。上記を勘案し、例えば、非磁性材料であるSUS316Lを造形材料とすると、誘導加熱コイル8を通電するための交流の周波数としては、例えば150kHz〜400kHz程度が好適であると考えられる。 The frequency of the alternating current flowing through the induction heating coil 8 varies depending on the material and shape of the modeled object, but there are merits depending on the frequency. When the frequency is increased, the present invention may be applied to a magnetic material as described above. On the other hand, the merit of lowering the frequency is that the heat generation region generated in the skin of the modeled object becomes deeper than that of the high frequency. When the temperature near the skin of the modeled object decreases, more uniform heating of the modeled object can be realized. In addition, there is an advantage that the adhesion of the material powder to the modeled object can be suppressed by lowering the temperature in the vicinity of the epidermis. In consideration of the above, for example, when SUS316L, which is a non-magnetic material, is used as a modeling material, it is considered that the frequency of alternating current for energizing the induction heating coil 8 is, for example, about 150 kHz to 400 kHz.

<実施形態3>
上述の実施形態1では、中空の誘導加熱コイルが造形エリアの内壁部位の冷却配管(冷却装置ないし冷却手段)を兼ねるものとした。しかしながら、これら誘導加熱と冷却の2つ機能は別構成に分離してもよい。例えば、図10に示すように、これらの誘導加熱コイルとは別に冷却水路(冷却配管)配置する構成も考えられる。図10は造形テーブル4近傍の部分の断面構造例を示しており、その他の構成は上述の実施形態1(あるいは実施形態2)と同様であるものとする。なお、図10では、造形ステージ6およびベースプレート7が最上の位置にある状態を図示している。
<Embodiment 3>
In the above-described first embodiment, the hollow induction heating coil also serves as a cooling pipe (cooling device or cooling means) for the inner wall portion of the modeling area. However, these two functions of induction heating and cooling may be separated into separate configurations. For example, as shown in FIG. 10, a configuration in which a cooling water channel (cooling pipe) is arranged separately from these induction heating coils is also conceivable. FIG. 10 shows an example of a cross-sectional structure of a portion near the modeling table 4, and other configurations are the same as those of the above-described first embodiment (or second embodiment). Note that FIG. 10 illustrates a state in which the modeling stage 6 and the base plate 7 are in the uppermost positions.

図10の例では、絶縁体25内に冷却水路36を配置しており、絶縁体25の外側の画成した空間部に誘導加熱コイル37(上記の誘導加熱コイル8に対応)を配置している。また、誘導加熱コイル37の配置空間の上部には、材料粉末22が誘導加熱コイル37を配置した空間部に流れ込まないよう遮蔽するため、天板38を配置してある。冷却水路36は、例えば絶縁体25に溝加工を行うことで作成することができ、この部位に導電材料は用いる必要はない。誘導加熱コイル37は、周囲の絶縁体25および造形テーブルとは非接触に支持されている。 In the example of FIG. 10, the cooling water channel 36 is arranged in the insulator 25, and the induction heating coil 37 (corresponding to the above-mentioned induction heating coil 8) is arranged in the defined space outside the insulator 25. There is. Further, a top plate 38 is arranged above the space where the induction heating coil 37 is arranged so that the material powder 22 does not flow into the space where the induction heating coil 37 is arranged. The cooling water channel 36 can be created, for example, by grooving the insulator 25, and it is not necessary to use a conductive material in this portion. The induction heating coil 37 is supported in a non-contact manner with the surrounding insulator 25 and the modeling table.

なお、このような構成においても、好ましくは誘導加熱コイル37は中空材料とし、コイルそれ自体を冷却するために、上述同様に誘導加熱コイル37の内部で冷却水を循環させる。なお、天板38は絶縁体25と同じ絶縁材料で構成することができる。 Even in such a configuration, the induction heating coil 37 is preferably made of a hollow material, and cooling water is circulated inside the induction heating coil 37 in the same manner as described above in order to cool the coil itself. The top plate 38 can be made of the same insulating material as the insulator 25.

図10のような構成例によれば、絶縁体25内に誘導加熱コイルを埋設加工する必要がなく、絶縁体25の部位の製作が容易となる。また、造形エリアの側面全体を覆う一体物部品ではなく、絶縁体25の部位は、安価な板状部材の組み合わせなどによっても構成することができる。また、誘導加熱コイル37を埋設加工しないため、同コイルと絶縁体25の熱膨張差に起因する絶縁体25の変形や破損などの問題も考慮しなくてよくなる。 According to the configuration example as shown in FIG. 10, it is not necessary to embed the induction heating coil in the insulator 25, and the portion of the insulator 25 can be easily manufactured. Further, the portion of the insulator 25 is not an integral part that covers the entire side surface of the modeling area, but can be formed by a combination of inexpensive plate-shaped members or the like. Further, since the induction heating coil 37 is not embedded, it is not necessary to consider problems such as deformation and breakage of the insulator 25 due to the difference in thermal expansion between the coil and the insulator 25.

ただし、図10の構成では、一方で、誘導加熱コイル37と造形物との距離が大きくなりがちで、加熱効率が落ちる可能性がある。このため、図10の構成では、所望の加熱制御のために、誘導加熱コイル37の通電エネルギーが大きくなる可能性がある。また、粉敷きローラからの鉛直荷重に耐えるよう天板38を構成しようとすると、コイルの最上端位置が造形物上端より低くなり、結果的に造形物上面の加熱が難しくなる可能性がある。 However, in the configuration of FIG. 10, on the other hand, the distance between the induction heating coil 37 and the modeled object tends to be large, and the heating efficiency may decrease. Therefore, in the configuration of FIG. 10, the energizing energy of the induction heating coil 37 may be increased for the desired heating control. Further, if the top plate 38 is configured to withstand the vertical load from the powder spreading roller, the uppermost end position of the coil may be lower than the upper end of the modeled object, and as a result, it may be difficult to heat the upper surface of the modeled object.

本発明は上述の実施形態の1以上の機能を実現するプログラムを、ネットワーク又は記憶媒体を介してシステム又は装置に供給し、そのシステム又は装置のコンピュータにおける1つ以上のプロセッサーがプログラムを読み出し実行する処理でも実現可能である。また、1以上の機能を実現する回路(例えば、ASIC)によっても実現可能である。 The present invention supplies a program that realizes one or more functions of the above-described embodiment to a system or device via a network or storage medium, and one or more processors in the computer of the system or device reads and executes the program. It can also be realized by processing. It can also be realized by a circuit (for example, ASIC) that realizes one or more functions.

<実施例1>
以下に、上記各実施形態で例示した構成を基本とする造形装置において、図7に示した制御手順で3次元造形物の造形を行った結果を例示する。本例の造形の制御条件は以下の通りとした。
<Example 1>
The results of modeling a three-dimensional model by the control procedure shown in FIG. 7 will be illustrated below in the modeling device based on the configuration illustrated in each of the above embodiments. The control conditions for modeling in this example are as follows.

造形チャンバ内は常温常圧で窒素置換を行い酸素濃度300ppm以下とする。 The inside of the modeling chamber is replaced with nitrogen at normal temperature and pressure to reduce the oxygen concentration to 300 ppm or less.

造形ステージの大きさは144mm×144mmの正方形形状で、ベースプレート7も同様とする。造形ステージの取り付け板の材質には窒化アルミニウムを用いる。ベースプレート7の材料には厚さ10mmのSUS316Lを選択した。ベースプレート7の締結はM5ねじ8本で行い、各締結トルクは5Nmとした。 The size of the modeling stage is a square shape of 144 mm × 144 mm, and the same applies to the base plate 7. Aluminum nitride is used as the material for the mounting plate of the modeling stage. As the material of the base plate 7, SUS316L having a thickness of 10 mm was selected. The base plate 7 was fastened with eight M5 screws, and each fastening torque was 5 Nm.

造形材料(材料粉末22)にはSUS316Lの平均粒径が7μm程度のものを用いた。造形を通じて、粉敷きローラ11によって成膜する1層の薄膜の厚さは40μmとする。また、誘導加熱コイル8には、例えば3巻程度、高さ約35mmのらせん形状のものを、図1のように上、中、下の3つの加熱ゾーンに配置した。誘導加熱コイル8を駆動する高周波を発生する交流電源には150kHzから400kHzまでの範囲でオートマッチングを行えるものを用い、造形中の駆動周波数は200〜300kHzの範囲とした。 As the modeling material (material powder 22), a material having an average particle size of SUS316L of about 7 μm was used. The thickness of the one-layer thin film formed by the powder spreading roller 11 through the molding is 40 μm. Further, as the induction heating coil 8, for example, a spiral coil having about 3 turns and a height of about 35 mm was arranged in three heating zones of upper, middle and lower as shown in FIG. As the AC power source that generates high frequency to drive the induction heating coil 8, an AC power source capable of auto-matching in the range of 150 kHz to 400 kHz was used, and the drive frequency during modeling was set in the range of 200 to 300 kHz.

温度検出用の熱電対には0.5mm径SUSシース、非接地型のK熱電対を用いた。また、造形エリア上面の温度計測のための放射温度計19には検出波長半値幅が8〜15mmのサーモビューワを用い、面計測データから面積平均を取り検出温度を取得した。 A 0.5 mm diameter SUS sheath and a non-grounded K thermocouple were used as the thermocouple for temperature detection. Further, a thermometer 19 for measuring the temperature of the upper surface of the modeling area was used with a thermometer having a detection wavelength full width at half maximum of 8 to 15 mm, and the area average was taken from the surface measurement data to obtain the detection temperature.

本実施例で造形した造形物の設計高さは103mm、設計体積は1046cm、予測総造形時間は9時間40分であった。絶縁体9の材質は窒化アルミニウムとした。 The design height of the modeled object modeled in this example was 103 mm, the design volume was 1046 cm 3 , and the estimated total modeling time was 9 hours and 40 minutes. The material of the insulator 9 was aluminum nitride.

また、上記のSUS316Lの平均粒径が7μm程度の造形材料(材料粉末22)を用いて図2に示した手法で実験を行い、求めた上述の「拡散接合境界温度」は450℃であった。そこで、その上面と下面の温度検出に基づき、誘導加熱コイル8の駆動によって温度管理する造形中の造形物(O)の指令温度は500℃とした。造形レーザとしてのレーザ光源12には波長1070nmのYbファイバーレーザを用い、1層の焼結時の平均レーザ出力は40Wとした。また、造形中、同時に、例えば実施形態1で説明した中空の誘導加熱コイル8の冷媒循環によって造形エリア(穴6a)を冷却している。造形中を通じて、造形エリア(穴6a)側面の熱電対18を介して検出した温度(材料粉末22の温度)は上記の拡散接合境界温度以下を保つことができた。 Further, an experiment was conducted by the method shown in FIG. 2 using a modeling material (material powder 22) having an average particle size of about 7 μm of the above-mentioned SUS316L, and the above-mentioned “diffusion bonding boundary temperature” obtained was 450 ° C. .. Therefore, based on the temperature detection of the upper surface and the lower surface, the command temperature of the modeled object (O) during the modeling whose temperature is controlled by driving the induction heating coil 8 is set to 500 ° C. A Yb fiber laser having a wavelength of 1070 nm was used as the laser light source 12 as the modeling laser, and the average laser output at the time of sintering one layer was set to 40 W. Further, at the same time during modeling, the modeling area (hole 6a) is cooled by, for example, the refrigerant circulation of the hollow induction heating coil 8 described in the first embodiment. Throughout the modeling, the temperature detected through the thermocouple 18 on the side surface of the modeling area (hole 6a) (the temperature of the material powder 22) could be maintained below the above diffusion bonding boundary temperature.

以上のような制御条件による造形終了後、造形エリア(穴6a)の内壁面(絶縁体9)に対する材料粉末22の固着は認められなかったが、ベースプレート7上面の一部と、造形物の低層部分の間に若干の固着が見られた。 After the modeling was completed under the above control conditions, the material powder 22 was not fixed to the inner wall surface (insulator 9) of the modeling area (hole 6a), but a part of the upper surface of the base plate 7 and the low layer of the modeled object were not observed. Some sticking was seen between the parts.

材料供給ステージ5をせり上げて、造形物(O)の周囲の材料粉末22を除去したが、所期の形状に造形された造形物(O)に対する材料粉末22の固着も認められなかった。 The material supply stage 5 was raised to remove the material powder 22 around the modeled object (O), but no sticking of the material powder 22 to the modeled object (O) formed into the desired shape was also observed.

その後、造形物(O)の変形を評価すべく、造形物(O)をベースプレート7から除去し、造形物(O)の水平な上面部分を用いて反り形状を計測した。本実施例において、この造形物(O)の水平な上面部分は凹の反り形状となっており、100mmの面内長さに対して最大反り量(凹面の深さ)は27μm程度認められた。一方、ベースプレート7の予備加熱、および誘導加熱コイル8による造形物(O)の誘導加熱のみ省略してその他は同じ造形条件で造形した造形物(O)の最大反り量は85μmであった。 Then, in order to evaluate the deformation of the modeled object (O), the modeled object (O) was removed from the base plate 7, and the warped shape was measured using the horizontal upper surface portion of the modeled object (O). In this embodiment, the horizontal upper surface portion of the modeled object (O) has a concave warp shape, and the maximum warp amount (concave depth) of about 27 μm is recognized with respect to the in-plane length of 100 mm. .. On the other hand, only the preheating of the base plate 7 and the induction heating of the modeled object (O) by the induction heating coil 8 were omitted, and the maximum warp amount of the modeled object (O) formed under the same modeling conditions was 85 μm.

従って、本実施例によれば、ベースプレート7の予備加熱、および誘導加熱コイル8による造形物(O)の誘導加熱によって、造形物(O)中の残留応力抑制、および取り出し後の応力開放に起因する変形量を良好に減少できた。本実施例によれば、造形物(O)の変形量は、ベースプレート7の予備加熱、および誘導加熱コイル8による造形物(O)の誘導加熱を行わない場合に比して、約1/3以下に減少させることができた。 Therefore, according to this embodiment, the preheating of the base plate 7 and the induction heating of the modeled object (O) by the induction heating coil 8 are caused by suppressing the residual stress in the modeled object (O) and releasing the stress after taking out the modeled object (O). The amount of deformation to be performed could be reduced satisfactorily. According to this embodiment, the amount of deformation of the modeled object (O) is about 1/3 as compared with the case where the preheating of the base plate 7 and the induction heating of the modeled object (O) by the induction heating coil 8 are not performed. It could be reduced to:

1…造形チャンバ、2…排気口、3…給気口、4…造形テーブル、5…材料供給ステージ、6、27…造形ステージ、7…ベースプレート、8、37…誘導加熱コイル、9…絶縁体、10…回収容器、11…粉敷きローラ、12…レーザ光源、13…コリメータレンズ、14…ビームエキスパンダ、15…集光レンズ、16…ガルバノスキャナ、17…f−θレンズ、18、20、29〜31…熱電対、19、28…放射温度計、21…試験容器、22、32…(未造形の)材料粉末、23…蓋、36…冷却水路、38…天板、85…チラー、87…シーケンサ、601…CPU、602…ROM、603…RAM、O…(造形済み)造形物。 1 ... modeling chamber, 2 ... exhaust port, 3 ... air supply port, 4 ... modeling table, 5 ... material supply stage, 6, 27 ... modeling stage, 7 ... base plate, 8, 37 ... induction heating coil, 9 ... insulator 10, 10 ... Recovery container, 11 ... Powder roller, 12 ... Laser light source, 13 ... Collimator lens, 14 ... Beam expander, 15 ... Condensing lens, 16 ... Galvano scanner, 17 ... f-θ lens, 18, 20, 29-31 ... Thermocouple, 19, 28 ... Radiation thermometer, 21 ... Test container, 22, 32 ... (Unshaped) material powder, 23 ... Lid, 36 ... Cooling channel, 38 ... Top plate, 85 ... Chiller, 87 ... Sequencer, 601 ... CPU, 602 ... ROM, 603 ... RAM, O ... (preformed) modeled object.

Claims (14)

造形エリアに導電性の材料粉末を敷設し、敷設した前記材料粉末の一部を選択的に輻射加熱し焼結させる一連の動作を繰り返して3次元造形物を製造する3次元造形装置において、
前記造形エリアの外周部に配置され、通電によって前記造形エリアの内側の造形済みの造形物を誘導発熱させる誘導加熱コイルと、
前記造形エリアの外周部に配置され、前記造形エリア内の未焼結の材料粉末を冷却する冷却装置と、
前記誘導加熱コイルの通電および前記冷却装置を制御することにより前記造形物の温度管理を実行する制御装置と、
を備えた3次元造形装置。
In a three-dimensional modeling apparatus that manufactures a three-dimensional model by laying a conductive material powder in the modeling area and repeating a series of operations of selectively radiating and sintering a part of the laid material powder.
An induction heating coil arranged on the outer peripheral portion of the modeling area and inducing heat generation of a modeled object inside the modeling area by energization.
A cooling device arranged on the outer peripheral portion of the modeling area and cooling the unsintered material powder in the modeling area.
A control device that executes temperature control of the modeled object by energizing the induction heating coil and controlling the cooling device.
3D modeling device equipped with.
請求項1に記載の3次元造形装置において、前記制御装置は、前記造形物の造形中、複数の前記誘導加熱コイルの通電制御を介して、当該の造形物の予測総造形時間内で前記材料粉末の拡散接合を生じ得ない上限温度に相当する拡散接合境界温度、を基準として決定した温度に前記造形物を加熱するよう前記通電を制御する3次元造形装置。 In the three-dimensional modeling device according to claim 1, the control device controls the energization of a plurality of the induction heating coils during the modeling of the modeled object within the predicted total modeling time of the modeled object. A three-dimensional modeling apparatus that controls energization so as to heat the modeled object to a temperature determined based on a diffusion bonding boundary temperature corresponding to an upper limit temperature at which powder diffusion bonding cannot occur. 請求項1または2に記載の3次元造形装置において、前記制御装置は、前記冷却装置を介して、前記造形エリアの側近傍に存する未焼結の材料粉末の温度が前記造形物の予測総造形時間内で前記材料粉末の拡散接合を生じ得ない上限温度に相当する拡散接合境界温度より低く保たれるよう、前記冷却装置を制御する3次元造形装置。 In the three-dimensional modeling apparatus according to claim 1 or 2, before Symbol controller through said cooling apparatus, the predicted temperature of the unsintered material powder existing on the side surface near the shaping area of the shaped article A three-dimensional modeling device that controls the cooling device so that the temperature is kept lower than the diffusion bonding boundary temperature corresponding to the upper limit temperature at which diffusion bonding of the material powder cannot occur within the total modeling time. 請求項に記載の3次元造形装置において、前記誘導加熱コイルを、その内部を冷媒を循環させることができる中空材料で構成することにより、前記誘導加熱コイルが前記冷却装置を兼ね、前記制御装置は、前記誘導加熱コイルの内部の前記冷媒の循環を制御する3次元造形装置。 In the three-dimensional modeling apparatus according to claim 1 , by forming the induction heating coil with a hollow material capable of circulating a refrigerant inside the induction heating coil, the induction heating coil also serves as the cooling device and the control device. a three-dimensional modeling apparatus that controls the circulation of the refrigerant inside of the induction heating coil. 請求項1から4のいずれか1項に記載の3次元造形装置において、それぞれ独立して通電制御可能な複数の前記誘導加熱コイルが、前記造形エリアの周囲の異なる位置に画成された複数の加熱ゾーンに配置され、前記制御装置は、複数の前記誘導加熱コイルを介して各々の前記加熱ゾーンの温度管理を実行する3次元造形装置。 In the three-dimensional modeling apparatus according to any one of claims 1 to 4, a plurality of the induction heating coils, each of which can independently control energization, are defined at different positions around the modeling area. The control device is a three-dimensional modeling device that is arranged in a heating zone and executes temperature control of each of the heating zones via a plurality of the induction heating coils. 請求項1から5のいずれか1項に記載の3次元造形装置において、前記造形エリアの内部の造形済みの造形物の最上部の温度を測定する第1の温度測定装置、前記造形エリアの内部の造形済みの造形物の最下部の温度を測定する第2の温度測定装置、または、前記造形エリアの周囲のそれぞれ異なる位置に配置された複数の測定点の温度をそれぞれ検出する第3の温度測定装置を備え、前記制御装置が、前記第1、第2または第3の温度測定装置で測定した温度に基づき、前記誘導加熱コイルを制御する3次元造形装置。 In the three-dimensional modeling apparatus according to any one of claims 1 to 5, a first temperature measuring device for measuring the temperature of the uppermost portion of a modeled object inside the modeling area, the inside of the modeling area. A second temperature measuring device that measures the temperature of the bottom of the modeled object, or a third temperature that detects the temperature of a plurality of measuring points arranged at different positions around the modeling area. A three-dimensional modeling device including a measuring device, wherein the control device controls the induction heating coil based on the temperature measured by the first, second, or third temperature measuring device. 請求項6に記載の3次元造形装置において、前記制御装置が、第3の温度測定装置で測定した温度に基づき、前記冷却装置を制御する3次元造形装置。 In the three-dimensional modeling apparatus according to claim 6, before Symbol controller, based on the temperature measured by the third temperature measuring device, three-dimensional modeling apparatus that controls the cooling device. 請求項1から7のいずれか1項に記載の3次元造形装置において、前記誘導加熱コイルと、前記造形エリアと、を隔離する絶縁体を備える3次元造形装置。 In the three-dimensional modeling apparatus according to any one of claims 1 to 7, before Symbol induction heating coil, the shaped area A and three-dimensional modeling apparatus Ru comprising an insulator for isolating the. 請求項1から8のいずれか1項に記載の3次元造形装置において、前記冷却装置と、前記造形エリアと、を隔離する絶縁体を備える3次元造形装置。 In the three-dimensional modeling apparatus according to any one of claims 1 to 8, pre-Symbol cooling device and the shaped area A and three-dimensional modeling apparatus Ru comprising an insulator for isolating the. 請求項1から9のいずれか1項に記載の3次元造形装置において、エネルギービーム照射装置の発生するエネルギービームによって、前記造形エリアに成膜した材料粉末を選択的に輻射加熱して焼結させる3次元造形装置。 In the three-dimensional modeling apparatus according to any one of claims 1 to 9, the material powder formed in the modeling area is selectively radiantly heated and sintered by the energy beam generated by the energy beam irradiation apparatus. 3D modeling device. 請求項10に記載の3次元造形装置において、前記エネルギービーム照射装置が、前記エネルギービームとしてレーザビームを照射するレーザ照射装置である3次元造形装置。 The three-dimensional modeling device according to claim 10, wherein the energy beam irradiation device is a laser irradiation device that irradiates a laser beam as the energy beam. 請求項1から11のいずれか1項に記載の3次元造形装置において、前記制御装置に前記の温度のいずれかを実行させるための3次元造形装置の制御プログラム。 The control program of the three-dimensional modeling apparatus for causing the control apparatus to execute any of the above temperatures in the three-dimensional modeling apparatus according to any one of claims 1 to 11. 請求項12に記載の制御プログラムを格納したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。 A computer-readable recording medium containing the control program according to claim 12. 請求項1から11のいずれか1項に記載の3次元造形装置を用いて前記造形物を3次元造形する3次元造形物の製造方法。 A method for manufacturing a three-dimensional model, in which the model is three-dimensionally modeled using the three-dimensional modeling device according to any one of claims 1 to 11.
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