JP6845617B2 - 熱処理容器 - Google Patents
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Description
図2に示すように、本発明の第1実施形態に係る熱処理容器10は、パネル20a〜20dと、天板21と、支持部材31a〜31dと、天板支持部材32a〜32dと、後述する接着剤Sとから構成される。図2では、一例として、直方体状の熱処理容器10を示している。
第1実施形態では、天板21がパネル20a〜20dの夫々の上端縁部によって形成される開口部を覆う構成とした。仮に、天板21の面積が大きかったり、重量が重いと、天板21の自重で撓みが生じたり、天板支持部材32a〜32dのみでは支持できず、天板21が落下する場合がある。そこで、第2実施形態の熱処理容器は、天板21を確実に支持することができる熱処理容器20とする。
面3321aに側部2011cが当接する場合もある。
本発明の熱処理容器は、複数のパネルを熱処理容器の高さ方向や横方向に連結させることができる。そこで、第3実施形態は、大型化した熱処理容器30とする。
第1〜第3実施形態に係る熱処理容器10〜30では、支持部材どうしは連結されない構成とした。第4実施形態の熱処理容器40は、高さ方向に支持部材どうしを連結する構成とする。一例として、図1に示した第1実施形態の熱処理容器10に係る支持部材31aは、図11に示すように、支持部材31i及び支持部材31jから構成されるものとする。支持部材31i及び支持部材31jは、これらを連結すると、支持部材31aが有する凹部311a及び凹部312aに相当する凹部を夫々有するように構成されている。凹部311aに相当する凹部として、支持部材31iは、凹部311iを有し、支持部材31jは、凹部311jを有する。凹部312aに相当する凹部として、支持部材31iは、凹部312iを有し、支持部材31jは、凹部312jを有する(凹部312iは不図示。)。
第4実施形態の熱処理容器40は、上下に位置する支持部材31i及び支持部材31jをピン41で嵌合して連結する構成とした。このとき、ピン41は、支持部材31i及び支持部材31jの内部に埋没させていた。第5実施形態の熱処理容器50は、支持部材の外部に部材を取り付けて連結する構成とする。一例として、図1に示した第1実施形態の熱処理容器10に係る支持部材31aは、図12に示すように、支持部材31m及び支持部材31nから構成されるものとする。これらを連結すると、支持部材31aが有する凹部311a及び凹部312aに相当する凹部を夫々有するように構成されている。凹部311aに相当する凹部として、支持部材31mは、凹部311mを有し、支持部材31nは、凹部311nを有する(凹部311mは不図示。)。凹部312aに相当する凹部として、支持部材31mは、凹部312mを有し、支持部材31nは、凹部312nを有する(凹部312mは不図示。)。
2…縦型ヒータ(加熱用ヒータ)
3…複数枚の基板(被処理物)
10、20、30、40、50…熱処理容器
20a〜20t…パネル
21…天板
201a、202a、201b、202b…端縁部
202e、202f、202g、202h…端縁部
203e、203f、203g、203h…端縁部
31a〜31d…支持部材
311a、312a…凹部
32a〜32d…天板支持部材
34a〜34d…天板支持部材
324a、325a…凸部
342a、342b…凸部
35a〜35d…縦連結持部材(支持部材)
36a〜36h…横連結部材(支持部材)
351a、352a…凹部
361a、362a、361b、362b…凹部
D…隙間の距離
S…接着剤
Claims (4)
- 加熱処理される被処理物を収納し、複数の支持部材とこれらの支持部材間を連結したパネルとで側壁を構成した熱処理容器であって、
前記支持部材の夫々は、側壁を構成するパネルのうち2枚のパネルの夫々の端縁部が面方向に挿入される2つの凹部を有しており、
前記2つの凹部は、前記2枚のパネルの夫々の端縁部が挿入される面方向が互いに異なるように配置され、
前記2つの凹部の夫々には、前記パネルの厚み方向において、前記パネルの外面側との間に所定の間隔が設けられており、
前記所定の間隔に接着剤が介在する熱処理容器。 - 前記2つの凹部の夫々が有する内側面のうち前記パネルの厚み方向に平行な面と、前記側壁を構成するパネルのうち2枚のパネルの夫々の端縁部の側部との間には、隙間が設けられている請求項1に記載の熱処理容器。
- 前記側壁を構成するパネルの夫々の上端縁部によって形成される開口部を覆う天板と、
前記天板を支持する天板支持部材と、
を備え、
前記天板支持部材は、前記側壁を構成するパネルの夫々の上端縁部が挿入される凹部を有しており、
前記支持部材及び前記天板支持部材の何れか一方の端部に凸部が設けられ、前記凸部は他方が有する前記凹部に挿入される請求項1または2に記載の熱処理容器。 - 前記支持部材間に配置されるパネルは分割された複数のパネル部材で構成され、
前記複数のパネル部材を縦方向又は横方向に連結する連結部材を備え、
前記連結部材は、全体として四角柱形状であって、縦方向の連結部材ではパネル部材の夫々の端縁部が面方向に挿入される凹部が左右の長手方向に形成され、それらの凹部にパネル部材の端縁部が挿入されて左右のパネル部材が連結され、横方向の連結部材ではパネル部材の夫々の端縁部が面方向に挿入される凹部が上下の長手方向に凹部が形成され、それらの凹部にパネル部材の端縁部が挿入されて上下のパネル部材が連結される、請求項1〜3のいずれかに記載の熱処理容器。
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