JP6834201B2 - Ｍｅｍｓミラー駆動回路 - Google Patents

Description

本発明は、ＭＥＭＳミラー駆動回路に関するものである。

特許文献１には、光スイッチを構成する複数のＭＥＭＳミラーを駆動する光スイッチ制御装置が記載されている。この装置は、複数のＭＥＭＳミラーに駆動電圧を供給する駆動手段と、該駆動手段による駆動電圧の供給状態を変化させることで各ＭＥＭＳミラーの傾き角を制御する制御手段とを備える。駆動手段は、基準温度に対する温度変動による偏差を補償した駆動電圧を出力する。

特開２００４−２１９４６９号公報

光通信ネットワークにおいて、ＭＥＭＳミラーを利用した光スイッチが用いられている（例えば特許文献１を参照）。ＭＥＭＳミラーとしては、静電型のアクチュエータを有するものがある。このようなＭＥＭＳミラーでは、例えばミラー面に回転軸を設け、回転軸回りに傾斜角度を与える静電アクチュエータを配置する。そして、静電アクチュエータの電極間に電位差を生じさせることにより、その電位差の大きさに応じた角度でミラー面を傾斜させる。多くの場合、静電アクチュエータの一方の電極に駆動電圧が印加され、他方の電極は基準電位線（ＧＮＤ線）に接続される。

このようなＭＥＭＳミラーにおいて、例えば０°の傾斜角に対して０Ｖの電極間電位差が割り当てられた場合、０°付近の傾斜角に制御する際には、駆動電圧生成回路から０Ｖ付近の駆動電圧を出力することが求められる。しかしながら、駆動電圧生成回路からの出力電圧にオフセットが含まれることがある。例えば、駆動電圧生成回路がＤ／Ａコンバータ及び増幅回路を有する場合、Ｄ／Ａコンバータ及び増幅回路の出力にはオフセットが含まれる。そのような場合、駆動電圧を０Ｖ付近に制御することは困難である。

本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであり、或る傾斜角に０Ｖの電極間電位差が割り当てられた場合であっても、その傾斜角付近にミラー面を制御することが可能なＭＥＭＳミラー駆動回路を提供することを目的とする。

上述した課題を解決するために、本発明の一実施形態に係るＭＥＭＳミラー駆動回路は、ミラー面を傾斜させる静電アクチュエータを備えるＭＥＭＳミラーを駆動する回路であって、静電アクチュエータを駆動する正の駆動電圧を静電アクチュエータの一方の電極に印加する駆動電圧生成部と、駆動電圧に含まれるオフセットよりも大きい正の定電圧を静電アクチュエータの他方の電極に印加する電圧発生回路とを備える。

また、別の実施形態に係るＭＥＭＳミラー駆動回路は、ミラー面を傾斜させる複数の静電アクチュエータを備えるＭＥＭＳミラーを駆動する回路であって、複数の静電アクチュエータをそれぞれ駆動する複数の正の駆動電圧を複数の静電アクチュエータの一方の電極にそれぞれ印加する複数の駆動電圧生成部と、対応する駆動電圧に含まれるオフセットよりも大きい正の定電圧を静電アクチュエータの他方の電極に印加する電圧発生回路とを備える。

本発明によるＭＥＭＳミラー駆動回路によれば、或る傾斜角に０Ｖの電極間電位差が割り当てられた場合であっても、その傾斜角付近にミラー面を制御することができる。

図１は、本発明の一実施形態に係るＭＥＭＳミラー駆動回路によって駆動されるＭＥＭＳミラーの構成を示す平面図である。 図２は、一実施形態に係る駆動回路の構成を示す回路図である。 図３は、第２変形例に係る駆動回路の構成を示す回路図である。 図４は、第３変形例に係る駆動回路の構成を示す回路図である。 図５は、比較例としての駆動回路を示す回路図である。

［本願発明の実施形態の説明］
最初に、本発明の実施形態の内容を列記して説明する。本発明の一実施形態に係るＭＥＭＳミラー駆動回路は、ミラー面を傾斜させる静電アクチュエータを備えるＭＥＭＳミラーを駆動する回路であって、静電アクチュエータを駆動する正の駆動電圧を静電アクチュエータの一方の電極に印加する駆動電圧生成部と、駆動電圧に含まれるオフセットよりも大きい正の定電圧を静電アクチュエータの他方の電極に印加する電圧発生回路とを備える。

このＭＥＭＳミラー駆動回路では、電圧発生回路が、静電アクチュエータの他方の電極に正の定電圧を印加する。静電アクチュエータは、一方の電極と他方の電極との電位差により生じる静電気力によって駆動される。従って、駆動電圧生成部が有するオフセットにより、一方の電極に印加される正の駆動電圧が０Ｖにならない場合であっても、当該オフセットよりも大きい正の定電圧を電圧発生回路から他方の電極に印加すれば、一方の電極と他方の電極との電位差を０Ｖ付近に制御することが可能となる。従って、上記のＭＥＭＳミラー駆動回路によれば、或る傾斜角に０Ｖの電極間電位差が割り当てられた場合であっても、その傾斜角付近にミラー面を制御することができる。

また、上記のＭＥＭＳミラー駆動回路において、電圧発生回路の正の定電圧は可変であってもよい。上記のＭＥＭＳミラー駆動回路の個体毎にオフセットの大きさは異なるので、正の定電圧が固定である場合には、想定されるオフセットの最大値よりも大きい電圧値に正の定電圧を設定する必要がある。しかし、正の定電圧が大きいほど、一方の電極と他方の電極との電位差の可変範囲（すなわちミラー面の傾斜角度範囲）が狭くなってしまう。これに対し、電圧発生回路の正の定電圧を可変とすれば、オフセットの大きさに応じて適切な正の定電圧値を設定できるので、一方の電極と他方の電極との電位差の可変範囲を広くすることができる。

また、上記のＭＥＭＳミラー駆動回路は、他方の電極の電圧、若しくは一方の電極と他方の電極との電位差を測定する電圧測定部を更に備え、駆動電圧生成部は、電圧測定部の測定結果に基づいて駆動電圧の大きさを補正してもよい。これにより、一方の電極と他方の電極との電位差をより精度良く制御することができる。

また、別の実施形態に係るＭＥＭＳミラー駆動回路は、ミラー面を傾斜させる複数の静電アクチュエータを備えるＭＥＭＳミラーを駆動する回路であって、複数の静電アクチュエータをそれぞれ駆動する複数の正の駆動電圧を複数の静電アクチュエータの一方の電極にそれぞれ印加する駆動電圧生成部と、複数の静電アクチュエータの他方の電極に対し、対応する駆動電圧に含まれるオフセットよりも大きい正の定電圧を個別に印加する複数の電圧発生回路と、を備える。

このＭＥＭＳミラー駆動回路によれば、上述したＭＥＭＳミラー駆動回路と同様に、或る傾斜角に０Ｖの電極間電位差が割り当てられた場合であっても、その傾斜角付近にミラー面を制御することができる。また、駆動電圧生成部の回路構成によっては、駆動電圧毎にオフセットの値が異なるので、電圧発生回路が共通である場合には、想定されるオフセットの最大値よりも大きい電圧値に正の定電圧を設定する必要がある。しかし、正の定電圧が大きいほど、一方の電極と他方の電極との電位差の可変範囲が狭くなってしまう。これに対し、複数の電圧発生回路が正の定電圧を各静電アクチュエータの他方の電極に個別に印加すれば、各駆動電圧に含まれるオフセットの大きさに応じて適切な正の定電圧値を個別に設定できるので、一方の電極と他方の電極との電位差の可変範囲を広くすることができる。

［本願発明の実施形態の詳細］
本発明の実施形態に係るＭＥＭＳミラー駆動回路の具体例を、以下に図面を参照しつつ説明する。なお、本発明はこれらの例示に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。以下の説明では、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。

図１は、本発明の一実施形態に係るＭＥＭＳミラー駆動回路（以下、単に駆動回路という）によって駆動されるＭＥＭＳミラー１０の構成を示す平面図である。このＭＥＭＳミラー１０は、いわゆるジンバル型のチルトミラーの構成を備えており、例えば光ネットワークを構成する光スイッチに用いられる。図１に示されるように、ＭＥＭＳミラー１０は、ミラー面１１を有しており第１回動軸１２ａの周りに回動する第１回動部１３と、第１回動部１３を回動可能に支持するとともに第２回動軸１２ｂの周りに回動する第２回動部１４とを備えている。

ミラー面１１の平面形状は円形状、四角形状など様々であり、第１回動軸１２ａは、ミラー面１１の中心を通りＹ軸方向に沿って延びている。第１回動部１３は、第１回動軸１２ａを中心軸線とする円柱状の一対の軸部１３ａ，１３ｂを有しており、該一対の軸部１３ａ，１３ｂが第２回動部１４に回動自在に支えられている。また、第１回動部１３は、静電アクチュエータ１５を構成する一方の櫛歯状電極１５ａと、静電アクチュエータ１６を構成する一方の櫛歯状電極１６ａとを有する。

第２回動軸１２ｂは、ミラー面１１の中心を通りＸ軸方向に沿って延びている。第２回動部１４は、第２回動軸１２ｂを中心軸線とする円柱状の一対の軸部１４ａ，１４ｂを有しており、該一対の軸部１４ａ，１４ｂがＭＥＭＳミラー１０の枠体１９に回動自在に支えられている。また、第２回動部１４は、静電アクチュエータ１５を構成する他方の櫛歯状電極１５ｂと、静電アクチュエータ１６を構成する他方の櫛歯状電極１６ｂとを有する。

静電アクチュエータ１５，１６は、第１回動軸１２ａを挟んで第１回動軸１２ａの両側に配置される。静電アクチュエータ１５は、第１回動軸１２ａ周りの順回転方向にミラー面１１を動作させる。櫛歯状電極１５ａと櫛歯状電極１５ｂとは交互に噛み合うように配置され、櫛歯状電極１５ａと櫛歯状電極１５ｂとの間で電位差に応じた静電気力が発生することにより、該静電気力に応じた（正確には、電位差の２乗に比例する）正の傾斜角度をミラー面１１に与える。また、静電アクチュエータ１６は、第１回動軸１２ａ周りの逆回転方向にミラー面１１を動作させる。櫛歯状電極１６ａと櫛歯状電極１６ｂとは交互に噛み合うように配置され、櫛歯状電極１６ａと櫛歯状電極１６ｂとの間で電位差に応じた静電気力が発生することにより、該静電気力に応じた（正確には、電位差の２乗に比例する）負の傾斜角度をミラー面１１に与える。なお、ミラー面１１の傾斜角度範囲は例えば±数度である。

第２回動部１４は、静電アクチュエータ１７を構成する一方の櫛歯状電極１７ａと、静電アクチュエータ１８を構成する一方の櫛歯状電極１８ａとを更に有する。枠体１９は、静電アクチュエータ１７を構成する他方の櫛歯状電極１７ｂと、静電アクチュエータ１８を構成する他方の櫛歯状電極１８ｂとを有する。

静電アクチュエータ１７，１８は、第２回動軸１２ｂを挟んで第２回動軸１２ｂの両側に配置される。静電アクチュエータ１７は、第２回動軸１２ｂ周りの順回転方向にミラー面１１を動作させる。櫛歯状電極１７ａと櫛歯状電極１７ｂとは交互に噛み合うように配置され、櫛歯状電極１７ａと櫛歯状電極１７ｂとの間で電位差に応じた静電気力が発生することにより、該静電気力に応じた（正確には、電位差の２乗に比例する）正の傾斜角度をミラー面１１に与える。また、静電アクチュエータ１８は、第２回動軸１２ｂ周りの逆回転方向にミラー面１１を動作させる。櫛歯状電極１８ａと櫛歯状電極１８ｂとは交互に噛み合うように配置され、櫛歯状電極１８ａと櫛歯状電極１８ｂとの間で電位差に応じた静電気力が発生することにより、該静電気力に応じた（正確には、電位差の２乗に比例する）負の傾斜角度をミラー面１１に与える。

図２は、本実施形態の駆動回路１Ａの構成を示す回路図である。なお、図２には、ＭＥＭＳミラー１０の各静電アクチュエータ１５〜１８を模擬する回路部分が併せて示されている。静電アクチュエータ１５〜１８は、互いに並列に接続された抵抗Ｒａ及び容量Ｃａによって模擬される。抵抗Ｒａの抵抗値は、例えば数ＧΩといった極めて大きな値である。容量Ｃａの容量値は、例えば数十ｐＦといった小さな値である。この例で示されるＭＥＭＳミラー１０は、４つの入力端子１０ａ〜１０ｄと１つの共通端子１０ｅとを備える。４つの入力端子１０ａ〜１０ｄは、それぞれ対応する静電アクチュエータ１５〜１８の一方の櫛歯状電極に接続されている。１つの共通端子１０ｅは、４つの静電アクチュエータ１５〜１８の他方の櫛歯状電極に接続されている。

駆動回路１Ａは、静電アクチュエータ１５〜１８をそれぞれ駆動する正の駆動電圧ＶＤ１〜ＶＤ４を静電アクチュエータ１５〜１８の一方の櫛歯状電極に印加する駆動電圧生成部２０と、共通端子１０ｅに電気的に接続された電圧発生回路２９とを備える。駆動電圧生成部２０は、制御部としてのマイクロコントロールユニット（ＭＣＵ）２１と、Ｄ／Ａコンバータ２２ａ〜２２ｄと、増幅回路２５ａ〜２５ｄと、フィルタ回路２６ａ〜２６ｄと、電流制限抵抗２７ａ〜２７ｄと、を有する。

ＭＣＵ２１は、中央演算処理回路及びメモリを有しており、予め記憶されたプログラムに従って動作する。ＭＣＵ２１は、Ｄ／Ａコンバータ２２ａ〜２２ｄの入力端と電気的に接続されている。ＭＣＵ２１は、静電アクチュエータ１５を駆動するためのデジタル駆動信号Ｄ１をＤ／Ａコンバータ２２ａに対して出力し、静電アクチュエータ１６を駆動するためのデジタル駆動信号Ｄ２をＤ／Ａコンバータ２２ｂに対して出力し、静電アクチュエータ１７を駆動するためのデジタル駆動信号Ｄ３をＤ／Ａコンバータ２２ｃに対して出力し、静電アクチュエータ１８を駆動するためのデジタル駆動信号Ｄ４をＤ／Ａコンバータ２２ｄに対して出力する。ＭＣＵ２１とＤ／Ａコンバータ２２ａ〜２２ｄとの間の配線は、例えばデータバスである。なお、Ｄ／Ａコンバータ２２ａ〜２２ｄは、ＭＣＵ２１に内蔵されていてもよい。また、ミラー面１１の傾斜角とデジタル駆動信号Ｄ１〜Ｄ４との関係に関するデータは、予め記憶装置に格納されている。ＭＣＵ２１は、上位のホストコントローラから接続先の光パスの要求を受け付けると、記憶装置のデータに応じてデジタル駆動信号Ｄ１〜Ｄ４を変更する。

Ｄ／Ａコンバータ２２ａ〜２２ｄの出力端は、増幅回路２５ａ〜２５ｄと電気的にそれぞれ接続されている。Ｄ／Ａコンバータ２２ａ〜２２ｄは、ＭＣＵ２１から出力されたデジタル駆動信号Ｄ１〜Ｄ４を、電圧信号Ｖ１〜Ｖ４にそれぞれ変換する。Ｄ／Ａコンバータ２２ａ〜２２ｄからの出力電圧は、例えば下限値が出力オフセット電圧、上限値が数Ｖである範囲内である。オフセット電圧は、Ｄ／Ａコンバータ２２ａ〜２２ｄそれぞれが有する固有のオフセット電圧である。

増幅回路２５ａ〜２５ｄは、Ｄ／Ａコンバータ２２ａ〜２２ｄと静電アクチュエータ１５〜１８との間に電気的に接続されている。これらの増幅回路２５ａ〜２５ｄは、Ｄ／Ａコンバータ２２ａ〜２２ｄから得られた電圧信号Ｖ１〜Ｖ４を、例えば上限値が数十Ｖないし数百Ｖ（例えば２００Ｖ）である電圧範囲内において増幅し、駆動電圧ＶＤ１〜ＶＤ４を生成する。なお、これらの駆動電圧ＶＤ１〜ＶＤ４には、増幅回路２５ａ〜２５ｄが有する出力オフセット電圧が含まれている。

フィルタ回路２６ａ〜２６ｄは、Ｄ／Ａコンバータ２２ａ〜２２ｄと静電アクチュエータ１５〜１８との間（本実施形態では増幅回路２５ａ〜２５ｄと静電アクチュエータ１５〜１８との間）にそれぞれ電気的に接続されている。これらのフィルタ回路２６ａ〜２６ｄは、駆動電圧ＶＤ１〜ＶＤ４に含まれるノイズやＭＥＭＳミラー１０の共振周波数成分を低減する（好ましくは除去する）ための回路である。一例では、フィルタ回路２６ａ〜２６ｄは、Ｄ／Ａコンバータ２２ａ〜２２ｄと静電アクチュエータ１５〜１８との間に接続された抵抗Ｒ１、及び、抵抗Ｒ１の静電アクチュエータ１５〜１８側の一端と基準電位線５との間に接続された容量素子Ｃ１を有する。

電流制限抵抗２７ａ〜２７ｄは、Ｄ／Ａコンバータ２２ａ〜２２ｄと静電アクチュエータ１５〜１８との間にそれぞれ電気的に接続されている。電流制限抵抗２７ａ〜２７ｄは、ＭＥＭＳミラー１０を保護するための抵抗であって、静電アクチュエータ１５〜１８に流れる電流を制限する。なお、電流制限抵抗は、共通端子１０ｅと電圧発生回路２９との間に接続されてもよい。

電圧発生回路２９は、駆動電圧生成部２０が有するオフセットよりも大きい正の定電圧ＶＣを静電アクチュエータ１５〜１８の他方の櫛歯状電極に印加する回路である。ここで、駆動電圧生成部２０が有するオフセットとは、最終的な駆動電圧ＶＤ１〜ＶＤ４に含まれるオフセット電圧であって、例えば、Ｄ／Ａコンバータ２２ａ〜２２ｄの出力オフセット電圧が増幅回路２５ａ〜２５ｄにより増幅された電圧と、増幅回路２５ａ〜２５ｄの出力オフセット電圧との和である。一例では、駆動電圧生成部２０が有するオフセットは０〜２Ｖである。

本実施形態の電圧発生回路２９は、共通端子１０ｅと電気的に接続されており、共通端子１０ｅを介して静電アクチュエータ１５〜１８の他方の櫛歯状電極に対し共通の定電圧ＶＣを印加する。電圧発生回路２９は、例えば電圧リファレンスＩＣのような定電圧出力回路によって実現される。

以上に説明した、本実施形態の駆動回路１Ａによる効果について説明する。図５は、比較例としての駆動回路１００を示す回路図である。この駆動回路１００は、本実施形態と同様の構成を有する駆動電圧生成部２０を備えているが、電圧発生回路２９を備えておらず、共通端子１０ｅが基準電位線５に接続されている点で本実施形態と異なる。

この駆動回路１００では、ＭＥＭＳミラー１０において例えば０°の傾斜角に対して０Ｖの電極間電位差が割り当てられた場合、０°付近の傾斜角に制御するためには、駆動電圧生成部２０から０Ｖ付近の駆動電圧ＶＤ１〜ＶＤ４を出力することが求められる。しかしながら、駆動電圧ＶＤ１〜ＶＤ４には、前述したようにＤ／Ａコンバータ２２ａ〜２２ｄ及び増幅回路２５ａ〜２５ｄの出力オフセット電圧に起因するオフセットが含まれる。従って、この駆動回路１００では、各静電アクチュエータ１５〜１８の電極間電位差を０Ｖ付近に制御することが困難となる。

これに対し、本実施形態の駆動回路１Ａでは、電圧発生回路２９が、静電アクチュエータ１５〜１８の他方の櫛歯状電極に正の定電圧ＶＣを印加する。従って、駆動電圧ＶＤ１〜ＶＤ４に含まれるオフセットにより、一方の櫛歯状電極に印加される正の駆動電圧ＶＤ１〜ＶＤ４が０Ｖにならない場合であっても、当該オフセットよりも大きい正の定電圧ＶＣを電圧発生回路２９から他方の櫛歯状電極に印加すれば、一方の櫛歯状電極と他方の櫛歯状電極との電位差を負の値から変化させることができ、０Ｖ付近に制御することが可能となる。従って、本実施形態の駆動回路１Ａによれば、或る傾斜角に０Ｖの電極間電位差が割り当てられた場合であっても、その傾斜角付近にミラー面１１を制御することができる。

なお、Ｄ／Ａコンバータから正電圧及び負電圧を出力させることでも、一方の櫛歯状電極と他方の櫛歯状電極との電位差を０Ｖ付近に制御することができる。しかしながら、この場合、負電源及び正電源を設けるとともに、Ｄ／Ａコンバータ及び増幅回路を正及び負の電源電圧を入力する構成とする必要があり、回路規模が大きくなってしまうという問題がある。これに対し、本実施形態の駆動回路１Ａによれば、Ｄ／Ａコンバータ２２ａ〜２２ｄから正電圧のみ出力させれば足りるので、電源等の回路規模を抑制することができる。

（第１変形例）
上記実施形態では電圧発生回路２９から出力される定電圧ＶＣが固定されているが、定電圧ＶＣは可変であってもよい。駆動電圧ＶＤ１〜ＶＤ４に含まれるオフセットの大きさは駆動回路１Ａの個体毎に異なるので、定電圧ＶＣが固定である場合には、各個体に想定されるオフセットのうち最大のオフセット値よりも大きい電圧値に定電圧ＶＣを設定する必要がある。しかし、定電圧ＶＣの値が大きいほど、一方の櫛歯状電極と他方の櫛歯状電極との電位差の可変範囲（すなわちミラー面１１の傾斜角度範囲）が狭くなってしまう。電圧発生回路２９の定電圧ＶＣを可変とすることにより、駆動電圧ＶＤ１〜ＶＤ４に含まれるオフセットの大きさに応じて適切な定電圧値ＶＣを各個体毎に設定できるので、一方の櫛歯状電極と他方の櫛歯状電極との電位差の可変範囲を広くし、ミラー面１１の傾斜角度範囲を広くすることができる。

（第２変形例）
図３は、第２変形例に係る駆動回路１Ｂの構成を示す回路図である。本変形例と上記実施形態との相違点は、電圧発生回路の構成である。すなわち、上記実施形態の駆動回路１Ａは複数の静電アクチュエータ１５〜１８に対して共通の電圧発生回路２９を備えるが、本変形例の駆動回路１Ｂは複数の電圧発生回路２９ａ〜２９ｄを備える。電圧発生回路２９ａは、静電アクチュエータ１５の他方の櫛歯状電極に対し、駆動電圧ＶＤ１に含まれるオフセットよりも大きい正の定電圧ＶＣ１を印加する。同様に、電圧発生回路２９ｂ〜２９ｄは、静電アクチュエータ１６〜１８の他方の櫛歯状電極に対し、対応する駆動電圧ＶＤ２〜ＶＤ４に含まれるオフセットよりも大きい正の定電圧ＶＣ２〜ＶＣ４を個別に印加する。なお、電圧発生回路２９ａ〜２９ｄの具体的構成は、上記実施形態の電圧発生回路２９と同様である。

この駆動回路１Ｂによれば、上記実施形態の駆動回路１Ａと同様に、或る傾斜角に０Ｖの電極間電位差が割り当てられた場合であっても、その傾斜角付近にミラー面１１を制御することができる。また、駆動電圧生成部２０では各駆動電圧ＶＤ１〜ＶＤ４毎にＤ／Ａコンバータ及び増幅回路が設けられているので、駆動電圧ＶＤ１〜ＶＤ４毎にオフセットの値が異なる。従って、上記実施形態のように電圧発生回路２９が共通である場合には、各駆動電圧ＶＤ１〜ＶＤ４に想定されるオフセットのうち最大のオフセット値よりも大きい電圧値に定電圧ＶＣを設定する必要がある。しかし、前述したように、定電圧ＶＣが大きいほど、一方の櫛歯状電極と他方の櫛歯状電極との電位差の可変範囲（すなわちミラー面１１の傾斜角度範囲）が狭くなってしまう。本変形例のように、複数の電圧発生回路２９ａ〜２９ｄが定電圧ＶＣ１〜ＶＣ４を各静電アクチュエータ１５〜１８の他方の櫛歯状電極に個別に印加することにより、各駆動電圧ＶＤ１〜ＶＤ４に含まれるオフセットの大きさに応じて適切な定電圧ＶＣ１〜ＶＣ４の値を個別に設定できるので、一方の櫛歯状電極と他方の櫛歯状電極との電位差の可変範囲を広くし、ミラー面１１の傾斜角度範囲を広くすることができる。

（第３変形例）
図４は、第３変形例に係る駆動回路１Ｃの構成を示す回路図である。本変形例の駆動回路１Ｃは、上記実施形態の構成に加えて、電圧測定部３０を更に備える。電圧測定部３０は、各静電アクチュエータ１５〜１８の他方の櫛歯状電極の電圧（すなわち定電圧ＶＣ）の大きさを測定する。電圧測定部３０は、例えば共通端子１０ｅと電圧発生回路２９とを接続する配線３１と、基準電位線５との間に接続される。そして、電圧測定部３０の測定結果はＭＣＵ２１にフィードバックされ、ＭＣＵ２１は、その測定結果に基づいてデジタル駆動信号Ｄ１〜Ｄ４の信号値を補正する。すなわち、駆動電圧生成部２０は、駆動電圧ＶＤ１〜ＶＤ４の大きさを、電圧測定部３０の測定結果に基づいて補正する。これにより、各静電アクチュエータ１５〜１８の一方の櫛歯状電極と他方の櫛歯状電極との電位差をより精度良く制御することができる。

なお、電圧測定部は、各静電アクチュエータ１５〜１８の一方の櫛歯状電極と他方の櫛歯状電極との間の電位差を測定してもよい。その場合であっても、電圧測定部の測定結果はＭＣＵ２１にフィードバックされ、ＭＣＵ２１は、その測定結果に基づいてデジタル駆動信号Ｄ１〜Ｄ４の信号値を補正することができる。

また、電圧測定部３０による測定は、例えば、駆動回路を製造する際の調整時に行い、ＭＣＵ２１が有するメモリ等の記憶装置に測定結果を保存しておくか、或いは、駆動電圧値の変更時に一時的に駆動電圧を０Ｖとした時に行うことができる。

本発明による駆動回路は、上述した実施形態に限られるものではなく、他に様々な変形が可能である。例えば、上述した実施形態及び各変形例を、必要な目的及び効果に応じて互いに組み合わせてもよい。例えば、複数の電圧測定部を、第２変形例の複数の静電アクチュエータにそれぞれ接続してもよい。

また、上記実施形態では２本の回動軸を備えるＭＥＭＳミラーを駆動する回路を例示したが、ＭＥＭＳミラーの回動軸の本数は１以上の様々な本数であってもよい。或いは、回動軸を備えておらず一つの静電アクチュエータで駆動するＭＥＭＳミラーにも、本発明を適用可能である。

１Ａ，１Ｂ，１Ｃ…駆動回路、５…基準電位線、１０…ＭＥＭＳミラー、１０ａ〜１０ｄ…入力端子、１０ｅ…共通端子、１１…ミラー面、１２ａ…第１回動軸、１２ｂ…第２回動軸、１３…第１回動部、１３ａ，１３ｂ…軸部、１４…第２回動部、１４ａ，１４ｂ…軸部、１５〜１８…静電アクチュエータ、１５ａ，１５ｂ，１６ａ，１６ｂ，１７ａ，１７ｂ，１８ａ，１８ｂ…櫛歯状電極、１９…枠体、２０…駆動電圧生成部、２２ａ〜２２ｄ…Ｄ／Ａコンバータ、２５ａ〜２５ｄ…増幅回路、２６ａ〜２６ｄ…フィルタ回路、２７ａ〜２７ｄ…電流制限抵抗、２９，２９ａ〜２９ｄ…電圧発生回路、３０…電圧測定部、３１…配線、Ｄ１〜Ｄ４…デジタル駆動信号、Ｖ１〜Ｖ４…電圧信号、ＶＣ，ＶＣ１〜ＶＣ４…定電圧、ＶＤ１〜ＶＤ４…駆動電圧。

Claims (4)

1. 一方の電極と他方の電極との電位差により生じる静電気力によって駆動され、ミラー面を傾斜させる静電アクチュエータを備えるＭＥＭＳミラーを駆動する回路であって、
   前記静電アクチュエータを駆動する正の駆動電圧を前記静電アクチュエータの前記一方の電極に印加する駆動電圧生成部と、
   前記駆動電圧に含まれるオフセットよりも大きい正の定電圧を前記静電アクチュエータの前記他方の電極に印加する電圧発生回路と、
   を備える、ＭＥＭＳミラー駆動回路。
2. 前記電圧発生回路の前記正の定電圧が可変である、請求項１に記載のＭＥＭＳミラー駆動回路。
3. 前記他方の電極の電圧、若しくは前記一方の電極と前記他方の電極との電位差を測定する電圧測定部を更に備え、
   前記駆動電圧生成部は、前記電圧測定部の測定結果に基づいて前記駆動電圧の大きさを補正する、請求項１または２に記載のＭＥＭＳミラー駆動回路。
4. 一方の電極と他方の電極との電位差により生じる静電気力によって駆動され、ミラー面を傾斜させる複数の静電アクチュエータを備えるＭＥＭＳミラーを駆動する回路であって、
   前記複数の静電アクチュエータをそれぞれ駆動する複数の正の駆動電圧を前記複数の静電アクチュエータの前記一方の電極にそれぞれ印加する駆動電圧生成部と、
   前記複数の静電アクチュエータの前記他方の電極に対し、対応する前記駆動電圧に含まれるオフセットよりも大きい正の定電圧を個別に印加する複数の電圧発生回路と、
   を備える、ＭＥＭＳミラー駆動回路。

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