JP6853780B2 - 非線形効果を介してレーザビームを生成するための共振マイクロチップ共振器ベースのシステム - Google Patents
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Description
・基本波を発生させるための単一周波数連続波レーザ源と、
・マイクロチップ共振器と呼ばれる、この基本波を受け入れる共振外部共振器とを含むシステムによって達成される。
少なくとも1つの非線形結晶と、
入射ミラーと、
非線形結晶に固定された材料上に載置された凹面ミラーであって、凹面ミラーが載置される材料は、非線形結晶の構成材料とは異なる凹面ミラーと、
非線形結晶の温度を制御するための第1の熱電モジュールおよび凹面ミラーが載置される材料の少なくとも温度を制御するための少なくとも1つの第2の熱電モジュールとを含む。
図1は、従来技術に係る共振外部共振器の概略図である。
図2は、ファブリー=ペロー干渉計によって測定された561nmで放射するマイクロチップレーザの周波数変動を示すグラフである。
図3は、本発明に係る複合共振外部共振器を含む非線形変換システムの概略図である。
図4は、BBO結晶およびシリカ上に載置されたミラーから形成された本発明に係るマイクロチップ外部共振器から出力され、フォトダイオードによって測定された出力(単位V)を示すグラフである。
図5は、BBOの電気光学サーボ制御を使用した前出の図内と同じマイクロチップ外部共振器から出力され、フォトダイオードによって測定された出力(単位V)を示すグラフである。
図6は、共振時に反射率が最大となる干渉計の構成内の本発明に係る外部共振器の概略図である。
・周波数倍増効果
・周波数加算効果:第1の周波数は、本発明に係る外部共振器内で共振し、第2の(非共振)周波数は、外部共振器を通過し、この第2の周波数は、おそらくは外部共振器などに含まれるレーザ発振器から生じる。
・パラメトリック増幅器/発振器効果:外部共振器は、パラメトリック波長の共振器または外部共振器を含むパラメトリック共振器でもある。
・ラマン増幅器/発振器効果。
Claims (11)
- 非線形効果によってレーザビームを生成するシステムであって、
基本波を生成するための単一周波数連続波レーザ源と、
マイクロチップ共振器と呼ばれる、この基本波を受け入れる共振外部共振器とを含み、
前記マイクロチップ共振器は、前記マイクロチップ共振器が複数の材料の一体アセンブリである限り、複合体であり、
少なくとも1つの非線形結晶(5)と、
前記少なくとも1つの非線形結晶(5)と直接接触している入射ミラー(4a)と、
前記少なくとも1つの非線形結晶に直接固定された材料(6)上に載置された凹面ミラー(6a)であって、前記凹面ミラーが載置される前記材料は、前記少なくとも1つの非線形結晶の構成材料とは異なる凹面ミラー(6a)と、
前記少なくとも1つの非線形結晶の温度を制御して位相整合を達成するための第1の熱電モジュール(P2)と
を含み、
前記マイクロチップ共振器が、前記凹面ミラーが載置される前記材料の少なくとも温度を制御するための少なくとも1つの第2の熱電モジュール(P1)を含むことを特徴とし、
前記非線形結晶が電気光学結晶であり、
前記システムが、前記非線形結晶に直接電圧を印加することによって電気光学サーボ制御を実行するように構成されている処理ユニットを含む、
前記システム。 - 前記非線形結晶の温度および少なくとも前記凹面ミラーが載置される前記材料の前記温度を前記レーザ源の周波数に対してサーボ制御するように構成された処理ユニットを備えることを特徴とする請求項1に記載のシステム。
- 前記処理ユニットは、温度サーボ制御を共振曲線の1つの側にのみロックするように構成されていることを特徴とする請求項2に記載のシステム。
- 前記結晶の温度よりも速い物理的効果を用いてサーボ制御を実行するように構成された処理ユニットを含むことを特徴とする請求項1に記載のシステム。
- 前記システムが、前記単一周波数連続波レーザ源の周波数を変更することによって前記外部共振器内の前記基本波の位相をサーボ制御するように構成されている処理ユニットを含むことを特徴とする請求項1に記載のシステム。
- 前記マイクロチップ共振器は、ファブリー=ペロー干渉計を形成する外部共振器であることを特徴とする請求項1に記載のシステム。
- 前記マイクロチップ共振器は、外部リング共振器であることを特徴とする請求項1に記載のシステム。
- 前記凹面ミラーが載置される前記材料は、ガラスまたは結晶であり、前記非線形結晶の前記構成材料の熱膨張係数および熱光学係数よりもそれぞれ低い熱膨張係数および熱光学係数を有し、前記非線形結晶の前記構成材料の吸湿性よりも低い吸湿性を有することを特徴とする請求項1に記載のシステム。
- 前記凹面ミラーが載置される前記材料は、シリカまたは溶融シリカまたはサファイアを含むことを特徴とする請求項1に記載のシステム。
- 前記非線形結晶および前記凹面ミラーが載置される前記材料は、直接接合またはゾルゲル法を用いた接合によって組み立てられることを特徴とする請求項1に記載のシステム。
- 前記入射ミラーは、前記非線形結晶の前記構成材料上に直接または前記非線形結晶とは異なる別の材料上に実際に載置されることを特徴とする請求項1に記載のシステム。
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US5038352A (en) * | 1990-11-13 | 1991-08-06 | International Business Machines Incorporation | Laser system and method using a nonlinear crystal resonator |
US5093832A (en) * | 1991-03-14 | 1992-03-03 | International Business Machines Corporation | Laser system and method with temperature controlled crystal |
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US5581395A (en) * | 1994-01-12 | 1996-12-03 | Sony Corporation | Non-linear optical crystal element |
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US6456424B1 (en) * | 2000-05-17 | 2002-09-24 | Lightwave Electronics Corporation | Noise suppression using pump-resonant optical parametric oscillation |
AUPQ922000A0 (en) * | 2000-08-04 | 2000-08-31 | Bae Systems Australia Limited | Method of constructing an optical parametric oscillator |
US7535937B2 (en) * | 2005-03-18 | 2009-05-19 | Pavilion Integration Corporation | Monolithic microchip laser with intracavity beam combining and sum frequency or difference frequency mixing |
US9057927B2 (en) * | 2005-07-08 | 2015-06-16 | Lockheed Martin Coroporation | High-power multi-function millimeter-wave signal generation using OPO and DFG |
US7570676B2 (en) * | 2006-05-09 | 2009-08-04 | Spectralus Corporation | Compact efficient and robust ultraviolet solid-state laser sources based on nonlinear frequency conversion in periodically poled materials |
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