JP6825671B1 - Silicon material shipping bag and silicon material packaging - Google Patents

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Abstract

【課題】梱包時に容易に開口可能、かつ内容物であるシリコン材料の汚染を抑制可能なシリコン材料の輸送用袋及びシリコン材料の梱包体を提供する。【解決手段】シリコン材料の輸送用袋は、第1及び第2側縁部、並びに第3及び第4側縁部を有し、第1及び第2側縁部と、第3及び第4側縁部とが交わる第1フィルムと、第1及び第2側縁部、並びに第3及び第4側縁部を有し、第1及び第2側縁部と、第3及び第4側縁部とが交わる第2フィルムとを備え、第1及び第2フィルムとを重ね合わせた状態で、互いに重なる第1フィルムの第1〜第3側縁部と第2フィルムの第1〜第3側縁部とが固着されることで、固着されない第4側縁部側において開口部が形成され、開口部が閉じた状態の輸送用袋の第1フィルムの所定の位置を保持して第1フィルムの面直方向に引っ張り上げたときに開口部を開口させるための引張力が、1.5N以下である。【選択図】図1PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a bag for transporting a silicon material and a packing body for the silicon material, which can be easily opened at the time of packing and can suppress contamination of the silicon material as a content. A bag for transporting a silicon material has first and second side edges, and third and fourth side edges, and has first and second side edges and third and fourth sides. It has a first film that intersects the edges, first and second side edges, and third and fourth side edges, and has first and second side edges and third and fourth side edges. The first to third side edges of the first film and the first to third side edges of the second film are overlapped with each other in a state where the first and second films are overlapped with each other. By fixing the portion, an opening is formed on the side of the fourth side edge that is not fixed, and the first film of the first film is held at a predetermined position in the state where the opening is closed. The tensile force for opening the opening when pulled up in the direction perpendicular to the plane is 1.5 N or less. [Selection diagram] Fig. 1

Description

本開示は、シリコン材料の輸送用袋及びシリコン材料の梱包体に関する。 The present disclosure relates to a shipping bag made of silicon material and a packing body made of silicon material.

半導体製品等の製造に用いられるシリコンウェハや、シリコンウェハの原材料であるポリシリコン等のシリコン材料は、高い清浄度を求められるため、一般に、樹脂製フィルムにより構成される、清浄な袋に梱包された状態で輸送される。シリコン材料は、通常、自動梱包機を用いて上記袋の開口部を開口して梱包される。しかしながら、上記袋を構成する樹脂製フィルム同士が静電作用等により貼り付いていることがあり、自動梱包機にて袋を開口することができない場合があり、生産効率が落ちるという問題がある。このような問題を解決するために、従来、帯電防止剤を添加した樹脂製フィルムにより構成され、自動梱包機にて容易に開口可能な袋が提案されている(特許文献1参照)。 Since silicon wafers used in the manufacture of semiconductor products and silicon materials such as polysilicon, which are the raw materials for silicon wafers, are required to have high cleanliness, they are generally packed in a clean bag made of a resin film. It is transported in a state of being. The silicon material is usually packed by opening the opening of the bag using an automatic packing machine. However, the resin films constituting the bag may be stuck to each other due to electrostatic action or the like, and the bag may not be opened by the automatic packing machine, which causes a problem that the production efficiency is lowered. In order to solve such a problem, a bag made of a resin film to which an antistatic agent is added and which can be easily opened by an automatic packing machine has been conventionally proposed (see Patent Document 1).

特許第6116125号公報Japanese Patent No. 6116125

上記特許文献1に開示されている袋のように、袋を構成する樹脂製フィルムに帯電防止剤を添加することで、樹脂製フィルム同士が貼り付いてしまうのを抑制することができ、自動梱包機にて袋を容易に開口することができる。しかしながら、樹脂製フィルムに添加されている帯電防止剤によって、内容物のシリコン材料が汚染されてしまうおそれがある。 Like the bag disclosed in Patent Document 1, by adding an antistatic agent to the resin film constituting the bag, it is possible to prevent the resin films from sticking to each other, and automatic packing is performed. The bag can be easily opened by the machine. However, the antistatic agent added to the resin film may contaminate the silicon material of the contents.

上記課題に鑑みて、本開示は、梱包時に容易に開口可能であり、かつ内容物であるシリコン材料の汚染を抑制することのできるシリコン材料の輸送用袋及びシリコン材料の梱包体を提供することを一目的とする。 In view of the above problems, the present disclosure provides a transport bag for a silicon material and a package for the silicon material, which can be easily opened at the time of packaging and can suppress contamination of the silicon material as the content. Is one purpose.

上記課題を解決するために、本開示の一実施形態として、シリコン材料の輸送用袋であって、互いに対向する第1側縁部及び第2側縁部、並びに互いに対向する第3側縁部及び第4側縁部を有し、前記第1側縁部及び前記第2側縁部と、前記第3側縁部及び前記第4側縁部とが交わる第1フィルムと、互いに対向する第1側縁部及び第2側縁部、並びに互いに対向する第3側縁部及び第4側縁部を有し、前記第1側縁部及び前記第2側縁部と、前記第3側縁部及び前記第4側縁部とが交わる第2フィルムとを備え、前記第1フィルムと前記第2フィルムとを重ね合わせた状態で、互いに重なる前記第1フィルムの前記第1〜第3側縁部と前記第2フィルムの前記第1〜第3側縁部とがそれぞれ固着されることで、固着されない前記第4側縁部側において開口部が形成されており、前記第1フィルムの前記第1側縁部と前記第2フィルムの前記第1側縁部とは、前記輸送用袋の内側に向かって折り込まれた第1ガゼットフィルムを介して固着されており、前記第1フィルムの前記第2側縁部と前記第2フィルムの前記第2側縁部とは、前記輸送用袋の内側に向かって折り込まれた第2ガゼットフィルムを介して固着されており、前記第1フィルム、前記第2フィルム、前記第1ガゼットフィルム及び前記第2ガゼットフィルムは、少なくとも樹脂基材層と、樹脂層と、シーラント層とをこの順で積層する積層体であって、前記積層体は帯電防止剤を含まず、前記シーラント層が、前記輸送用袋の内側に位置しており、前記開口部が閉じた状態の前記輸送用袋の前記第1フィルムの所定の位置を保持して前記第1フィルムの面直方向に引っ張り上げたときに前記開口部を開口させるための引張力が、1.5N以下であり、前記引張力は、前記第1フィルムの前記第1側縁部の近傍であって、前記第1側縁部の長さ方向に沿った前記第3側縁部及び前記第4側縁部の間の中心位置から前記第3側縁部側に200mm離れた第1位置及び前記第4側縁部側に200mm離れた第2位置を保持して前記第1フィルムの面直方向に引っ張り上げたときにフォースゲージを用いて測定される値であるシリコン材料の輸送用袋が提供される。 In order to solve the above problems, as one embodiment of the present disclosure, a transport bag made of a silicon material, the first side edge portion and the second side edge portion facing each other, and the third side edge portion facing each other. A first film having a fourth side edge portion and intersecting the first side edge portion and the second side edge portion with the third side edge portion and the fourth side edge portion facing each other. It has one side edge portion and a second side edge portion, and a third side edge portion and a fourth side edge portion facing each other, the first side edge portion and the second side edge portion, and the third side edge portion. The first to third side edges of the first film which are provided with a second film where a portion and the fourth side edge portion intersect with each other and which overlap each other in a state where the first film and the second film are overlapped with each other. By fixing the portion and the first to third side edges of the second film, respectively, an opening is formed on the side of the fourth side edge that is not fixed, and the first of the first films. The first side edge portion and the first side edge portion of the second film are fixed to each other via a first gusset film folded toward the inside of the transportation bag, and the first of the first films. The second side edge portion and the second side edge portion of the second film are fixed to each other via a second gusset film folded toward the inside of the transportation bag, and the first film and the first film are fixed to each other . The two films, the first gusset film, and the second gusset film are laminates in which at least a resin base material layer, a resin layer, and a sealant layer are laminated in this order, and the laminate has an antioxidant. Not included, the sealant layer is located inside the transport bag and holds a predetermined position of the first film of the transport bag with the opening closed to hold the first film of the first film. The tensile force for opening the opening when pulled up in the direction perpendicular to the plane is 1.5 N or less, and the tensile force is in the vicinity of the first side edge portion of the first film. The first position and the fourth position 200 mm away from the center position between the third side edge portion and the fourth side edge portion along the length direction of the first side edge portion toward the third side edge portion. Provided is a transport bag made of a silicon material, which is a value measured using a force gauge when a second position 200 mm away from the side edge side is held and the first film is pulled up in the direction perpendicular to the plane. ..

上記シリコン材料の輸送用袋において、前記樹脂基材層は、ポリエステル樹脂により構成されていればよく、前記樹脂基材層は、ポリエチレンテレフタレート(PET)により構成されていればよく、少なくとも前記第1フィルム及び前記第2フィルムは、透明であればよい。 In the transport bag of the silicon material, the resin base material layer may be made of polyester resin, and the resin base material layer may be made of polyethylene terephthalate (PET), at least the first. The film and the second film may be transparent.

本開示の一実施形態として、上記シリコン材料の輸送用袋と、前記シリコン材料の輸送用袋内に収容されているシリコン材料とを備えるシリコン材料の梱包体が提供される。 As one embodiment of the present disclosure, there is provided a silicone material packing body including the silicon material transport bag and the silicon material housed in the silicon material transport bag.

本開示によれば、梱包時に容易に開口可能であり、かつ内容物であるシリコン材料の汚染を抑制することのできるシリコン材料の輸送用袋及びシリコン材料の梱包体を提供することができる。 According to the present disclosure, it is possible to provide a transport bag for a silicon material and a packing body for the silicon material, which can be easily opened at the time of packing and can suppress contamination of the silicon material as a content.

図1は、本実施形態に係るシリコン材料の輸送用袋の開口部を開いた状態の概略構成を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration in a state where an opening of a transport bag for a silicon material according to the present embodiment is opened. 図2は、本実施形態における包装材料の一態様の概略構成を示す部分拡大切断端面図である。FIG. 2 is a partially enlarged cut end view showing a schematic configuration of one aspect of the packaging material in the present embodiment. 図3は、本実施形態におけるシーラント層の一態様の概略構成を示す部分拡大切断端面図である。FIG. 3 is a partially enlarged cut end view showing a schematic configuration of one aspect of the sealant layer in the present embodiment. 図4は、本実施形態におけるシーラント層の他の態様の概略構成を示す部分拡大切断端面図である。FIG. 4 is a partially enlarged cut end view showing a schematic configuration of another aspect of the sealant layer in the present embodiment. 図5は、本実施形態におけるシリコン材料の梱包体の概略構成を示す斜視図である。FIG. 5 is a perspective view showing a schematic configuration of a package of silicon material according to the present embodiment. 図6は、本実施形態に係るシリコン材料の輸送用袋の開口部を閉じた状態の概略構成を示す斜視図である。FIG. 6 is a perspective view showing a schematic configuration of a silicon material transport bag according to the present embodiment in a closed state. 図7は、本実施形態における包装材料を製造するための多層フィルム製造装置の概略構成を示す模式図である。FIG. 7 is a schematic view showing a schematic configuration of a multilayer film manufacturing apparatus for manufacturing a packaging material according to the present embodiment. 図8は、本実施形態における包装材料の他の態様の概略構成を示す部分拡大切断端面図である。FIG. 8 is a partially enlarged cut end view showing a schematic configuration of another aspect of the packaging material in the present embodiment.

本開示の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
本明細書に添付した図面においては、理解を容易にするために、各部の形状、縮尺、縦横の寸法比等を、実物から変更したり、誇張したりしている場合がある。本明細書等において「〜」を用いて表される数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値のそれぞれを下限値及び上限値として含む範囲であることを意味する。本明細書等において、「フィルム」、「シート」、「板」等の用語は、呼称の相違に基づいて相互に区別されない。例えば、「板」は、「シート」、「フィルム」と一般に呼ばれ得るような部材をも含む概念である。
Embodiments of the present disclosure will be described with reference to the drawings.
In the drawings attached to the present specification, in order to facilitate understanding, the shape, scale, aspect ratio, etc. of each part may be changed or exaggerated from the actual product. The numerical range represented by using "~" in the present specification and the like means a range including each of the numerical values before and after "~" as a lower limit value and an upper limit value. In the present specification and the like, terms such as "film", "sheet" and "board" are not distinguished from each other based on the difference in designation. For example, "board" is a concept that includes members that can be generally called "sheet" or "film".

図1に示すように、本実施形態に係るシリコン材料の輸送用袋1は、広げることで略方体状(略直方体状)となる包装袋であって、第1側面フィルム11、第2側面フィルム12、第1ガゼットフィルム13及び第2ガゼットフィルム14によって構成されている。第1側面フィルム11、第2側面フィルム12、第1ガゼットフィルム13及び第2ガゼットフィルム14は、いずれも後述する包装材料30により構成されている。なお、輸送用袋1は、第1ガゼットフィルム13及び第2ガゼットフィルム14を有しないものであってもよい。この場合において、第1側面フィルム11及び第2側面フィルム12を、互いのシーラント層34の第1面34Aを対向させるようにして3つの側縁部(第1〜第3側縁部111〜113,121〜123)をヒートシールすればよい。
なお、図1に示す第1側面フィルム11は、互いに対向する第1側縁部111及び第2側縁部112、並びに互いに対向する第3側縁部113及び第4側縁部114を有し、第1側縁部111及び第2側縁部112と、第3側縁部113及び第4側縁部114とが交わる形状(略方形状)を有している。第2側面フィルム12も、第1側面フィルム11と同様の形状を有している。
As shown in FIG. 1, the silicon material transport bag 1 according to the present embodiment is a packaging bag that becomes a substantially rectangular parallelepiped shape (substantially rectangular parallelepiped shape) when expanded, and is a first side film 11 and a second side surface. It is composed of a film 12, a first gusset film 13, and a second gusset film 14. The first side surface film 11, the second side surface film 12, the first gusset film 13 and the second gusset film 14 are all made of the packaging material 30, which will be described later. The transport bag 1 may not have the first gusset film 13 and the second gusset film 14. In this case, the first side surface film 11 and the second side surface film 12 have three side edge portions (first to third side edge portions 111 to 113) so that the first surface 34A of the sealant layer 34 faces each other. , 121-123) may be heat-sealed.
The first side film 11 shown in FIG. 1 has a first side edge portion 111 and a second side edge portion 112 facing each other, and a third side edge portion 113 and a fourth side edge portion 114 facing each other. , The first side edge portion 111 and the second side edge portion 112 have a shape (substantially rectangular shape) in which the third side edge portion 113 and the fourth side edge portion 114 intersect. The second side surface film 12 also has the same shape as the first side surface film 11.

輸送用袋1は、第1側面フィルム11、第2側面フィルム12、第1ガゼットフィルム13及び第2ガゼットフィルム14の各シーラント層34の第1面34Aが最内面に位置し、樹脂基材層31の他方面31B側(樹脂基材層31のシーラント層34が位置する面と反対の面側)が最外面に位置するように構成されている。 In the transport bag 1, the first surface 34A of each of the sealant layers 34 of the first side surface film 11, the second side surface film 12, the first gusset film 13 and the second gusset film 14 is located on the innermost surface, and the resin base material layer. The other surface 31B side of the 31 (the surface side of the resin base material layer 31 opposite to the surface on which the sealant layer 34 is located) is configured to be located on the outermost surface.

図1に示す輸送用袋1において、第1側面フィルム11の2つの対向する第1側縁部111及び第2側縁部112の一方(第1側縁部111)と折り込まれた第1ガゼットフィルム13の2つの対向する側縁部の一方とを重ね合わせてヒートシールにより溶着させてなる第1ヒートシール部HS11が形成され、第1側面フィルム11の第1側縁部111及び第2側縁部112の他方(第2側縁部112)と折り込まれた第2ガゼットフィルム14の2つの対向する側縁部の一方とを重ね合わせてヒートシールにより溶着させてなる第2ヒートシール部HS12が形成されている。また、第2側面フィルム12の2つの対向する第1側縁部121及び第2側縁部122の一方(第1側縁部121)と折り込まれた第1ガゼットフィルム13の上記側縁部の他方とを重ね合わせてヒートシールにより溶着させてなる第3ヒートシール部HS13が形成され、第2側面フィルム12の第1側縁部121及び第2側縁部122の他方(第2側縁部122)と折り込まれた第2ガゼットフィルム14の上記側縁部の他方とを重ね合わせてヒートシールにより溶着させてなる第4ヒートシール部HS14が形成されている。第1側面フィルム11及び第2側面フィルム12のそれぞれの第3側縁部113,123を重ね合わせてヒートシールにより溶着させてなる底面ヒートシール部HSB1が形成され、底面ヒートシール部HSB1に対向して位置する第1側面フィルム11及び第2側面フィルム12のそれぞれの第4側縁部114,124は、ヒートシールされずに輸送用袋1の開口部16を形成している。 In the transport bag 1 shown in FIG. 1, a first gusset folded with one of two opposing first side edge portions 111 and second side edge portion 112 (first side edge portion 111) of the first side surface film 11. The first heat-sealed portion HS11 formed by superimposing one of the two opposing side edge portions of the film 13 and welding them by heat sealing is formed, and the first side edge portion 111 and the second side of the first side surface film 11 are formed. The second heat-sealed portion HS12 formed by superimposing the other of the edge portion 112 (second side edge portion 112) and one of the two opposing side edge portions of the folded second gusset film 14 and welding them by heat sealing. Is formed. Further, the side edge portion of the first gusset film 13 folded with one of the two opposing first side edge portions 121 and the second side edge portion 122 (first side edge portion 121) of the second side surface film 12. A third heat-sealed portion HS13 formed by superimposing the other and welding by heat sealing is formed, and the other (second side edge portion) of the first side edge portion 121 and the second side edge portion 122 of the second side surface film 12 is formed. A fourth heat-sealed portion HS14 formed by superimposing the 122) and the other side edge portion of the folded second gusset film 14 and welding them by heat sealing is formed. A bottom surface heat-sealing portion HSB1 formed by superimposing the third side edge portions 113 and 123 of the first side surface film 11 and the second side surface film 12 and welding them by heat sealing is formed and faces the bottom surface heat sealing portion HSB1. The fourth side edges 114 and 124 of the first side film 11 and the second side film 12 respectively formed the opening 16 of the transport bag 1 without being heat-sealed.

図2に示すように、輸送用袋1の各フィルム(第1側面フィルム11、第2側面フィルム12、第1ガゼットフィルム13及び第2ガゼットフィルム14)を構成する包装材料30は、一方面31A及びそれに対向する他方面31Bを有する樹脂基材層31と、樹脂基材層31の一方面31A側に順に積層されている樹脂層32及びシーラント層34とを有する。 As shown in FIG. 2, the packaging material 30 constituting each film (first side film 11, second side film 12, first gusset film 13 and second gusset film 14) of the transport bag 1 has one side 31A. It has a resin base material layer 31 having the other surface 31B facing the resin base material layer 31, and a resin layer 32 and a sealant layer 34 which are sequentially laminated on the one side surface 31A side of the resin base material layer 31.

樹脂基材層31は、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリブチレンテレフタレート(PBT)等のポリエステル系樹脂材料等により構成され、1種の樹脂材料の単層体であってもよいし、2種以上の樹脂材料の積層体であってもよい。樹脂基材層31は、ナイロン(Ny,登録商標)等のポリアミド系樹脂材料を含んでいても構わないが、当該ポリアミド系樹脂材料を含んでいない方が好ましい。ポリアミド系樹脂材料の残存モノマーであるカプロラクタムは内容物であるシリコン材料を汚染させてしまうおそれがあり、樹脂基材層31がポリアミド系樹脂材料を含んでいると、輸送用袋1の開封時に、樹脂基材層31に含まれ得るカプロラクタムによるシリコン材料の汚染が生じるおそれを否定することはできないが、樹脂基材層31がポリアミド系樹脂材料を含んでいないことで、内容物であるシリコン材料を汚染させてしまう可能性を低減することができる。 The resin base material layer 31 is made of, for example, a polyester-based resin material such as polyethylene terephthalate (PET) or polybutylene terephthalate (PBT), and may be a single layer of one type of resin material or two types. It may be a laminate of the above resin materials. The resin base material layer 31 may contain a polyamide-based resin material such as nylon (Ny, a registered trademark), but it is preferable that the resin base material layer 31 does not contain the polyamide-based resin material. Caprolactam, which is a residual monomer of the polyamide-based resin material, may contaminate the silicon material as the content. If the resin base material layer 31 contains the polyamide-based resin material, when the transportation bag 1 is opened, Although it cannot be denied that the silicon material may be contaminated by caprolactam that may be contained in the resin base material layer 31, the silicon material that is the content is contained because the resin base material layer 31 does not contain the polyamide-based resin material. The possibility of contaminating it can be reduced.

樹脂基材層31とシーラント層34との間に位置する樹脂層32は、ポリエチレン(PE)等のポリオレフィンの押出ラミネートにより形成されていてもよいし、樹脂基材層31とシーラント層34とを接着する接着剤により形成されていてもよい。接着剤としては、例えば、ポリエチレン(PE)等のポリオレフィン、2液型ウレタン樹脂接着剤等が挙げられる。2液型ウレタン樹脂接着剤としては、例えば、主剤(ロックペイント社製、Ru77t)と硬化剤(ロックペイント社製、H−7)とを混合した2液型ウレタン樹脂接着剤を用いることができる。図8には、樹脂層32がバリア層36よりも内側に配置されている形態が示されているが、バリア層36よりも外側に配置されてもよい。図示しないが、樹脂層32が接着剤により形成される場合には、バリア層36よりも外側に配置されることがより好ましい。包装材料30を用いてシリコン材料の輸送用袋1を作製した際に、バリア層36よりも輸送用袋1の外側に樹脂層32が配置されるため、樹脂層32を構成する接着剤の有機成分が輸送用袋1の内部に移動することを抑えることができる。これにより、当該輸送用袋1にシリコン材料を収容したときには、輸送用袋1内のシリコン材料の劣化が生じるのを抑制することができる。樹脂層32の厚みは、例えば、1μm〜5μm程度であればよく、2μm〜4μm程度であるのが好ましい。接着剤により形成される樹脂層32の厚みが1μmよりも薄いと、十分な接着強度を得ることができないおそれがある。一方、接着剤により形成される樹脂層32の厚みが5μmよりも厚いと、硬化反応に時間を要することで、未反応物や残留溶剤等が樹脂層32により多く含まれてしまうおそれがある。また、包装材料30は、複数の樹脂基材層31や複数の樹脂層32を有していてもよい。このような包装材料30の具体例としては、PETにより構成される樹脂基材層31、接着剤により構成される樹脂層32、アルミ蒸着層により構成されるバリア層36、PETにより構成される樹脂基材層31、PEにより構成される樹脂層32、シーラント層34の順で積層された包装材料等が挙げられる。なお、この包装材料から作製される輸送用袋1において、シーラント層34が当該輸送用袋1の内側に位置していればよい。 The resin layer 32 located between the resin base material layer 31 and the sealant layer 34 may be formed by extrusion lamination of a polyolefin such as polyethylene (PE), or the resin base material layer 31 and the sealant layer 34 may be formed by forming the resin base material layer 31 and the sealant layer 34. It may be formed by an adhesive to be adhered. Examples of the adhesive include polyolefins such as polyethylene (PE) and two-component urethane resin adhesives. As the two-component urethane resin adhesive, for example, a two-component urethane resin adhesive in which a main agent (Ru77t manufactured by Rock Paint Co., Ltd.) and a curing agent (H-7 manufactured by Rock Paint Co., Ltd.) are mixed can be used. .. Although FIG. 8 shows a form in which the resin layer 32 is arranged inside the barrier layer 36, it may be arranged outside the barrier layer 36. Although not shown, when the resin layer 32 is formed by an adhesive, it is more preferable that the resin layer 32 is arranged outside the barrier layer 36. When the silicon material transport bag 1 is manufactured using the packaging material 30, the resin layer 32 is arranged outside the transport bag 1 rather than the barrier layer 36. Therefore, the organic adhesive constituting the resin layer 32 is organic. It is possible to prevent the components from moving to the inside of the transportation bag 1. As a result, when the silicon material is contained in the transportation bag 1, deterioration of the silicon material in the transportation bag 1 can be suppressed. The thickness of the resin layer 32 may be, for example, about 1 μm to 5 μm, and preferably about 2 μm to 4 μm. If the thickness of the resin layer 32 formed by the adhesive is thinner than 1 μm, sufficient adhesive strength may not be obtained. On the other hand, if the thickness of the resin layer 32 formed by the adhesive is thicker than 5 μm, the curing reaction takes time, so that the resin layer 32 may contain a large amount of unreacted substances, residual solvent, and the like. Further, the packaging material 30 may have a plurality of resin base material layers 31 and a plurality of resin layers 32. Specific examples of such a packaging material 30 include a resin base material layer 31 made of PET, a resin layer 32 made of an adhesive, a barrier layer 36 made of an aluminum vapor deposition layer, and a resin made of PET. Examples thereof include a packaging material in which a base material layer 31, a resin layer 32 made of PE, and a sealant layer 34 are laminated in this order. In the transport bag 1 made from this packaging material, the sealant layer 34 may be located inside the transport bag 1.

なお、「バリア層よりも内側」とは、包装材料30を用いてシリコン材料の輸送用袋1を作製したしたとき、包装材料30のバリア層36よりも輸送用袋1の内側に位置することを意味する。一方、「バリア層よりも外側」とは、包装材料30を用いてシリコン材料の輸送用袋1を作製したとき、包装材料30のバリア層36よりも輸送用袋1の外側に位置することを意味する。 In addition, "inside the barrier layer" means that when the shipping bag 1 of the silicon material is produced using the packaging material 30, it is located inside the transportation bag 1 of the barrier layer 36 of the packaging material 30. Means. On the other hand, "outside the barrier layer" means that when the shipping bag 1 made of a silicon material is manufactured using the packaging material 30, the bag 1 is located outside the barrier layer 36 of the packaging material 30. means.

樹脂基材層31の厚さは、例えば、18μm〜40μmであればよく、20μm〜25μmであるのが好ましい。当該厚さが18μm未満であると、輸送用袋1の袋形状を維持することができ難く、輸送用袋1にシリコン材料を収容する際の作業性が悪化するおそれがあり、40μmを超えると、輸送用袋1が変形し難くなり、輸送用袋1にシリコン材料を収容し、脱気して梱包する際に、輸送用袋1の追従性が低下するおそれがある。 The thickness of the resin base material layer 31 may be, for example, 18 μm to 40 μm, preferably 20 μm to 25 μm. If the thickness is less than 18 μm, it is difficult to maintain the bag shape of the transport bag 1, and the workability when accommodating the silicon material in the transport bag 1 may deteriorate. If the thickness exceeds 40 μm, the workability may be deteriorated. The transport bag 1 is less likely to be deformed, and when the silicon material is housed in the transport bag 1 and degassed and packed, the followability of the transport bag 1 may decrease.

図3に示すように、包装材料30のシーラント層34は、第1面34A及びそれに対向する第2面34Bを有する。包装材料30において、シーラント層34の第2面34Bが樹脂層32側に位置する。図3に示すシーラント層34は、第1面34A側に位置する第1表面層341と、第2面34B側に位置する第2表面層342と、第1表面層341及び第2表面層342の間に挟まれている中間層343とを有する積層構造体となっている。包装材料30のシーラント層34は、図4に示すように、第1面34A及び第2面34Bを有する単層構造体であってもよい。 As shown in FIG. 3, the sealant layer 34 of the packaging material 30 has a first surface 34A and a second surface 34B facing the first surface 34A. In the packaging material 30, the second surface 34B of the sealant layer 34 is located on the resin layer 32 side. The sealant layer 34 shown in FIG. 3 includes a first surface layer 341 located on the first surface 34A side, a second surface layer 342 located on the second surface 34B side, a first surface layer 341, and a second surface layer 342. It is a laminated structure having an intermediate layer 343 sandwiched between the two. As shown in FIG. 4, the sealant layer 34 of the packaging material 30 may be a single-layer structure having a first surface 34A and a second surface 34B.

シーラント層34は、熱融着可能な樹脂成分を含んでいればよく、例えば、ポリオレフィン、環状ポリオレフィン、カルボン酸変性ポリオレフィン、カルボン酸変性環状ポリオレフィン等を含んでいればよい。 The sealant layer 34 may contain a heat-sealable resin component, and may contain, for example, a polyolefin, a cyclic polyolefin, a carboxylic acid-modified polyolefin, a carboxylic acid-modified cyclic polyolefin, or the like.

ポリオレフィンとしては、例えば、低密度ポリエチレン(LDPE)、中密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、リニア低密度ポリエチレン(LLDPE)等のポリエチレン;ホモポリプロピレン、ポリプロピレンのブロックコポリマー(例えば、プロピレンとエチレンとのブロックコポリマー等)、ポリプロピレンのランダムコポリマー(例えば、プロピレンとエチレンとのランダムコポリマー等)等のポリプロピレン;エチレン−ブテン−プロピレンのターポリマー等が挙げられる。 Examples of the polyolefin include polyethylenes such as low-density polyethylene (LDPE), medium-density polyethylene, high-density polyethylene, and linear low-density polyethylene (LLDPE); homopolypropylene and block copolymers of polypropylene (for example, block copolymers of propylene and ethylene). ), Polypropylene such as a random copolymer of polypropylene (for example, a random copolymer of propylene and ethylene); ethylene-butene-propylene tarpolymer and the like.

環状ポリオレフィンは、オレフィンと環状モノマーとの共重合体であり、環状ポリオレフィンの構成モノマーであるオレフィンとしては、例えば、エチレン、プロピレン、4−メチル−1−ペンテン、スチレン、ブタジエン、イソプレン等が挙げられる。また、環状ポリオレフィンの構成モノマーである環状モノマーとしては、例えば、ノルボルネン等の環状アルケン;具体的には、シクロペンタジエン、ジシクロペンタジエン、シクロヘキサジエン、ノルボルナジエン等の環状ジエン等が挙げられる。 The cyclic polyolefin is a copolymer of an olefin and a cyclic monomer, and examples of the olefin which is a constituent monomer of the cyclic polyolefin include ethylene, propylene, 4-methyl-1-pentene, styrene, butadiene, and isoprene. .. Examples of the cyclic monomer which is a constituent monomer of the cyclic polyolefin include cyclic alkenes such as norbornene; specific examples thereof include cyclic diene such as cyclopentadiene, dicyclopentadiene, cyclohexadiene, and norbornadiene.

カルボン酸変性ポリオレフィンとは、ポリオレフィンをカルボン酸でブロック重合又はグラフト重合することにより変性したポリマーである。変性に使用されるカルボン酸としては、例えば、マレイン酸、アクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、無水マレイン酸、無水イタコン酸等が挙げられる。 The carboxylic acid-modified polyolefin is a polymer modified by block-polymerizing or graft-polymerizing a polyolefin with a carboxylic acid. Examples of the carboxylic acid used for modification include maleic acid, acrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, maleic anhydride, itaconic anhydride and the like.

カルボン酸変性環状ポリオレフィンとは、環状ポリオレフィンを構成するモノマーの一部を、α,β−不飽和カルボン酸又はその無水物に代えて共重合することにより、あるいは環状ポリオレフィンに対してα,β−不飽和カルボン酸又はその無水物をブロック重合又はグラフト重合することにより得られるポリマーである。 The carboxylic acid-modified cyclic polyolefin is obtained by copolymerizing a part of the monomers constituting the cyclic polyolefin in place of α, β-unsaturated carboxylic acid or its anhydride, or α, β-with respect to the cyclic polyolefin. It is a polymer obtained by block polymerization or graft polymerization of unsaturated carboxylic acid or its anhydride.

シーラント層34の第1面34A側に位置する第1表面層341は、スリップ剤が実質的に添加されていない低密度ポリエチレン(LDPE)を含む層であってもよく、第2面34B側に位置する第2表面層342は、第1表面層341と同様に、例えば、スリップ剤が実質的に添加されていない低密度ポリエチレン(LDPE)を含む層であってもよく、第1表面層341と第2表面層342との間に挟まれている中間層343は、例えば、スリップ剤が実質的に添加されていないリニア低密度ポリエチレン(LLDPE)を含む層であってもよい。なお、本実施形態において「スリップ剤が実質的に添加されていない」とは、スリップ剤としてシーラントの表面の滑り性を実際に向上させる成分がシーラントの表面の滑り性に実際に影響を与える目的でシーラントの表面の滑り性に実際に影響を与える量を超えて添加されていないことを意味する。スリップ剤としては、例えば、炭酸カルシウム又はタルク等の粒子や、シリコーン樹脂又は四級アンモニウム塩化合物等の界面活性剤が挙げられる。 The first surface layer 341 located on the first surface 34A side of the sealant layer 34 may be a layer containing low density polyethylene (LDPE) to which a slip agent is substantially not added, and may be on the second surface 34B side. The second surface layer 342 located may be, for example, a layer containing low density polyethylene (LDPE) to which a slip agent is substantially not added, similarly to the first surface layer 341, and the first surface layer 341 may be used. The intermediate layer 343 sandwiched between the surface layer 342 and the second surface layer 342 may be, for example, a layer containing linear low density polyethylene (LLDPE) to which a slip agent is substantially not added. In the present embodiment, "substantially no slip agent is added" means that a component that actually improves the slipperiness of the surface of the sealant as a slipper actually affects the slipperiness of the surface of the sealant. Means that it is not added in excess of the amount that actually affects the slipperiness of the surface of the sealant. Examples of the slip agent include particles such as calcium carbonate or talc, and surfactants such as a silicone resin or a quaternary ammonium salt compound.

シーラント層34は、輸送用袋1の最内層に位置するため、シーラント層34に由来する揮発成分(シーラント層34由来のアウトガス成分等)が内容物であるポリシリコンやシリコンウェハに付着してしまうと、当該シリコンウェハを用いて製造される半導体装置において欠陥を生じさせてしまうおそれがある。そのため、シーラント層34に由来する揮発成分は、可能な限り少ないのが望ましい。シーラント層34に由来する揮発成分を低減させるためには、シーラント層34の厚みT34を可能な限り薄くするのが望ましい。シーラント層34の厚みT34が相対的に薄いことで、シーラント層34に由来する揮発成分がフィルム外部へ放出されるため、シーラント層34に由来する揮発成分を低減させることができる。一方で、シーラント層34の厚みT34を薄くし過ぎると、引張強度等の機械的特性に対する耐性が低くなってしまい、内容物を梱包するための袋として機能が低下するおそれがある。この点、リニア低密度ポリエチレン(LLDPE)は、低密度ポリエチレン(LDPE)に比べ、伸縮性が高く、折り曲げに対する耐性が高いため、シーラント層34としてリニア低密度ポリエチレン(LLDPE)を用いることで、シーラント層34の厚みT34を相対的に薄くすることができる。 Since the sealant layer 34 is located in the innermost layer of the transport bag 1, volatile components derived from the sealant layer 34 (outgas components derived from the sealant layer 34, etc.) adhere to the polysilicon or silicon wafer as the contents. In addition, there is a risk of causing defects in the semiconductor device manufactured using the silicon wafer. Therefore, it is desirable that the amount of volatile components derived from the sealant layer 34 is as small as possible. In order to reduce the volatile components derived from the sealant layer 34, it is desirable to make the thickness T34 of the sealant layer 34 as thin as possible. Since the thickness T34 of the sealant layer 34 is relatively thin, the volatile components derived from the sealant layer 34 are released to the outside of the film, so that the volatile components derived from the sealant layer 34 can be reduced. On the other hand, if the thickness T34 of the sealant layer 34 is made too thin, the resistance to mechanical properties such as tensile strength is lowered, and the function as a bag for packing the contents may be deteriorated. In this respect, linear low density polyethylene (LLDPE) has higher elasticity and resistance to bending than low density polyethylene (LDPE). Therefore, by using linear low density polyethylene (LLDPE) as the sealant layer 34, the sealant The thickness T34 of the layer 34 can be made relatively thin.

また、図5に示すように、輸送用袋1に樹脂ケース51を収容した後、当該輸送用袋1から脱気して梱包されるため、当該輸送用袋1を構成する包装材料30に含まれるシーラント層34には、良好な追従性が求められる。この点においても、リニア低密度ポリエチレン(LLDPE)は相対的に高い伸縮性を有するため、当該リニア低密度ポリエチレン(LLDPE)が用いられることで、シーラント層34の追従性を良好にすることができる。 Further, as shown in FIG. 5, since the resin case 51 is housed in the transport bag 1 and then degassed from the transport bag 1 and packed, it is included in the packaging material 30 constituting the transport bag 1. The sealant layer 34 is required to have good followability. In this respect as well, since the linear low density polyethylene (LLDPE) has a relatively high elasticity, the followability of the sealant layer 34 can be improved by using the linear low density polyethylene (LLDPE). ..

シーラント層がリニア低密度ポリエチレン(LLDPE)の単層で構成されれば、リニア低密度ポリエチレン(LLDPE)の単層で構成されるシーラント層の押込弾性率を150MPa〜600MPa程度に調整することができるため、シーラント層の厚みを薄くすることができると考えられる。また、シーラント層の追従性を良好にすることを考慮しても、シーラント層がリニア低密度ポリエチレン(LLDPE)の単層で構成されるのは好ましいということができる。しかし、リニア低密度ポリエチレン(LLDPE)の重合時の圧力は、低密度ポリエチレン(LDPE)の重合時の圧力よりも低いために、リニア低密度ポリエチレン(LLDPE)においては、低密度ポリエチレン(LDPE)に比べて低分子成分が揮発しやすい。そのため、シーラント層がリニア低密度ポリエチレン(LLDPE)の単層で構成されていると、シーラント層の厚みを薄くすることができたとしても、シーラント層に由来する揮発成分によってシリコン材料が汚染されてしまうおそれがあると考えられる。また、リニア低密度ポリエチレン(LLDPE)は、低密度ポリエチレン(LDPE)よりも滑り性が低くなる傾向があるため、シーラント層がリニア低密度ポリエチレン(LLDPE)の単層で構成されていると、シーラント層の表面の滑り性が低くなるおそれがあると考えられる。輸送用袋1に用いられるシーラント層34は、異物になるおそれがあるスリップ剤は実質的に添加されないことが好ましいため、スリップ剤の使用以外の手段で滑り性を向上させることが好ましい。本実施形態においては、リニア低密度ポリエチレン(LLDPE)を含む中間層343が、低密度ポリエチレン(LDPE)を含む第1表面層341及び第2表面層342により挟まれていてもよい。そのため、輸送用袋1のシーラント層34においては、その厚みT34を相対的に薄くすることができ、追従性や滑り性も良好であり、また中間層343に含まれるリニア低密度ポリエチレン(LLDPE)から低分子成分が揮発するのを防止することができる。 If the sealant layer is composed of a single layer of linear low density polyethylene (LLDPE), the indentation elastic modulus of the sealant layer composed of a single layer of linear low density polyethylene (LLDPE) can be adjusted to about 150 MPa to 600 MPa. Therefore, it is considered that the thickness of the sealant layer can be reduced. Further, it can be said that it is preferable that the sealant layer is composed of a single layer of linear low density polyethylene (LLDPE) in consideration of improving the followability of the sealant layer. However, since the pressure during the polymerization of the linear low density polyethylene (LLDPE) is lower than the pressure during the polymerization of the low density polyethylene (LDPE), the linear low density polyethylene (LLDPE) becomes the low density polyethylene (LDPE). In comparison, low-density components are more likely to volatilize. Therefore, if the sealant layer is composed of a single layer of linear low density polyethylene (LLDPE), even if the thickness of the sealant layer can be reduced, the silicon material is contaminated by the volatile components derived from the sealant layer. It is considered that there is a risk of this. Further, since linear low density polyethylene (LLDPE) tends to have lower slipperiness than low density polyethylene (LDPE), if the sealant layer is composed of a single layer of linear low density polyethylene (LLDPE), the sealant It is considered that the slipperiness of the surface of the layer may be lowered. Since it is preferable that the slip agent that may become a foreign substance is substantially not added to the sealant layer 34 used for the transport bag 1, it is preferable to improve the slipperiness by means other than the use of the slip agent. In the present embodiment, the intermediate layer 343 containing the linear low density polyethylene (LLDPE) may be sandwiched between the first surface layer 341 and the second surface layer 342 containing the low density polyethylene (LDPE). Therefore, in the sealant layer 34 of the transport bag 1, the thickness T34 can be made relatively thin, the followability and slipperiness are good, and the linear low density polyethylene (LLDPE) contained in the intermediate layer 343. It is possible to prevent the low molecular weight components from volatilizing.

図4に示す単層構造体のシーラント層34は、低密度ポリエチレン(LDPE)とリニア低密度ポリエチレン(LLDPE)とを含んでいてもよい。このシーラント層34において、低密度ポリエチレン(LDPE)とリニア低密度ポリエチレン(LLDPE)との配合比が、50:50〜70:30程度であればよい。このように、低密度ポリエチレン(LDPE)の配合量がリニア低密度ポリエチレン(LLDPE)の配合量よりも多いことで、シーラント層34の第1面34A側において低密度ポリエチレン(LDPE)の存在量を多くすることができるとともに、リニア低密度ポリエチレン(LLDPE)によりシーラント層34の厚みT34を薄くするという効果、すなわち低分子成分が揮発するのを防止するという効果が奏される。なお、シーラント層34の厚み方向で見たときに、低密度ポリエチレン(LDPE)とリニア低密度ポリエチレン(LLDPE)とが実質的に均一に存在していてもよいし、第1面34A側及び第2面34B側に低密度ポリエチレン(LDPE)が偏在していてもよい。 The sealant layer 34 of the single-layer structure shown in FIG. 4 may include low-density polyethylene (LDPE) and linear low-density polyethylene (LLDPE). In the sealant layer 34, the blending ratio of the low-density polyethylene (LDPE) and the linear low-density polyethylene (LLDPE) may be about 50:50 to 70:30. As described above, since the blending amount of the low density polyethylene (LDPE) is larger than the blending amount of the linear low density polyethylene (LLDPE), the abundance of the low density polyethylene (LDPE) is increased on the first surface 34A side of the sealant layer 34. In addition to being able to increase the number, the effect of reducing the thickness T34 of the sealant layer 34 by using linear low density polyethylene (LLDPE), that is, the effect of preventing low molecular weight components from volatilizing is exhibited. When viewed in the thickness direction of the sealant layer 34, the low-density polyethylene (LDPE) and the linear low-density polyethylene (LLDPE) may be present substantially uniformly, and the first surface 34A side and the first surface 34A side and the first Low-density polyethylene (LDPE) may be unevenly distributed on the two sides 34B side.

シーラント層34の厚みT34は、包装材料30により構成される輸送用袋1の厚さ等に応じて適宜設定され得るものであるが、例えば、35μm〜60μm程度であればよい。 The thickness T34 of the sealant layer 34 can be appropriately set according to the thickness of the transportation bag 1 made of the packaging material 30, and may be, for example, about 35 μm to 60 μm.

図3に示す態様において、低密度ポリエチレン(LDPE)を含む第1表面層341及び低密度ポリエチレン(LDPE)を含む第2表面層342が中間層343を挟んで配置されていることで、シーラント層34の一方面側の内部応力と他方面側の内部応力とがある程度相殺され、シーラント層34がカールし過ぎることを抑制できる。また、図3に示す態様において第1表面層341及び第2表面層342のそれぞれの厚みT341,T342は、いずれも中間層343の厚みT343よりも薄い。第1表面層341及び第2表面層342のそれぞれの厚みT341,T342が中間層343の厚みT343よりも薄く構成されていることで、シーラント層34に所定の追従性が付与され得る。第1表面層341の厚みT341と中間層343の厚みT343との比は、1:1〜10程度であればよく、1:2〜3程度であるのが好ましい。当該厚みの比が上記範囲であることで、中間層343に含まれる低密度リニアポリエチレン(LLDPE)による十分な追従性がシーラント層34に付与され、シーラント層34の押込弾性率を300MPa〜500MPaの範囲とすることができる。なお、押込弾性率は、微小硬さ試験機(製品名「ピコデンター(PICODENTOR) HM500」、フィッシャー・インスツルメント社製)により測定され得る。 In the embodiment shown in FIG. 3, the first surface layer 341 containing low-density polyethylene (LDPE) and the second surface layer 342 containing low-density polyethylene (LDPE) are arranged with the intermediate layer 343 interposed therebetween, thereby forming a sealant layer. The internal stress on one side of 34 and the internal stress on the other side cancel each other to some extent, and it is possible to prevent the sealant layer 34 from curling too much. Further, in the embodiment shown in FIG. 3, the thicknesses T341 and T342 of the first surface layer 341 and the second surface layer 342 are both thinner than the thickness T343 of the intermediate layer 343. Since the thicknesses T341 and T342 of the first surface layer 341 and the second surface layer 342 are thinner than the thickness T343 of the intermediate layer 343, the sealant layer 34 can be provided with a predetermined followability. The ratio of the thickness T341 of the first surface layer 341 to the thickness T343 of the intermediate layer 343 may be about 1: 1 to 10, preferably about 1: 2 to 3. When the thickness ratio is in the above range, the sealant layer 34 is provided with sufficient followability by the low-density linear polyethylene (LLDPE) contained in the intermediate layer 343, and the indentation elastic modulus of the sealant layer 34 is 300 MPa to 500 MPa. Can be a range. The indentation elastic modulus can be measured by a microhardness tester (product name "PICODETOR HM500", manufactured by Fisher Instruments).

シーラントのシール強度は、ヒートシール時のシール温度、シール圧力、シール時間等によりコントロール可能であることが知られている。一般に、シール温度が高くなるほどに、シール強度が向上する傾向を有するが、シール温度が高すぎると、必要以上にシーラントが溶融してしまい、却ってシール強度を低下させてしまうおそれがある。本実施形態においては、シール温度150℃、シール圧力0.1MPa、シール時間1秒のヒートシール条件下で、シーラント層34の第1面34A同士をシールしたときのシール強度が、30N/15mm以上であればよく、50N/15mm以上60N/15mm未満であるのが好ましい。当該シール強度が30N/15mm未満であると、シーラント層34を有する包装材料30により構成される輸送用袋1に包装されたシリコン材料の梱包体70の輸送途中に、当該輸送用袋1のヒートシール部(例えば上面ヒートシール部HST1等(図5参照))が剥離してしまうおそれがある。 It is known that the seal strength of the sealant can be controlled by the seal temperature at the time of heat sealing, the seal pressure, the seal time, and the like. Generally, the higher the sealing temperature, the higher the sealing strength tends to be. However, if the sealing temperature is too high, the sealant may melt more than necessary, and the sealing strength may be lowered. In the present embodiment, the sealing strength when the first surfaces 34A of the sealant layer 34 are sealed under the heat sealing conditions of a sealing temperature of 150 ° C., a sealing pressure of 0.1 MPa, and a sealing time of 1 second is 30 N / 15 mm or more. However, it is preferably 50 N / 15 mm or more and less than 60 N / 15 mm. When the seal strength is less than 30 N / 15 mm, the heat of the transport bag 1 is heated during the transport of the silicon material packing body 70 packaged in the transport bag 1 composed of the packaging material 30 having the sealant layer 34. The seal portion (for example, the upper surface heat seal portion HST1 or the like (see FIG. 5)) may be peeled off.

上述したように、シーラント層34の厚みT34を相対的に薄くする観点から、シーラント層34の構成材料としてリニア低密度ポリエチレン(LLDPE)を使用するのが好適であると考えられる。しかしながら、リニア低密度ポリエチレン(LLDPE)により構成されるシーラント層においては、所定のシール強度を得るために必要なシール温度が相対的に高くなってしまう。この点、本実施形態においては、シーラント層34の第1表面層341が低密度ポリエチレン(LDPE)を含むことで、所定のシール強度を得るために必要なシール温度を相対的に低下させることができる。 As described above, from the viewpoint of making the thickness T34 of the sealant layer 34 relatively thin, it is considered that it is preferable to use linear low density polyethylene (LLDPE) as a constituent material of the sealant layer 34. However, in the sealant layer made of linear low density polyethylene (LLDPE), the sealing temperature required to obtain a predetermined sealing strength becomes relatively high. In this regard, in the present embodiment, since the first surface layer 341 of the sealant layer 34 contains low density polyethylene (LDPE), the sealing temperature required to obtain a predetermined sealing strength can be relatively lowered. it can.

本実施形態におけるシーラント層34のヘイズは、25%以下であればよく、20%以下であるのが好ましい。シーラント層34のヘイズが20%以下であることで、輸送用袋1の内部の視認性を良好にすることができる。また、シリコン材料をシリコン材料の輸送用袋1に包装する前に、シーラント層34の第1面34Aに異物が付着しているか否かを確認することができ、シリコン材料の汚染を未然に防止することもできる。なお、シーラント層34のヘイズは、例えば、ヘイズメーター(製品名:HM−150,村上色彩研究所社製)を用いて、JIS−K7136に準拠して測定され得る。 The haze of the sealant layer 34 in the present embodiment may be 25% or less, preferably 20% or less. When the haze of the sealant layer 34 is 20% or less, the visibility inside the transport bag 1 can be improved. Further, before packaging the silicon material in the silicon material transport bag 1, it is possible to confirm whether or not foreign matter is attached to the first surface 34A of the sealant layer 34, thereby preventing contamination of the silicon material. You can also do it. The haze of the sealant layer 34 can be measured according to JIS-K7136 using, for example, a haze meter (product name: HM-150, manufactured by Murakami Color Research Institute).

上述した構成を有するシーラント層34は、従来公知のフィルム成膜法を用いて製造され得る。例えば、図3に示す構成を有するシーラント層34は、ダイコート法、インフレーション法等の塗工法等を用いて、第2表面層342、中間層343及び第1表面層341を積層形成することで製造され得る。図4に示す構成を有するシーラント層34も同様に、上記塗工法、押出インフレーション法等を用いて製造され得る。 The sealant layer 34 having the above-mentioned structure can be produced by using a conventionally known film forming method. For example, the sealant layer 34 having the structure shown in FIG. 3 is manufactured by laminating the second surface layer 342, the intermediate layer 343, and the first surface layer 341 by using a coating method such as a die coating method or an inflation method. Can be done. Similarly, the sealant layer 34 having the structure shown in FIG. 4 can be manufactured by using the above-mentioned coating method, extrusion inflation method, or the like.

上述したように、シーラント層34は、シリコン材料の輸送用袋1(図1参照)にシリコン材料が包装されたときに、当該輸送用袋1内部を視認可能な程度の透明性を有する。そのため、当該シーラント層34を有する包装材料30においても、同様に、輸送用袋1の内部を視認可能な程度の透明性を有しているのが望ましい。そのような観点から、本実施形態における包装材料30のヘイズは、例えば、30%以下であればよく、25%以下であるのが好ましい。包装材料30のヘイズが30%を超えると、包装材料30から製造される輸送用袋1の内部の視認性が悪化してしまったり、輸送用袋1におけるシーラント層34の第1面34Aに異物が付着しているか否かの確認が困難になったりするおそれがある。なお、包装材料30のヘイズは、例えば、ヘイズメーター(製品名:HM−150,村上色彩研究所社製)を用いて、JIS−K7136に準拠して測定され得る。 As described above, the sealant layer 34 has transparency to the extent that the inside of the transport bag 1 can be visually recognized when the silicon material is packaged in the transport bag 1 of the silicon material (see FIG. 1). Therefore, it is desirable that the packaging material 30 having the sealant layer 34 also has transparency to the extent that the inside of the transport bag 1 can be visually recognized. From such a viewpoint, the haze of the packaging material 30 in the present embodiment may be, for example, 30% or less, preferably 25% or less. If the haze of the packaging material 30 exceeds 30%, the visibility inside the transportation bag 1 manufactured from the packaging material 30 deteriorates, or foreign matter is formed on the first surface 34A of the sealant layer 34 in the transportation bag 1. It may be difficult to confirm whether or not it is attached. The haze of the packaging material 30 can be measured according to JIS-K7136 using, for example, a haze meter (product name: HM-150, manufactured by Murakami Color Research Institute).

本実施形態における輸送用袋1からシリコン材料の梱包体70を作製する場合、通常、第1ガゼットフィルム13及び第2ガゼットフィルム14を折り込んだ輸送用袋1が多数積み重ねられた状態で、第1側面フィルム11又は第2側面フィルム12を自動梱包機の吸着保持部にて吸着保持して上方に持ち上げることで、開口部16を開く。その開いた開口部16から、輸送用袋1内にシリコン材料52を格納する樹脂ケース51(図5参照)を収容し、当該開口部16における第1側面フィルム11及び第2側面フィルム12のそれぞれの第4側縁部114,124を重ね合わせてヒートシールすることで、上面ヒートシール部HST1を形成する。このようにして、シリコン材料の梱包体70が作製され得る。 When the packaging body 70 made of a silicon material is produced from the transportation bag 1 in the present embodiment, usually, the first gusset film 13 and the first gusset film 14 are folded into the first gusset film 13 in a state where a large number of the transportation bags 1 are stacked. The opening 16 is opened by sucking and holding the side film 11 or the second side film 12 by the suction holding portion of the automatic packing machine and lifting it upward. A resin case 51 (see FIG. 5) for storing the silicon material 52 is housed in the transport bag 1 through the open opening 16, and the first side film 11 and the second side film 12 in the opening 16 are respectively accommodated. The upper surface heat-sealed portion HST1 is formed by superimposing and heat-sealing the fourth side edge portions 114 and 124 of the above. In this way, a packing body 70 made of a silicon material can be produced.

本実施形態において、輸送用袋1の開口部16が閉じた状態で第1側面フィルム11又は第2側面フィルム12の所定の位置を保持して第1側面フィルム11又は第2側面フィルム12の面直方向(図6に示す矢印方向D1)に引っ張り上げたとき、開口部16を開くための引張力は、1.5N以下である。当該引張力が1.5Nを超えると、自動梱包機にて輸送用袋1の開口部16を開くことができない場合があり、自動梱包機によるシリコン材料の梱包体70の生産効率が低下してしまう。なお、当該引張力は、例えば、フォースゲージ(日本電産シンポ社製,型式:FGP0.2)を用いた測定値であればよい。 In the present embodiment, the surface of the first side surface film 11 or the second side surface film 12 is held at a predetermined position in a state where the opening 16 of the transportation bag 1 is closed. When pulled up in the normal direction (arrow direction D1 shown in FIG. 6), the tensile force for opening the opening 16 is 1.5 N or less. If the tensile force exceeds 1.5 N, the automatic packing machine may not be able to open the opening 16 of the transport bag 1, and the production efficiency of the silicon material packing body 70 by the automatic packing machine is lowered. It ends up. The tensile force may be, for example, a measured value using a force gauge (manufactured by Nidec Symposium, model: FGP0.2).

当該引張力は、例えば、第1側面フィルム11の第1側縁部111の近傍であって、第1側縁部111の長さ方向(図6に示す矢印方向D2)に沿った第3側縁部113及び第4側縁部114の間の中心位置Cから第3側縁部113側に200mm離れた第1位置Pと、第1側面フィルム11の第1側縁部111の近傍であって、第1側縁部111の長さ方向(図6に示す矢印方向D2)に沿った第3側縁部113及び第4側縁部114の間の中心位置Cから第4側縁部114側に200mm離れた第2位置Qとを保持して第1側面フィルム11又は第2側面フィルム12の面直方向に引っ張り上げたときに、上記フォースゲージを用いて測定される値であればよい。 The tensile force is, for example, a third side in the vicinity of the first side edge portion 111 of the first side surface film 11 and along the length direction of the first side edge portion 111 (arrow direction D2 shown in FIG. 6). The first position P, which is 200 mm away from the center position C between the edge portion 113 and the fourth side edge portion 114 toward the third side edge portion 113, and the vicinity of the first side edge portion 111 of the first side surface film 11. From the center position C between the third side edge portion 113 and the fourth side edge portion 114 along the length direction of the first side edge portion 111 (arrow direction D2 shown in FIG. 6) to the fourth side edge portion 114. It may be a value measured using the force gauge when the first side surface film 11 or the second side surface film 12 is pulled up in the direction perpendicular to the surface while holding the second position Q 200 mm away from the side. ..

本実施形態に係る輸送用袋1によれば、上記引張力が1.5N以下であることで、自動梱包機を用いて輸送用袋1の開口部16を確実に開くことができるため、自動梱包機によるシリコン材料の梱包体70の生産効率が低下するのを抑制することができる。 According to the transport bag 1 according to the present embodiment, since the tensile force is 1.5 N or less, the opening 16 of the transport bag 1 can be reliably opened by using the automatic packing machine, so that it is automatic. It is possible to suppress a decrease in the production efficiency of the packing body 70 of the silicon material by the packing machine.

また、本実施形態に係る輸送用袋1においては、その最内層に位置するシーラント層34の第1面34A側に低密度ポリエチレン(LDPE)が含まれ、それよりも第2面34B側にリニア低密度ポリエチレン(LLDPE)が含まれている。シーラント層34を構成するリニア低密度ポリエチレン(LLDPE)により、シーラント層34の厚みT34を相対的に薄くすることができ、追従性を良好することができるとともに、シーラント層34の第1面34A側に含まれる低密度ポリエチレン(LDPE)によって、リニア低密度ポリエチレン(LLDPE)からの低分子成分の揮発を防止することができる。なお、シーラント層34において所定の透明性が確保されていることで、輸送用袋1におけるシーラント層34の第1面34Aに異物が付着しているか否かを容易に確認することができる。 Further, in the transportation bag 1 according to the present embodiment, low density polyethylene (LDPE) is contained on the first surface 34A side of the sealant layer 34 located in the innermost layer thereof, and linear on the second surface 34B side. Contains low density polyethylene (LLDPE). The linear low-density polyethylene (LLDPE) constituting the sealant layer 34 makes it possible to make the thickness T34 of the sealant layer 34 relatively thin, improve the followability, and the first surface 34A side of the sealant layer 34. The low density polyethylene (LDPE) contained in the above can prevent the volatilization of low molecular weight components from the linear low density polyethylene (LLDPE). Since the sealant layer 34 has a predetermined transparency, it can be easily confirmed whether or not foreign matter is attached to the first surface 34A of the sealant layer 34 in the transport bag 1.

本実施形態に係る輸送用袋1は、例えば、以下のようにして製造することができる。
輸送用袋1は、例えば、図7に示す積層フィルム製造装置60を用いて製造され得る。図7に示すように、積層フィルム製造装置60は、第1ロール61、第2ロール62、第3ロール63、Tダイ64、第4ロール65、第5ロール66及びTダイ67を有する。樹脂基材層31の一方面31A側に、樹脂層32を構成する樹脂材料がTダイ64からフィルム状に押し出され、第1ロール61、第2ロール62及び第3ロール63により面状圧接されて冷却されることで、多層フィルム30’を作製する。続いて、多層フィルム30’の樹脂層32上に、シーラント層34を構成する樹脂材料がTダイ67からフィルム状に押し出され、第4ロール65及び第5ロール66により面状圧接されて冷却された後、所定の温度(40℃〜55℃)及び所定の時間(24時間〜72時間)エージング処理を施し、ロール状に巻き取ることで包装材料30の原反ロールを作製する。本実施形態においては、従来公知の樹脂フィルム製造工程におけるエージング処理時間よりも長時間のエージング処理が施されることで、後述する製袋機を用いて製造される輸送用袋1において、第1側面フィルム11及び第2側面フィルム12がカールし易くなり、開口部16から空気が入り易い状態(開口部16が開口し易い状態)とすることができる。これにより、上述した引張力が1.5N以下の輸送用袋1を製造することができる。
The transportation bag 1 according to the present embodiment can be manufactured, for example, as follows.
The transport bag 1 can be manufactured, for example, by using the laminated film manufacturing apparatus 60 shown in FIG. 7. As shown in FIG. 7, the laminated film manufacturing apparatus 60 has a first roll 61, a second roll 62, a third roll 63, a T die 64, a fourth roll 65, a fifth roll 66, and a T die 67. The resin material constituting the resin layer 32 is extruded into a film from the T die 64 on one surface 31A side of the resin base material layer 31, and is surface-pressed by the first roll 61, the second roll 62, and the third roll 63. The multilayer film 30'is produced by being cooled. Subsequently, the resin material constituting the sealant layer 34 is extruded into a film from the T die 67 on the resin layer 32 of the multilayer film 30', and is surface-pressed and cooled by the fourth roll 65 and the fifth roll 66. After that, it is subjected to an aging treatment at a predetermined temperature (40 ° C. to 55 ° C.) and a predetermined time (24 hours to 72 hours), and wound into a roll to prepare a raw fabric roll of the packaging material 30. In the present embodiment, the first transport bag 1 is manufactured by using a bag making machine described later by performing the aging treatment for a longer time than the aging treatment time in the conventionally known resin film manufacturing process. The side film 11 and the second side film 12 are easily curled, and air can easily enter through the opening 16 (the opening 16 is easily opened). As a result, the transport bag 1 having the above-mentioned tensile force of 1.5 N or less can be manufactured.

続いて、第1側面フィルム11用の原反ロール、第2側面フィルム12用の原反ロール、第1ガゼットフィルム13用の原反ロール及び第2ガゼットフィルム14用の原反ロールを準備する。そして、従来公知の製袋機を用いて上記原反ロールから繰り出された包装材料30を重ね合わせながら三方シールすることで、輸送用袋1を製造することができる。各原反ロールから繰り出された包装材料30を重ね合わせながら三方シールする際に、上記第1側面フィルム11用の原反ロールから繰り出される包装材料30のテンションと第2側面フィルム12用の原反ロールから繰り出される包装材料30のテンションとを適宜異ならせることで、第1側面フィルム11及び第2側面フィルム12がカールし易くなり、開口部16から空気が入り易い状態(開口部16が開口し易い状態)輸送用袋1を作製することができる。このようにして、上述した引張力が1.5N以下の輸送用袋1を製造することができる。 Subsequently, a raw fabric roll for the first side surface film 11, a raw fabric roll for the second side surface film 12, a raw fabric roll for the first gusset film 13, and a raw fabric roll for the second gusset film 14 are prepared. Then, the transport bag 1 can be manufactured by using a conventionally known bag making machine to seal the packaging materials 30 unwound from the raw fabric roll on three sides while superimposing them. When the packaging materials 30 unwound from each raw fabric roll are overlapped and three-way sealed, the tension of the packaging material 30 unwound from the raw fabric roll for the first side film 11 and the original fabric for the second side film 12 By appropriately differentiating the tension of the packaging material 30 unwound from the roll, the first side surface film 11 and the second side surface film 12 are easily curled, and air can easily enter through the opening 16 (the opening 16 is opened). Easy state) The transport bag 1 can be manufactured. In this way, the transport bag 1 having the above-mentioned tensile force of 1.5 N or less can be manufactured.

以上説明した実施形態は、本開示の理解を容易にするために記載されたものであって、本開示を限定するために記載されたものではない。したがって、上記実施形態に開示された各要素は、本開示の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。 The embodiments described above are described for facilitating the understanding of the present disclosure, and are not described for limiting the present disclosure. Therefore, each element disclosed in the above embodiment is intended to include all design changes and equivalents belonging to the technical scope of the present disclosure.

本実施形態に係る輸送用袋1を構成する包装材料30は、樹脂基材層31の一方面31A側にバリア層36が積層されていてもよい(図8参照)。バリア層36は、例えば、シリカ又はアルミナ等の無機酸化物等を、例えば樹脂基材層31(PET層)の一方面31A側に蒸着させた蒸着膜等であってもよい。包装材料30がバリア層36を有することで、輸送用袋1の外部から、内容物であるシリコン材料の表面を汚染するガス等が侵入するのを抑制することができる。バリア層36は、樹脂基材層31の一方面31A側にアルミニウム等の金属を蒸着させてなる金属蒸着膜や、アルミニウム等の金属箔等であってもよい。バリア層36がこれらの金属蒸着膜や金属箔である場合、輸送用袋1において透明性が確保されないが、輸送用袋1にバリア性の他、光遮蔽性をも付与することができる。また、この態様において、シーラント層34が所定の透明性を有することで、輸送用袋1におけるシーラント層34の第1面34Aに異物が付着しているか否かを、より容易に確認することができる。 In the packaging material 30 constituting the transportation bag 1 according to the present embodiment, the barrier layer 36 may be laminated on one side 31A side of the resin base material layer 31 (see FIG. 8). The barrier layer 36 may be, for example, a thin-film film in which an inorganic oxide such as silica or alumina is vapor-deposited on one surface 31A of the resin base material layer 31 (PET layer). When the packaging material 30 has the barrier layer 36, it is possible to prevent gas or the like that contaminates the surface of the silicon material as the content from entering from the outside of the transportation bag 1. The barrier layer 36 may be a metal vapor deposition film formed by depositing a metal such as aluminum on one surface 31A side of the resin base material layer 31, a metal foil such as aluminum, or the like. When the barrier layer 36 is such a metal vapor deposition film or a metal foil, transparency is not ensured in the transportation bag 1, but the transportation bag 1 can be provided with not only a barrier property but also a light shielding property. Further, in this embodiment, since the sealant layer 34 has a predetermined transparency, it is possible to more easily confirm whether or not foreign matter is attached to the first surface 34A of the sealant layer 34 in the transport bag 1. it can.

上記実施形態において、製袋機にて作製された輸送用袋1を重ね合わせないようにして、開口部16近傍の第1側面フィルム11及び第2側面フィルム12を密着させないようにしてもよいし、輸送用袋1を重ね合わせる数を減らし、重ね合わせられた輸送用袋1のうちの下方に位置する輸送用袋1への荷重を低減させるようにしてもよい。このようにすることで、輸送用袋1の上記引張力を1.5N以下とすることができる。 In the above embodiment, the transport bags 1 produced by the bag making machine may not be overlapped with each other so that the first side surface film 11 and the second side surface film 12 in the vicinity of the opening 16 are not brought into close contact with each other. , The number of stacked transport bags 1 may be reduced to reduce the load on the transport bag 1 located below the stacked transport bags 1. By doing so, the tensile force of the transport bag 1 can be set to 1.5 N or less.

以下、実施例等を挙げて本開示をさらに詳細に説明するが、本開示は下記の実施例等により何ら限定されるものではない。 Hereinafter, the present disclosure will be described in more detail with reference to examples and the like, but the present disclosure is not limited to the following examples and the like.

〔実施例1〕
第1表面層341の構成材料として低密度ポリエチレン(スリップ剤が実質的に添加されていないLDPE,宇部丸善ポリエチレン社製,製品名:UBEポリエチレンB128)を用い、中間層343の構成材料として低密度ポリエチレン(スリップ剤が実質的に添加されていないLDPE,宇部丸善ポリエチレン社製,製品名:UBEポリエチレンB128)及びリニア低密度ポリエチレン(スリップ剤が実質的に添加されていないLLDPE,プライムポリマー社製,製品名:ウルトゼックス3500ZA)の溶融混合物(配合比=1:1(質量基準))を用い、第2表面層342の構成材料として低密度ポリエチレン(スリップ剤が実質的に添加されていないLDPE,宇部丸善ポリエチレン社製,製品名:UBEポリエチレンB128)を用い、多層共押出インフレーション成膜法により、図3に示す構成を有するシーラント層34(第1表面層341(膜厚:7μm)、中間層343(膜厚:21μm)、第2表面層342(膜厚:7μm)、合計膜厚:35μm)を作製した。
[Example 1]
Low-density polyethylene (LDPE with substantially no slip agent added, manufactured by Ube Maruzen Polyethylene, product name: UBE polyethylene B128) is used as a constituent material of the first surface layer 341, and low-density polyethylene is used as a constituent material of the intermediate layer 343. Polyethylene (LDPE with virtually no slip agent added, manufactured by Ube Maruzen Polyethylene, product name: UBE polyethylene B128) and linear low density polyethylene (LDPE with virtually no slip agent added, manufactured by Prime Polymer Co., Ltd., Product name: Using a melt mixture of Ultozex 3500ZA (blending ratio = 1: 1 (mass basis)), low-density polyethylene (LDPE with substantially no slip agent added) as a constituent material of the second surface layer 342, Using Ube Maruzen Polyethylene Co., Ltd., product name: UBE polyethylene B128), the sealant layer 34 (first surface layer 341 (thickness: 7 μm), intermediate layer) having the structure shown in FIG. 3 by the multilayer coextrusion inflation film forming method. 343 (thickness: 21 μm), second surface layer 342 (thickness: 7 μm), total film thickness: 35 μm) were prepared.

ポリエチレンテレフタレート(PET)からなる樹脂基材層31(厚み:25μm)の一方面31A側に、ポリエチレンからなる樹脂層32(厚み:20μm)及び上記シーラント層34(厚み:35μm)をこの順で常法により積層し、包装材料30を作製した。 A resin layer 32 (thickness: 20 μm) made of polyethylene and the sealant layer 34 (thickness: 35 μm) are usually placed on one side 31A side of the resin base material layer 31 (thickness: 25 μm) made of polyethylene terephthalate (PET) in this order. The packaging material 30 was prepared by laminating by the method.

上記包装材料30を用い、製袋機(ニューロング社製)を用いて輸送用袋1(図1参照)を作製し、10枚の輸送用袋1を積み重ねて載置した。10枚の輸送用袋1のうちの最下方に位置する輸送用袋1を取り出し、開口部16を開口させた後に1時間静置し、第1位置P及び第2位置Q(図6参照)を吸着保持して第1側面フィルム11の面直方向に引っ張り上げて開口部16を開口させるための引張力を、フォースゲージ(日本電産シンポ社製,型式:FGP0.2)を用いて測定した。引張力は1.5Nであった。 Using the above packaging material 30, a transport bag 1 (see FIG. 1) was prepared using a bag making machine (manufactured by Newlong Machine Works, Ltd.), and 10 transport bags 1 were stacked and placed. The transport bag 1 located at the lowermost position of the 10 transport bags 1 is taken out, the opening 16 is opened, and then the bag 1 is allowed to stand for 1 hour, and the first position P and the second position Q (see FIG. 6) are allowed to stand. Is adsorbed and held, and the tensile force for pulling up the first side surface film 11 in the direction perpendicular to the surface to open the opening 16 is measured using a force gauge (manufactured by Nippon Densan Symposium, model: FGP0.2). did. The tensile force was 1.5N.

〔実施例2〕
樹脂層32の厚みを22μmとした以外は、実施例1と同様にして包装材料30及び輸送用袋1を作製するともに、輸送用袋1の開口部16を開口させるための引張力を測定した。引張力は1.2Nであった。
[Example 2]
The packaging material 30 and the transportation bag 1 were produced in the same manner as in Example 1 except that the thickness of the resin layer 32 was 22 μm, and the tensile force for opening the opening 16 of the transportation bag 1 was measured. .. The tensile force was 1.2N.

〔比較例1〕
実施例1と同様にして作製した10枚の輸送用袋1を重ね合わせて載置した。10枚の輸送用袋1のうちの最下方に位置する輸送用袋1を取り出して1時間静置した後に、第1位置P及び第2位置Q(図6参照)を吸着保持して第1側面フィルム11の面直方向に引っ張り上げて開口部16を開口させるための引張力を、フォースゲージ(日本電産シンポ社製,型式:FGP0.2)を用いて測定した。引張力は3.0Nであった。
[Comparative Example 1]
Ten transport bags 1 produced in the same manner as in Example 1 were placed on top of each other. After taking out the lowermost transport bag 1 out of the 10 transport bags 1 and allowing it to stand for 1 hour, the first position P and the second position Q (see FIG. 6) are adsorbed and held for the first position. The tensile force for pulling up the side film 11 in the direction perpendicular to the plane to open the opening 16 was measured using a force gauge (manufactured by Nippon Densan Symposium, model: FGP0.2). The tensile force was 3.0 N.

〔比較例2〕
実施例2と同様にして作製した10枚の輸送用袋1を重ね合わせて載置した。10枚の輸送用袋1のうちの最下方に位置する輸送用袋1を取り出して1時間静置した後に、第1位置P及び第2位置Q(図6参照)を吸着保持して第1側面フィルム11の面直方向に引っ張り上げて開口部16を開口させるための引張力を、フォースゲージ(日本電産シンポ社製,型式:FGP0.2)を用いて測定した。引張力は1.8Nであった。
[Comparative Example 2]
Ten transport bags 1 produced in the same manner as in Example 2 were placed on top of each other. After taking out the lowermost transport bag 1 out of the 10 transport bags 1 and allowing it to stand for 1 hour, the first position P and the second position Q (see FIG. 6) are adsorbed and held for the first position. The tensile force for pulling up the side film 11 in the direction perpendicular to the plane to open the opening 16 was measured using a force gauge (manufactured by Nippon Densan Symposium, model: FGP0.2). The tensile force was 1.8N.

〔試験例1〕
上記実施例1、実施例2、比較例1及び比較例2の輸送用袋1(10枚を積み重ねた状態)を自動梱包機にセットし、各輸送用袋1の開口部16を開口してシリコン材料を梱包した。その結果、実施例1及び実施例2の輸送用袋1においては、梱包エラー(開口部16が開口しないことによるエラー)が生じなかったが、比較例1及び比較例2においては、梱包エラーが生じた。この結果から明らかなように、フォースゲージを用いて測定される上記引張力が1.5N以下の輸送用袋1であれば、自動梱包機を用いて輸送用袋1の開口部16を容易に開口することができるため、シリコン材料の梱包体70の生産効率の低下を防ぐことができる。
[Test Example 1]
The transportation bags 1 (in a state in which 10 sheets are stacked) of Example 1, Example 2, Comparative Example 1 and Comparative Example 2 are set in an automatic packing machine, and the opening 16 of each transportation bag 1 is opened. The silicone material was packed. As a result, no packing error (error due to the opening 16 not opening) occurred in the transport bag 1 of Example 1 and Example 2, but a packing error occurred in Comparative Example 1 and Comparative Example 2. occured. As is clear from this result, if the transport bag 1 has a tensile force of 1.5 N or less measured using a force gauge, the opening 16 of the transport bag 1 can be easily opened by using an automatic packing machine. Since the opening can be made, it is possible to prevent a decrease in the production efficiency of the packaging body 70 made of the silicon material.

〔試験例2〕
実施例1のシーラント層34を100mm×25mmに切り出した切片を被験試料として準備し、当該被験試料をエタノールに60℃1週間分間浸漬させた。エタノールに浸漬させた被験試料からの揮発成分を、下記条件のGC/MSにて分析し、マススペクトルを得た。
[Test Example 2]
A section obtained by cutting the sealant layer 34 of Example 1 into a size of 100 mm × 25 mm was prepared as a test sample, and the test sample was immersed in ethanol at 60 ° C. for 1 week. The volatile components from the test sample immersed in ethanol were analyzed by GC / MS under the following conditions to obtain a mass spectrum.

<GC/MS条件>
・ガスクロマトグラフ:GCMS−QP2010(島津製作所社製)
・カラム:670−15003−03(長さ:30mm,内径:0.25mm,島津製作所社製)
・カラムオーブン温度:50℃
・注入量:1μL
・キャリアガス:He(57.1mL/分)
・気化室温度設定:300℃
・測定モード:スプリット
<GC / MS conditions>
-Gas chromatograph: GCMS-QP2010 (manufactured by Shimadzu Corporation)
-Column: 670-15003-03 (length: 30 mm, inner diameter: 0.25 mm, manufactured by Shimadzu Corporation)
・ Column oven temperature: 50 ℃
・ Injection volume: 1 μL
-Carrier gas: He (57.1 mL / min)
・ Vaporization chamber temperature setting: 300 ℃
・ Measurement mode: Split

上記の結果、実施例1のシーラント層34からは揮発成分が検出されなかった。このことから、実施例1のように、第1面34A側に位置する第1部分が低密度ポリエチレン(LDPE)を含む、それよりも第2面34B側に位置する第2部分がリニア低密度ポリエチレン(LLDPE)を含むことで、シーラントから低分子成分の揮発を防止可能であると推察される。 As a result of the above, no volatile component was detected in the sealant layer 34 of Example 1. From this, as in the first embodiment, the first portion located on the first surface 34A side contains low density polyethylene (LDPE), and the second portion located on the second surface 34B side is linear low density. It is presumed that the inclusion of polyethylene (LLDPE) can prevent the volatilization of low molecular weight components from the sealant.

〔試験例3〕押込弾性率
実施例1のシーラント層34から所望サイズで切り出した切片を被験試料として準備し、当該被験試料について、ISO14577:2015に準拠して、温度23℃±2℃、湿度60%RH±5%RHの雰囲気で押込弾性率を測定した。まず、20mm×20mmの大きさに切り出した被験試料の第1面34Aが上面となるように市販のスライドガラス(以下、「第1スライドガラス」という。)に、接着樹脂(製品名「アロンアルフア(登録商標)一般用」、東亜合成社製)を介して固定した。具体的には、第1スライドガラス(製品名「スライドガラス(切放タイプ)1−9645−11」、アズワン社製)の中央部に上記接着樹脂を滴下した。この際、接着樹脂を塗り広げず、また後述するように押し広げたときに接着樹脂が被験試料からはみ出さないように1滴の接着樹脂を滴下した。その後、上記大きさに切り出した被験試料を第1面34A側が上面になり、かつ被験試料の中央部に接着樹脂が位置するように第1スライドガラスに接触させ、第1スライドガラスと被験試料の間で接着樹脂を押し広げ、仮接着した。そして、別の新しいスライドガラス(以下、「第2スライドガラス」という。)を被験試料の上に載せ、第1スライトガラス/接着樹脂/被験試料/第2スライドガラスの積層体を得た。次いで、第2スライドガラスの上に30g以上50gの重りを置き、12時間室温で放置した。その後、重りと第2スライドガラスを取り外し、これを測定用サンプルとした。そして、この測定用サンプルを除振台に平行に設置した微小硬さ試験機(製品名:ピコデンター(PICODENTOR)HM500、フィッシャー・インスツルメント社製)の測定ステージに固定した。この固定は、測定サンプルが動かないように、第1スライドガラスの4辺をテープ(製品名:セロテープ(登録商標)、ニチバン社製)で固定した。次に、被験試料の第1面34Aにおいて、ビッカース圧子(対面角136°の正四角錐のダイヤモンド圧子)を装着させた超微小負荷硬さ試験機(ピコデンターHM500,フィッシャー・インストルメンツ社製)を用いて、押込速度0.15μm/秒、押込深さ3μm、保持時間5秒間、引き抜き速度0.15μm/秒の条件で押込弾性率を測定した。1つの被験試料において、少なくとも異なる5箇所で測定し、それらの測定値の平均を、シーラントについてその条件での押込弾性率の値とした。その結果、押込弾性率は453.7MPaであった。このことから、実施例1のシーラント層34は、実用上、十分な追従性を発揮可能な程度に伸縮性を有し、耐屈曲性を有するものと推察される。
[Test Example 3] Indentation elastic modulus A section cut out from the sealant layer 34 of Example 1 in a desired size was prepared as a test sample, and the test sample was subjected to a temperature of 23 ° C. ± 2 ° C. and a humidity in accordance with ISO14577: 2015. The indentation elastic modulus was measured in an atmosphere of 60% RH ± 5% RH. First, an adhesive resin (product name "Aron Alpha (product name" Aron Alpha (product name "Aron Alpha") is applied to a commercially available slide glass (hereinafter referred to as "first slide glass") so that the first surface 34A of the test sample cut into a size of 20 mm x 20 mm faces the upper surface. Fixed via "registered trademark" for general use ", manufactured by Toagosei Co., Ltd.). Specifically, the adhesive resin was dropped onto the central portion of the first slide glass (product name "slide glass (cut-off type) 1-9645-11", manufactured by AS ONE Corporation). At this time, one drop of the adhesive resin was dropped so that the adhesive resin did not spread out from the test sample when the adhesive resin was not spread and spread as described later. After that, the test sample cut out to the above size is brought into contact with the first slide glass so that the first surface 34A side is the upper surface and the adhesive resin is located at the center of the test sample, and the first slide glass and the test sample are brought into contact with each other. The adhesive resin was spread between them and temporarily bonded. Then, another new slide glass (hereinafter referred to as "second slide glass") was placed on the test sample to obtain a laminate of the first slite glass / adhesive resin / test sample / second slide glass. Next, a weight of 30 g or more and 50 g was placed on the second slide glass and left at room temperature for 12 hours. After that, the weight and the second slide glass were removed, and this was used as a measurement sample. Then, this measurement sample was fixed to the measurement stage of a micro-hardness tester (product name: PICODETOR HM500, manufactured by Fisher Instruments) installed in parallel with the vibration isolation table. For this fixing, the four sides of the first slide glass were fixed with tape (product name: cellophane tape (registered trademark), manufactured by Nichiban Co., Ltd.) so that the measurement sample did not move. Next, on the first surface 34A of the test sample, an ultra-micro load hardness tester (Picodenter HM500, manufactured by Fisher Instruments) equipped with a Vickers indenter (a diamond indenter having a regular quadrangular pyramid with a facing angle of 136 °) was attached. The indentation elastic modulus was measured under the conditions of a indentation speed of 0.15 μm / sec, a indentation depth of 3 μm, a holding time of 5 seconds, and a withdrawal speed of 0.15 μm / sec. In one test sample, measurements were taken at at least five different points, and the average of those measurements was taken as the value of the indentation modulus for the sealant under that condition. As a result, the indentation elastic modulus was 453.7 MPa. From this, it is presumed that the sealant layer 34 of Example 1 has elasticity to the extent that it can exhibit sufficient followability in practical use, and has bending resistance.

〔試験例4〕シール強度
実施例1のシーラント層34の第1面34A同士を、110℃、120℃、130℃、140℃及び150℃の各温度条件でヒートシールし、ヒートシール部を含む15mm幅のヒートシール試験片を採取し、当該ヒートシール試験片のシール強度をJIS−Z1711に準拠して求めた。その結果、実施例1のシーラント層34においては、相対的に低い温度で高いシール強度を得られることが確認された。
[Test Example 4] Seal strength The first surfaces 34A of the sealant layer 34 of Example 1 are heat-sealed at each temperature condition of 110 ° C., 120 ° C., 130 ° C., 140 ° C. and 150 ° C., and the heat-sealed portion is included. A heat seal test piece having a width of 15 mm was collected, and the seal strength of the heat seal test piece was determined in accordance with JIS-Z1711. As a result, it was confirmed that in the sealant layer 34 of Example 1, high sealing strength can be obtained at a relatively low temperature.

1…シリコン材料の輸送用袋
30…包装材料
31…樹脂基材層
32…樹脂層
34…シーラント層
52…シリコン材料
70…シリコン材料の梱包体
1 ... Silicon material transport bag 30 ... Packaging material 31 ... Resin base material layer 32 ... Resin layer 34 ... Sealant layer 52 ... Silicon material 70 ... Silicon material packaging

Claims (5)

シリコン材料の輸送用袋であって、
互いに対向する第1側縁部及び第2側縁部、並びに互いに対向する第3側縁部及び第4側縁部を有し、前記第1側縁部及び前記第2側縁部と、前記第3側縁部及び前記第4側縁部とが交わる第1フィルムと、
互いに対向する第1側縁部及び第2側縁部、並びに互いに対向する第3側縁部及び第4側縁部を有し、前記第1側縁部及び前記第2側縁部と、前記第3側縁部及び前記第4側縁部とが交わる第2フィルムと
を備え、
前記第1フィルムと前記第2フィルムとを重ね合わせた状態で、互いに重なる前記第1フィルムの前記第1〜第3側縁部と前記第2フィルムの前記第1〜第3側縁部とがそれぞれ固着されることで、固着されない前記第4側縁部側において開口部が形成されており、
前記第1フィルムの前記第1側縁部と前記第2フィルムの前記第1側縁部とは、前記輸送用袋の内側に向かって折り込まれた第1ガゼットフィルムを介して固着されており、
前記第1フィルムの前記第2側縁部と前記第2フィルムの前記第2側縁部とは、前記輸送用袋の内側に向かって折り込まれた第2ガゼットフィルムを介して固着されており、
前記第1フィルム、前記第2フィルム、前記第1ガゼットフィルム及び前記第2ガゼットフィルムは、少なくとも樹脂基材層と、樹脂層と、シーラント層とをこの順で積層する積層体であって、前記積層体は帯電防止剤を含まず、前記シーラント層が、前記輸送用袋の内側に位置しており、
前記開口部が閉じた状態の前記輸送用袋の前記第1フィルムの所定の位置を保持して前記第1フィルムの面直方向に引っ張り上げたときに前記開口部を開口させるための引張力が、1.5N以下であり、
前記引張力は、前記第1フィルムの前記第1側縁部の近傍であって、前記第1側縁部の長さ方向に沿った前記第3側縁部及び前記第4側縁部の間の中心位置から前記第3側縁部側に200mm離れた第1位置及び前記第4側縁部側に200mm離れた第2位置を保持して前記第1フィルムの面直方向に引っ張り上げたときにフォースゲージを用いて測定される値である
シリコン材料の輸送用袋。
A shipping bag made of silicone material
It has a first side edge portion and a second side edge portion facing each other, and a third side edge portion and a fourth side edge portion facing each other, and the first side edge portion and the second side edge portion and the said The first film at which the third side edge and the fourth side edge intersect,
It has a first side edge portion and a second side edge portion facing each other, and a third side edge portion and a fourth side edge portion facing each other, and the first side edge portion and the second side edge portion and the said A second film that intersects the third side edge portion and the fourth side edge portion is provided.
In a state where the first film and the second film are overlapped with each other, the first to third side edges of the first film and the first to third side edges of the second film overlap each other. By fixing each of them, an opening is formed on the side of the fourth side edge that is not fixed.
The first side edge portion of the first film and the first side edge portion of the second film are fixed to each other via a first gusset film folded toward the inside of the transportation bag.
The second side edge portion of the first film and the second side edge portion of the second film are fixed to each other via a second gusset film folded toward the inside of the transportation bag.
The first film, the second film, the first gusset film, and the second gusset film are laminates in which at least a resin base material layer, a resin layer, and a sealant layer are laminated in this order. The laminate does not contain an antistatic agent, and the sealant layer is located inside the shipping bag.
When the first film of the transport bag with the opening closed is held at a predetermined position and pulled up in the direction perpendicular to the surface of the first film, a tensile force for opening the opening is applied. , 1.5N or less,
The tensile force is in the vicinity of the first side edge portion of the first film, and is between the third side edge portion and the fourth side edge portion along the length direction of the first side edge portion. When the first position 200 mm away from the center position of the third side edge and the second position 200 mm away from the fourth side edge side are held and pulled up in the direction perpendicular to the surface of the first film. A shipping bag made of silicone material, which is a value measured using a force gauge.
前記樹脂基材層は、ポリエステル樹脂により構成される
請求項に記載のシリコン材料の輸送用袋。
The bag for transporting a silicon material according to claim 1 , wherein the resin base material layer is made of a polyester resin.
前記樹脂基材層は、ポリエチレンテレフタレート(PET)により構成される
請求項又はに記載のシリコン材料の輸送用袋。
The bag for transporting a silicon material according to claim 1 or 2 , wherein the resin base material layer is made of polyethylene terephthalate (PET).
少なくとも前記第1フィルム及び前記第2フィルムは、透明である
請求項1〜のいずれかに記載のシリコン材料の輸送用袋。
The bag for transporting a silicon material according to any one of claims 1 to 3 , wherein at least the first film and the second film are transparent.
請求項1〜のいずれかに記載のシリコン材料の輸送用袋と、
前記シリコン材料の輸送用袋内に収容されているシリコン材料と
を備えるシリコン材料の梱包体。
The silicon material transport bag according to any one of claims 1 to 4 ,
A packing body of a silicon material including the silicon material housed in the transport bag of the silicon material.
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