JP6828370B2 - Image generator and image projection device - Google Patents

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Description

本発明は、画像生成装置及び画像投影装置に関する。 The present invention relates to images generating apparatus and an image projection apparatus.

入力画像データに基づいてスクリーン等に画像を投影する画像投影装置において、投影画像を僅かにずらすように高速シフトさせることで、投影画像を疑似的に高解像度化して画像品質の向上を図る方法が知られている。 In an image projection device that projects an image on a screen or the like based on input image data, there is a method of pseudo-high resolution of the projected image and improvement of image quality by shifting the projected image at high speed so as to slightly shift the projected image. Are known.

例えば、表示素子の複数の画素から発せられる光線に対して、画素ずらし手段により光軸をシフトさせて画素ずらしを行うことで、表示素子の解像度よりも高い解像度の画像表示が可能な画像表示装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。 For example, an image display device capable of displaying an image having a resolution higher than the resolution of the display element by shifting the optical axis by a pixel shifting means to shift the light rays emitted from a plurality of pixels of the display element. Is known (see, for example, Patent Document 1).

また、投影画像をシフトさせる方法として、投影画像を生成する画像生成部を高速シフトさせることが考えられる。この場合には、例えば、磁石とコイルとを含む磁気アクチュエータを用いて、画像生成部が設けられている基板を高速シフトさせることができる。また、例えば、小型で高精度な位置検出が可能なホール素子を磁気アクチュエータの磁石に対向する位置に設けることで、画像生成部の位置を検出して生成させる画像等を制御できる。 Further, as a method of shifting the projected image, it is conceivable to shift the image generation unit that generates the projected image at high speed. In this case, for example, a magnetic actuator including a magnet and a coil can be used to shift the substrate provided with the image generation unit at high speed. Further, for example, by providing a small Hall element capable of high-precision position detection at a position facing the magnet of the magnetic actuator, it is possible to control an image or the like that detects and generates the position of the image generation unit.

しかしながら、上記した磁気アクチュエータ及びホール素子を用いた構成では、ホール素子が磁気アクチュエータの磁界の影響を受けて位置検出精度が低下する可能性がある。 However, in the configuration using the magnetic actuator and the Hall element described above, the Hall element may be affected by the magnetic field of the magnetic actuator and the position detection accuracy may decrease.

本発明は上記に鑑みてなされたものであって、高速シフトする位置を高精度に検出可能な可動装置、画像生成装置及び画像投影装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above, and an object of the present invention is to provide a movable device, an image generation device, and an image projection device capable of detecting a position to shift at high speed with high accuracy.

本発明の一態様に係る画像生成装置は、
第1固定板と、磁性材料で形成された第2固定板とを含む固定ユニットと、
前記第1固定板と、前記第2固定板との間に移動可能に支持されている可動板及び前記第2固定板を間に挟んで前記可動板に固定されている可動部を含む可動ユニットと、
前記固定ユニットと、前記可動板とに対向配置されている駆動力発生機構となる第1対又は位置検出機構となる第2対のいずれかと、
前記固定ユニットと、前記可動部とに対向配置されている前記第1対又は前記第2対と、
前記可動ユニットに設けられた画像生成部と、を有し、
前記可動部は、前記可動板と固定される結合板を有し、
前記画像生成部と前記結合板とは重ねて固定されている
The image generator according to one aspect of the present invention is
A fixing unit including a first fixing plate and a second fixing plate made of a magnetic material,
A movable unit including a movable plate movably supported between the first fixing plate and the second fixing plate, and a movable portion fixed to the movable plate with the second fixing plate sandwiched between them. When,
Either the fixed unit and the first pair serving as the driving force generating mechanism or the second pair serving as the position detecting mechanism are arranged so as to face the movable plate.
The fixed unit and the first pair or the second pair arranged to face the movable portion,
It has an image generation unit provided in the movable unit, and has
The movable portion has a connecting plate fixed to the movable plate, and has a connecting plate.
The image generating unit and the connecting plate are overlapped and fixed .

本発明の実施形態によれば、高速シフトする位置を高精度に検出可能な可動装置、画像生成装置及び画像投影装置が提供される。 According to the embodiment of the present invention, a movable device, an image generation device, and an image projection device capable of detecting a position to shift at high speed with high accuracy are provided.

第1の実施形態における画像投影装置を例示する図である。It is a figure which illustrates the image projection apparatus in 1st Embodiment. 第1の実施形態における画像投影装置の構成を例示するブロック図である。It is a block diagram which illustrates the structure of the image projection apparatus in 1st Embodiment. 第1の実施形態における画像エンジンを例示する斜視図である。It is a perspective view which illustrates the image engine in 1st Embodiment. 第1の実施形態における照明光学系ユニットを例示する図である。It is a figure which illustrates the illumination optical system unit in 1st Embodiment. 第1の実施形態における投影光学系ユニットの内部構成を例示する図である。It is a figure which illustrates the internal structure of the projection optical system unit in 1st Embodiment. 第1の実施形態における画像生成ユニットを例示する斜視図である。It is a perspective view which illustrates the image generation unit in 1st Embodiment. 第1の実施形態における画像生成ユニットを例示する側面図である。It is a side view which illustrates the image generation unit in 1st Embodiment. 第1の実施形態における画像生成ユニットを例示する分解斜視図である。It is an exploded perspective view which illustrates the image generation unit in 1st Embodiment. 第1の実施形態における画像生成ユニットを例示する分解側面図である。It is an exploded side view which illustrates the image generation unit in 1st Embodiment. 第1の実施形態における固定ユニットを例示する斜視図である。It is a perspective view which illustrates the fixed unit in 1st Embodiment. 第1の実施形態における固定ユニットを例示する分解斜視図である。It is an exploded perspective view which illustrates the fixed unit in 1st Embodiment. 第1の実施形態における固定ユニットによる可動プレートの支持構造について説明する図である。It is a figure explaining the support structure of the movable plate by the fixed unit in 1st Embodiment. 第1の実施形態における固定ユニットによる可動プレートの支持構造について説明する部分拡大図である。It is a partially enlarged view explaining the support structure of the movable plate by the fixed unit in 1st Embodiment. 第1の実施形態におけるトッププレートを例示する底面図である。It is a bottom view which illustrates the top plate in 1st Embodiment. 第1の実施形態における可動ユニットを例示する斜視図である。It is a perspective view which illustrates the movable unit in 1st Embodiment. 第1の実施形態における可動ユニットを例示する分解斜視図である。It is an exploded perspective view which illustrates the movable unit in 1st Embodiment. 第1の実施形態における可動プレートを例示する斜視図である。It is a perspective view which illustrates the movable plate in 1st Embodiment. 第1の実施形態における可動プレートが外された可動ユニットを例示する斜視図である。It is a perspective view which illustrates the movable unit which removed the movable plate in 1st Embodiment. 第1の実施形態における可動ユニットのDMD保持構造について説明する図である。It is a figure explaining the DMD holding structure of the movable unit in 1st Embodiment. 第2の実施形態における画像生成ユニットを例示する斜視図である。It is a perspective view which illustrates the image generation unit in 2nd Embodiment. 第2の実施形態における画像生成ユニットを例示する分解斜視図である。It is an exploded perspective view which illustrates the image generation unit in 2nd Embodiment. 第2の実施形態における画像生成ユニットを例示する分解側面図である。It is an exploded side view which illustrates the image generation unit in 2nd Embodiment. 第3の実施形態における画像生成ユニットを例示する斜視図である。It is a perspective view which illustrates the image generation unit in 3rd Embodiment. 第3の実施形態における画像生成ユニットを例示する分解斜視図である。It is an exploded perspective view which illustrates the image generation unit in 3rd Embodiment. 第3の実施形態における画像生成ユニットを例示する分解側面図である。It is an exploded side view which illustrates the image generation unit in 3rd Embodiment.

以下、図面を参照して発明を実施するための形態について説明する。各図面において、同一構成部分には同一符号を付し、重複した説明を省略する場合がある。 Hereinafter, modes for carrying out the invention will be described with reference to the drawings. In each drawing, the same components may be designated by the same reference numerals and duplicate description may be omitted.

〔第1の実施形態〕
<画像投影装置の構成>
図1は、第1の実施形態におけるプロジェクタ1を例示する図である。
[First Embodiment]
<Configuration of image projection device>
FIG. 1 is a diagram illustrating the projector 1 in the first embodiment.

プロジェクタ1は、画像投影装置の一例であり、出射窓3、外部I/F9を有し、投影画像を生成する光学エンジンが内部に設けられている。プロジェクタ1は、例えば外部I/F9に接続されるパソコンやデジタルカメラから画像データが送信されると、光学エンジンが送信された画像データに基づいて投影画像を生成し、図1に示されるように出射窓3からスクリーンSに画像Pを投影する。 The projector 1 is an example of an image projection device, which has an exit window 3 and an external I / F9, and is provided with an optical engine for generating a projected image inside. When image data is transmitted from, for example, a personal computer or a digital camera connected to an external I / F9, the projector 1 generates a projected image based on the transmitted image data by the optical engine, as shown in FIG. The image P is projected from the exit window 3 onto the screen S.

なお、以下に示す図面において、X1X2方向はプロジェクタ1の幅方向、Y1Y2方向はプロジェクタ1の奥行き方向、Z1Z2方向はプロジェクタ1の高さ方向である。また、以下では、プロジェクタ1の出射窓3側を上、出射窓3とは反対側を下として説明する場合がある。 In the drawings shown below, the X1X2 direction is the width direction of the projector 1, the Y1Y2 direction is the depth direction of the projector 1, and the Z1Z2 direction is the height direction of the projector 1. Further, in the following, the projector 1 may be described with the exit window 3 side as the upper side and the side opposite to the exit window 3 as the lower side.

図2は、第1の実施形態におけるプロジェクタ1の構成を例示するブロック図である。 FIG. 2 is a block diagram illustrating the configuration of the projector 1 according to the first embodiment.

図2に示されるように、プロジェクタ1は、電源4、メインスイッチSW5、操作部7、外部I/F9、システムコントロール部10、ファン20、光学エンジン15を有する。 As shown in FIG. 2, the projector 1 includes a power supply 4, a main switch SW5, an operation unit 7, an external I / F9, a system control unit 10, a fan 20, and an optical engine 15.

電源4は、商用電源に接続され、プロジェクタ1の内部回路用に電圧及び周波数を変換して、システムコントロール部10、ファン20、光学エンジン15等に給電する。 The power supply 4 is connected to a commercial power supply, converts voltage and frequency for the internal circuit of the projector 1, and supplies power to the system control unit 10, the fan 20, the optical engine 15, and the like.

メインスイッチSW5は、ユーザによるプロジェクタ1のON/OFF操作に用いられる。電源4が電源コード等を介して商用電源に接続された状態で、メインスイッチSW5がONに操作されると、電源4がプロジェクタ1の各部への給電を開始し、メインスイッチSW5がOFFに操作されると、電源4がプロジェクタ1の各部への給電を停止する。 The main switch SW5 is used for the ON / OFF operation of the projector 1 by the user. When the main switch SW5 is turned on while the power supply 4 is connected to a commercial power supply via a power cord or the like, the power supply 4 starts supplying power to each part of the projector 1 and the main switch SW5 is turned off. Then, the power supply 4 stops the power supply to each part of the projector 1.

操作部7は、ユーザによる各種操作を受け付けるボタン等であり、例えばプロジェクタ1の上面に設けられている。操作部7は、例えば投影画像の大きさ、色調、ピント調整等のユーザによる操作を受け付ける。操作部7が受け付けたユーザ操作は、システムコントロール部10に送られる。 The operation unit 7 is a button or the like that receives various operations by the user, and is provided on, for example, the upper surface of the projector 1. The operation unit 7 accepts user operations such as the size, color tone, and focus adjustment of the projected image. The user operation received by the operation unit 7 is sent to the system control unit 10.

外部I/F9は、例えばパソコン、デジタルカメラ等に接続される接続端子を有し、接続された機器から送信される画像データをシステムコントロール部10に出力する。 The external I / F 9 has a connection terminal connected to, for example, a personal computer, a digital camera, or the like, and outputs image data transmitted from the connected device to the system control unit 10.

システムコントロール部10は、画像制御部11、駆動制御部12を有する。システムコントロール部10は、例えばCPU,ROM,RAM等を含み、CPUがRAMと協働してROMに記憶されているプログラムを実行することで、各部の機能が実現される。 The system control unit 10 includes an image control unit 11 and a drive control unit 12. The system control unit 10 includes, for example, a CPU, a ROM, a RAM, and the like, and the CPU cooperates with the RAM to execute a program stored in the ROM, thereby realizing the functions of each unit.

画像制御部11は、外部I/F9から入力される画像データに基づいて光学エンジン15の画像生成ユニット50に設けられているデジタルマイクロミラーデバイスDMD(Digital Micromirror Device(以下、単に「DMD」という))551を制御し、スクリーンSに投影する画像を生成する。 The image control unit 11 is a digital micromirror device (hereinafter, simply referred to as “DMD”) provided in the image generation unit 50 of the optical engine 15 based on the image data input from the external I / F9. ) 551 is controlled to generate an image to be projected on the screen S.

駆動制御部12は、画像生成ユニット50において移動可能に設けられている可動ユニット55を移動させる駆動部を制御し、可動ユニット55に設けられているDMD551の位置を制御する。 The drive control unit 12 controls a drive unit that moves the movable unit 55 that is movably provided in the image generation unit 50, and controls the position of the DMD 551 that is provided in the movable unit 55.

ファン20は、システムコントロール部10に制御されて回転し、光学エンジン15の光源30を冷却する。 The fan 20 is controlled by the system control unit 10 to rotate, and cools the light source 30 of the optical engine 15.

光学エンジン15は、光源30、照明光学系ユニット40、画像生成ユニット50、投影光学系ユニット60を有し、システムコントロール部10に制御されてスクリーンSに画像を投影する。 The optical engine 15 has a light source 30, an illumination optical system unit 40, an image generation unit 50, and a projection optical system unit 60, and is controlled by the system control unit 10 to project an image on the screen S.

光源30は、例えば水銀高圧ランプ、キセノンランプ、LED等であり、システムコントロール部10により制御され、照明光学系ユニット40に光を照射する。 The light source 30 is, for example, a mercury high-pressure lamp, a xenon lamp, an LED, or the like, and is controlled by the system control unit 10 to irradiate the illumination optical system unit 40 with light.

照明光学系ユニット40は、例えばカラーホイール、ライトトンネル、リレーレンズ等を有し、光源30から照射された光を画像生成ユニット50に設けられているDMD551に導く。 The illumination optical system unit 40 has, for example, a color wheel, a light tunnel, a relay lens, and the like, and guides the light emitted from the light source 30 to the DMD 551 provided in the image generation unit 50.

画像生成ユニット50は、画像生成装置の一例であり、固定支持されている固定ユニット51、固定ユニット51に対して移動可能に設けられている可動ユニット55を有する。可動ユニット55は、DMD551を有し、システムコントロール部10の駆動制御部12によって固定ユニット51に対する位置が制御される。DMD551は、画像生成部の一例であり、システムコントロール部10の画像制御部11により制御され、照明光学系ユニット40によって導かれた光を変調して投影画像を生成する。 The image generation unit 50 is an example of an image generation device, and has a fixed unit 51 that is fixedly supported and a movable unit 55 that is movably provided with respect to the fixed unit 51. The movable unit 55 has a DMD 551, and the position of the system control unit 10 with respect to the fixed unit 51 is controlled by the drive control unit 12. The DMD 551 is an example of an image generation unit, which is controlled by the image control unit 11 of the system control unit 10 and modulates the light guided by the illumination optical system unit 40 to generate a projected image.

投影光学系ユニット60は、投影部の一例であり、例えば複数の投射レンズ、ミラー等を有し、画像生成ユニット50のDMD551によって生成される画像を拡大してスクリーンSに投影する。 The projection optical system unit 60 is an example of a projection unit, and has, for example, a plurality of projection lenses, mirrors, and the like, and magnifies an image generated by the DMD 551 of the image generation unit 50 and projects it on the screen S.

<光学エンジンの構成>
次に、プロジェクタ1の光学エンジン15の各部の構成について説明する。
<Optical engine configuration>
Next, the configuration of each part of the optical engine 15 of the projector 1 will be described.

図3は、第1の実施形態における光学エンジン15を例示する斜視図である。光学エンジン15は、図3に示されるように、光源30、照明光学系ユニット40、画像生成ユニット50、投影光学系ユニット60を有し、プロジェクタ1の内部に設けられている。 FIG. 3 is a perspective view illustrating the optical engine 15 according to the first embodiment. As shown in FIG. 3, the optical engine 15 has a light source 30, an illumination optical system unit 40, an image generation unit 50, and a projection optical system unit 60, and is provided inside the projector 1.

光源30は、照明光学系ユニット40の側面に設けられ、X2方向に光を照射する。照明光学系ユニット40は、光源30から照射された光を、下部に設けられている画像生成ユニット50に導く。画像生成ユニット50は、照明光学系ユニット40によって導かれた光を用いて投影画像を生成する。投影光学系ユニット60は、照明光学系ユニット40の上部に設けられ、画像生成ユニット50によって生成された投影画像をプロジェクタ1の外部に投影する。 The light source 30 is provided on the side surface of the illumination optical system unit 40 and irradiates light in the X2 direction. The illumination optical system unit 40 guides the light emitted from the light source 30 to the image generation unit 50 provided at the lower part. The image generation unit 50 generates a projected image using the light guided by the illumination optical system unit 40. The projection optical system unit 60 is provided above the illumination optical system unit 40, and projects the projected image generated by the image generation unit 50 to the outside of the projector 1.

なお、本実施形態に係る光学エンジン15は、光源30から照射される光を用いて上方に画像を投影するように構成されているが、水平方向に画像を投影するような構成であってもよい。 The optical engine 15 according to the present embodiment is configured to project an image upward using the light emitted from the light source 30, but the optical engine 15 may be configured to project an image in the horizontal direction. Good.

[照明光学系ユニット]
図4は、第1の実施形態における照明光学系ユニット40を例示する図である。
[Illumination optical system unit]
FIG. 4 is a diagram illustrating the illumination optical system unit 40 in the first embodiment.

図4に示されるように、照明光学系ユニット40は、カラーホイール401、ライトトンネル402、リレーレンズ403,404、シリンダミラー405、凹面ミラー406を有する。 As shown in FIG. 4, the illumination optical system unit 40 includes a color wheel 401, a light tunnel 402, relay lenses 403 and 404, a cylinder mirror 405, and a concave mirror 406.

カラーホイール401は、例えば周方向の異なる部分にR(レッド)、G(グリーン)、B(ブルー)の各色のフィルタが設けられている円盤である。カラーホイール401は、高速回転することで、光源30から照射される光を、RGB各色に時分割する。 The color wheel 401 is, for example, a disk in which filters of each color of R (red), G (green), and B (blue) are provided in different portions in the circumferential direction. The color wheel 401 rotates at high speed to time-divide the light emitted from the light source 30 into RGB colors.

ライトトンネル402は、例えば板ガラス等の貼り合わせによって四角筒状に形成されている。ライトトンネル402は、カラーホイール401を透過したRGB各色の光を、内面で多重反射することで輝度分布を均一化してリレーレンズ403,404に導く。 The light tunnel 402 is formed in a square tubular shape by, for example, laminating flat glass or the like. The light tunnel 402 multi-reflects the light of each RGB color transmitted through the color wheel 401 on the inner surface to make the brightness distribution uniform and guide the light to the relay lenses 403 and 404.

リレーレンズ403,404は、ライトトンネル402から出射された光の軸上色収差を補正しつつ集光する。 The relay lenses 403 and 404 collect the light emitted from the light tunnel 402 while correcting the axial chromatic aberration.

シリンダミラー405及び凹面ミラー406は、リレーレンズ403,404から出射された光を、画像生成ユニット50に設けられているDMD551に反射する。DMD551は、凹面ミラー406からの反射光を変調して投影画像を生成する。 The cylinder mirror 405 and the concave mirror 406 reflect the light emitted from the relay lenses 403 and 404 to the DMD 551 provided in the image generation unit 50. The DMD 551 modulates the reflected light from the concave mirror 406 to generate a projected image.

[投影光学系ユニット]
図5は、第1の実施形態における投影光学系ユニット60の内部構成を例示する図である。
[Projection optical system unit]
FIG. 5 is a diagram illustrating the internal configuration of the projection optical system unit 60 according to the first embodiment.

図5に示されるように、投影光学系ユニット60は、投影レンズ601、折り返しミラー602、曲面ミラー603がケースの内部に設けられている。 As shown in FIG. 5, the projection optical system unit 60 includes a projection lens 601, a folded mirror 602, and a curved mirror 603 inside the case.

投影レンズ601は、複数のレンズを有し、画像生成ユニット50のDMD551によって生成された投影画像を、折り返しミラー602に結像させる。折り返しミラー602及び曲面ミラー603は、結像された投影画像を拡大するように反射して、プロジェクタ1の外部のスクリーンS等に投影する。 The projection lens 601 has a plurality of lenses, and the projected image generated by the DMD 551 of the image generation unit 50 is formed on the folded mirror 602. The folded mirror 602 and the curved mirror 603 reflect the imaged projected image so as to enlarge it, and project it onto a screen S or the like outside the projector 1.

[画像生成ユニット]
図6は、第1の実施形態における画像生成ユニット50を例示する斜視図である。また、図7は、第1の実施形態における画像生成ユニット50を例示する側面図である。図示する例において、画像生成ユニット50は、可動装置100に、画像生成部の例であるDMD551を配置した画像形成装置である。
[Image generation unit]
FIG. 6 is a perspective view illustrating the image generation unit 50 according to the first embodiment. Further, FIG. 7 is a side view illustrating the image generation unit 50 in the first embodiment. In the illustrated example, the image generation unit 50 is an image forming device in which the DMD 551, which is an example of the image generation unit, is arranged in the movable device 100.

図6及び図7に示されるように、画像生成ユニット50は、固定ユニット51、可動ユニット55を有する。固定ユニット51は、照明光学系ユニット40に固定支持されている。可動ユニット55は、固定ユニット51に移動可能に支持されている。 As shown in FIGS. 6 and 7, the image generation unit 50 has a fixed unit 51 and a movable unit 55. The fixed unit 51 is fixedly supported by the illumination optical system unit 40. The movable unit 55 is movably supported by the fixed unit 51.

固定ユニット51は、トッププレート511、ベースプレート512を有する。固定ユニット51は、トッププレート511とベースプレート512とが所定の間隙を介して平行に設けられており、照明光学系ユニット40の下部に固定される。 The fixing unit 51 has a top plate 511 and a base plate 512. In the fixing unit 51, the top plate 511 and the base plate 512 are provided in parallel through a predetermined gap, and are fixed to the lower part of the illumination optical system unit 40.

可動ユニット55は、DMD551、可動プレート552、結合プレート553、ヒートシンク554を有し、固定ユニット51に移動可能に支持されている。 The movable unit 55 has a DMD 551, a movable plate 552, a coupling plate 553, and a heat sink 554, and is movably supported by the fixed unit 51.

可動プレート552は、固定ユニット51のトッププレート511とベースプレート512との間に設けられている。可動プレート552は、固定ユニット51によってトッププレート511及びベースプレート512と平行且つ表面に平行な方向に移動可能に支持されている。 The movable plate 552 is provided between the top plate 511 and the base plate 512 of the fixing unit 51. The movable plate 552 is movably supported by the fixing unit 51 in a direction parallel to the top plate 511 and the base plate 512 and parallel to the surface.

結合プレート553は、固定ユニット51のベースプレート512を間に挟んで可動プレート552に固定されている。結合プレート553は、上面側にDMD551が固定して設けられ、下面側にヒートシンク554が固定されている。結合プレート553は、可動プレート552に固定されることで、可動プレート552、DMD551、及びヒートシンク554と共に固定ユニット51に移動可能に支持されている。 The coupling plate 553 is fixed to the movable plate 552 with the base plate 512 of the fixing unit 51 sandwiched between them. The coupling plate 553 is provided with the DMD 551 fixed on the upper surface side, and the heat sink 554 is fixed on the lower surface side. The coupling plate 553 is fixed to the movable plate 552 and is movably supported by the fixed unit 51 together with the movable plate 552, the DMD 551, and the heat sink 554.

DMD551は、結合プレート553の可動プレート552側の面に設けられ、可動プレート552及び結合プレート553と共に移動可能に設けられている。DMD551は、可動式の複数のマイクロミラーが格子状に配列された画像生成面を有する。DMD551の各マイクロミラーは、鏡面がねじれ軸周りに傾動可能に設けられており、システムコントロール部10の画像制御部11から送信される画像信号に基づいてON/OFF駆動される。 The DMD 551 is provided on the surface of the coupling plate 553 on the movable plate 552 side, and is movably provided together with the movable plate 552 and the coupling plate 553. The DMD551 has an image generation surface in which a plurality of movable micromirrors are arranged in a grid pattern. Each micromirror of the DMD551 is provided with a mirror surface that can be tilted around a twist axis, and is driven ON / OFF based on an image signal transmitted from the image control unit 11 of the system control unit 10.

マイクロミラーは、例えば「ON」の場合には、光源30からの光を投影光学系ユニット60に反射するように傾斜角度が制御される。また、マイクロミラーは、例えば「OFF」の場合には、光源30からの光をOFF光板に向けて反射する方向に傾斜角度が制御される。 When the micromirror is "ON", for example, the tilt angle is controlled so as to reflect the light from the light source 30 to the projection optical system unit 60. Further, when the micromirror is, for example, "OFF", the inclination angle is controlled in the direction in which the light from the light source 30 is reflected toward the OFF light plate.

このように、DMD551は、画像制御部11から送信される画像信号によって各マイクロミラーの傾斜角度が制御され、光源30から照射されて照明光学系ユニット40を通った光を変調して投影画像を生成する。 In this way, the DMD 551 controls the tilt angle of each micromirror by the image signal transmitted from the image control unit 11, and modulates the light emitted from the light source 30 and passed through the illumination optical system unit 40 to produce a projected image. Generate.

ヒートシンク554は、放熱部の一例であり、少なくとも一部分がDMD551に当接するように設けられている。ヒートシンク554は、移動可能に支持される結合プレート553にDMD551と共に設けられることで、DMD551に当接して効率的に冷却することが可能になっている。このような構成により、本実施形態に係るプロジェクタ1では、ヒートシンク554がDMD551の温度上昇を抑制し、DMD551の温度上昇による動作不良や故障等といった不具合の発生が低減されている。 The heat sink 554 is an example of a heat radiating portion, and is provided so that at least a part thereof comes into contact with the DMD 551. The heat sink 554 is provided together with the DMD 551 on the movably supported coupling plate 553, so that the heat sink 554 can come into contact with the DMD 551 and be efficiently cooled. With such a configuration, in the projector 1 according to the present embodiment, the heat sink 554 suppresses the temperature rise of the DMD 551, and the occurrence of problems such as malfunction and failure due to the temperature rise of the DMD 551 is reduced.

図8は、第1の実施形態における画像生成ユニット50の分解斜視図である。また、図9は、第1の実施形態における画像生成ユニット50の分解側面図である。以下では、図8及び図9を参照しながら、各部の構成について説明する。 FIG. 8 is an exploded perspective view of the image generation unit 50 according to the first embodiment. Further, FIG. 9 is an exploded side view of the image generation unit 50 according to the first embodiment. Hereinafter, the configuration of each part will be described with reference to FIGS. 8 and 9.

(固定ユニット)
図10は、第1の実施形態における固定ユニット51を例示する斜視図である。また、図11は、第1の実施形態における固定ユニット51を例示する分解斜視図である。
(Fixed unit)
FIG. 10 is a perspective view illustrating the fixed unit 51 in the first embodiment. Further, FIG. 11 is an exploded perspective view illustrating the fixed unit 51 in the first embodiment.

図10及び図11に示されるように、固定ユニット51は、第1固定板としてのトッププレート511、第2固定板としてのベースプレート512を有する。 As shown in FIGS. 10 and 11, the fixing unit 51 has a top plate 511 as a first fixing plate and a base plate 512 as a second fixing plate.

トッププレート511及びベースプレート512は、例えば、鉄、ステンレス鋼等の磁性材料で形成された平板状部材である。トッププレート511及びベースプレート512は、それぞれ可動ユニット55のDMD551に対応する位置に中央孔513,514が設けられている。また、トッププレート511及びベースプレート512は、複数の支柱515によって、所定の間隙を介して平行に設けられている。 The top plate 511 and the base plate 512 are flat plate-shaped members made of a magnetic material such as iron or stainless steel. The top plate 511 and the base plate 512 are each provided with central holes 513 and 514 at positions corresponding to DMD551 of the movable unit 55. Further, the top plate 511 and the base plate 512 are provided in parallel by a plurality of columns 515 with a predetermined gap.

支柱515は、図11に示されるように、上端部が、トッププレート511に形成されている支柱孔516に圧入され、雄ねじ溝が形成されている下端部が、ベースプレート512に形成されている支柱孔517に挿入される。支柱515は、トッププレート511とベースプレート512との間に一定の間隔を形成し、トッププレート511とベースプレート512とを平行に支持する。 As shown in FIG. 11, the support column 515 has a support column whose upper end is press-fitted into the support column hole 516 formed in the top plate 511 and the lower end portion in which the male screw groove is formed is formed in the base plate 512. It is inserted into the hole 517. The strut 515 forms a certain distance between the top plate 511 and the base plate 512, and supports the top plate 511 and the base plate 512 in parallel.

また、トッププレート511及びベースプレート512には、支持球体521を回転可能に保持する支持孔522,526がそれぞれ複数形成されている。 Further, the top plate 511 and the base plate 512 are each formed with a plurality of support holes 522 and 526 that rotatably hold the support sphere 521.

トッププレート511の支持孔522には、内周面に雌ねじ溝を有する円筒状の保持部材523が挿入される。保持部材523は、支持球体521を回転可能に保持し、位置調整ねじ524が上から挿入される。ベースプレート512の支持孔526は、下端側が蓋部材527によって塞がれ、支持球体521を回転可能に保持する。 A cylindrical holding member 523 having a female thread groove on the inner peripheral surface is inserted into the support hole 522 of the top plate 511. The holding member 523 rotatably holds the support sphere 521, and the position adjusting screw 524 is inserted from above. The lower end side of the support hole 526 of the base plate 512 is closed by the lid member 527, and the support sphere 521 is rotatably held.

トッププレート511及びベースプレート512の支持孔522,526に回転可能に保持される支持球体521は、それぞれトッププレート511とベースプレート512との間に設けられる可動プレート552に当接し、可動プレート552を移動可能に支持する。 The support sphere 521 rotatably held in the support holes 522 and 526 of the top plate 511 and the base plate 512 abuts on the movable plate 552 provided between the top plate 511 and the base plate 512, respectively, and the movable plate 552 can be moved. Support.

図12は、実施形態における固定ユニット51による可動プレート552の支持構造を説明するための図である。また、図13は、図12に示されるA部分の概略構成を例示する部分拡大図である。 FIG. 12 is a diagram for explaining a support structure of the movable plate 552 by the fixed unit 51 in the embodiment. Further, FIG. 13 is a partially enlarged view illustrating the schematic configuration of the A portion shown in FIG.

図12及び図13に示されるように、トッププレート511では、支持孔522に挿入される保持部材523によって支持球体521が回転可能に保持されている。また、ベースプレート512では、下端側が蓋部材527によって塞がれている支持孔526によって支持球体521が回転可能に保持されている。 As shown in FIGS. 12 and 13, in the top plate 511, the support sphere 521 is rotatably held by the holding member 523 inserted into the support hole 522. Further, in the base plate 512, the support sphere 521 is rotatably held by the support hole 526 whose lower end side is closed by the lid member 527.

各支持球体521は、支持孔522,526から少なくとも一部分が突出するように保持され、トッププレート511とベースプレート512との間に設けられる可動プレート552に当接して支持する。可動プレート552は、回転可能に設けられている複数の支持球体521により、トッププレート511及びベースプレート512と平行且つ表面に平行な方向に移動可能に両面から支持される。 Each support sphere 521 is held so as to project at least a part from the support holes 522 and 526, and abuts and supports the movable plate 552 provided between the top plate 511 and the base plate 512. The movable plate 552 is supported from both sides by a plurality of support spheres 521 rotatably provided so as to be movable in a direction parallel to the top plate 511 and the base plate 512 and parallel to the surface.

また、トッププレート511側に設けられている支持球体521は、可動プレート552とは反対側で当接する位置調整ねじ524の位置に応じて、保持部材523の下端からの突出量が変化する。例えば、位置調整ねじ524がZ1方向に変位すると、支持球体521の突出量が減り、トッププレート511と可動プレート552との間隔が小さくなる。また、例えば、位置調整ねじ524がZ2方向に変位すると、支持球体521の突出量が増え、トッププレート511と可動プレート552との間隔が大きくなる。 Further, the amount of protrusion of the support sphere 521 provided on the top plate 511 side from the lower end of the holding member 523 changes according to the position of the position adjusting screw 524 that abuts on the side opposite to the movable plate 552. For example, when the position adjusting screw 524 is displaced in the Z1 direction, the amount of protrusion of the support sphere 521 is reduced, and the distance between the top plate 511 and the movable plate 552 is reduced. Further, for example, when the position adjusting screw 524 is displaced in the Z2 direction, the amount of protrusion of the support sphere 521 increases, and the distance between the top plate 511 and the movable plate 552 increases.

このように、位置調整ねじ524を用いて支持球体521の突出量を変化させることで、トッププレート511と可動プレート552との間隔を適宜調整できる。 In this way, the distance between the top plate 511 and the movable plate 552 can be appropriately adjusted by changing the amount of protrusion of the support sphere 521 using the position adjusting screw 524.

また、図8から図11に示されるように、トッププレート511のベースプレート512側の面には、駆動用磁石531,532,533,534が設けられている。 Further, as shown in FIGS. 8 to 11, driving magnets 531, 532, 533, 534 are provided on the surface of the top plate 511 on the base plate 512 side.

図14は、実施形態におけるトッププレート511を例示する底面図である。図14に示されるように、トッププレート511のベースプレート512側の面には、駆動用磁石531,532,533,534が設けられている。 FIG. 14 is a bottom view illustrating the top plate 511 in the embodiment. As shown in FIG. 14, driving magnets 531, 532, 533, 534 are provided on the surface of the top plate 511 on the base plate 512 side.

駆動用磁石531,532,533,534は、トッププレート511の中央孔513を囲むように4箇所に設けられている。駆動用磁石531,532,533,534は、それぞれ長手方向が平行になるように配置された直方体状の2つの磁石で構成され、それぞれトッププレート511とベースプレート512との間に支持される可動プレート552に及ぶ磁界を形成する。 The driving magnets 531, 532, 533, 534 are provided at four locations so as to surround the central hole 513 of the top plate 511. The drive magnets 531, 532, 533, 534 are composed of two rectangular parallelepiped magnets arranged so as to be parallel to each other in the longitudinal direction, and are movable plates supported between the top plate 511 and the base plate 512, respectively. It forms a magnetic field of up to 552.

駆動用磁石531,532,533,534は、それぞれ可動プレート552の上面に各駆動用磁石531,532,533,534に対向して設けられている駆動コイルとで、可動プレート552を移動させる駆動部を構成する。 The drive magnets 531, 532, 533, 534 are driven by a drive coil provided on the upper surface of the movable plate 552 so as to face the drive magnets 531, 532, 533, 534, respectively, to move the movable plate 552. Make up the part.

また、図8、図9及び図11に示されるように、ベースプレート512の下面(トッププレート511とは反対側の面)には、位置検出用磁石541が複数箇所に設けられている。 Further, as shown in FIGS. 8, 9 and 11, position detection magnets 541 are provided at a plurality of locations on the lower surface of the base plate 512 (the surface opposite to the top plate 511).

位置検出用磁石541は、図8及び図9に示されるように、DMD551が設けられているDMD基板557上のホール素子542とで、DMD551の位置を検出する位置検出部を構成する。ホール素子542は、磁気センサの一例であり、位置検出用磁石541からの磁束密度の変化に応じた信号をシステムコントロール部10の駆動制御部12に送信する。駆動制御部12は、ホール素子542から送信される信号に基づいて、DMD551の位置を検出する。 As shown in FIGS. 8 and 9, the position detection magnet 541 and the Hall element 542 on the DMD substrate 557 provided with the DMD 551 constitute a position detection unit for detecting the position of the DMD 551. The Hall element 542 is an example of a magnetic sensor, and transmits a signal corresponding to a change in the magnetic flux density from the position detection magnet 541 to the drive control unit 12 of the system control unit 10. The drive control unit 12 detects the position of the DMD 551 based on the signal transmitted from the Hall element 542.

なお、上記した固定ユニット51に設けられる支柱515、支持球体521の数や位置等は、可動プレート552を移動可能に支持できればよく、本実施形態に例示される構成に限られるものではない。 The number and position of the columns 515 and the support spheres 521 provided in the fixed unit 51 described above are not limited to the configurations exemplified in the present embodiment as long as the movable plate 552 can be movably supported.

(可動ユニット)
図15は、第1の実施形態における可動ユニット55を例示する斜視図である。また、図16は、第1の実施形態における可動ユニット55を例示する分解斜視図である。
(Movable unit)
FIG. 15 is a perspective view illustrating the movable unit 55 in the first embodiment. Further, FIG. 16 is an exploded perspective view illustrating the movable unit 55 in the first embodiment.

図15及び図16に示されるように、可動ユニット55は、可動板としての可動プレート552を有する。また、可動ユニット55は、可動部として、結合プレート553、ヒートシンク554、保持部材555及びDMD基板557を有する。DMD基板557には、DMD551が設けられている。 As shown in FIGS. 15 and 16, the movable unit 55 has a movable plate 552 as a movable plate. Further, the movable unit 55 has a coupling plate 555, a heat sink 554, a holding member 555, and a DMD substrate 557 as movable parts. The DMD substrate 557 is provided with the DMD 551.

可動プレート552は、上記したように、固定ユニット51のトッププレート511とベースプレート512との間に設けられ、複数の支持球体521により表面に平行な方向に移動可能に支持される。 As described above, the movable plate 552 is provided between the top plate 511 and the base plate 512 of the fixing unit 51, and is movably supported by a plurality of support spheres 521 in a direction parallel to the surface.

図17は、実施形態における可動プレート552を例示する斜視図である。 FIG. 17 is a perspective view illustrating the movable plate 552 in the embodiment.

図17に示されるように、可動プレート552は、平板状の部材から形成され、DMD基板557に設けられるDMD551に対応する位置に中央孔570を有し、中央孔570の周囲に駆動コイル581,582,583,584が設けられている。 As shown in FIG. 17, the movable plate 552 is formed of a flat plate-like member, has a central hole 570 at a position corresponding to the DMD 551 provided on the DMD substrate 557, and has a drive coil 581 around the central hole 570. 582,583,584 are provided.

駆動コイル581,582,583,584は、それぞれZ1Z2方向に平行な軸を中心として電線が巻き回されることで形成され、可動プレート552のトッププレート511側の面に形成されている凹部に設けられてカバーで覆われている。駆動コイル581,582,583,584は、それぞれトッププレート511の駆動用磁石531,532,533,534とで、可動プレート552を移動させる駆動部を構成する。 The drive coils 581, 582, 583, 584 are formed by winding electric wires around axes parallel to the Z1Z2 direction, respectively, and are provided in recesses formed on the surface of the movable plate 552 on the top plate 511 side. It is covered with a cover. The drive coils 581, 582, 583, 584, respectively, form a drive unit for moving the movable plate 552 with the drive magnets 531, 532, 533, 534 of the top plate 511, respectively.

トッププレート511の駆動用磁石531,532,533,534と、可動プレート552の駆動コイル581,582,583,584とは、可動ユニット55が固定ユニット51に支持された状態で、それぞれ対向する位置に設けられている。駆動コイル581,582,583,584に電流が流されると、駆動用磁石531,532,533,534によって形成される磁界により、可動プレート552を移動させる駆動力となるローレンツ力が発生する。 The drive magnets 531, 532, 533, 534 of the top plate 511 and the drive coils 581, 582, 583, 584 of the movable plate 552 are positioned so as to face each other with the movable unit 55 supported by the fixed unit 51. It is provided in. When a current is passed through the drive coils 581, 582, 583, 584, the magnetic field formed by the drive magnets 531, 532, 533, 534 generates a Lorentz force, which is a drive force for moving the movable plate 552.

可動プレート552は、駆動用磁石531,532,533,534と駆動コイル581,582,583,584との間で発生する駆動力としてのローレンツ力を受けて、固定ユニット51に対して、XY平面において直線的又は回転するように変位する。 The movable plate 552 receives a Lorentz force as a driving force generated between the driving magnets 531, 532, 533, 534 and the driving coil 581, 582, 583, 584, and receives an XY plane with respect to the fixed unit 51. Displaces in a linear or rotating manner.

各駆動コイル581,582,583,584に流される電流の大きさ及び向きは、システムコントロール部10の駆動制御部12によって制御される。駆動制御部12は、各駆動コイル581,582,583,584に流す電流の大きさ及び向きによって、可動プレート552の移動(回転)方向、移動量や回転角度等を制御する。 The magnitude and direction of the current flowing through each drive coil 581, 582, 583, 584 is controlled by the drive control unit 12 of the system control unit 10. The drive control unit 12 controls the movement (rotation) direction, movement amount, rotation angle, etc. of the movable plate 552 according to the magnitude and direction of the current flowing through each drive coil 581, 582, 583, 584.

本実施形態では、第1駆動部として、駆動コイル581及び駆動用磁石531と、駆動コイル584及び駆動用磁石534とが、X1X2方向に対向して設けられている。駆動コイル581及び駆動コイル584に電流が流されると、図17に示されるようにX1方向又はX2方向のローレンツ力が発生する。可動プレート552は、駆動コイル581及び駆動用磁石531と、駆動コイル584及び駆動用磁石534とにおいて発生するローレンツ力により、X1方向又はX2方向に移動する。 In the present embodiment, the drive coil 581 and the drive magnet 531 and the drive coil 584 and the drive magnet 534 are provided as the first drive unit so as to face each other in the X1X2 direction. When a current is passed through the drive coil 581 and the drive coil 584, a Lorentz force in the X1 direction or the X2 direction is generated as shown in FIG. The movable plate 552 moves in the X1 direction or the X2 direction by the Lorentz force generated in the drive coil 581 and the drive magnet 531 and the drive coil 584 and the drive magnet 534.

また、本実施形態では、第2駆動部として、駆動コイル582及び駆動用磁石532と、駆動コイル583及び駆動用磁石533とが、X1X2方向に並んで設けられ、駆動用磁石532及び駆動用磁石533は、駆動用磁石531及び駆動用磁石534とは長手方向が直交するように配置されている。このような構成において、駆動コイル582及び駆動コイル583に電流が流されると、図17に示されるようにY1方向又はY2方向のローレンツ力が発生する。 Further, in the present embodiment, the drive coil 582 and the drive magnet 532 and the drive coil 583 and the drive magnet 533 are provided side by side in the X1X2 direction as the second drive unit, and the drive magnet 532 and the drive magnet are provided. The 533 is arranged so that the drive magnet 531 and the drive magnet 534 are orthogonal to each other in the longitudinal direction. In such a configuration, when a current is passed through the drive coil 582 and the drive coil 583, a Lorentz force in the Y1 direction or the Y2 direction is generated as shown in FIG.

可動プレート552は、駆動コイル582及び駆動用磁石532と、駆動コイル583及び駆動用磁石533とにおいて発生するローレンツ力により、Y1方向又はY2方向に移動する。また、可動プレート552は、駆動コイル582及び駆動用磁石532と、駆動コイル583及び駆動用磁石533とで反対方向に発生するローレンツ力により、XY平面において回転するように変位する。 The movable plate 552 moves in the Y1 direction or the Y2 direction by the Lorentz force generated in the drive coil 582 and the drive magnet 532, and the drive coil 583 and the drive magnet 533. Further, the movable plate 552 is displaced so as to rotate in the XY plane by the Lorentz force generated in the opposite directions of the drive coil 582 and the drive magnet 532 and the drive coil 583 and the drive magnet 533.

例えば、駆動コイル582及び駆動用磁石532においてY1方向のローレンツ力が発生し、駆動コイル583及び駆動用磁石533においてY2方向のローレンツ力が発生するように電流が流されると、可動プレート552は、上面視で時計回り方向に回転するように変位する。また、駆動コイル582及び駆動用磁石532においてY2方向のローレンツ力が発生し、駆動コイル583及び駆動用磁石533においてY1方向のローレンツ力が発生するように電流が流されると、可動プレート552は、上面視で反時計回り方向に回転するように変位する。 For example, when a current is passed so that a Lorentz force in the Y1 direction is generated in the drive coil 582 and the drive magnet 532 and a Lorentz force in the Y2 direction is generated in the drive coil 583 and the drive magnet 533, the movable plate 552 is moved. It is displaced so as to rotate clockwise in the top view. Further, when a Lorentz force in the Y2 direction is generated in the drive coil 582 and the drive magnet 532 and a current is passed so as to generate a Lorentz force in the Y1 direction in the drive coil 583 and the drive magnet 533, the movable plate 552 moves. It is displaced so as to rotate counterclockwise when viewed from above.

また、可動プレート552には、固定ユニット51の支柱515に対応する位置に、可動範囲制限孔571が設けられている。可動範囲制限孔571は、固定ユニット51の支柱515が挿入され、例えば振動や何らかの異常等により可動プレート552が大きく移動した時に支柱515に接触することで、可動プレート552の可動範囲を制限する。 Further, the movable plate 552 is provided with a movable range limiting hole 571 at a position corresponding to the support column 515 of the fixed unit 51. The movable range limiting hole 571 limits the movable range of the movable plate 552 by contacting the column 515 when the column 515 of the fixing unit 51 is inserted and the movable plate 552 moves significantly due to vibration or some abnormality, for example.

ここで、本実施形態では、トッププレート511及びベースプレート512は、磁性材料で形成されており、ヨーク板として機能して駆動用磁石531,532,533,534及び駆動コイル581,582,583,584を含む駆動部と磁気回路を構成する。 Here, in the present embodiment, the top plate 511 and the base plate 512 are made of a magnetic material and function as a yoke plate to drive magnets 531, 532, 533, 534 and drive coils 581, 582, 583, 584. Consists of a drive unit and a magnetic circuit including.

このような構成により、駆動部において生じる磁束は、トッププレート511及びベースプレート512に集中し、トッププレート511とベースプレート512との間から外部への漏出が低減される。 With such a configuration, the magnetic flux generated in the drive unit is concentrated on the top plate 511 and the base plate 512, and leakage from between the top plate 511 and the base plate 512 to the outside is reduced.

したがって、ベースプレート512の下面側のDMD基板557に設けられているホール素子542では、駆動用磁石531,532,533,534及び駆動コイルを含む駆動部において形成される磁界の影響が低減される。したがって、ホール素子542が駆動部からの磁界の影響を受けることなく位置検出用磁石541の磁束密度変化に応じた信号を出力可能になり、駆動制御部12がDMD551の位置を高精度に把握できるようになる。 Therefore, in the Hall element 542 provided on the DMD substrate 557 on the lower surface side of the base plate 512, the influence of the magnetic field formed in the drive unit including the drive magnets 531 and 532, 533, 534 and the drive coil is reduced. Therefore, the Hall element 542 can output a signal corresponding to the change in the magnetic flux density of the position detection magnet 541 without being affected by the magnetic field from the drive unit, and the drive control unit 12 can grasp the position of the DMD 551 with high accuracy. Will be.

上記したように、駆動制御部12は、駆動部からの影響が低減されたホール素子542の出力に基づいてDMD551の位置を精度よく検出することが可能である。したがって、駆動制御部12は、駆動コイル581,582,583,584に流す電流の大きさや向きを制御することで、DMD551の位置を高精度に制御することができる。 As described above, the drive control unit 12 can accurately detect the position of the DMD 551 based on the output of the Hall element 542 in which the influence from the drive unit is reduced. Therefore, the drive control unit 12 can control the position of the DMD 551 with high accuracy by controlling the magnitude and direction of the current flowing through the drive coils 581, 582, 583, 584.

なお、駆動部としての駆動用磁石531,532,533,534及び駆動コイル581,582,583,584の数、位置等は、可動プレート552を任意の位置に移動させることが可能であれば、本実施形態とは異なる構成であってもよい。 The number, position, etc. of the drive magnets 531, 532, 533, 534 and the drive coils 581, 582, 583, 584 as the drive unit can be adjusted as long as the movable plate 552 can be moved to an arbitrary position. The configuration may be different from that of the present embodiment.

例えば、駆動用磁石をベースプレート512に設け、駆動コイルを可動プレート552のベースプレート512側の面に設けてもよい。また、駆動用磁石を可動プレート552に設け、駆動コイルをトッププレート511又はベースプレート512に駆動用磁石に対向するように設けてもよい。また、位置検出用磁石をDMD基板557に設け、ホール素子542をベースプレート512の下面に検出用磁石に対向するように設けてもよい。さらに、駆動用磁石及び駆動コイルを含む駆動部をベースプレート512とDMD基板557との間に設け、位置検出用磁石及びホール素子を含む位置検出部をトッププレート511とベースプレート512との間に設けてもよい。 For example, the driving magnet may be provided on the base plate 512, and the driving coil may be provided on the surface of the movable plate 552 on the base plate 512 side. Further, the drive magnet may be provided on the movable plate 552, and the drive coil may be provided on the top plate 511 or the base plate 512 so as to face the drive magnet. Further, the position detection magnet may be provided on the DMD substrate 557, and the Hall element 542 may be provided on the lower surface of the base plate 512 so as to face the detection magnet. Further, a drive unit including a drive magnet and a drive coil is provided between the base plate 512 and the DMD substrate 557, and a position detection unit including a position detection magnet and a Hall element is provided between the top plate 511 and the base plate 512. May be good.

ただし、何れの構成においても、可動ユニット55の重量が増えて位置制御が難しくなる可能性があるため、駆動用磁石及び位置検出用磁石は、トッププレート511又はベースプレート512に設けることが好ましい。 However, in any of the configurations, the weight of the movable unit 55 may increase and the position control may become difficult. Therefore, it is preferable that the driving magnet and the position detecting magnet are provided on the top plate 511 or the base plate 512.

また、トッププレート511及びベースプレート512は、駆動部から位置検出部への磁束の漏れを低減可能であれば、それぞれ部分的に磁性材料で形成されてもよい。例えば、トッププレート511及びベースプレート512は、磁性材料で形成された平板状又はシート状の部材を含む複数の部材が積層されることで形成されてもよい。また、ベースプレート512の少なくとも一部を磁性材料で形成してヨーク板として機能させ、駆動部から位置検出部への磁束の漏れを防ぐことが可能であれば、トッププレート511を非磁性材料で形成してもよい。 Further, the top plate 511 and the base plate 512 may be partially formed of a magnetic material as long as the leakage of magnetic flux from the drive unit to the position detection unit can be reduced. For example, the top plate 511 and the base plate 512 may be formed by laminating a plurality of members including a flat plate-shaped or sheet-shaped member made of a magnetic material. Further, if it is possible to form at least a part of the base plate 512 with a magnetic material to function as a yoke plate and prevent magnetic flux from leaking from the drive unit to the position detection unit, the top plate 511 is formed with a non-magnetic material. You may.

また、可動範囲制限孔571の数、位置及び形状等は、本実施形態に例示される構成に限られない。例えば、可動範囲制限孔571は、一つであってもよく、複数であってもよい。また、可動範囲制限孔571の形状は、例えば長方形や円形等、本実施形態とは異なる形状であってもよい。 Further, the number, position, shape, and the like of the movable range limiting holes 571 are not limited to the configurations exemplified in this embodiment. For example, the movable range limiting hole 571 may be one or a plurality. Further, the shape of the movable range limiting hole 571 may be a shape different from that of the present embodiment, such as a rectangle or a circle.

固定ユニット51によって移動可能に支持される可動プレート552の下面側(ベースプレート512側)には、図15に示されるように、結合プレート553が固定されている。結合プレート553は、平板状部材から形成され、DMD551に対応する位置に、中央孔を有し、周囲に設けられている折り曲げ部分が3本のねじ591によって可動プレート552の下面に固定されている。 As shown in FIG. 15, a coupling plate 553 is fixed to the lower surface side (base plate 512 side) of the movable plate 552 movably supported by the fixing unit 51. The coupling plate 553 is formed of a flat plate-shaped member, has a central hole at a position corresponding to the DMD 551, and a bent portion provided around the coupling plate 553 is fixed to the lower surface of the movable plate 552 by three screws 591. ..

図18は、可動プレート552が外された可動ユニット55を例示する斜視図である。 FIG. 18 is a perspective view illustrating the movable unit 55 from which the movable plate 552 has been removed.

図18に示されるように、結合プレート553には、上面側にDMD551、下面側にヒートシンク554が設けられている。結合プレート553は、可動プレート552に固定されることで、DMD551、ヒートシンク554と共に、可動プレート552に伴って固定ユニット51に対して移動可能に設けられている。 As shown in FIG. 18, the coupling plate 553 is provided with a DMD 551 on the upper surface side and a heat sink 554 on the lower surface side. The coupling plate 553 is fixed to the movable plate 552 and is provided so as to be movable with respect to the fixing unit 51 along with the movable plate 552 together with the DMD 551 and the heat sink 554.

DMD551は、DMD基板557に設けられており、DMD基板557が保持部材555と結合プレート553との間で挟み込まれることで、結合プレート553に固定されている。保持部材555、DMD基板557、結合プレート553、ヒートシンク554は、図16及び図18に示されるように、固定部材としての段付ねじ560及び押圧手段としてのばね561によって重ねて固定されている。 The DMD 551 is provided on the DMD substrate 557, and is fixed to the coupling plate 553 by sandwiching the DMD substrate 557 between the holding member 555 and the coupling plate 555. As shown in FIGS. 16 and 18, the holding member 555, the DMD substrate 557, the coupling plate 555, and the heat sink 554 are overlapped and fixed by a step screw 560 as a fixing member and a spring 561 as a pressing means.

図19は、第1の実施形態における可動ユニット55のDMD保持構造について説明する図である。図19は、可動ユニット55の側面図であり、可動プレート552及び結合プレート553は図示が省略されている。 FIG. 19 is a diagram illustrating a DMD holding structure of the movable unit 55 according to the first embodiment. FIG. 19 is a side view of the movable unit 55, and the movable plate 552 and the coupling plate 553 are not shown.

図19に示されるように、ヒートシンク554は、結合プレート553に固定された状態で、DMD基板557に設けられている貫通孔からDMD551の下面に当接する突出部554aを有する。なお、ヒートシンク554の突出部554aは、DMD基板557の下面であって、DMD551に対応する位置に当接するように設けられてもよい。 As shown in FIG. 19, the heat sink 554 has a protrusion 554a that abuts on the lower surface of the DMD 551 from a through hole provided in the DMD substrate 557 in a state of being fixed to the coupling plate 535. The protruding portion 554a of the heat sink 554 may be provided on the lower surface of the DMD substrate 557 so as to abut at a position corresponding to the DMD 551.

また、DMD551の冷却効果を高めるために、ヒートシンク554の突出部554aとDMD551との間に、弾性変形可能な伝熱シートが設けられてもよい。伝熱シートにより、ヒートシンク554の突出部554aとDMD551との間の熱伝導性が向上し、ヒートシンク554によるDMD551の冷却効果が向上する。 Further, in order to enhance the cooling effect of the DMD 551, an elastically deformable heat transfer sheet may be provided between the protruding portion 554a of the heat sink 554 and the DMD 551. The heat transfer sheet improves the thermal conductivity between the protrusion 554a of the heat sink 554 and the DMD 551, and improves the cooling effect of the DMD 551 by the heat sink 554.

上記したように、保持部材555、DMD基板557、ヒートシンク554は、段付きねじ560及びばね561によって重ねて固定されている。段付きねじ560が締められると、ばね561がZ1Z2方向に圧縮され、図17に示されるZ1方向の力F1が、ばね561から生じる。ばね561から生じる力F1により、ヒートシンク554はZ1方向に力F2でDMD551に押圧されることになる。 As described above, the holding member 555, the DMD substrate 557, and the heat sink 554 are overlapped and fixed by the stepped screw 560 and the spring 561. When the stepped screw 560 is tightened, the spring 561 is compressed in the Z1Z2 direction, and the force F1 in the Z1 direction shown in FIG. 17 is generated from the spring 561. The force F1 generated from the spring 561 causes the heat sink 554 to be pressed against the DMD 551 by the force F2 in the Z1 direction.

本実施形態では、段付きねじ560及びばね561は、4箇所に設けられており、ヒートシンク554にかかる力F2は、4つのばね561に生じる力F1を合成したものに等しい。また、ヒートシンク554からの力F2は、DMD551が設けられているDMD基板557を保持する保持部材555に作用する。この結果、保持部材555には、ヒートシンク554からの力F2に相当するZ2方向の反力F3が生じ、保持部材555と結合プレート553との間でDMD基板557を保持できるようになる。 In the present embodiment, the stepped screw 560 and the spring 561 are provided at four positions, and the force F2 applied to the heat sink 554 is equal to the combined force F1 generated by the four springs 561. Further, the force F2 from the heat sink 554 acts on the holding member 555 that holds the DMD substrate 557 on which the DMD 551 is provided. As a result, a reaction force F3 in the Z2 direction corresponding to the force F2 from the heat sink 554 is generated in the holding member 555, and the DMD substrate 557 can be held between the holding member 555 and the coupling plate 555.

段付きねじ560及びばね561には、保持部材555に生じる力F3からZ2方向の力F4が作用する。ばね561は、4箇所に設けられているため、それぞれに作用する力F4は、保持部材555に生じる力F3の4分の1に相当し、力F1と釣り合うことになる。 A force F4 in the Z2 direction from the force F3 generated on the holding member 555 acts on the stepped screw 560 and the spring 561. Since the springs 561 are provided at four positions, the force F4 acting on each of them corresponds to a quarter of the force F3 generated on the holding member 555 and is balanced with the force F1.

また、保持部材555は、図19において矢印Bで示されるように撓むことが可能な部材で板ばね状に形成されている。保持部材555は、ヒートシンク554の突出部554aに押圧されて撓み、ヒートシンク554をZ2方向に押し返す力が生じることで、DMD551とヒートシンク554との接触をより強固に保つことができる。 Further, the holding member 555 is a member capable of bending as shown by an arrow B in FIG. 19, and is formed in a leaf spring shape. The holding member 555 is pressed by the protruding portion 554a of the heat sink 554 and bends, and a force is generated that pushes the heat sink 554 back in the Z2 direction, so that the contact between the DMD 551 and the heat sink 554 can be kept stronger.

可動ユニット55は、以上で説明したように、可動プレート552と、DMD551及びヒートシンク554を有する結合プレート553とが、固定ユニット51によって移動可能に支持されている。可動ユニット55の位置は、システムコントロール部10の駆動制御部12によって制御される。また、可動ユニット55には、DMD551に当接するヒートシンク554が設けられており、DMD551の温度上昇に起因する動作不良や故障といった不具合の発生が防止されている。 As described above, in the movable unit 55, the movable plate 552 and the coupling plate 553 having the DMD 551 and the heat sink 554 are movably supported by the fixed unit 51. The position of the movable unit 55 is controlled by the drive control unit 12 of the system control unit 10. Further, the movable unit 55 is provided with a heat sink 554 that abuts on the DMD 551 to prevent problems such as malfunction and failure due to the temperature rise of the DMD 551.

<画像投影>
上記したように、本実施形態に係るプロジェクタ1において、投影画像を生成するDMD551は、可動ユニット55に設けられており、システムコントロール部10の駆動制御部12によって可動ユニット55と共に位置が制御される。
<Image projection>
As described above, in the projector 1 according to the present embodiment, the DMD 551 that generates the projected image is provided in the movable unit 55, and the position is controlled together with the movable unit 55 by the drive control unit 12 of the system control unit 10. ..

駆動制御部12は、例えば、画像投影時にフレームレートに対応する所定の周期で、DMD551の複数のマイクロミラーの配列間隔未満の距離だけ離れた複数の位置の間を高速移動するように可動ユニット55の位置を制御する。このとき、画像制御部11は、それぞれの位置に応じてシフトした投影画像を生成するように、DMD551に画像信号を送信する。 For example, the drive control unit 12 moves at high speed between a plurality of positions separated by a distance less than the array spacing of the plurality of micromirrors of the DMD 551 at a predetermined cycle corresponding to the frame rate at the time of image projection. Control the position of. At this time, the image control unit 11 transmits an image signal to the DMD 551 so as to generate a projected image shifted according to each position.

例えば、駆動制御部12は、X1X2方向及びY1Y2方向にDMD551のマイクロミラーの配列間隔未満の距離だけ離れた位置P1と位置P2との間で、DMD551を所定の周期で往復移動させる。このとき、画像制御部11が、それぞれの位置に応じてシフトした投影画像を生成するように、DMD551を制御することで、投影画像の解像度を、DMD551の解像度の約2倍にすることが可能になる。また、DMD551の移動位置を増やすことで、投影画像の解像度をDMD551の2倍以上にすることもできる。 For example, the drive control unit 12 reciprocates the DMD 551 in the X1X2 direction and the Y1Y2 direction at a predetermined cycle between the position P1 and the position P2 separated by a distance less than the arrangement interval of the micromirrors of the DMD551. At this time, the resolution of the projected image can be made about twice the resolution of the DMD 551 by controlling the DMD 551 so that the image control unit 11 generates the projected image shifted according to each position. become. Further, by increasing the moving position of the DMD 551, the resolution of the projected image can be made more than twice that of the DMD 551.

このように、駆動制御部12が可動ユニット55と共にDMD551を所定の周期で移動させ、画像制御部11がDMD551に位置に応じた投影画像を生成させることで、DMD551の解像度以上の画像を投影することが可能になる。 In this way, the drive control unit 12 moves the DMD 551 together with the movable unit 55 at a predetermined cycle, and the image control unit 11 causes the DMD 551 to generate a projected image according to the position, thereby projecting an image having a resolution higher than that of the DMD 551. Will be possible.

また、本実施形態に係るプロジェクタ1では、駆動制御部12がDMD551を可動ユニット55と共に回転するように制御することで、投影画像を縮小させることなく回転させることができる。例えばDMD551等の画像生成手段が固定されているプロジェクタでは、投影画像を縮小させなければ、投影画像の縦横比を維持しながら回転させることはできない。これに対して、本実施形態に係るプロジェクタ1では、DMD551を回転させることができるため、投影画像を縮小させることなく回転させて傾き等の調整を行うことが可能になっている。 Further, in the projector 1 according to the present embodiment, the drive control unit 12 controls the DMD 551 to rotate together with the movable unit 55, so that the projected image can be rotated without being reduced. For example, in a projector such as DMD551 in which an image generation means is fixed, the projected image cannot be rotated while maintaining the aspect ratio unless the projected image is reduced. On the other hand, in the projector 1 according to the present embodiment, since the DMD 551 can be rotated, it is possible to rotate the projected image without reducing it to adjust the tilt and the like.

以上で説明したように、本実施形態に係るプロジェクタ1では、DMD551が移動可能に構成されることで、投影画像の高解像度化が可能になっている。また、DMD551を冷却するヒートシンク554が、DMD551と共に可動ユニット55に搭載されていることで、DMD551に当接し、より効率的に冷却することが可能になり、DMD551の温度上昇が抑制されている。したがって、プロジェクタ1では、DMD551の温度上昇に起因して発生する動作不良や故障といった不具合が低減される。 As described above, in the projector 1 according to the present embodiment, the DMD 551 is configured to be movable, so that the resolution of the projected image can be increased. Further, since the heat sink 554 for cooling the DMD 551 is mounted on the movable unit 55 together with the DMD 551, it comes into contact with the DMD 551 and can be cooled more efficiently, and the temperature rise of the DMD 551 is suppressed. Therefore, in the projector 1, defects such as malfunctions and failures caused by the temperature rise of the DMD 551 are reduced.

さらに、本実施形態では、トッププレート511及びベースプレート512が、駆動用磁石及び駆動コイルを含む駆動部において生じる磁束の外部への漏れを防ぐヨーク板として機能する。このため、ベースプレート512の下面側のDMD基板557に設けられているホール素子542が、駆動部において生じる磁界の影響を受けることなく、位置検出用磁石541の磁束密度変化に応じた信号を出力可能になっている。したがって、駆動制御部12は、ホール素子542の出力に基づいて高速シフトするDMD551の位置を高精度に検出することが可能であり、DMD551の位置を精度良く制御することができる。 Further, in the present embodiment, the top plate 511 and the base plate 512 function as a yoke plate for preventing the leakage of magnetic flux generated in the drive unit including the drive magnet and the drive coil to the outside. Therefore, the Hall element 542 provided on the DMD substrate 557 on the lower surface side of the base plate 512 can output a signal corresponding to the change in the magnetic flux density of the position detection magnet 541 without being affected by the magnetic field generated in the drive unit. It has become. Therefore, the drive control unit 12 can detect the position of the DMD 551 that shifts at high speed based on the output of the Hall element 542 with high accuracy, and can control the position of the DMD 551 with high accuracy.

〔第2の実施形態〕
次に、第2の実施形態について図面に基づいて説明する。なお、既に説明した実施形態と同一構成部分についての説明は省略する。
[Second Embodiment]
Next, the second embodiment will be described with reference to the drawings. The description of the same components as those of the above-described embodiment will be omitted.

図20は、第2の実施形態における画像生成ユニット70を例示する斜視図である。図21は、第2の実施形態における画像生成ユニット70を例示する分解斜視図である。また、図22は、第2の実施形態における画像生成ユニット70を例示する分解側面図である。図示する例において、画像生成ユニット70は、可動装置に、画像生成部の例であるDMD751を配置した画像形成装置である。 FIG. 20 is a perspective view illustrating the image generation unit 70 in the second embodiment. FIG. 21 is an exploded perspective view illustrating the image generation unit 70 in the second embodiment. Further, FIG. 22 is an exploded side view illustrating the image generation unit 70 in the second embodiment. In the illustrated example, the image generation unit 70 is an image forming device in which DMD751 which is an example of the image generation unit is arranged in a movable device.

図20に示されるように、画像生成ユニット70は、固定ユニット71、可動ユニット72を有する。固定ユニット71は、プロジェクタ1の照明光学系ユニット40に固定支持される。可動ユニット72は、固定ユニット71に移動可能に支持されている。 As shown in FIG. 20, the image generation unit 70 has a fixed unit 71 and a movable unit 72. The fixed unit 71 is fixedly supported by the illumination optical system unit 40 of the projector 1. The movable unit 72 is movably supported by the fixed unit 71.

固定ユニット71は、図20から図22に示されるように、第1固定板としてのトッププレート711、第2固定板としてのベースプレート712を有する。トッププレート711とベースプレート712とは、複数の支柱731によって所定の間隙を介して平行になるように連結されている。 As shown in FIGS. 20 to 22, the fixing unit 71 has a top plate 711 as a first fixing plate and a base plate 712 as a second fixing plate. The top plate 711 and the base plate 712 are connected by a plurality of columns 731 so as to be parallel to each other through a predetermined gap.

可動ユニット72は、図20から図22に示されるように、可動板としての可動プレート721、可動部としてのヒートシンク722を有し、固定ユニット71に移動可能に支持されている。ヒートシンク722には、DMD751が設けられている。 As shown in FIGS. 20 to 22, the movable unit 72 has a movable plate 721 as a movable plate and a heat sink 722 as a movable portion, and is movably supported by the fixed unit 71. A DMD751 is provided on the heat sink 722.

可動プレート721は、固定ユニット71のトッププレート711とベースプレート712との間に設けられている。可動プレート721は、トッププレート711及びベースプレート712に、それぞれ回転可能に保持されている複数の支持球体732によって、第1の実施形態と同様の構成で移動可能に支持される。 The movable plate 721 is provided between the top plate 711 and the base plate 712 of the fixing unit 71. The movable plate 721 is movably supported by a plurality of support spheres 732 rotatably held on the top plate 711 and the base plate 712, respectively, in the same configuration as in the first embodiment.

ヒートシンク722は、固定ユニット71のベースプレート712を間に挟んで可動プレート721に固定されている。ヒートシンク722には、図20及び図22に示されるように、トッププレート711から上方に突出する突出部722aが、設けられている。DMD751は、ヒートシンク722の突出部722aの上面に設けられている。 The heat sink 722 is fixed to the movable plate 721 with the base plate 712 of the fixing unit 71 sandwiched between them. As shown in FIGS. 20 and 22, the heat sink 722 is provided with a protruding portion 722a projecting upward from the top plate 711. The DMD751 is provided on the upper surface of the protrusion 722a of the heat sink 722.

トッププレート711の可動プレート721側の面には、図21及び図22に示されるように、複数の駆動用磁石725が設けられている。また、可動プレート721のトッププレート711側の面には、図21に示されるように、それぞれ駆動用磁石725に対向するように複数の駆動コイル726が設けられている。駆動用磁石725及び駆動コイル726は、可動プレート721を移動させる駆動部を構成する。 As shown in FIGS. 21 and 22, a plurality of driving magnets 725 are provided on the surface of the top plate 711 on the movable plate 721 side. Further, as shown in FIG. 21, a plurality of drive coils 726 are provided on the surface of the movable plate 721 on the top plate 711 side so as to face each of the drive magnets 725. The drive magnet 725 and the drive coil 726 form a drive unit for moving the movable plate 721.

駆動コイル726に電流が流されると、駆動用磁石725によって形成される磁界により、可動プレート721を移動させる駆動力となるローレンツ力が発生する。可動プレート721は、駆動用磁石725と駆動コイル726との間で発生するローレンツ力を受けて、固定ユニット71に対して、XY平面において直線的又は回転するように変位する。 When a current is passed through the drive coil 726, the magnetic field formed by the drive magnet 725 generates a Lorentz force that is a drive force for moving the movable plate 721. The movable plate 721 receives the Lorentz force generated between the drive magnet 725 and the drive coil 726, and is displaced with respect to the fixed unit 71 so as to be linear or rotational in the XY plane.

ベースプレート712の下面には、図21及び図22に示されるように、位置検出用磁石741が複数箇所に設けられている。また、ヒートシンク722の上面には、それぞれ位置検出用磁石741に対向するように、複数のホール素子742が設けられている。 As shown in FIGS. 21 and 22, position detection magnets 741 are provided at a plurality of locations on the lower surface of the base plate 712. Further, a plurality of Hall elements 742 are provided on the upper surface of the heat sink 722 so as to face each of the position detection magnets 741.

位置検出用磁石741及びホール素子742は、DMD751の位置を検出する位置検出部を構成する。ホール素子742は、位置検出用磁石741からの磁束密度の変化に応じた信号をシステムコントロール部10の駆動制御部12に送信する。駆動制御部12は、ホール素子742から送信される信号に基づいてDMD751の位置を検出し、検出結果に基づいて駆動部を制御して可動ユニット72を移動させる。 The position detection magnet 741 and the Hall element 742 form a position detection unit that detects the position of the DMD 751. The Hall element 742 transmits a signal corresponding to the change in the magnetic flux density from the position detection magnet 741 to the drive control unit 12 of the system control unit 10. The drive control unit 12 detects the position of the DMD 751 based on the signal transmitted from the Hall element 742, and controls the drive unit based on the detection result to move the movable unit 72.

ここで、本実施形態におけるトッププレート711及びベースプレート712は、例えば鉄、ステンレス鋼等の磁性材料で形成され、ヨーク板として機能する。トッププレート711及びベースプレート712は、磁性材料で形成されてヨーク板として機能することで、駆動用磁石725及び駆動コイル726を含む駆動部との間で磁気回路を構成する。このような構成により、駆動部において発生する磁束は、トッププレート711及びベースプレート712に集中し、トッププレート711とベースプレート712との間から外部への漏出が低減される。 Here, the top plate 711 and the base plate 712 in the present embodiment are formed of a magnetic material such as iron or stainless steel, and function as a yoke plate. The top plate 711 and the base plate 712 are formed of a magnetic material and function as a yoke plate to form a magnetic circuit between the drive magnet 725 and the drive unit including the drive coil 726. With such a configuration, the magnetic flux generated in the drive unit is concentrated on the top plate 711 and the base plate 712, and leakage from between the top plate 711 and the base plate 712 to the outside is reduced.

したがって、ベースプレート712の下面側のヒートシンク722に設けられているホール素子742では、駆動用磁石725及び駆動コイル724を含む駆動部からの磁界の影響が低減される。したがって、ホール素子742が駆動部からの磁界の影響を受けることなく位置検出用磁石741からの磁束密度変化に応じた信号を出力可能になり、駆動制御部12がDMD751の位置を高精度に把握できるようになる。 Therefore, in the Hall element 742 provided on the heat sink 722 on the lower surface side of the base plate 712, the influence of the magnetic field from the drive unit including the drive magnet 725 and the drive coil 724 is reduced. Therefore, the Hall element 742 can output a signal corresponding to the change in the magnetic flux density from the position detection magnet 741 without being affected by the magnetic field from the drive unit, and the drive control unit 12 grasps the position of the DMD 751 with high accuracy. become able to.

以上で説明したように、第2の実施形態における画像生成ユニット70では、駆動部からホール素子742への影響が低減され、DMD751の位置を高精度に検出することが可能になる。 As described above, in the image generation unit 70 according to the second embodiment, the influence of the drive unit on the Hall element 742 is reduced, and the position of the DMD 751 can be detected with high accuracy.

なお、駆動部としての駆動用磁石725及び駆動コイル726の数、位置等は、可動ユニット72を任意の位置に移動させることが可能であれば、本実施形態とは異なる構成であってもよい。また、駆動用磁石725をベースプレート712に設け、可動プレート721のベースプレート712側の面に駆動コイル726を設けてもよい。駆動用磁石725を可動プレート721に設け、駆動コイル726をトッププレート711又はベースプレート712に設けてもよい。 The number, position, and the like of the drive magnet 725 and the drive coil 726 as the drive unit may be different from those of the present embodiment as long as the movable unit 72 can be moved to an arbitrary position. .. Further, the drive magnet 725 may be provided on the base plate 712, and the drive coil 726 may be provided on the surface of the movable plate 721 on the base plate 712 side. The driving magnet 725 may be provided on the movable plate 721, and the driving coil 726 may be provided on the top plate 711 or the base plate 712.

また、位置検出用磁石741をヒートシンク722に設け、ホール素子742をベースプレート712のヒートシンク722側の面に設けてもよい。さらに、駆動用磁石725及び駆動コイル726を含む駆動部をベースプレート712とヒートシンク722との間に設け、位置検出用磁石741及びホール素子742を含む位置検出部をトッププレート711とベースプレート712との間に設けてもよい。 Further, the position detection magnet 741 may be provided on the heat sink 722, and the Hall element 742 may be provided on the surface of the base plate 712 on the heat sink 722 side. Further, a drive unit including the drive magnet 725 and the drive coil 726 is provided between the base plate 712 and the heat sink 722, and a position detection unit including the position detection magnet 741 and the Hall element 742 is provided between the top plate 711 and the base plate 712. It may be provided in.

また、トッププレート711及びベースプレート712は、駆動部から位置検出部への磁束の漏れを低減可能であれば、それぞれ部分的に磁性材料で形成されてもよい。例えば、トッププレート711及びベースプレート712は、磁性材料で形成された平板状又はシート状の部材を含む複数の部材が積層されることで形成されてもよい。また、ベースプレート712の少なくとも一部を磁性材料で形成してヨーク板として機能させ、駆動部から位置検出部への磁束の漏れを防ぐことが可能であれば、トッププレート711を非磁性材料で形成してもよい。 Further, the top plate 711 and the base plate 712 may be partially formed of a magnetic material as long as the leakage of magnetic flux from the drive unit to the position detection unit can be reduced. For example, the top plate 711 and the base plate 712 may be formed by laminating a plurality of members including a flat plate-shaped or sheet-shaped member made of a magnetic material. Further, if it is possible to form at least a part of the base plate 712 with a magnetic material to function as a yoke plate and prevent leakage of magnetic flux from the drive unit to the position detection unit, the top plate 711 is formed of a non-magnetic material. You may.

〔第3の実施形態〕
次に、第3の実施形態について図面に基づいて説明する。なお、既に説明した実施形態と同一構成部分についての説明は省略する。
[Third Embodiment]
Next, the third embodiment will be described with reference to the drawings. The description of the same components as those of the above-described embodiment will be omitted.

図23は、第3の実施形態における画像生成ユニット80を例示する斜視図である。図24は、第3の実施形態における画像生成ユニット80を例示する分解斜視図である。また、図25は、第3の実施形態における画像生成ユニット80を例示する分解側面図である。図示する例において、画像生成ユニット80は、可動装置に、画像生成部の例であるDMD851を配置した画像形成装置である。 FIG. 23 is a perspective view illustrating the image generation unit 80 according to the third embodiment. FIG. 24 is an exploded perspective view illustrating the image generation unit 80 according to the third embodiment. Further, FIG. 25 is an exploded side view illustrating the image generation unit 80 in the third embodiment. In the illustrated example, the image generation unit 80 is an image forming device in which DMD851, which is an example of the image generation unit, is arranged in a movable device.

図23に示されるように、画像生成ユニット80は、固定ユニット81、可動ユニット82を有する。固定ユニット81は、プロジェクタ1の照明光学系ユニット40に固定支持される。可動ユニット82は、固定ユニット81に移動可能に支持されている。なお、可動ユニット82には、例えば、DMD851の熱を放熱して冷却する放熱部としてヒートシンクが設けられてもよい。 As shown in FIG. 23, the image generation unit 80 has a fixed unit 81 and a movable unit 82. The fixed unit 81 is fixedly supported by the illumination optical system unit 40 of the projector 1. The movable unit 82 is movably supported by the fixed unit 81. The movable unit 82 may be provided with a heat sink as a heat radiating portion that dissipates and cools the heat of the DMD 851, for example.

固定ユニット81は、図23から図25に示されるように、第1固定板としてのベースプレート811、第2固定板としてのトッププレート812を有する。ベースプレート811とトッププレート812とは、複数の支柱831によって、所定の間隙を介して平行になるように連結されている。 As shown in FIGS. 23 to 25, the fixing unit 81 has a base plate 811 as a first fixing plate and a top plate 812 as a second fixing plate. The base plate 811 and the top plate 812 are connected by a plurality of columns 831 so as to be parallel to each other through a predetermined gap.

可動ユニット82は、図23から図25に示されるように、可動板としての可動プレート821、可動部としてのDMD基板822を有し、固定ユニット81に移動可能に支持されている。DMD基板822には、DMD851が設けられている。 As shown in FIGS. 23 to 25, the movable unit 82 has a movable plate 821 as a movable plate and a DMD substrate 822 as a movable portion, and is movably supported by the fixed unit 81. A DMD851 is provided on the DMD substrate 822.

可動プレート821は、固定ユニット81のベースプレート811とトッププレート812との間に設けられている。可動プレート821は、ベースプレート811及びトッププレート812にそれぞれ回転可能に保持されている複数の支持球体832によって、第1の実施形態と同様の構成で移動可能に支持される。 The movable plate 821 is provided between the base plate 811 and the top plate 812 of the fixing unit 81. The movable plate 821 is movably supported by a plurality of support spheres 832, which are rotatably held by the base plate 811 and the top plate 812, respectively, in the same configuration as in the first embodiment.

DMD基板822は、固定ユニット81のトッププレート812を間に挟んで可動プレート821に固定されている。DMD851は、DMD基板822の上面に設けられている。 The DMD substrate 822 is fixed to the movable plate 821 with the top plate 812 of the fixing unit 81 sandwiched between them. The DMD851 is provided on the upper surface of the DMD substrate 822.

トッププレート812の可動プレート821側の面には、図24及び図25に示されるように、複数の駆動用磁石825が設けられている。また、可動プレート821のトッププレート812側の面には、図24に示されるように、それぞれ駆動用磁石825に対向するように複数の駆動コイル826が設けられている。駆動用磁石825及び駆動コイル826は、可動ユニット82を移動させる駆動部を構成する。 As shown in FIGS. 24 and 25, a plurality of driving magnets 825 are provided on the surface of the top plate 812 on the movable plate 821 side. Further, as shown in FIG. 24, a plurality of drive coils 826 are provided on the surface of the movable plate 821 on the top plate 812 side so as to face each of the drive magnets 825. The drive magnet 825 and the drive coil 826 form a drive unit for moving the movable unit 82.

駆動コイル826に電流が流されると、駆動用磁石825によって形成される磁界により、可動ユニット82を移動させる駆動力となるローレンツ力が発生する。可動ユニット82は、駆動用磁石825と駆動コイル826との間で発生するローレンツ力を受けて、固定ユニット81に対して、XY平面において直線的又は回転するように変位する。 When a current is passed through the drive coil 826, the magnetic field formed by the drive magnet 825 generates a Lorentz force that is a drive force for moving the movable unit 82. The movable unit 82 receives the Lorentz force generated between the drive magnet 825 and the drive coil 826, and is displaced with respect to the fixed unit 81 so as to be linear or rotational in the XY plane.

トッププレート812の上面には、図24及び図25に示されるように、位置検出用磁石841が複数箇所に設けられている。また、DMD基板822の下面には、それぞれ位置検出用磁石841に対向するように、複数のホール素子842が設けられている。 As shown in FIGS. 24 and 25, position detection magnets 841 are provided at a plurality of locations on the upper surface of the top plate 812. Further, a plurality of Hall elements 842 are provided on the lower surface of the DMD substrate 822 so as to face each of the position detection magnets 841.

位置検出用磁石841及びホール素子842は、DMD851の位置を検出する位置検出部を構成する。ホール素子842は、位置検出用磁石841からの磁束密度の変化に応じた信号をシステムコントロール部10の駆動制御部12に送信する。駆動制御部12は、ホール素子842から送信される信号に基づいてDMD851の位置を検出し、検出結果に基づいて駆動部を制御して可動ユニット82を移動させる。 The position detection magnet 841 and the Hall element 842 constitute a position detection unit that detects the position of the DMD 851. The Hall element 842 transmits a signal corresponding to the change in the magnetic flux density from the position detection magnet 841 to the drive control unit 12 of the system control unit 10. The drive control unit 12 detects the position of the DMD 851 based on the signal transmitted from the Hall element 842, and controls the drive unit based on the detection result to move the movable unit 82.

ここで、本実施形態におけるベースプレート811及びトッププレート812は、例えば鉄、ステンレス鋼等の磁性材料で形成され、ヨーク板として機能し、駆動用磁石825及び駆動コイル826を含む駆動部との間で磁気回路を構成する。このような構成により、駆動部において発生する磁束は、ベースプレート811及びトッププレート812に集中し、ベースプレート811とトッププレート812との間から外部への漏出が低減される。 Here, the base plate 811 and the top plate 812 in the present embodiment are formed of a magnetic material such as iron or stainless steel, function as a yoke plate, and are connected to a drive unit including a drive magnet 825 and a drive coil 826. It constitutes a magnetic circuit. With such a configuration, the magnetic flux generated in the drive unit is concentrated on the base plate 811 and the top plate 812, and leakage from between the base plate 811 and the top plate 812 to the outside is reduced.

したがって、トッププレート812の上面側のDMD基板822に設けられているホール素子842では、駆動用磁石825及び駆動コイル824を含む駆動部からの磁界の影響が低減される。したがって、ホール素子842が、駆動部からの影響を受けることなく、位置検出用磁石841からの磁束密度変化に応じた信号を出力可能になり、駆動制御部12が、DMD851の位置を高精度に把握できるようになる。 Therefore, in the Hall element 842 provided on the DMD substrate 822 on the upper surface side of the top plate 812, the influence of the magnetic field from the drive unit including the drive magnet 825 and the drive coil 824 is reduced. Therefore, the Hall element 842 can output a signal corresponding to the change in the magnetic flux density from the position detection magnet 841 without being affected by the drive unit, and the drive control unit 12 can accurately position the DMD851. You will be able to grasp.

以上で説明したように、第3の実施形態における画像生成ユニット80では、駆動部からホール素子842への影響が低減され、DMD851の位置を高精度に検出することが可能になる。 As described above, in the image generation unit 80 according to the third embodiment, the influence of the drive unit on the Hall element 842 is reduced, and the position of the DMD 851 can be detected with high accuracy.

なお、駆動部としての駆動用磁石825及び駆動コイル826の数、位置等は、可動ユニット82を任意の位置に移動させることが可能であれば、本実施形態とは異なる構成であってもよい。また、駆動用磁石825をベースプレート811に設け、可動プレート821のベースプレート811側の面に駆動コイル826を設けてもよい。また、駆動用磁石825を可動プレート821に設け、駆動コイル826をベースプレート811又はトッププレート812に設けてもよい。 The number, position, etc. of the drive magnet 825 and the drive coil 826 as the drive unit may be different from those of the present embodiment as long as the movable unit 82 can be moved to an arbitrary position. .. Further, the drive magnet 825 may be provided on the base plate 811, and the drive coil 826 may be provided on the surface of the movable plate 821 on the base plate 811 side. Further, the drive magnet 825 may be provided on the movable plate 821, and the drive coil 826 may be provided on the base plate 811 or the top plate 812.

また、位置検出用磁石841をDMD基板822に設け、ホール素子842をトッププレート812のDMD基板822側の面に設けてもよい。さらに、駆動用磁石825及び駆動コイル826を含む駆動部をDMD基板822とトッププレート812との間に設け、位置検出用磁石841及びホール素子842を含む位置検出部をベースプレート811とトッププレート812との間に設けてもよい。 Further, the position detection magnet 841 may be provided on the DMD substrate 822, and the Hall element 842 may be provided on the surface of the top plate 812 on the DMD substrate 822 side. Further, a drive unit including a drive magnet 825 and a drive coil 826 is provided between the DMD substrate 822 and the top plate 812, and a position detection unit including a position detection magnet 841 and a Hall element 842 is provided between the base plate 811 and the top plate 812. It may be provided between.

また、ベースプレート811及びトッププレート812は、駆動部から位置検出部への磁束の漏れを低減可能であれば、それぞれ部分的に磁性材料で形成されてもよい。例えば、ベースプレート811及びトッププレート812は、磁性材料で形成された平板状又はシート状の部材を含む複数の部材が積層されることで形成されてもよい。また、トッププレート812の少なくとも一部を磁性材料で形成してヨーク板として機能させ、駆動部から位置検出部への磁束の漏れを防ぐことが可能であれば、ベースプレート811を非磁性材料で形成してもよい。 Further, the base plate 811 and the top plate 812 may be partially formed of a magnetic material as long as the leakage of magnetic flux from the drive unit to the position detection unit can be reduced. For example, the base plate 811 and the top plate 812 may be formed by laminating a plurality of members including a flat plate-shaped or sheet-shaped member made of a magnetic material. Further, if it is possible to form at least a part of the top plate 812 with a magnetic material to function as a yoke plate and prevent magnetic flux from leaking from the drive unit to the position detection unit, the base plate 811 is formed with a non-magnetic material. You may.

〔変形例〕
可動装置は、以下のような構成でもよい。例えば、第1の実施形態において、まず、トッププレート511のベースプレート512側には、駆動用磁石531、532、533及び534に代えて、複数の位置検出用磁石541が配置される。一方で、可動プレート552のトッププレート511側には、駆動コイル581、582、583及び584に代えて、複数のホール素子542が配置される。
[Modification example]
The movable device may have the following configuration. For example, in the first embodiment, first, a plurality of position detection magnets 541 are arranged on the base plate 512 side of the top plate 511 instead of the driving magnets 531, 532, 533, and 534. On the other hand, on the top plate 511 side of the movable plate 552, a plurality of Hall elements 542 are arranged in place of the drive coils 581, 582, 583 and 584.

そして、ベースプレート512のDMD基板557側には、複数の位置検出用磁石541に代えて、駆動用磁石531、532、533及び534が配置される。一方で、DMD基板557のベースプレート512側には、複数のホール素子542に代えて、駆動コイル581、582、583及び584が配置される。可動装置は、以上のような構成でもよい。 Then, on the DMD substrate 557 side of the base plate 512, drive magnets 531, 532, 533 and 534 are arranged in place of the plurality of position detection magnets 541. On the other hand, drive coils 581, 582, 583 and 584 are arranged on the base plate 512 side of the DMD substrate 557 instead of the plurality of Hall elements 542. The movable device may have the above configuration.

さらに、第2の実施形態において、トッププレート711のベースプレート712側には、複数の駆動用磁石725に代えて、複数の位置検出用磁石741が配置される。一方で、可動プレート721のトッププレート711側には、複数の駆動コイル726に代えて、複数のホール素子742が配置される。 Further, in the second embodiment, a plurality of position detection magnets 741 are arranged on the base plate 712 side of the top plate 711 instead of the plurality of drive magnets 725. On the other hand, on the top plate 711 side of the movable plate 721, a plurality of Hall elements 742 are arranged in place of the plurality of drive coils 726.

そして、ベースプレート712のヒートシンク722側には、複数の位置検出用磁石741に代えて、複数の駆動用磁石725が配置される。一方で、ヒートシンク722のベースプレート712側には、複数のホール素子742に代えて、複数の駆動コイル726が配置される。可動装置は、以上のような構成でもよい。 Then, on the heat sink 722 side of the base plate 712, a plurality of drive magnets 725 are arranged in place of the plurality of position detection magnets 741. On the other hand, on the base plate 712 side of the heat sink 722, a plurality of drive coils 726 are arranged instead of the plurality of Hall elements 742. The movable device may have the above configuration.

さらにまた、第3の実施の形態において、トッププレート812のベースプレート811側には、複数の駆動用磁石825に代えて、複数の位置検出用磁石841が配置される。一方で、可動プレート821のトッププレート812側には、複数の駆動コイル826に代えて、複数のホール素子842が配置される。 Furthermore, in the third embodiment, a plurality of position detection magnets 841 are arranged on the base plate 811 side of the top plate 812 instead of the plurality of drive magnets 825. On the other hand, on the top plate 812 side of the movable plate 821, a plurality of Hall elements 842 are arranged in place of the plurality of drive coils 826.

そして、トッププレート812のDMD基板822側には、複数の位置検出用磁石841に代えて、複数の駆動用磁石825が配置される。一方で、DMD基板822のベースプレート811側には、複数のホール素子842に代えて、複数の駆動コイル826が配置される。可動装置は、以上のような構成でもよい。 Then, on the DMD substrate 822 side of the top plate 812, a plurality of drive magnets 825 are arranged in place of the plurality of position detection magnets 841. On the other hand, on the base plate 811 side of the DMD substrate 822, a plurality of drive coils 826 are arranged instead of the plurality of Hall elements 842. The movable device may have the above configuration.

他にも、各実施形態において、第1対の例となる駆動用磁石及び駆動コイル等の駆動力発生機構の対は、対向配置であればよく、説明した配置と逆の配置であってもよい。 In addition, in each embodiment, the pair of the driving force generating mechanism such as the driving magnet and the driving coil, which is the first pair example, may be arranged so as to face each other, and may be arranged in the opposite direction to the arrangement described. Good.

同様に、第2対の例となる位置検出用磁石及びホール素子等の位置検出機構の対は、対向配置であればよく、説明した配置と逆の配置であってもよい。 Similarly, the pair of the position detection mechanism such as the position detection magnet and the Hall element, which is an example of the second pair, may be arranged so as to face each other, and may be arranged in the opposite direction to the arrangement described.

具体的には、第3の実施の形態において、まず、トッププレート812のベースプレート811側には、複数の駆動用磁石825に代えて、複数の駆動コイル826が配置される。一方で、可動プレート821のトッププレート812側には、複数の駆動コイル826に代えて、複数の駆動用磁石825が配置される。また、トッププレート812のDMD基板822側には、複数の位置検出用磁石841に代えて、複数のホール素子842が配置される。さらに、DMD基板822のベースプレート811側には、複数のホール素子842に代えて、複数の位置検出用磁石841が配置されてもよい。 Specifically, in the third embodiment, first, a plurality of drive coils 826 are arranged on the base plate 811 side of the top plate 812 instead of the plurality of drive magnets 825. On the other hand, on the top plate 812 side of the movable plate 821, a plurality of drive magnets 825 are arranged instead of the plurality of drive coils 826. Further, on the DMD substrate 822 side of the top plate 812, a plurality of Hall elements 842 are arranged in place of the plurality of position detection magnets 841. Further, on the base plate 811 side of the DMD substrate 822, a plurality of position detection magnets 841 may be arranged instead of the plurality of Hall elements 842.

すなわち、可動装置は、第2固定板と、可動部との間に、第1対又は第2対のいずれかを設ける。そして、可動板と、固定ユニットの間には、第2固定板と、可動部との間に設けられる対とは異なる対が設けられる。 That is, the movable device is provided with either a first pair or a second pair between the second fixing plate and the movable portion. Then, a pair different from the pair provided between the second fixing plate and the movable portion is provided between the movable plate and the fixing unit.

具体的には、第2固定板に、位置検出用磁石が設けられた場合には、対向配置の位置となる可動部には、磁気センサが設けられる。このようにして、第2固定板と、可動部との間に、まず、第2対が設けられる。そして、第1固定板に、駆動用磁石が設けられる。そして、駆動用磁石対向配置の位置となる可動板に、駆動コイルが配置される。このようにして、可動板と、固定ユニットの間に、第1対が設けられる。 Specifically, when the position detection magnet is provided on the second fixing plate, a magnetic sensor is provided on the movable portion that is in the opposite arrangement position. In this way, first, a second pair is provided between the second fixing plate and the movable portion. Then, a driving magnet is provided on the first fixing plate. Then, the drive coil is arranged on the movable plate which is positioned so as to face the drive magnet. In this way, the first pair is provided between the movable plate and the fixed unit.

また、第2固定板と、可動部との間に、第2対が設けられた場合には、第1対は、可動板と、第2固定板との間に設けられてもよい。具体的には、可動板に、駆動コイルが設けられる。そして、第2固定板に、駆動用磁石が設けられる。 Further, when the second pair is provided between the second fixing plate and the movable portion, the first pair may be provided between the movable plate and the second fixing plate. Specifically, a drive coil is provided on the movable plate. Then, a driving magnet is provided on the second fixing plate.

一方で、第1対は、第2固定板と、可動部との間に設けられてもよい。この場合には、第2対が、第1固定板と、可動板との間又は可動板と、第2固定板との間に設けられる。 On the other hand, the first pair may be provided between the second fixing plate and the movable portion. In this case, a second pair is provided between the first fixing plate and the movable plate or between the movable plate and the second fixing plate.

以上、実施形態に係る可動装置、画像投影システム、画像生成装置及び画像投影装置について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内で種々の変形及び改良が可能である。 Although the movable device, the image projection system, the image generation device, and the image projection device according to the embodiment have been described above, the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications and improvements are made within the scope of the present invention. Is possible.

1 プロジェクタ(画像投影装置)
10 システムコントロール部
100 可動装置
11 画像制御部
12 駆動制御部
30 光源
40 照明光学系ユニット
50,70,80 画像生成ユニット(画像生成装置)
51,71,81 固定ユニット
55,72,82 可動ユニット
60 投影光学系ユニット(投影部)
511,711 トッププレート(第1固定板)
512,712 ベースプレート(第2固定板)
531,532,533,534,725,825 駆動用磁石
541,741,841 位置検出用磁石
581,582,583,584,726,826 駆動コイル
542,742,842 ホール素子(磁気センサ)
551,751,851 DMD(画像生成部)
552,721,821 可動プレート(可動板)
554 ヒートシンク(放熱部)
557,822 DMD基板(可動部)
722 ヒートシンク(可動部)
811 ベースプレート(第1固定板)
812 トッププレート(第2固定板)
1 Projector (image projection device)
10 System control unit 100 Movable device 11 Image control unit 12 Drive control unit 30 Light source 40 Illumination optical system unit 50, 70, 80 Image generation unit (image generation device)
51, 71, 81 Fixed unit 55, 72, 82 Movable unit 60 Projection optical system unit (projection unit)
511 and 711 Top plate (first fixing plate)
512,712 base plate (second fixing plate)
531,532,533,534,725,825 Drive magnet 541,741,841 Position detection magnet 581,582,583,584,726,826 Drive coil 542,742,842 Hall element (magnetic sensor)
551,751,851 DMD (image generator)
552,721,821 Movable plate (Movable plate)
554 heat sink (heat dissipation part)
557,822 DMD board (moving part)
722 Heat sink (moving part)
811 base plate (first fixing plate)
812 Top plate (second fixing plate)

特開2004−180011号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2004-180011

Claims (9)

第1固定板と、磁性材料で形成された第2固定板とを含む固定ユニットと、
前記第1固定板と、前記第2固定板との間に移動可能に支持されている可動板及び前記第2固定板を間に挟んで前記可動板に固定されている可動部を含む可動ユニットと、
前記固定ユニットと、前記可動板とに対向配置されている駆動力発生機構となる第1対又は位置検出機構となる第2対のいずれかと、
前記固定ユニットと、前記可動部とに対向配置されている前記第1対又は前記第2対と、
前記可動ユニットに設けられた画像生成部と、を有し、
前記可動部は、前記可動板と固定される結合板を有し、
前記画像生成部と前記結合板とは重ねて固定されている
ことを特徴とする画像生成装置
A fixing unit including a first fixing plate and a second fixing plate made of a magnetic material,
A movable unit including a movable plate movably supported between the first fixing plate and the second fixing plate, and a movable portion fixed to the movable plate with the second fixing plate sandwiched between them. When,
Either the fixed unit and the first pair serving as the driving force generating mechanism or the second pair serving as the position detecting mechanism are arranged so as to face the movable plate.
The fixed unit and the first pair or the second pair arranged to face the movable portion,
It has an image generation unit provided in the movable unit, and has
The movable portion has a connecting plate fixed to the movable plate, and has a connecting plate.
The image generator and the connecting plate are overlapped and fixed.
An image generator characterized by this .
前記第1対は、前記第1固定板と、前記可動板との間又は前記可動板と、前記第2固定板との間に設けられ、
前記第2対は、前記第2固定板と、前記可動部との間に設けられている
ことを特徴とする請求項1に記載の画像生成装置
The first pair is provided between the first fixing plate and the movable plate or between the movable plate and the second fixing plate.
The image generation device according to claim 1, wherein the second pair is provided between the second fixing plate and the movable portion.
前記第2対は、位置検出用磁石及び磁気センサであり、
前記位置検出用磁石は、前記第2固定板に設けられ、
前記磁気センサは、前記可動部に設けられている
ことを特徴とする請求項2に記載の画像生成装置
The second pair is a position detection magnet and a magnetic sensor.
The position detection magnet is provided on the second fixing plate and is provided on the second fixing plate.
The image generation device according to claim 2, wherein the magnetic sensor is provided in the movable portion.
前記第1対は、駆動用磁石及び駆動コイルであり、
前記駆動用磁石は、前記第1固定板又は前記第2固定板に設けられ、
前記駆動コイルは、前記可動板に設けられている
ことを特徴とする請求項2又は3に記載の画像生成装置
The first pair is a driving magnet and a driving coil.
The driving magnet is provided on the first fixing plate or the second fixing plate.
The image generation device according to claim 2 or 3, wherein the drive coil is provided on the movable plate.
前記第1固定板は、少なくとも一部が磁性材料で形成されている
ことを特徴とする請求項2から4の何れか一項に記載の画像生成装置
The image generating apparatus according to any one of claims 2 to 4, wherein the first fixing plate is formed of at least a part of a magnetic material.
前記第2対は、前記第1固定板と、前記可動板との間又は前記可動板と、前記第2固定板との間に設けられ、
前記第1対は、前記第2固定板と、前記可動部との間に設けられている
ことを特徴とする請求項1に記載の画像生成装置
The second pair is provided between the first fixing plate and the movable plate or between the movable plate and the second fixing plate.
The image generation device according to claim 1, wherein the first pair is provided between the second fixing plate and the movable portion.
前記可動部は、前記画像生成部の熱を放熱する放熱部を有する
ことを特徴とする請求項1から6の何れか一項に記載の画像生成装置。
The image generating apparatus according to any one of claims 1 to 6, wherein the movable portion has a heat radiating portion that dissipates heat from the image generating portion.
前記画像生成部は、格子状に配列された複数のミラーを有し、
前記可動ユニットを移動させる駆動部と、
所定の周期で前記複数のミラーの配列間隔未満の距離を移動させるように、前記駆動部を制御する駆動制御部と、を有する
ことを特徴とする請求項1から7の何れか一項に記載の画像生成装置。
The image generation unit has a plurality of mirrors arranged in a grid pattern.
The drive unit that moves the movable unit and
The invention according to any one of claims 1 to 7, wherein the drive control unit controls the drive unit so as to move a distance less than the arrangement interval of the plurality of mirrors in a predetermined cycle. Image generator.
請求項1から8の何れか一項に記載の画像生成装置と、
前記画像生成部により生成された画像を投影する投影部と、を有する
ことを特徴とする画像投影装置。
The image generator according to any one of claims 1 to 8 .
An image projection device comprising a projection unit for projecting an image generated by the image generation unit.
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