JP6844798B1 - 光学装置、及び光学装置の汚染防止方法 - Google Patents
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Abstract
Description
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。まず、図1を用いて本実施形態に係る光学装置の全体構成を説明する。本実施の形態では、光学装置がEUV(Extreme UltraViolet)光を用いて、EUVマスクを検査する検査装置1となっている。したがって、試料40はEUVマスクとなっている。なお、試料40となるEUVマスクはパターン付きマスクでもよく、パターンなしのマスクブランクスであってもよい。
本実施の形態にかかる検査装置1は、光学系チャンバ100と、光源チャンバ200と、導入部300と、を備えている。
光学系チャンバ100、及び光源チャンバ200内には機構部品や電気配線材料が設けられている。機構部品に用いている潤滑油や電気配線材料などから、有機残留ガスが発生して、光学素子表面に吸着する。EUV光が光学素子に照射されると、光学素子表面にカーボンが堆積する。そのため、本実施の形態では、光学素子の汚染を除去するために導入部300が設けられている。
実施の形態にかかる光学装置について、図2を用いて説明する。図2は、光学装置である検査装置1を示す図である。図2では、図1の導入部300の代わりに導入部400が設けられている。また、凹面鏡11、及び凹面鏡12の代わりに凹面鏡18、及び凹面鏡19が設けられている。凹面鏡18、及び凹面鏡19は斜入射ミラーとなっている。導入部400、凹面鏡18、及び凹面鏡19以外の構成については、図1と同様であるため、適宜説明を省略する。例えば、シュバルツシルト光学系16については実施の形態1と同じ構成となっている。
本実施の形態にかかる検査装置1の構成について、図3を用い説明する。図3は、検査装置1の構成を示す図である。本実施の形態では、図1の構成に加えて、導入部300に冷却機構330が追加されている。冷却機構330以外の構成は、実施の形態1と同様であるため説明を省略する。
11 凹面鏡
12 凹面鏡
13 落とし込みミラー
14 穴開き凹面鏡
15 凸面鏡
16 シュバルツシルト光学系
20 光検出器
30 ステージ
40 試料
51 電流計
52 電源
53 制御部
200 光源チャンバ
201 光源
300 導入部
301 ガス供給源
302 MFC
303 ガス配管
304 導入配管
305 可変コンダクタンスバルブ
310 プラズマ発生装置
311 コイル
312 RF電源
315 プラズマ
400 導入部
401 ガス供給部
Claims (14)
- EUV(Extreme UltraViolet)光又はVUV(Vacuum UltraViolet)光を含む光を発生する光源と、
前記光が照射される対象物が配置されたチャンバと、
前記光を導くために前記チャンバ内に設けられた光学素子と、
前記チャンバ内に水素、又はヘリウムを導入する導入部と、
前記チャンバ内の前記光学素子に負電圧を与える電源と、
前記光学素子に流れるイオン電流を計測する電流計と、
前記電流計の計測結果に応じて、前記水素又は前記ヘリウムの導入量を調整する制御部と、を備えた光学装置。 - 前記導入部が、前記チャンバに接続された導入配管を備え、
前記制御部が、前記導入配管に供給される前記水素又は前記ヘリウムのガス流量を調整している請求項1に記載の光学装置。 - 前記導入部が、
前記水素又はヘリウムのプラズマを発生するリモートプラズマ発生装置と、
前記リモートプラズマ発生装置と前記チャンバとの間に設けられた導入配管と、
前記導入配管に設けられた可変コンダクタンスバルブと、を備え、
前記制御部が前記可変コンダクタンスバルブのコンダクタンスを調整している請求項1、又は2に記載の光学装置。 - 前記導入配管を冷却する冷却機構が設けられている請求項3に記載の光学装置。
- 前記対象物がペリクルを有するEUVマスクである請求項1〜4のいずれか1項に記載の光学装置。
- 前記チャンバ内には、前記VUV光を反射する斜入射ミラーが設けられており、
前記斜入射ミラーで反射したVUV光が前記光学素子に入射する請求項1〜5のいずれか1項に記載の光学装置。 - 前記導入部がヘリウムガス又はヘリウムプラズマを前記チャンバ内に導入する請求項1〜6のいずれか1項に記載の光学装置。
- EUV光又はVUV光を含む光を発生する光源と、
前記光が照射される対象物が配置されたチャンバと、
前記光を導くために前記チャンバ内に設けられた光学素子と、を備えた光学装置の汚染防止方法であって、
前記チャンバ内に水素、又はヘリウムを導入するステップと、
前記チャンバ内の前記光学素子に負電圧を与えるステップと、
前記光学素子に流れるイオン電流を計測するステップと、
前記イオン電流の計測結果に応じて、前記水素又は前記ヘリウムの導入量を調整するステップと、を備えた光学装置。 - 前記チャンバに導入配管が接続され、
前記計測結果に応じて、前記導入配管に供給される前記水素又は前記ヘリウムのガス流量を調整する請求項8に記載の光学装置の汚染防止方法。 - 前記光学装置は、
前記水素又はヘリウムのプラズマを発生するリモートプラズマ発生装置と、
前記リモートプラズマ発生装置と前記チャンバとの間に設けられた導入配管と、
前記導入配管に設けられた可変コンダクタンスバルブと、を備え、
前記計測結果に応じて、前記可変コンダクタンスバルブのコンダクタンスを調整している請求項8、又は9に記載の光学装置の汚染防止方法。 - 前記導入配管を冷却する冷却機構が設けられている請求項10に記載の光学装置の汚染防止方法。
- 前記対象物がペリクルを有するEUVマスクである請求項8〜11のいずれか1項に記載の光学装置の汚染防止方法。
- 前記チャンバ内には、前記VUV光を反射する斜入射ミラーが設けられており、
前記斜入射ミラーで反射したVUV光が前記光学素子に入射する請求項8〜12のいずれか1項に記載の光学装置の汚染防止方法。 - 前記チャンバ内にヘリウムガス又はヘリウムプラズマが導入される請求項8〜13のいずれか1項に記載の光学装置の汚染防止方法。
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