JP6845245B2 - 液滴ジェネレータ及びレーザ生成プラズマ放射源 - Google Patents
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Description
[0001] 本願は、2015年12月17日出願の米国出願第62/268,937号、及び2016年11月1日出願の米国出願第62/416,027号の優先権を主張し、それら両方の全体が参照により本明細書に組み込まれる。
− 放射ビームB(例えばEUV放射)を調節するように構成された照明システム(イルミネータ)ILと、
− パターニングデバイス(例えばマスク又はレチクル)MAを支持するように構成され、パターニングデバイスを正確に位置決めするように構成された第1のポジショナPMに接続された支持構造(例えばマスクテーブル)MTと、
− 基板(例えばレジストコートウェーハ)Wを保持するように構成され、基板を正確に位置決めするように構成された第2のポジショナPWに接続された基板テーブル(例えばウェーハテーブル)WTと、
− パターニングデバイスMAによって放射ビームBに付与されたパターンを基板Wのターゲット部分C(例えば1つ以上のダイを含む)に投影するように構成された投影システム(例えば屈折投影レンズシステム)PSと、
を備える。
1.ステップモードでは、支持構造(例えばマスクテーブル)MT及び基板テーブルWTは、基本的に静止状態に維持される一方、放射ビームに与えたパターン全体が1回でターゲット部分Cに投影される(すなわち単一静的露光)。次に、別のターゲット部分Cを露光できるように、基板テーブルWTがX方向及び/又はY方向に移動される。
2.スキャンモードでは、支持構造(例えばマスクテーブル)MT及び基板テーブルWTは同期的にスキャンされる一方、放射ビームに付与されるパターンがターゲット部分Cに投影される(すなわち単一動的露光)。支持構造(例えばマスクテーブル)MTに対する基板テーブルWTの速度及び方向は、投影システムPSの拡大(縮小)及び像反転特性によって求めることができる。
3.別のモードでは、支持構造(例えばマスクテーブル)MTはプログラマブルパターニングデバイスを保持して基本的に静止状態に維持され、基板テーブルWTを移動又はスキャンさせながら、放射ビームに与えられたパターンをターゲット部分Cに投影する。このモードでは、一般にパルス状放射源を使用して、基板テーブルWTを移動させるごとに、又はスキャン中に連続する放射パルス間で、プログラマブルパターニングデバイスを必要に応じて更新する。この動作モードは、以上で言及したようなタイプのプログラマブルミラーアレイなどのプログラマブルパターニングデバイスを利用するマスクレスリソグラフィに容易に適用できる。
・ アクチュエータ320の厚み共振(半波長モード厚み)を使用して、レイリー分裂を制御することができる。この周波数は、プレートレットの厚みに依存し、10〜20MHzもの高さとすることができる。より高い周波数が(高速液滴ジェネレータのために)必要な場合、オーバートーンを使用することができる。
・ スロットル315に向かう燃料供給チャネル305において、定在波はエネルギーを吸収することが可能であり、これによって、ノズル構造365に向かうエネルギーの伝達が低下する。したがって、燃料供給チャネル305は、これを避けるように注意深く設計すべきである。
・ ポンプチャンバ310及びダクト360において、駆動周波数よりも高い整数の倍数である周波数での定在波は、最初に小さい液滴を中間サイズの液滴に合体させることによって、合体全体の制御を助けることができる。
Claims (8)
- レーザ生成プラズマ放射源において使用するために構成され、出口で液体燃料の液滴のストリームを提供するために構成された、液滴ジェネレータであって、
前記液滴ジェネレータは、ノズルアセンブリと、アクチュエータと、ポンプチャンバと、を備え、
前記ポンプチャンバは、前記出口での出口圧力よりも高い入力圧力の下で、前記液体燃料を受け取るように構成され、
前記ポンプチャンバは、前記アクチュエータと前記ノズルアセンブリとの間に位置し、
前記アクチュエータは、前記ポンプチャンバ内に保持された前記燃料における圧力変化を確立するように構成され、
前記ノズルアセンブリは、ダクトのインレットと、前記液滴ジェネレータの前記出口でのノズル構造と、前記ダクトのインレットと前記出口との間に前記液体燃料の経路を確立するために構成されたダクトと、を有し、
前記液滴ジェネレータは、前記ノズルアセンブリを収容するために構成された第1のチャンバを有し、
前記第1のチャンバは、前記入力圧力とほぼ同じ更なる圧力の下でガスを受け取るための第1のインレットを有する、液滴ジェネレータ。
- 前記液滴ジェネレータは、前記アクチュエータを収容するように構成された第2のチャンバを備え、
前記第2のチャンバは、前記更なる圧力の下で前記ガスを受け取るための第2のインレットを有する、請求項1に記載の液滴ジェネレータ。 - 前記ノズル構造は、前記ダクトと流体接続しているオリフィスを有するノズルプレートを有し、
前記オリフィスは、前記液滴の前記ストリームを形成するために、前記燃料を前記液滴ジェネレータから出すように構成される、請求項1又は2に記載の液滴ジェネレータ。 - 前記ノズル構造は、シリコン、シリコンベース化合物、タングステン、モリブデン、レニウム、ダイヤモンド、タンタル、又はチタンのうちの1つからなる、請求項3に記載の液滴ジェネレータ。
- 前記アクチュエータは、前記ポンプチャンバの壁部を介して前記圧力変化を確立するように構成され、
前記液滴ジェネレータは、前記壁部に対して前記アクチュエータをバイアスするように構成されたばねを備える、請求項1から4の何れか一項に記載の液滴ジェネレータ。 - 前記液滴ジェネレータは、前記アクチュエータを支持するように構成されたアクチュエータ支持体を備え、
前記アクチュエータ支持体は、前記アクチュエータ支持体と前記アクチュエータとのアライメントを可能にするように、第1の部分と第2の部分との間の回転運動を可能にする関節接合を形成する第1の部分及び第2の部分を含む、請求項1から5の何れか一項に記載の液滴ジェネレータ。 - 前記液滴ジェネレータは、前記アクチュエータ支持体を収容するように構成され、第1の熱膨張係数を有する第1の材料で作られる、ハウジングを備え、
前記アクチュエータ支持体は、周囲温度では前記ハウジング内で移動可能であり前記液滴ジェネレータの動作温度では前記ハウジングに対して膨張し前記動作温度で前記ハウジングに対して前記アクチュエータ支持体をクランプするように、前記第1の熱膨張係数よりも大きい第2の熱膨張係数を有する材料からなる、請求項6に記載の液滴ジェネレータ。 - 請求項1から7の何れか一項に記載の前記液滴ジェネレータを備える、レーザ生成プラズマ放射源。
Applications Claiming Priority (5)
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