JP6822080B2 - Image generation unit and image projection device - Google Patents

Image generation unit and image projection device Download PDF

Info

Publication number
JP6822080B2
JP6822080B2 JP2016218514A JP2016218514A JP6822080B2 JP 6822080 B2 JP6822080 B2 JP 6822080B2 JP 2016218514 A JP2016218514 A JP 2016218514A JP 2016218514 A JP2016218514 A JP 2016218514A JP 6822080 B2 JP6822080 B2 JP 6822080B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
unit
movable
drive
image
plate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2016218514A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2017167510A (en
Inventor
晃尚 三川
晃尚 三川
正道 山田
正道 山田
嘉人 細藤
嘉人 細藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ricoh Co Ltd filed Critical Ricoh Co Ltd
Priority to US15/443,152 priority Critical patent/US20170272718A1/en
Priority to CN201710137826.6A priority patent/CN107197219B/en
Publication of JP2017167510A publication Critical patent/JP2017167510A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6822080B2 publication Critical patent/JP6822080B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Description

本発明は、画像生成ユニット及び画像投影装置に関する。 The present invention relates to images produced unit and an image projection apparatus.

例えばＰＣ等から入力される画像データに基づいて生成した画像をスクリーン等に投影する画像投影装置が実用化されている。 For example, an image projection device that projects an image generated based on image data input from a PC or the like onto a screen or the like has been put into practical use.

このような画像投影装置において、例えば、表示素子の複数の画素から発せられる光線に対して光軸をシフトさせて画素ずらしを行うことで、表示素子の解像度よりも高解像度化した画像を表示する方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。 In such an image projection device, for example, by shifting the optical axis with respect to light rays emitted from a plurality of pixels of the display element and shifting the pixels, an image having a resolution higher than the resolution of the display element is displayed. The method is known (see, for example, Patent Document 1).

特許文献１に係る画像投影装置のように画素ずらしを行うことで画像の高解像度化を図る場合、表示素子の画素ピッチ未満の微小距離で画素を高速シフトさせる必要がある。ここで、画像投影装置に用いられる表示素子は、高画素化及び高密度化が進んでいる。したがって、このような表示素子を用いて画素ずらしを行い、画像の更なる高解像度化を図るためには、投影画像のシフト動作をより高精度且つ安定的に行う必要がある。 When the resolution of an image is increased by shifting the pixels as in the image projection device according to Patent Document 1, it is necessary to shift the pixels at high speed at a minute distance less than the pixel pitch of the display element. Here, the display elements used in the image projection apparatus are becoming higher in pixel count and higher in density. Therefore, in order to shift the pixels using such a display element and further increase the resolution of the image, it is necessary to perform the shift operation of the projected image with higher accuracy and stability.

本発明は上記に鑑みてなされたものであって、投影画像のシフト動作の精度及び安定性を高めることが可能な移動装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above, and an object of the present invention is to provide a moving device capable of improving the accuracy and stability of the shifting operation of a projected image.

本発明の一態様に係る画像生成ユニットによれば、
対向配置された第１固定板と第２固定板とを備える固定ユニットと、
前記固定ユニットの内側に一部が配置され、前記固定ユニットの外側に他部が配置された可動ユニットと、を有しており、
前記可動ユニットの重心位置は、前記固定ユニットの外側にあり、
対で作動する駆動部の一方は、前記第１固定板と前記第２固定板のうちの前記可動ユニットの重心に近い方に配置され、
前記駆動部の他方は、前記駆動部の一方に対向配置となるように前記可動ユニットの前記他部に配置され、
前記駆動部は、
駆動用磁石と、前記駆動用磁石に対向して設けられ、通電されることで駆動力を生成する駆動コイルとを有し、
前記可動ユニットは、
画像生成部が配置され、前記一部に含まれる可動板と、前記画像生成部の熱を放熱し、前記他部に含まれる放熱部とを有し、
前記可動板と前記放熱部との間に前記第２固定板が配置され、
前記駆動部を構成する前記駆動用磁石及び前記駆動コイルの一方は、前記第２固定板に配置され、
前記駆動用磁石及び前記駆動コイルの他方は、前記放熱部に配置されていることを特徴とする移動装置を備えている。 According to the image generation unit according to one aspect of the present invention.
A fixing unit having a first fixing plate and a second fixing plate arranged to face each other,
It has a movable unit in which a part is arranged inside the fixed unit and another part is arranged outside the fixed unit.
The position of the center of gravity of the movable unit is on the outside of the fixed unit.
One of the drive units that operate in pairs is arranged closer to the center of gravity of the movable unit among the first fixing plate and the second fixing plate.
The other part of the drive unit is arranged in the other part of the movable unit so as to face one of the drive units .
The drive unit
It has a drive magnet and a drive coil provided facing the drive magnet and generating a driving force by being energized.
The movable unit is
An image generating unit is arranged, and has a movable plate included in the part thereof and a heat radiating unit included in the other part by dissipating heat from the image generating unit.
The second fixing plate is arranged between the movable plate and the heat radiating portion.
One of the driving magnet and the driving coil constituting the driving unit is arranged on the second fixing plate.
The other side of the driving magnet and the driving coil includes a moving device characterized in that it is arranged in the heat radiating portion.

本発明の実施形態によれば、投影画像のシフト動作の精度及び安定性を高めることが可能な移動装置が提供される。 According to an embodiment of the present invention, there is provided a moving device capable of improving the accuracy and stability of the shift operation of the projected image.

第１の実施形態における画像投影装置を例示する図である。It is a figure which illustrates the image projection apparatus in 1st Embodiment. 第１の実施形態における画像投影装置の構成を例示するブロック図である。It is a block diagram which illustrates the structure of the image projection apparatus in 1st Embodiment. 第１の実施形態における光学エンジンの斜視図である。It is a perspective view of the optical engine in 1st Embodiment. 第１の実施形態における照明光学系ユニットを例示する図である。It is a figure which illustrates the illumination optical system unit in 1st Embodiment. 第１の実施形態における投影光学系ユニットの内部構成を例示する図である。It is a figure which illustrates the internal structure of the projection optical system unit in 1st Embodiment. 第１の実施形態における移動装置、画像生成ユニットの斜視図である。It is a perspective view of the moving device and the image generation unit in 1st Embodiment. 第１の実施形態における移動装置、画像生成ユニットの側面図である。It is a side view of the moving device and the image generation unit in 1st Embodiment. 第１の実施形態における固定ユニットの分解斜視図である。It is an exploded perspective view of the fixed unit in 1st Embodiment. 第１の実施形態における固定ユニットによる可動プレートの支持構造について説明する図である。It is a figure explaining the support structure of the movable plate by the fixed unit in 1st Embodiment. 第１の実施形態における可動ユニットの分解斜視図である。It is an exploded perspective view of the movable unit in 1st Embodiment. 第１の実施形態における可動ユニットの側面図である。It is a side view of the movable unit in 1st Embodiment. 第１の実施形態における駆動部を含む構成を例示する分解斜視図である。It is an exploded perspective view which illustrates the structure including the drive part in 1st Embodiment. 第１の実施形態における可動ユニットの駆動力作用点を例示する図である。It is a figure which illustrates the driving force action point of the movable unit in 1st Embodiment. 第１の実施形態におけるヒートシンクを例示する図である。It is a figure which illustrates the heat sink in 1st Embodiment. 第１の実施形態における位置検出部を含む構成を例示する分解斜視図である。It is an exploded perspective view which illustrates the structure including the position detection part in 1st Embodiment. 第１の実施形態における位置検出部を含む構成を例示する分解側面図である。It is an exploded side view which illustrates the structure including the position detection part in 1st Embodiment. 第２の実施形態における移動装置、画像生成ユニットを例示する分解側面図である。It is an exploded side view which illustrates the moving device and the image generation unit in 2nd Embodiment.

以下、図面を参照して発明を実施するための形態について説明する。各図面において、同一構成部分には同一符号を付し、重複した説明を省略する場合がある。 Hereinafter, modes for carrying out the invention will be described with reference to the drawings. In each drawing, the same components may be designated by the same reference numerals and duplicate description may be omitted.

［第１の実施形態］
＜画像投影装置の構成＞
図１は、実施形態におけるプロジェクタ１を例示する図である。 [First Embodiment]
<Configuration of image projection device>
FIG. 1 is a diagram illustrating the projector 1 in the embodiment.

プロジェクタ１は、画像投影装置の一例であり、出射窓３、外部Ｉ／Ｆ９を有し、投影画像を生成する光学エンジンが内部に設けられている。プロジェクタ１は、例えば外部Ｉ／Ｆ９に接続されるパソコンやデジタルカメラから画像データが送信されると、光学エンジンが送信された画像データに基づいて投影画像を生成し、図１に示されるように出射窓３からスクリーンＳに画像Ｐを投影する。 The projector 1 is an example of an image projection device, which has an exit window 3 and an external I / F9, and is provided with an optical engine for generating a projected image inside. When image data is transmitted from, for example, a personal computer or a digital camera connected to an external I / F9, the projector 1 generates a projected image based on the transmitted image data by the optical engine, as shown in FIG. The image P is projected from the exit window 3 onto the screen S.

なお、以下に示す図面において、Ｘ１Ｘ２方向はプロジェクタ１の幅方向、Ｙ１Ｙ２方向はプロジェクタ１の奥行き方向、Ｚ１Ｚ２方向はプロジェクタ１の高さ方向である。また、以下では、プロジェクタ１の出射窓３側を上、出射窓３とは反対側を下として説明する場合がある。 In the drawings shown below, the X1X2 direction is the width direction of the projector 1, the Y1Y2 direction is the depth direction of the projector 1, and the Z1Z2 direction is the height direction of the projector 1. Further, in the following, the projector 1 may be described with the exit window 3 side as the upper side and the side opposite to the exit window 3 as the lower side.

図２は、第１の実施形態におけるプロジェクタ１の構成を例示するブロック図である。 FIG. 2 is a block diagram illustrating the configuration of the projector 1 according to the first embodiment.

図２に示されるように、プロジェクタ１は、電源４、メインスイッチＳＷ５、操作部７、外部Ｉ／Ｆ９、システムコントロール部１０、ファン２０、光学エンジン１５を有する。 As shown in FIG. 2, the projector 1 includes a power supply 4, a main switch SW5, an operation unit 7, an external I / F9, a system control unit 10, a fan 20, and an optical engine 15.

電源４は、商用電源に接続され、プロジェクタ１の内部回路用に電圧及び周波数を変換して、システムコントロール部１０、ファン２０、光学エンジン１５等に給電する。 The power supply 4 is connected to a commercial power supply, converts voltage and frequency for the internal circuit of the projector 1, and supplies power to the system control unit 10, the fan 20, the optical engine 15, and the like.

メインスイッチＳＷ５は、ユーザによるプロジェクタ１のＯＮ／ＯＦＦ操作に用いられる。電源４が電源コード等を介して商用電源に接続された状態でメインスイッチＳＷ５がＯＮに操作されると、電源４がプロジェクタ１の各部への給電を開始する。また、メインスイッチＳＷ５がＯＦＦに操作されると、電源４がプロジェクタ１の各部への給電を停止する。 The main switch SW5 is used for the ON / OFF operation of the projector 1 by the user. When the main switch SW5 is turned ON while the power supply 4 is connected to a commercial power supply via a power cord or the like, the power supply 4 starts supplying power to each part of the projector 1. Further, when the main switch SW5 is operated to OFF, the power supply 4 stops the power supply to each part of the projector 1.

操作部７は、ユーザによる各種操作を受け付けるボタン等であり、例えばプロジェクタ１の上面に設けられている。操作部７は、例えば投影画像の大きさ、色調、ピント調整等のユーザによる操作を受け付ける。操作部７が受け付けたユーザ操作は、システムコントロール部１０に送られる。 The operation unit 7 is a button or the like that receives various operations by the user, and is provided on, for example, the upper surface of the projector 1. The operation unit 7 accepts user operations such as the size, color tone, and focus adjustment of the projected image. The user operation received by the operation unit 7 is sent to the system control unit 10.

外部Ｉ／Ｆ９は、例えばパソコン、デジタルカメラ等に接続される接続端子を有し、接続された機器から送信される画像データをシステムコントロール部１０に出力する。 The external I / F 9 has a connection terminal connected to, for example, a personal computer, a digital camera, or the like, and outputs image data transmitted from the connected device to the system control unit 10.

システムコントロール部１０は、画像制御部１１、駆動制御部１２を有する。システムコントロール部１０は、例えばＣＰＵ，ＲＯＭ，ＲＡＭ等を含む。システムコントロール部１０の各機能は、ＣＰＵがＲＡＭと協働してＲＯＭに記憶されているプログラムを実行することで実現される。 The system control unit 10 includes an image control unit 11 and a drive control unit 12. The system control unit 10 includes, for example, a CPU, ROM, RAM, and the like. Each function of the system control unit 10 is realized by the CPU collaborating with the RAM to execute a program stored in the ROM.

画像制御部１１は、外部Ｉ／Ｆ９から入力される画像データに基づいて光学エンジン１５の画像生成ユニット５０に設けられているデジタルマイクロミラーデバイスＤＭＤ（Digital Micromirror Device（以下、単に「ＤＭＤ」という））５５１を制御し、スクリーンＳに投影する画像を生成する。 The image control unit 11 is a digital micromirror device (hereinafter, simply referred to as “DMD”) provided in the image generation unit 50 of the optical engine 15 based on the image data input from the external I / F9. ) 551 is controlled to generate an image to be projected on the screen S.

駆動制御部１２は、画像生成ユニット５０において移動可能に設けられている可動ユニット５５を移動させる駆動部を制御し、可動ユニット５５に設けられているＤＭＤ５５１の位置を制御する。 The drive control unit 12 controls a drive unit that moves the movable unit 55 that is movably provided in the image generation unit 50, and controls the position of the DMD 551 that is provided in the movable unit 55.

ファン２０は、システムコントロール部１０に制御されて回転し、光学エンジン１５の光源３０を冷却する。 The fan 20 is controlled by the system control unit 10 to rotate, and cools the light source 30 of the optical engine 15.

光学エンジン１５は、光源３０、照明光学系ユニット４０、画像生成ユニット５０、投影光学系ユニット６０を有し、システムコントロール部１０に制御されてスクリーンＳに画像を投影する。 The optical engine 15 has a light source 30, an illumination optical system unit 40, an image generation unit 50, and a projection optical system unit 60, and is controlled by the system control unit 10 to project an image on the screen S.

光源３０は、例えば水銀高圧ランプ、キセノンランプ、ＬＥＤ等であり、システムコントロール部１０により制御され、照明光学系ユニット４０に光を照射する。 The light source 30 is, for example, a mercury high-pressure lamp, a xenon lamp, an LED, or the like, and is controlled by the system control unit 10 to irradiate the illumination optical system unit 40 with light.

照明光学系ユニット４０は、例えばカラーホイール、ライトトンネル、リレーレンズ等を有し、光源３０から照射された光を画像生成ユニット５０に設けられているＤＭＤ５５１に導く。 The illumination optical system unit 40 has, for example, a color wheel, a light tunnel, a relay lens, and the like, and guides the light emitted from the light source 30 to the DMD 551 provided in the image generation unit 50.

画像生成ユニット５０は、固定支持されている固定ユニット５１、固定ユニット５１に移動可能に支持される可動ユニット５５を有する。可動ユニット５５は、ＤＭＤ５５１を有し、システムコントロール部１０の駆動制御部１２によって固定ユニット５１に対する位置が制御される。ＤＭＤ５５１は、画像生成部の一例であり、システムコントロール部１０の画像制御部１１により制御され、照明光学系ユニット４０によって導かれた光を変調して投影画像を生成する。 The image generation unit 50 has a fixed unit 51 that is fixedly supported and a movable unit 55 that is movably supported by the fixed unit 51. The movable unit 55 has a DMD 551, and the position of the system control unit 10 with respect to the fixed unit 51 is controlled by the drive control unit 12. The DMD 551 is an example of an image generation unit, which is controlled by the image control unit 11 of the system control unit 10 and modulates the light guided by the illumination optical system unit 40 to generate a projected image.

投影光学系ユニット６０は、投影部の一例であり、例えば複数の投射レンズ、ミラー等を有し、画像生成ユニット５０のＤＭＤ５５１によって生成される画像を拡大してスクリーンＳに投影する。 The projection optical system unit 60 is an example of a projection unit, and has, for example, a plurality of projection lenses, mirrors, and the like, and magnifies an image generated by the DMD 551 of the image generation unit 50 and projects it on the screen S.

＜光学エンジンの構成＞
次に、プロジェクタ１の光学エンジン１５の各部の構成について説明する。 <Optical engine configuration>
Next, the configuration of each part of the optical engine 15 of the projector 1 will be described.

図３は、第１の実施形態における光学エンジン１５を例示する斜視図である。光学エンジン１５は、図３に示されるように、光源３０、照明光学系ユニット４０、画像生成ユニット５０、投影光学系ユニット６０を有し、プロジェクタ１の内部に設けられている。 FIG. 3 is a perspective view illustrating the optical engine 15 according to the first embodiment. As shown in FIG. 3, the optical engine 15 has a light source 30, an illumination optical system unit 40, an image generation unit 50, and a projection optical system unit 60, and is provided inside the projector 1.

光源３０は、照明光学系ユニット４０の側面に設けられ、Ｘ２方向に光を照射する。照明光学系ユニット４０は、光源３０から照射された光を、下部に設けられている画像生成ユニット５０に導く。画像生成ユニット５０は、照明光学系ユニット４０によって導かれた光を用いて投影画像を生成する。投影光学系ユニット６０は、照明光学系ユニット４０の上部に設けられ、画像生成ユニット５０によって生成された投影画像をプロジェクタ１の外部に投影する。 The light source 30 is provided on the side surface of the illumination optical system unit 40 and irradiates light in the X2 direction. The illumination optical system unit 40 guides the light emitted from the light source 30 to the image generation unit 50 provided at the lower part. The image generation unit 50 generates a projected image using the light guided by the illumination optical system unit 40. The projection optical system unit 60 is provided above the illumination optical system unit 40, and projects the projected image generated by the image generation unit 50 to the outside of the projector 1.

なお、本実施形態に係る光学エンジン１５は、光源３０から照射される光を用いて上方に画像を投影するように構成されているが、水平方向に画像を投影するような構成であってもよい。 The optical engine 15 according to the present embodiment is configured to project an image upward using the light emitted from the light source 30, but the optical engine 15 may be configured to project an image in the horizontal direction. Good.

［照明光学系ユニット］
図４は、第１の実施形態における照明光学系ユニット４０を例示する図である。 [Illumination optical system unit]
FIG. 4 is a diagram illustrating the illumination optical system unit 40 in the first embodiment.

図４に示されるように、照明光学系ユニット４０は、カラーホイール４０１、ライトトンネル４０２、リレーレンズ４０３，４０４、シリンダミラー４０５、凹面ミラー４０６を有する。 As shown in FIG. 4, the illumination optical system unit 40 includes a color wheel 401, a light tunnel 402, relay lenses 403 and 404, a cylinder mirror 405, and a concave mirror 406.

カラーホイール４０１は、例えば周方向の異なる部分にＲ（レッド）、Ｇ（グリーン）、Ｂ（ブルー）の各色のフィルタが設けられている円盤である。カラーホイール４０１は、高速回転することで、光源３０から照射される光をＲＧＢ各色に時分割する。 The color wheel 401 is, for example, a disk in which filters of each color of R (red), G (green), and B (blue) are provided in different portions in the circumferential direction. The color wheel 401 rotates at high speed to time-divide the light emitted from the light source 30 into RGB colors.

ライトトンネル４０２は、例えば板ガラス等の貼り合わせによって四角筒状に形成されている。ライトトンネル４０２は、カラーホイール４０１を透過したＲＧＢ各色の光を、内面で多重反射することで輝度分布を均一化してリレーレンズ４０３，４０４に導く。 The light tunnel 402 is formed in a square tubular shape by, for example, laminating flat glass or the like. The light tunnel 402 multi-reflects the light of each RGB color transmitted through the color wheel 401 on the inner surface to make the brightness distribution uniform and guide the light to the relay lenses 403 and 404.

リレーレンズ４０３，４０４は、ライトトンネル４０２から出射された光の軸上色収差を補正しつつ集光する。 The relay lenses 403 and 404 collect the light emitted from the light tunnel 402 while correcting the axial chromatic aberration.

シリンダミラー４０５及び凹面ミラー４０６は、リレーレンズ４０３，４０４から出射された光を、画像生成ユニット５０に設けられているＤＭＤ５５１に反射する。ＤＭＤ５５１は、凹面ミラー４０６からの反射光を変調して投影画像を生成する。 The cylinder mirror 405 and the concave mirror 406 reflect the light emitted from the relay lenses 403 and 404 to the DMD 551 provided in the image generation unit 50. The DMD 551 modulates the reflected light from the concave mirror 406 to generate a projected image.

［投影光学系ユニット］
図５は、第１の実施形態における投影光学系ユニット６０の内部構成を例示する図である。 [Projection optical system unit]
FIG. 5 is a diagram illustrating the internal configuration of the projection optical system unit 60 according to the first embodiment.

図５に示されるように、投影光学系ユニット６０は、投影レンズ６０１、折り返しミラー６０２、曲面ミラー６０３がケースの内部に設けられている。 As shown in FIG. 5, the projection optical system unit 60 includes a projection lens 601, a folded mirror 602, and a curved mirror 603 inside the case.

投影レンズ６０１は、複数のレンズを有し、画像生成ユニット５０のＤＭＤ５５１によって生成された投影画像を、折り返しミラー６０２に結像させる。折り返しミラー６０２及び曲面ミラー６０３は、結像された投影画像を拡大するように反射して、プロジェクタ１の外部のスクリーンＳ等に投影する。 The projection lens 601 has a plurality of lenses, and the projected image generated by the DMD 551 of the image generation unit 50 is formed on the folded mirror 602. The folded mirror 602 and the curved mirror 603 reflect the imaged projected image so as to enlarge it, and project it onto a screen S or the like outside the projector 1.

［画像生成ユニット］
図６は、第１の実施形態における画像生成ユニット５０、移動装置１００の斜視図である。また、図７は、第１の実施形態における画像生成ユニット５０、移動装置１００の側面図である。 [Image generation unit]
FIG. 6 is a perspective view of the image generation unit 50 and the moving device 100 according to the first embodiment. Further, FIG. 7 is a side view of the image generation unit 50 and the moving device 100 in the first embodiment.

図６及び図７に示されるように、移動装置１００、および移動装置１００の可動プレート５５２にＤＭＤ５５１を設けた画像生成ユニット５０は、固定ユニット５１、可動ユニット５５を有する。固定ユニット５１は、照明光学系ユニット４０に固定支持される。可動ユニット５５は、固定ユニット５１に移動可能に支持される。 As shown in FIGS. 6 and 7, the moving device 100 and the image generation unit 50 in which the DMD 551 is provided on the movable plate 552 of the moving device 100 have a fixed unit 51 and a movable unit 55. The fixed unit 51 is fixedly supported by the illumination optical system unit 40. The movable unit 55 is movably supported by the fixed unit 51.

固定ユニット５１は、第１固定板としてのトッププレート５１１、第２固定板としてのベースプレート５１２を有する。トッププレート５１１及びベースプレート５１２は、所定の間隙を介して平行に設けられている。固定ユニット５１は、図６に示されている４本のねじ５２０によって照明光学系ユニット４０の下部に固定される。 The fixing unit 51 has a top plate 511 as a first fixing plate and a base plate 512 as a second fixing plate. The top plate 511 and the base plate 512 are provided in parallel with a predetermined gap. The fixing unit 51 is fixed to the lower part of the illumination optical system unit 40 by the four screws 520 shown in FIG.

可動ユニット５５は、ＤＭＤ５５１、可動ユニット５５の一部に含まれる可動プレート５５２とＤＭＤ基板５５３、可動ユニット５５の他部に含まれるＤＭＤ５５１の熱を放熱して冷却する放熱部５５６を有し、固定ユニット５１に移動可能に支持されている。放熱部５５６はヒートシンク５５４の一部を構成する。ヒートシンク５５４は、可動ユニット５５の他部に含まれてよい。なお、可動プレート５５２とＤＭＤ基板５５３とは、可動板を構成する。可動板は、可動プレート５５２とＤＭＤ基板５５３の何れか一であってよい。可動ユニット５５の重心位置は、固定ユニット５１の外側に配されている。 The movable unit 55 has a DMD 551, a movable plate 552 included in a part of the movable unit 55, a DMD substrate 553, and a heat radiating portion 556 that dissipates and cools the heat of the DMD 551 contained in the other part of the movable unit 55, and is fixed. It is movably supported by the unit 51. The heat radiating unit 556 forms a part of the heat sink 554. The heat sink 554 may be included in the other part of the movable unit 55. The movable plate 552 and the DMD substrate 553 form a movable plate. The movable plate may be any one of the movable plate 552 and the DMD substrate 553. The position of the center of gravity of the movable unit 55 is arranged outside the fixed unit 51.

第２可動板としてのＤＭＤ５５１は、ＤＭＤ基板５５３の上面に設けられている。ＤＭＤ５５１は、可動式の複数のマイクロミラーが格子状に配列された画像生成面を有する。ＤＭＤ５５１の各マイクロミラーは、鏡面がねじれ軸周りに傾動可能に設けられており、システムコントロール部１０の画像制御部１１から送信される画像信号に基づいてＯＮ／ＯＦＦ駆動される。 The DMD 551 as the second movable plate is provided on the upper surface of the DMD substrate 553. The DMD551 has an image generation surface in which a plurality of movable micromirrors are arranged in a grid pattern. Each micromirror of the DMD551 is provided with a mirror surface that can be tilted around a twist axis, and is driven ON / OFF based on an image signal transmitted from the image control unit 11 of the system control unit 10.

マイクロミラーは、例えば「ＯＮ」の場合には、光源３０からの光を投影光学系ユニット６０に反射するように傾斜角度が制御される。また、マイクロミラーは、例えば「ＯＦＦ」の場合には、光源３０からの光を不図示のＯＦＦ光板に向けて反射する方向に傾斜角度が制御される。 When the micromirror is "ON", for example, the tilt angle is controlled so as to reflect the light from the light source 30 to the projection optical system unit 60. Further, when the micromirror is "OFF", for example, the inclination angle is controlled in the direction in which the light from the light source 30 is reflected toward the OFF light plate (not shown).

このように、ＤＭＤ５５１は、画像制御部１１から送信される画像信号によって各マイクロミラーの傾斜角度が制御され、光源３０から照射されて照明光学系ユニット４０に導かれた光を変調して投影画像を生成する。 In this way, the DMD 551 modifies the tilt angle of each micromirror by the image signal transmitted from the image control unit 11 and modulates the light emitted from the light source 30 and guided to the illumination optical system unit 40 to produce a projected image. To generate.

可動プレート５５２は、固定ユニット５１のトッププレート５１１とベースプレート５１２との間で支持され、表面に平行な方向に移動可能に設けられている。 The movable plate 552 is supported between the top plate 511 and the base plate 512 of the fixing unit 51, and is provided so as to be movable in a direction parallel to the surface.

ＤＭＤ基板５５３は、トッププレート５１１とベースプレート５１２との間に設けられ、可動プレート５５２の下面側に連結されている。ＤＭＤ基板５５３は、上面にＤＭＤ５５１が設けられ、移動可能に設けられている可動プレート５５２と共に変位する。 The DMD substrate 553 is provided between the top plate 511 and the base plate 512, and is connected to the lower surface side of the movable plate 552. The DMD substrate 553 is provided with the DMD 551 on the upper surface and is displaced together with the movable plate 552 provided so as to be movable.

ヒートシンク５５４は、ＤＭＤ５５１において生じた熱を放熱する。ヒートシンク５５４がＤＭＤ５５１の温度上昇を抑制することで、ＤＭＤ５５１の温度上昇による動作不良や故障等といった不具合の発生が低減される。ヒートシンク５５４は、可動プレート５５２及びＤＭＤ基板５５３と共に移動可能に設けられることで、ＤＭＤ５５１において生じた熱を常時放熱することが可能になっている。 The heat sink 554 dissipates the heat generated in the DMD 551. By suppressing the temperature rise of the DMD 551 by the heat sink 554, the occurrence of problems such as malfunctions and failures due to the temperature rise of the DMD 551 is reduced. The heat sink 554 is movably provided together with the movable plate 552 and the DMD substrate 553, so that the heat generated in the DMD 551 can be dissipated at all times.

（固定ユニット）
図８は、第１の実施形態における固定ユニット５１の分解斜視図である。 (Fixed unit)
FIG. 8 is an exploded perspective view of the fixed unit 51 according to the first embodiment.

図８に示されるように、固定ユニット５１は、トッププレート５１１、ベースプレート５１２を有する。 As shown in FIG. 8, the fixing unit 51 has a top plate 511 and a base plate 512.

トッププレート５１１及びベースプレート５１２は、例えば、鉄、ステンレス鋼等の磁性材料で形成された平板状部材である。トッププレート５１１とベースプレート５１２とは、複数の支柱５１５によって所定の間隙を介して平行に設けられている。 The top plate 511 and the base plate 512 are flat plate-shaped members made of a magnetic material such as iron or stainless steel. The top plate 511 and the base plate 512 are provided in parallel by a plurality of columns 515 with a predetermined gap.

トッププレート５１１には、可動ユニット５５のＤＭＤ５５１に対向する位置に中央孔５１４が設けられている。また、ベースプレート５１２には、ＤＭＤ５５１に対向する位置にヒートシンク５５４の伝熱部が挿通される伝熱孔５１９が設けられている。 The top plate 511 is provided with a central hole 514 at a position facing the DMD 551 of the movable unit 55. Further, the base plate 512 is provided with a heat transfer hole 519 through which a heat transfer portion of the heat sink 554 is inserted at a position facing the DMD 551.

支柱５１５は、上端部がトッププレート５１１の支柱孔５１６に挿入され、下端部がベースプレート５１２の支柱孔５１７に挿入される。支柱５１５は、トッププレート５１１とベースプレート５１２との間に一定の間隔を形成し、トッププレート５１１とベースプレート５１２とを平行に支持する。 The upper end of the support 515 is inserted into the support hole 516 of the top plate 511, and the lower end is inserted into the support hole 517 of the base plate 512. The strut 515 forms a certain distance between the top plate 511 and the base plate 512, and supports the top plate 511 and the base plate 512 in parallel.

トッププレート５１１には、中央孔５１４の周囲にねじ孔５１８が４箇所に形成されている。本実施形態では、２つのねじ孔５１８が中央孔５１４に連通するように形成されている。トッププレート５１１は、各ねじ孔５１８に挿入されるねじ５２０（図６に図示）によって照明光学系ユニット４０の下部に固定される。 The top plate 511 has four screw holes 518 formed around the central hole 514. In this embodiment, the two screw holes 518 are formed so as to communicate with the central hole 514. The top plate 511 is fixed to the lower part of the illumination optical system unit 40 by screws 520 (shown in FIG. 6) inserted into each screw hole 518.

また、トッププレート５１１には、可動プレート５５２を上側から移動可能に支持する支持球体５２１を回転可能に保持するための支持孔５２６が複数形成されている。また、ベースプレート５１２には、可動プレート５５２を下側から移動可能に支持する支持球体５２１を回転可能に保持するための支持孔５２２が複数形成されている。 Further, the top plate 511 is formed with a plurality of support holes 526 for rotatably holding the support sphere 521 that movably supports the movable plate 552 from above. Further, the base plate 512 is formed with a plurality of support holes 522 for rotatably holding the support sphere 521 that movably supports the movable plate 552 from below.

トッププレート５１１の支持孔５２６は、上端が蓋部材５２７によって塞がれ、支持球体５２１を回転可能に保持する。ベースプレート５１２の支持孔５２２には、内周面に雌ねじ溝を有する円筒状の保持部材５２３が挿入される。保持部材５２３は、下端側が位置調整ねじ５２４によって塞がれ、支持球体５２１を回転可能に保持する。 The upper end of the support hole 526 of the top plate 511 is closed by the lid member 527, and the support sphere 521 is rotatably held. A cylindrical holding member 523 having a female thread groove on the inner peripheral surface is inserted into the support hole 522 of the base plate 512. The lower end side of the holding member 523 is closed by the position adjusting screw 524, and the support sphere 521 is rotatably held.

トッププレート５１１及びベースプレート５１２において回転可能に保持される複数の支持球体５２１は、それぞれ可動プレート５５２に当接し、可動プレート５５２を両面から移動可能に支持する。 The plurality of support spheres 521 rotatably held by the top plate 511 and the base plate 512 each come into contact with the movable plate 552 and movably support the movable plate 552 from both sides.

図９は、第１の実施形態における固定ユニット５１による可動プレート５５２の支持構造を説明するための図である。 FIG. 9 is a diagram for explaining a support structure of the movable plate 552 by the fixed unit 51 in the first embodiment.

図９に示されるように、トッププレート５１１では、上端側が蓋部材５２７によって塞がれている支持孔５２６において支持球体５２１が回転可能に保持される。また、ベースプレート５１２では、支持孔５２２に挿入される保持部材５２３によって支持球体５２１が回転可能に保持される。 As shown in FIG. 9, in the top plate 511, the support sphere 521 is rotatably held in the support hole 526 whose upper end side is closed by the lid member 527. Further, in the base plate 512, the support sphere 521 is rotatably held by the holding member 523 inserted into the support hole 522.

各支持球体５２１は、支持孔５２２，５２６から少なくとも一部分が突出するように保持され、トッププレート５１１とベースプレート５１２との間に設けられる可動プレート５５２に当接する。可動プレート５５２は、回転可能に設けられている複数の支持球体５２１により、表面に平行な方向に移動可能に両面から支持される。 Each support sphere 521 is held so as to project at least a part from the support holes 522 and 526, and abuts on a movable plate 552 provided between the top plate 511 and the base plate 512. The movable plate 552 is supported from both sides so as to be movable in a direction parallel to the surface by a plurality of support spheres 521 rotatably provided.

また、ベースプレート５１２側に設けられている支持球体５２１は、位置調整ねじ５２４の位置に応じて保持部材５２３の上端からの突出量が変化する。例えば、位置調整ねじ５２４がＺ１方向に変位すると、支持球体５２１の突出量が増加し、ベースプレート５１２と可動プレート５５２との間隔が大きくなる。また、例えば、位置調整ねじ５２４がＺ２方向に変位すると、支持球体５２１の突出量が減少し、ベースプレート５１２と可動プレート５５２との間隔が小さくなる。 Further, the amount of protrusion of the support sphere 521 provided on the base plate 512 side from the upper end of the holding member 523 changes according to the position of the position adjusting screw 524. For example, when the position adjusting screw 524 is displaced in the Z1 direction, the amount of protrusion of the support sphere 521 increases, and the distance between the base plate 512 and the movable plate 552 increases. Further, for example, when the position adjusting screw 524 is displaced in the Z2 direction, the amount of protrusion of the support sphere 521 is reduced, and the distance between the base plate 512 and the movable plate 552 is reduced.

このように、位置調整ねじ５２４を用いて支持球体５２１の突出量を変化させることで、ベースプレート５１２と可動プレート５５２との間隔を適宜調整できる。 In this way, the distance between the base plate 512 and the movable plate 552 can be appropriately adjusted by changing the amount of protrusion of the support sphere 521 using the position adjusting screw 524.

図８に示されるように、ベースプレート５１２の上面には、複数の位置検出用磁石５４１が設けられている。位置検出用磁石５４１は、それぞれ長手方向が平行になるように配置された直方体状の２つの永久磁石で構成され、それぞれトッププレート５１１とベースプレート５１２との間に設けられるＤＭＤ基板５５３に及ぶ磁界を形成する。 As shown in FIG. 8, a plurality of position detection magnets 541 are provided on the upper surface of the base plate 512. The position detection magnet 541 is composed of two rectangular parallelepiped permanent magnets arranged so as to be parallel to each other in the longitudinal direction, and a magnetic field extending to a DMD substrate 553 provided between the top plate 511 and the base plate 512, respectively. Form.

位置検出用磁石５４１は、それぞれＤＭＤ基板５５３の下面に設けられているホール素子とで、ＤＭＤ５５１の位置を検出する位置検出部を構成する。 Each of the position detection magnets 541 and the Hall elements provided on the lower surface of the DMD substrate 553 form a position detection unit for detecting the position of the DMD 551.

また、ベースプレート５１２の下面には、複数の駆動用磁石５３１ａ，５３１ｂ，５３１ｃ（駆動用磁石５３１ｃは図８には不図示）が設けられている。なお、以下の説明では、駆動用磁石５３１ａ，５３１ｂ，５３１ｃを、単に「駆動用磁石５３１」という場合がある。 Further, a plurality of driving magnets 531a, 531b, 531c (the driving magnets 531c are not shown in FIG. 8) are provided on the lower surface of the base plate 512. In the following description, the driving magnets 531a, 531b, and 531c may be simply referred to as "driving magnets 531".

駆動用磁石５３１は、それぞれ長手方向が平行になるように配置された直方体状の２つの磁石で構成され、それぞれヒートシンク５５４に及ぶ磁界を形成する。駆動用磁石５３１は、ヒートシンク５５４の上面に設けられている駆動コイルとで、可動ユニット５５を移動させる駆動部を構成する。 The drive magnet 531 is composed of two rectangular parallelepiped magnets arranged so as to be parallel to each other in the longitudinal direction, and each forms a magnetic field extending to the heat sink 554. The drive magnet 531 and the drive coil provided on the upper surface of the heat sink 554 form a drive unit for moving the movable unit 55.

なお、固定ユニット５１に設けられる支柱５１５、支持球体５２１の数や位置等は、本実施形態に例示される構成に限られるものではない。 The number and positions of the columns 515 and the support spheres 521 provided in the fixed unit 51 are not limited to the configurations exemplified in this embodiment.

（可動ユニット）
図１０は、第１の実施形態における可動ユニット５５の分解斜視図である。また、図１１は、第１の実施形態における可動ユニット５５の側面図である。 (Movable unit)
FIG. 10 is an exploded perspective view of the movable unit 55 according to the first embodiment. Further, FIG. 11 is a side view of the movable unit 55 in the first embodiment.

図１０及び図１１に示されるように、可動ユニット５５は、ＤＭＤ５５１、可動プレート５５２、ＤＭＤ基板５５３、ヒートシンク５５４を有する。 As shown in FIGS. 10 and 11, the movable unit 55 has a DMD 551, a movable plate 552, a DMD substrate 553, and a heat sink 554.

可動プレート５５２は、上記したように、固定ユニット５１のトッププレート５１１とベースプレート５１２との間に設けられ、複数の支持球体５２１により表面に平行な方向に移動可能に支持される。 As described above, the movable plate 552 is provided between the top plate 511 and the base plate 512 of the fixing unit 51, and is movably supported by a plurality of support spheres 521 in a direction parallel to the surface.

可動プレート５５２には、図１０に示されるように、ＤＭＤ基板５５３に設けられるＤＭＤ５５１に対向する位置に中央孔５７０が形成され、トッププレート５１１を照明光学系ユニット４０に固定するねじ５２０が挿通される貫通孔５７２が形成されている。また、可動プレート５５２には、ＤＭＤ基板５５３との連結に用いられる連結孔５７３が形成され、固定ユニット５１の支柱５１５に対応する位置に可動範囲制限孔５７１が形成されている。 As shown in FIG. 10, a central hole 570 is formed in the movable plate 552 at a position facing the DMD 551 provided on the DMD substrate 553, and a screw 520 for fixing the top plate 511 to the illumination optical system unit 40 is inserted. A through hole 572 is formed. Further, the movable plate 552 is formed with a connecting hole 573 used for connecting to the DMD substrate 553, and a movable range limiting hole 571 is formed at a position corresponding to the support column 515 of the fixing unit 51.

可動プレート５５２とＤＭＤ基板５５３とは、例えば、各連結孔５７３に挿入されるねじによって、可動プレート５５２の表面とＤＭＤ５５１の画像生成面とが平行になるように間隔が調整された状態で接着剤により連結固定される。 The movable plate 552 and the DMD substrate 553 are adhesives in a state where the distance between the movable plate 552 and the image generation surface of the DMD 551 is adjusted so as to be parallel to each other by, for example, a screw inserted into each connecting hole 573. Is connected and fixed by.

ここで、可動プレート５５２は表面に平行に移動し、ＤＭＤ５５１も可動プレート５５２と共に同様に移動する。したがって、可動プレート５５２の表面とＤＭＤ５５１の画像生成面とが非平行の場合には、ＤＭＤ５５１の画像生成面が移動方向に対して傾斜して画像が乱れる可能性がある。 Here, the movable plate 552 moves parallel to the surface, and the DMD 551 also moves together with the movable plate 552. Therefore, when the surface of the movable plate 552 and the image generation surface of the DMD 551 are non-parallel, the image generation surface of the DMD 551 may be tilted with respect to the moving direction and the image may be distorted.

そこで、本実施形態では、連結孔５７３に挿入するねじで可動プレート５５２とＤＭＤ基板５５３との間隔を調整し、可動プレート５５２の表面とＤＭＤ５５１の画像生成面とを平行に保つことで、画像品質の低下を抑制することが可能になっている。 Therefore, in the present embodiment, the distance between the movable plate 552 and the DMD substrate 553 is adjusted by a screw inserted into the connecting hole 573, and the surface of the movable plate 552 and the image generation surface of the DMD 551 are kept parallel to obtain image quality. It is possible to suppress the decrease in.

可動範囲制限孔５７１は、固定ユニット５１の支柱５１５が挿入され、例えば振動や何らかの異常等により可動プレート５５２が大きく変位した時に支柱５１５に接触することで、可動プレート５５２の可動範囲を制限する。 The movable range limiting hole 571 limits the movable range of the movable plate 552 by contacting the column 515 when the column 515 of the fixing unit 51 is inserted and the movable plate 552 is largely displaced due to, for example, vibration or some abnormality.

なお、連結孔５７３及び可動範囲制限孔５７１の数、位置、及び形状等は、本実施形態において例示される構成に限られるものではない。また、可動プレート５５２とＤＭＤ基板５５３とは、本実施形態とは異なる構成で連結されてもよい。 The number, position, shape, and the like of the connecting holes 573 and the movable range limiting holes 571 are not limited to the configurations exemplified in this embodiment. Further, the movable plate 552 and the DMD substrate 553 may be connected in a configuration different from that of the present embodiment.

ＤＭＤ基板５５３は、固定ユニット５１のトッププレート５１１とベースプレート５１２との間に設けられ、上記したように可動プレート５５２の下面に連結される。 The DMD substrate 553 is provided between the top plate 511 and the base plate 512 of the fixing unit 51, and is connected to the lower surface of the movable plate 552 as described above.

ＤＭＤ基板５５３の上面には、ＤＭＤ５５１が設けられている。ＤＭＤ５５１は、ソケット５５７を介してＤＭＤ基板５５３に接続され、カバー５５８により周囲が覆われる。ＤＭＤ５５１は、トッププレート５１１の中央孔５７０を通じて可動プレート５５２の上面側に露出する。 A DMD551 is provided on the upper surface of the DMD substrate 553. The DMD 551 is connected to the DMD substrate 553 via a socket 557 and is covered by a cover 558. The DMD 551 is exposed to the upper surface side of the movable plate 552 through the central hole 570 of the top plate 511.

ＤＭＤ基板５５３には、トッププレート５１１を照明光学系ユニット４０に固定するねじ５２０が挿通される貫通孔５５５が形成されている。また、ＤＭＤ基板５５３には、可動プレート５５２がヒートシンク５５４の連結柱５６１に固定されるように、ヒートシンク５５４の連結柱５６１に対向する部分に切り欠き５５８が形成されている。 The DMD substrate 553 is formed with a through hole 555 through which a screw 520 for fixing the top plate 511 to the illumination optical system unit 40 is inserted. Further, the DMD substrate 553 is formed with a notch 558 at a portion of the heat sink 554 facing the connecting pillar 561 so that the movable plate 552 is fixed to the connecting pillar 561 of the heat sink 554.

例えば、可動プレート５５２及びＤＭＤ基板５５３をヒートシンク５５４の連結柱５６１に共締めすると、ＤＭＤ基板５５３が歪み、ＤＭＤ５５１の画像生成面が移動方向に対して傾斜して画像が乱れる可能性がある。そこで、ヒートシンク５５４の連結柱５６１がＤＭＤ基板５５３を避けて可動プレート５５２に連結されるように、ＤＭＤ基板５５３の周縁部に切り欠き５５８が形成されている。 For example, when the movable plate 552 and the DMD substrate 551 are fastened together with the connecting pillar 561 of the heat sink 554, the DMD substrate 553 may be distorted, and the image generation surface of the DMD 551 may be tilted with respect to the moving direction to distort the image. Therefore, a notch 558 is formed at the peripheral edge of the DMD substrate 553 so that the connecting pillar 561 of the heat sink 554 is connected to the movable plate 552 while avoiding the DMD substrate 553.

上記構成により、ヒートシンク５５４は可動プレート５５２に連結されるため、ＤＭＤ基板５５３はヒートシンク５５４から負荷を受けて歪み等が生じる可能性が低減される。したがって、ＤＭＤ５５１の画像生成面を移動方向に対して平行に保って画像品質を維持することが可能になっている。 With the above configuration, since the heat sink 554 is connected to the movable plate 552, the possibility that the DMD substrate 535 receives a load from the heat sink 554 and is distorted or the like is reduced. Therefore, it is possible to maintain the image quality by keeping the image generation surface of the DMD 551 parallel to the moving direction.

また、ＤＭＤ基板５５３の切り欠き５５８は、ベースプレート５１２に保持される支持球体５２１がＤＭＤ基板５５３を避けて可動プレート５５２に当接するように、ベースプレート５１２の支持孔５２２に対向する部分を含むように形成されている。このような構成により、ＤＭＤ基板５５３は、支持球体５２１からの負荷による歪み等の発生が抑制され、ＤＭＤ５５１の画像生成面を移動方向に対して平行に保って画像品質を維持することが可能になっている。 Further, the notch 558 of the DMD substrate 553 includes a portion facing the support hole 522 of the base plate 512 so that the support sphere 521 held by the base plate 512 avoids the DMD substrate 553 and abuts on the movable plate 552. It is formed. With such a configuration, the DMD substrate 553 can suppress the occurrence of distortion due to the load from the support sphere 521, and can maintain the image quality by keeping the image generation surface of the DMD 551 parallel to the moving direction. It has become.

なお、切り欠き５５８は、本実施形態において例示される形状に限られない。ＤＭＤ基板５５３と、ヒートシンク５５４の連結柱５６１や支持球体５２１とを非接触にすることが可能であれば、ＤＭＤ基板５５３には切り欠き５５８の代わりに貫通孔が形成されてもよい。 The notch 558 is not limited to the shape exemplified in this embodiment. If it is possible to make the DMD substrate 553 non-contact with the connecting column 561 of the heat sink 554 and the support sphere 521, the DMD substrate 553 may be formed with a through hole instead of the notch 558.

また、図１１に示されるように、ＤＭＤ基板５５３の下面には、ベースプレート５１２の上面に設けられている位置検出用磁石５４１に対向する位置に、磁気センサとしてのホール素子５４２が設けられている。ホール素子５４２は、ベースプレート５１２に設けられている位置検出用磁石５４１とで、ＤＭＤ５５１の位置を検出する位置検出部を構成する。 Further, as shown in FIG. 11, a Hall element 542 as a magnetic sensor is provided on the lower surface of the DMD substrate 553 at a position facing the position detection magnet 541 provided on the upper surface of the base plate 512. .. The Hall element 542 and the position detection magnet 541 provided on the base plate 512 form a position detection unit for detecting the position of the DMD 551.

ヒートシンク５５４は、図１０及び図１１に示されるように、放熱部５５６、連結柱５６１、伝熱部５６３（図１０には不図示）を有する。 As shown in FIGS. 10 and 11, the heat sink 554 has a heat radiating portion 556, a connecting column 561, and a heat transfer portion 563 (not shown in FIG. 10).

放熱部５５６は、下部に複数のフィンが形成され、ＤＭＤ５５１において生じた熱を放熱する。放熱部５５６の上面には、図１０に示されるように、フレキシブル基板５８０に設けられている駆動コイル５８１ａ，５８１ｂ，５８１ｃが取り付けられる凹部５８２が形成されている。なお、以下の説明では、駆動コイル５８１ａ，５８１ｂ，５８１ｃを、単に「駆動コイル５８１」という場合がある。 A plurality of fins are formed in the lower portion of the heat radiating unit 556, and the heat generated in the DMD 551 is radiated. As shown in FIG. 10, a recess 582 to which the drive coils 581a, 581b, and 581c provided on the flexible substrate 580 are attached is formed on the upper surface of the heat radiating portion 556. In the following description, the drive coils 581a, 581b, and 581c may be simply referred to as "drive coils 581".

凹部５８２は、ベースプレート５１２の下面に設けられている駆動用磁石５３１に対向する位置に形成されている。凹部５８２に取り付けられる駆動コイル５８１は、ベースプレート５１２の下面に設けられている駆動用磁石５３１とで、可動ユニット５５を固定ユニット５１に対して移動させる駆動部を構成する。 The recess 582 is formed at a position facing the driving magnet 531 provided on the lower surface of the base plate 512. The drive coil 581 attached to the recess 582 is a drive magnet 531 provided on the lower surface of the base plate 512, and constitutes a drive unit for moving the movable unit 55 with respect to the fixed unit 51.

また、放熱部５５６には、トッププレート５１１を照明光学系ユニット４０に固定するねじ５２０が挿通される貫通孔５６２が形成されている。 Further, the heat radiating portion 556 is formed with a through hole 562 through which a screw 520 for fixing the top plate 511 to the illumination optical system unit 40 is inserted.

連結柱５６１は、放熱部５５６の上面からＺ１方向に延伸するように３箇所に形成され、ねじ５６４（図１１に図示）によりそれぞれの上端に可動プレート５５２が固定される。連結柱５６１は、ＤＭＤ基板５５３に形成されている切り欠き５５８により、ＤＭＤ基板５５３に接触することなく可動プレート５５２に連結される。 The connecting columns 561 are formed at three positions so as to extend in the Z1 direction from the upper surface of the heat radiating portion 556, and the movable plate 552 is fixed to the upper ends of the screws 564 (shown in FIG. 11). The connecting column 561 is connected to the movable plate 552 by the notch 558 formed in the DMD substrate 553 without contacting the DMD substrate 553.

伝熱部５６３は、図１１に示されるように、放熱部５５６の上面からＺ１方向に延伸してＤＭＤ５５１の下面に当接し、ＤＭＤ５５１において生じた熱を放熱部５５６に伝える。伝熱部５６３の上端面とＤＭＤ５５１との間には、伝熱性を高めるために例えば伝熱シートが設けられてもよい。伝熱シートによりヒートシンク５５４の伝熱部５６３とＤＭＤ５５１との間の熱伝導性が向上し、ＤＭＤ５５１の冷却効果が向上する。 As shown in FIG. 11, the heat transfer unit 563 extends from the upper surface of the heat radiation unit 556 in the Z1 direction and abuts on the lower surface of the DMD 551, and transfers the heat generated in the DMD 551 to the heat radiation unit 556. For example, a heat transfer sheet may be provided between the upper end surface of the heat transfer portion 563 and the DMD 551 in order to enhance the heat transfer property. The heat transfer sheet improves the heat conductivity between the heat transfer portion 563 of the heat sink 554 and the DMD 551, and improves the cooling effect of the DMD 551.

可動プレート５５２の貫通孔５７２、ＤＭＤ基板５５３の貫通孔５５５、及びヒートシンク５５４の貫通孔５６２は、Ｚ１Ｚ２方向に対向するように形成されており、トッププレート５１１を照明光学系ユニット４０に固定するねじ５２０が下側から挿入される。 The through hole 572 of the movable plate 552, the through hole 555 of the DMD substrate 555, and the through hole 562 of the heat sink 554 are formed so as to face each other in the Z1Z2 direction, and a screw for fixing the top plate 511 to the illumination optical system unit 40. The 520 is inserted from below.

ここで、ＤＭＤ基板５５３の表面からＤＭＤ５５１の画像生成面までの間には、ソケット５５７やＤＭＤ５５１の厚さ分の空間が生じる。ＤＭＤ基板５５３をトッププレート５１１よりも上側に配置すると、ＤＭＤ基板５５３の表面からＤＭＤ５５１の画像生成面までの空間がデッドスペースとなり、装置構成が大型化する可能性がある。 Here, a space corresponding to the thickness of the socket 557 or DMD551 is generated between the surface of the DMD substrate 553 and the image generation surface of the DMD551. When the DMD substrate 553 is arranged above the top plate 511, the space from the surface of the DMD substrate 553 to the image generation surface of the DMD 551 becomes a dead space, and the apparatus configuration may become large.

本実施形態では、ＤＭＤ基板５５３をトッププレート５１１とベースプレート５１２との間に設けることで、ＤＭＤ基板５５３の表面からＤＭＤ５５１の画像生成面までの空間にトッププレート５１１が配置される。このような構成により、ＤＭＤ基板５５３の表面からＤＭＤ５５１の画像生成面までの空間を有効活用してＺ１Ｚ２方向の高さを低減し、装置構成を小型化することが可能になっている。このため、本実施形態における画像生成ユニット５０は、大型のプロジェクタだけでなく小型のプロジェクタ等にも組み付け可能となり、汎用性が向上される。 In the present embodiment, by providing the DMD substrate 553 between the top plate 511 and the base plate 512, the top plate 511 is arranged in the space from the surface of the DMD substrate 553 to the image generation surface of the DMD 551. With such a configuration, the space from the surface of the DMD substrate 553 to the image generation surface of the DMD 551 can be effectively utilized to reduce the height in the Z1Z2 direction, and the device configuration can be miniaturized. Therefore, the image generation unit 50 in the present embodiment can be assembled not only to a large projector but also to a small projector or the like, and the versatility is improved.

（駆動部）
図１２は、第１の実施形態における駆動部を含む構成を例示する分解斜視図である。 (Drive part)
FIG. 12 is an exploded perspective view illustrating a configuration including a drive unit according to the first embodiment.

本実施形態における駆動部は、ベースプレート５１２に設けられている駆動用磁石５３１と、ヒートシンク５５４に設けられている駆動コイル５８１とを含む。 The drive unit in the present embodiment includes a drive magnet 531 provided on the base plate 512 and a drive coil 581 provided on the heat sink 554.

駆動用磁石５３１ａ及び駆動用磁石５３１ｂは、それぞれ長手方向がＸ１Ｘ２方向に平行な２つの永久磁石で構成されている。また、駆動用磁石５３１ｃは、長手方向がＹ１Ｙ２方向に平行な２つの永久磁石で構成されている。駆動用磁石５３１は、それぞれヒートシンク５５４に及ぶ磁界を形成する。 The drive magnet 531a and the drive magnet 531b are each composed of two permanent magnets whose longitudinal directions are parallel to the X1X2 direction. Further, the driving magnet 531c is composed of two permanent magnets whose longitudinal direction is parallel to the Y1Y2 direction. Each of the driving magnets 531 forms a magnetic field extending over the heat sink 554.

駆動コイル５８１は、それぞれＺ１Ｚ２方向に平行な軸を中心として電線が巻き回されることで形成され、ヒートシンク５５４の放熱部５５６の上面に形成されている凹部５８２に取り付けられる。 The drive coil 581 is formed by winding an electric wire around an axis parallel to the Z1Z2 direction, and is attached to a recess 582 formed on the upper surface of the heat radiating portion 556 of the heat sink 554.

ベースプレート５１２の駆動用磁石５３１と、ヒートシンク５５４の駆動コイル５８１とは、可動ユニット５５が固定ユニット５１に支持されている状態で、それぞれ対向するように配置されている。駆動コイル５８１に電流が流されると、駆動用磁石５３１によって形成されている磁界により、駆動コイル５８１に可動ユニット５５を移動させる駆動力となるローレンツ力が発生する。 The drive magnet 531 of the base plate 512 and the drive coil 581 of the heat sink 554 are arranged so as to face each other with the movable unit 55 supported by the fixed unit 51. When a current is passed through the drive coil 581, the magnetic field formed by the drive magnet 531 generates a Lorentz force that is a drive force for moving the movable unit 55 to the drive coil 581.

可動ユニット５５は、駆動用磁石５３１と駆動コイル５８１との間で発生する駆動力としてのローレンツ力を受けて、固定ユニット５１に対してＸＹ平面において直線的又は回転するように変位する。 The movable unit 55 receives a Lorentz force as a driving force generated between the driving magnet 531 and the driving coil 581, and is displaced with respect to the fixed unit 51 so as to be linear or rotational in the XY plane.

本実施形態では、第１駆動部として、駆動コイル５８１ａ及び駆動用磁石５３１ａと、駆動コイル５８１ｂ及び駆動用磁石５３１ｂとが、Ｘ１Ｘ２方向に並ぶように設けられている。駆動コイル５８１ａ及び駆動コイル５８１ｂに電流が流されると、Ｙ１方向又はＹ２方向のローレンツ力が発生する。 In the present embodiment, the drive coil 581a and the drive magnet 531a, and the drive coil 581b and the drive magnet 531b are provided as the first drive unit so as to be arranged in the X1X2 direction. When a current is passed through the drive coil 581a and the drive coil 581b, a Lorentz force in the Y1 direction or the Y2 direction is generated.

可動ユニット５５は、駆動コイル５８１ａ及び駆動コイル５８１ｂにおいて発生するローレンツ力によりＹ１方向又はＹ２方向に移動する。また、可動ユニット５５は、駆動コイル５８１ａと駆動コイル５８１ｂとで反対方向に発生するローレンツ力により、ＸＹ平面において回転するように変位する。 The movable unit 55 moves in the Y1 direction or the Y2 direction due to the Lorentz force generated in the drive coil 581a and the drive coil 581b. Further, the movable unit 55 is displaced so as to rotate in the XY plane due to the Lorentz force generated in the opposite directions of the drive coil 581a and the drive coil 581b.

例えば、駆動コイル５８１ａにおいてＹ１方向のローレンツ力が発生し、駆動コイル５８１ｂにおいてＹ２方向のローレンツ力が発生するように電流が流されると、可動ユニット５５は、上面視で反時計回り方向に回転するように変位する。また、駆動コイル５８１ａにおいてＹ２方向のローレンツ力が発生し、駆動コイル５８１ｂにおいてＹ１方向のローレンツ力が発生するように電流が流されると、可動ユニット５５は、上面視で時計回り方向に回転するように変位する。 For example, when a current is passed so that a Lorentz force in the Y1 direction is generated in the drive coil 581a and a Lorentz force in the Y2 direction is generated in the drive coil 581b, the movable unit 55 rotates counterclockwise in a top view. Displace like. Further, when a current is passed so that the Lorentz force in the Y2 direction is generated in the drive coil 581a and the Lorentz force in the Y1 direction is generated in the drive coil 581b, the movable unit 55 is rotated clockwise in the top view. Displace to.

また、本実施形態では、第２駆動部として、駆動コイル５８１ｃ及び駆動用磁石５３１ｃが設けられている。駆動用磁石５３１ｃは、駆動用磁石５３１ａ及び駆動用磁石５３１ｂとは長手方向が直交するように配置されている。このような構成において、駆動コイル５８１ｃに電流が流されると、Ｘ１方向又はＸ２方向のローレンツ力が発生する。可動ユニット５５は、駆動コイル５８１ｃにおいて発生するローレンツ力により、Ｘ１方向又はＸ２方向に移動する。 Further, in the present embodiment, a drive coil 581c and a drive magnet 531c are provided as the second drive unit. The drive magnet 531c is arranged so that the drive magnet 531a and the drive magnet 531b are orthogonal to each other in the longitudinal direction. In such a configuration, when a current is passed through the drive coil 581c, a Lorentz force in the X1 direction or the X2 direction is generated. The movable unit 55 moves in the X1 direction or the X2 direction due to the Lorentz force generated in the drive coil 581c.

各駆動コイル５８１に流される電流の大きさ及び向きは、システムコントロール部１０の駆動制御部１２によって制御される。駆動制御部１２は、各駆動コイル５８１に流す電流の大きさ及び向きによって、可動プレート５５２の移動（回転）方向、移動量や回転角度等を制御する。 The magnitude and direction of the current flowing through each drive coil 581 is controlled by the drive control unit 12 of the system control unit 10. The drive control unit 12 controls the movement (rotation) direction, movement amount, rotation angle, etc. of the movable plate 552 according to the magnitude and direction of the current flowing through each drive coil 581.

なお、ベースプレート５１２には、ＤＭＤ基板５５３に設けられるＤＭＤ５５１に対向する部分に、ヒートシンク５５４の伝熱部５６３が挿通される伝熱孔５５９が設けられている。また、ベースプレート５１２には、トッププレート５１１を照明光学系ユニット４０に固定するねじ５２０が挿通される貫通孔５６０が形成されている。 The base plate 512 is provided with a heat transfer hole 559 through which the heat transfer portion 563 of the heat sink 554 is inserted in a portion facing the DMD 551 provided on the DMD substrate 553. Further, the base plate 512 is formed with a through hole 560 through which a screw 520 for fixing the top plate 511 to the illumination optical system unit 40 is inserted.

図１３は、第１の実施形態における可動ユニット５５の駆動力作用点Ｍを例示する図である。図１３（Ａ）は可動ユニット５５の上面図であり、図１３（Ｂ）は可動ユニット５５の側面図である。 FIG. 13 is a diagram illustrating a driving force action point M of the movable unit 55 in the first embodiment. 13 (A) is a top view of the movable unit 55, and FIG. 13 (B) is a side view of the movable unit 55.

駆動力作用点Ｍは、駆動コイル５８１において発生する駆動力としてのローレンツ力の合力が可動ユニット５５に作用する点である。本実施形態では、ＸＹ平面における駆動力作用点Ｍは、駆動コイル５８１ａ及び駆動コイル５８１ｂの中央からＹ１Ｙ２方向に延伸する線分と、駆動コイル５８１ｃの中央からＸ１Ｘ２方向に延伸する線分との交点となる（図１３（Ａ））。また、Ｚ１Ｚ２方向における駆動力作用点Ｍは、駆動コイル５８１の高さ方向中央位置となる（図１３（Ｂ））。 The driving force action point M is a point at which the resultant force of the Lorentz force as the driving force generated in the drive coil 581 acts on the movable unit 55. In the present embodiment, the driving force action point M in the XY plane is an intersection of a line segment extending in the Y1Y2 direction from the center of the drive coil 581a and the drive coil 581b and a line segment extending in the X1X2 direction from the center of the drive coil 581c. (Fig. 13 (A)). Further, the driving force action point M in the Z1Z2 direction is the center position in the height direction of the driving coil 581 (FIG. 13 (B)).

ここで、可動ユニット５５において駆動力作用点Ｍと重心位置とが離間すると、可動ユニット５５の動作が不安定化してＤＭＤ５５１の位置制御が困難になり、画像品質が低下する可能性がある。 Here, if the driving force action point M and the position of the center of gravity of the movable unit 55 are separated from each other, the operation of the movable unit 55 becomes unstable, the position control of the DMD 551 becomes difficult, and the image quality may deteriorate.

例えば、駆動力作用点Ｍと重心位置とがＺ１Ｚ２方向に離間した構成では、可動ユニット５５が、重心位置を支持点、駆動力作用点Ｍを作用点として、振り子のように揺動する場合がある。支持点と作用点との間隔が大きい程作用するモーメントは大きくなるため、Ｚ１Ｚ２方向における可動ユニット５５の重心位置と駆動力生成面とのずれ量が大きくなるほど振動が大きくなり、ＤＭＤ５５１の位置制御が困難になる。 For example, in a configuration in which the driving force action point M and the center of gravity position are separated in the Z1Z2 direction, the movable unit 55 may swing like a pendulum with the center of gravity position as the support point and the driving force action point M as the action point. is there. The larger the distance between the support point and the action point, the larger the acting moment. Therefore, the larger the deviation between the center of gravity position of the movable unit 55 and the driving force generation surface in the Z1Z2 direction, the larger the vibration, and the position control of the DMD551 is performed. It will be difficult.

また、例えば駆動力作用点Ｍと重心位置とがＸＹ平面において離間した構成では、駆動コイル５８１において発生するローレンツ力と可動ユニット５５の動作との間に遅れが生じ、ＤＭＤ５５１の位置制御を高精度に行うことが困難になる可能性がある。 Further, for example, in a configuration in which the driving force action point M and the position of the center of gravity are separated from each other in the XY plane, a delay occurs between the Lorentz force generated in the driving coil 581 and the operation of the movable unit 55, and the position control of the DMD 551 is performed with high accuracy. It can be difficult to do.

したがって、上記したようにＺ１Ｚ２方向及びＸＹ平面において駆動力作用点Ｍと重心位置とが離間すると、可動ユニット５５の動作が不安定化してＤＭＤ５５１の位置制御を高精度に実行することが困難になり、画像が乱れる可能性がある。 Therefore, if the driving force action point M and the position of the center of gravity are separated from each other in the Z1Z2 direction and the XY plane as described above, the operation of the movable unit 55 becomes unstable and it becomes difficult to perform the position control of the DMD 551 with high accuracy. , The image may be distorted.

本実施形態における可動ユニット５５は、ヒートシンク５５４の重量が可動プレート５５２及びＤＭＤ基板５５３を含む重量より大きい。このため、可動ユニット５５のＺ１Ｚ２方向における重心位置は、ヒートシンク５５４の放熱部５５６付近となる。 In the movable unit 55 of the present embodiment, the weight of the heat sink 554 is larger than the weight including the movable plate 552 and the DMD substrate 553. Therefore, the position of the center of gravity of the movable unit 55 in the Z1Z2 direction is near the heat radiating portion 556 of the heat sink 554.

そこで、本実施形態では、例えばＺ１Ｚ２方向において可動ユニット５５の駆動力作用点Ｍと重心位置とが一致するようにヒートシンク５５４の凹部５８２の深さや放熱部５５６の形状が定められ、駆動コイル５８１が凹部５８２に取り付けられている。また、本実施形態では、ＸＹ平面において可動ユニット５５の駆動力作用点Ｍと重心位置とが一致するように、例えばヒートシンク５５４の放熱部５５６の形状が定められている。 Therefore, in the present embodiment, for example, the depth of the recess 582 of the heat sink 554 and the shape of the heat radiating portion 556 are determined so that the driving force action point M of the movable unit 55 and the position of the center of gravity coincide with each other in the Z1Z2 direction, and the driving coil 581 It is attached to the recess 582. Further, in the present embodiment, for example, the shape of the heat radiating portion 556 of the heat sink 554 is determined so that the driving force action point M of the movable unit 55 and the position of the center of gravity coincide with each other on the XY plane.

図１４は、第１の実施形態におけるヒートシンク５５４の形状を例示する図である。 FIG. 14 is a diagram illustrating the shape of the heat sink 554 in the first embodiment.

例えばヒートシンク５５４の放熱部５５６に設けられているフィン５６５の長さや数をＸ１Ｘ２方向又はＹ１Ｙ２方向の位置に応じて変えることで、ＸＹ平面における可動ユニット５５の重心位置を駆動力作用点Ｍに一致させることができる。 For example, by changing the length and number of fins 565 provided in the heat radiating portion 556 of the heat sink 554 according to the positions in the X1X2 direction or the Y1Y2 direction, the position of the center of gravity of the movable unit 55 in the XY plane coincides with the driving force action point M. Can be made to.

また、放熱部５５６に形成される凹部５８２や連結柱５６１の位置及び形状等に応じて、図１４（Ａ）に示すように、例えば放熱部５５６の上部にフィン５６６を設けることで、可動ユニット５５の重心位置を駆動力作用点Ｍに一致させることができる。また、図１４（Ｂ）に示すように、放熱部５５６の上部に重心調整部５６７を設けることで、可動ユニット５５の重心位置を駆動力作用点Ｍに一致させることができる。 Further, as shown in FIG. 14A, for example, by providing fins 566 on the upper part of the heat radiating portion 556, the movable unit is provided according to the position and shape of the recess 582 and the connecting pillar 561 formed in the heat radiating portion 556. The position of the center of gravity of 55 can be matched with the driving force action point M. Further, as shown in FIG. 14B, by providing the center of gravity adjusting portion 567 above the heat radiating portion 556, the position of the center of gravity of the movable unit 55 can be made to coincide with the driving force action point M.

このように、可動ユニット５５における駆動力作用点Ｍと重心位置とが一致するように構成することで、可動ユニット５５の動作安定性を高め、ＤＭＤ５５１の位置制御を高精度に行うことが可能になる。なお、可動ユニット５５における駆動力作用点Ｍと重心位置とは、可動ユニット５５の動作が不安定化しない範囲内において略同一位置であればよい。なお駆動用磁石５３１ａ、５３１ｂ、５３１ｃをヒートシンク５５４のベースプレート５１２側に配置し、駆動コイル５８１ａ、５８１ｂ、５８１ｃをベースプレート５１２のヒートシンク５５４側に配置した場合も同様である。 In this way, by configuring the movable unit 55 so that the driving force action point M and the position of the center of gravity coincide with each other, the operational stability of the movable unit 55 can be improved and the position control of the DMD 551 can be performed with high accuracy. Become. The driving force action point M and the position of the center of gravity of the movable unit 55 may be substantially the same position within a range in which the operation of the movable unit 55 is not unstable. The same applies when the drive magnets 531a, 513b, and 513c are arranged on the base plate 512 side of the heat sink 554, and the drive coils 581a, 581b, and 581c are arranged on the heat sink 554 side of the base plate 512.

（位置検出部）
図１５は、第１の実施形態における位置検出部を含む構成を例示する分解斜視図である。また、図１６は、第１の実施形態における位置検出部を含む構成を例示する分解側面図である。 (Position detector)
FIG. 15 is an exploded perspective view illustrating a configuration including a position detection unit according to the first embodiment. Further, FIG. 16 is an exploded side view illustrating the configuration including the position detection unit in the first embodiment.

本実施形態における位置検出部は、ベースプレート５１２に設けられている位置検出用磁石５４１と、ＤＭＤ基板５５３に設けられているホール素子５４２とを含む。位置検出用磁石５４１とホール素子５４２とは、Ｚ１Ｚ２方向に対向するように配置されている。 The position detection unit in the present embodiment includes a position detection magnet 541 provided on the base plate 512 and a Hall element 542 provided on the DMD substrate 553. The position detection magnet 541 and the Hall element 542 are arranged so as to face each other in the Z1Z2 direction.

ホール素子５４２は、磁気センサの一例であり、対向して設けられている位置検出用磁石５４１からの磁束密度の変化に応じた信号をシステムコントロール部１０の駆動制御部１２に送信する。駆動制御部１２は、ホール素子５４２から送信される信号に基づいて、ＤＭＤ基板５５３に設けられているＤＭＤ５５１の位置を検出する。 The Hall element 542 is an example of a magnetic sensor, and transmits a signal corresponding to a change in magnetic flux density from a position detection magnet 541 provided opposite to each other to the drive control unit 12 of the system control unit 10. The drive control unit 12 detects the position of the DMD 551 provided on the DMD substrate 553 based on the signal transmitted from the Hall element 542.

ここで、本実施形態では、磁性材料で形成されているトッププレート５１１及びベースプレート５１２が、ヨーク板として機能して位置検出用磁石５４１を含む磁気回路を構成する。また、ベースプレート５１２とヒートシンク５５４との間に設けられている駆動用磁石５３１及び駆動コイル５８１を含む駆動部において生じる磁束は、ヨーク板として機能するベースプレート５１２に集中して位置検出部への漏出が抑えられる。 Here, in the present embodiment, the top plate 511 and the base plate 512 made of a magnetic material function as a yoke plate to form a magnetic circuit including a position detection magnet 541. Further, the magnetic flux generated in the drive unit including the drive magnet 531 and the drive coil 581 provided between the base plate 512 and the heat sink 554 is concentrated on the base plate 512 that functions as a yoke plate and leaks to the position detection unit. It can be suppressed.

したがって、ＤＭＤ基板５５３の下面側に設けられているホール素子５４２では、駆動用磁石５３１及び駆動コイル５８１を含む駆動部において形成される磁界の影響が低減される。このため、ホール素子５４２が、駆動部において生じる磁界の影響を受けることなく、位置検出用磁石５４１の磁束密度変化に応じた信号を出力可能になる。したがって、駆動制御部１２がＤＭＤ５５１の位置を高精度に把握できるようになる。 Therefore, in the Hall element 542 provided on the lower surface side of the DMD substrate 553, the influence of the magnetic field formed in the drive unit including the drive magnet 531 and the drive coil 581 is reduced. Therefore, the Hall element 542 can output a signal corresponding to the change in the magnetic flux density of the position detection magnet 541 without being affected by the magnetic field generated in the drive unit. Therefore, the drive control unit 12 can grasp the position of the DMD 551 with high accuracy.

このように、駆動制御部１２は、駆動部からの影響が低減されたホール素子５４２の出力に基づいてＤＭＤ５５１の位置を精度良く検出できる。したがって、駆動制御部１２は、検出したＤＭＤ５５１の位置に応じて各駆動コイル５８１に流す電流の大きさや向きを制御し、ＤＭＤ５５１の位置を高精度に制御することが可能になる。 In this way, the drive control unit 12 can accurately detect the position of the DMD 551 based on the output of the Hall element 542 in which the influence from the drive unit is reduced. Therefore, the drive control unit 12 controls the magnitude and direction of the current flowing through each drive coil 581 according to the detected position of the DMD 551, and can control the position of the DMD 551 with high accuracy.

なお、上記した駆動部及び位置検出部の構成は、本実施形態において例示した構成に限られるものではない。駆動部として設けられている駆動用磁石５３１及び駆動コイル５８１の数、位置等は、可動ユニット５５を任意の位置に移動させることが可能であれば、本実施形態とは異なる構成であってもよい。また、位置検出部として設けられている位置検出用磁石５４１及びホール素子５４２の数、位置等は、ＤＭＤ５５１の位置を検出可能であれば、本実施形態とは異なる構成であってもよい。 The configurations of the drive unit and the position detection unit described above are not limited to the configurations illustrated in the present embodiment. The number, position, etc. of the drive magnet 531 and the drive coil 581 provided as the drive unit may be different from those of the present embodiment as long as the movable unit 55 can be moved to an arbitrary position. Good. Further, the number, position, and the like of the position detection magnet 541 and the Hall element 542 provided as the position detection unit may be different from those of the present embodiment as long as the position of the DMD 551 can be detected.

例えば、位置検出用磁石５４１をトッププレート５１１に設け、ホール素子５４２を可動プレート５５２に設けてもよい。また、例えば、位置検出部をベースプレート５１２とヒートシンク５５４との間に設けてもよく、駆動部をトッププレート５１１とベースプレート５１２との間に設けてもよい。ただし、駆動部から位置検出部への磁界の影響を低減できるように、駆動部と位置検出部との間にはヨーク板を設けることが好ましい。また、可動ユニット５５の重量が増えて位置制御が困難になる可能性があるため、駆動用磁石５３１及び位置検出用磁石５４１は、それぞれ固定ユニット５１（トッププレート５１１又はベースプレート５１２）に設けることが好ましい。 For example, the position detection magnet 541 may be provided on the top plate 511, and the Hall element 542 may be provided on the movable plate 552. Further, for example, the position detection unit may be provided between the base plate 512 and the heat sink 554, or the drive unit may be provided between the top plate 511 and the base plate 512. However, it is preferable to provide a yoke plate between the drive unit and the position detection unit so that the influence of the magnetic field from the drive unit to the position detection unit can be reduced. Further, since the weight of the movable unit 55 may increase and position control may become difficult, the drive magnet 531 and the position detection magnet 541 may be provided on the fixed unit 51 (top plate 511 or base plate 512), respectively. preferable.

また、トッププレート５１１及びベースプレート５１２は、駆動部から位置検出部への磁束の漏れを低減可能であれば、それぞれ部分的に磁性材料で形成されてもよい。例えば、トッププレート５１１及びベースプレート５１２は、磁性材料で形成された平板状又はシート状の部材を含む複数の部材が積層されることで形成されてもよい。ベースプレート５１２の少なくとも一部を磁性材料で形成してヨーク板として機能させ、駆動部から位置検出部への磁束の漏れを防ぐことが可能であれば、トッププレート５１１を非磁性材料で形成してもよい。 Further, the top plate 511 and the base plate 512 may be partially formed of a magnetic material as long as the leakage of magnetic flux from the drive unit to the position detection unit can be reduced. For example, the top plate 511 and the base plate 512 may be formed by laminating a plurality of members including a flat plate-shaped or sheet-shaped member made of a magnetic material. If it is possible to form at least a part of the base plate 512 with a magnetic material to function as a yoke plate and prevent magnetic flux from leaking from the drive unit to the position detection unit, the top plate 511 is formed with a non-magnetic material. May be good.

＜画像投影＞
上記したように、本実施形態におけるプロジェクタ１において、投影画像を生成するＤＭＤ５５１は可動ユニット５５に設けられており、システムコントロール部１０の駆動制御部１２によって位置が制御される。 <Image projection>
As described above, in the projector 1 of the present embodiment, the DMD 551 that generates the projected image is provided in the movable unit 55, and the position is controlled by the drive control unit 12 of the system control unit 10.

駆動制御部１２は、例えば、画像投影時にフレームレートに対応する所定の周期で、ＤＭＤ５５１の複数のマイクロミラーの配列間隔未満の距離だけ離れた複数の位置の間を高速移動するように可動ユニット５５の位置を制御する。このとき、画像制御部１１は、それぞれの位置に応じてシフトした投影画像を生成するようにＤＭＤ５５１に画像信号を送信する。 For example, the drive control unit 12 moves at high speed between a plurality of positions separated by a distance less than the array spacing of the plurality of micromirrors of the DMD 551 at a predetermined cycle corresponding to the frame rate at the time of image projection. Control the position of. At this time, the image control unit 11 transmits an image signal to the DMD 551 so as to generate a projected image shifted according to each position.

例えば、駆動制御部１２は、Ｘ１Ｘ２方向及びＹ１Ｙ２方向にＤＭＤ５５１のマイクロミラーの配列間隔未満の距離だけ離れた位置Ｐ１と位置Ｐ２との間で、ＤＭＤ５５１を所定の周期で往復移動させる。このとき、画像制御部１１が、それぞれの位置に応じてシフトした投影画像を生成するようにＤＭＤ５５１を制御することで、投影画像の解像度をＤＭＤ５５１の解像度の約２倍にすることが可能になる。また、ＤＭＤ５５１の移動位置を増やすことで、投影画像の解像度をＤＭＤ５５１の２倍以上にすることもできる。 For example, the drive control unit 12 reciprocates the DMD 551 in the X1X2 direction and the Y1Y2 direction at a predetermined cycle between the position P1 and the position P2 separated by a distance less than the arrangement interval of the micromirrors of the DMD551. At this time, the image control unit 11 controls the DMD 551 so as to generate a projected image shifted according to each position, so that the resolution of the projected image can be made about twice the resolution of the DMD 551. .. Further, by increasing the moving position of the DMD 551, the resolution of the projected image can be doubled or more than that of the DMD 551.

このように、駆動制御部１２が可動ユニット５５と共にＤＭＤ５５１をシフト動作させ、画像制御部１１がＤＭＤ５５１の位置に応じた投影画像を生成させることで、ＤＭＤ５５１の解像度以上に高解像度化した画像を投影することが可能になる。 In this way, the drive control unit 12 shifts the DMD 551 together with the movable unit 55, and the image control unit 11 generates a projected image according to the position of the DMD 551, thereby projecting an image having a resolution higher than that of the DMD 551. It becomes possible to do.

また、本実施形態に係るプロジェクタ１では、駆動制御部１２がＤＭＤ５５１を可動ユニット５５と共に回転するように制御することで、投影画像を縮小させることなく回転させることができる。例えばＤＭＤ５５１等の画像生成手段が固定されているプロジェクタでは、投影画像を縮小させなければ、投影画像の縦横比を維持しながら回転させることはできない。これに対して、本実施形態に係るプロジェクタ１では、ＤＭＤ５５１を回転させることができるため、投影画像を縮小させることなく回転させて傾き等の調整を行うことが可能になっている。 Further, in the projector 1 according to the present embodiment, the drive control unit 12 controls the DMD 551 to rotate together with the movable unit 55, so that the projected image can be rotated without being reduced. For example, in a projector such as DMD551 in which an image generation means is fixed, the projected image cannot be rotated while maintaining the aspect ratio unless the projected image is reduced. On the other hand, in the projector 1 according to the present embodiment, since the DMD 551 can be rotated, it is possible to rotate the projected image without reducing it to adjust the tilt and the like.

以上で説明したように、本実施形態における画像生成ユニット５０は、ＤＭＤ５５１が移動可能に設けられており、ＤＭＤ５５１をシフト動作させることで高解像度化した画像を生成することが可能になっている。 As described above, the image generation unit 50 in the present embodiment is provided with the DMD 551 movable, and it is possible to generate a high-resolution image by shifting the DMD 551.

また、本実施形態では、駆動部による駆動力としてのローレンツ力が可動ユニット５５に作用する駆動力作用点Ｍと、可動ユニット５５の重心位置とが一致するように構成されている。このため、可動ユニット５５の動作安定性を高め、ＤＭＤ５５１の位置を高精度に制御することが可能になっている。 Further, in the present embodiment, the driving force action point M in which the Lorentz force as the driving force by the driving unit acts on the movable unit 55 is configured to coincide with the position of the center of gravity of the movable unit 55. Therefore, the operational stability of the movable unit 55 is improved, and the position of the DMD 551 can be controlled with high accuracy.

さらに、本実施形態では、磁性材料で形成されているトッププレート５１１及びベースプレート５１２が、ヨーク板として機能して位置検出部の位置検出用磁石５４１と磁気回路を形成し、駆動部において生じた磁界の位置検出部への影響が低減されている。このため、駆動制御部１２は、ホール素子５４２の出力に基づいて高速シフトするＤＭＤ５５１の位置を高精度に検出可能であり、ＤＭＤ５５１の位置を精度良く制御できる。 Further, in the present embodiment, the top plate 511 and the base plate 512 made of a magnetic material function as a yoke plate to form a magnetic circuit with a position detection magnet 541 of the position detection unit, and a magnetic field generated in the drive unit. The effect on the position detection unit of is reduced. Therefore, the drive control unit 12 can detect the position of the DMD 551 that shifts at high speed based on the output of the Hall element 542 with high accuracy, and can control the position of the DMD 551 with high accuracy.

上記した本実施形態は、可動ユニット５５の一部に含まれる可動プレート５５２とＤＭＤ基板５５３とからなる可動板が、トッププレート５１１とベースプレート５１２との間である固定ユニット５１の内側に配置されている。また、可動ユニット５５の他部に含まれるＤＭＤ５５１の熱を放熱して冷却する放熱部５５６は、可動ユニット５５の外部（外側）に配置されている。可動ユニット５５の重心は、放熱部５５６の重量が大きいために、固定ユニット５１の外側に配置された放熱部５５６に存在する。 In the above embodiment, the movable plate including the movable plate 552 and the DMD substrate 553 included in a part of the movable unit 55 is arranged inside the fixed unit 51 between the top plate 511 and the base plate 512. There is. Further, the heat radiating unit 556 that radiates and cools the heat of the DMD 551 contained in the other part of the movable unit 55 is arranged outside (outside) the movable unit 55. The center of gravity of the movable unit 55 exists in the heat radiating unit 556 arranged outside the fixed unit 51 because the weight of the heat radiating unit 556 is large.

したがって、ローレンツ力を可動ユニット５５の重心の近くで発生させるために、駆動用磁石５３１（駆動部）をベースプレート５１２に配置し、駆動コイル５８１（駆動部）をヒートシンク５５４の放熱部５５６に配置している。 Therefore, in order to generate the Lorentz force near the center of gravity of the movable unit 55, the drive magnet 531 (drive unit) is arranged on the base plate 512, and the drive coil 581 (drive unit) is arranged on the heat dissipation unit 556 of the heat sink 554. ing.

なお、駆動用磁石５３１を放熱部５５６に配置し、駆動コイル５８１をベースプレート５１２に配置する構成においても、同様にローレンツ力を可動ユニット５５の重心の近くで発生させることができる。 In a configuration in which the drive magnet 531 is arranged in the heat radiating portion 556 and the drive coil 581 is arranged in the base plate 512, the Lorentz force can be similarly generated near the center of gravity of the movable unit 55.

［第２の実施形態］
次に第２の実施形態を説明する。第２の実施形態は第１の実施形態と略同様の技術的思想を有しており、重複する事項の説明は省略し、相違する部分を中心に説明する。図１７は、第２の実施形態における画像生成ユニット８０、移動装置１２０を例示する分解側面図である。 [Second Embodiment]
Next, the second embodiment will be described. The second embodiment has substantially the same technical idea as that of the first embodiment, and the description of overlapping matters will be omitted and the differences will be mainly described. FIG. 17 is an exploded side view illustrating the image generation unit 80 and the moving device 120 in the second embodiment.

図１７に示すように、移動装置１２０、および移動装置１２０のＤＭＤ基板８２２にＤＭＤ８５１を設けた画像生成ユニット８０は、固定ユニット８１、可動ユニット８２を有する。固定ユニット８１は、プロジェクタ１の照明光学系ユニット４０に固定支持される。可動ユニット８２は、固定ユニット８１に移動可能に支持されている。 As shown in FIG. 17, the moving device 120 and the image generation unit 80 provided with the DMD851 on the DMD substrate 822 of the moving device 120 have a fixed unit 81 and a movable unit 82. The fixed unit 81 is fixedly supported by the illumination optical system unit 40 of the projector 1. The movable unit 82 is movably supported by the fixed unit 81.

固定ユニット８１は、第１固定板としてのトッププレート８１１、第２固定板としてのベースプレート８１２を有する。トッププレート８１１とベースプレート８１２とは、複数の支柱８３１によって所定の間隙を介して平行になるように連結されている。 The fixing unit 81 has a top plate 811 as a first fixing plate and a base plate 812 as a second fixing plate. The top plate 811 and the base plate 812 are connected by a plurality of columns 831 so as to be parallel to each other through a predetermined gap.

可動ユニット８２は、可動ユニット８２の一部に含まれる可動プレート８２１と、可動ユニット８２の他部に含まれるＤＭＤ基板８２２を有し、固定ユニット８１に移動可能に支持されている。なお、可動ユニット８２は、前記他部に含まれるＤＭＤ８５１の熱を放熱して冷却する放熱部８５６を含んで構成される。放熱部８５６はヒートシンク８５４の一部を構成する。ヒートシンク８５４は、可動ユニット８２の他部に含まれてよい。なお、可動プレート８２１は、第１可動板を構成する。ＤＭＤ基板８２２は、第２可動板を構成する。可動ユニット８２の重心位置は、固定ユニット８１の外側に存在する。 The movable unit 82 has a movable plate 821 included in a part of the movable unit 82 and a DMD substrate 822 included in another part of the movable unit 82, and is movably supported by the fixed unit 81. The movable unit 82 includes a heat radiating unit 856 that radiates and cools the heat of the DMD 851 contained in the other unit. The heat radiating unit 856 forms a part of the heat sink 854. The heat sink 854 may be included in the other part of the movable unit 82. The movable plate 821 constitutes the first movable plate. The DMD substrate 822 constitutes the second movable plate. The position of the center of gravity of the movable unit 82 exists outside the fixed unit 81.

トッププレート８１１は、可動プレート８２１とＤＭＤ基板８２２との間に設けられている。可動プレート８２１は、固定ユニット８１のトッププレート８１１とベースプレート８１２との間に設けられている。可動プレート８２１は、トッププレート８１１及びベースプレート８１２にそれぞれ回転可能に保持されている複数の支持球体８３２によって、移動可能に支持される。 The top plate 811 is provided between the movable plate 821 and the DMD substrate 822. The movable plate 821 is provided between the top plate 811 and the base plate 812 of the fixing unit 81. The movable plate 821 is movably supported by a plurality of support spheres 832 that are rotatably held by the top plate 811 and the base plate 812, respectively.

ＤＭＤ基板８２２には、ＤＭＤ８５１が設けられている。ＤＭＤ基板８２２は、固定ユニット８１のトッププレート８１１を間に挟んで可動プレート８２１に固定されている。したがって、ＤＭＤ基板８２２は固定ユニット８１の外側に配置されている。ＤＭＤ８５１は、ＤＭＤ基板８２２の上面に設けられている。 A DMD851 is provided on the DMD substrate 822. The DMD substrate 822 is fixed to the movable plate 821 with the top plate 811 of the fixing unit 81 sandwiched between them. Therefore, the DMD substrate 822 is arranged outside the fixed unit 81. The DMD851 is provided on the upper surface of the DMD substrate 822.

トッププレート８１１のＤＭＤ基板８２２側の面には、複数の駆動用磁石８２５が設けられている。また、ＤＭＤ基板８２２のトッププレート８１１側の面には、それぞれ駆動用磁石８２５に対向するように複数の駆動コイル８２６が設けられている。駆動用磁石８２５及び駆動コイル８２６は、可動ユニット８２を移動させる駆動部を構成する。 A plurality of driving magnets 825 are provided on the surface of the top plate 811 on the DMD substrate 822 side. Further, a plurality of drive coils 826 are provided on the surface of the DMD substrate 822 on the top plate 811 side so as to face the drive magnets 825. The drive magnet 825 and the drive coil 826 form a drive unit for moving the movable unit 82.

駆動コイル８２６に電流が流されると、駆動用磁石８２５によって形成される磁界により、可動ユニット８２を移動させる駆動力となるローレンツ力が発生する。可動ユニット８２は、駆動用磁石８２５と駆動コイル８２６との間で発生するローレンツ力を受けて、固定ユニット８１に対して、ＸＹ平面において直線的又は回転するように変位する。 When a current is passed through the drive coil 826, the magnetic field formed by the drive magnet 825 generates a Lorentz force that is a drive force for moving the movable unit 82. The movable unit 82 receives the Lorentz force generated between the drive magnet 825 and the drive coil 826, and is displaced with respect to the fixed unit 81 so as to be linear or rotational in the XY plane.

また、ベースプレート８１２は、可動プレート８２１と、該可動プレート８２１に連結された放熱部８５６との間に配置されている。 Further, the base plate 812 is arranged between the movable plate 821 and the heat radiating portion 856 connected to the movable plate 821.

第２の実施形態は、可動ユニット８２の重心がＤＭＤ基板８２２付近にある場合を想定している。駆動コイル８２６をＤＭＤ基板８２２に配置し、駆動用磁石８２５をトッププレート８１１に配置することで、可動ユニット８２の重心の位置とローレンツ力の発生する位置とが近くなり、可動ユニット８２の動作安定性を高めることができる。なお駆動コイル８２６をトッププレート８１１に配置し、駆動用磁石８２５をＤＭＤ基板８２２に配置しても同様の効果が得られる。 The second embodiment assumes that the center of gravity of the movable unit 82 is near the DMD substrate 822. By arranging the drive coil 826 on the DMD substrate 822 and the drive magnet 825 on the top plate 811, the position of the center of gravity of the movable unit 82 and the position where the Lorentz force is generated are close to each other, and the operation of the movable unit 82 is stable. You can improve your sex. The same effect can be obtained by arranging the drive coil 826 on the top plate 811 and arranging the drive magnet 825 on the DMD substrate 822.

以上、実施形態に係る画像生成ユニット及び画像投影装置について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内で種々の変形及び改良が可能である。 Although the image generation unit and the image projection device according to the embodiment have been described above, the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications and improvements can be made within the scope of the present invention.

１ プロジェクタ（画像投影装置）
１０ システムコントロール部
１１ 画像制御部
１２ 駆動制御部
３０ 光源
４０ 照明光学系ユニット
５０ 画像生成ユニット
５１ 固定ユニット
５５ 可動ユニット
６０ 投影光学系ユニット（投影部）
１００、１２０ 移動装置
５１１、８１１ トッププレート（第１固定板）
５１２、８１２ ベースプレート（第２固定板）
５３１ 駆動用磁石
５４１ 位置検出用磁石
５８１ 駆動コイル
５４２ ホール素子（磁気センサ）
５５１、８５１ ＤＭＤ（画像生成部）
５５２、８２１ 可動プレート（第１可動板）
５５３、８２２ ＤＭＤ基板（第２可動板）
５５４、８５４ ヒートシンク
５５６ ８５６ 放熱部
Ｍ 駆動力作用点 1 Projector (image projection device)
10 System control unit 11 Image control unit 12 Drive control unit 30 Light source 40 Illumination optical system unit 50 Image generation unit 51 Fixed unit 55 Movable unit 60 Projection optical system unit (projection unit)
100, 120 Moving device 511, 811 Top plate (first fixing plate)
512, 812 base plate (second fixing plate)
531 Drive magnet 541 Position detection magnet 581 Drive coil 542 Hall element (magnetic sensor)
551, 851 DMD (image generator)
552, 821 movable plate (first movable plate)
553, 822 DMD substrate (second movable plate)
554, 854 Heat sink 556 856 Heat dissipation part M Driving force action point

特開２００４−１８００１１号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2004-180011

Claims (4)

対向配置された第１固定板と第２固定板とを備える固定ユニットと、
前記固定ユニットの内側に一部が配置され、前記固定ユニットの外側に他部が配置された可動ユニットと、を有しており、
前記可動ユニットの重心位置は、前記固定ユニットの外側にあり、
対で作動する駆動部の一方は、前記第１固定板と前記第２固定板のうちの前記可動ユニットの重心に近い方に配置され、
前記駆動部の他方は、前記駆動部の一方に対向配置となるように前記可動ユニットの前記他部に配置され、
前記駆動部は、
駆動用磁石と、前記駆動用磁石に対向して設けられ、通電されることで駆動力を生成する駆動コイルとを有し、
前記可動ユニットは、
画像生成部が配置され、前記一部に含まれる可動板と、前記画像生成部の熱を放熱し、前記他部に含まれる放熱部とを有し、
前記可動板と前記放熱部との間に前記第２固定板が配置され、
前記駆動部を構成する前記駆動用磁石及び前記駆動コイルの一方は、前記第２固定板に配置され、
前記駆動用磁石及び前記駆動コイルの他方は、前記放熱部に配置されていることを特徴とする移動装置を備えた画像生成ユニット。 A fixing unit having a first fixing plate and a second fixing plate arranged to face each other,
It has a movable unit in which a part is arranged inside the fixed unit and another part is arranged outside the fixed unit.
The position of the center of gravity of the movable unit is on the outside of the fixed unit.
One of the drive units that operate in pairs is arranged closer to the center of gravity of the movable unit among the first fixing plate and the second fixing plate.
The other part of the drive unit is arranged in the other part of the movable unit so as to face one of the drive units .
The drive unit
It has a drive magnet and a drive coil provided facing the drive magnet and generating a driving force by being energized.
The movable unit is
An image generating unit is arranged, and has a movable plate included in the part thereof and a heat radiating unit included in the other part by dissipating heat from the image generating unit.
The second fixing plate is arranged between the movable plate and the heat radiating portion.
One of the driving magnet and the driving coil constituting the driving unit is arranged on the second fixing plate.
An image generation unit including a moving device, wherein the other of the driving magnet and the driving coil is arranged in the heat radiating portion. 対向配置された第１固定板と第２固定板とを備える固定ユニットと、
前記固定ユニットの内側に一部が配置され、前記固定ユニットの外側に他部が配置された可動ユニットと、を有しており、
前記可動ユニットの重心位置は、前記固定ユニットの外側にあり、
対で作動する駆動部の一方は、前記第１固定板と前記第２固定板のうちの前記可動ユニットの重心に近い方に配置され、
前記駆動部の他方は、前記駆動部の一方に対向配置となるように前記可動ユニットの前記他部に配置され、
前記駆動部は、
駆動用磁石と、前記駆動用磁石に対向して設けられ、通電されることで駆動力を生成する駆動コイルとを有し、
前記可動ユニットは、
前記第１固定板と前記第２固定板との間に配置され、前記一部に含まれる第１可動板と、画像生成部が配置され、前記他部に含まれる第２可動板と、前記画像生成部の熱を放熱し、前記他部に含まれる放熱部とを有し、
前記第１可動板と前記第２可動板との間に前記第１固定板が配置され、
前記第１可動板と前記放熱部との間に前記第２固定板が配置され、
前記駆動部を構成する前記駆動用磁石及び前記駆動コイルの一方は、前記第２可動板に配置され、
前記駆動用磁石及び前記駆動コイルの一方は、前記第１固定板に配置されていることを特徴とする移動装置を備えた画像生成ユニット。 A fixing unit having a first fixing plate and a second fixing plate arranged to face each other,
It has a movable unit in which a part is arranged inside the fixed unit and another part is arranged outside the fixed unit.
The position of the center of gravity of the movable unit is on the outside of the fixed unit.
One of the drive units that operate in pairs is arranged closer to the center of gravity of the movable unit among the first fixing plate and the second fixing plate.
The other part of the drive unit is arranged in the other part of the movable unit so as to face one of the drive units .
The drive unit
It has a drive magnet and a drive coil provided facing the drive magnet and generating a driving force by being energized.
The movable unit is
A first movable plate arranged between the first fixing plate and the second fixing plate and included in the part thereof, a second movable plate included in the other part, and an image generation unit are arranged. It dissipates heat from the image generation unit and has a heat dissipation unit included in the other unit.
The first fixing plate is arranged between the first movable plate and the second movable plate.
The second fixing plate is arranged between the first movable plate and the heat radiating portion.
One of the driving magnet and the driving coil constituting the driving unit is arranged on the second movable plate.
An image generation unit including a moving device, wherein one of the driving magnet and the driving coil is arranged on the first fixing plate. 前記駆動コイルに流れる電流を制御する駆動制御部を有し、
前記画像生成部は、光源から照射された光を画像信号に基づいて変調する複数のマイクロミラーが配列されたデジタルマイクロミラーデバイスであり、
前記駆動制御部は、前記可動ユニットを所定の周期で前記複数のマイクロミラーの配列間隔未満の距離を移動させるように前記駆動部を制御する
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の画像生成ユニット。 It has a drive control unit that controls the current flowing through the drive coil.
The image generation unit is a digital micromirror device in which a plurality of micromirrors that modulate the light emitted from the light source based on the image signal are arranged.
The image according to claim 1 or 2 , wherein the drive control unit controls the drive unit so as to move the movable unit at a distance less than the arrangement interval of the plurality of micromirrors in a predetermined cycle. Generation unit. 請求項１から３の何れか一項に記載の画像生成ユニットと、
前記画像生成部により生成された画像を投影する投影部と、を有する
ことを特徴とする画像投影装置。 The image generation unit according to any one of claims 1 to 3 .
An image projection device including a projection unit that projects an image generated by the image generation unit.
JP2016218514A 2016-03-15 2016-11-09 Image generation unit and image projection device Active JP6822080B2 (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US15/443,152 US20170272718A1 (en) 2016-03-15 2017-02-27 Moving apparatus, image generating unit, and image projecting apparatus
CN201710137826.6A CN107197219B (en) 2016-03-15 2017-03-09 Mobile device, image generation unit, and image projection device

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016051336 2016-03-15
JP2016051336 2016-03-15

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2017167510A JP2017167510A (en) 2017-09-21
JP6822080B2 true JP6822080B2 (en) 2021-01-27

Family

ID=59909014

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016218514A Active JP6822080B2 (en) 2016-03-15 2016-11-09 Image generation unit and image projection device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6822080B2 (en)

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4772349B2 (en) * 2005-03-16 2011-09-14 オリンパスイメージング株式会社 LIGHT VALVE UNIT AND PROJECTION TYPE DISPLAY
KR100693349B1 (en) * 2005-04-08 2007-03-09 삼성전자주식회사 Digital micro-mirror device assembly for optical projection system
JP2008152277A (en) * 2008-01-29 2008-07-03 Sanyo Electric Co Ltd Projection type video display device
JP2016009003A (en) * 2014-06-23 2016-01-18 株式会社リコー Cooling device, image projector, and electronic apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
JP2017167510A (en) 2017-09-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6428155B2 (en) Image projection apparatus and image generation apparatus
JP6688481B2 (en) Image projection device
JP6662127B2 (en) Image generation unit and image projection device
US10091472B2 (en) Image generating unit and image projecting apparatus
US9819916B2 (en) Movable apparatus, image generation apparataus, and image projection apparatus
CN107197219B (en) Mobile device, image generation unit, and image projection device
JP6840940B2 (en) Image display unit, image projection unit, and image projection device
JP6903902B2 (en) Image generator and image projection device
US9787956B2 (en) Image projection apparatus
JP6828370B2 (en) Image generator and image projection device
JP6816485B2 (en) Image generator and image projection device
JP6958062B2 (en) Image generation unit, image projection device and heat sink
US9778551B2 (en) Illumination optical system, optical engine, and image projection apparatus
JP6790433B2 (en) Illumination optics, optical engine and image projection device
JP6724519B2 (en) Image generation unit and image projection device
JP6822080B2 (en) Image generation unit and image projection device
JP6547480B2 (en) Image projection apparatus and image projection method
JP2017146536A (en) Image display device and image projection device
JP2018013442A (en) Position detection device, position detection method, image creation unit, and image projection device
JP2017134122A (en) Image generation device and image projection device
JP7099133B2 (en) Image projection device
JP2017223789A (en) Image projection device
JP2018009895A (en) Position detection device, position detection method, image formation unit and image projection device
JP2017161799A (en) Image projection device and image projection method
JP2017161800A (en) Image generation device and image projection device

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20190903

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20200914

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20200923

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20201119

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20201208

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20201221

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 6822080

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151